特許 7332971 はんだ処理装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-16

(45)【発行日】2023-08-24

(54)【発明の名称】はんだ処理装置

(51)【国際特許分類】

   B23K 3/06 20060101AFI20230817BHJP

   H05K 3/34 20060101ALI20230817BHJP

   B23K 3/08 20060101ALI20230817BHJP

   B23K 1/08 20060101ALN20230817BHJP

【ＦＩ】

B23K3/06 D

H05K3/34 506K

B23K3/08

B23K1/08 320

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2023001667

(22)【出願日】2023-01-10

【審査請求日】2023-01-12

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000199197

【氏名又は名称】千住金属工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100149076

【弁理士】

【氏名又は名称】梅田 慎介

(74)【代理人】

【識別番号】230117802

【弁護士】

【氏名又は名称】大野 浩之

(72)【発明者】

【氏名】川島 泰司

(72)【発明者】

【氏名】矢寺 紀央

(72)【発明者】

【氏名】加賀谷 智丈

(72)【発明者】

【氏名】田口 寛

(72)【発明者】

【氏名】篠原 克宏

【審査官】原田 貴志

(56)【参考文献】

【文献】特許第７１５２６９１（ＪＰ，Ｂ１）

【文献】特開２００２－０８０９５０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｋ ３／０６

Ｈ０５Ｋ ３／３４

Ｂ２３Ｋ ３／０８

Ｂ２３Ｋ １／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、水平方向の一方側から他方側に移動するに際して上方への移動と下方への移動のそれぞれを少なくとも１回以上行いつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
を備える、はんだ処理装置。

【請求項2】

溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
前記延在部を溶融はんだ内において水平方向で往復移動させる移動部と、
前記移動部からの駆動力によって水平方向に移動される移動体と、
前記移動体をガイドするための波状のガイド部と、
を備える、はんだ処理装置。

【請求項3】

前記移動体に対して下方又は上方への弾性力を付与する弾性部材が設けられる、請求項２に記載のはんだ処理装置。

【請求項4】

溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
を備え、
前記延在部の少なくとも先端側の一部が非直線形状となっている、はんだ処理装置。

【請求項5】

前記延在部はねじり形状となっている、凹凸形状となっている、又は表面に凹部もしくは凸部を有している請求項４に記載のはんだ処理装置。

【請求項6】

前記貯留槽内に設置され、前記溶融はんだを供給する供給部と、
溶融はんだ内に一部が浸漬され、前記延在部の移動領域と前記供給部との間に設けられる仕切部と、
を備える、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のはんだ処理装置。

【請求項7】

移動本体部を備え、
前記延在部は、水平方向の一方側に設けられた第一延在部と、水平方向の他方側に設けられた第二延在部とを有し、
前記第一延在部は前記移動本体部の一方側端部に設けられ、
前記第二延在部は前記移動本体部の他方側端部に設けられ、
前記第一延在部及び前記第二延在部の各々は、複数の延在部材を含み、
複数の延在部材は前記往復移動に対する法線方向に沿って平行に設けられる、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のはんだ処理装置。

【請求項8】

前記貯留槽内に設置され、前記溶融はんだを供給する供給部と、
前記溶融はんだ内に一部が浸漬され、前記延在部の移動領域と前記供給部との間に設けられる仕切部と、を備える、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のはんだ処理装置。

【請求項9】

前記仕切部は、前記貯留槽に対して取り外し自在に設置される、請求項８に記載のはんだ処理装置。

【請求項10】

前記仕切部は、前記供給部と前記延在部との間で前記延在部の移動方向に沿って延在する仕切本体部と、前記仕切本体部の両端部に設けられ、前記延在部の移動方向に直交する方向に延在する１又は一対の仕切側方部を有する、請求項８に記載のはんだ処理装置。

【請求項11】

前記仕切側方部の高さは、前記仕切本体部の高さよりも高くなっている、請求項１０に記載のはんだ処理装置。

【請求項12】

前記仕切部は、前記供給部と前記延在部との間で前記延在部の移動方向に沿って延在する仕切本体部を有し、
前記仕切本体部の中央部を含む領域には凹部が設けられる、請求項８に記載のはんだ処理装置。

【請求項13】

前記仕切部の下端部は、溶融はんだの液面よりも２０～８０ｍｍだけ下方に位置する、請求項８に記載のはんだ処理装置。

【請求項14】

前記仕切部の下端部は、前記延在部の下端部と同じ位置又は前記延在部の下端部よりも低い位置であって、前記貯留槽の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられている、請求項８に記載のはんだ処理装置。

【請求項15】

溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽に設置され、前記溶融はんだを供給する供給部と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
溶融はんだ内に一部が浸漬され、前記延在部の移動領域と前記供給部との間に設けられる仕切部と、
を備え、
前記延在部は、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動し、
前記仕切部の下端部は、往復移動する前記延在部の下端部の平均位置と同じ位置又は往復移動する前記延在部の下端部の平均位置よりも低い位置であって、前記貯留槽の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられている、はんだ処理装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、溶融はんだを基板に供給するはんだ処理装置に関する。

【背景技術】

【0002】

従来から、溶融はんだを基板に対して供給するための噴流はんだ付け装置が知られている。また、噴流はんだ付け装置においては、溶融はんだが酸化したことによって発生するドロスが形成されることも知られており、特許文献１及び２では、このようなドロスに対応するための装置が提案されている。

【0003】

特許文献１では、多数の羽根が平らな面を溶融はんだの液面に対して直交して軸に設置されており、軸は羽根の一部が溶融はんだ中に没する位置に取り付けられているとともに軸がモータと連動して回転する酸化物の分離装置が提案されている。

【0004】

特許文献２では、噴流ノズルの側面に噴流ノズルから噴流された溶融はんだを一方向に流動させる樋が設置されており、溶融はんだの流出方向となる噴流はんだ槽の端部にはノズル方向に開口を有するカバーが設置されており、カバー内にモータに連動されたスクリュウが設置されている噴流はんだ槽が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２００３－５３５２９号公報

【文献】特開２００２－８０９５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

特許文献１及び２を採用した場合でも、ドロスを分解することを一定程度では実現できているが、その効果は限定的なものであった。

【0007】

本発明は、ドロスの分解をより効果的に行うことができるはんだ処理装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0008】

［概念１］
本発明の第１態様によるはんだ処理装置は、
溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
を備えてもよい。

【0009】

［概念２］
概念１によるはんだ処理装置は、
前記延在部を溶融はんだ内において水平方向で往復移動させる移動部と、
前記移動部からの駆動力によって水平方向に移動される移動体と、
前記移動体をガイドするための波状のガイド部と、
を備えてもよい。

