特許 7339394 情報処理装置、情報処理方法、およびプロブラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-08-28

(45)【発行日】2023-09-05

(54)【発明の名称】情報処理装置、情報処理方法、およびプロブラム

(51)【国際特許分類】

   H01J 37/24 20060101AFI20230829BHJP

   H01J 37/04 20060101ALI20230829BHJP

   H01J 37/09 20060101ALI20230829BHJP

   G06T 7/00 20170101ALI20230829BHJP

【ＦＩ】

H01J37/24

H01J37/04 B

H01J37/09 A

G06T7/00 350C

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2022083434

(22)【出願日】2022-05-20

【審査請求日】2022-05-20

(73)【特許権者】

【識別番号】300050367

【氏名又は名称】株式会社日立ハイテクフィールディング

(74)【代理人】

【識別番号】110002860

【氏名又は名称】弁理士法人秀和特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】水野 愛

(72)【発明者】

【氏名】三城 多佳記

(72)【発明者】

【氏名】及川 和人

(72)【発明者】

【氏名】津田 安咲子

【審査官】松平 佳巳

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－００２０５９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－２１７５９１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１２８７５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２１－１４９７１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－１２９４３９（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｊ ３７／２４

Ｈ０１Ｊ ３７／０４

Ｈ０１Ｊ ３７／０９

Ｇ０６Ｔ ７／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する制御部を備え、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記制御部は、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第３の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第４の画像とを教師データとして用いて学習がされた第２の学習済みモデルに前記第２の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第２の判定結果を取得することと、
前記第２の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理装置。

【請求項2】

所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされ
た学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する制御部を備え、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記制御部は、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第２の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第２の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理装置。

【請求項3】

コンピュータが、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行し、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータは、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第３の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第４の画像とを教師データとして用いて学習がされた第２の学習済みモデルに前記第２の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第２の判定結果を取得することと、
前記第２の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理方法。

【請求項4】

コンピュータが、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行し、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータは、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビー
ムの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第２の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第２の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行する情報処理方法。

【請求項5】

コンピュータに、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行させ、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータに、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の確認用画像を取得することと、
前記電子顕微鏡に備えるすべての絞りの汚染状態が基準以下であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第３の画像と前記電子顕微鏡に備えるいずれかの絞りの汚染状態が基準を超えて悪化しているときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第４の画像とを教師データとして用いて学習がされた第２の学習済みモデルに前記第２の確認用画像を入力することで前記絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第２の判定結果を取得することと、
前記第２の判定結果が良好でないときに前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行させるためのプログラム。

【請求項6】

コンピュータに、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、
前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記第１の確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、
前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行させ、
前記所定の調整は、電子ビームの光軸調整であり、
前記コンピュータに、さらに、前記第１の判定結果が良好でない場合に、前記電子ビームの光軸を再調整させる指示を前記出力装置に出力することと、
前記光軸が再調整された後に、前記確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第２の確認用画像を取得することと、
ユーザから前記第２の確認用画像の画質についての判定を受け付け、前記画質が不十分との判定が入力されると、前記電子ビームの非点収差の補正をさせる指示を前記出力装置
に出力することと、
前記非点収差の補正の実施によって前記電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合に、前記電子顕微鏡に備える少なくとも１つの絞りを交換させる指示を前記出力装置に出力することと、を実行させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、情報処理装置、情報処理方法、およびプロブラムに関するものである。

【背景技術】

【0002】

電子顕微鏡では、従来、様々な調整方法が提案されている。例えば、下記特許文献２には、光軸調整を行う際に、検出器で検出された二次電子に基づいて得られる光軸調整用画像１５ａを表示する表示装置を備えることが記載されている。

【0003】

また、下記特許文献３では、人為的な判断基準を定量化し、当該定量化された判断基準に基づいて、荷電粒子線の軸調整の要否判断を行うことが課題とされている。そして、特許文献３には、荷電粒子線を調節する光学素子の調整条件を変化させ、当該異なる調整条件にて複数の画像を取得し、取得された複数の画像の中から、その画質を許容できる画像、或いは許容できない画像を選択し、選択された画像に基づいて第１の画質評価値を取得し、当該取得された第１の画質評価値と、前記荷電粒子ビームの走査によって得られる画像から求められる第２の画質評価値とを比較すると、記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０２０－７４２９４号公報

【文献】特開２０１６－３５８００号公報

【文献】特開２０１０－１８２４２４号公報

【文献】特開２００８－８４５６５号公報

【文献】特開２０１５－２０５９号公報

【文献】特開平６－３２５７１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、上記従来の技術では、ユーザが電子顕微鏡を調整し、または保守する場合の支援の仕組みが十分ではない。そのため、電子顕微鏡の調整または保守において、個人のスキルによるばらつきが生じるおそれがある。その結果、装置が望ましい状態で使用されていない可能性がある。

【0006】

本発明は、１つの側面では、ユーザによる電子顕微鏡の調整または保守を支援する。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の実施の形態は、制御部を備える情報処理装置によって例示される。本制御部は、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から前記電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、前記所定の調整による調整結果が良好であるときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第１の画像と前記所定の調整による調整結果が良好でないときに前記電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに前記確認用画像を入力することで前記所定の調整がなされた後の前記電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、前記第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する。

【発明の効果】

【0008】

本情報処理装置によれば、ユーザによる電子顕微鏡の調整または保守を支援することが
できる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】図１は、一実施の形態に係る電子顕微鏡を含む情報システムの構成を例示する図である。

