特許 7333967 垂直型連続めっき装置のための基板移送装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-18

(45)【発行日】2023-08-28

(54)【発明の名称】垂直型連続めっき装置のための基板移送装置

(51)【国際特許分類】

   C25D 17/06 20060101AFI20230821BHJP

   H05K 3/18 20060101ALI20230821BHJP

【ＦＩ】

C25D17/06 E

C25D17/06 G

H05K3/18 L

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2021501331

(86)(22)【出願日】2020-11-20

(65)【公表番号】

(43)【公表日】2023-02-24

(86)【国際出願番号】 KR2020016465

(87)【国際公開番号】W WO2022107926

(87)【国際公開日】2022-05-27

【審査請求日】2021-01-08

(73)【特許権者】

【識別番号】521013150

【氏名又は名称】ケーピーエムテック シーオー．， エルティーディー．

【氏名又は名称原語表記】ＫＰＭＴＥＣＨ ＣＯ．， ＬＴＤ．

【住所又は居所原語表記】１２２， Ｓａｎｄａｎ－ｒｏ １６３ｂｅｏｎ－ｇｉｌ， Ｄａｎｗｏｎ－ｇｕ， Ａｎｓａｎ－ｓｉ， Ｇｙｅｏｎｇｇｉ－ｄｏ １５４２９ （ＫＲ）

(74)【代理人】

【識別番号】110003801

【氏名又は名称】ＫＥＹ弁理士法人

(72)【発明者】

【氏名】リー、ホゴン

(72)【発明者】

【氏名】ジョ、チュル

(72)【発明者】

【氏名】ジュン、サンモ

(72)【発明者】

【氏名】ジェオン、ユンキュ

(72)【発明者】

【氏名】キム、キョンフン

【審査官】酒井 英夫

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－１７３９９４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－２９９３９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／０７８７１２（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２５Ｄ １７／００－２１／２２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送する基板移送装置において、
メインフレーム１００と、
基板１が装着される基板装着部２００と、
前記メインフレーム１００に配置され、前記基板装着部２００の移送経路を形成するレール部３００と、
前記基板１を前記レール部３００にローディングし、前記レール部３００に沿って初期区間を移動させるローディング部４００と、
前記基板装着部２００に備えられるクランピング部６００と、
前記クランピング部６００に結合及び結合解除可能に形成され、前記基板装着部２００を移送するワイヤ部７００とを含み、
前記ローディング部４００は、
前記メインフレーム１００に締結される固定レール４１０と、
前記固定レール４１０に締結され、前記固定レール４１０に沿って摺動移動可能な移動レール４２０と、
前記移動レール４２０に締結され、前記移動レール４２０に沿って摺動移動可能なスライドユニット４３０と、
前記スライドユニット４３０に対して上下移動可能に形成される昇降ユニット４４０と、
前記昇降ユニット４４０に配置され、前記クランピング部６００に結合可能に形成される加圧ブロック４５０と、
前記加圧ブロック４５０に隣接して配置され、前記クランピング部６００を加圧して作動させる作動ブロック４６０とを含み、
前記めっき区間において、前記クランピング部６００が前記ワイヤ部７００に締結され、前記基板装着部２００が前記ワイヤ部７００により移送されることで、前記基板１が前記ワイヤ部７００により移送される基板移送装置。

【請求項2】

前記加圧ブロック４５０は、
前記加圧ブロック４５０の底面が上に向かって凹状に窪み、前記クランピング部６００のプッシュローラ６２０に加圧接触する装着溝４５１と、
前記装着溝４５１の下端から傾斜して延設され、前記プッシュローラ６２０の締結を接触案内する傾斜面４５２とを含む、請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項3】

前記作動ブロック４６０は、
前記作動ブロック４６０の底面に水平方向に延び、前記クランピング部６００に備えられる回動ローラ６３２の上面に加圧接触する水平面４６１と、
前記水平面４６１の一側から下方に延び、前記回動ローラ６３２の前面一側を接触案内する垂直面４６２とを含む、請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項4】

前記ローディング部４００は、
前記移動レール４２０の一側に締結されるリンカーユニット４７０を含み、
前記リンカーユニット４７０は、
前記移動レール４２０に締結されるリンカーブラケット４７１と、
前記リンカーブラケット４７１に締結され、上下軸を中心に回動可能に形成され、前記クランピング部６００に接触干渉するフラップ４７２と、
前記フラップ４７２に締結され、前記フラップ４７２を回動駆動するアクチュエータ４７３とを含む、請求項１に記載の基板移送装置。

【請求項5】

前記リンカーユニット４７０は、
前記フラップ４７２が前記クランピング部６００に接触干渉する干渉状態と、
前記フラップ４７２が前記干渉状態からある程度回動し、前記フラップ４７２と前記クランピング部６００が離隔される非干渉状態とを有し、
前記ローディング部４００は、
前記干渉状態において、前記クランピング部６００の移動に連動し、前記非干渉状態において、前記クランピング部６００の移動から分離される、請求項４に記載の基板移送装置。

【請求項6】

垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送する基板移送装置において、
メインフレーム１００と、
基板１が装着される基板装着部２００と、
前記メインフレーム１００に配置され、前記基板装着部２００の移送経路を形成するレール部３００と、
前記基板１を前記レール部３００にローディングし、前記レール部３００に沿って初期区間を移動させるローディング部４００と、
前記基板装着部２００に備えられるクランピング部６００と、
前記クランピング部６００に結合及び結合解除可能に形成され、前記基板装着部２００を移送するワイヤ部７００とを含み、
前記クランピング部６００は、
前記基板装着部２００に締結されるクランピング部本体６１０と、
前記クランピング部本体６１０に回転可能に締結され、前記ローディング部４００の加圧ブロック４５０に締結されるプッシュローラ６２０と、
一側に組立軸６３１を有し、前記組立軸６３１を中心に回動可能に前記クランピング部本体６１０に締結され、前記ローディング部４００の作動ブロック４６０に加圧接触する回動ローラ６３２を備える回動ブラケット６３０と、
前記クランピング部本体６１０に対して前記回動ブラケット６３０を付勢する付勢部６４０とを含み、
前記めっき区間において、前記クランピング部６００が前記ワイヤ部７００に締結され、前記基板装着部２００が前記ワイヤ部７００により移送されることで、前記基板１が前記ワイヤ部７００により移送される基板移送装置。

