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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B1)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-09-01
(45)【発行日】2023-09-11
(54)【発明の名称】磁気ヘッドサスペンション
(51)【国際特許分類】
G11B 21/21 20060101AFI20230904BHJP
【ＦＩ】
G11B21/21 C
【請求項の数】
6
(21)【出願番号】P 2023543150
(86)(22)【出願日】2023-02-22
(86)【国際出願番号】 JP2023006509
【審査請求日】2023-07-18
【早期審査対象出願】
(73)【特許権者】
【識別番号】000175722
【氏名又は名称】サンコール株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110001597
【氏名又は名称】弁理士法人アローレインターナショナル
(72)【発明者】
【氏名】神谷 友輔
(72)【発明者】
【氏名】藤本 泰夫
【審査官】中野 和彦
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－２１８７７１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特許第７２０６４３５（ＪＰ，Ｂ１）
【文献】特開２０２１－１９０１５１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０２１－１４４７７９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－１９２３２３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｇ１１Ｂ ２１／２１
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
ロードビーム部及び前記ロードビーム部に固着されたフレキシャ部を有し、前記ロードビーム部及び前記フレキシャ部の重合体が先端及び基端の間のＬＢ曲げ位置で先端側がディスク面から離間する方向へ曲げられている磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレキシャ部は、金属製のフレキシャ基板を有し、
前記フレキシャ基板は、前記ロードビーム部に固着される本体領域と、前記ロードビーム部に対してフリー状態で前記本体領域から先端側へ延びる左右一対の支持片と、前記一対の支持片に直接又は間接的に支持されたタング領域とを有し、
前記本体領域は、前記ＬＢ曲げ位置を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置するＦ／Ｌ第１溶接点及びＦ／Ｌ第２溶接点を含む複数の溶接点で前記ロードビーム部に固着され、
前記一対の支持片は、先端部が前記タング領域よりサスペンション長手方向先端側に配置された支持片溶接点で前記ロードビーム部に固着されており、
前記タング領域は、サスペンション長手方向に関し前記Ｆ／Ｌ第１溶接点及び前記支持片溶接点の間に配置されて、ディスク面と対向する下面において磁気ヘッドスライダを支持し且つディスク面とは反対側の上面において前記ロードビーム部に設けられたディンプルに当接するように構成され、
前記ＬＢ曲げ位置での曲げのサスペンション長手方向先端側の終端と前記Ｆ／Ｌ第１溶接点との間に延びる平坦領域のサスペンション長手方向長さをＦとし、且つ、前記Ｆ／Ｌ第１溶接点及び前記支持片溶接点の間のサスペンション長手方向長さをＤとした場合に、０．０２≦Ｆ／Ｄ≦０．０５を満たしていることを特徴とする磁気ヘッドサスペンション。
【請求項2】
０．０４≦Ｆ／Ｄ≦０．０５を満たしていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドサスペンション。【請求項3】
前記ロードビーム部は、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされた平板状の本体部と、前記本体部の幅方向両側からディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部とを有し、前記本体領域は、前記Ｆ／Ｌ第１及び第２溶接点で前記本体部に固着され、前記一対の支持片は、前記支持片溶接点で前記本体部に固着されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気ヘッドサスペンション。
【請求項4】
前記支持片溶接点は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線上に位置していることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドサスペンション。【請求項5】
前記Ｆ／Ｌ第１溶接点は、前記長手方向中心線を基準にして対称に配置された一対の溶接点を有していることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドサスペンション。【請求項6】
前記一対の支持片は、サスペンション長手方向に関し前記タング領域より基端側に、ディスク面に向かって凸状の折り曲げ部を有していることを特徴とする請求項１、２、４又は５に記載の磁気ヘッドサスペンション。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、ハードディスク等の記憶媒体に対してデータをリード及び／又はライトする磁気ヘッドスライダを支持する磁気ヘッドサスペンションに関する。
【背景技術】
【0002】
