ホーム > 特許ランキング > 日本特殊陶業株式会社
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-08-18
(45)【発行日】2023-08-28
(54)【発明の名称】オゾン発生体、及びオゾン発生器
(51)【国際特許分類】
C01B 13/11 20060101AFI20230821BHJP
【ＦＩ】
C01B13/11 F
C01B13/11 G
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2022113588
(22)【出願日】2022-07-15
【審査請求日】2022-07-19
(73)【特許権者】
【識別番号】000004547
【氏名又は名称】日本特殊陶業株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000497
【氏名又は名称】弁理士法人グランダム特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】拮石 真一郎
(72)【発明者】
【氏名】服部 洋一
(72)【発明者】
【氏名】上山 剛
(72)【発明者】
【氏名】市村 彦幸
(72)【発明者】
【氏名】西山 寛幸
【審査官】廣野 知子
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１７－１９０２５９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１０８７２０（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１３／０５１０９７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００６－１８１４５８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２０１９／２２５４２６（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開２００８－２５１５２１（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００６／１０３９４５（ＷＯ，Ａ１）
【文献】特開平１０－２４５２０４（ＪＰ，Ａ）
【文献】実開昭６１－２４２３（ＪＰ，Ｕ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｃ０１Ｂ １３／００－１３／１１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
セラミックを主成分とする第１誘電体部と、前記第１誘電体部に埋設される第１導体部と、
セラミックを主成分とし、前記第１誘電体部に対し第１方向の一方側に間隔をあけて配置される第２誘電体部と、
前記第２誘電体部に埋設され、前記第１方向において前記第１導体部と対向して配置される第２導体部と、
前記第１方向において、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間に配置されるスペーサ部と、
前記第１導体部よりも前記第１方向の他方側において前記第１誘電体部に設けられ、電源部に接続される第３導体部と、
前記第２導体部よりも前記第１方向の一方側において前記第２誘電体部に設けられ、前記電源部に接続される第４導体部と、
前記第１方向において前記第１導体部と前記第３導体部との間に設けられ、前記第３導体部を前記第１導体部に電気的に接続する第１接続部と、
前記第１方向において前記第２導体部と前記第４導体部との間に設けられ、前記第４導体部を前記第２導体部に電気的に接続する第２接続部と、を有し、
前記スペーサ部は、前記第１方向における前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間の領域において、前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、
前記第３導体部及び前記第４導体部は、それぞれ前記第１方向から見て前記スペーサ部と重なる位置に配置され、
前記第１導体部及び前記第２導体部は、それぞれ前記スペーサ部よりも前記第２方向の他方側に配置される
オゾン発生体。
【請求項2】
前記第１接続部は、前記第１方向から見て前記第３導体部及び前記スペーサ部と重なる位置から前記第１導体部と重なる位置に延設される第１延設部を有し、前記第２接続部は、前記第１方向から見て前記第４導体部及び前記スペーサ部と重なる位置から前記第２導体部と重なる位置に延設される第２延設部を有し、
前記第１延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第１導体部との間に配置される第１中間延設部を有し、
前記第２延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第２導体部との間に配置される第２中間延設部を有し、
前記第１中間延設部及び前記第２中間延設部は、前記第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される
請求項１に記載のオゾン発生体。
【請求項3】
前記第１延設部と前記第２延設部が、前記第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される請求項２に記載のオゾン発生体。
【請求項4】
前記スペーサ部は、前記第１誘電体部及び前記第２誘電体部のうち少なくとも一方とは別体として構成される請求項３に記載のオゾン発生体。
【請求項5】
前記スペーサ部は、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部のうち少なくとも一方と一体に形成される請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のオゾン発生体。
【請求項6】
前記スペーサ部は、前記第１誘電体部及び前記第２誘電体部のうち少なくとも一方とは別体として構成される請求項１又は請求項２に記載のオゾン発生体。
【請求項7】
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、前記電源部と、を備える
オゾン発生器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、オゾン発生体、及びオゾン発生器に関する。
【背景技術】
【0002】
特許文献１には、プラズマ発生電極が開示されている。このプラズマ発生電極は、互いに対向する電極を有する。電極は、誘電体であるセラミック体と、このセラミック体の内部に配設された導電膜と、を有する。互いに対向する電極は、それぞれ保持部材によって支持される。保持部材の一部は、互いに対向する電極間に配置され、スペーサとして機能する。これにより、互いに対向するセラミック体間に、放電領域が形成される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】ＷＯ２００５／００５７９８
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかし、特許文献１の構成では、放電に起因して、セラミック体間の隙間に硝酸化合物が析出する。この硝酸化合物は、潮解したときに、スペーサの表面を介して互いに対向するセラミック体同士をつないでしまうおそれがある。潮解した硝酸化合物がセラミック体同士をつなぐと、両電極に印加される電圧の低下が懸念される。
【0005】
本発明は、硝酸化合物に起因する印加電圧の低下を抑えやすい技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明のオゾン発生体は、
セラミックを主成分とする第１誘電体部と、
前記第１誘電体部に埋設される第１導体部と、
セラミックを主成分とし、前記第１誘電体部に対し第１方向の一方側に間隔をあけて配置される第２誘電体部と、
前記第２誘電体部に埋設され、前記第１方向において前記第１導体部と対向して配置される第２導体部と、
前記第１方向において、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間に配置されるスペーサ部と、
前記第１導体部よりも前記第１方向の他方側において前記第１誘電体部に設けられ、電源部に接続される第３導体部と、
前記第２導体部よりも前記第１方向の一方側において前記第２誘電体部に設けられ、前記電源部に接続される第４導体部と、
前記第１方向において前記第１導体部と前記第３導体部との間に設けられ、前記第３導体部を前記第１導体部に電気的に接続する第１接続部と、
前記第１方向において前記第２導体部と前記第４導体部との間に設けられ、前記第４導体部を前記第２導体部に電気的に接続する第２接続部と、を有し、
前記スペーサ部は、前記第１方向における前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間の領域において、前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、