【請求項7】

前記クランピング部本体６１０は、
一側に第１のグリップ溝６１１を備え、
前記回動ブラケット６３０は、
前記第１のグリップ溝６１１に対応して形成され、前記第１のグリップ溝６１１と共に前記ワイヤ部７００に結合及び結合解除可能に形成される第２のグリップ溝６３５ａを備える、請求項６に記載の基板移送装置。

【請求項8】

前記クランピング部６００は、
前記回動ローラ６３２が前記作動ブロック４６０により加圧され、前記第１のグリップ溝６１１と前記第２のグリップ溝６３５ａが初期状態から離隔し、前記ワイヤ部７００から結合解除される第１の作動状態と、
前記作動ブロック４６０の加圧力が除去され、前記付勢部６４０により前記回動ローラ６３２が復帰し、前記第１のグリップ溝６１１と前記第２のグリップ溝６３５ａとの間に前記ワイヤ部７００が結合される第２の作動状態とを有する、請求項７に記載の基板移送装置。

【請求項9】

前記クランピング部本体６１０は、
前記組立軸６３１から離隔され、前記回動ブラケット６３０とリンク結合される長孔状のガイド孔６１３を備え、
前記回動ブラケット６３０は、
前記ガイド孔６１３に締結され、前記組立軸６３１を中心とした前記回動ブラケット６３０の回転移動を案内する移動軸６３４と、
前記ローディング部４００のリンカーユニット４７０に接触干渉するリンクブロック６１２とを含む、請求項６に記載の基板移送装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板移送装置に関し、より具体的には垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送するための基板移送装置に関する。

【背景技術】

【0002】

プリント基板（ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）などの平板状の基板をめっきするための装置として、垂直型連続めっき装置（ｖｅｒｔｉｃａｌ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｐｌａｔｉｎｇ；ＶＣＰ）が知られている。垂直型連続めっき装置は、移送方向に延びるめっき槽に基板を浸漬した状態で移送し、基板の表面などをめっきするためのものである。

【0003】

このような垂直型連続めっき装置において、めっき区間内で基板を移送するために基板移送装置が用いられる。基板移送装置は、複数の基板を所定の間隔で連続移送するように構成されており、現在はチェーンを用いた移送方法が一般に用いられている。

【0004】

しかしながら、このチェーン移送方法においては、現在まで多くの問題が指摘されている。代表的には、チェーンは長期間使用すると変形が生じるので、めっき区間で基板の間隔が一定に保たれないという問題がある。また、チェーンは構造的特性上、所定の脈動や振動が誘発されるので、その脈動などがめっき品質に悪影響を及ぼすという問題も指摘されている。前記問題は、最終的には基板のめっき品質を低下させたり、不規則なめっき偏差を生じさせる。特に、最近の電子機器などは、極度に軽薄短小化が追求されているので、高い精度が求められると共に、基板のめっき品質がより重要視されている。

【0005】

よって、特許文献１（発明の名称：めっき用ハンガー移送装置）、特許文献２（発明の名称：めっき装置のハンガー移送器具）などの新たな移送方法が提案されているが、その活用度は高くない。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0006】

【文献】韓国登録特許第１０－２０３０３９９号公報

【文献】韓国登録特許第１０－１４３４４１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0007】

本発明は、垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送するための基板移送装置を提供する。

【0008】

また、本発明は、基板の移送中の脈動、揺れなどを大幅に低減させることができ、基板の間隔を一定に維持することができる基板移送装置を提供する。

【0009】

さらに、本発明は、基板のめっき品質を改善し、基板間のめっき偏差を低減することができる基板移送装置を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0010】

本発明の一態様によれば、垂直方向に配置される基板をめっき区間で連続移送する基板移送装置において、メインフレームと、基板が装着される基板装着部と、前記メインフレームに配置され、前記基板装着部の移送経路を形成するレール部と、前記基板を前記レール部にローディングし、前記レール部に沿って初期区間を移動させるローディング部と、前記基板装着部に備えられるクランピング部と、前記クランピング部に結合及び結合解除可能に形成され、前記基板装着部を移送するワイヤ部とを含む基板移送装置を提供することができる。

【発明の効果】

【0011】

本発明の実施形態による基板移送装置は、ワイヤを用いた移送方法により、従来のチェーン、ベルト方式などに比べて、移送中の基板の脈動、揺れなどを低減させることができる。よって、基板のめっき品質を改善することができる。

【0012】

また、本発明の実施形態による基板移送装置は、めっき処理の際に基板の間隔を低減することができ、ワイヤの剛性により、最初に設定された間隔を一定に保つことができる。よって、基板間のめっき偏差を低減することができ、生産性の改善にも一部寄与する。

【図面の簡単な説明】

【0013】

【図1A】本発明の一実施形態による基板移送装置の要部斜視図である。

【図1B】図１Ａに示す基板移送装置の正面図である。

【図1C】図１Ａに示す基板移送装置の側面図である。

【図1D】図１Ａに示す基板移送装置の平面図である。

【図2A】図１Ａのローディング部の拡大斜視図である。

【図2B】図２Ａに示すローディング部の正面図である。

【図2C】図２Ａのスライドユニットの底面斜視図である。

【図3A】図１Ａの基板装着部の拡大斜視図である。

【図3B】図３Ａに示す基板装着部の正面図である。

【図4A】図１Ａのクランピング部の拡大斜視図である。

【図4B】図４Ａに示すクランピング部の側面図である。

【図4C】図４Ａに示すクランピング部の第１の作動状態図である。

【図4D】図４Ａに示すクランピング部の第２の作動状態図である。

【図5A】図１Ａに示す基板移送装置の第１の作動状態図である。

【図5B】図１Ａに示す基板移送装置の第２の作動状態図である。

【図5C】図１Ａに示す基板移送装置の第３の作動状態図である。

【発明を実施するための形態】

【0014】

以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。しかしながら、これらの実施形態は本発明の理解を助けるために提供するものであり、本発明の範囲がこれらの実施形態に限定されるものではない。これらの実施形態は当該技術分野における通常の知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供するものであり、不要に本発明の技術的要旨を不明にすると判断される公知の構成については詳細な記述を省略する。