【図2】図２は、光軸の状態を例示する図である。

【図3】図３は、電子ビームの光軸を調整するつまみを例示する図である。

【図4】図４は、電子ビームの光軸が適正な位置に置かれた状態と、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態で試料を撮影した電子顕微鏡画像を例示する図である。

【図5】図５は、情報処理装置のハードウェア構成を例示する図である。

【図6】図６は、情報システムにおけるプログラムの構成とデータフローを例示する図である。

【図7】図７に、学習データの件数と、学習済みモデルによる確認用画像の判定結果を例示する図である。

【図8】図８は、本実施の形態における情報処理装置の処理フローを例示する図である。

【図9】図９は、本実施の形態の変形例１に係る情報処理装置の処理を例示する図である。

【図10】図１０は、本実施の形態の変形例２に係る情報処理装置の処理を例示する図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、図面を参照して、一実施の形態に係る電子顕微鏡と、電子顕微鏡を含む情報システム、情報処理方法およびプログラムを説明する。

【0011】

（システム構成）
図１は、本実施の形態に係る電子顕微鏡３を含む情報システムの構成を例示する図である。本情報システムは、電子顕微鏡３と、情報処理装置１とを有する。電子顕微鏡３の種類に限定はなく、電子顕微鏡３は、例えば、走査型電子顕微鏡、透過形電子顕微鏡等のいずれでもよい。図1は、走査型電子顕微鏡の構成を例示する。

【0012】

図１のように、電子顕微鏡３は、電子銃３２と、電子銃３２から放出される電子ビームを制御する電子光学系３ＥＯと、試料４を搭載するステージ３９と、検出器３７と、制御回路３１と、を有する。

【0013】

電子銃３２は、フィラメント等から電子を所定の加速電圧で引き出し、電子光学系３ＥＯに電子ビームを供給する。電子光学系３ＥＯは、電子ビームを成形し、収束し、または、偏向する等の機能を有する。また、電子光学系３ＥＯは収束レンズ３３と、収束絞り３４と、非点収差補正コイル３Ａと、対物レンズ３５と、対物絞り３６を有する。ただし、電子光学系３ＥＯは、複数の収束レンズ３３、複数の収束絞り３４を有してもよい。

【0014】

収束レンズ３３は、収束絞り３４を通過する電子ビームのビーム径を制御し、対物レンズ３５および対物絞り３６に入射させる。非点収差補正コイル３Ａは、電子ビームの断面形状が円形に近くなるように電子ビームの軌道を制御する。対物レンズ３５は、収束レンズ３３で制御された電子ビームを試料４の表面の位置で最小ビーム寸法に収束させ、電子プローブを形成する。対物絞り３６は、収束レンズ３３で収束された電子ビームを中心軸付近に制限して、対物レンズ３５によって収束させることで収差を低減する。

【0015】

ステージ３９上には、試料４が搭載される。本実施の形態において、電子顕微鏡３が保守、点検、または調整される際にステージ３９に搭載される試料４は、標準試料と呼ばれ
る。電子顕微鏡３は対物レンズ３５で収束された電子ビームを試料４に照射し、検出器３７で二次電子または反射電子を検出し、試料４の表面を撮影した電子顕微鏡画像を取得する。

【0016】

制御回路３１は、情報処理装置１からの指令にしたがい、電子顕微鏡３の鏡筒の各部およびステージ３９を制御し、または、各部のセンサから検出値を取得する。例えば、制御回路３１は電子銃３２への制御信号Ｃ１により、電子銃３２からの電子のエミッションを制御する。例えば、制御回路３１は、電子銃３２からの電子の引き出し電圧を制御する。また、例えば、制御回路３１は収束レンズ３３への制御信号Ｃ２により、電子ビームの収束を制御する。また、例えば、制御回路３１は非点収差補正コイル３Ａへの制御信号ＣＡにより、電子ビームの非点収差を補正する。さらに、例えば、制御回路３１は対物レンズ３５への制御信号Ｃ３により、試料４の表面で電子ビームが収束し、焦点を形成するように制御する。また、制御回路３１は、電子光学系３ＥＯに含まれる偏向コイルまたは静電偏向板により電子ビームを偏向し、試料４を走査する。さらに、制御回路３１は、検出器３７からの検出信号と電子ビームの偏向位置の情報とを基に試料４の電子顕微鏡画像を生成する。さらに、制御回路３１は、ステージ３９への制御信号Ｃ４により、ステージ３９の移動を制御する。

【0017】

情報処理装置１は、制御回路３１に各種指令を送り、電子顕微鏡３の各部を制御し、または各部を監視する。また、情報処理装置１は、ディスプレイ（例えば、図５の表示装置１４）に試料４の電子顕微鏡画像を表示する。なお、情報処理装置１は、ネットワークＮ１により、外部のコンピュータ、サーバ、データベースシステム等、様々なシステムと通信する。ネットワークＮ１は、電子顕微鏡３が設置された構内のLocal Area Network（ＬＡＮ）でもよいし、遠隔地を結ぶ通信回線でもよい。ネットワークＮ１は、Virtual Private Network（ＶＰＮ）等の専用回線でもよいし、インターネット等の公衆ネットワーク
でもよい。

【0018】

（電子顕微鏡の保守、調整の例）
電子顕微鏡の保守、調整の項目としては、以下が例示できる。
（１）フィラメント断線時のフィラメントの交換
（２）フィラメント交換時のウェーネルト電極等のクリーニング
（３）アノードのクリーニング
（４）収束絞り３４の交換
（５）対物絞り３６の交換
（６）冷却ファンの吸気口のクリーニング
（７）電子ビームの光軸調整
なお、（１）乃至（５）の実施後には、（７）の光軸調整が行われる。

