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公報発行日 2023年9月7
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ワイヤボンディング装置(100)のワイヤ(18)に印加される張力(T)を調整するワイヤ張力調整装置(60)であって、ワイヤクランパ(17)でワイヤ(18)を把持した状態でワイヤテンショナ(40)に空気を供給してボンディングアーム(14)の先端(14f)の高さ位置(H)を検出し、検出した高さ位置(H)に基づいてワイヤテンショナ(40)に供給する空気の流量(G)を調整することによりワイヤ(18)に印加される張力(T)を調整する。
ワイヤボンディング装置にワイヤテンショナを組み込んだ状態で簡便にワイヤに印加される張力の調整を行うができる。
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