【0010】

［概念３］
概念２によるはんだ処理装置において、
前記移動体に対して下方又は上方への弾性力を付与する弾性部材が設けられてもよい。

【0011】

［概念４］
概念１乃至３のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記延在部の少なくとも先端側の一部が非直線形状となってもよい。

【0012】

［概念５］
概念４によるはんだ処理装置において、
前記延在部はねじり形状となっている、凹凸形状となっている、又は表面に凹部もしくは凸部を有してもよい。

【0013】

［概念６］
概念１乃至５のいずれか１つによるはんだ処理装置は、
前記貯留槽内に設置され、前記溶融はんだを供給する供給部と、
溶融はんだ内に一部が浸漬され、前記延在部の移動領域と前記供給部との間に設けられる仕切部と、
を備えてもよい。

【0014】

［概念７］
概念１乃至６のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記延在部は、水平方向の一方側に設けられた第一延在部と、水平方向の他方側に設けられた第二延在部とを有し、
前記第一延在部は前記移動本体部の一方側端部に設けられ、
前記第二延在部は前記移動本体部の他方側端部に設けられ、
前記第一延在部及び前記第二延在部の各々は、複数の延在部材を含み、
複数の延在部材は前記往復移動に対する法線方向に沿って平行に設けられてもよい。

【0015】

［概念８］
本発明の第２態様によるはんだ処理装置は、
溶融はんだを収容する貯留槽と、
前記貯留槽に設置され、前記溶融はんだを供給する供給部と、
前記貯留槽内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部と、
溶融はんだ内に一部が浸漬され、前記延在部の移動領域と前記供給部との間に設けられる仕切部と、
を備えてもよい。

【0016】

［概念９］
概念８によるはんだ処理装置において、
前記仕切部は、前記貯留槽に対して取り外し自在に設置されてもよい。

【0017】

［概念１０］
概念８又は９によるはんだ処理装置において、
前記仕切部は、前記供給部と前記延在部との間で前記延在部の移動方向に沿って延在する仕切本体部と、前記仕切本体部の両端部に設けられ、前記延在部の移動方向に直交する方向に延在する１又は一対の仕切側方部を有してもよい。

【0018】

［概念１１］
概念１０によるはんだ処理装置において、
前記仕切側方部の高さは、前記仕切本体部の高さよりも高くなってもよい。

【0019】

［概念１２］
概念８乃至１１のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記仕切部は、前記供給部と前記延在部との間で前記延在部の移動方向に沿って延在する仕切本体部を有し、
前記仕切本体部の中央部を含む領域には凹部が設けられてもよい。

【0020】

［概念１３］
概念８乃至１２のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記仕切部の下端部は、溶融はんだの液面よりも２０～８０ｍｍだけ下方に位置してもよい。

【0021】

［概念１４］
概念８乃至１３のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記仕切部の下端部は、前記延在部の下端部と同じ位置又は前記延在部の下端部よりも低い位置であって、前記貯留槽の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられてもよい。

【0022】

［概念１５］
概念８乃至１３のいずれか１つによるはんだ処理装置において、
前記延在部は、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動し、
前記仕切部の下端部は、往復移動する前記延在部の下端部の平均位置と同じ位置又は往復移動する前記延在部の下端部の平均位置よりも低い位置であって、前記貯留槽の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられてもよい。

【発明の効果】

【0023】

本発明の一態様として、延在部が上下方向の位置を変えつつ溶融はんだ内において水平方向で往復移動する態様を採用した場合には、ドロスの分解を格段に効果的に行うことができる。また、本発明の別の態様として、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部が設けられ、当該延在部の移動領域と供給部との間に仕切部が設けられる態様を採用した場合には、仕切部によってドロスの供給部側への移動が遮断されることから、水平方向で往復移動する延在部による分解の効果を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】図１は、本実施の形態によるはんだ付け装置を示した概略図である。

【図2】図２は、本実施の形態において、第一延在部及び第二延在部が設けられた態様を示した噴流はんだ装置の側方断面図である。

【図3】図３は、本実施の形態において、第一延在部が第一連結体と一体になり、第二延在部が第二連結体と一体になった態様を採用した噴流はんだ装置の上方平面図である。

【図4】図４は、本実施の形態において、第一延在部が移動本体部と締結部材によって締結され、第二延在部が移動本体部と締結部材によって締結された態様を採用した噴流はんだ装置の上方平面図である。

【図5A】図５Ａは、本実施の形態において、第一延在部材が第一連結体と一体になり、第二延在部材が第二連結体と一体になった態様を示した側方図である。

【図5B】図５Ｂは、本実施の形態において、第一延在部材が第一連結体と一体になり、第二延在部材が第二連結体と一体になった態様を示した上方平面図である。

【図6A】図６Ａは、本実施の形態において、第一延在部材及び第二延在部材が移動本体部と締結部材によって締結された態様を示した側方図である。

【図6B】図６Ｂは、本実施の形態において、第一延在部材が移動本体部と締結部材によって締結され、第二延在部材が移動本体部と締結部材によって締結された態様を示した上方平面図である。

【図7】図７は、本実施の形態で用いられる移動部の一例を供給部と反対側から見た側方図である。

【図8】図８は、本実施の形態において、基板の搬送方向において（図８の左右方向において）、延在部が一箇所だけ設けられた態様を示した噴流はんだ装置の側方断面図である。

【図9】図９は、本実施の形態において、第一延在部及び第二延在部の他に第三延在部が設けられた態様を示した噴流はんだ装置の側方断面図である。

【図10】図１０は、本実施の形態において、第一延在部材、第二延在部材及び第三延在部材の各々が移動本体部と締結部材によって締結された態様を示した上方平面図である。

【図11】図１１は、本実施の形態において、第一延在部材が移動本体部と締結部材によって締結された態様を示した上方平面図である。

【図12】図１２は、本実施の形態において、弾性部材が移動本体部を下方に押し付ける態様を示した側方図である。

【図13】図１３は、本実施の形態で用いられ得る仕切部を仕切本体部を正面とした方向から見た図である。

【図14】図１４は、本実施の形態において、噴流はんだ付け装置とは別の分離装置に延在部が設けられた態様を示した分離装置の側方断面図である。

【図15】図１５は、本実施の形態において、延在部が基板の搬送方向に直交する方向で往復移動する態様であって、供給部に対して基板搬送方向の下流側に延在部が設けられた態様を示した上方平面図である。

【図16】図１６は、本実施の形態において、延在部が基板の搬送方向に直交する方向で往復移動する態様であって、供給部に対して基板搬送方向の上流側に延在部が設けられた態様を示した上方平面図である。