【0019】

図２に、光軸の状態を例示する。図２の（Ａ）は、電子ビームの光軸が適正な位置に調整された状態を例示する。光軸が適正な状態では、電子銃３２から引き出された電子ビームの中心軸が、円形状の収束絞り３４の中心、および対物絞り３６の中心を通り、ステージ３９上の試料４等に照射される。

【0020】

図２の（Ｂ）は、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態を例示する。電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態では、例えば、電子銃３２から引き出された電子ビームの中心軸が、円形状の収束絞り３４の中心を通らず、収束絞り３４の中心に対して非対称な断面形状で収束絞り３４を通過する。この場合、対物レンズ３５による電子ビームの収束が不十分となりやすく、その結果、試料４の表面で、最小ビーム寸法での電子プローブが形成されにくくなる。そのため、試料４から得られる電子顕微鏡画像のピントが合いにくい状態となる。なお、この場合には、電子ビームの電流が、（Ａ）の光軸が適正な
位置に置かれた状態と比較して低下する。また、検出器３７から得られる検出信号のＳ／Ｎ（信号／ノイズ）比が、（Ａ）の光軸が適正な位置に置かれた状態と比較して低下する。さらに、検出器３７から得られる、試料４を撮影した電子顕微鏡画像の明るさが、（Ａ）の光軸が適正な位置に置かれた状態と比較して低下する。

【0021】

図３は、電子ビームの光軸を調整するつまみを例示する。本実施の形態では、電子ビームの光軸は、電子顕微鏡３の鏡筒の中心軸に垂直な水平面上で電子銃３２の電子源を移動させることで調整される。電子銃３２の電子源は、例えば、電子銃３２のカソード（フィラメント）、ウェーネルト電極、およびアノードを含む部分である。図３は、電子銃３２の筐体の外部に設けられたつまみ３２Ａ乃至３２Ｄを例示する。この例では、つまみ３２Ａと３２Ｃにより、鏡筒の中心軸に垂直な水平面上の第１の軸（例えば、Ｘ軸とする）方向の位置が調整される。また、つまみ３２Ｂと３２Ｄにより、鏡筒の中心軸に垂直な水平面上で第１の軸に垂直な第２の軸（例えば、Ｙ軸とする）方向の位置が調整される。電子顕微鏡３のユーザまたは保守担当者は、つまみ３２Ａと３２Ｃの組、または、つまみ３２Ｂと３２Ｄの組を調整することで、電子ビームの光軸の位置が電子顕微鏡３の鏡筒の中心軸に合致するように調整する。例えば、ユーザまたは保守担当者は、つまみ３２Ａと３２Ｃを操作して、試料４を撮影した電子顕微鏡画像の明るさが相対的に最も明るくなるように調整する。

【0022】

図４は、電子ビームの光軸が適正な位置に置かれた状態と、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像を例示する。図４の（Ａ）は、光軸が適正な位置に調整された状態での試料４の電子顕微鏡画像である。また、図４の（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は、それぞれ、図４の（Ａ）の状態でのつまみ３２Ａと３２Ｃ（またはつまみ３２Ｂと３２Ｄ）の位置を０度として、それぞれ１１．２５度、２２．５度、および３３．７５度回転された状態での試料４の電子顕微鏡画像である。すでに、図３で説明した通り、つまみ３２Ａと３２Ｃ（またはつまみ３２Ｂと３２Ｄ）の回転量に応じた距離だけ、電子銃３２の電子源が水平面内で移動する。その結果、、図４の（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）は、それぞれ、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態での試料４の電子顕微鏡画像である。図４において、（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）の通り、つまみの回転量、すなわち、光軸のずれ量の増加とともに、電子顕微鏡画像のコントラストが低下し、明るさが低下する。

【0023】

以下、本実施の形態では、図４の（Ａ）の画像に正解のラベルを設定し、図４の（Ｂ）（Ｃ）（Ｄ）の画像に不正解のラベルを設定し、深層学習を用いた学習システムに学習させ、学習済みモデルを作成する。本実施の形態では、情報システムは、光軸調整後に試料４から撮影された電子顕微鏡画像を取得し、学習済みモデルに入力し、電子ビームの光軸が適正な位置にあるか、ずれた位置にあるかを判定させる。

【0024】

（構成）
図５は、情報処理装置１のハードウェア構成を例示する。情報処理装置１の構成は、通常のコンピュータと同様である。情報処理装置１はＣＰＵ１１と、主記憶装置１２と、外部インターフェース（Ｉ／Ｆ）を通じて接続される外部機器を有し、コンピュータプログラムにより情報処理を実行する。外部機器としては、外部記憶装置１３、表示装置１４、操作装置１５、および通信装置１６を例示できる。ＣＰＵ１１と、主記憶装置１２と、外部インターフェース（Ｉ／Ｆ）は、制御部ということができる。

【0025】

ＣＰＵ１１は、主記憶装置１２に実行可能に展開されたコンピュータプログラムを実行し、情報処理装置１の機能を提供する。ＣＰＵ１１はプロセッサとも呼ばれる。ただし、ＣＰＵ１１は、単一のプロセッサに限定される訳ではなく、マルチプロセッサ構成であってもよい。また、ＣＰＵ１１は、単一のソケットで接続される単一のプロセッサであって
、マルチコア構成のものであってもよい。さらに、情報処理装置１の少なくとも一部の処理がDigital Signal Processor(DSP)、Graphics Processing Unit（GPU）、数値演算プロセッサ、ベクトルプロセッサ、画像処理プロセッサ等の専用プロセッサ、Application Specific Integrated Circuit（ASIC）等によって提供されてもよい。また、情報処理装置
１の少なくとも一部が、Field-Programmable Gate Array(FPGA)等の専用large scale integration（LSI）、その他のデジタル回路であってもよい。また、情報処理装置１の少な
くとも一部にアナログ回路が含まれてもよい。

