特許7340301IP Force 特許公報全文掲載

技術分野

ワイヤボンディング装置のワイヤに印加される張力の調整方法及びワイヤ張力調整装置の構成

要約特許出願時に添付された[要約書]

ワイヤボンディング装置(100)のワイヤ(18)に印加される張力(T)を調整するワイヤ張力調整装置(60)であって、ワイヤクランパ(17)でワイヤ(18)を把持した状態でワイヤテンショナ(40)に空気を供給してボンディングアーム(14)の先端(14f)の高さ位置(H)を検出し、検出した高さ位置(H)に基づいてワイヤテンショナ(40)に供給する空気の流量(G)を調整することによりワイヤ(18)に印加される張力(T)を調整する。

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

ところで、ワイヤテンショナによってワイヤに印加される張力は空気の流量によって変化し、流量が多いと張力が大きくなり流量が少ないと張力が小さくなる。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

本開示のワイヤ張力調整方法は、ボンディングヘッドに回転自在に取り付けられて先端が上下方向に移動可能なボンディングアームと、ボンディングアームに取り付けられ、先端に保持されたボンディングツールに挿通されたワイヤの把持、解放を行うワイヤクランパと、空気流によってワイヤに張力を印加するワイヤテンショナと、ワイヤテンショナに供給する空気の流量を検出する空気流量検出器と、ボンディングアームの先端の高さ・・・ 続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

ワイヤボンディング装置にワイヤテンショナを組み込んだ状態で簡便にワイヤに印加される張力の調整を行うができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 実施形態のワイヤ張力調整装置の構成とワイヤボンディング装置の構成とを示す系統図である。
【図2】 図1に示すワイヤボンディング装置のボンディングアームの構成を示す斜視図である。
【図3】 図2に示す十字板ばねの構成を示す拡大斜視図である。
【図4】 図1に示すワイヤテンショナの断面図である。
【図5】 実施形態のワイヤ張力検出装置が検出する各項目を示した系統図である。
【図6】 ボンディングアームの回転方向の中立位置θ0からの回転角度θに対する十字板バネの発生する回転モーメントM1の変化を示すグラフである。
【図7】 ボンディングアームの先端の高さ方向の中立位置H0からの高さ位置Hに対する十字板ばねの発生する回転モーメントM1とワイヤに印加される張力Tとの変化を示すグラフである。
【図8】 ワイヤテンショナに供給する空気の流量Gに対するボンディングアームの先端の高さ方向の中立位置H0からの高さ位置Hとワイヤに印加される張力Tとの変化を示すグラフである。
【図9】 実施形態のワイヤ張力調整装置の動作を示すフローチャートである。
【図10】 実施形態のワイヤ張力調整装置の第1動作の詳細を示すフローチャートである。
【図11】 ワイヤテンショナに供給する空気の流量Gに対するボンディングアームの先端の高さ方向の中立位置H0からの高さ位置Hの変化とワイヤに印加される張力Tの変化とを示すグラフである。
【図12】 実施形態のワイヤ張力調整装置の第2動作を示すフローチャートである。
【図13】 ワイヤテンショナに供給する空気の流量Gに対するボンディングアームの先端の高さ方向の中立位置H0からの高さ位置Hの変化とワイヤに印加される張力Tの変化とを示すグラフである。
【図14】 実施形態のワイヤ張力調整装置の近似曲線のチェック動作を示すフローチャートである。
【図15】 実施形態のワイヤ張力調整装置の第3動作を示すフローチャートである。
【図16】 図15に示す第3動作の詳細を示すフローチャートである。
【図17】 ワイヤテンショナに供給する空気の流量Gに対するボンディングアームの先端の高さ方向の中立位置H0からの高さ位置Hの変化とワイヤに印加される張力Tの変化とを示すグラフである。
10 ベース、10a 上部フレーム、11 XYテーブル、12 ボンディングヘッド、12a 構造部材、13 Z方向モータ、13a 固定子、14 ボンディングアーム、14a 本体、14b 可動子取付け板、14c 取付け用リブ、14d 取付け座、14f 先端、14m 可動子、14r 後端部、15 超音波ホーン、15f 前端、16 超音波振動子、17 ワイヤクランパ、18 ワイヤ、19 ボンディングステージ、20 十字板ばね、21 水平ばね板、21a,22a ボルト、21b,22b ボルト孔、22 垂直ばね板、23 回転軸、30 キャピラリ、31 基板、32 半導体チップ、40 ワイヤテンショナ、41 本体部、42 キャビティ、43 筒部、44 ワイヤ通路、45 上ディフューザ部、46 隙間、47 ノズル部、48 下ディフューザ部、49 接続ポート、50 ワイヤスプール、55 エアガイド、59 空気配管、60 ワイヤ張力調整装置、61,66 CPU、62,67 メモリ、65 制御部、71 高さ位置検出器、72 空気流量検出器、73 空気流量調節弁、100 ワイヤボンディング装置。

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