前記第３導体部及び前記第４導体部は、それぞれ前記第１方向から見て前記スペーサ部と重なる位置に配置され、
前記第１導体部及び前記第２導体部は、それぞれ前記スペーサ部よりも前記第２方向の他方側に配置される。
セラミックを主成分とする第１誘電体部と、
前記第１誘電体部に埋設される第１導体部と、
セラミックを主成分とし、前記第１誘電体部に対し第１方向の一方側に間隔をあけて配置される第２誘電体部と、
前記第２誘電体部に埋設され、前記第１方向において前記第１導体部と対向して配置される第２導体部と、
前記第１方向において、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間に配置されるスペーサ部と、
前記第１導体部よりも前記第１方向の他方側において前記第１誘電体部に設けられ、電源部に接続される第３導体部と、
前記第２導体部よりも前記第１方向の一方側において前記第２誘電体部に設けられ、前記電源部に接続される第４導体部と、
前記第１方向において前記第１導体部と前記第３導体部との間に設けられ、前記第３導体部を前記第１導体部に電気的に接続する第１接続部と、
前記第１方向において前記第２導体部と前記第４導体部との間に設けられ、前記第４導体部を前記第２導体部に電気的に接続する第２接続部と、を有し、
前記スペーサ部は、前記第１方向における前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間の領域において、前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、
前記第３導体部及び前記第４導体部は、それぞれ前記第１方向から見て前記スペーサ部と重なる位置に配置され、
前記第１導体部及び前記第２導体部は、それぞれ前記スペーサ部よりも前記第２方向の他方側に配置される。
【0007】
本発明のオゾン発生器は、本発明のオゾン発生体と、前記電源部と、を備える。
【発明の効果】
【0008】
本発明によれば、硝酸化合物に起因する印加電圧の低下を抑えやすい。
【図面の簡単な説明】
【0009】
【発明を実施するための形態】
【0010】
以下では、本開示の実施形態が列記されて例示される。
【0011】
〔１〕セラミックを主成分とする第１誘電体部と、
前記第１誘電体部に埋設される第１導体部と、
セラミックを主成分とし、前記第１誘電体部に対し第１方向の一方側に間隔をあけて配置される第２誘電体部と、
前記第２誘電体部に埋設され、前記第１方向において前記第１導体部と対向して配置される第２導体部と、
前記第１方向において、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間に配置されるスペーサ部と、
前記第１導体部よりも前記第１方向の他方側において前記第１誘電体部に設けられ、電源部に接続される第３導体部と、
前記第２導体部よりも前記第１方向の一方側において前記第２誘電体部に設けられ、前記電源部に接続される第４導体部と、
前記第１方向において前記第１導体部と前記第３導体部との間に設けられ、前記第３導体部を前記第１導体部に電気的に接続する第１接続部と、
前記第１方向において前記第２導体部と前記第４導体部との間に設けられ、前記第４導体部を前記第２導体部に電気的に接続する第２接続部と、を有し、
前記スペーサ部は、前記第１方向における前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間の領域において、前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、
前記第３導体部及び前記第４導体部は、それぞれ前記第１方向から見て前記スペーサ部と重なる位置に配置され、
前記第１導体部及び前記第２導体部は、それぞれ前記スペーサ部よりも前記第２方向の他方側に配置される
オゾン発生体。
前記第１誘電体部に埋設される第１導体部と、
セラミックを主成分とし、前記第１誘電体部に対し第１方向の一方側に間隔をあけて配置される第２誘電体部と、
前記第２誘電体部に埋設され、前記第１方向において前記第１導体部と対向して配置される第２導体部と、
前記第１方向において、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間に配置されるスペーサ部と、
前記第１導体部よりも前記第１方向の他方側において前記第１誘電体部に設けられ、電源部に接続される第３導体部と、
前記第２導体部よりも前記第１方向の一方側において前記第２誘電体部に設けられ、前記電源部に接続される第４導体部と、
前記第１方向において前記第１導体部と前記第３導体部との間に設けられ、前記第３導体部を前記第１導体部に電気的に接続する第１接続部と、
前記第１方向において前記第２導体部と前記第４導体部との間に設けられ、前記第４導体部を前記第２導体部に電気的に接続する第２接続部と、を有し、
前記スペーサ部は、前記第１方向における前記第１誘電体部と前記第２誘電体部との間の領域において、前記第１方向と直交する第２方向の一方側に配置され、
前記第３導体部及び前記第４導体部は、それぞれ前記第１方向から見て前記スペーサ部と重なる位置に配置され、
前記第１導体部及び前記第２導体部は、それぞれ前記スペーサ部よりも前記第２方向の他方側に配置される
オゾン発生体。
【0012】
〔１〕のオゾン発生体は、第３導体部及び第４導体部がいずれも第１方向から見てスペーサ部と重なる位置に配置されるため、第３導体部及び第４導体部を第２方向の一方側から電源部に接続しやすい。しかも、第１導体部及び第２導体部は、スペーサ部よりも第２方向の他方側に配置されるため、第１導体部と第２導体部との間で放電させても、スペーサ部の表面に硝酸化合物が発生することを抑えることができる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部を介して第１誘電体部と第２誘電体部とがつながれることを防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することを抑えることができる。なお、「第１方向から見て」とは、第１方向の一方側又は他方側から第１方向に真っすぐに見た場合のことを意味する。
【0013】
〔２〕前記第１接続部は、前記第１方向から見て前記第３導体部及び前記スペーサ部と重なる位置から前記第１導体部と重なる位置に延設される第１延設部を有し、
前記第２接続部は、前記第１方向から見て前記第４導体部及び前記スペーサ部と重なる位置から前記第２導体部と重なる位置に延設される第２延設部を有し、
前記第１延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第１導体部との間に配置される第１中間延設部を有し、
前記第２延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第２導体部との間に配置される第２中間延設部を有し、
前記第１中間延設部及び前記第２中間延設部は、前記第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される
〔１〕に記載のオゾン発生体。
前記第２接続部は、前記第１方向から見て前記第４導体部及び前記スペーサ部と重なる位置から前記第２導体部と重なる位置に延設される第２延設部を有し、
前記第１延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第１導体部との間に配置される第１中間延設部を有し、
前記第２延設部は、前記第１方向から見て前記スペーサ部と前記第２導体部との間に配置される第２中間延設部を有し、
前記第１中間延設部及び前記第２中間延設部は、前記第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される
〔１〕に記載のオゾン発生体。
【0014】
〔２〕のオゾン発生体は、第１方向から見て、スペーサ部と第１導体部との間に配置される第１中間延設部と、スペーサ部と第２導体部との間に配置される第２中間延設部とが、互いに重ならない位置に配置される。このため、第１中間延設部と第２中間延設部との間では、放電がより一層生じにくくなり、スペーサ部の表面に硝酸化合物が発生しにくくなる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部を介して第１誘電体部と第２誘電体部とがつながれることをより一層防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することをより確実に抑えることができる。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部の表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部の表面に隣接する位置に配置される第１中間延設部と第２中間延設部とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１中間延設部と第２中間延設部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすく、ひいては、第１接続部と第２接続部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部の表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部の表面に隣接する位置に配置される第１中間延設部と第２中間延設部とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１中間延設部と第２中間延設部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすく、ひいては、第１接続部と第２接続部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