【0026】

主記憶装置１２は、単にメモリとも呼ばれ、ＣＰＵ１１が実行するコンピュータプログラム、ＣＰＵ１１が処理するデータ等を記憶する。主記憶装置１２は、Dynamic Random Access Memory（ＤＲＡＭ）、Static Random Access Memory（ＳＲＡＭ）、Read Only Memory（ＲＯＭ）等である。さらに、外部記憶装置１３は、例えば、主記憶装置１２を補助
する記憶領域として使用され、ＣＰＵ１１が実行するコンピュータプログラム、ＣＰＵ１１が処理するデータ等を記憶する。外部記憶装置１３は、ハードディスクドライブ、Solid State Drive（ＳＳＤ）等である。さらに、情報処理装置１には、着脱可能記憶媒体の
駆動装置を設けてもよい。着脱可能記憶媒体は、例えば、ブルーレイディスク、Digital Versatile Disc（ＤＶＤ）、Compact Disc（ＣＤ）、フラッシュメモリカード等である。

【0027】

また、情報処理装置１は、表示装置１４、操作装置１５、通信装置１６を有する。表示装置１４は、例えば、液晶ディスプレイ、エレクトロルミネッセンスパネル等である。操作装置１５は、例えば、キーボード、ポインティングデバイス等である。本実施形態では、ポインティングデバイスとしてマウスが例示される。通信装置１６は、ネットワークＮ１（図１参照）上の他の装置とデータを授受する。

【0028】

図６は、本情報システムにおけるプログラムの構成とデータフローを例示する図である。本情報システムは、装置状態取得プログラム１０１と、保守管理支援プログラム１０２と、学習システム１１１を有する。装置状態取得プログラム１０１と、保守管理支援プログラム１０２は、情報処理装置１がＣＰＵ１１で実行するプログラムである。学習システム１１１は、コンピュータで実行されるプログラムであってもよい。その場合に、学習システム１１１は、情報処理装置１のＣＰＵ１１が主記憶装置１２のプログラムを実行するによって提供されるシステムであってもよい。また、学習システム１１１は、情報処理装置１とネットワークＮ１（図１参照）を通じて通信可能な他のコンピュータがプログラムを実行することによって提供されるシステムであってもよい。

【0029】

さらに、学習システム１１１は、ハードウェアとしてのニューラルネットワークを含むシステムであってもよい。さらに、学習システム１１１がハードウェアとしてのニューラルネットワークを含むシステムの場合に、情報処理装置１が設置された構内に、学習システム１１１が設けられてもよい。また、学習システム１１１が情報処理装置１と同一の筐体内で動作するものでもよい。また、学習システム１１１がハードウェアとしてのニューラルネットワークを含むシステムの場合に、学習システム１１１は、情報処理装置１とネットワークＮ１（図１参照）を通じて通信可能なシステムであってもよい。

【0030】

学習システム１１１は、教師データを学習することにより、第１の学習済みモデルとして学習済みモデルＡ １１２Ａ、第２の学習済みモデルとして学習済みモデルＢ １１２Ｂ等を作成する。学習済みモデルＡ １１２Ａを作成するための教師データは、例えば、図４で説明したように、電子ビームの光軸が適正な位置に調整された状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像に正解ラベルを付したものを含む。また、教師データは、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像に不正解ラベルを付したデータを含む。教師データは、これらのラベルを付したデータの集合である。なお、このような教師データ作成時に、電子ビームの光軸以外の調整、例えば、収束絞り３４
の汚染、対物絞り３６の汚染等はない状態に調整がなされている。電子ビームの光軸が適正な位置に調整された状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像は、所定の調整による調整結果が良好であるときに電子顕微鏡３で確認用試料から撮影された第１の画像の一例である。また、電子ビームの光軸が適正な位置からずれた状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像は、所定の調整による調整結果が良好でないときに電子顕微鏡３で確認用試料から撮影された第２の画像の一例である。

【0031】

学習システム１１１は、例えば、深層学習のためのたたみ込み層ネットワークを有する。たたみ込み層ネットワークは、ハードウェアのネットワークでもよいし、ＣＰＵ１１においてコンピュータプロブラムによって構築される仮想的なものでもよい。学習システム１１１は、上記のような教師データを入力することにより、たたみ込み層ネットワークに含まれる複数のたたみ込み層のフィルタリングの係数を調整した学習済みモデルＡ １１２Ａ等を生成する。そして、例えば、学習済みモデルＡ １１２Ａは、保守管理支援プログラム１０２から、確認用の電子顕微鏡画像が入力されたときに、確認用の電子顕微鏡画像が取得された電子顕微鏡３の光軸調整が済み（正解）あるか、または未調整（不正解）であるかを判定する。なお、光軸が未調整な電子顕微鏡画像は、図４について述べたように、コントラストおよび明るさが、光軸調整が済み（正解）の電子顕微鏡画像よりも低下する。

