特許 7333944 流体制御装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-18

(45)【発行日】2023-08-28

(54)【発明の名称】流体制御装置

(51)【国際特許分類】

   F16L 53/30 20180101AFI20230821BHJP

【ＦＩ】

F16L53/30

【請求項の数】 4

(21)【出願番号】P 2019120135

(22)【出願日】2019-06-27

(65)【公開番号】P2021004669

(43)【公開日】2021-01-14

【審査請求日】2022-05-19

(73)【特許権者】

【識別番号】390033857

【氏名又は名称】株式会社フジキン

(74)【代理人】

【識別番号】100183380

【弁理士】

【氏名又は名称】山下 裕司

(74)【代理人】

【識別番号】110000279

【氏名又は名称】弁理士法人ウィルフォート国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】船引 輝幸

(72)【発明者】

【氏名】高澤 竜平

【審査官】▲高▼藤 啓

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／０５９０４３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２０１８／０７９２８８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】韓国公開実用新案第２０－２０１２－０００１９１５（ＫＲ，Ｕ）

【文献】国際公開第２０１１／０５５４３０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許出願公開第２０１７／０２３８３６５（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平０６－２１６５５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－０１３８１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０６５４６２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｌ ５３／３０－５３／３８

Ｈ０１Ｌ ２１／０２

Ｆ１６Ｋ ４９／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

金属プレートと、
前記金属プレートを加熱するためのヒータと、
前記金属プレートの設置面に設けられ、所定の方向に沿って延び、流路が形成された第１継手ブロックおよび第２継手ブロックと、
前記第１継手ブロックと前記第２継手ブロックとの間を前記所定の方向に沿って延びる 第１配管と、
前記金属プレートの前記設置面に設けられた伝熱カバーと、
前記第１配管を跨いで、前記第１継手ブロックおよび前記第２継手ブロックに装着される第１流体制御機器と、を備え、
前記伝熱カバーは、横断面形状が矩形状をなし、前記所定の方向に延び、前記第１配管の外周に、互いに当接して装着される第１カバー部材および第２カバー部材を有し、
前記第１カバー部材は、前記第１配管の横断面における一部を覆い、前記金属プレートの前記設置面に当接する第１当接面を有し、
前記第２カバー部材は、前記第１配管の横断面における他部を覆い、前記第１流体制御機器に当接する第２当接面を有する流体制御装置。

【請求項2】

第２配管および第３配管と、
前記金属プレートの前記設置面に設けられ、所定の方向に沿って延び、流路が形成された第３継手ブロックおよび第４継手ブロックと、
第２流体制御機器と、をさらに備え、
前記第１継手ブロックには、前記第２配管が接続され、
前記第３継手ブロックは、前記第１配管における流体の流れの下流側の端部に接続され、
前記第２継手ブロックは、前記第１配管の前記金属プレート上の部分および前記第３継手ブロックに沿って延び、
前記第４継手ブロックは、前記第３継手ブロックの前記第２継手ブロック側に対する反対側に設けられ、
前記第３配管は、前記第４継手ブロックに接続され、
前記第２流体制御機器は、前記第２継手ブロック、前記第３継手ブロック、および前記第４継手ブロックに接続されている、請求項１に記載の流体制御装置。

【請求項3】

前記第１カバー部材は、横断面において、前記第１配管の前記金属プレート側の部分を覆う第１部分と、前記第１部分の、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における一方側の端部から前記第１流体制御機器まで延びる第２部分と、を有し、
前記第２カバー部材は、横断面において、前記第１配管の前記第１流体制御機器側の部分を覆い、前記第１部分の、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における他方側の端部および前記第２部分に当接する、請求項２に記載の流体制御装置。

【請求項4】

前記第２カバー部材は、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における他方側から、前記第２カバー部材を貫通する固定具により、前記第１カバー部材に対し固定されている、請求項３に記載の流体制御装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、流体制御装置に関する。