【0015】
〔３〕前記第１延設部と前記第２延設部が、前記第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される
〔２〕に記載のオゾン発生体。
〔２〕に記載のオゾン発生体。
【0016】
〔３〕のオゾン発生体は、第１延設部と第２延設部が、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、第１延設部と第２延設部との間では、放電がより一層生じにくくなり、スペーサ部の表面に硝酸化合物が発生しにくくなる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部を介して第１誘電体部と第２誘電体部とがつながれることをより一層防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することをより確実に抑えることができる。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部の表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部の表面と重なる位置に配置される第１接続部と第２接続部とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１接続部と第２接続部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部の表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部の表面と重なる位置に配置される第１接続部と第２接続部とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１接続部と第２接続部とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
【0017】
〔４〕前記スペーサ部は、前記第１誘電体部及び前記第２誘電体部のうち少なくとも一方とは別体として構成される
〔３〕に記載のオゾン発生体。
〔３〕に記載のオゾン発生体。
【0018】
第１誘電体部及び第２誘電体部のうち少なくとも一方をスペーサ部とは別体とすることで、第１誘電体部、第２誘電体部及びスペーサ部の製造が容易になる。しかし、第１誘電体部及び第２誘電体部のうち少なくとも一方がスペーサ部とは別体である場合、スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に硝酸化合物が発生しうる。スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に硝酸化合物が発生すると、この硝酸化合物が潮解したときに導電層が形成されて容量成分となり、印加電圧が想定値に対してずれるおそれがある。この点、〔４〕のオゾン発生体は、第１導体部及び第２導体部がスペーサ部よりも第２方向の他方側に配置されるため、スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に導電層が形成されにくい。しかも、このオゾン発生体は、第１延設部と第２延設部が、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、第１延設部と第２延設部の間での放電に起因してスペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に導電層が形成されることも防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物、もしくは潮解した硝酸化合物がスペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に導電層を形成したとしても、第１接続部と第２接続部が第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、容量成分を形成しにくい。このため、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
また、放電によって生じた硝酸化合物、もしくは潮解した硝酸化合物がスペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に導電層を形成したとしても、第１接続部と第２接続部が第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、容量成分を形成しにくい。このため、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
【0019】
〔５〕前記スペーサ部は、前記第１誘電体部と前記第２誘電体部のうち少なくとも一方と一体に形成される
〔１〕から〔３〕のいずれかに記載のオゾン発生体。
〔１〕から〔３〕のいずれかに記載のオゾン発生体。
【0020】
〔５〕のオゾン発生体は、上記少なくとも一方とスペーサ部との間の隙間に硝酸化合物が発生することを防止できる。このため、この硝酸化合物が潮解して、上記少なくとも一方とスペーサ部との間の隙間に導電層が形成されて容量成分となることを防止でき、その結果、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
【0021】
〔６〕前記スペーサ部は、前記第１誘電体部及び前記第２誘電体部のうち少なくとも一方とは別体として構成される
〔１〕又は〔２〕に記載のオゾン発生体。
〔１〕又は〔２〕に記載のオゾン発生体。
【0022】
第１誘電体部及び第２誘電体部のうち少なくとも一方をスペーサ部とは別体とすることで、第１誘電体部、第２誘電体部及びスペーサ部の製造が容易になる。しかし、第１誘電体部及び第２誘電体部のうち少なくとも一方がスペーサ部とは別体である場合、スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に硝酸化合物が発生しうる。スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に硝酸化合物が発生すると、この硝酸化合物が潮解したときに導電層が形成されて容量成分となり、印加電圧が想定値に対してずれるおそれがある。この点、〔６〕のオゾン発生体は、第１導体部及び第２導体部がスペーサ部よりも第２方向の他方側に配置されるため、スペーサ部と上記少なくとも一方との間の隙間に導電層が形成されにくい。
【0023】
〔７〕〔１〕から〔６〕のいずれかに記載のオゾン発生体と、
前記電源部と、を備える
オゾン発生器。
前記電源部と、を備える
オゾン発生器。
【0024】
１．第１実施形態
１－１．オゾン発生器１００の構成
図１に示すオゾン発生器１００は、外部の空気を吸い込み、放電（より具体的には、誘電体バリア放電）により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器１００は、図３に示すように、外殻部１と、流路２と、オゾン発生体３と、を備える。
１－１．オゾン発生器１００の構成
図１に示すオゾン発生器１００は、外部の空気を吸い込み、放電（より具体的には、誘電体バリア放電）により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器１００は、図３に示すように、外殻部１と、流路２と、オゾン発生体３と、を備える。
【0025】
外殻部１は、図３に示すように、オゾン発生器１００の外殻をなしており、内部に空間が形成されている。外殻部１は、内部にオゾン発生体３を収容する。外殻部１は、第１ケース部１１と、第２ケース部１２と、吸気部１３と、排気部１４と、を有する。
【0026】
以下では、オゾン発生器１００の軸方向をＺ方向と称する。軸方向は、オゾン発生器１００の上下方向である。上方側が、Ｚ方向の一方側であり、下方側が、Ｚ方向の他方側である。
【0027】
第１ケース部１１は、載置面に載置される部位である。第１ケース部１１は、図３に示すように、載置面部１１Ａと、載置面部１１Ａの外周部から筒状に突出する筒部１１Ｂと、を有する。載置面部１１Ａの外縁は、円形状をなしている。筒部１１Ｂは、載置面部１１Ａの外周部からＺ方向の一方側に突出している。筒部１１Ｂは、円筒状をなしている。
