特許7340668アミド化合物を含むフォトレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法

発明の名称　アミド化合物を含むフォトレジスト組成物及びそれを用いたパターン形成方法

出願人　ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド　（識別番号 509266480）

　　　　特許公開件数ランキング 779 位（10件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1021 位（7件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7340668

公報発行日　2023年9月7

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7340668

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