【0015】

図１Ａは、本発明の一実施形態による基板移送装置の要部斜視図である。図１Ｂは、図１Ａに示す基板移送装置の正面図である。図１Ｃは、図１Ａに示す基板移送装置の側面図である。図１Ｄは、図１Ａに示す基板移送装置の平面図である。

【0016】

便宜上、図１Ａなどに示す座標軸を基準に、ｘ軸方向を左右方向、ｙ軸方向を前後方向、ｚ軸方向を上下方向とする。

【0017】

図１Ａ～図１Ｄに示すように、本実施形態の基板移送装置１０は、基板１の移送のために用いられる。

【0018】

基板１は、プリント基板（ｐｒｉｎｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）であってもよい。

【0019】

基板移送装置１０は、基板１へのめっき（ｐｌａｔｉｎｇ）のために用いられる。また、基板１は、基板移送装置１０により移送され、めっき処理される。例えば、基板１は、基板移送装置１０により移送され、銅（ｃｏｐｐｅｒ）または銅合金（ｃｏｐｐｅｒ ａｌｌｏｙ）でめっき処理される。

【0020】

しかしながら、基板移送装置１０は、必ずしもめっき処理に限定されて適用されるわけではない。例えば、基板移送装置１０は、上下に配置される基板１を所定の平面上で移送し、所定の加工処理を施すと共に、それに精密な振動、間隔などの制御が求められる分野、用途などに様々に活用することができる。

【0021】

また、本発明における「めっき」は、概して電気めっきの使用を意図したものであるが、溶融金属浸漬めっき、溶射噴霧めっき、蒸着めっき、陰極噴霧めっきなどの公知の他の方法のめっきを排除するものではない。さらに、場合によっては、各種表面処理加工が広く含まれる。

【0022】

場合によっては、基板移送装置１０は、めっき装置の一部を構成する。すなわち、基板移送装置１０は、めっき装置内で基板１を移送するために用いられ、めっき装置の一部を構成する。例えば、前記めっき装置は、基板１を垂直に立てて移送し、基板１の表面などに電流を供給してめっきを施す装置である。なお、そのようなめっき装置は、当該技術分野において垂直型連続めっき装置（ｖｅｒｔｉｃａｌ ｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓ ｐｌａｔｉｎｇ；ＶＣＰ）と呼ばれる。

【0023】

全体的に、本実施形態の基板移送装置１０は、メインフレーム１００と、基板１が装着される基板装着部２００と、基板装着部２００の移送経路を形成するレール部３００と、基板１をレール部３００にローディング及びアンローディングするローディング部４００及びアンローディング部５００と、基板装着部２００に備えられ、ワイヤ部７００に結合可能なクランピング部６００と、クランピング部６００に結合され、基板装着部２００を一側（図の左側）に移送するワイヤ部７００とを含む。

【0024】

その作動の概略を説明する。まず、基板装着部２００に基板１が装着され、基板装着部２００が初期位置（図の右端）に配置される。次に、ローディング部４００がクランピング部６００に締結され、基板装着部２００がローディング部４００に備えられるフラップ４７２によりレール部３００に沿って一側（図の左側）に移送される。基板装着部２００がローディング部４００の一端（図の左端）に移送されると、クランピング部６００がワイヤ部７００に締結され、クランピング部６００とローディング部４００の結合が解除される。

【0025】

また、基板装着部２００がワイヤ部７００により一側（図の左側）に移送される過程で所定のめっき装置によりめっき処理される。なお、図１Ａなどにはめっき装置が省略されている。基板装着部２００がワイヤ部７００の一側端（図の左端）に移送されると、アンローディング部５００がクランピング部６００に締結され、クランピング部６００とワイヤ部７００の結合が解除される。また、アンローディング部５００が基板装着部２００をレール部３００の一端（図の左端）に向けて移送する。

【0026】

アンローディング部５００以降は、基板１に必要な後工程が適宜行われる。例えば、基板１が水洗過程を経て次の工程に送られ、基板装着部２００が基板１から分離され、初期位置に復帰する。しかしながら、本発明において、アンローディング部５００以降の工程は特に限定されるものではない。

【0027】

このような作動は、複数の基板装着部２００または基板１において同時多発的に行われる。すなわち、基板移送装置１０が複数の基板装着部２００を備え、前述した作動が各基板装着部２００において同時多発的に行われる。

【0028】

このような基板移送装置１０は、めっき過程においてワイヤ部７００により基板１が移送されるという１つの特徴を有する。ワイヤ部７００による移送方法は、揺れや脈動を減少させることができるので、基板装着部２００の間隔を一定に保つことができる。他の観点では、それは基板装着部２００の間隔を小さくし、各基板１間のめっき偏差を低減することにも寄与する。

【0029】

以下、このような基板移送装置１０の各構成についてより詳細に説明する。

【0030】

本実施形態の基板移送装置１０は、メインフレーム１００を含む。

【0031】

メインフレーム１００は、基板移送装置１０の全体的な外観を形成し、構成部品の装着のための支持構造を提供する。メインフレーム１００は、骨組構造で形成されるが、所定の剛性を有して支持構造を提供するものであれば、その構造や形状が特に限定されるものではない。

【0032】

本実施形態の基板移送装置１０は、メインフレーム１００に設置されるレール部３００を含む。

【0033】

レール部３００は、概してメインフレーム１００の上部で左右に延設される。本実施形態においては、レール部３００がメインフレーム１００とは区別される別個の部品である例を示すが、場合によっては、レール部３００がメインフレーム１００上に一体に形成されてもよい。