【0028】
第２ケース部１２は、図３に示すように、周壁部１２Ａと、天壁部１２Ｂと、を有する。周壁部１２Ａは、筒状、より具体的には円筒状をなしている。周壁部１２Ａは、Ｚ方向と直交する平面方向において、筒部１１Ｂより外側に配置されている。周壁部１２ＡにおけるＺ方向の他方側の端部は、吸気部１３を介して筒部１１ＢにおけるＺ方向の一方側の端部に連結される。これにより、第２ケース部１２は、載置面から浮いた状態で配置される。天壁部１２Ｂは、周壁部１２ＡにおけるＺ方向の一方側の内周部から内側に突出している。天壁部１２Ｂは、環状、より具体的には円環状をなしている。
【0029】
吸気部１３は、環状、より具体的には、円環状をなしている。吸気部１３には、流路２に空気を含む気体を取り込む吸気口１３Ａが形成されている。吸気口１３Ａは、環状、より具体的には、円環状をなしている。
【0030】
排気部１４は、環状の天壁部１２Ｂの内周部に取り付けられる。排気部１４は、板状、より具体的には、円板状をなしている。排気部１４には、流路２から気体を排出する排気口１４Ａが形成されている。排気口１４Ａは、スリット状に形成されている。排気部１４は、流路２内に指が入ることを防ぐフィンガーガードとして構成されている。排気口１４Ａは、Ｚ方向と直交する平面方向において、吸気口１３Ａよりも内側に配置されている。
【0031】
流路２は、第１流路２Ａと、第２流路２Ｂと、を有する。第１流路２Ａは、第２流路２Ｂよりも上流側に配置される。第２流路２Ｂは、排気口１４Ａに向けて直線状に延びている。第２流路２Ｂが伸びる方向は、オゾン発生器１００の軸方向である。また、第２流路２Ｂに対する排気口１４Ａ側が、Ｚ方向の一方側であり、その反対側が、Ｚ方向の他方側である。第２流路２Ｂは、Ｚ方向と直交する平面方向において、吸気口１３Ａよりも内側に配置されている。第１流路２Ａは、吸気口１３Ａから取り込んだ気体を、Ｚ方向と直交する平面方向において、吸気口１３Ａよりも内側に寄せて、第２流路２Ｂに導入させる。第２流路２Ｂに導入された気体は、第２流路２Ｂを通り、排気口１４Ａから排出される。
【0032】
１－２．オゾン発生体３の構成
オゾン発生体３は、電圧が印加されることによって放電する。より具体的には、オゾン発生体３は、交流電圧が印加されることによって誘電体バリア放電を生じさせる。オゾン発生体３は、吸気口１３Ａから取り込まれた空気中の酸素を原料として流路２にオゾンを発生させる。
オゾン発生体３は、電圧が印加されることによって放電する。より具体的には、オゾン発生体３は、交流電圧が印加されることによって誘電体バリア放電を生じさせる。オゾン発生体３は、吸気口１３Ａから取り込まれた空気中の酸素を原料として流路２にオゾンを発生させる。
【0033】
【0034】
第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、セラミックを主成分とする。第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、本実施形態ではアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）を材料として形成される。なお、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、アルミナに限らず、ガラス（ＳｉＯ２）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ２Ｏ３）等の別のセラミックやそれらの混合物を材料として形成されてもよい。第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、それぞれ板状をなしている。
【0035】
第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、第１方向に互いに間隔をあけて配置される。第１方向は、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の並び方向である。また、第１方向は、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の厚さ方向である。第２誘電体部２２は、第１誘電体部２１に対し、第１方向の一方側に間隔をあけて配置されている。第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、第１方向において、互いに対向する。第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の互いに対向する面は、平坦な面であり、矩形状をなしている。
【0036】
第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、第１方向と直交する第２方向の一方側の端部が、スペーサ部材２３及びホルダ２４によって支持される。第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２は、片持ち支持される。第２方向は、第１誘電体部２１の長手方向であり、第２誘電体部２２の長手方向である。
【0037】
第１誘電体部２１は、第１誘電体本体３１と、第１張出部３２と、第１凹部３３（図１０参照）と、を有する。第１誘電体本体３１は、板状をなし、直方体形状をなす。第１張出部３２は、第１誘電体部２１における第２方向の一方側から、第１方向の他方側に張り出した形態をなしている。第１張出部３２は、第１方向及び第２方向と直交する第３方向において、第１誘電体部２１の全領域にわたって形成されている。第３方向は、第１誘電体部２１の短手方向であり、第２誘電体部２２の短手方向である。第１凹部３３は、第１張出部３２の一部を第１方向の他方側から凹ませた形態をなしている。第１凹部３３は、第１誘電体部２１の第２方向の一方側の端面に開口している。
【0038】
第２誘電体部２２は、第２誘電体本体３６と、第２張出部３７と、第２凹部３８と、を有する。第２誘電体本体３６は、板状をなし、直方体形状をなす。第２張出部３７は、第２誘電体部２２における第２方向の一方側から、第１方向の一方側に張り出した形態をなしている。第２張出部３７は、第３方向において、第２誘電体部２２の全領域にわたって形成されている。第２凹部３８は、第２張出部３７の一部を第１方向の一方側から凹ませた形態をなしている。第２凹部３８は、第２誘電体部２２の第２方向の一方側の端面に開口している。
【0039】
スペーサ部材２３は、第１方向において、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置される。スペーサ部材２３は、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置されるスペーサ部２３Ａと、スペーサ部２３Ａから第２方向の一方側に延設されたスペーサ延設部２３Ｂと、を有する。スペーサ部２３Ａは、スペーサ部材２３のうち、第１方向において第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置される部位である。スペーサ部２３Ａは、スペーサ部材２３のうち、第１方向から見て、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２と重なる部位である。スペーサ延設部２３Ｂは、スペーサ部材２３のうち、第１方向から見て、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２との両方と重ならない部位である。スペーサ延設部２３Ｂにおける第２方向の一方側の端部は、第１誘電体部２１における第２方向の一方側の端部よりも第２方向の一方側に配置されており、第２誘電体部２２における第２方向の一方側の端部よりも第２方向の一方側に配置されている。スペーサ部２３Ａ及びスペーサ延設部２３Ｂは、それぞれ板状をなしている。スペーサ部２３Ａ及びスペーサ延設部２３Ｂの厚さ方向は、第１方向に沿っており、より具体的には第１方向と平行である。スペーサ部２３Ａは、第３方向において、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の両端よりも内側に配置されている。
【0040】
ホルダ２４は、スペーサ部材２３を挟んだ第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２を保持する部材である。ホルダ２４は、環状（具体的には角筒状）をなしており、スペーサ部材２３を挟んだ第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の外周を囲むように配置される。ホルダ２４は、ホルダ本体２４Ａと、係止部２４Ｂと、を有する。
【0041】
ホルダ本体２４Ａは、環状（具体的には角筒状）をなしている。係止部２４Ｂは、ホルダ本体２４Ａにおける第２方向の他方側の内周部から内側に突出する形態をなしている。係止部２４Ｂは、第１方向の両側から突出している。
【0042】