【背景技術】

【0002】

流体が流れる配管に装着されるカバーが提案されている（例えば、特許文献１参照）。当該カバーは、一体化状態では円筒状をなす分割カバーにより構成されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１５－２０６４６４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかし、特許文献１のカバーは円筒状をなしているため、流体制御装置において、ヒータの熱を配管および流体制御機器に伝達するために当該カバーを使用した場合には、配管および流体制御機器にヒータの熱を伝達することができない。

【0005】

そこで本開示は、ヒータの熱を配管および流体制御機器に確実に伝達することができる流体制御装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を解決するために、本開示の一態様である流体制御装置は、金属プレートと、前記金属プレートを加熱するためのヒータと、前記金属プレートの設置面に設けられ、所定の方向に沿って延び、流路が形成された第１継手ブロックおよび第２継手ブロックと、前記第１継手ブロックと前記第２継手ブロックとの間を前記所定の方向に沿って延びる 第１配管と、前記金属プレートの前記設置面に設けられた伝熱カバーと、前記第１配管を跨いで、前記第１継手ブロックおよび前記第２継手ブロックに装着される第１流体制御機器と、を備え、前記伝熱カバーは、横断面形状が矩形状をなし、前記所定の方向に延び、前記第１配管の外周に、互いに当接して装着される第１カバー部材および第２カバー部材を有し、前記第１カバー部材は、前記第１配管の横断面における一部を覆い、前記金属プレートの前記設置面に当接する第１当接面を有し、前記第２カバー部材は、前記第１配管の横断面における他部を覆い、前記第１流体制御機器に当接する第２当接面を有する。

【0007】

第２配管および第３配管と、前記金属プレートの前記設置面に設けられ、所定の方向に沿って延び、流路が形成された第３継手ブロックおよび第４継手ブロックと、第２流体制御機器と、をさらに備え、前記第１継手ブロックには、前記第２配管が接続され、前記第３継手ブロックは、前記第１配管における流体の流れの下流側の端部に接続され、前記第２継手ブロックは、前記第１配管の前記金属プレート上の部分および前記第３継手ブロックに沿って延び、前記第４継手ブロックは、前記第３継手ブロックの前記第２継手ブロック側に対する反対側に設けられ、前記３配管は、前記第４継手ブロックに接続され、前記第２流体制御機器は、前記第２継手ブロック、前記第３継手ブロック、および前記第４継手ブロックに接続されていてもよい。

【0008】

前記第１カバー部材は、横断面において、前記第１配管の前記金属プレート側の部分を覆う第１部分と、前記第１部分の、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における一方側の端部から前記第１流体制御機器まで延びる第２部分と、を有し、前記第２カバー部材は、横断面において、前記第１配管の前記第１流体制御機器側の部分を覆い、前記第１部分の、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における他方側の端部および前記第２部分に当接してもよい。

【0009】

前記第２カバー部材は、前記設置面に平行かつ所定の方向に直交する方向における他方側から、前記第２カバー部材を貫通する固定具により、前記第１カバー部材に対し固定されていてもよい。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、ヒータの熱を配管および流体制御機器に確実に伝達することができる流体制御装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】実施形態に係る流体制御装置の斜視図である。

【図2】カバーを外した状態の流体制御装置の斜視図である。

【図3】カバーおよび複数の流体制御機器を外した状態の流体制御装置１の斜視図である。

【図4】（ａ）は、第１配管、伝熱カバー、および第３継手ブロックの斜視図であり、（ｂ）は、伝熱カバーの正面図である。

【図5】伝熱カバーの分解斜視図である。

【図6】伝熱カバーの組立の説明図である。

【図7】半導体製造装置の概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

本開示の実施形態に係る流体制御装置１について、図面を参照して説明する。

【0013】

図１は、本実施形態に係る流体制御装置１の斜視図である。
図２は、カバー３を外した状態の流体制御装置１の斜視図である。
図３は、カバー３および複数の流体制御機器４０～４４を外した状態の流体制御装置１の斜視図である。
図１～３において、左下側が一次側であり、右上側が二次側である。以下の説明における上下は、図１～３の上下とし、流体制御装置１において流体が一次側から二次側へ向かう方向を第１方向Ｄ１とし、設置面６Ｂに平行でかつ第１方向Ｄ１に直交する方向を第２方向Ｄ２とする。