【0034】

レール部３００は、所定の横断面形状を有して左右に延び、後述するレールブラケットの移動経路を形成する。

【0035】

必要に応じて、レール部３００は、前後に離隔した一対で構成されてもよい。すなわち、レール部３００は、前方レール３１０と、前方レール３１０の後方に所定間隔離隔して前方レール３１０に対応するように左右に延びる後方レール３２０とを含んでもよい。この場合、前方レール３１０は基板１のめっき処理のための移送経路を形成し、後方レール３２０は基板装着部２００を再び初期位置に復帰させるために用いられる。

【0036】

図２Ａは、図１Ａのローディング部の拡大斜視図である。図２Ｂは、図２Ａに示すローディング部の正面図である。図２Ｃは、図２Ａのスライドユニットの底面斜視図である。

【0037】

図２Ａ～図２Ｃに示すように、本実施形態の基板移送装置１０は、ローディング部４００を含む。

【0038】

ローディング部４００は、概して基板装着部２００の初期位置（図の右端）に対応するメインフレーム１００の一側（右側）領域に配置される。ローディング部４００は、初期位置に配置される基板装着部２００をワイヤ部７００の一端（図の左端）に移送する。複数の基板装着部２００が備えられる場合、ローディング部４００は、各基板装着部２００を順次ワイヤ部７００に移送する。各基板装着部２００は、ローディング部４００により所定の間隔で適宜離隔して配置される。

【0039】

具体的には、ローディング部４００は、固定レール４１０及び移動レール４２０を含む。

【0040】

固定レール４１０は、左右に延設され、メインフレーム１００に締結される。固定レール４１０は、メインフレーム１００に固定される。移動レール４２０は、左右に延設され、固定レール４１０に締結される。ここで、移動レール４２０は、固定レール４１０に沿って摺動移動可能に固定レール４１０に締結される。

【0041】

なお、固定レール４１０に対する移動レール４２０の摺動移動は、後述するリンカーユニット４７０により受動的に行われる。

【0042】

一方、ローディング部４００は、スライドユニット４３０及び昇降ユニット４４０を含む。

【0043】

スライドユニット４３０は、移動レール４２０に沿って摺動移動可能に移動レール４２０に締結される。スライドユニット４３０は、所定の駆動手段を有し、移動レール４２０に対して前後移動可能に形成される。

【0044】

昇降ユニット４４０は、スライドユニット４３０に対して上下に摺動移動可能に締結される。昇降ユニット４４０は、所定の駆動手段を有し、スライドユニット４３０に対して上下移動可能に形成される。

【0045】

なお、前記駆動手段は、モータ、アクチュエータなどの公知の駆動手段であり、スライドユニット４３０及び昇降ユニット４４０の各駆動手段は、必要に応じて、一体化させてもよく、別体に分離してもよい。また、本実施形態においては、スライドユニット４３０及び昇降ユニット４４０が略四角形のフレームやプレートの形態に形成される例を示すが、スライドユニット４３０及び昇降ユニット４４０の形態は必ずしもこれらに限定されるものではなく、必要に応じて様々に変形される。

【0046】

一方、ローディング部４００は、加圧ブロック４５０を含む。

【0047】

加圧ブロック４５０は、昇降ユニット４４０に配置される。本実施形態において、加圧ブロック４５０は、概して昇降ユニット４４０の底面で前方に偏って配置される。

【0048】

加圧ブロック４５０は、装着溝４５１を備える。装着溝４５１は、加圧ブロック４５０の下部から上に向かって凹状に窪んだ溝で形成される。装着溝４５１は、後述するクランピング部６００のプッシュローラ６２０を加圧支持する。よって、装着溝４５１は、プッシュローラ６２０に対応する形状、大きさに形成されることが好ましい。

【0049】

必要に応じて、加圧ブロック４５０は、傾斜面４５２を備えてもよい。傾斜面４５２は、装着溝４５１の下部で加圧ブロック４５０の下端に向かってテーパ（ｔａｐｅｒ）状に延設される。よって、加圧ブロック４５０の下端の開口部（ｏｐｅｎｉｎｇ）の幅は、装着溝４５１の幅に比べて、ある程度大きく形成されるので、プッシュローラ６２０は、傾斜面４５２により案内されて装着溝４５１に安定して締結される。

【0050】

一方、ローディング部４００は、作動ブロック４６０を含む。

【0051】

作動ブロック４６０は、加圧ブロック４５０に隣接するように昇降ユニット４４０に配置される。本実施形態において、作動ブロック４６０は、概して昇降ユニット４４０の底面で加圧ブロック４５０の後方に離隔して配置される。

【0052】

作動ブロック４６０は、後述するクランピング部６００の回動ローラ６３２に対応するように配置され、昇降ユニット４４０の動作により回動ローラ６３２を加圧支持する。また、作動ブロック４６０は、回動ローラ６３２を加圧して回動させ、クランピング部６００をワイヤ部７００に結合または結合解除させる。これについては、クランピング部６００と共に後述する。

【0053】

このような作動のために、作動ブロック４６０は、所定の駆動手段により上下移動可能に形成される。作動ブロック４６０の駆動手段は、昇降ユニット４４０とは区別され、作動ブロック４６０を独立して昇降移動させるように形成される。

【0054】

必要に応じて、作動ブロック４６０は、水平面４６１及び垂直面４６２を備えてもよい。水平面４６１は、昇降ユニット４４０の底面で略水平に延設され、垂直面４６２は、水平面４６１の一端（図の前端）から略垂直に延設される。この場合、水平面４６１は、回動ローラ６３２の上面を加圧し、垂直面４６２は、回動ローラの転がり面に接触案内し、安定した加圧動作が行われるようにする。

【0055】

この場合、作動ブロック４６０は、傾斜面４６３をさらに備える。傾斜面４６３は、垂直面４６２の下端がある程度傾斜するように切り欠いて形成される。傾斜面４６３は、回動ローラ６３２が垂直面４６２の下端に進入する際に回動ローラ６３２の円滑な進入を誘導する。