ホルダ２４は、スペーサ部材２３を挟んだ第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２に対し、第２方向の他方側から挿し通される。ホルダ２４は、係止部２４Ｂが第１誘電体部２１の第１張出部３２及び第２張出部３７に接触することで、位置決めされる。
【0043】
第１端子２５及び第２端子２６は、それぞれ金属製であり、板状をなす。第１端子２５は、第１凹部３３に配置される。第１端子２５は、第３導体部４１（図６参照）に接合され、第３導体部４１に電気的に接続される。第２端子２６は、第４導体部５１（図６参照）に接合され、第４導体部５１に電気的に接続される。第１端子２５及び第２端子２６は、第３方向から見てＬ字状をなす。
【0044】
【0045】
第１導体部４０は、図６及び図７に示すように、第１誘電体部２１に設けられる。第１導体部４０は、第１誘電体部２１に埋設される。第１導体部４０は、第１誘電体部２１における第２方向の他方側に埋設される。第１導体部４０は、スペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置される。
【0046】
第３導体部４１は、図６及び図７に示すように、第１誘電体部２１に設けられる。第３導体部４１は、第１導体部４０よりも第１方向の他方側に配置される。第３導体部４１は、第１誘電体部２１における第１方向の他方側の面に配置される。第３導体部４１は、第１凹部３３の底面に配置される。第３導体部４１は、第１誘電体部２１の外部に露出する。第３導体部４１は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。本実施形態では、第３導体部４１の全体が、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。なお、第３導体部４１の一部のみが、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される構成であってもよい。
【0047】
第１接続部４２は、図６及び図７に示すように、第１誘電体部２１に設けられる。第１接続部４２は、第１誘電体部２１に埋設される。第１接続部４２は、導電性を有する。第１接続部４２は、第１方向において第１導体部４０と第３導体部４１との間に設けられ、第３導体部４１を第１導体部４０に電気的に接続する。第１接続部４２は、第１延設部４３と、第１ビア４４と、第３ビア４５と、を有する。第１延設部４３は、第１方向から見て第３導体部４１及びスペーサ部２３Ａと重なる位置から第１導体部４０と重なる位置に延設される。第１延設部４３は、第１基端側延設部４６と、第１中間延設部４７と、第１先端側延設部４８と、を有する。第１基端側延設部４６は、第１延設部４３のうち、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される部位である。第１中間延設部４７は、第１延設部４３のうち、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと第１導体部４０との間に配置される部位である。第１中間延設部４７における延設方向の長さは、第１延設部４３における延設方向の長さ（第１延設部４３の全長）の５０％以上であることが好ましく、７５％以上であることがより好ましい。第１先端側延設部４８は、第１延設部４３のうち、第１方向から見て第１導体部４０と重なる部位である。第１ビア４４は、第１延設部４３（より具体的には、第１先端側延設部４８）を第１導体部４０に電気的に接続する。第１ビア４４は、第１方向に沿って延びている。第１ビア４４は、複数（本実施形態では２つ）設けられている。第１ビア４４は、第２方向に沿って並んで配置されている。第１ビア４４は、第２方向に間隔をあけて配置されている。複数の第１ビア４４は、それぞれ第１延設部４３（より具体的には、第１先端側延設部４８）を第１導体部４０に電気的に接続する。第３ビア４５は、第１延設部４３（より具体的には、第１基端側延設部４６）を第３導体部４１に電気的に接続する。第３ビア４５は、第１方向に沿って延びている。第３ビア４５は、複数（本実施形態では２つ）設けられている。第３ビア４５は、第２方向に沿って並んで配置されている。第３ビア４５は、第２方向に間隔をあけて配置されている。複数の第３ビア４５は、それぞれ第１延設部４３（より具体的には、第１基端側延設部４６）を第３導体部４１に電気的に接続する。
【0048】
第２導体部５０は、図６及び図８に示すように、第２誘電体部２２に設けられる。第２導体部５０は、第２誘電体部２２に埋設される。第２導体部５０は、第２誘電体部２２における第２方向の他方側に埋設される。第２導体部５０は、スペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置される。
【0049】
第４導体部５１は、図６及び図８に示すように、第２誘電体部２２に設けられる。第４導体部５１は、第２導体部５０よりも第１方向の一方側に配置される。第４導体部５１は、第２誘電体部２２における第１方向の一方側の面に配置される。第４導体部５１は、第２凹部３８の底面に配置される。第４導体部５１は、第２誘電体部２２の外部に露出する。第４導体部５１は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。本実施形態では、第４導体部５１の全体が、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。しかし、第４導体部５１の一部のみが、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される構成であってもよい。
【0050】
第２接続部５２は、第２誘電体部２２に設けられる。第２接続部５２は、第２誘電体部２２に埋設される。第２接続部５２は、導電性を有する。第２接続部５２は、第１方向において第２導体部５０と第４導体部５１との間に設けられ、第４導体部５１を第２導体部５０に電気的に接続する。第２接続部５２は、第２延設部５３と、第２ビア５４と、第４ビア５５と、を有する。第２延設部５３は、第１方向から見て第４導体部５１及びスペーサ部２３Ａと重なる位置から第２導体部５０と重なる位置に延設される。第２延設部５３は、第２基端側延設部５６と、第２中間延設部５７と、第２先端側延設部５８と、を有する。第２基端側延設部５６は、第２延設部５３のうち、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される部位である。第２中間延設部５７は、第２延設部５３のうち、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと第２導体部５０との間に配置される部位である。第２中間延設部５７における延設方向の長さは、第２延設部５３における延設方向の長さ（第２延設部５３の全長）の５０％以上であることが好ましく、７５％以上であることがより好ましい。第２先端側延設部５８は、第２延設部５３のうち、第１方向から見て第２導体部５０と重なる位置に配置される部位である。第２ビア５４は、第２延設部５３（より具体的には、第２先端側延設部５８）を第２導体部５０に電気的に接続する。第２ビア５４は、第１方向に沿って延びている。第２ビア５４は、複数（本実施形態では２つ）設けられている。第２ビア５４は、第２方向に沿って並んで配置されている。第２ビア５４は、第２方向に間隔をあけて配置されている。複数の第２ビア５４は、それぞれ第２延設部５３（より具体的には、第２先端側延設部５８）を第２導体部５０に電気的に接続する。第４ビア５５は、第２延設部５３（より具体的には、第２基端側延設部５６）を第４導体部５１に電気的に接続する。第４ビア５５は、第１方向に沿って延びている。第４ビア５５は、複数（本実施形態では２つ）設けられている。第４ビア５５は、第２方向に沿って並んで配置されている。第４ビア５５は、第２方向に間隔をあけて配置されている。複数の第４ビア５５は、それぞれ第２延設部５３（より具体的には、第２基端側延設部５６）を第４導体部５１に電気的に接続する。
【0051】
第１導体部４０、第３導体部４１、第１延設部４３、第２導体部５０、第４導体部５１、及び第２延設部５３は、金属製であり、薄い金属層として構成される。第１導体部４０、第３導体部４１、第１延設部４３、第２導体部５０、第４導体部５１、及び第２延設部５３は、第１方向と直交する平面方向に沿って広がっている。
【0052】
第１導体部４０及び第２導体部５０は、図６から図８に示すように、第１方向に互いに対向する。第１導体部４０及び第２導体部５０は、第１方向から見て互いに重なる位置に配置される。第１導体部４０及び第２導体部５０は、第１方向から見て互いに一部のみが重なる。第１導体部４０及び第２導体部５０は、放電電極として機能する。第１導体部４０及び第２導体部５０は、本実施形態ではタングステン（Ｗ）を材料として形成される。なお、第１導体部４０及び第２導体部５０は、タングステンに限らず、例えばモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを材料として形成されてもよい。
【0053】