【0014】

図１～３に示すように、流体制御装置１は、ベースプレート２と、カバー３と、複数の熱電対４、５と、金属プレート６と、カートリッジヒータ７と、サーモスタット８と、複数の継手ブロック１０～１８と、伝熱ブロック１９と、複数の配管２０～２６と、複数の伝熱カバー３０、３０と、複数の流体制御機器４０～４４と、を備えている。

【0015】

ベースプレート２は、ステンレス鋼等の金属材料により構成され、一方の面が開口する平箱状をなしている。

【0016】

カバー３は、金属プレート６、カートリッジヒータ７、複数の継手ブロック１０～１９、複数の配管２０～２６の一部、複数の伝熱カバー３０、３０、および複数の流体制御機器４０～４４の一部を覆うように、ベースプレート２に装着されている。カバー３は、複数の継手ブロック１０～１９および複数の流体制御機器４０～４４の温度を所定の温度に維持するために設けられている。

【0017】

熱電対４、５は、流路および金属プレート６の温度を測定するために、三方弁４３に装着されたブラケットと金属プレート６に固定されている。熱電対４の先端部は三方弁４３のボディに挿入され、熱電対５の先端部は金属プレート６に挿入されている。

【0018】

金属プレート６は、例えばアルミニウム合金等により構成され、平板状をなし、装着治具６Ａにより、ベースプレート２に装着されている。金属プレート６は、設置面６Ｂを有する。

【0019】

カートリッジヒータ７は、金属プレート６に挿入されており、電源ケーブル７Ａが接続されている。カートリッジヒータ７によって、金属プレート６が例えば１００～２５０℃に加熱される。

【0020】

サーモスタット８は、金属プレート６に装着され、複数の流体制御機器４０～４４が所定の温度を超えないようにカートリッジヒータ７を制御する。

【0021】

図２、３に示すように、複数の継手ブロック１０～１８は、第１～９継手ブロック１０～１８を有する。

【0022】

第１継手ブロック１０は、図示せぬボルトにより、金属プレート６の設置面６Ｂの一次側に固定されている。第１継手ブロック１０は、横断面が略矩形状をなし、所定の方向である第１方向Ｄ１に沿って延びている。第１継手ブロック１０には、略Ｌ字状をなす流路１０ａが形成されている。流路１０ａの一端は、第１継手ブロック１０の第１方向Ｄ１に沿った端部の側面１０Ｂに開口している。流路１０ａの他端は、第１継手ブロック１０の設置面６Ｂ側の面に対して反対側に位置する上面１０Ｃに開口している。

【0023】

第３～６、８、９継手ブロック１２～１５、１７、１８は、第１継手ブロック１０を同形状なしている。よって、第３～６、８、９継手ブロック１２～１５、１７、１８には、側面１２Ｂ～１５Ｂ、１７Ｂ、１８Ｂおよび上面１２Ｃ～１５Ｃ、１７Ｃ、１８Ｃに開口する流路１２ａ～１５ａ、１７ａ、１８ａが形成されている。なお、第３、５、６、８継手ブロック１２、１４、１５、１７は、第１方向Ｄ１において、第１継手ブロック１０が固定された向きと同じ向きに設置面６Ｂに固定されている。第４、９継手ブロック１３、１８は、第１方向Ｄ１において、第１継手ブロック１０が固定された向きに対して反対向きに設置面６Ｂに固定されている。

