発明の名称 3次元集積構造の製作用のドナー基板を作製するための方法、およびそのような集積構造を作製するための方法
出願人 ソイテック (識別番号 507088071)
特許公開件数ランキング 1047 位(7件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 4007 位(2件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7332618
公報発行日 2023年8月23
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7332618
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