【0032】

図７に、学習データの件数と、学習済みモデルＡ １１２Ａによる確認用の電子顕微鏡画像の判定結果を例示する。図７（Ａ）は、教師データの構成と電子顕微鏡画像の枚数を例示する。図７の例では、電子顕微鏡画像の枚数は正解データ（ＴＲＵＥ）、不正解データ（ＦＡＬＳＥ）がそれぞれ６０枚である。また、不正解データのうち、つまみの回転角度（図３参照）が、１１．２５度、２２．５度、３３．７５度、および４５度のものがそれぞれ１５枚である。なお、この場合の正解データおよび不正解データの撮影時は、光軸以外の他の調整項目はすべて調整済みである。したがって、例えば、収束絞り３４、対物絞り３６等の汚染はなく、非点収差が補正された状態で、これらの教師データが取得されている。

【0033】

図７（Ｂ）に学習済みモデルＡ １１２Ａによる確認用の電子顕微鏡画像に対する判定結果を例示する。学習済みモデルＡ １１２Ａによる判定では、光軸調整がずれたときに撮影された不正解データ（ＦＡＬＳＥ）と判定されるべき電子顕微鏡画像に対して、再現率７５％、適合率８８．２％、Ｆ値８１．１％という結果が得られている。また、光軸が調整済みのときに撮影された正解データ（ＴＲＵＥ）と判定されるべき電子顕微鏡画像に対して、再現率９０％、適合率７８．３％、Ｆ値８３．７％という結果が得られている。なお、この場合の確認用の電子顕微鏡画像の撮影時は、光軸以外の他の調整項目はすべて調整済みである。

【0034】

ここで、再現率とは、真の値が「正解」である電子顕微鏡画像に対して、学習システムが「正解」と判断したものの割合である。また、適合率とは、一般に、機械学習による判断を行う学習システムにおいて、出力された結果がどの程度正解していたのかを表す指標である。例えば、学習システムが「正解」と判断した電子顕微鏡画像のうち、実際に真の値が正解であったものの割合である。Ｆ値とは、再現率と適合率の調和平均をいう。

【0035】

また、例えば、学習済みモデルＢ １１２Ｂを作成するための教師データは、収束絞り３４、対物絞り３６のいずれか１つ以上の汚染の程度に対応して撮影された画像を含むものでもよい。例えば教師データは、収束絞り３４および対物絞り３６の汚染のレベルが十分低いときに試料４を撮影した電子顕微鏡画像に正解ラベルを付したデータを含んでもよい。また、教師データは、収束絞り３４、対物絞り３６のうち、いずれかの１つ以上の汚染のレベルが所定の限度を超えて悪化した状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像に不正
解ラベルを付したデータを含んでもよい。教師データは、このようなラベルを付したデータの集合であってもよい。なお、この場合の確認用の電子顕微鏡画像の撮影時は、収束絞り３４、対物絞り３６以外の他の調整項目はすべて調整済みである。収束絞り３４および対物絞り３６の汚染のレベルが十分低いときに試料４を撮影した電子顕微鏡画像は、第３の画像の一例である。また、収束絞り３４、対物絞り３６のうち、いずれかの汚染のレベルが所定の限度を超えて悪化した状態で試料４を撮影した電子顕微鏡画像は第４の画像の一例である。

【0036】

学習システム１１１は、このような教師データを入力することにより、学習済みモデルＢ １１２Ｂを生成する。そして、図６に例示するように、学習済みモデルＢ １１２Ｂは、保守管理支援プログラム１０２から、確認用の電子顕微鏡画像が入力されたときに、電子顕微鏡３の収束絞り３４および対物絞り３６の状態を判定する。例えば、学習済みモデルＢ １１２Ｂは、確認用の電子顕微鏡画像が取得された電子顕微鏡３において収束絞り３４および対物絞り３６の汚染が十分低いこと（正解）を判定する。また、学習済みモデルＢ １１２Ｂは、収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つの汚染のレベルが所定の限度を超えた状態であること（不正解）を判定する。なお、収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つが汚染した状態では、非点収差が大きくなり、試料４の表面を撮影した電子顕微鏡画像内のパターンがある程度一様に、一定の方向に歪み、当該方向に引き延ばされたように見えることが多い。

【0037】

装置状態取得プログラム１０１は、電子顕微鏡３の制御回路３１を介して、様々な情報を取得する。装置状態取得プログラム１０１が取得する情報は、例えば、試料４を撮影した電子顕微鏡画像、各種物理量等である。各種物理量としては、電子顕微鏡画像の明るさ、フォーカス調整時の電子顕微鏡画像の変化、非点収差補正量、画像のコントラスト等を例示できる。

【0038】

電子顕微鏡画像の明るさは、例えば、試料４を撮影した電子顕微鏡画像における画素配列中の各画素の平均値として算出できる。電子顕微鏡画像の明るさは、相対的な明るさをユーザが判断した結果であってもよい。例えば、図３に例示した光軸調整用のつまみ３２Ａと３２Ｃ等をユーザが操作ときに、表示装置１４に表示された電子顕微鏡画像が相対的に明るくなる、または暗くなることをユーザが判定し、光軸を調整してもよい。情報処理装置１は、そのような調整結果をユーザから受け付けてもよい。

【0039】

フォーカス調整時の電子顕微鏡画像の変化の仕方は、例えば、対物レンズ３５の電流を変化させたときに、表示装置１４に表示された電子顕微鏡画像が表示装置１４の画面上での平行移動を伴って変化するか否かである。電子ビームの光軸が鏡筒の中心（例えば収束絞り３４の開口の中心）からずれていると、対物レンズ３５の電流を変化させ、電子ビームのフォーカスを変化させると、試料４の表面で電子ビームの照射位置がずれる。その結果、表示装置１４に表示された電子顕微鏡画像が画面上を平行移動する。このように、電子ビームの光軸が鏡筒の中心からずれていることは、対物レンズ３５の電流値の変化に対応する電子顕微鏡画像の画面上での平行移動によって判定できる。

