特許 7329958 支持装置および支持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-10

(45)【発行日】2023-08-21

(54)【発明の名称】支持装置および支持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20230814BHJP

   H01L 21/301 20060101ALI20230814BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20230814BHJP

   B65C 9/28 20060101ALN20230814BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

H01L21/78 M

H01L21/304 622J

B65C9/28

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2019090584

(22)【出願日】2019-05-13

(65)【公開番号】P2020188089

(43)【公開日】2020-11-19

【審査請求日】2022-03-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000637

【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所

(72)【発明者】

【氏名】荒井 善男

【審査官】湯川 洋介

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１３９０８６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０５００３４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－１５１９２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－２３９２３２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０６４７２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０７４４１３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３４０７４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００６／０１７７９５４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｈ０１Ｌ ２１／３０１

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ６５Ｃ ９／２８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

接着シートが貼付される支持対象物を支持する支持装置であって、
前記支持対象物を支持する支持面を有する支持手段と、
前記支持面に沿って流れる気体の気流方向を当該支持面の対向する方向に変更し、当該気体で前記接着シートを押圧手段に押し付ける気流方向変更手段とを備えていることを特徴とする支持装置。

【請求項2】

前記気流方向変更手段は、前記支持手段に着脱可能に設けられ、前記支持面における前記気流方向の先端部から突出する突出部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の支持装置。

【請求項3】

前記接着シートは、剥離シートの一方の面に仮着され、繰出手段によって前記剥離シートから剥離されて繰り出され、
前記繰出手段は、前記接着シートの繰出方向先端部が前記剥離シートから剥離した状態で当該接着シートを保持可能に設けられ、
前記気流方向変更手段は、前記気流方向の変更によって、前記繰出手段が保持している接着シートの繰出方向先端部に気体を吹き付けることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の支持装置。

【請求項4】

接着シートが貼付される支持対象物を支持する支持方法であって、
前記支持対象物を支持面で支持する支持工程と、
前記支持面に沿って流れる気体の気流方向を当該支持面の対向する方向に変更し、当該気体で前記接着シートを押圧手段に押し付ける気流方向変更工程とを実施することを特徴とする支持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、支持装置および支持方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、剥離シートに仮着された接着シートを剥離シートから剥離して押圧手段で支持対象物に貼付する際に、当該支持対象物を支持する支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開平４－３４０７４６号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載されたテーブル１０（支持装置）は、粘着テープ４１（接着シート）を剥離するピールプレート７の下方に配置された空気吹出し管５２（吹付手段）から、プレスローラー４３（押圧手段）の下方位置に空気（気体）が吹き出された状態で半導体ウエハ１４（支持対象物）を支持するが、接着シートの硬さによっては、吹付手段の気体吹き付けによっても接着シートが押圧手段に押し付けられず、接着シートの貼付不良が生じるおそれがある。

【0005】

本発明の目的は、剥離シートから剥離される接着シートを押圧手段に押し付け、接着シートの貼付不良を防止することができる支持装置および支持方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、支持面に沿って流れる気体の気流方向を当該支持面の対向する方向に変更することにより、支持面から押圧手段に向けて気体を流すことができるため、剥離シートから剥離される接着シートを押圧手段に押し付け、接着シートの貼付不良を防止することができる。
また、支持手段に着脱可能に設けた突出部で気流方向変更手段を構成すれば、気流方向変更手段を簡易に構成することができる上、気流方向変更手段を必要に応じて着脱することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

図１において、支持装置ＥＡは、接着シートＡＳが貼付される支持対象物ＷＫを支持する装置であって、支持対象物ＷＫを支持する支持面１２Ａを有する支持手段１０と、支持面１２Ａに沿って流れる気体の気流方向を当該支持面１２Ａの対向する方向に変更する気流方向変更手段２０とを備え、接着シートＡＳを繰り出す繰出手段３０と、空気やガス等の気体を吹き付ける吹付手段４０と、支持対象物ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ５０と、支持装置ＥＡと繰出手段３０、吹付手段４０および押圧ローラ５０とを相対移動させる移動手段６０とでシート貼付装置ＥＡ１が構成されている。

【0011】

支持手段１０は、駆動機器としての直動モータ１１と、直動モータ１１の出力軸１１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面１２Ａを有するテーブル１２とを備えている。

【0012】

気流方向変更手段２０は、支持手段１０に着脱可能に設けられ、支持面１２Ａにおける気流方向の先端部から突出する突出部２１を備えている。

【0013】

繰出手段３０は、剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、駆動機器としての回動モータ３４Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ３４Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３４と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ３４Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ３５とを備え、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離した状態で接着シートＡＳを保持可能な構成となっている。