磁気ヘッドサスペンションは、ボイスコイルモータ等のアクチュエータによって基端側が直接又は間接的に揺動中心回りに揺動されるベースプレート等の支持部と、基端部が前記支持部に支持され且つ磁気ヘッドスライダを前記ディスク面に向けて押し付ける押し付け荷重を発生する荷重曲げ部と、前記荷重曲げ部を介して前記支持部に支持され且つ前記押し付け荷重を前記磁気ヘッドスライダに伝達するロードビーム部と、前記ロードビーム部に固着された状態で、先端側において前記磁気ヘッドスライダをジンバル動作を許容しつつ支持するフレキシャ部とを備えている。
【0003】
前記フレキシャ部のフレクシャ基板は、前記ロードビーム部に重合状態で固着される本体領域と、前記ロードビーム部に対してフリー状態で前記本体領域からサスペンション先端側へ延びる左右一対の支持片と、前記一対の支持片を介して支持されたタング領域とを有している。
【0004】
前記タング領域は、ディスク面との対向面において前記スライダを支持し且つディスク面とは反対側の裏面において前記ロードビーム部に設けられたディンプルに当接するように構成され、前記ディンプルを支点としてピッチ方向及びロール方向へ揺動するジンバル動作を行なえるように前記一対の支持片によって直接又は間接的に片持ち状に支持されている。
【0005】
斯かるサスペンションには、前記スライダを目的トラックに高速且つ高精度に位置させることが望まれ、前記スライダの目的トラックへの移動を高速に行う為には、前記アクチュエータを駆動する駆動電圧の周波数（駆動周波数）を上昇させて、前記サスペンションの揺動中心回りの揺動速度を速める必要があるが、駆動周波数を上昇させると前記サスペンションには意に反した振動が生じ、前記スライダの目的トラックに対する正確な位置決めが阻害される。
【0006】
この点に関し、例えば、下記特許文献１には、前記スライダのねじれ振動ゲインを低減させる為に、前記フレキシャ部が固着された状態の前記ロードビーム部がＬＢ曲げ位置で曲げられているサスペンションが提案されている。
【0007】
前記特許文献１に記載のサスペンションは、ＬＢ曲げ位置での前記ロードビーム部の曲げによって、前記ロードビーム部に生じるねじれ振動に伴って前記タング領域がシーク方向変動すること（ねじれ振動のゲイン）を低減させることができる点において有用である。
【0008】
詳しくは、前記アクチュエータによって揺動される際に生じる振動、及び／又は、ディスク回転に伴って受ける風圧によって、前記ロードビーム部には、サスペンション長手方向に沿ったねじれ中心線回りのねじれ振動が生じる。
【0009】
前記特許文献１に記載のサスペンションにおいては、ねじれ中心線が前記ディンプルと前記タング領域との接点を通過又は接点に近接するようにＬＢ曲げ位置での曲げの角度（大きさ）が設定されており、これにより、前記ロードビーム部がねじれ中心線回りにねじれ振動したとしても、前記タング領域がシーク方向変動を起こすことを可及的に防止している。
【0010】
このように、前記特許文献１に記載のサスペンションは、前記ロードビーム部のねじれ振動によって前記タング領域が意に反してシーク方向変動することを有効に防止できるが、前記フレキシャ部の前記ロードビーム部に対するねじれ振動については考慮されていない。
【0011】
即ち、前述の通り、前記スライダを支持する前記タング領域は、前記ロードビーム部とはフリー状態とされている前記一対の支持片を介して支持されている。
従って、前記アクチュエータによって揺動される際、及び／又は、ディスク回転に伴う風圧を受ける際に、前記フレキシャ部は全体的には前記ロードビーム部と共に前記支持部に対してねじれ振動しつつ、前記フレキシャ部のうち前記ロードビーム部とはフリー状態とされている部分は、前記ロードビーム部に連動したねじれ振動に加えて、前記ロードビーム部とは独立したねじれ振動を行う。
従って、前記アクチュエータによって揺動される際、及び／又は、ディスク回転に伴う風圧を受ける際に、前記フレキシャ部は全体的には前記ロードビーム部と共に前記支持部に対してねじれ振動しつつ、前記フレキシャ部のうち前記ロードビーム部とはフリー状態とされている部分は、前記ロードビーム部に連動したねじれ振動に加えて、前記ロードビーム部とは独立したねじれ振動を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0012】
【文献】特許第５７９６０３２号公報
【発明の概要】
【0013】
本発明は、前記従来技術に鑑みなされたものであり、ロードビーム部のねじれ振動のゲインを低減させつつ、フレキシャ部のねじれ振動のゲインを有効に低減させ得る磁気ヘッドサスペンションの提供を、目的とする。
【0014】
本発明は、前記目的を達成する為に、ロードビーム部及び前記ロードビーム部に固着されたフレキシャ部を有し、前記ロードビーム部及び前記フレキシャ部の重合体が先端及び基端の間のＬＢ曲げ位置で先端側がディスク面から離間する方向へ曲げられている磁気ヘッドサスペンションであって、前記フレキシャ部は、金属製のフレキシャ基板を有し、前記フレキシャ基板は、前記ロードビーム部に固着される本体領域と、前記ロードビーム部に対してフリー状態で前記本体領域から先端側へ延びる左右一対の支持片と、前記一対の支持片に直接又は間接的に支持されたタング領域とを有し、前記本体領域は、前記ＬＢ曲げ位置を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側に位置するＦ／Ｌ第１溶接点及びＦ／Ｌ第２溶接点を含む複数の溶接点で前記ロードビーム部に固着され、前記一対の支持片は、先端部が前記タング領域よりサスペンション長手方向先端側に配置された支持片溶接点で前記ロードビーム部に固着されており、前記タング領域は、サスペンション長手方向に関し前記Ｆ／Ｌ第１溶接点及び前記支持片溶接点の間に配置されて、ディスク面と対向する下面において磁気ヘッドスライダを支持し且つディスク面とは反対側の上面において前記ロードビーム部に設けられたディンプルに当接するように構成され、前記ＬＢ曲げ位置での曲げのサスペンション長手方向先端側の終端と前記Ｆ／Ｌ第１溶接点との間に延びる平坦領域のサスペンション長手方向長さをＦとし、且つ、前記Ｆ／Ｌ第１溶接点及び前記支持片溶接点の間のサスペンション長手方向長さをＤとした場合に、０．０２≦Ｆ／Ｄ≦０．０５を満たしている磁気ヘッドサスペンションを提供する。