【0040】

非点収差補正量は、非点収差補正コイル３Ａの電流値として特定できる。非点収差の有無は、試料４を撮影した電子顕微鏡画像における形状の変形で特定できる。例えば、試料４が既知の表面構造を有する場合、試料４を撮影した電子顕微鏡画像中のパターンが既知の表面構造に対して、特定方向に一様に歪んでいることが検知されればよい。なお、非点収差の有無はユーザによって判断されてもよい。さらに、ユーザが非点収差補正コイル３Ａの電流値を最大限としても、非点収差を補正できず、電子顕微鏡画像が特定方向に一様に歪んでいる場合、収束絞り３４または対物絞り３６の汚染が限度を超えている可能性が高い。本情報システムは、学習済み教師データによる電子顕微鏡画像の判定と、ユーザか
らの入力を基に電子顕微鏡の状態を判断する。そして、本情報システムは、電子顕微鏡３の保守作業、調整作業を支援する。

【0041】

（処理フロー）
図８に、本実施の形態における情報処理装置１の処理フローを例示する。この処理は、情報処理装置１のＣＰＵ１１が主記憶装置１２に実行可能に展開されたコンピュータプログラムにしたがって実行する。この処理では、情報処理装置１は、所定の調整の一例としての電子ビームの光軸調整が調整済みとの入力（以下、光軸調整済みの入力）を受け付ける（Ｓ１）。光軸調整済みの入力に代えて、例えば、光軸調整後の電子顕微鏡３の状態を判定せよとのユーザからの指令が情報処理装置１に入力されてもよい。情報処理装置１は、光軸調整済みの入力を受け付けると、確認用の試料４の電子顕微鏡画像を取得する（Ｓ２）。Ｓ２で取得される電子顕微鏡画像は、第１の確認用画像の一例であり、Ｓ２の処理は、第１の確認用画像を取得することの一例である。

【0042】

そして、情報処理装置１は、試料４の電子顕微鏡画像を学習済みモデルＡ １２Ａに入力し、判定結果を取得する（Ｓ３）。上述のように、学習済みモデルＡ １２Ａは、光軸調整が良好な場合の試料４の電子顕微鏡画像と、光軸調整が良好でない場合の試料４の電子顕微鏡画像とを学習済みである。また、Ｓ３での判定結果は、第１の判定結果の一例である。

【0043】

学習済みモデルＡ １２Ａの判定結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）である場合、情報処理装置１は、そのまま、光軸調整が良好であることを表示装置１４に出力する（Ｓ５）。一方、学習済みモデルＡ １２Ａの判定結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）でない場合、情報処理装置１は、光軸調整を再実行する指示を表示装置１４に出力する（Ｓ６）。Ｓ５、Ｓ６の処理は、第１の判定結果を出力することの一例である。

【0044】

（実施の形態の効果）
以上述べたように、本実施の形態の情報システムは、光軸調整が良好な場合の試料４の電子顕微鏡画像と、光軸調整が良好でない場合の試料４の電子顕微鏡画像とを学習済みの学習済みモデルＡ １２Ａを有する。そして、本情報システムは、学習済みモデルＡ １２Ａにより、光軸調整調整後の試料４の電子顕微鏡画像を判定する。従来、光軸調整の良否は、例えば、表示装置４に表示される電子顕微鏡画像の相対的な明るさの変化、あるいは、対物レンズ３５の調整時の表示装置４の画面上での電子顕微鏡画像の平行移動の有無等により、ユーザに判定されている。本実施の形態のように、学習済みモデルＡ １２Ａによる判定結果を取得することで、ユーザの主観によらない判断を短時間で得ることができる。したがって、本情報システムは、電子顕微鏡ユーザまたは保守管理を担当するサービス担当者に対して、特に保守管理の側面で、機能と使い勝手の向上を図ることができる。

【0045】

（変形例）
図９に、本実施の形態の変形例１に係る情報処理装置１の処理を例示する。上記図８の処理では、学習済みモデルＡ １２Ａの判定結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）でない場合、情報処理装置１は、光軸調整を再実行する指示を表示装置１４に出力し、処理を終了する。しかし、情報処理装置１は、ユーザの操作に応じて、さらなる判定を行ってもよい。

【0046】

図９において、Ｓ１からＳ５の処理は、図８と同一であるので、その説明が省略される。学習済みモデルＡ １２Ａの判定結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）でない場合、情報処理装置１は、光軸調整を確認するようにとのユーザへの指示を表示装置１４に出力し、ユーザの確認を待つ（Ｓ１１）。図８で説明したように、学習済みモデルＡ １２Ａ
の判定結果は第１の判定結果の一例である。また、Ｓ１１の処理は、第１の判定結果が良好でない場合に、電子ビームの光軸を再調整させる指示を出力装置である表示装置１４に出力することの一例である。