【0024】

第２継手ブロック１１は、第２方向Ｄ２において、第１継手ブロック１０から間隔を空けて設置面６Ｂに固定されている。第２継手ブロック１１は、平面視で略Ｌ字状をなし、その長手方向（第１方向Ｄ１）の長さは、第１継手ブロック１０の第１方向Ｄ１の約２倍の長さを有する。第２継手ブロック１１の一次側の部分の幅は、第１継手ブロック１０の第２方向Ｄ２の約２倍の幅を有する。第２継手ブロック１１の二次側の部分の幅は、第１継手ブロック１０の第２方向Ｄ２の幅と同じである。第２継手ブロック１１には、２つの流路１１ａ、１１ｂが形成されている。一方の流路１１ａは、第１方向Ｄ１に沿って形成され、両端が上面１１Ｃに開口している。他方の流路１１ｂは、第２方向Ｄ２に沿って形成され、両端が上面１１Ｃに開口している。流路１１ａ、１１ｂの開口のうちの一方は共通しているので、流路１１ａ、１１ｂは、上面１１Ｃの３か所で開口している。

【0025】

第３継手ブロック１２は、第２方向Ｄ２における第２継手ブロック１１の隣であって金属プレート６の設置面６Ｂの二次側に固定されている。

【0026】

第４継手ブロック１３は、第２方向Ｄ２における第３継手ブロック１２の隣であって第１ブロック１１の二次側に位置して、金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。

【0027】

第５継手ブロック１４は、第２方向Ｄ２において、第２継手ブロック１１から間隔を空けて金属プレート６の設置面６Ｂの一次側に固定されている。

【0028】

第６継手ブロック１５は、第２方向Ｄ２において、第５継手ブロック１４の隣に位置し、金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。

【0029】

第７継手ブロック１６は、第２方向Ｄ２において、第６継手ブロック１５から間隔を空けて金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。第７継手ブロック１６は、その長手方向（第１方向Ｄ１）の長さは、第１継手ブロック１０の第１方向Ｄ１の約２倍の長さを有する。第７継手ブロック１６の第２方向Ｄ２の幅は、第１継手ブロック１０の第２方向Ｄ２の幅と同じである。第７継手ブロック１６には、第１方向Ｄ１に沿って流路１６ａが形成され、その両端は上面１６Ｂに開口している。

【0030】

第８継手ブロック１７は、第２方向Ｄ２における第７継手ブロック１６の隣であって金属プレート６の設置面６Ｂの二次側に固定されている。

【0031】

第９継手ブロック１８は、第２方向Ｄ２における第８継手ブロック１７の隣であって第６継手ブロック１５の二次側に位置して、金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。

【0032】

伝熱ブロック１９は、第５継手ブロック１４と第６継手ブロック１５との間に位置し、金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。

【0033】

第１～９継手ブロック１０～１８の流路１０ａ～１８ａ、１１ｂにおいて、一次側の開口は第２方向Ｄ２において略一直線に並び、二次側の開口は第２方向Ｄ２において略一直線に並んでいる。第１～９継手ブロック１０～１８の上面１０Ｃ～１５Ｃ、１６Ｂ、１７Ｃ、１８Ｃおよび伝熱ブロック１９の上面１９Ａは、面一に構成されている。

【0034】

複数の配管２０～２６は、第１～７配管２０～２６を有する。第１～５配管２０～２４は、一次側に位置して入口配管として機能する。第６、７配管２５、２６は、二次側に位置して出口配管として機能する。

【0035】

第１配管２０は、第１継手ブロック１０と第２継手ブロック１１との間を第１方向Ｄ１に沿って延び、第３継手ブロック１２に接続されている。第２継手ブロック１１は、第１配管２０の金属プレート６上の部分および第３継手ブロック１２に沿って延びている。