【図17A】図１７Ａは延在部の先端側がねじり形状となる態様を示した図である。

【図17B】図１７Ｂは延在部の先端側が凹凸部を有する態様を示した図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

実施の形態
《構成》
図１に示すはんだ付け装置は、例えば、半導体素子、抵抗、コンデンサ等の電子部品を回路上に搭載した基板２００に対して、はんだ付け処理する装置である。典型的には電子部品等は基板２００の下方側に位置付けられることになる。はんだ付け装置は、本体部１と、基板２００を搬送する搬送部５とを有している。本体部１は、基板２００を搬入する搬入口２と、基板２００を搬出する搬出口３とを有している。基板２００の搬送は、側方から見て所定の角度、例えば３～６度程度の傾斜をもって行われてもよい（図２参照）。この場合、基板搬送方向Ａの上流と比較して下流の方が高い位置に位置付けられることになる。但し、これに限られることはなく、基板２００の搬送が例えば水平に行われるようにしてもよい。搬送部５は、基板２００を搬送するための駆動力を付与する搬送駆動部（図示せず）と、基板２００を案内する搬送レール６とを有してもよい。

【0026】

図１に示すように、本体部１には、基板２００にフラックスを塗布するフラクサ１０と、フラックスを塗布された基板２００を予備加熱するプリヒータ部１５と、溶融したはんだを噴流して基板２００に接触させる噴流はんだ付け装置１００と、はんだ付けされた基板２００を冷却する冷却機２０と、が設けられてもよい。搬送部５の搬送レール６に沿って搬送される基板２００は、フラクサ１０、プリヒータ部１５、噴流はんだ付け装置１００及び冷却機２０を順に通過することになる。噴流はんだ付け装置１００は、各構成要素に指令を与えて制御する制御部５０と、様々な情報を記憶する記憶部６０と、操作者が様々な情報を入力することではんだ付け装置を操作する操作部７０と、を有してもよい。なお、図１では、制御部５０、記憶部６０及び操作部７０以外について、はんだ付け装置が上方平面図で示されている。

【0027】

フラクサ１０は、搬送された基板２００にフラックスを塗布するために用いられる。フラックスは溶剤及び活性剤等を含んでもよい。フラクサ１０は、複数の塗布装置を設けてもよい。はんだの種類や基板２００の品種に応じて、フラックスの種類を使い分けるようにしてもよい。

【0028】

プリヒータ部１５は、基板２００を加熱することで、基板２００を均一に所定の温度まで上昇させる。このように基板２００を加熱すると、基板２００の所定の箇所にはんだが付着されやすくなる。プリヒータ部１５は、例えば、遠赤外線パネルヒータが用いられる。遠赤外線パネルヒータは、基板２００を設定した温度まで急速に加熱させることができる。また。ヒータによって加熱された気体（熱風）をファンによって基板２００に吹き付けて、基板２００を加熱するようにしてもよい。また、プリヒータ部１５としては、ハロゲンヒータ等を用いてもよい。

【0029】

冷却機２０は、図示しない冷却ファンを有し、噴流はんだ付け装置１００ではんだ付け処理された基板２００を冷却する。冷却ファンの制御はＯＮ及びＯＦＦだけでもよいが、風速を調整する等するようにしてもよい。また、冷却機２０としては、基板２００が所定の温度となるまで冷却するようにチラー等を用いてもよい。

【0030】

図１に示す制御部５０は、搬送レール６を含む搬送部５、フラクサ１０、プリヒータ部１５、噴流はんだ付け装置１００、冷却機２０、操作部７０及び記憶部６０に通信可能に接続されている。通信可能な接続には有線によるものと無線によるものの両方が含まれている。操作部７０は、液晶表示パネルやテンキー等を有してもよく、典型的にはパソコン、スマートフォン、タブレット等である。作業者が操作部７０を操作することで、制御部５０は、搬送部５による搬送速度や基板２００を搬送するタイミング、フラクサ１０でのフラックスの温度、フラックスの塗布量、プリヒータ部１５の温度、噴流はんだ付け装置１００の溶融はんだＳの温度や、噴流量、噴流速度、冷却機２０が有する冷却ファンのＯＮやＯＦＦ等を制御するようにしてもよい。記憶部６０は、操作部７０で入力された情報や、制御部５０の指示、噴流はんだ付け装置１００の稼働時間等を記憶するようにしてもよい。

【0031】

次に、本実施の形態の噴流はんだ付け装置１００について説明する。典型的には、この噴流はんだ付け装置１００がはんだ処理装置に該当する。

【0032】

図２に示すように、噴流はんだ付け装置１００は、溶融はんだＳを貯留する貯留槽１１０と、第一駆動部である第一ポンプ１４１と、第一ポンプ１４１からの駆動力を受けて、溶融はんだＳを噴出する第一供給口１２５と、第二駆動部である第二ポンプ１４６と、第二ポンプ１４６からの駆動力を受けて、溶融はんだＳを噴出する第二供給口１３５と、を有している。第一供給口１２５及び第二供給口１３５から噴出される溶融はんだＳは下方から上方に向けて噴流される。第一ポンプ１４１からの駆動力を受けた溶融はんだＳはダクト内を圧送されて、基板２００に向かって噴流させ、基板２００の所定の箇所にはんだを付着させる。同様に、第二ポンプ１４６からの駆動力を受けた溶融はんだＳはダクト内を圧送されて、基板２００に向かって噴流させ、基板２００の所定の箇所にはんだを付着させる。溶融はんだＳは図示しないヒータで例えば１８０℃～２５０℃程度の温度に溶融はんだＳを加熱する。第一供給口１２５及び第二供給口１３５から供給された溶融はんだＳは、循環されて利用されてもよい。この場合には、図示しないフィルターを通過して循環されるようにしてもよい。第一ポンプ１４１及び第二ポンプ１４６は典型的には各々１つのポンプで構成されるが、第一ポンプ１４１及び第二ポンプ１４６は各々が複数のポンプで構成されるようにしてもよい。

【0033】

図２に示す噴流はんだ付け装置１００の第一供給口１２５は複数の第一開口部１２６を有しており（図３等参照）、第一開口部１２６は一次噴流ノズルを構成する。複数の第一開口部１２６は大量の溶融はんだＳを勢いよく基板２００に供給するために用いられる。第二供給口１３５の第二開口部１３６は二次噴流ノズルであり、第一供給口１２５と比較して弱い勢いで溶融はんだＳを基板２００に供給するために用いられる。第一供給口１２５から供給される噴流はんだは勢いよく溶融はんだＳを基板２００に衝突させる動的な供給であって、溶融はんだＳを基板２００の隅々まで行きわたらせるための供給である。他方、第二供給口１３５から供給される噴流はんだは静的な供給であり、静かな流れからなる溶融はんだＳ内を通過させることで、基板２００の電極等にはんだを綺麗に付けるための供給である。