【0047】

すると、ユーザは光軸調整を再度確認する。ここでは、例えば、ユーザは、図３に例示したつまみ３２Ａと３２Ｃ（またはつまみ３２Ｂと３２Ｄ）等を操作し、電子顕微鏡画像が相対的に最も明るい状態であるか否かを確認する。また、例えば、ユーザは、対物レンズ３５の電流値を調整したときに、表示装置４の画面上での電子顕微鏡画像の平行移動がないか、最低限の移動であることを確認する。これらの手順により、ユーザは、光軸が適正な位置に調整されていることを確認できる。なお、ユーザは、光軸が適切な位置に調整されていないことを認識した場合には、所定の手順で再度光軸を調整すればよい。すなわち、光軸調整の確認とは、光軸の再調整を含む。

【0048】

そして、情報処理装置１は、光軸調整の確認結果を受け付ける。そして、ユーザの確認結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）でない場合（Ｓ１２でＮ）、情報処理装置１は、エラーを出力する（Ｓ１３）。この場合には、例えば、保守管理担当者へエラーの情報と、メンテナンス作業の依頼とが通知されることになる。ユーザの調整では、解決できない問題が発生している可能性があるからである。

【0049】

一方、ユーザによる光軸調整の確認結果において、光軸調整が良好（ＯＫ）である場合（Ｓ１２でＹ）、情報処理装置１は、再度、確認用の試料４の電子顕微鏡画像を取得する。そして、情報処理装置１は、取得した試料４の電子顕微鏡画像を学習済みモデルＢ １２Ｂに入力し、判定結果を取得する（Ｓ１４）。ここで、再度、確認用の試料４の電子顕微鏡画像を取得することは、光軸が再調整された後に電子顕微鏡３で確認用試料である試料４から撮影された第２の確認用画像を取得することの一例である。また、Ｓ１４の処理は、絞りの汚染状態が基準以下であるか否の第２の判定結果を取得することの一例である。

【0050】

ここで、学習済みモデルＢ １２Ｂは、収束絞り３４および対物絞り３６のいずれかが汚染された場合の試料４の電子顕微鏡画像と、収束絞り３４および対物絞り３６のいずれも汚染されていない場合の試料４の電子顕微鏡画像とを学習済みである。学習済みモデルＢ １２Ｂの判定結果が良好（ＯＫ）である場合（Ｓ１５でＹ）、情報処理装置１は、処理を終了する。

【0051】

一方、学習済みモデルＢ １２Ｂの判定結果が良好（ＯＫ）でない場合（Ｓ１５でＮ）、情報処理装置１は、非点収差の補正をユーザに実施させる指示を表示装置１４に出力する。そして、情報処理装置１は、ユーザからのその補正の結果の入力を待つ（Ｓ１６）。非点収差の補正は、非点収差補正コイル３Ａの電流を調整することで実行される。そして、非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）であることが入力された場合（Ｓ１７でＹ）、情報処理装置１は、処理を終了する。なお、学習済みモデルＢ １２Ｂの判定結果が良好（ＯＫ）でない場合（Ｓ１５でＮ）、情報処理装置１は、Ｓ１６、Ｓ１７の処理を実施しないで、直ちに、Ｓ１８の処理を実施してもよい。この場合には、情報処理装置１は収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つの絞りの交換と、交換後の非点収差の補正とを実施させるユーザへの指示を表示装置１４に出力する。

【0052】

一方、非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）にならないことが入力された場合（Ｓ１７でＮ）、情報処理装置１は、収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つの絞りの交換と、交換後の非点収差の補正とを実施させるユーザへの指示を表示装置１４に出力する。そして、情報処理装置１は、その後の非点収差の補正の結果のユーザからの入力を待つ（Ｓ１８）。非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）にならないとは、非点収差の補正の
実施によって電子ビームの非点収差が基準の範囲に調整できない場合を意味する。この場合には、収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つが交換される。なお、ユーザは収束絞り３４および対物絞り３６のすべてを交換してもよい。そして、ユーザは、絞り交換後に非点収差の補正を実行する。絞り交換後の非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）であることが入力された場合（Ｓ１９でＹ）、情報処理装置１は、処理を終了する。なお、このとき、情報処理装置１は、再度、試料４の電子顕微鏡画像を学習済みモデルＢ １２Ｂに入力し、判定結果を取得してもよい。

【0053】

一方、収束絞り３４および対物絞り３６のすべての交換後の非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）にならないことが入力された場合（Ｓ１９でＮ）、情報処理装置１は、情報処理装置１は、エラーを出力する（Ｓ２０）。この場合には、例えば、保守管理担当者へエラーの情報と、メンテナンス作業の依頼とが通知されることになる。

【0054】

以上のような変形例の処理によれば、光軸調整後の学習済みモデルＡ １２Ａの判定結果が良好（ＯＫ）でない場合、情報処理装置１は、光軸調整を再度確認するようにとのユーザへの指示を表示装置１４に出力する。その結果、情報処理装置１は、光軸調整がなされていることを確認した状態で、学習済みモデルＢ １２Ｂにより、確認用の試料４の電子顕微鏡画像を判定する。このため、情報処理装置１は、光軸未調整の状態を除外した上で、より確実に、収束絞り３４および対物絞り３６等の汚染を判断できる。さらに、学習済みモデルＢ １２Ｂの判定結果が良好（ＯＫ）でない場合（Ｓ１５でＮ）、情報処理装置１は、非点収差の補正を指示する。そのため、収束絞り３４および対物絞り３６等に汚染の可能性があると判断された場合であっても、情報処理装置１は、まず、ユーザに非点収差の補正を指示する。これにより、収束絞り３４および対物絞り３６等に汚染の可能性があっても、非点収差の補正で対応できる場合には、収束絞り３４および対物絞り３６等の交換が不要となる。一方、非点収差の補正の結果が良好（ＯＫ）でない場合には、情報処理装置１は収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つの交換を指示する。すなわち、情報処理装置１は、非点収差の補正では対応できないと判断される場合に、収束絞り３４および対物絞り３６の少なくとも１つの交換を指示する。このようにして、情報処理装置１は、確認用の試料４の電子顕微鏡画像に対する学習済みモデルＡ １２Ａ、学習済みモデルＢ １２Ｂによる判断と、ユーザによる電子顕微鏡３の保守管理作業の結果とを組み合わせて、ユーザの保守管理作業を支援できる。