【0036】

第２配管２１は、略Ｚ形状をなし、第１継手ブロック１０に接続されている。第３配管２２は、第５継手ブロック１４に接続されている。第４配管２３は、略Ｚ形状をなし、第６継手ブロック１５に接続されている。

【0037】

第５配管２４は、第６継手ブロック１５と第７継手ブロック１６との間を第１方向Ｄ１に沿って延び、第８継手ブロック１７に接続されている。

【0038】

第６配管２５は、第４継手ブロック１３に接続されている。第７配管２６は、第９継手ブロック１８に接続されている。

【0039】

複数の伝熱カバー３０、３０は、金属プレート６の設置面６Ｂに固定されている。一方の伝熱カバー３０は、第１配管２０の金属プレート６の設置面６Ｂ上に位置する部分の外周を覆っている。他方の伝熱カバー３０は、第５配管２４の金属プレート６の設置面６Ｂ上に位置する部分の外周を覆っている。伝熱カバー３０、３０の詳細な構成については後述する。

【0040】

複数の流体制御機器４０～４４は、一次側に位置する流体駆動式の二方弁４０～４２と、二次側に位置する流体駆動式の三方弁４３、４４とを有する。

【0041】

二方弁４０～４２は、第１、２、５～７継手ブロック１０、１１、１４～１６上にボルト４５によりそれぞれ固定されている。各二方弁４０～４２のボディの流入路および流出路は、対応する第１、２、５～７継手ブロック１０、１１、１４～１６の流路１０ａ、１１ａ、１１ｂ、１４ａ～１６ａに連通している。

【0042】

三方弁４３、４４は、第２～５、７～９継手ブロック１１～１３、１６～１８上にボルト４５によりそれぞれ固定されている。各三方弁４３、４４のボディの流入路および流出路は、対応する第２～５、７～９継手ブロック１１～１３、１６～１８の流路１１ａ～１３ａ、１６ａ～１８ａに連通している。

【0043】

次に、伝熱カバー３０、３０の構成について図４～図６を参照して説明する。本実施形態では、第１配管２０に装着された伝熱カバー３０と、第５配管２４に装着された伝熱カバー３０とがあるが、両者は同様の構成であるので、第１配管２０に装着された伝熱カバー３０についてのみ説明する。

【0044】

図４（ａ）は、第１配管２０、伝熱カバー３０、および第３継手ブロック１２の斜視図であり、（ｂ）は、伝熱カバー３０の正面図である。
図５は、伝熱カバー３０の分解斜視図である。
図６は、伝熱カバー３０の組立の説明図である。

【0045】

図４、５に示すように、伝熱カバー３０は、第１カバー部材３１と第２カバー部材３２と４本のボルト３５を備え、横断面形状（正面視の形状）が矩形状をなし、第１方向Ｄ１に沿って延びている。第１カバー部材３１と第２カバー部材３２は、第１配管２０の外周に互いに当接した状態で装着されている。第１カバー部材３１と第２カバー部材３２は、伝熱性に優れた金属材料または樹脂材料により構成され、例えばアルミニウム合金により構成されている。

【0046】

第１カバー部材３１は、横断面において、第１配管２０の金属プレート６側の部分を覆う第１部分３３と、第１部分３３における第１継手ブロック１０側（第２方向Ｄ２における一方側）の端部から第１流体制御機器４０まで延びる第２部分３４とを有する。第１カバー部材３１は、横断面において、略Ｌ字状をなしている。

【0047】

第１部分３３は、金属プレート６の設置面６Ｂに当接する第１当接面３３Ａを有する。第１部分３３は、第１配管２０の外周に沿う第１内周面３３Ｂと、第２継手ブロック１１側（第２方向Ｄ２における他方側）に位置し第２カバー部材３２に当接する第１端面３３Ｃとを有する。第１部分３３には、２箇所にボルト挿通孔３３ｄが形成されている。第１カバー部材３１は、ボルト３５をボルト挿通孔３３ｄに挿通させることによって、金属プレート６に固定される。

