発明の名称 成膜装置
出願人 タツタ電線株式会社 (識別番号 108742)
特許公開件数ランキング 1310 位(5件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 1714 位(3件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7330415
公報発行日 2023年8月21
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7330415
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