【0014】

吹付手段４０は、繰出手段３０の下方に配置され、加圧ポンプやタービン等の図示しない気体供給手段によって、押圧ローラ５０の下方位置に気体を吹き付ける。

【0015】

移動手段６０は、支持装置ＥＡを支持するスライダ６１Ａを有する駆動機器としてのリニアモータ６１を備えている。

【0016】

以上の支持装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出し、図１に示すように、先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、繰出手段３０が回動モータ３４Ａの駆動を停止し、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１が剥離シートＲＬから剥離した状態で接着シートＡＳを保持し、スタンバイ状態となる。

【0017】

次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１中実線で示すように、支持対象物ＷＫを支持面１２Ａ上の所定の位置に載置すると、支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面１２Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を開始する。その後、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、図１中右側の二点鎖線で示すように、支持装置ＥＡを左方に移動させて突出部２１を押圧ローラ５０の下方に位置させた後、支持手段１０が直動モータ１１を駆動し、テーブル１２を上昇させる。次に、吹付手段４０が図示しない気体供給手段を駆動し、押圧ローラ５０の下方位置に気体を吹き付ける。吹き付けられた気体は、支持対象物ＷＫ、支持面１２Ａおよび突出部２１に沿って流れる気流となり、図１（Ａ）中二点鎖線の矢印で示すように、気流方向変更手段２０で気流方向が支持面１２Ａの対向する方向に変更され、繰出手段３０が保持している接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１に吹き付けられる。これにより、接着シートＡＳの繰出方向先端部ＡＳ１は、図１中ＡＡを付した図に示すように、気流によって押圧ローラ５０に押し付けられる。そして、移動手段６０がリニアモータ６１を駆動し、支持装置ＥＡを左方に移動させるとともに、支持手段１０が直動モータ１１を駆動し、テーブル１２を上昇させた後、直動モータ１１の駆動を停止する。次いで、テーブル１２が所定の位置に到達すると、繰出手段３０が回動モータ３４Ａを駆動し、テーブル１２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、剥離板３３の剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬから剥離され、気流方向変更手段２０で方向が変更された気流によって押圧ローラ５０に押し付けられながら、当該押圧ローラ５０によって支持対象物ＷＫに押圧されて貼付される。その後、次の接着シートＡＳが剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、繰出手段３０が回動モータ３４Ａの駆動を停止する。

【0018】

支持対象物ＷＫへの接着シートＡＳの貼付が完了し、テーブル１２が所定の位置に到達すると、移動手段６０がリニアモータ６１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面１２Ａでの支持対象物ＷＫの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートＡＳが貼付された支持対象物ＷＫを次工程に搬送すると、移動手段６０および支持手段１０がリニアモータ６１および直動モータ１１を駆動し、支持装置ＥＡを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0019】

以上のような実施形態によれば、支持面１２Ａに沿って流れる気体の気流方向を当該支持面１２Ａの対向する方向に変更することにより、支持面１２Ａから押圧ローラ５０に向けて気体を流すことができるため、剥離シートＲＬから剥離される接着シートＡＳを押圧ローラ５０に押し付け、接着シートＡＳの貼付不良を防止することができる。

【0020】

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

【0021】

例えば、気流方向変更手段２０は、テーブル１２と一体に形成され、支持面１２Ａが突出部を有する構成であってもよいし、突出部を支持面１２Ａに着脱可能に設けてもよいし、突出部に支持面１２Ａから上方に湾曲した湾曲面、斜め上方に傾斜した傾斜面、または階段状の複数の段差を設けたり、支持面１２Ａに陥没部を設けたりして気流方向を変更してもよい。

【0022】

繰出手段３０は、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シート基材（帯状の基材シートと帯状の接着剤層）に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートＡＳとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートＲＬに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートＡＳとしてもよいし、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する際、原反ＲＳに所定の張力が付与されるように回動モータ３４Ａのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ３１やガイドローラ３２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳや剥離シートＲＬを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよい。

【0023】

吹付手段４０が吹き付ける気体は、空気、窒素ガスやネオンガス等の単体ガス、混合ガス等であってもよい。

【0024】

移動手段６０は、支持装置ＥＡを移動させずにまたは移動させつつ、繰出手段３０、吹付手段４０および押圧ローラ５０を移動させてもよいし、リニアモータ６１に代えてまたは併用して、多関節ロボット等の他の駆動機器で支持装置ＥＡと繰出手段３０、吹付手段４０および押圧ローラ５０とを相対移動させてもよい。

【0025】

接着シートＡＳおよび支持対象物ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、支持対象物ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の支持対象物ＷＫに貼付することができる。

【0026】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、支持対象物を支持する支持面を有するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

【符号の説明】

【0027】

ＥＡ…支持装置
１０…支持手段
１２Ａ…支持面
２０…気流方向変更手段
２１…突出部
３０…繰出手段
５０…押圧ローラ（押圧手段）
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…繰出方向先端部
ＲＬ…剥離シート
ＷＫ…支持対象物

【図1】