【0048】

第２部分３４は、第１流体制御機器４０に当接する第２端面３４Ａと、第２カバー部材３２に当接する内側面３４Ｂとを有する。第２部分３４には、２箇所にボルト螺合孔３４ｃが形成されている。

【0049】

第２カバー部材３２は、横断面において、第１配管２０の第１流体制御機器４０側の部分を覆い、第１流体制御機器４０に当接する第２当接面３２Ａを有する。本実施形態では、第２当接面３２Ａは、第２端面３４Ａと面一に構成されているが、第２当接面３２Ａが、第２端面３４Ａよりも第１流体制御機器４０側へ出ていてもよい。第２カバー部材３２は、第１配管２０の外周に沿う第２内周面３２Ｂと、第２継手ブロック１１側に位置し第１端面３３Ｃに当接する第３端面３２Ｃと、内側面３４Ｂに当接する第４端面３２Ｄとを有する。

【0050】

第２カバー部材３２には、第２継手ブロック１１側から、第２カバー部材３２を貫通するボルト挿通孔３２ｅが２箇所に形成されている。第２カバー部材３２は、ボルト３５をボルト挿通孔３２ｅに挿通させボルト螺合孔３４ｃに螺合させることにより、第１カバー部材３１に固定される。なお、第１カバー部材３１および第２カバー部材３２は、それらの内面の第２継手ブロック１１側に段差部３１Ａ（第２カバー部材３２は不図示）を有し、当該段差部３１Ａによって、第１カバー部材３１および第２カバー部材３２により形成される内部空間が拡張している。

【0051】

第１配管２０、伝熱カバー３０、および第３継手ブロック１２の組立においては、まず、ボルト３５をボルト挿通孔３３ｄに、設置面６Ｂに直交する方向に挿通させることによって、第１カバー部材３１を金属プレート６に固定する。

【0052】

次に、一体化された第１配管２０および第３継手ブロック１２のうち、第１配管２０の一部が第１カバー部材３１上に載せるとともに、第３継手ブロック１２を金属プレート６に固定する。図６に示すように、ボルト３５を、第２方向Ｄ２に沿って第２カバー部材３２を貫通させることにより、第２カバー部材３２を第１カバー部材３１に固定する。このようにして、第１配管２０、伝熱カバー３０、および第３継手ブロック１２が組み立てられる。

【0053】

なお、本実施形態では、図４（ｂ）に示すように、第１カバー部材３１と、第２カバー部材３２と、配管２０との間には、空間３６が形成されているが、第２カバー部材３２の一部と突出するように構成して、空間３６を形成しないようにしてもよい。

【0054】

本実施形態の流体制御装置１では、二方弁４０を開状態、二方弁４１を閉状態、三方弁４３を第２継手ブロック１１の流路１１ａと第４流路ブロック１３の流路１３ａが連通する状態にすることにより、第２配管２１に流入する流体が第１、２、４継手ブロック１０、１１、１３を介して、第６配管２５へ流れる。二方弁４０を閉状態、二方弁４１を閉状態、三方弁４３を第３継手ブロック１２の流路１２ａと第４流路ブロック１３の流路１３ａが連通する状態にすることにより、第１配管２０に流入する流体が第３、４継手ブロック１２、１３を介して、第６配管２５へ流れる。二方弁４０を閉状態、二方弁４１を開状態、三方弁４３を第２継手ブロック１１の流路１１ａと第４流路ブロック１３の流路１３ａが連通する状態にすることにより、第３配管２２に流入する流体が第５、２、４継手ブロック１４、１１、１３を介して、第６配管２５へ流れる。