【0034】

本実施の形態では、供給部は第一供給部１２０及び第二供給部１３０を有している。図２に示すように、第一供給部１２０は、第一筐体１２１と、第一筐体１２１の上面に設けられ、溶融はんだＳを供給する１つ又は複数の第一開口部１２６を有する第一供給口１２５と、を有している。第一開口部１２６は第一筐体１２１の上面から上方に突出して設けられてもよい。第二供給部１３０は、第二筐体１３１と、第二筐体１３１の上面に設けられ、溶融はんだＳを供給する１又は複数の第二開口部１３６を有する第二供給口１３５と、を有している。第一筐体１２１と第二筐体１３１とは離間して設けられてもよいが、これらは一体となって設けられてもよい。第一筐体１２１と第二筐体１３１が一体となる場合には、壁面の一部が共有されるようにしてもよい。本実施の形態では、一例として、複数の円形状の第一開口部１２６を有する第一供給口１２５と、１つのスリット状の第二開口部１３６を有する第二供給口１３５とを有してもよい。但し、このような態様に限られることはなく、例えばスリット状の第二開口部１３６は複数設けられてもよく、この場合には、平行して延在する態様で複数のスリット状の第二開口部１３６が設けられてもよい。

【0035】

溶融はんだＳの温度は一般的にははんだの溶融温度＋５０℃程度となっている。近年、部品ダメージの低減及び機械電力消費量削減から、作業温度を下げたいというニーズが高まってきている。また、ＳｎやＡｇの相場が高騰しており、これらを使わないはんだを用いることも検討されてきており、典型的にはＳｎ－３Ａｇ－０．５Ｃｕ（融点２１７℃）の代わりに、Ｓｎ－５８Ｂｉ（融点１３９℃）が用いられることが検討されている。Ｓｎ－５８Ｂｉは低温の共晶はんだである。なお、Ｓｎ－５８Ｂｉを使うと、はんだ付けを２００℃以下の温度で行うことができる。他方、Ｓｎ－５８Ｂｉは価格が安いものの、硬くてもろく、酸化しやすいという性質もあるので、その取扱いが難しい素材ではある。

【0036】

溶融はんだＳを供給している間、第一供給口１２５から供給される溶融はんだＳと、第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳは混合される。このようにして混合された溶融はんだＳは、第一供給口１２５と第二供給口１３５との間において、搬送部５によって搬送される基板２００から離間しない構成になってもよい。

【0037】

本実施の形態では、第一供給口１２５から供給される溶融はんだＳと第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳは一体となり、基板２００の搬送位置よりも高い位置まで噴出される態様となってもよいが、このような態様に限られることはなく、第一供給口１２５から供給される溶融はんだＳと第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳとの間には、基板２００に対して溶融はんだＳが接触しない箇所が設けられ、溶融はんだＳが明確に２段階に分けて噴出される態様となってもよい（特許文献２参照）。

【0038】

一次噴流ノズルである第一開口部１２６から供給される単位時間あたりの溶融はんだＳの総量は、二次噴流ノズルである第二開口部１３６から供給される単位時間あたりの溶融はんだＳの総量と同程度であってもよく、０．８倍以上１．２倍以下となってもよい。

【0039】

第一供給口１２５から供給される溶融はんだＳと第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳが一体になる態様を採用した場合には、一次噴流ノズルである第一開口部１２６から供給される溶融はんだＳは、二次噴流ノズルである第二開口部１３６から供給される溶融はんだＳの面よりも高い位置まで噴出されてもよい。噴出される溶融はんだＳの高さは第一開口部１２６の先端から例えば１０ｍｍ程度である。第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳは第一供給口１２５から供給される溶融はんだＳによって押し上げられるというような状態となる。

【0040】

図２に示すように、貯留槽１１０内の溶融はんだＳ内に少なくとも一部が浸漬し、溶融はんだＳ内で延在する延在部２１０と、延在部２１０が取り付けられた移動本体部２２０が設けられてもよい。また、移動本体部２２０を水平方向で往復移動させることで、延在部２１０を溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動させる移動部２５０（図３及び図４参照）が設けられてもよい。図３及び図４で示すように、移動部２５０と移動本体部２２０とは、連結体２３０を介して互いに連結されてもよい。延在部２１０、移動本体部２２０、連結体２３０及び移動部２５０を含むユニット（アセンブリ）が提供されてもよい。このようなユニットは既存の溶融はんだ装置に後付けで取り付けられるようにしてもよい。本実施の形態の「水平方向で往復移動」とは、水平方向の成分を含んで往復移動すれば足り、水平方向に対して傾斜して往復移動する態様を含んでいる。本実施の形態の「水平方向で往復移動」は完全な水平方向での往復移動であってもよいし、水平方向に対して４５度未満の角度で往復移動する態様であってもよい。

【0041】

延在部２１０は上下方向の位置を変えつつ溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動してもよい。発明者らが確認したところによると、このような態様を採用することで、はんだの酸化物であるドロスの分解を格段に早くすることができた。このため、延在部２１０の上下方向の位置を変えつつ溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動する態様を採用することは極めて有益である。上下方向の変動は１０～３０ｍｍであることが好ましく、１５～２５ｍｍであることがより好ましい。上下方向の変動の大きさは延在部２１０の水平方向での移動速度との兼ね合いになることから、上下方向の変動の大きさ及び水平方向での移動速度の両者を適宜調整するようにしてもよい。但し、このような態様に限られることはなく、延在部２１０は上下方向の位置を変えずに、溶融はんだＳ内において単純に水平方向で往復移動してもよい。