第１導体部４０は、図６から図８に示すように、第１方向から見て第２導体部５０と重なる位置に配置される第１重複部４０Ａと、第１方向から見て第２導体部５０と重ならない位置に配置される第１非重複部４０Ｂと、を有する。第１重複部４０Ａは、第２方向に沿って直線状に延びている。第１非重複部４０Ｂは、第１先端側非重複部４０Ｃと、第１基端側非重複部４０Ｄと、を有する。第１先端側非重複部４０Ｃは、第１重複部４０Ａにおける第２方向の一方側の端部から第３方向の一方側に延びている。第１基端側非重複部４０Ｄは、第１先端側非重複部４０Ｃにおける第３方向の一方側の端部から第２方向の一方側に延びている。第１基端側非重複部４０Ｄと第１先端側延設部４８は、第１方向から見て互いに重なる位置に配置され、第１ビア４４を介して互いに電気的に接続される。
【0054】
第２導体部５０は、図６から図８に示すように、第１方向から見て第１導体部４０と重なる位置に配置される第２重複部５０Ａと、第１方向から見て第１導体部４０と重ならない位置に配置される第２非重複部５０Ｂと、を有する。第２重複部５０Ａは、第２方向に沿って直線状に延びている。第２非重複部５０Ｂは、第２先端側非重複部５０Ｃと、第２基端側非重複部５０Ｄと、を有する。第２先端側非重複部５０Ｃは、第２重複部５０Ａにおける第２方向の一方側の端部から第３方向の他方側に延びている。第２基端側非重複部５０Ｄは、第２先端側非重複部５０Ｃにおける第３方向の他方側の端部から第２方向の一方側に延びている。第２基端側非重複部５０Ｄと第２先端側延設部５８は、第１方向から見て互いに重なる位置に配置され、第２ビア５４を介して互いに電気的に接続される。
【0055】
第３導体部４１及び第４導体部５１は、図６から図８に示すように、第１方向から見て互いに重なる位置に配置される。第３導体部４１及び第４導体部５１の第３方向の各々の幅寸法は、第１導体部４０及び第２導体部５０の各々の幅寸法（より具体的には、第１重複部４０Ａ及び第２重複部５０Ａの第３方向の幅寸法）の３倍以上である。
【0056】
第１延設部４３及び第２延設部５３は、図９に示すように、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置される。第１延設部４３と第２延設部５３との第３方向の最小の間隔は、第１導体部４０及び第２導体部５０の各々の幅寸法（より具体的には、第１重複部４０Ａ及び第２重複部５０Ａの第３方向の幅寸法）以上である。
【0057】
図６に示すように、第１誘電体部２１には、放電する第１放電面２１Ａが形成されている。第２誘電体部２２には、放電する第２放電面２２Ａが形成されている。第１放電面２１Ａと第２放電面２２Ａは、第１方向において、互いに対向する。第１放電面２１Ａは、第１誘電体部２１の第１方向の一方側の面のうち、第１方向から見て第１導体部４０及び第２導体部５０の両方と重なる領域である。また、第１放電面２１Ａは、第１誘電体部２１の第１方向の一方側の面のうち、第１方向から見て第１重複部４０Ａと重なる領域である。第２放電面２２Ａは、第２誘電体部２２の第１方向の他方側の面のうち、第１方向から見て第１導体部４０及び第２導体部５０の両方と重なる領域である。また、第２放電面２２Ａは、第２誘電体部２２の第１方向の他方側の面のうち、第１方向から見て第２重複部５０Ａと重なる領域である。
【0058】
１－３．オゾン発生器１００のその他の構成
オゾン発生器１００は、図１０に示すように、保持部７０と、第１配線部７１と、第２配線部７２と、を備える。更に、オゾン発生器１００は、図１１に示すように、電源部７３を備える。
オゾン発生器１００は、図１０に示すように、保持部７０と、第１配線部７１と、第２配線部７２と、を備える。更に、オゾン発生器１００は、図１１に示すように、電源部７３を備える。
【0059】
保持部７０は、オゾン発生体３を保持する部位である。保持部７０は、図１０に示すように、収容部７５を有する。収容部７５は、オゾン発生体３における第２方向の一端側を収容する。収容部７５は、底壁部７６と、底壁部７６の外周部から筒状に突出した筒状壁部７７と、を有する。筒状壁部７７は、底壁部７６の外周部から第２方向の他方側に突出する。底壁部７６には、第１端子固定部７６Ａ及び第２端子固定部７６Ｂが設けられている。第１端子固定部７６Ａには、第１端子２５がねじ７８によって固定される。第２端子固定部７６Ｂには、第２端子２６がねじ７８によって固定される。
【0060】
保持部７０は、図１０に示すように、絶縁樹脂７９を有する。底壁部７６と筒状壁部７７とによって囲まれる空間には、絶縁樹脂７９が充填される。上述した第３導体部４１、第４導体部５１、第１端子２５、及び第２端子２６は、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２の外部に露出した部位が、絶縁樹脂７９によって埋められる。オゾン発生体３は、スペーサ部２３Ａにおける第２方向の他方側の端部よりも第２方向の一方側の部位のみが、絶縁樹脂７９によって埋められる。
【0061】
第１配線部７１の一端は、図１０に示すように、第１端子２５とともに第１端子固定部７６Ａに固定され、第１端子２５と電気的に接続される。第１配線部７１の他端は、電源部７３に接続される。つまり、第３導体部４１は、第１端子２５及び第１配線部７１を介して、電源部７３に接続される。
【0062】
第２配線部７２の一端は、図１０に示すように、第２端子２６とともに第２端子固定部７６Ｂに固定され、第２端子２６と電気的に接続される。第２配線部７２の他端は、電源部７３に接続される。つまり、第４導体部５１は、第２端子２６及び第２配線部７２を介して、電源部７３に接続される。
【0063】
電源部７３は、交流電源である。電源部７３は、トランスを有し、交流電力を供給しうる。電源部７３は、オゾン発生器１００の外部の商用電源から供給される電力に基づいて所望の交流電力を生成し、オゾン発生体３等に供給する。
【0064】
保持部７０は、図１３に示すように、流路２を構成する流路構成部８０の外壁よりも外側に配置される。流路構成部８０には、貫通孔８１が形成されている。オゾン発生体３（より具体的には、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２）における第２方向の他方側は、貫通孔８１を介して流路２（より具体的には、第２流路２Ｂ）内に突出する。
【0065】
オゾン発生器１００は、図３に示すように、ファン８２を備える。ファン８２は、オゾン発生体３よりも上流側に配置される。ファン８２は、流路２内において、オゾン発生体３よりも吸気口１３Ａ側に配置される。ファン８２は、オゾン発生体３よりも下方の位置に配置される。ファン８２は、流路２内において、吸気口１３Ａ側から排気口１４Ａ側に送風する。ファン８２は、軸流ファンである。ファン８２は、回転方向Ｗに回転することで、流路２に回転方向Ｗの旋回流を生じさせる。回転方向Ｗは、本実施形態では、ファン８２のＺ方向の一方側（上方側）から見て時計回り方向である。
【0066】
オゾン発生体３は、図３に示すように、第２方向をＺ方向と直交する方向に沿わせ、第３方向をＺ方向に対して傾けた状態で配置される。オゾン発生体３は、Ｚ方向と直交する平面方向において、流路２の中心よりも内壁側に配置される。オゾン発生体３は、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間の領域が、排気口１４Ａ側（下流側）に向かうにつれて回転方向Ｗの前方側に向かうように傾斜している。このため、ファン８２によって生成された旋回流が、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間（より具体的には、第１放電面２１Ａと第２放電面２２Ａとの間）の空間に入り込みやすい。
【0067】
オゾン発生器１００は、図３に示すように、拡散板８３を備える。拡散板８３は、オゾン発生体３が発生させたオゾンを拡散させる。
【0068】
オゾン発生器１００は、図３に示すように、掃除部９０と、掃除部９０と連動する操作部９１と、を備える。掃除部９０は、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置される。掃除部９０は、第１放電面２１Ａ及び第２放電面２２Ａに沿って変位し、第１放電面２１Ａ及び第２放電面２２Ａとの間に堆積する堆積物（例えば硝酸化合物）を除去する。掃除部９０は、操作部９１によってオゾン発生器１００の外部から操作される。
【0069】
オゾン発生器１００は、図１１に示すように、入力部１３０と、検知部１３１と、制御部１３２と、を備える。
【0070】
入力部１３０は、使用者からの入力操作（例えば電源のオンオフ操作）を検出し、操作結果を示す信号を出力する。
【0071】
検知部１３１は、掃除部９０が放電領域に配置されていることを検知する。検知部１３１は、掃除部９０が放電領域に配置されているか否かを示す信号を出力する。
【0072】
制御部１３２は、オゾン発生器１００の動作を制御する。制御部１３２は、マイクロコンピュータを主体として構成され、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路等を有する。
【0073】
