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特許 7330816出願番号 特願 2019-153381
ステージ姿勢推定装置、搬送装置、ステージ姿勢推定方法、および搬送方法
出願人 株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス（識別番号 207551）
2026年 特許公開件数ランキング 62位 374件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 51位 360件（※）
公報発行日 2023年8月22
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7330816 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
平板状のステージを一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置において、ステージのヨーイング角度を把握する技術
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
この種の装置に搭載されるステージの搬送装置は、一対の直進機構を備えていえる場合がある。具体的には、互いに平行に設けられた一対のリニアモータにより、ステージを所定の方向に搬送する機構が知られている。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
課題を解決するため、本願の第１発明は、平板状のステージを一対の直進機構により水平方向に搬送する搬送装置に搭載されるステージ姿勢推定装置であって、前記一対の直進機構の各々のトルク値を取得するトルク取得部と、前記トルク取得部により取得される一対のトルク値の差分を算出して、入力データを生成する入力データ生成部と、前記入力データから前記ステージのヨーイング角度を推定するための機械学習により得られ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本願の第１発明から第１０発明によれば、一対の直進機構のトルク値の差分に基づいて、ステージのヨーイング角度を推定できる。したがって、大掛かりな計測装置を常時設置することなく、ステージのヨーイング角度を把握できる。
特に、本願の第２発明によれば、時系列データから不要な周波数成分を除去することにより、入力データのノイズを低減できる。したがって、ステージのヨーイング角度を、より精度よく推定できる。
特に、本願の第４発明によれば、リニアモータを制御する制御基板とは別に、トルク値を検出するためのセンサを設ける必要がない。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
搬送装置を備えた描画装置の斜視図である。
【図2】
搬送装置を備えた描画装置の概略上面図である。
【図3】
制御部と描画装置内の各部との電気的接続を示したブロック図である。
【図4】
搬送装置の一部分を、主走査方向に対して垂直な面で切断したときの部分断面図である。
【図5】
ステージ姿勢推定装置の構成を示したブロック図である。
【図6】
事前学習処理の流れを示すフローチャートである。
【図7】
ステージ姿勢推定装置による推定処理の流れを示したフローチャートである。
【図8】
搬送装置において取得可能な種々のパラメータと、ステージのヨーイング角度との相関を調べた実験結果のグラフである。
代表図 図1本件の代表的な図
１ 描画装置
１０ 搬送装置
１１ 基台
１２ ステージ
１３ 主走査機構
１４ 副走査機構
１５ 回転機構
１６ 下段支持プレート
１７ 中段支持プレート
１８ ステージ姿勢推定装置
２０ フレーム
３０ 描画処理部
４０ 制御部
５０ センサ
６０ 直進機構
６１ リニアモータ
６２ エアガイド
６３ 制御基板
８０ 姿勢計測装置
９１ トルク取得部
９２ 入力データ生成部
９３ 姿勢推定部
６１１ 固定子
６１２ 移動子
Ｗ 基板
Ｍ 学習済みモデル
θ ヨーイング角度
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