【0015】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションによれば、ロードビーム部のねじれ振動のゲインを低減させつつ、フレキシャ部のねじれ振動のゲインを有効に低減させることができる。
【0016】
本発明に係る磁気ヘッドサスペンションは、好ましくは、０．０４≦Ｆ／Ｄ≦０．０５を満たすように構成される。
【0017】
一形態においては、前記ロードビーム部は、基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされた平板状の本体部と、前記本体部の幅方向両側からディスク面とは反対側へ延びる左右一対のフランジ部とを有するものとされる。
この場合、前記本体領域は、前記Ｆ／Ｌ第１及び第２溶接点で前記本体部に固着され、前記一対の支持片は、前記支持片溶接点で前記本体部に固着される。
この場合、前記本体領域は、前記Ｆ／Ｌ第１及び第２溶接点で前記本体部に固着され、前記一対の支持片は、前記支持片溶接点で前記本体部に固着される。
【0018】
好ましくは、前記支持片溶接点は、前記磁気ヘッドサスペンションの長手方向中心線上に位置される。
【0019】
好ましくは、前記Ｆ／Ｌ第１溶接点は、前記長手方向中心線を基準にして対称に配置された一対の溶接点を有するものとされる。
【0020】
好ましくは、前記一対の支持片は、サスペンション長手方向に関し前記タング領域より基端側に、ディスク面に向かって凸状の折り曲げ部を有し得る。
【図面の簡単な説明】
【0021】
【図6】図６は、前記磁気ヘッドサスペンションの実施例に対して行った検証１の結果のグラフであり、ＬＢ曲げ位置での曲げの終端とフレキシャ基板の本体領域及びＬＢ本体部を固着する溶接点のうち最も先端側に位置するＦ／Ｌ第１溶接点との間に延びる平坦領域の長さをＦ、前記Ｆ／Ｌ第１溶接点と前記フレキシャ基板の一対の支持片の先端及びＬＢ本体部の先端を固着する支持片溶接点との間の長さをＤ、支持部の先端エッジ及びディンプル間の長さをＬ、並びに、前記支持部の先端エッジと前記フレキシャ基板が前記ＬＢ本体部から離間し始めるフレキシャ離間開始位置との間の長さをＡとした場合において、Ｆ／ＤとＬに対するＡの比率との関係を示している。
【発明を実施するための形態】
【0022】
以下、本発明に係る磁気ヘッドサスペンションの好ましい実施の形態について、添付図面を参照しつつ説明する。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の平面図（ディスク面とは反対側から視た上面図）及び側面図を示す。
また、図２(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１の側面図及び底面図（前記ディスク面から視た下面図）を示す。なお、図２(a)は、図１(b)と同一図面である。また、図２(b)においては、下記磁気ヘッドスライダ５０の図示を省略している。
さらに、図３に、前記磁気ヘッドサスペンション１の下記構成部材の分解平面図（前記ディスク面とは反対側から視た上面図）を示す。
図１(a)及び(b)に、それぞれ、本実施の形態に係る磁気ヘッドサスペンション１の平面図（ディスク面とは反対側から視た上面図）及び側面図を示す。
また、図２(a)及び(b)に、それぞれ、前記磁気ヘッドサスペンション１の側面図及び底面図（前記ディスク面から視た下面図）を示す。なお、図２(a)は、図１(b)と同一図面である。また、図２(b)においては、下記磁気ヘッドスライダ５０の図示を省略している。
さらに、図３に、前記磁気ヘッドサスペンション１の下記構成部材の分解平面図（前記ディスク面とは反対側から視た上面図）を示す。
【0023】
図１～図３に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、ボイスコイルモータ等のメインアクチュエータ（図示せず）によって直接又は間接的に揺動中心Ｘ回りにディスク面に平行なシーク方向へ揺動される支持部１０と、磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面に向けて押し付ける為の荷重を発生し得るように基端部が前記支持部１０に連結された荷重曲げ部２０と、前記荷重曲げ部２０を介して前記支持部１０に支持され且つ前記荷重曲げ部２０で発生された荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達するロードビーム部３０と、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に支持されるフレキシャ部４０とを備えている。
【0024】
なお、図２(b)に示すように、本実施の形態に係る前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、サブアクチュエータとして作用する一対の圧電素子７０を有している。
前記一対の圧電素子７０は、前記フレキシャ部４０における下記タング領域４１５を下記ディンプル３３回りにシーク方向へ揺動させ得るように構成されている。
前記一対の圧電素子７０は、前記フレキシャ部４０における下記タング領域４１５を下記ディンプル３３回りにシーク方向へ揺動させ得るように構成されている。
【0025】
前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに直接又は間接的に連結された状態で前記荷重曲げ部２０を介して前記ロードビーム部３０を支持する部材であり、比較的高剛性を有するものとされる。
【0026】
