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(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-09-04
(45)【発行日】2023-09-12
(54)【発明の名称】パネル収納容器のトレイ結合構造
(51)【国際特許分類】
   H01L 21/673 20060101AFI20230905BHJP
   B65D 85/86 20060101ALN20230905BHJP
【FI】
H01L21/68 T
B65D85/86 400
【請求項の数】 5
(21)【出願番号】P 2021544156
(86)(22)【出願日】2020-12-02
(65)【公表番号】
(43)【公表日】2023-03-08
(86)【国際出願番号】 KR2020017451
(87)【国際公開番号】W WO2022114339
(87)【国際公開日】2022-06-02
【審査請求日】2021-07-28
(31)【優先権主張番号】10-2020-0165166
(32)【優先日】2020-11-30
(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR
(73)【特許権者】
【識別番号】515314731
【氏名又は名称】スリー・エス コリア カンパニー リミテッド
【氏名又は名称原語表記】3S Korea Co., Ltd.
【住所又は居所原語表記】#1310, 75-24, GASAN DIGITAL 1-RO, GEUMCHEON-GU, SEOUL 08589, REPUBLIC OF KOREA
(74)【代理人】
【識別番号】110001818
【氏名又は名称】弁理士法人R&C
(72)【発明者】
【氏名】キム,サン・ジン
【審査官】杢 哲次
(56)【参考文献】
【文献】特開2003-68839(JP,A)
【文献】韓国公開特許第10-2004-0046872(KR,A)
【文献】特開2011-86806(JP,A)
【文献】特開2005-153963(JP,A)
【文献】特開2019-127272(JP,A)
【文献】特開2011-103391(JP,A)
【文献】特表2018-500766(JP,A)
【文献】特開2008-21743(JP,A)
【文献】特表2005-518318(JP,A)
(58)【調査した分野】(Int.Cl.,DB名)
H01L 21/673
B65D 85/86
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
1つ以上のパネルを収容できる空間が設けられ、両側にトレイを設置できるように両側にそれぞれ側壁部が設けられ、少なくとも一側に開口したボディと、
前記側壁部に設置され、前記パネルを安着できる胴体部を含む1つ以上のトレイと、を含み、
前記トレイは、前記側壁部と密着するように備えられる側面部と、
前記側面部と垂直に備えられ、前記パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起が形成される底部と、
前記側面部及び底部の間に形成するが、角に形成され、前記トレイを長時間前記ボディの内部に設置しても、前記トレイの撓み変形を防止する補強部材と、
前記側面部および底部の間に形成するが、前記補強部材と錯角に対応する位置に形成され、前記側壁部に設けられる挿入部材と、を含み、
前記ボディは、前記側壁部の内側を向くように形成するが、一定の間隔ごとに設けられて前記挿入部材を支持する支持部材と、
前記支持部材の間に形成され、前記挿入部材が挿入される挿入空間と、
前記トレイの下部に形成するが、前記側壁部に一定の間隔ごとに形成され、前記トレイの撓み変形を防止するように支持する突起部と、を含むパネル収納容器のトレイ結合構造。
【請求項2】
前記側壁部の内側に形成するが、開口部と密接に設けられ、前記トレイと一体化し、内部に締結溝が形成される結束部材を含む請求項1に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。
【請求項3】
前記結束部材は、前記締結溝の内周面に沿ってねじ山が形成され、前記ボディの外部からネジが挿入される構造からなり、
前記側壁部に形成するが、前記結束部材の締結溝と同一線上に位置するように形成される貫通孔を含む請求項2に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。
【請求項4】
前記貫通孔を基準に両側に備えられ、挿入空間と密接な密着部を含み、
前記結束部材を前記挿入空間に備えるが、前記締結溝及び前記貫通孔が同一線上に位置し、前記ネジが前記締結溝及び前記貫通孔に締結され、前記トレイ及びボディが相互に締結される請求項に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。
【請求項5】
前記結束部材の下部に形成するが、突出するように形成され、前記側壁部と密着するように形成される安着部を含み、
前記安着部が挿入空間に備えられ、前記結束部材及び前記側壁部の間に隙間が形成される請求項に記載のパネル収納容器のトレイ結合構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、パネル収納容器のトレイ結合構造に関するものである。さらに詳しくは、パネル収納容器の内部にトレイを結合するためのパネル収納容器のトレイ結合構造に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体製造用ウェハや各種ディスプレイ機器の製造のためのパネル及び太陽電池の製造のためのパネルなどのような基板の取り扱いにおいて、周辺の湿気や酸素及び空気中の浮遊物質などのような汚染物質から基板を保護することは非常に重要な事項としてすでに知られている。これに基板の保管及び移動過程で用いられる基板コンテナの場合は、その内部の基板収容空間をNガスなどのような不活性ガスを用いてパージ(purging)する。
【0003】