制御部１３２は、電源部７３を介して、オゾン発生体３の動作を制御しうる。制御部１３２は、オゾン発生体３に印加する交流電圧を制御することで、オゾン発生体３が発生させるオゾンの量を調整しうる。
【0074】
制御部１３２は、ファン８２の動作を制御しうる。制御部１３２は、ファン８２にＰＷＭ信号を与えることで、ファン８２をＰＷＭ制御する。これにより、制御部１３２は、風量を調整しうる。
【0075】
制御部１３２には、入力部１３０から出力された信号が入力される。制御部１３２は、電源のオン操作が行われた場合に、オゾン発生体３によるオゾンを発生させる動作を開始させ、ファン８２の動作を開始させる。制御部１３２は、電源のオフ操作が行われた場合に、オゾン発生体３によるオゾンを発生させる動作を停止させ、ファン８２の動作を停止させる。
【0076】
制御部１３２には、検知部１３１から出力された信号が入力される。制御部１３２は、検知部１３１によって掃除部９０が放電領域に配置されていると検知された場合に、オゾン発生体３による放電動作を制限する。
【0077】
１－４．効果の例
オゾン発生体３は、第３導体部４１及び第４導体部５１がいずれも第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置されるため、第３導体部４１及び第４導体部５１を第２方向の一方側から電源部７３に接続しやすい。しかも、第１導体部４０及び第２導体部５０は、スペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置されるため、第１導体部４０と第２導体部５０との間で放電させても、スペーサ部２３Ａの表面に硝酸化合物が発生することを抑えることができる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａを介して第１誘電体部２１と第２誘電体部２２とがつながれることを防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することを抑えることができる。
オゾン発生体３は、第３導体部４１及び第４導体部５１がいずれも第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置されるため、第３導体部４１及び第４導体部５１を第２方向の一方側から電源部７３に接続しやすい。しかも、第１導体部４０及び第２導体部５０は、スペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置されるため、第１導体部４０と第２導体部５０との間で放電させても、スペーサ部２３Ａの表面に硝酸化合物が発生することを抑えることができる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａを介して第１誘電体部２１と第２誘電体部２２とがつながれることを防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することを抑えることができる。
【0078】
更に、オゾン発生体３は、第１方向から見て、スペーサ部２３Ａと第１導体部４０との間に配置される第１中間延設部４７と、スペーサ部２３Ａと第２導体部５０との間に配置される第２中間延設部５７とが、互いに重ならない位置に配置される。このため、第１中間延設部４７と第２中間延設部５７との間では、放電がより一層生じにくくなり、スペーサ部２３Ａの表面に硝酸化合物が発生しにくくなる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａを介して第１誘電体部２１と第２誘電体部２２とがつながれることをより一層防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することをより確実に抑えることができる。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部２３Ａの表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部２３Ａの表面に隣接する位置に配置される第１中間延設部４７と第２中間延設部５７とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１中間延設部４７と第２中間延設部５７とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすく、ひいては、第１接続部４２と第２接続部５２とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部２３Ａの表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部２３Ａの表面に隣接する位置に配置される第１中間延設部４７と第２中間延設部５７とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１中間延設部４７と第２中間延設部５７とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすく、ひいては、第１接続部４２と第２接続部５２とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
【0079】
更に、オゾン発生体３は、第１延設部４３と第２延設部５３が、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、第１延設部４３と第２延設部５３との間では、放電がより一層生じにくくなり、スペーサ部２３Ａの表面に硝酸化合物が発生しにくくなる。その結果、潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａを介して第１誘電体部２１と第２誘電体部２２とがつながれることをより一層防止しやすく、潮解した硝酸化合物に起因して印加電圧が低下することをより確実に抑えることができる。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部２３Ａの表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部２３Ａの表面と重なる位置に配置される第１接続部４２と第２接続部５２とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１接続部４２と第２接続部５２とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物が風で移動したり、潮解し液状化して流れたりして、スペーサ部２３Ａの表面に付着することも想定される。しかし、第１方向から見てスペーサ部２３Ａの表面と重なる位置に配置される第１接続部４２と第２接続部５２とが、互いに重ならないように離間して配置されている。このため、第１接続部４２と第２接続部５２とが潮解した硝酸化合物を介して電気的に接続されることを防止しやすい。
【0080】
更に、オゾン発生体３は、第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２がスペーサ部２３Ａとは別体であるため、第１誘電体部２１、第２誘電体部２２及びスペーサ部２３Ａの製造が容易である。しかし、この場合、スペーサ部２３Ａと第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２との間の隙間に硝酸化合物が発生しうる。スペーサ部２３Ａと第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２との間の隙間に硝酸化合物が発生すると、この硝酸化合物が潮解したときに導電層が形成されて容量成分となり、印加電圧が想定値に対してずれるおそれがある。この点、このオゾン発生体３は、第１導体部４０及び第２導体部５０がスペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置されるため、スペーサ部２３Ａと第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２との間の隙間に導電層が形成されにくい。しかも、このオゾン発生体３は、第１延設部４３と第２延設部５３が、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、第１延設部４３と第２延設部５３の間での放電に起因してスペーサ部２３Ａと第１誘電体部２１及び第２誘電体部２２との間の隙間に導電層が形成されることも防止しやすい。
また、放電によって生じた硝酸化合物、もしくは潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａと上記少なくとも一方との間の隙間に導電層を形成したとしても、第１接続部４２と第２接続部５２が第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、容量成分を形成しにくい。このため、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