本実施の形態においては、図１～図３に示すように、前記支持部１０は、前記メインアクチュエータに連結されるキャリッジアーム（図示せず）の先端にかしめ加工によって接合されるボス部１５を備えたベースプレートとされている。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．０８ｍｍ～０．３ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
前記支持部１０は、例えば、厚さ０．０８ｍｍ～０．３ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
当然ながら、前記支持部１０として、基端部が前記メインアクチュエータの揺動中心に連結されるアームを採用することも可能である。
【0027】
図４に、図２(b)におけるIV部拡大図を示す。
なお、図４においては、理解容易化の為に、前記一対の圧電素子７０及び前記フレキシャ部４０における下記配線構造体４２０を削除している。
また、図５に、図４におけるV-V線断面図を示す。
なお、図４においては、理解容易化の為に、前記一対の圧電素子７０及び前記フレキシャ部４０における下記配線構造体４２０を削除している。
また、図５に、図４におけるV-V線断面図を示す。
【0028】
前記ロードビーム部３０は、前述の通り、前記荷重曲げ部２０によって発生される荷重を前記磁気ヘッドスライダ５０に伝達する為の部材であり、従って、所定の剛性が要求される。
【0029】
図１～図５に示すように、前記ロードビーム部３０は、前記ディスク面と対向する平板状のＬＢ本体部３１と、前記ＬＢ本体部３１のサスペンション幅方向両側からディスク面とは反対方向へ延びる左右一対のフランジ部３２とを有しており、前記フランジ部３２によって剛性を向上させている。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
前記ロードビーム部３０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって好適に形成される。
【0030】
図１～図５に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記ＬＢ本体部３１の先端側に、ディンプル３３と呼ばれる突起を有している。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ～０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレキシャ部４０における下記タング領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダ５０を支持する支持面とは反対側の裏面）に接触し、このディンプル３３を介して前記荷重曲げ部２０で発生された荷重を前記フレキシャ部４０の前記タング領域４１５に伝達するようになっている。
前記ディンプル３３は、ディスク面に近接する方向に、例えば、０．０５ｍｍ～０．１ｍｍ程度突出されている。このディンプル３３は、前記フレキシャ部４０における下記タング領域４１５の上面（前記磁気ヘッドスライダ５０を支持する支持面とは反対側の裏面）に接触し、このディンプル３３を介して前記荷重曲げ部２０で発生された荷重を前記フレキシャ部４０の前記タング領域４１５に伝達するようになっている。
【0031】
本実施の形態においては、図１～図５に示すように、前記ロードビーム部３０は、さらに、前記ＬＢ本体部３１の先端からサスペンション長手方向先端側へ延びるリフトタブ３４を一体的に有している。前記リフトタブ３４は、前記磁気ヘッドスライダ５０がディスク面上から径方向外方へ外れるように前記磁気ヘッドサスペンション１が前記メインアクチュエータによって揺動された際に、磁気ディスク装置に備えられたランプと係合して前記磁気ヘッドスライダ５０を前記ディスク面から上方へ離間させる為の部材である。
【0032】
本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、前記ＬＢ本体部３１は、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従って幅狭とされている。即ち、前記ＬＢ本体部３１のサスペンション幅方向外方エッジは、サスペンション長手方向基端側から先端側へ行くに従って、サスペンション長手方向中心線ＣＬに近接するように傾斜されている。
【0033】
斯かる構成によれば、前記ロードビーム部３０の先端側における前記中心線ＣＬ回りの慣性モーメントを低減でき、捩れモードの共振周波数を上昇させることができる。
【0034】
本実施の形態においては、前記荷重曲げ部２０は、両者の間に間隙が存する状態で前記中心線ＣＬを基準にして左右対称に配置された一対の板バネ２１を有している。
前記板バネ２１は、板面が前記ディスク面に対向する状態で基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の基端部に連結されている。
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
前記板バネ２１は、板面が前記ディスク面に対向する状態で基端部が前記支持部１０の先端側に連結され且つ先端部が前記ロードビーム部３０の基端部に連結されている。
前記荷重曲げ部２０は、例えば、厚さ０．０２ｍｍ～０．１ｍｍのステンレス板によって形成される。
【0035】
【0036】
詳しくは、前記ロードビーム部形成部材３００は、前記ロードビーム部３０を形成する部分と、前記ロードビーム部３０を形成する部分から基端側へ延び、前記荷重曲げ部２０（本実施の形態においては前記一対の板バネ２１）を形成する部分と、前記荷重曲げ部２０を形成する部分から基端側へ延び、前記支持部１０に重合状態で溶接点３１２でのレーザースポット溶接によって固着される支持部重合部分３１０（図２(b)及び図３参照）とを一体的に有している。
【0037】
前記フレキシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を支持した状態で前記ロードビーム部３０に溶接点でのレーザースポット溶接によって固着されている。