【0055】

図１０は、本実施の形態の変形例２に係る情報処理装置１の処理を例示する。上記図８（変形例１）では、ユーザによる光軸調整の再確認後、情報処理装置１は、試料４の電子顕微鏡画像を学習済みモデルＢ １２Ｂに入力し、非点収差の補正の要否を判定した。しかし、情報処理装置１は、学習済みモデルＢ １２Ｂにこのような判定をさせる代わりに、ユーザに確認を促してもよい。すなわち、ユーザによる光軸調整の再確認結果が良好（ＯＫ）である場合（Ｓ１２でＹ）、情報処理装置１は、再度、確認用の試料４の電子顕微鏡画像を取得する。そして、ユーザに、取得した確認用の試料４の電子顕微鏡画像の確認を指示する（Ｓ１４Ａ）。図９で述べたように、再度取得される確認用の試料４の電子顕微鏡画像は、第２の確認用画像である。そこで、Ｓ１４Ａの処理は、ユーザから第２の確認用画像の画質についての判定を受け付けることの一例ということができる。

【0056】

ユーザによる確認結果が良好（ＯＫ）であることが入力された場合（Ｓ１５ＡでＹ）、情報処理装置１は、処理を終了する。一方、ユーザによる確認結果が良好（ＯＫ）でないことが入力された場合（Ｓ１５ＡでＮ）、情報処理装置１は、図９と同様、非点収差の補正の指示（Ｓ１６）以下の処理を実行すればよい。

【0057】

以上述べたように、情報処理装置１は、変形例１と同様、情報処理装置１は、確認用の試料４の電子顕微鏡画像に対する学習済みモデルＡ １２Ａによる判断と、ユーザによる
電子顕微鏡３の保守管理作業の状況とを組み合わせる。そして、情報処理装置１は、これらを組み合わせることで、電子顕微鏡３の状態を判定し、ユーザの保守管理作業を支援できる。

【0058】

なお、上記実施の形態では、走査型電子顕微鏡を例に学習済みモデルＡ １２Ａ、学習済みモデルＢ １２Ｂ等による試料４を撮影した画像の判定、および、光軸調整、非点収差の補正、および絞りの交換を支援する処理を例示した。しかし、本発明の実施は電子顕微鏡３が走査型電子顕微鏡である場合に限定される訳ではない。すなわち、電子顕微鏡３が透過型電子顕微鏡であっても、上記の実施の形態と同様に、情報処理装置１は、ユーザを支援する処理を実施できる。なお、電子顕微鏡３が透過型電子顕微鏡である場合に、試料４を撮影した画像としては、例えば、透過電子が照射される蛍光スクリーンを撮影したＣＣＤカメラまたはＣＭＯＳカメラ等からの画像を用いればよい。

【0059】

（コンピュータが読み取り可能な記録媒体）
コンピュータその他の機械、装置（以下、コンピュータ等）に上記いずれかの機能を実現させるプログラムをコンピュータ等が読み取り可能な記録媒体に記録することができる。そして、コンピュータ等に、この記録媒体のプログラムを読み込ませて実行させることにより、その機能を提供させることができる。

【0060】

ここで、コンピュータ等が読み取り可能な記録媒体とは、データやプログラム等の情報を電気的、磁気的、光学的、機械的、または化学的作用によって蓄積し、コンピュータ等から読み取ることができる記録媒体をいう。このような記録媒体のうちコンピュータ等から取り外し可能なものとしては、例えばフレキシブルディスク、光磁気ディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＣＤ－Ｒ／Ｗ、ＤＶＤ、ブルーレイディスク、ＤＡＴ、８ｍｍテープ、フラッシュメモリなどのメモリカード等がある。また、コンピュータ等に固定された記録媒体としてハードディスク、Read Only Memory（ＲＯＭ）等がある。さらに、Solid State Drive
（ＳＳＤ）は、コンピュータ等から取り外し可能な記録媒体としても、コンピュータ等に固定された記録媒体としても利用可能である。

【符号の説明】

【0061】

１ 情報処理装置
３ 電子顕微鏡
４ 試料
３１ 制御回路
３２ 電子銃
３３ 収束レンズ
３４ 収束絞り
３５ 対物レンズ
３６ 対物絞り
３９ ステージ
３Ａ 非点収差補正コイル

【要約】

【課題】ユーザによる電子顕微鏡の調整または保守を支援する。
【解決手段】制御部は、所定の調整がなされた後に電子顕微鏡の状態を確認するための確認用試料から電子顕微鏡で撮影された第１の確認用画像を取得することと、所定の調整による調整結果が良好であるときに電子顕微鏡で確認用試料から撮影された第１の画像と所定の調整による調整結果が良好でないときに電子顕微鏡で前記確認用試料から撮影された第２の画像とを教師データとして用いて学習がされた学習済みモデルに確認用画像を入力することで所定の調整がなされた後の電子顕微鏡の調整結果が良好であるか否の第１の判定結果を取得することと、第１の判定結果を出力装置に出力することと、を実行する。
【選択図】図６

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】