また、放電によって生じた硝酸化合物、もしくは潮解した硝酸化合物がスペーサ部２３Ａと上記少なくとも一方との間の隙間に導電層を形成したとしても、第１接続部４２と第２接続部５２が第１方向から見て互いに重ならない位置に配置されるため、容量成分を形成しにくい。このため、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
【0081】
２．第２実施形態
第２実施形態では、第１先端側延設部と第２先端側延設部が、第１方向から見て互いに重なる位置に配置される例を説明する。なお、第２実施形態の説明では、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付し、詳しい説明を省略する。
第２実施形態では、第１先端側延設部と第２先端側延設部が、第１方向から見て互いに重なる位置に配置される例を説明する。なお、第２実施形態の説明では、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を付し、詳しい説明を省略する。
【0082】
図１２に示すように、第２実施形態の第１延設部１４３は、第１基端側延設部１４６と、第１中間延設部１４７と、第１先端側延設部１４８と、を有する。第１基端側延設部１４６は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。第１中間延設部１４７は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと第１導体部１４０との間に配置される。第１先端側延設部１４８は、第１方向から見て第１導体部１４０と重なる位置に配置される。第１先端側延設部１４８は、第１ビア１４４を介して第１導体部１４０に電気的に接続される。
【0083】
第１導体部１４０は、第２方向に沿って直線状に延びる形態をなしている。第１先端側延設部１４８も、第２方向に沿って直線状に延びる形態をなしている。第１中間延設部１４７は、第１方向から見て第１先端側延設部１４８から第３方向の一方側に延びてから第２方向の一方側に延びる形態をなしている。
【0084】
図１３に示すように、第２実施形態の第２延設部１５３は、第２基端側延設部１５６と、第２中間延設部１５７と、第２先端側延設部１５８と、を有する。第２基端側延設部１５６は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。第２中間延設部１５７は、第１方向から見てスペーサ部２３Ａと第２導体部１５０との間に配置される。第２先端側延設部１５８は、第１方向から見て第２導体部１５０と重なる位置に配置される。第２先端側延設部１５８は、第２ビア１５４を介して第２導体部１５０に電気的に接続される。
【0085】
第２導体部１５０は、第２方向に沿って直線状に延びる形態をなしている。第２先端側延設部１５８も、第２方向に沿って直線状に延びる形態をなしている。第２中間延設部１５７は、第１方向から見て第２先端側延設部１５８から第３方向の他方側に延びてから第２方向の他方側に延びる形態をなしている。
【0086】
第１中間延設部１４７及び第２中間延設部１５７は、第１方向から見て第１導体部１４０及び第２導体部１５０から互いに離れる方向に延びてから、それぞれ第２方向の一方側に延びる形態をなしている。
【0087】
図１４に示すように、第１先端側延設部１４８と第２先端側延設部１５８は、第１方向から見て互いに重なる位置に配置される。このような構成においても、第１中間延設部１４７と第２中間延設部１５７を、第１方向から見て互いに重ならない位置に配置させることができる。
【0088】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。
【0089】
上記実施形態では、Ｚ方向が上下方向であったが、上下方向に限らない。例えば、Ｚ方向は、上下方向に対して直交する方向であってもよいし、上下方向に対して傾斜する方向であってもよい。
【0090】
上記実施形態では、第３導体部が第１誘電体部に埋設される構成であったが、第３導体部が第１誘電体部の外部に露出する構成であってもよい。上記実施形態では、第４導体部が第２誘電体部に埋設される構成であったが、第４導体部が第２誘電体部の外部に露出する構成であってもよい。
【0091】
上記実施形態では、第１接続部が、第１延設部を有する構成であったが、第１延設部を有しない構成であってもよい。例えば、第１接続部は、ビアのみで構成されてもよい。上記実施形態では、第２接続部が、第２延設部を有する構成であったが、第２延設部を有しない構成であってもよい。例えば、第２接続部は、ビアのみで構成されてもよい。
【0092】
上記実施形態では、第１ビア、第２ビア、第３ビア、第４ビアがそれぞれ複数設けられる構成であったが、これらの全部又は一部が１つだけ設けられる構成であってもよい。
【0093】
上記実施形態では、スペーサ部が、第１誘電体部及び第２誘電体部のいずれとも別体として構成される。しかし、スペーサ部は、第１誘電体部及び第２誘電体部のうち少なくとも一方と一体に形成されてもよい。この構成によれば、上記少なくとも一方とスペーサ部との間の隙間に硝酸化合物が発生することを防止できる。このため、この硝酸化合物が潮解して、上記少なくとも一方とスペーサ部との間の隙間に導電層が形成されて容量成分となることを防止でき、その結果、容量成分が形成されることに起因して印加電圧が想定値に対してずれるという事態が生じにくい。
【0094】
なお、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、今回開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示された範囲内又は特許請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
【符号の説明】
【0095】
３…オゾン発生体
２１…第１誘電体部
２２…第２誘電体部
２３Ａ…スペーサ部
４０…第１導体部
４１…第３導体部
４２…第１接続部
４３…第１延設部
４７…第１中間延設部
５０…第２導体部
５１…第４導体部
５２…第２接続部
５３…第２延設部
５７…第２中間延設部
７３…電源部
９０…掃除部
９１…操作部
１００…オゾン発生器
１４０…第１導体部
１４３…第１延設部
１４７…第１中間延設部
１５０…第２導体部
１５３…第２延設部
１５７…第２中間延設部
２１…第１誘電体部
２２…第２誘電体部
２３Ａ…スペーサ部
４０…第１導体部
４１…第３導体部
４２…第１接続部
４３…第１延設部
４７…第１中間延設部
５０…第２導体部
５１…第４導体部
５２…第２接続部
５３…第２延設部
５７…第２中間延設部
７３…電源部
９０…掃除部
９１…操作部
１００…オゾン発生器
１４０…第１導体部
１４３…第１延設部
１４７…第１中間延設部
１５０…第２導体部
１５３…第２延設部
１５７…第２中間延設部
【要約】
【課題】硝酸化合物に起因する印加電圧の低下を抑える。
【解決手段】オゾン発生体３は、第１誘電体部２１に埋設される第１導体部４０と、第２誘電体部２２に埋設される第２導体部５０と、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置されるスペーサ部２３Ａと、を有する。オゾン発生体３は、第１導体部４０よりも第１方向の他方側に設けられる第３導体部４１と、第２導体部５０よりも第１方向の一方側において第２誘電体部２２に設けられる第４導体部５１と、を有する。スペーサ部２３Ａは、第１方向における第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間の領域において、第１方向と直交する第２方向の一方側に配置される。第３導体部４１及び第４導体部４２は、それぞれ第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。第１導体部４０及び第２導体部５０は、それぞれスペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置される。
【選択図】図６
【解決手段】オゾン発生体３は、第１誘電体部２１に埋設される第１導体部４０と、第２誘電体部２２に埋設される第２導体部５０と、第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間に配置されるスペーサ部２３Ａと、を有する。オゾン発生体３は、第１導体部４０よりも第１方向の他方側に設けられる第３導体部４１と、第２導体部５０よりも第１方向の一方側において第２誘電体部２２に設けられる第４導体部５１と、を有する。スペーサ部２３Ａは、第１方向における第１誘電体部２１と第２誘電体部２２との間の領域において、第１方向と直交する第２方向の一方側に配置される。第３導体部４１及び第４導体部４２は、それぞれ第１方向から見てスペーサ部２３Ａと重なる位置に配置される。第１導体部４０及び第２導体部５０は、それぞれスペーサ部２３Ａよりも第２方向の他方側に配置される。
【選択図】図６
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】