【0056】

一方、ローディング部４００は、リンカーユニット４７０を含む。

【0057】

リンカーユニット４７０は、移動レール４２０の底面の一側（図の左側）部位に配置され、移動レール４２０に締結される。リンカーユニット４７０は、移動レール４２０に固定設置されるので、リンカーユニット４７０及び移動レール４２０は固定レール４１０に沿って左右に共に移動する。より明確には、移動レール４２０は、リンカーユニット４７０がスライドユニット４３０と共に一側（図の左側）に移動することにより、固定レール４１０に対して左右に移動する。

【0058】

リンカーユニット４７０は、リンカーブラケット４７１、フラップ４７２及びアクチュエータ４７３を備える。リンカーブラケット４７１は、移動レール４２０の底面に装着され、フラップ４７２及びアクチュエータ４７３は、リンカーブラケット４７１に締結される。ここで、フラップ４７２は、第１ヒンジ４７２ａを介してリンカーブラケット４７１に締結され、アクチュエータ４７３は、作動アームが第２ヒンジ４７３ａを介してフラップ４７２に締結される。第１及び第２ヒンジは、それぞれ上下方向の回転軸となり、互いに前後に所定間隔離隔される。

【0059】

このような結合構造により、フラップ４７２は、第１ヒンジ４７２ａを中心に一方向に回動し、前方にある程度突出して配置されるか、アクチュエータ４７３により逆方向に回動し、略左右方向に整列して配置される。前者の場合、フラップ４７２は後述するクランピング部６００のリンクブロック６１２に接触及び干渉し、後者の場合、フラップ４７２はリンクブロック６１２から離隔する。よって、前者を「干渉状態」といい、後者を「非干渉状態」という。

【0060】

リンカーユニット４７０の作動については、クランピング部６００と共に後述する。

【0061】

一方、本実施形態の基板移送装置１０は、アンローディング部５００を含む。

【0062】

図１Ａなどに示すように、アンローディング部５００は、概してローディング部４００の反対側（図の左端）に配置される。アンローディング部５００は、ワイヤ部７００により移送された基板装着部２００をワイヤ部７００から結合解除する。すなわち、基板装着部２００は、ワイヤ部７００から離脱し、アンローディング部５００に支持され、アンローディング部５００により次の工程に適宜送られる。

【0063】

アンローディング部５００は、配置または機能が一部異なるだけで、概して前述したローディング部４００と同一または類似するので、その詳細な説明は省略する。

【0064】

図３Ａは、図１Ａの基板装着部の拡大斜視図である。図３Ｂは、図３Ａに示す基板装着部の正面図である。

【0065】

図３Ａ及び図３Ｂに示すように、本実施形態の基板移送装置１０は、基板装着部２００を含む。

【0066】

基板装着部２００は、レール部３００に沿って移動可能にレール部３００に設置される。また、基板装着部２００には、基板１が装着される。基板１は、基板装着部２００に装着された状態でレール部３００に沿って移動し、所定のめっき装置によりめっき処理される。

【0067】

複数の基板装着部２００が備えられてもよい。図１Ａなどにおいては、便宜上、両端に基板装着部２００をそれぞれ１個ずつのみ示しているが、より多くの基板装着部２００が備えられてもよく、複数の基板装着部２００は、左右に隣接して配置され、レール部３００に沿って移送される。よって、複数の基板装着部２００におけるめっき処理が連続的または同時多発的に行われる。

【0068】

一方、基板装着部２００は、レール装着ブラケット２１０を備える。

【0069】

レール装着ブラケット２１０は、概して基板装着部２００の上部に配置され、レール部３００の一側（後方）に延設される。

【0070】

レール装着ブラケット２１０は、レール部３００に沿って転がり移動できるように複数のローラ２１１、２１２を備える。レール装着ブラケット２１０は、概してレール部３００の上部の側面に接触して転がる一対の上部ローラ２１１と、概してレール部３００の下部の側面に接触して転がる一対の下部ローラ２１２とを備えることが好ましい。一対の上部ローラ２１１及び下部ローラ２１２は、それぞれ左右に離隔して配置される。

【0071】

また、上部ローラ２１１は、レール部３００の一面（例えば、前面）に接触して転がるように配置され、下部ローラ２１２は、レール部３００の反対面（例えば、背面）に接触して転がるように配置される。よって、レール装着ブラケット２１０は、基板装着部２００をレール部３００に支持する機能を兼ね備える。

【0072】

一方、基板装着部２００は、基板装着フレーム２２０を備える。

【0073】

基板装着フレーム２２０は、レール装着ブラケット２１０から前方に延び、基板１を装着するための支持構造を提供する。基板装着フレーム２２０は、所定の形状及び構造を有するフレーム、プレートなどの形態に形成される。本実施形態においては、略四角形のフレームの形態に形成される例を示すが、基板装着フレーム２２０の形態は必ずしもこれらに限定されるものではなく、必要に応じて適宜変形される。

【0074】

また、基板装着フレーム２２０は、基板１をクランピングするための上部クランパ２２１及び下部クランパ２２２を備える。上部クランパ２２１は、基板装着フレーム２２０の上側に左右に離隔して複数配置され、下部クランパ２２２は、基板装着フレーム２２０の下側に左右に離隔して複数配置される。

【0075】

図示していないが、必要に応じて、基板装着部２００は、振動発生手段を備えてもよい。

【0076】

振動発生手段は、基板装着部２００の一側に配置され、基板装着部２００に所定の周波数の微細振動を印加する。例えば、振動発生手段は、レール装着ブラケット２１０の一側に装着され、レール装着ブラケット２１０に機械的に接触し、レール装着ブラケット２１０またはそれに支持された基板１を微細振動させる。しかしながら、振動発生手段は、基板１に所定の振動を伝達できる位置であれば、いかなる位置に装着または配置されてもよく、必ずしもレール装着ブラケット２１０などに装着位置が限定されるものではない。振動発生手段は、基板１に微細振動を印加することにより、基板１に形成される微細孔などにめっき液などが良好に流入するようにし、めっき品質の改善に寄与する。

