技術分野
セラミック電子部品およびその製造方法、ならびに電子装置
発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋
最近、電子機器に高機能化、高効率化および小型化が要求され、電子装置内に装着される積層セラミックキャパシタのようなセラミック電子部品も高性能化および小型化が要求されており、さらに温度依存性および/または電圧依存性が低いという特性や、高い信頼性も要求されている。
課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明の一実施形態によれば、互いに対向する一対の電極と、前記一対の電極の間に位置し複数のセラミックナノシートを含む誘電体膜とを含み、前記複数のセラミックナノシートは、互いに分離された少なくとも2つのピークで表される面方向大きさの多峰性分布を有するセラミック電子部品が提供される。
発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋
本発明によれば、高い信頼性を有しながらも小型化および高容量化を実現することができるセラミック電子部品が提供されうる。
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明に係るセラミック電子部品の一例であるキャパシタを示す断面図である。
【図2】
本発明の一形態による誘電体膜に含まれるセラミックナノシートを概略的に示す平面図である。
【図3】
図2に示す誘電体膜に含まれるセラミックナノシートの面方向大きさの分布の一例を示すグラフである。
【図4】
本発明の他の実施形態によるセラミック電子部品を示す概略図である。
【図5】
本発明の他の実施形態によるセラミック電子部品を示す概略図である。
【図6】
本発明の他の実施形態によるセラミック電子部品を概略的に示す斜視図である。
【図7】
図6に示すセラミック電子部品の誘電体膜の断面を概略的に示す図である。
【図8】
図6に示すセラミック電子部品の誘電体膜の多様な構造の一例を、概略的に示す断面図である。
【図9】
図6に示すセラミック電子部品の誘電体膜の多様な構造の他の一例を、概略的に示す断面図である。
【図10】
本発明の他の実施形態によるセラミック電子部品を概略的に示す斜視図である。
【図11】
図10に示すセラミック電子部品をA-A’方向に切断した断面概略図である。
【図12】
合成例3で得られたナノシート溶液内に分散されたナノシートの面方向大きさの分布を示すグラフである。
【図13】
合成例4で得られたナノシート溶液内に分散されたナノシートの面方向大きさの分布を示すグラフである。
【図14】
実施例1-1によるキャパシタでの複数のセラミックナノシートの面方向大きさの分布を示すグラフである。
10 キャパシタ、
11、12 電極、
13 誘電体膜、
13a、13b セラミックナノシート、
13c 空隙、
14 第1誘電体膜、
15 第2誘電体膜、
16 第3誘電体膜、
21 キャパシタ本体、
31、32 外部電極。
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