一方、近年、基板の大面積化に応じて、基板コンテナのサイズも大型化されている。ディスプレイ機器の製造分野においてLCD(Liquid crystal display)やPDP(Plasma display panel)及びOLED(Organic light emitting display)などのような様々な平面パネルディスプレイ(Flat panel display)機器が大面積化されながら、大面積基板の保管及び移動などの取り扱いのための基板コンテナについての技術も発展しており、一例として、特許文献1を参照して具体的に説明すると次の通りである。
【0004】
特許文献1は、基板収納容器に関するものであり、これによると、前方に開口部が形成され、基板が収納される本体部、本体部の開口部を開放及び閉鎖するドア部及びドア部に形成されるロック装置を含み、ロック装置は、本体部の開口部側に固定及び解除するようにするメイン固定ユニット及び本体部の開口部側に結合される補助固定ユニットを含み、補助固定ユニットは、メイン固定ユニットと連動してドア部の外部に出入りして本体部に結合される突起部、及びドア部の外部に出入りするように案内するガイド部材を含む。
【0005】
前述した特許文献1によると、基板収納容器は、200mmまたは300mmのウェハのみが収納可能であるので、ウェハの大型化を追求している現在の技術力には限界がある収納容器であり、300mmを超えるウェハを収納することができる容器の技術開発が要求されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
【文献】韓国登録特許第10-1330110号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明の目的は、パネル収納容器の内部にトレイを結合して、長時間維持してもトレイの撓み変形を防止することができるパネル収納容器のトレイ結合構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0008】
1つ以上のパネルを収容できる空間が設けられ、両側にトレイを設置できるように両側にそれぞれ側壁部が設けられ、少なくとも一側に開口したボディと、
前記側壁部に設置され、前記パネルを安着できる胴体部を含む1つ以上のトレイと、を含み、
前記トレイは、前記側壁部と密着するように備えられる側面部と、
前記側面部と垂直に備えられ、前記パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起が形成される底部と、
前記側面部及び底部の間に形成するが、角に形成され、前記トレイを長時間前記ボディの内部に設置しても、前記トレイの撓み変形を防止する補強部材と、
前記側面部および底部の間に形成するが、前記補強部材と錯角に対応する位置に形成され、前記側壁部に設けられる挿入部材と、を含むことができる。
【0009】
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記ボディは、前記側壁部の内側を向くように形成するが、一定の間隔ごとに設けられて前記挿入部材を支持する支持部材と、
前記支持部材の間に形成され、前記挿入部材が挿入される挿入空間と、
前記トレイの下部に形成するが、前記側壁部に一定の間隔ごとに形成され、前記トレイの撓み変形を防止するように支持する突起部と、を含むことができる。
【0010】
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記側壁部の内側に形成するが、開口部と密接に設けられ、前記トレイと一体化し、内部に締結溝が形成される結束部材を含むことができる。
【0011】
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記結束部材は、前記締結溝の内周面に沿ってねじ山が形成され、前記ボディの外部からネジが挿入される構造からなり、
前記側壁部に形成するが、前記結束部材の締結溝と同一線上に位置するように形成される貫通孔を含むことができる。
【0012】
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記貫通孔を基準に両側に備えられ、挿入空間と密接な密着部を含み、
前記結束部材を前記挿入空間に備えるが、前記締結溝及び前記貫通孔が同一線上に位置し、前記ネジが前記締結溝及び前記貫通孔に締結され、前記トレイ及びボディを相互に締結することができる。
【0013】
また、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造において、前記結束部材の下部に形成するが、突出するように形成され、前記側壁部と密着するように形成される安着部を含み、
前記安着部が挿入空間に備えられ、前記結束部材及び前記側壁部の間に隙間を形成することができる。
【発明の効果】
【0014】
本発明の一実施形態によると、ボディの内部両側にトレイを設置できる構造で形成され、トレイをボディの内部に設置するとき、長時間設置しても、トレイの撓み変形を防止することができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【0015】
図1】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のボディ及びトレイを示す斜視図である。
図2】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のボディ及びトレイを示す斜視図である。
図3】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造の組立状態を示す部分拡大図である。
図4】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造の設置状態を示す模式図である。
図5】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造の組立状態を示す背面斜視図である。
図6】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造の結束部材の設置状態を示す断面図である。