【0038】
詳しくは、前記フレキシャ部４０は、前記ＬＢ本体部３１に固着されるフレキシャ基板４１０を有している。
前記フレキシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０より低剛性とされ、例えば、厚さ０．０１ｍｍ～０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。
前記フレキシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０より低剛性とされ、例えば、厚さ０．０１ｍｍ～０．０２５ｍｍ程度のステンレス等の金属材料によって好適に形成される。
【0039】
前記フレキシャ基板４１０は、前記ロードビーム部３０に固着される本体領域４１１と、前記ロードビーム部３０に対してフリー状態で前記本体領域４１１から先端側へ延びる左右一対の支持片４１２と、前記一対の支持片４１２に直接又は間接的に支持された前記タング領域４１５とを有している。
【0040】
前記本体領域４１１は、前記ＬＢ本体部３１と重合され、複数のＦ／Ｌ溶接点でのレーザースポット溶接によって前記ＬＢ本体部３１に固着されている。
【0041】
図２(b)及び図３～図５に示すように、前記複数のＦ／Ｌ溶接点は、サスペンション長手方向に関し先端側から基端側へ順に配置されたＦ／Ｌ第１溶接点９１、Ｆ／Ｌ第２溶接点９２及びＦ／Ｌ第３溶接点９３を含んでいる。
【0042】
前記Ｆ／Ｌ第１溶接点９１は前記中心線ＣＬを挟んで対称に配置された一対の溶接点とされ、前記Ｆ／Ｌ第２溶接点９２は前記中心線ＣＬ上に配置された単一の溶接点とされ、前記Ｆ／Ｌ第３溶接点９３は前記中心線ＣＬを挟んで対称に配置された一対の溶接点とされている。
【0043】
本実施の形態においては、図２(b)及び図３に示すように、前記本体領域４１１は、前記ＬＢ本体部３１に重合されて前記複数のＦ／Ｌ溶接点９１～９３によって前記ロードビーム部３０に固着されるロードビーム部重合部位に加えて、前記支持部１０に重合される支持部重合部位４１７と、前記ロードビーム部重合部位及び前記支持部重合部位４１７の間を連結し、前記一対の板バネ２１の間の間隙を通過する連結部位４１８とを有している。
【0044】
前記支持部重合部位４１７は、複数のＦ／Ｓ溶接点９７でのスポット溶接によって前記支持部１０に固着されている。
【0045】
前記一対の支持片４１２は、先端部が前記タング領域４１５よりサスペンション長手方向先端側に配置された支持片溶接点９５でのレーザースポット溶接によって前記ＬＢ本体部３１の先端に固着されている。
【0046】
前記タング領域４１５は、サスペンション長手方向に関し前記Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び前記支持片溶接点９５の間に配置されて、ディスク面と対向する下面において前記磁気ヘッドスライダ５０を支持し且つディスク面とは反対側の上面において前記ディンプル３３に当接するように構成されている。
【0047】
図５に示すように、前記一対の支持片４１２の各々は、サスペンション長手方向に関し前記タング領域４１５より基端側の所定の折り曲げ位置に、ディスク面に向かって凸状の折り曲げ部４１２ａを有している。
【0048】
前記折り曲げ部４１２ａを設けると共にその折り曲げ角度を調整することによって、前記タング領域４１５が前記ディンプル３３へ押し付けられる力（ディンプル予圧）を高めることができると共に、前記一対の支持片４１２の前記ロードビーム部３０に対する相対的なプロファイル（形状）を微調整して、フレキシャ部のねじれ振動の低減を図ることができる。仕様によって多少異なるが、０．５～５度ぐらいに設定するのが好ましい。
【0049】
本実施の形態においては、図４に示すように、前記フレキシャ基板４１０は、前記一対の支持片４１２の長手方向中間からサスペンション幅方向内方へ延びる一対の延在片４１３と、前記中心線ＣＬ上においてサスペンション長手方向に沿って延びるように前記一対の延在片４１３に支持された連結片４１４とを有しており、前記タング領域４１５は前記ディンプル３３を支点としてピッチ方向及びロール方向へ揺動するジンバル動作を行なえるように前記連結片４１４に片持ち状に支持されている。
【0050】
本実施の形態においては、前記フレキシャ部４０は、前記磁気ヘッドスライダ５０を外部の部材に電気的に接続する為の配線導体４２２を含む配線構造体４２０を有している。
【0051】
図３に示すように、前記配線構造体４２０は、前記フレキシャ基板４１０におけるディスク対向面に積層される絶縁層４２１と、前記絶縁層４２１におけるディスク対向面に積層される配線導体４２２と、前記配線導体４２２を囲繞する絶縁性のカバー層４２３とを有している。
【0052】
図１(a)に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１は、さらに、前記ＬＢ本体部３１における前記ディスク面とは反対側の裏面に固着された制振材６０を有している。
【0053】
前記制振材６０は、前記ＬＢ本体部３１のディスク面とは反対側の裏面に固着される粘弾性材からなる第１層（図示せず）と前記第１層のディスク面とは反対側の裏面に固着される第２層（図示せず）とを有し得る。
【0054】
前記第１層としては、例えば、アクリルポリマーやシリコンが好適に使用される。
前記第２層としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。
前記第２層としては、例えば、ステンレスやアルミニウム等の金属材料、若しくは、ポリエチレン・テレフタレート等の樹脂材料が好適に使用される。
【0055】
図１～図５に示すように、前記磁気ヘッドサスペンション１においては、前記フレキシャ部４０が前記ロードビーム部３０に固着されてなる重合体が、所定のＬＢ曲げ位置３５でディスク面に向かって凸状に（即ち、前記ロードビーム部の先端側がディスク面から離間するように）曲げられている。