【0042】

延在部２１０は上下方向の位置を変えつつ水平方向で往復移動する態様を採用する場合には、移動本体部２２０をガイドするための波状のガイド部２７０（図１２参照）が設けられてもよい。本実施の形態における「波状」とは、連続的に変化する凹部（谷部）又は凸部（山部）が少なくとも１つ以上存在することを意味し、例えば図２に示す態様では凸部が一つ存在する波状であり、例えば図８に示す態様では凸部が２つ存在し、凸部の間に凹部が１つ存在する波状である。凸部及び凹部の数は特に限られることはなく、適宜変更でき、例えば凸部（山部）が８個設けられ、凹部（谷部）が９個設けられるような態様を採用することもできる。波状のガイド部２７０を採用した場合には、移動本体部２２０が水平方向に移動するだけで、延在部２１０の上下方向の位置が変わることになるので、単純な構成によって、延在部２１０の上下方向の位置の変更を行うことができる。例えば図１２で示すように、移動体２２２がガイド部２７０に沿って移動することで、移動本体部２２０が上下方向の位置の変動を行いつつ、水平方向に沿って移動するようにしてもよい。移動体２２２はボールベアリングであってもよいし、ローラであってもよい。なお、移動部２５０に上下方向に移動可能な機構が設けられており、制御部５０からの指令に従い、移動部２５０によって移動本体部２２０が水平方向に移動されつつ、上下方向の位置が変動されるようにしてもよい。図５Ｂに示す態様では、移動本体部２２０の下方に設けられた移動体２２２がガイド部２７０に沿って移動する態様となっている。図５Ａに示す態様では、後述する第一連結体２１５及び第二連結体２１６の下方に設けられた移動体２２２がガイド部２７０に沿って移動する態様となっている。

【0043】

移動本体部２２０をガイドするためのガイド部２７０が設けられている態様において、移動本体部２２０を下方又は上方への弾性力を付与する弾性部材２６０が設けられてもよい。このような態様を採用することで、確実にガイド部２７０に沿って移動本体部２２０を移動させることができ、ひいては延在部２１０の上下方向の位置の変動を確実に行わせることができる。弾性部材２６０は例えばバネからなってもよい。図７及び図１２で示すように、ガイド部２７０が移動体２２２の下方に設けられている場合には、移動本体部２２０とともに移動する弾性部材２６０が移動体２２２の上方に設けられ上方から移動体２２２を下方に押し付けるようにしてもよいし（図１２で示す態様はこの態様である。）、移動本体部２２０とともに移動する弾性部材２６０が移動体２２２の下方に設けられ下方から移動本体部２２０を下方に引っ張るようにしてもよい（図７で示す態様はこの態様である。）。また、ガイド部２７０が移動体２２２の上方に設けられている場合には、移動本体部２２０とともに移動する弾性部材２６０移動体２２２の上方に設けられ上方から移動本体部２２０を上方に引っ張るようにしてもよいし、移動本体部２２０とともに移動する弾性部材２６０が移動体２２２の下方に設けられ下方から移動体２２２を上方に押し付けるようにしてもよい。

【0044】

延在部２１０の少なくとも一部は非直線形状となってもよく、溶融はんだＳ内に浸される先端側の少なくとも一部が非直線形状となり、根本側は直線形状となってもよい。本願において延在部２１０の先端側とは、延在部２１０の長手方向の中心位置よりも先端側を意味する。延在部２１０は一例として５０ｍｍ程度の長さであることから、５０ｍｍの延在部２１０を用いた場合には、少なくとも先端から２５ｍｍ（例えば３０ｍｍ）の範囲で延在部２１０の少なくとも一部が非直線形状となる。また、延在部２１０の長さは一様ではないが、別の例としては非直線形状が延在部２１０の先端から２０～４０ｍｍの範囲で形成されてもよい。なお、延在部２１０の全体にわたって非直線形状となってもよい。本願の「非直線形状」というのは、延在部２１０の表面又は縦断面が直線形状でない態様のあらゆる態様を含んでいる。発明者らが確認したところ、このように延在部２１０を非直線形状とすることによって、ドロスの分解をさらに早くすることができ、非常に有益な効果があることを確認できた。特に延在部２１０が上下方向に移動する場合には、延在部２１０が溶融はんだＳ内に押し込まれる際に、非直線形状が寄与して、ドロスの分解をさらに促進すると考えられる。非直線形状からなる延在部２１０は、ねじり形状となってもよいし、凹凸形状となってもよいし、表面に凹部及び／又は凸部２１９が設けられてもよい（図１７Ｂ参照）。ねじり形状の一例としてはねじり平鋼形状となってもよいし（図５Ａ及び図１７Ａ参照）、先端が細くなるネジ形状となってもよいし、ボルト形状となってもよい。表面に凹部及び／又は凸部が設けられる形状としては、例えば表面がジグザグ（ギザギザ）形状となってもよい。なお、延在部２１０は必ずしも非直線形状となっている必要はなく、延在部２１０が直線形状となってもよい。また、延在部２１０は上下方向に対して傾斜して延在するようにしてもよい。

【0045】

図３、図４及び図１３等で示すように、貯留槽１１０に設置され、延在部２１０の移動領域と供給部１２０，１３０との間に設けられる仕切部３００が設けられてもよい。延在部２１０の移動領域というのは、平面視した場合に延在部２１０が移動している範囲を意味している。このため、仕切部３００が設けられる場合には、平面視した場合（上方から見た場合）に延在部２１０が移動している範囲と供給部１２０，１３０との間に、仕切部３００の少なくとも一部が設けられることになる。このような仕切部３００を設けることで、溶融はんだＳに溜まったドロスが供給部１２０，１３０側に流れ込むことを防止でき、ある程度固まって存在するドロスを延在部２１０によって効率よく分解させることができるようになる。また、ドロスが供給部１２０，１３０側に移動すると、ドロスが溶融はんだＳとともに循環して、処理している基板２００に付着してしまうおそれがあるが、仕切部３００を設けることによって、そのような問題が発生することを防止できる。

【0046】

仕切部３００は貯留槽１１０に対して取り外し自在に設置されてもよい。このような態様を採用する場合には、ドロスがある程度生成された段階でドロスをヘラ等によって溶融はんだＳ上で移動させた上で、仕切部３００で供給部１２０，１３０との間を隔離することができ、ドロスが供給部１２０，１３０側に流れ込むことを防止できる。このため、簡易な運用によってドロスが供給部１２０，１３０側に移動することを防止できる。また、仕切部３００でドロスの供給部１２０，１３０側への移動が遮断されることから、水平方向で往復移動する延在部２１０による分解の効果を高めることができる。前述したように、延在部２１０が上下方向の位置を変えつつ溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動する態様を採用しつつ、仕切部３００も採用した場合には、ドロスを分解する効果はより一層高いものとなり、非常に有益なものである。

【0047】

仕切部３００は、供給部１２０，１３０と延在部２１０との間で延在部２１０の移動方向（図３及び図４の上下方向）に沿って延在する仕切本体部３１０と、仕切本体部３１０の両端部に設けられ、延在部２１０の移動方向に直交する方向（図３及び図４の左右方向）に延在する一対の仕切側方部３２０を有してもよい。「延在部２１０の移動方向に沿って延在する」というのは、「延在部２１０の移動方向」に平行である必要はなく、「延在部２１０の移動方向」に対して傾斜して延在する態様を含んでいる。一対の仕切側方部３２０は、貯留槽１１０の壁面に平行になるように配置されてもよい。