【0055】

二方弁４２を開状態、三方弁４４を第７継手ブロック１６の流路１６ａと第９流路ブロック１８の流路１８ａが連通する状態にすることにより、第４配管２３に流入する流体が第６、７、９継手ブロック１６、１７、１９を介して、第７配管２６へ流れる。二方弁４２を閉状態、三方弁４４を第８継手ブロック１７の流路１７ａと第９流路ブロック１８の流路１８ａが連通する状態にすることにより、第５配管２４に流入する流体が第８、９継手ブロック１７、１８を介して、第７配管２６へ流れる。

【0056】

上記の流体制御装置１によれば、伝熱カバー３０は、横断面形状が矩形状をなし、第１方向Ｄ１に延び、第１配管２０の外周に、互いに当接して装着される第１カバー部材３１および第２カバー部材３２を有し、第１カバー部材３１は、第１配管２０の横断面における一部を覆い、金属プレート６の設置面６Ｂに当接する第１当接面３３Ａを有し、第２カバー部材３２は、第１配管２０の横断面における他部を覆い、二方弁４０に当接する第２当接面３２Ａを有する。かかる構成によれば、金属プレート６からの熱を第１配管２０および二方弁４０に対し確実に伝達することができる。よって、所定の温度の流体を二次側に提供することができる。

【0057】

第１カバー部材３１は、横断面において、第１配管２０の金属プレート６側の部分を覆う第１部分３３と、第１部分３３の、第２方向Ｄ２における一方側の端部から二方弁４０まで延びる第２部分３４と、を有し、第２カバー部材３２は、横断面において、第１配管２０の二方弁４０側の部分を覆い、第１部分３３の、設置面６Ｂに平行かつ所定の方向に直交する方向における他方側の端部および第２部分３４に当接する。かかる構成によれば、第１配管２０の外周を第１カバー部材３１および第２カバー部材３２により覆うことができるので、金属プレート６からの熱を第１配管２０および二方弁４０に対し確実に伝達することができる。

【0058】

第２カバー部材３２は、第２方向Ｄ２における他方側から、第２カバー部材３２を貫通するボルト３５により、第１カバー部材３１に対し固定されているので、伝熱カバー３０の幅が狭くても、第１カバー部材３１に第２カバー部材３２を固定することができる。よって、流体制御装置１の小型化を図ることができる。

【0059】

図７は、本実施形態に係る流体制御装置としてのファイナルバルブ５０を備える半導体製造装置１００の概略図を示している。

【0060】

半導体製造装置１００は、例えば、ＣＶＤ装置であり、ガス供給手段６０と、ファイナルバルブ５０と、真空チャンバ７０と、排気手段８０とを有し、ウェハ上に不動態膜（酸化膜）を形成する装置である。

【0061】

ガス供給手段６０は、ガス供給源６１と、流体制御装置６２とを備える。ファイナルバルブ５０は、ガス供給手段６０と真空チャンバ７０との間に設けられている。好ましくは、ファイナルバルブ５０は、真空チャンバ７０近傍の筐体に装着される。ファイナルバルブ５０を介して、ガス供給手段６０からの流体が真空チャンバ７０へ供給される。

【0062】

なお、本開示は、上述した実施形態に限定されない。当業者であれば、本開示の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。

【符号の説明】

【0063】

１：流体制御装置
６：金属プレート
６Ｂ：設置面
７：カートリッジヒータ
１０：第１継手ブロック
１１：第２継手ブロック
１２：第３継手ブロック
１３：第４継手ブロック
１５：第６継手ブロック
１６：第７継手ブロック
１７：第８継手ブロック
１８：第９継手ブロック
２０：第１配管
２１：第２配管
２３：第４配管
２４：第５配管
２５：第６配管
２６：第７配管
３０：伝熱カバー
３１：第１カバー部材
３２：第２カバー部材
３３Ａ：第１当接面
３２Ａ：第２当接面
３３：第１部分
３４：第２部分
３５：ボルト
４０、４２：二方弁
４３、４４：三方弁
Ｄ１：第１方向
Ｄ２：第２方向

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】