【0077】

図４Ａは、図１Ａに示すクランピング部の拡大斜視図である。図４Ｂは、図４Ａに示すクランピング部の側面図である。

【0078】

図４Ａ及び図４Ｂに示すように、本実施形態の基板移送装置１０は、クランピング部６００を含む。

【0079】

クランピング部６００は、基板装着部２００の一側に装着される。より具体的には、同図に示すように、クランピング部６００は、前述したレール装着ブラケット２１０の上面に配置され、レール装着ブラケット２１０に装着される。よって、クランピング部６００は、基板装着部２００と共に移動する。

【0080】

クランピング部６００は、複数の基板装着部２００に対応するように、複数備えられる。すなわち、複数の基板装着部２００は、それぞれのクランピング部６００を備える。

【0081】

クランピング部６００は、ローディング部４００またはアンローディング部５００に締結されてローディング部４００またはアンローディング部５００により移送されるか、ワイヤ部７００に締結されてワイヤ部７００により移送される。クランピング部６００は少なくともめっき処理区間ではワイヤ部７００に締結されるので、クランピング部６００または基板装着部２００はめっき処理区間内でワイヤ部７００により移送されることが好ましい。

【0082】

一方、クランピング部６００は、クランピング部本体６１０を備える。

【0083】

クランピング部本体６１０は、レール装着ブラケット２１０に締結される。クランピング部本体６１０は、クランピング部６００の各構成要素を装着支持する所定のフレーム、ブラケット、ボディなどの形態に形成される。しかしながら、クランピング部６００の形態は必ずしもこれらに限定されるものではなく、それと同一または類似の機能を有する様々な形態に変形される。

【0084】

クランピング部本体６１０には、第１のグリップ溝６１１が形成される。第１のグリップ溝６１１は、概してクランピング部本体６１０の後端部位に形成され、ワイヤ部７００に対応する部分円形または円弧の形状に形成される。第１のグリップ溝６１１は、後述する第２のグリップ溝６３５ａに対応し、ワイヤ部７００を把持するための結合構造を提供する。

【0085】

また、クランピング部本体６１０は、リンクブロック６１２を備える。リンクブロック６１２は、クランピング部本体６１０の後端部位で上向きに所定の高さで突設される。リンクブロック６１２は、前述したリンカーユニット４７０に干渉し、移動レール４２０または基板装着部２００を移動させる。これについては、クランピング部６００の作動と共に後述する。

【0086】

クランピング部本体６１０は、ガイド孔６１３を備える。ガイド孔６１３は、クランピング部本体６１０を左右に貫通するように形成され、後述する移動軸６３４の移動軌跡に沿って長孔状に延びる。よって、ガイド孔６１３は、移動軸６３４の移動を案内する。

【0087】

一方、クランピング部６００は、プッシュローラ６２０を備える。

【0088】

プッシュローラ６２０は、クランピング部本体６１０の前端部位に配置され、クランピング部本体６１０に回転可能に支持される。プッシュローラ６２０は、略前後方向の回転軸を有し、クランピング部本体６１０に締結される。

【0089】

プッシュローラ６２０は、前述したローディング部４００の加圧ブロック４５０に締結される。すなわち、加圧ブロック４５０は、昇降ユニット４４０により下降し、装着溝４５１にプッシュローラ６２０が加圧支持されることにより、プッシュローラ６２０に締結される。加圧ブロック４５０の下端の傾斜面４５２は、このような装着溝４５１とプッシュローラ６２０の締結位置を矯正する。

【0090】

基板装着部２００は、このようなプッシュローラ６２０と加圧ブロック４５０の結合により、前述したスライドユニット４３０と共に左右に移動する。すなわち、プッシュローラ６２０は、基板装着部２００の左右移動のための支持手段として機能する。

【0091】

一方、クランピング部６００は、回動ブラケット６３０を備える。

【0092】

回動ブラケット６３０は、プッシュローラ６２０から前後に所定間隔離隔し、クランピング部本体６１０に回動可能に締結される。具体的には、回動ブラケット６３０は、後端に組立軸６３１を有し、その組立軸６３１を介してクランピング部本体６１０に回動可能に締結される。組立軸６３１は、略左右方向の回転軸を形成する。

【0093】

また、回動ブラケット６３０は、回動ローラ６３２を備える。回動ローラ６３２は、左右方向のローラ軸６３２ａを有し、回動ブラケット６３０の前端に回動可能に締結される。なお、これは、前述したプッシュローラ６２０が前後方向の回転軸を有するのと対照的である。

【0094】

回動ローラ６３２は、前述した作動ブロック４６０により加圧されて移動する。すなわち、回動ローラ６３２は、作動ブロック４６０により下方に加圧されて移動したり、加圧が解除されて上方に復帰する。このような回動ローラ６３２の移動は、組立軸６３１を中心とした回動ブラケット６３０の回動により行われる。

【0095】

ここで、前述した作動ブロック４６０は、水平面４６１が回動ローラ６３２の上側に接触して加圧し、垂直面４６２が回動ローラ６３２の前方に接触案内することにより、安定して加圧動作が行われるようにする。また、作動ブロック４６０の下端の傾斜面４６３は、作動ブロック４６０と回動ローラ６３２間の初期接触が円滑に行われるようにする。

【0096】

さらに、回動ブラケット６３０は、スプリング軸６３３及び移動軸６３４を備える。スプリング軸６３３は、後述する付勢部６４０を締結するためのものであり、同図に示すように、ローラ軸６３２ａの下側に離隔して配置され、左右方向の回転軸を形成する。

【0097】

移動軸６３４は、スプリング軸６３３から所定間隔離隔して配置され、前述したガイド孔６１３に締結される。移動軸６３４は、回動ローラ６３２の移動に対応してガイド孔６１３に沿って移動する。それにより、回動ローラ６３２または回動ブラケット６３０の回動動作が案内される。

【0098】

また、回動ブラケット６３０は、グリッパ６３５を備える。グリッパ６３５は、概して回動ブラケット６３０の後端部位で下方に延設される。グリッパ６３５は、第２のグリップ溝６３５ａを備え、第２のグリップ溝６３５ａは、前述した第１のグリップ溝６１１に対応する部分円形または円弧の形状に形成される。クランピング部６００は、第１のグリップ溝６１１と第２のグリップ溝６３５ａ間でワイヤ部７００に加圧接触し、ワイヤ部７００に締結される。