【0056】
ＬＢ曲げ位置３５での曲げの角度（大きさ）は、前記磁気ヘッドサスペンション１に生じるねじれモードの振動中心線が前記ディンプル３３の頂点（前記ディンプル３３と前記タング領域４１５との当接点）に可及的に近接するように設定される。
ＬＢ曲げ位置３５での曲げ角度は、仕様に応じて設定されるが、例えば、０．５度～３．０度の範囲とされる。
ＬＢ曲げ位置３５での曲げ角度は、仕様に応じて設定されるが、例えば、０．５度～３．０度の範囲とされる。
【0057】
ＬＢ曲げ位置３５で前記重合体の曲げを行うことによって、前記磁気ヘッドサスペンション１に捩れモードの振動が生じたとしても、この振動に起因する前記タング領域４１５の姿勢変動を防止乃至は低減することができ、前記磁気ヘッドスライダ５０の目的トラックから位置ズレを可及的に防止することができる。
【0058】
ここで、前記メインアクチュエータ及び／又は前記サブアクチュエータによって前記磁気ヘッドサスペンション１が揺動される際、及び／又は、前記スライダ５０を目的トラックでディスク回転に伴う風圧を受ける際には、前記ロードビーム部３０及び前記フレキシャ部４０の重合体が前記支持部１０に対してねじれ振動（ロードビーム部のねじれ振動）し、さらに、前記フレキシャ部４０のうち前記ロードビーム部３０に対してフリー状態とされている部分が前記ロードビーム部３０に対してねじれ振動（フレキシャ部のねじれ振動）する。
【0059】
前記ロードビーム部３０のねじれ振動に起因する前記タング領域４１５の意に反した姿勢変動は、前記重合体のＬＢ曲げ位置３５での曲げの大きさを調整することによって、可及的に防止することができる。
【0060】
しかしながら、前記フレキシャ部４０のねじれ振動に起因する前記タング領域４１５の意に反した姿勢変動については前記重合体のＬＢ曲げ位置３５での曲げの大きさ調整によっては防止乃至は低減することができない。
【0061】
この点に関し、本願発明者は、前記フレキシャ部４０のねじれ振動に起因する前記タング領域４１５の意に反した姿勢変動については、本来、密着されるべき前記ＬＢ本体部３１と前記フレキシャ部４１０の本体領域４１１との密着度が大きく影響するのではないか、という新規な着想を得た。
【0062】
詳しくは、前述の通り、前記ロードビーム３０のねじれ振動に起因する前記タング領域４１５の意に反した姿勢変動については、前記重合体の曲げ角度を調整して前記ロードビーム部３０のねじれ中心線を前記ディンプル３３の頂点に一致又は近接させることによって防止乃至は低減することができる。
【0063】
しかしながら、前記重合体は、厚みの異なる前記ＬＢ本体部３１及び前記フレキシャ基板４１０が重合状態で複数のＦ／Ｌ溶接点９１～９３で溶接固着されて形成されており、従って、かかる重合体に対して曲げを行うと、前記ＬＢ本体部３１の曲げの曲率半径と前記フレキシャ基板４１０の曲げの曲率半径とが異なることになる。
【0064】
この場合、厚みの薄い前記フレキシャ基板４１０は、前記Ｆ／Ｌ溶接点９１～９３においては前記ＬＢ本体部３１に固着されることで拘束された状態で、その他の領域においては曲率半径の差異に応じて前記ＬＢ本体部３１の曲げに引っ張られることになる。
【0065】
この点を踏まえて、本願発明者は、前記重合体の曲げによって、前記ＬＢ本体部３１に密着されるべき前記フレキシャ基板４１０の本体領域４１１の一部（前記ＬＢ第１溶接点９１より先端側の部分）が意に反して変形して、前記ＬＢ本体部３１に対する密着性が損なわれ、前記一対の支持片４１２のプロファイルの意に反した変化を招き、その結果、前記一対の支持片４１２、前記延在片４１３及び前記連結片４１４を介して支持される前記タング領域４１５のねじれ振動ゲインの悪化を招くのではないかという新規な着想を得て、この着想の正否を確かめる為に下記の検証を行った。
【0066】
・検証１
下記基本構成を有しつつ、前記重合体の曲げの曲率半径Ｒ（図５参照）を6.5mmとしたロードビーム部３０及びフレキシャ部４０の重合体アッセンブリを６個、作成した（以下、実施例１(a1)～(a6)）という。
下記基本構成を有しつつ、前記重合体の曲げの曲率半径Ｒ（図５参照）を6.5mmとしたロードビーム部３０及びフレキシャ部４０の重合体アッセンブリを６個、作成した（以下、実施例１(a1)～(a6)）という。
【0067】
＜基本構成＞
ロードビーム部４０の板厚：30μｍ
フレキシャ基板４１０の板厚：18μｍ
支持部１０の先端エッジ及びディンプル３３間の距離Ｌ：6.0ｍｍ
支持部１０の先端エッジ及びＬＢ曲げ位置３５間の距離Ｌ0：3.12ｍｍ（＝0.52×Ｌ）
支持部１０の先端エッジ及びＦ／Ｌ第１溶接点９１間の距離Ｌ1：3.36ｍｍ（＝0.56×Ｌ）
支持部１０の先端エッジ及びＦ／Ｌ第２溶接点９２間の距離Ｌ2：2.4ｍｍ（＝0.4×Ｌ）
Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び支持片溶接点９５の間の距離さＤ：3.75ｍｍ
ディンプル３３の高さH1：0.075ｍｍ
Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び折り曲げ部４１２ａ間の距離L3：0.75ｍｍ（＝0.2×Ｄ）
折り曲げ部４１２ａの高さH2：0.098ｍｍ（＝1.3×H1）
ロードビーム部４０の板厚：30μｍ
フレキシャ基板４１０の板厚：18μｍ
支持部１０の先端エッジ及びディンプル３３間の距離Ｌ：6.0ｍｍ
支持部１０の先端エッジ及びＬＢ曲げ位置３５間の距離Ｌ0：3.12ｍｍ（＝0.52×Ｌ）
支持部１０の先端エッジ及びＦ／Ｌ第１溶接点９１間の距離Ｌ1：3.36ｍｍ（＝0.56×Ｌ）
支持部１０の先端エッジ及びＦ／Ｌ第２溶接点９２間の距離Ｌ2：2.4ｍｍ（＝0.4×Ｌ）
Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び支持片溶接点９５の間の距離さＤ：3.75ｍｍ
ディンプル３３の高さH1：0.075ｍｍ
Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び折り曲げ部４１２ａ間の距離L3：0.75ｍｍ（＝0.2×Ｄ）
折り曲げ部４１２ａの高さH2：0.098ｍｍ（＝1.3×H1）
【0068】
実施例１(a1)～(a6)のそれぞれにおいて、前記ＬＢ曲げ位置３５での曲げのサスペンション長手方向先端側の終端と前記Ｆ／Ｌ第１溶接点９１との間に延びる平坦領域のサスペンション長手方向長さＦと前記Ｆ／Ｌ第１溶接点９１及び前記支持片溶接点９５の間のサスペンション長手方向長さＤとの関係Ｆ／Ｄを測定した（図５参照）。
【0069】
その結果は以下の通りである。
実施例１(a1)：0.014
実施例１(a2)：0.016
実施例１(a3)：0.003
実施例１(a4)：0.011
実施例１(a5)：0.007
実施例１(a6)：0.007
実施例１（平均値）：0.010
実施例１(a1)：0.014
実施例１(a2)：0.016
実施例１(a3)：0.003
実施例１(a4)：0.011
実施例１(a5)：0.007
実施例１(a6)：0.007
実施例１（平均値）：0.010
【0070】
実施例１(a1)～(a6)のそれぞれにおいて、前記支持部１０の先端エッジ及び前記フレキシャ基板４１０が前記ＬＢ本体部３１から離間し始めるフレキシャ離間開始位置４３０（図５参照）との間の距離Ａを測定し、支持部１０の先端エッジ及びディンプル３３間の距離Ｌに対する比率を算出した。
実施例１(a1)～(a6)におけるＦ／ＤとＡとの関係を図６に示す。
実施例１(a1)～(a6)におけるＦ／ＤとＡとの関係を図６に示す。
【0071】
前記実施例１と同一構成を有しつつ、ＬＢ曲げ位置３５での曲げの曲率半径Ｒを4.5mmに変更した実施例２を７個、作成した（以下、実施例２(a1)～２(a7)）という。
【0072】
実施例２(a1)～(a7)のそれぞれにおいて、Ｆ／Ｄを測定した。
その結果は以下の通りである。
実施例２(a1)：0.030
実施例２(a2)：0.026
実施例２(a3)：0.031
実施例２(a4)：0.022
実施例２(a5)：0.027
実施例２(a6)：0.024
実施例２(a7)：0.032
実施例２（平均値）：0.027
実施例２(a1)～(a7)のそれぞれにおいて、ＡをＬに対する比率として算出した。その結果を図６に併せて示す。
その結果は以下の通りである。
実施例２(a1)：0.030
実施例２(a2)：0.026
実施例２(a3)：0.031
実施例２(a4)：0.022
実施例２(a5)：0.027
実施例２(a6)：0.024
実施例２(a7)：0.032
実施例２（平均値）：0.027
実施例２(a1)～(a7)のそれぞれにおいて、ＡをＬに対する比率として算出した。その結果を図６に併せて示す。
【0073】
前記実施例１と同一構成を有しつつ、ＬＢ曲げ位置３５での曲げの曲率半径Ｒを3.0mmに変更した実施例３を８個、作成した（以下、実施例３(a1)～(a8)）という。
【0074】
実施例３(a1)～(a8)のそれぞれにおいて、Ｆ／Ｄを測定した。
その結果は以下の通りである。
実施例３(a1)：0.039
実施例３(a2)：0.041
実施例３(a3)：0.041
実施例３(a4)：0.040
実施例３(a5)：0.047
実施例３(a6)：0.041
実施例３(a7)：0.044
実施例３(a8)：0.045
実施例３（平均値）：0.042
その結果は以下の通りである。
実施例３(a1)：0.039
実施例３(a2)：0.041
実施例３(a3)：0.041
実施例３(a4)：0.040
実施例３(a5)：0.047
実施例３(a6)：0.041
実施例３(a7)：0.044
実施例３(a8)：0.045
実施例３（平均値）：0.042
【0075】
実施例３(a1)～(a8)のそれぞれにおいて、ＡをＬに対する比率として算出した。その結果を図６に併せて示す。
【0076】
図６に示されるように、Ｆ／Ｄが０．０１近傍では、フレキシャ離間開始位置３５までの距離Ａにバラつきが見られたが、Ｆ／Ｄが０．０２以上となると、フレキシャ離間開始位置３５までの距離Ａのバラつきが減少していることを確認された。
フレキシャ離間開始位置のバラつきは、同一寸法の磁気ヘッドサスペンション間におけるジンバル特性の不均一さを招くことになる。このことから、Ｆ／Ｄが０．０２以上であることが好ましいと理解できる。
フレキシャ離間開始位置のバラつきは、同一寸法の磁気ヘッドサスペンション間におけるジンバル特性の不均一さを招くことになる。このことから、Ｆ／Ｄが０．０２以上であることが好ましいと理解できる。
【0077】
・検証２
前記実施例１(a1)～(a6)、前記実施例２(a1)～２(a7)及び前記実施例３(a1)～(a8)のそれぞれについて、フレキシャ部４０のねじれ１次モード共振周波数及びねじれ２次共振周波数を測定した。
前記実施例１(a1)～(a6)、前記実施例２(a1)～２(a7)及び前記実施例３(a1)～(a8)のそれぞれについて、フレキシャ部４０のねじれ１次モード共振周波数及びねじれ２次共振周波数を測定した。
【0078】
図７に、検証２における測定方法の模式平面図を示す。
図７に示すように、検証２においては、磁気ヘッドスライダ５０が装着された状態の実施例１～３を、前記磁気ヘッドスライダ５０が３．５インチのディスク面１００上に位置するようにジグ１１０に固定した。
図７に示すように、検証２においては、磁気ヘッドスライダ５０が装着された状態の実施例１～３を、前記磁気ヘッドスライダ５０が３．５インチのディスク面１００上に位置するようにジグ１１０に固定した。
【0079】
この状態で、前記ディスク面１００を毎分10000回転させ、前記ディスク面１００からの風圧によってディスク面上で加振される前記磁気ヘッドスライダ５０の変位量を、サスペンション幅方向外方に設置したレーザートップラー変位測定機１２０で測定し、測定された時間基準の信号を周波数基準の信号に変換して、フレキシャ部４０のねじれ１次共振周波数及びねじれ２次共振周波数を算出した。