図7】本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造の結束部材の設置状態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【0016】
図1及び図2に示すように、本発明の一実施形態に係るパネル収納容器のトレイ結合構造は、1つ以上のパネルを収容できる空間が設けられ、両側にトレイ200を設置できるように両側にそれぞれ側壁部110が設けられ、少なくとも一側に開口したボディ100及び側壁部110に設置され、パネルを安着できる胴体部201を含む1つ以上のトレイ200を含む。
【0017】
ボディ100は、内部にトレイ200を設置できる収容空間が設けられ、トレイ200にパネルを安着して保管する構造からなり、一側に開口した地点にドアが別途に形成されてボディ100の内部が気密になるように備えることができる。
【0018】
ここで、パネルは、PLP(Panel Level Package)、PCB(Printed Circuit Board)、ガラスのうちいずれかを選択して構成することができ、本発明では、PLPパネルを基準に説明する。
【0019】
また、ボディ100は、300mmのパネルまたは600mmのパネルのうち少なくともいずれか1つのパネルを選択して保管することができ、本発明では、600mmのパネルをボディ100の内部に保管するように設計されている。
【0020】
このようなボディ100は、両側(開口した面を基準に両側)にトレイ200を設置できる側壁部110を設けることができる。
【0021】
図3に示すように、側壁部110は、一定の間隔ごとに支持部材130が形成され、支持部材130の間に隙間を形成してトレイ200を挿入することができる空間が設けられる挿入空間150を形成することができる。
【0022】
支持部材130は、トレイ200が長時間設置されても前記トレイ200の撓み変形を防止するために、支持部材130の長さを挿入空間150の形成された長さよりも相対的に長く備えることができるが、これに限定されるものではない。
【0023】
挿入空間150は、後述する挿入部材270を挿入して固定できるように挿入部材270の長さと同一に形成することができる。
【0024】
トレイ200は、図1に示すように、パネルを保管するための「W」形状の胴体部201が形成され、トレイの両側に側壁部110と締結される結合構造をさらに形成することができる。
【0025】
具体的には、図4に示すように、トレイ200は、側壁部110と密着するように備えられる側面部230と、側面部230と垂直に備えられ、パネルを安着できる空間が設けられる底部210と、側面部230及び底部210の角に形成するが、内側に形成され、トレイ200を長時間ボディ100に設置しても撓み変形を防止する補強部材250と、側面部230及び底部210の角に形成するが、外側に形成され、側壁部110に挿入されて設けられる挿入部材270と、を含むことができる。
【0026】
側面部230は、支持部材130と密着するように形成され、側面部230は、外側に形成される挿入部材270と垂直になるように備えることができる。
【0027】
底部210は、パネルを安着できる空間が設けられ、一定の間隔ごとに突起211を形成することにより滑りを防止することができる。
【0028】
補強部材250は、側面部230及び底部210の間に形成するが、内側の角に形成され、図5に示すように、突出部157がトレイを支持する構造からなるが、トレイ200を長時間パネルを保管することによってトレイが撓む可能性があるので、上記したトレイ200の撓み変形を防止するために補強部材250を別途に備えることができる。
【0029】
ここで、補強部材250は、トレイ200の材質と異なるように形成することも可能であるが、これは選択事項である。
【0030】
挿入部材270は、側面部230及び底部210の間に形成するが、外側の角に形成され、前記補強部材250と錯角に対応する位置に形成され、挿入空間150に挿入してトレイ200がボディ100に設置されるように形成することができる。
【0031】
また、トレイ200は、ボディ100に堅固に結束するために結束部材290をさらに構成することができる。
【0032】
図5図7に示すように、結束部材290は、側壁部110の内側に形成するが、開口部と密接に設けられ、トレイ200と一体化し、内部に締結溝291を形成することができる。
【0033】
このような結束部材290は、締結溝291の内部にねじ山が形成され、ネジ300がボディ100の外部から内部に挿入されて締結されるように構成することができる。
【0034】
ここで、ネジ300が結束部材290の締結溝291に締結されるように、締結溝291と同一線上に位置する側壁部110に貫通孔151を通孔することができる。
【0035】
また、貫通孔151を基準に両側に密着部153がさらに備えられ、上記した密着部153を結束部材290の一面と密着するように構成することができる。
【0036】
また、結束部材290の下部に形成するが、下部を向くように突出するように形成され、側壁部110と密着するように形成される安着部295をさらに含むことができる。
【0037】
安着部295は、挿入空間150の下部内側の角地点に備えられ、結束部材290及び側壁部110の間に所定の隙間を形成することができる。
【0038】
すなわち、本発明の一実施形態によると、ボディ100の内部の両側にトレイ200を設置することができる構造で構成され、トレイ200がボディ100の内部に設置されるとき、長時間設置しても、前記トレイ200の撓み変形を防止することができる効果がある。
【産業上の利用可能性】
【0039】
パネル収納容器に1つ以上のトレイが設置される構造からなり、トレイにパネルを容易に保管することができ、長期間保管しても異物または汚れが流れ込むことを防止してパネルの不良の発生を防止することができるパネル収納容器を提供する。
【符号の説明】
【0040】
100 ボディ
110 側壁部
130 支持部材
150 挿入空間
151 貫通孔
153 密着部
157 突起部
200 トレイ
201 胴体部
210 底部
230 側面部
250 補強部材
270 挿入部材
290 結束部材
291 締結溝
293 ねじ山
295 安着部
300 ねじ
図1
図2
図3
図4
図5
図6
図7