【0099】

一方、クランピング部６００は、付勢部６４０を備える。

【0100】

付勢部６４０は、クランピング部本体６１０と回動ブラケット６３０間で回動ブラケット６３０を付勢する。付勢部６４０は、一端（前端）がクランピング部本体６１０に回動可能に締結され、反対側の他端（後端）が回動ブラケット６３０に回動可能に締結される。

【0101】

付勢部６４０は、第１のグリップ溝６１１及び第２のグリップ溝６３５ａが互いに接近する方向に回動ブラケット６３０を付勢する。よって、外力が加えられない状態では、第１のグリップ溝６１１及び第２のグリップ溝６３５ａは互いに接近する方向に付勢され、ワイヤ部７００などに締結される。

【0102】

また、その状態で外力が作用すると（すなわち、作動ブロック４６０が回動ローラ６３２を加圧すると）、外力により付勢部６４０が弾性的に圧縮変形する。そうすると、第１のグリップ溝６１１及び第２のグリップ溝６３５ａは、互いに離隔する方向に移動し、ワイヤ部７００などから離脱する。

【0103】

必要に応じて、付勢部６４０は、クランピング部本体６１０の前端部位とスプリング軸６３３間に締結されたシリンダ６４１と、シリンダ６４１の前後端間を付勢する圧縮スプリング６４２とから構成されてもよい。また、図示していないが、圧縮スプリング６４２などには、異物などの流入を遮断するためのカバー部材が被せられる。

【0104】

図４Ｃは、図４Ａに示すクランピング部の第１の作動状態図である。

【0105】

図４Ｃは、外力が加えられていない状態を示す図である。図４Ｃに示すように、第１の作動状態において、付勢部６４０が回動ブラケット６３０を付勢し、第１のグリップ溝６１１及び第２のグリップ溝６３５ａが互いに接近する方向に配置される。この状態において、第１のグリップ溝６１１及び第２のグリップ溝６３５ａがワイヤ部７００に加圧接触し、ワイヤ部７００に締結される。

【0106】

このような第１の作動状態は、概してワイヤ部７００によるクランピング部６００または基板装着部２００の移動区間で維持される。あるいは、第１の作動状態は、基板１がめっき処理される移動区間で維持される。すなわち、クランピング部６００または基板装着部２００は、第１の作動状態でワイヤ部７００に締結され、ワイヤ部７００の移動に伴って移送され、めっき処理される。

【0107】

図４Ｄは、図４Ａに示すクランピング部の第２の作動状態図である。

【0108】

図４Ｄは作動ブロック４６０により回動ローラ６３２に加圧力が作用した状態を示す図である。図４Ｄに示すように、第２の作動状態において、回動ローラ６３２が作動ブロック４６０により下方にある程度加圧されるので、回動ブラケット６３０が組立軸６３１を中心にある程度回動（図の反時計方向）する。また、グリッパ６３５が組立軸６３１を中心に対応する方向（図の反時計方向）に回動し、第１のグリップ溝６１１と第２のグリップ溝６３５ａ間が離隔され、ワイヤ部７００から結合解除される。

【0109】

このような第２の作動状態は、概してワイヤ部７００の移送区間を除くローディング部４００またはアンローディング部５００の移送区間で維持される。あるいは、第２の作動状態は、めっき処理の前後の移送区間で維持される。すなわち、クランピング部６００または基板装着部２００は、第２の作動状態でワイヤ部７００の前端区間まで移送されるか、ワイヤ部７００の後端で離脱する。

【0110】

一方、図１Ａなどに示すように、本実施形態の基板移送装置１０は、ワイヤ部７００を含む。

【0111】

ワイヤ部７００は、メインフレーム１００に支持され、基板装着部２００を左右に移送する。ワイヤ部７００は、概して基板１がめっき処理される区間で基板１の移送手段として用いられる。

【0112】

ワイヤ部７００は、柔軟な材質の金属ワイヤで形成される。ワイヤ部７００は、耐食性を有し、基板１などの重量に対して好ましい張力を維持するステンレス製の金属ワイヤで形成されることが好ましい。しかしながら、ワイヤ部７００の材質が必ずしもこれらステンレスなどに限定されるものではなく、場合によっては、それと同一または類似の性質を有する他の材質に代替される。

【0113】

ワイヤ部７００は、長手方向（図の左右方向）に移送される。よって、ワイヤ部７００に締結された基板装着部２００などがワイヤ部７００に伴って移送され、移送過程で所定のめっき処理が行われる。

【0114】

図には明確に示していないが、ワイヤ部７００は、牽引ホイールなどの所定の駆動手段により長手方向に移送される。また、ワイヤ部７００は、閉ループを形成し、長手方向に移送され、必要に応じて、好ましい張力を維持するための張力維持手段などが付加されてもよい。しかしながら、本実施形態において、ワイヤ部７００の移送経路や形態などは、特に限定されるものではない。

【0115】

このようなワイヤ部７００は、従来の方法に比べて、移送の際の脈動を減少させ、基板１または基板装着部２００の間隔を小さくするのに寄与する。

【0116】

これについて説明する。従来から普遍的に用いられている方法はチェーンを用いるものであるが、その場合、チェーンの構造的特性上、移動の際に所定の脈動が発生する。また、基板装着部に対応するハンガーなどが単にチェーンの上に載置されて移送される構造を有するので、長時間駆動するとハンガーの位置が変更されるという問題が生じていた。さらに、他の方法としてベルトを用いるものが知られているが、これはウレタン素材などで作製されたベルトが伸びるので、関連分野において有用ではない。本実施形態の基板移送装置１０は、ワイヤ部７００を用いた新たな方法の移送構造を導入することにより、このような従来の問題を解決している。