【0048】

仕切本体部３１０の下端部は、溶融はんだＳの液面よりも２０～８０ｍｍだけ下方の位置（図１３のＤ２参照）になるようにしてもよい（なお、貯留槽１１０の上端から５～１０ｍｍの位置に溶融はんだＳの液面が来ることが典型的である。）。このような位置に下端部を設けることで、溶融はんだＳ内に潜り込んだドロスが仕切部３００の供給部１２０，１３０側と反対側（仕切部３００の内側）に自然に入り込むことが期待できる。このため、自然にドロスを仕切部３００の内側に導くことができ、供給部１２０，１３０によって基板２００を処理しつつ、ドロスの分解を行うということも可能となる。このため、基板２００への処理を停止させることなく、また基板２００への処理を行っていない時間帯に別途動作させることなく、基板２００を処理しながらドロスを分解できる点で有益である。なお、ドロスの分解処理は、一定程度のドロスが溜まった後で行うことが効率的であることから、基板２００を処理しながら、断続的にドロスの分解処理を行うようにしてもよい。

【0049】

溶融はんだＳの液面の高さではなく、仕切本体部３１０との位置関係で述べるとすると、仕切本体部３１０の下端部は、延在部２１０の下端部と同じ位置又は延在部２１０の下端部よりも低い位置であって、貯留槽１１０の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられてもよい。このような態様を採用することで、溶融はんだＳ内に潜り込んだドロスが仕切部３００の供給部１２０，１３０側と反対側（仕切部３００の内側）に自然に入り込み、かつ一度入り込んだドロスが仕切部３００の供給部１２０，１３０側に戻ることを防止することを期待できる。より具体的には、貯留槽１１０の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に仕切本体部３１０の下端部を位置付けることで溶融はんだＳ内に潜り込んだドロスを仕切部３００の供給部１２０，１３０側と反対側（仕切部３００の内側）に自然に入り込ませることができ、また延在部２１０の下端部と同じ位置又は延在部２１０の下端部よりも仕切本体部３１０の下端部を下方側に位置付けることで一度入り込んだドロスが仕切部３００の供給部１２０，１３０側に戻ることを防止することができる。なお、延在部２１０が上下方向に位置を変えて水平方向で移動する態様を採用した場合には、延在部２１０の上下方向の中心位置と比較すればよく、延在部２１０が上下方向の中心位置に位置付けられている際において、仕切本体部３１０の下端部は、延在部２１０の下端部と同じ位置又は延在部２１０の下端部よりも低い位置であって、貯留槽１１０の底面から１０ｍｍ～２００ｍｍの位置に位置付けられるようにすることが有益である。

【0050】

図１３で示すように、仕切本体部３１０の中央部を含む領域には凹部３１５が設けられてもよい。このような態様を採用することで、供給部１２０，１３０から噴流によって供給される溶融はんだＳを目視しやすくなり、基板２００の相対的な高さ位置を調整しやすくなる。特に基板２００を処理しながらドロスを分解するという態様を採用する場合には、供給部１２０，１３０から噴流によって供給される溶融はんだＳを目視できることに対するニーズは高い。なお、凹部３１５は仕切本体部３１０の全体の長さの５０％以上であってもよいし、７０％以上であってもよいし、８０％以上であってもよい。上限は１００％であってもよいし、９０％であってもよい。

【0051】

仕切側方部３２０の高さは仕切本体部３１０の高さよりも高くなってもよい。生成されたドロスは延在部２１０の動きによって、延在部２１０の移動方向に沿って押し流されることになる。この結果、ドロスは仕切側方部３２０が設けられている側方側で溜まる傾向にあり、当該側方側において貯留槽１１０から流れ出てしまう可能性がある。この点、仕切側方部３２０の高さを高くすることで、このような問題が発生することを防止できる。仕切側方部３２０の高さは仕切本体部３１０の高さよりも２０～５０ｍｍほど高くなってもよい。但し、仕切側方部３２０が設けられていない態様を採用することもでき、その場合には、仕切部３００が仕切本体部３１０だけから構成されることになる。また、仕切側方部３２０は一対である必要はなく、仕切本体部３１０の一端にだけ仕切側方部３２０が設けられるようにしてもよい。

【0052】

仕切側方部３２０の上端部は取り外し可能となってもよい。仕切側方部３２０の上端部は基板２００を搬送した後で外側に回り込む搬送部５と干渉する可能性がある（特願２０２２－９４８２９号の例えば図１参照）。このように仕切側方部３２０が搬送部５と干渉すると、仕切側方部３２０が破損することになるが、仕切側方部３２０の上端部が取り外し可能となることで、交換する部分を少なくすることができ、コストを削減することができる点で有益である。

【0053】

延在部２１０、移動本体部２２０、連結体２３０及び移動部２５０を含むユニットが設けられている側に向かって溶融はんだＳが流れるような構成を採用してもよい。例えば、第一供給口１２５及び第二供給口１３５の延在部２１０が設けられている側と反対側に上方に突出した堰１４０を設け（図３及び図４参照）、第一供給口１２５及び第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳが延在部２１０の設けられている側（図３及び図４の左側）に導かれるようにしてもよい。また上流側調整部１８１及び下流側調整部１８２が延在部２１０が設けられている側（図３及び図４の左側）に向かって下がるように傾斜しており、第一供給口１２５及び第二供給口１３５から供給される溶融はんだＳが延在部２１０の設けられている側に導かれるようにしてもよい。

【0054】

本実施の形態では、延在部２１０は噴流はんだ付け装置１００の貯留槽１１０に設置される態様を主に用いて説明するが、このような態様に限られることはなく、噴流はんだ付け装置１００とは別の分離装置２９０に延在部２１０が設置されてもよい（図１４参照）。この場合には、分離装置２９０がはんだ処理装置に該当することになる。分離装置２９０を採用する場合には、ドロスの発生した溶融はんだＳを分離装置２９０に移し、ドロスの発生した溶融はんだＳが分離装置２９０で分離されることになる。なお、図１４において、分離装置２９０の貯留槽は符号２９１で示されている。