【0080】
図８に、Ｆ／Ｄとフレキシャ部４０のねじれ１次共振周波数との関係を示す。
図８から、Ｆ／Ｄを大きくするほど、フレキシャ部４０の捩れ１次モードの共振周波数を上昇させることができ、且つ、捩れ１次モードの振動特性のバラつきを抑え得ることが理解できる。
図８から、Ｆ／Ｄを大きくするほど、フレキシャ部４０の捩れ１次モードの共振周波数を上昇させることができ、且つ、捩れ１次モードの振動特性のバラつきを抑え得ることが理解できる。
【0081】
図９に、Ｆ／Ｄとフレキシャ部４０のねじれ２次共振周波数との関係を示す。
図９から、
・Ｆ／Ｄが０．０１では、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数にバラつきが生じていること、
・Ｆ／Ｄが０．０２以上であれば、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数を上昇させることができ、さらに、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数のバラつきを抑え得ることが理解できる。
図９から、
・Ｆ／Ｄが０．０１では、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数にバラつきが生じていること、
・Ｆ／Ｄが０．０２以上であれば、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数を上昇させることができ、さらに、フレキシャ部４０のねじれ２次モードの共振周波数のバラつきを抑え得ることが理解できる。
【0082】
【0083】
・検証３
前記実施例１(a1)～(a6)、前記実施例２(a1)～２(a7)及び前記実施例３(a1)～(a8)のそれぞれについて、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて、前記タング領域４１５のピッチ剛性及びロール剛性の解析を行った。
前記実施例１(a1)～(a6)、前記実施例２(a1)～２(a7)及び前記実施例３(a1)～(a8)のそれぞれについて、有限要素法（ＦＥＭ）を用いて、前記タング領域４１５のピッチ剛性及びロール剛性の解析を行った。
【0084】
ピッチ方向剛性については、磁気ヘッドスライダ５０が装着された前記実施例１～３のモデルにおいて、前記磁気ヘッドスライダ５０の長手方向先端側及び基端側にディスク面と直交するＺ方向に関し逆向きの1.0mgfの荷重を掛けた状態における、前記磁気ヘッドスライダ５０のピッチ方向の変位量に基づき、単位角度（rad）当たりの力のモーメントを有限要素法によって算出し、それをピッチ方向剛性とした。
【0085】
ロール剛性については、前記磁気ヘッドスライダ５０が装着された前記実施例１～３のモデルにおいて、前記磁気ヘッドスライダ５０の短手方向一方側及び他方側にＺ方向に関し逆向きの1.0mgfの荷重を掛けた状態における、前記磁気ヘッドスライダ５０のロール方向の変位量に基づき、単位角度（rad）当たりの力のモーメントを有限要素法によって算出し、それをロール方向剛性とした。
【0086】
Ｆ／Ｄとピッチ剛性及びロール剛性との関係を図１０に示す。
ディスク面への前記磁気ヘッドスライダ５０の追従性を向上させる為には、前記タング領域４１５のピッチ剛性及びロール剛性を低減させることが好ましい。
この点を考慮すると、図１０から、Ｆ／Ｄが０．０１～０．０５であることが好ましいと理解できる。
ディスク面への前記磁気ヘッドスライダ５０の追従性を向上させる為には、前記タング領域４１５のピッチ剛性及びロール剛性を低減させることが好ましい。
この点を考慮すると、図１０から、Ｆ／Ｄが０．０１～０．０５であることが好ましいと理解できる。
【0087】
以上の前記検証１～３の結果から、Ｆ／Ｄが０．０２～０．０５となるように構成することが好ましく、より好ましくは、０．０４～０．０５となるように構成することが好ましいと理解できる。
【符号の説明】
【0088】
１ 磁気ヘッドサスペンション
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
３０ ロードビーム部
３１ 本体部
３２ フランジ部
３３ ディンプル
３５ ＬＢ曲げ位置
４０ フレキシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
９１ ＬＢ第１溶接点
９２ ＬＢ第２溶接点
９５ 支持片溶接点
４１０ フレキシャ基板
４１１ 本体領域
４１２ 支持片
４１２ａ 折り曲げ部
４１５ タング領域
ＣＬ サスペンション長手方向中心線
１０ 支持部
２０ 荷重曲げ部
３０ ロードビーム部
３１ 本体部
３２ フランジ部
３３ ディンプル
３５ ＬＢ曲げ位置
４０ フレキシャ部
５０ 磁気ヘッドスライダ
９１ ＬＢ第１溶接点
９２ ＬＢ第２溶接点
９５ 支持片溶接点
４１０ フレキシャ基板
４１１ 本体領域
４１２ 支持片
４１２ａ 折り曲げ部
４１５ タング領域
ＣＬ サスペンション長手方向中心線
【要約】
本発明の磁気ヘッドサスペンションにおいて、フレキシャ基板の本体領域は、ロードビーム部のねじれ振動のゲインを低減させる為のＬＢ曲げの位置を挟んでサスペンション長手方向先端側及び基端側にそれぞれ位置するＦ／Ｌ第１溶接点及びＦ／Ｌ第２溶接点を含む複数の溶接点でロードビーム部に固着され、フレキシャ基板の一対の支持片は、先端部がタング領域よりサスペンション長手方向先端側に配置された支持片溶接点でロードビーム部に固着されている。ＬＢ曲げ位置での曲げのサスペンション長手方向先端側の終端とＦ／Ｌ第１溶接点との間に延びる平坦領域のサスペンション長手方向長さをＦとし、且つ、Ｆ／Ｌ第１溶接点及び支持片溶接点の間のサスペンション長手方向長さをＤとした場合に、０．０２≦Ｆ／Ｄ≦０．０５を満たしている。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