【0117】

以下、このような基板移送装置１０の動作について説明する。

【0118】

図５Ａは、図１Ａに示す基板移送装置の第１の作動状態図である。

【0119】

便宜上、図５Ａなどにおいては、ローディング部４００部位での作動を中心に説明する。アンローディング部５００部位では反対の順序で同一または類似の作動が行われる。

【0120】

また、図５Ａなどにおいては、複数の基板１－１、１－２が連続してローディングされると仮定し、第１基板１－１が先にローディング及び移送されている状態で、第２基板１－２が新たにローディングされる過程を中心に説明する。さらに、便宜上、第１基板１－１の移送に関する構成要素については第１基板装着部２００－１などといい、第２基板１－２の移送に関する構成要素については同様に第２基板装着部２００－２などという。

【0121】

図５Ａに示すように、第１基板１－１が第１基板装着部２００－１に装着され、ワイヤ部７００により移送される過程において、第２基板１－２が装着された第２基板装着部２００－２が初期位置に配置される。

【0122】

第２基板装着部２００－２が初期位置に配置されると、スライドユニット４３０が対応する位置に移動し、加圧ブロック４５０が下降する。よって、加圧ブロック４５０が第２基板装着部２００－２に配置される第２クランピング部６００－２（すなわち、プッシュローラ６２０）に締結される。次に、作動ブロック４６０が下降し、第２クランピング部６００－２（すなわち、回動ローラ６３２）を下方に加圧支持する。すなわち、第２クランピング部６００－２は、図４Ｄの第２の作動状態となる。

【0123】

それと共に、第１基板装着部２００－１に配置される第１クランピング部６００－１がリンカーユニット４７０に接触する。具体的には、リンカーユニット４７０のフラップ４７２が第１クランピング部６００－１の移動経路上に回動し、第１クランピング部６００－１の一側（すなわち、リンクブロック６１２）がフラップ４７２に接触する。よって、リンカーユニット４７０が第１クランピング部６００－１に干渉し、第１クランピング部６００－１と共にワイヤ部７００に伴って移送される。

【0124】

また、移動レール４２０及び第２基板装着部２００－２は、このようなリンカーユニット４７０と共に一側（図の左側）に牽引される。

【0125】

図５Ｂは、図１Ａに示す基板移送装置の第２の作動状態図である。

【0126】

図５Ｂに示すように、第１基板装着部２００－１が予め設定された所定位置まで移動すると、スライドユニット４３０が駆動され、第２基板装着部２００－２が第１基板装着部２００－１に隣接する位置に移送される。ここで、第２基板装着部２００－２が予め設定された所定の間隔で第１基板装着部２００－１から離隔し、概してワイヤ部７００の前端部位に配置される。

【0127】

次に、第２基板装着部２００－２の第２クランピング部６００－２がワイヤ部７００に締結される。具体的には、作動ブロック４６０が昇降し、第２クランピング部６００－２（すなわち、回動ローラ６３２）の拘束が解除されると、第２付勢部６４０－２により第２回動ブラケット６３０－２が回動する。よって、第２クランピング部６００－２（すなわち、グリッパ６３５）がワイヤ部７００に締結される。すなわち、第２クランピング部６００－２が図４Ｃの第１の作動状態に切り替わる。また、加圧ブロック４５０も昇降し、第２基板装着部２００－２がワイヤ部７００により移送される。

【0128】

これと共に、リンカーユニット４７０が第１クランピング部６００－１から離脱する。すなわち、リンカーユニット４７０のフラップ４７２が逆方向に回動し、第１クランピング部６００－１から接触解除される。よって、第１基板装着部２００－１がフラップ４７２に干渉されることなくワイヤ部７００により移送される。

【0129】

図５Ｃは、図１Ａに示す基板移送装置の第３の作動状態図である。

【0130】

図５Ｃに示すように、次にスライドユニット４３０が図５Ａの初期位置に復帰し、新たに投入される第３基板装着部２００－３のために待機する。スライドユニット４３０が前述した第２基板装着部２００－２と同様に第３基板装着部２００－３に締結され、前述した作動過程を繰り返す。

【0131】

また、リンカーユニット４７０のフラップ４７２が再び回動し、スライドユニット４３０の復帰及び第２基板装着部２００－２の移動により、第２クランピング部６００－２と次第に接近し、第２クランピング部６００－２に接触して干渉する。よって、前述したように、リンカーユニット４７０が第２クランピング部６００－２に干渉し、ワイヤ部７００に伴って移送される。

【0132】

前述したように、本発明の実施形態による基板移送装置１０は、垂直方向に配置される基板１をめっき区間で連続移送するために用いられる。

【0133】

特に、本発明の実施形態による基板移送装置１０は、ワイヤを用いた移送方法により、従来のチェーン、ベルト方式などに比べて、移送中の基板の脈動、揺れなどを低減させることができる。よって、基板１のめっき品質を改善することができる。

【0134】

また、本発明の実施形態による基板移送装置１０は、めっき処理の際に基板１の間隔を好適に調節することができ、ワイヤの剛性により、最初に設定された間隔を一定に保つことができる。よって、基板１間のめっき偏差を低減することができ、生産性の改善にも一部寄与する。

【0135】

以上、本発明の実施形態について説明したが、当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された本発明の思想から逸脱しない範囲で構成要素の付加、変更、削除、追加などにより本発明を様々に修正及び変更することができ、それらも本発明に含まれるものである。

【符号の説明】

【0136】

１ 基板
１０ 基板移送装置
１００ メインフレーム
２００ 基板装着部
２１０ レール装着ブラケット
２２０ 基板装着フレーム
３００ レール部
４００ ローディング部
４１０ 固定レール
４２０ 移動レール
４３０ スライドユニット
４４０ 昇降ユニット
４５０ 加圧ブロック
４６０ 作動ブロック
４７０ リンカーユニット
５００ アンローディング部
６００ クランピング部
６１０ クランピング部本体
６２０ プッシュローラ
６３０ 回動ブラケット
６４０ 付勢部

【図1A】

【図1B】

【図1C】

【図1D】

【図2A】

【図2B】

【図2C】

【図3A】

【図3B】

【図4A】

【図4B】

【図4C】

【図4D】

【図5A】

【図5B】

【図5C】