【0055】

延在部２１０は、水平方向の一方側（一例としては基板２００の搬送方向Ａの上流側：図２の左側）に設けられた第一延在部２１１と、水平方向の他方側（一例としては基板２００の搬送方向Ａの下流側：図２の右側に設けられた第二延在部２１２とを有してもよい。第一延在部２１１は移動本体部２２０の一方側端部に設けられ、第二延在部２１２は移動本体部２２０の他方側端部に設けられてもよい。移動本体部２２０の一方側端部とは、移動本体部２２０の全長をＬとした場合、移動本体部２２０の一方側端部から２０％の範囲の領域を意味し、一方側端部から０．２Ｌの範囲の領域を意味する。同様に、移動本体部２２０の他方側端部とは、移動本体部２２０の他方側端部から２０％の範囲の領域を意味し、他方側端部から０．２Ｌの範囲を意味する。このように第一延在部２１１及び第二延在部２１２を有する場合には、移動部２５０は、第一延在部２１１及び第二延在部２１２を溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動させることになる。このような態様に限られることはなく、第一延在部２１１と第二延在部２１２との間に設けられた第三延在部２１３が設けられてもよいし（図９参照）、移動本体部２２０の水平方向における一箇所だけに延在部２１０が設けられてもよい（図８参照）。

【0056】

延在部２１０が設けられる箇所はこのような態様に限られることはなく、水平方向において、移動本体部２２０の４か所以上の箇所に移動本体部２２０が設けられてもよい。本実施の形態では、延在部２１０が基板２００の搬送方向Ａに沿って水平方向で往復移動する態様を用いて説明するが、このような態様に限られることはなく、例えば基板２００の搬送方向Ａに直交する方向に沿って、延在部２１０が水平方向で往復移動する態様を採用してもよい（図１５及び図１６参照）。但し、この場合には、基板２００の下方側に延在部２１０が設けられることから、基板２００と接触する可能性が発生してしまう。この観点からすると平面視において基板２００の搬送領域とは重複しない箇所で延在部２１０が水平方向で往復移動する態様を採用することが好ましい。

【0057】

図７に示すように、移動部２５０は、駆動モータ２５１と、駆動モータ２５１によって水平方向で移動される駆動ベルト２５２とを有してもよい。駆動モータ２５１には駆動ギア２５３が設けられており、駆動ギア２５３は駆動ベルト２５２を介して従動側の駆動ギア２５４に連結されている（図５Ｂも参照）。駆動ベルト２５２には上下方向に延在する連結体２３０が連結されており、連結体２３０が移動本体部２２０にネジ等の締結部材を介して固定されている。駆動モータ２５１が回転することで駆動ベルト２５２が回転し、その結果として連結体２３０が水平方向に移動され、連結体２３０に連結された移動本体部２２０が水平方向に移動されることになる。なお、移動部２５０としては別の態様を採用することもでき、例えば連結体２３０をシリンダによって水平方向に移動させるような態様（例えば油圧式シリンダ）を用いることもできる（図３及び図４参照）。図３及び図４に示す態様では、油圧式シリンダからなる移動部２５０がシリンダを伸縮することで連結体２３０が水平方向に移動されることになる。また、移動部２５０としてはアクチュエータを用いてもよく、一軸スライダーロボットを用いてもよい。アクチュエータとしては、モータの回転力を駆動機構に伝えることで、回転運動を直線運動に変換するようにしてもよい。

【0058】

ドロスを分離するための延在部２１０の水平方向の移動は基板２００にはんだ付けをしながら行われてもよいし、基板２００へのはんだ付けが行われていない間に行われてもよい。ドロスを分離するための延在部２１０の水平方向の移動は１回に２～５分程度であってもよいし、常時行われてもよい。延在部２１０を水平方向に移動させることはドロスが塊になることを抑制することにもつながる。ドロスの分離を促進したい場合には水平方向の往復移動速度を速くするようにしてもよい。移動速度は、例えば２～２０ｍ／分であり、好ましくは下限値が４ｍ／分であり、上限値が１５ｍ／分である。塊となっておらず分離されたドロスは作業者が手動で取り除いてもよいし、特許文献２で示されているようなスクリュウと集積箱を設けて自動で回収されるようにしてもよい。

【0059】

第一延在部２１１は、複数の第一延在部材２１１ａを含んでもよい。第一延在部材２１１ａは連結体２３０の移動方向の法線方向に沿って平行に設けられてもよい（図３及び図４参照）。第二延在部２１２も、複数の第二延在部材２１２ａを含んでもよい。第二延在部材２１２ａは移動方向の法線方向に沿って平行に設けられてもよく、延在部材２１１ａ,２１２ａの間隔の各々は略同一であってもよい。本願において「間隔が略同一」とは、最も大きな間隔Ａに対して１０％以内の間隔にあることを意味し、延在部材２１１ａ,２１２ａの各々の間隔が０．９Ａ以上１．１Ａ以下になることを意味している。延在部材２１１ａ,２１２ａの間隔は例えば１０～３０ｍｍ程度である。但し、延在部材２１１ａ,２１２ａの先端側が非直線形状となっている場合には、延在部材２１１ａ,２１２ａの全体が直線形状となっている態様と比較して、延在部材２１１ａ,２１２ａの間隔を広めに設定するようにしてもよい。図３及び図４では３つの延在部材２１１ａ,２１２ａが示されているが、このような態様に限られることはなく、延在部材２１１ａ,２１２ａは２又は４以上で設けられてもよい。延在部材２１１ａ,２１２ａの各々はブレード、スパチュラ、へら等からなってもよく、その厚みは０．１～０．３ｍｍ程度であってもよい。なお、往復移動の速度が遅い場合には延在部材２１１ａ,２１２ａの間隔を小さくし、往復移動の速度が速い場合には延在部材２１１ａ,２１２ａの間隔を大きくするようにしてもよい。第一延在部材２１１ａ及び第二延在部材２１２ａとしては同じ部材・形状を採用してもよいし、異なる部材・形状を採用してもよい。なお、延在部材が一つしか設けられない場合には延在部材と延在部２１０は同じ意味となる。このため、第一延在部材２１１ａが一つしか設けられない場合には第一延在部材２１１ａと第一延在部２１１は同じ部材を意味することになり、同様に、第二延在部材２１２ａが一つしか設けられない場合には第二延在部材２１２ａと第二延在部２１２は同じ部材を意味することになる。

【0060】

第一延在部材２１１ａ及び第二延在部材２１２ａの各々は、ネジ等の締結部材２４０を介して移動本体部２２０に連結されてもよい（図２、図４、図６Ａ及び図６Ｂ参照）。また、第一延在部材２１１ａの各々は、水平方向に延在する第一連結体２１５と一体に構成され、第一連結体２１５がネジ等の締結部材２４０を介して移動本体部２２０に連結されてもよい（図５Ａ、図５Ｂ及び図３参照）。同様に、第二延在部材２１２ａの各々は、水平方向に延在する第二連結体２１６と一体に構成され、第二連結体２１６がネジ等の締結部材２４０を介して移動本体部２２０に連結されてもよい。図５Ａでは、第一延在部材２１１ａ及び第一連結体２１５と、第二延在部材２１２ａ及び第二連結体２１６とをまとめて図示しているが、符号２１１ａが用いられる場合には符号２１５が用いられることになり、符号２１２ａが用いられる場合には符号２１６が用いられることになる。

【0061】

また、移動本体部２２０の一箇所だけに延在部２１０が設けられる場合や第三延在部２１３が設けられる場合も同様である。移動本体部２２０の一箇所だけに延在部２１０が設けられる場合には、当該延在部２１０は、複数の延在部材２１０ａを含んでもよく、延在部材２１０ａは移動方向の法線方向に沿って平行に設けられてもよく、延在部材２１０ａの間隔は略同一であってもよい（図１１参照）。第三延在部２１３が設けられる場合には、第三延在部２１３は、複数の第三延在部材を含んでもよく、第三延在部材は移動方向の法線方向に沿って平行に設けられてもよく、第三延在部材２１３ａの間隔は略同一であってもよい（図１０参照）。なお、第一延在部２１１及び第二延在部２１２との間には第三延在部２１３の他に、第四延在部、第五延在部等の２つ以上の延在部２１０が設けられてもよい。

【0062】

移動部２５０は、貯留槽１１０の内側壁から５ｃｍ以下の距離まで延在部２１０の端部を移動させるようにしてもよい。第一延在部２１１及び第二延在部２１２が設けられている場合には、第一延在部２１１の端部（図３及び図４の上方側端部）を移動させ、貯留槽１１０の他方側の内側壁から５ｃｍ以下の距離まで第二延在部２１２の端部（図３及び図４の下方側端部）を移動させる構成としてもよい（図３の矢印Ｄ１参照）。このような態様を採用することで、貯留槽１１０の両端部近傍まで延在部２１０を移動させることができる。また、第二延在部２１２が溶融はんだＳ内で移動することで作り出された溶融はんだＳを第一延在部２１１によって分解することができ、同様に、第一延在部２１１が溶融はんだＳ内で移動することで作り出された溶融はんだＳを第二延在部２１２によって分解することができる。このため、ドロスが塊になることをより効果的に抑制できる。

【0063】

延在部２１０は３ｃｍ以上の長さで溶融はんだＳ内に浸漬してもよく、好ましくは５ｃｍ以上の長さで溶融はんだＳ内に浸漬してもよく、さらに好ましくは１０ｃｍ以上の長さで溶融はんだＳ内に浸漬してもよい。複数の延在部材２１０ａ，２１１ａ，２１２ａ，２１３ａが設けられる場合には、延在部材２１０ａ，２１１ａ，２１２ａ，２１３ａの各々が３ｃｍ以上の長さ、５ｃｍ以上の長さ又は１０ｃｍ以上の長さで溶融はんだＳ内に浸漬してもよい。

【0064】

延在部２１０が熱伝導性材料からなってもよい。一例としては、延在部２１０はステンレス、鋼鉄、鋳鉄、チタン合金、マグネシウム合金等からなってもよい。延在部２１０の熱伝導率は１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上となることが有益であり、１３Ｗ／ｍ・Ｋ以上となることがさらに有益であり、１５Ｗ／ｍ・Ｋ以上となることがさらにより有益である。延在部２１０がこのように熱伝導性の高い材料からなることで、溶融はんだＳの熱を延在部２１０に持たせることができる。酸化くず（ドロス）の比重は軽いことから、溶融はんだＳの上面に浮かぶことになるが、延在部２１０として熱伝導性の高い材料を採用することで、溶融はんだＳの上面側に位置するドロスに熱を加えることで、ドロスを効果的に分解することができるようになる。複数の延在部材２１０ａ，２１１ａ，２１２ａ，２１３ａが設けられる場合には、延在部材２１０ａ，２１１ａ，２１２ａ，２１３ａの各々が熱伝導性材料からなってもよい。

【0065】

特にはんだとしてＳｎ－５８Ｂｉ（Ｂｉ５８Ｓｎ４２）を用いた場合には、ＳＡＣ３０５（Ｓｎ９６．５Ａｇ３．０Ｃｕ０．５）を用いた場合と比較して酸化くずの発生がかなり多くなった。このため、本実施の形態のような延在部２１０を採用することはＳｎ－５８Ｂｉを用いる場合には特に有益なものとなっている。

【0066】

なお、ドロスの分離を促進するために、酸化分離剤として、米糠、ふすま、麦糠、豆類、ゴマ、ヒマワリ、ヤシ、菜種、植物油、木粉等の糖類等や、松脂、塩化アンモニューム、アミンのハロゲン化物等を溶融はんだＳに提供するようにしてもよい。発明者らが確認したところによると、ゴマを用いることが特に有益であった。さらに言えば、ゴマを用いつつ、延在部２１０が上下方向の位置を変えつつ溶融はんだＳ内において水平方向で往復移動させ、かつ仕切部３００も採用した場合には、ドロスを非常に迅速に分解でき、格段に優れた効果を得ることを確認できた。

【0067】

上述した実施の形態の記載及び図面の開示は、特許請求の範囲に記載された発明を説明するための一例に過ぎず、上述した各実施の形態の記載又は図面の開示によって特許請求の範囲に記載された発明が限定されることはない。また、出願当初の請求項の記載はあくまでも一例であり、明細書、図面等の記載に基づき、請求項の記載を適宜変更することもできる。

【符号の説明】

【0068】

１１０ 貯留槽
１２０，１３０ 供給部
２１０ 延在部
２１１ 第一延在部
２１２ 第二延在部
２１９ 凸部
２２０ 移動本体部
２５０ 移動部
２６０ 弾性部材
２７０ ガイド部
３００ 仕切部
３１０ 仕切本体部
３１５ 凹部
３２０ 仕切側方部
Ｓ 溶融はんだ

【要約】

【課題】従来の態様と比べ、ドロスの分解をより効果的に行うことができるはんだ処理装置を提供する。
【解決手段】はんだ処理装置は、溶融はんだを収容する貯留槽１１０と、前記貯留槽１１０内の溶融はんだ内で少なくとも一部が延在し、上下方向の位置を変えつつ、溶融はんだ内において水平方向で往復移動する延在部２１０と、を有する。
【選択図】図２

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5A】

【図5B】

【図6A】

【図6B】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17A】

【図17B】