特許 7346358 部品実装方法及び部品実装装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-08

(45)【発行日】2023-09-19

(54)【発明の名称】部品実装方法及び部品実装装置

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230911BHJP

   H05K 13/08 20060101ALI20230911BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 M

H05K13/08 Q

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2020099649

(22)【出願日】2020-06-08

(65)【公開番号】P2021193717

(43)【公開日】2021-12-23

【審査請求日】2022-11-11

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100115381

【弁理士】

【氏名又は名称】小谷 昌崇

(74)【代理人】

【識別番号】100176304

【弁理士】

【氏名又は名称】福成 勉

(72)【発明者】

【氏名】杉山 昂太郎

【審査官】福島 和幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－１６８６１９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１９５２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－４０９６６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－５８６０４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００－１３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

部品実装用のヘッド及び第１、第２撮像部を有しかつ基台に対して移動可能に設けられたヘッドユニットを備え、当該ヘッドユニットにより、所定の作業位置に配置された基板に部品を実装する部品実装装置における部品実装方法であって、
部品の実装動作の開始前に、前記基台に備えられた複数のマークのうち、第１撮像部に割り当てられた第１マークを当該第１撮像部により撮像するとともに、第２撮像部に割り当てられた第２マークを当該第２撮像部により撮像し、それらの画像データから第１、第２マークの位置情報の初期値である初期情報を取得する初期情報取得工程と、
前記初期情報取得工程後に所定のタイミングで繰り返し実行される工程であって、第１、第２マークの位置情報を再取得する位置情報再取得工程と、
前記初期情報取得工程で取得された第１、第２マークの前記初期情報と前記位置情報再取得工程で取得された第１、第２マークの位置情報とに基づき、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形による当該ヘッドユニットの移動誤差を補正するための補正情報を求める補正情報算出工程と、
部品の実装動作における前記ヘッドユニットの移動目標位置を前記補正情報に基づき補正する位置補正工程と、
前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達しているか否かを判定する判定工程と、を含み、
前記位置情報再取得工程において、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達していない場合には、第１、第２撮像部によりそれぞれ割り当てられたマークを撮像して第１、第２マーク全ての位置情報を再取得する一方、駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられたマークを撮像して当該マークの位置情報のみを再取得し、
前記補正情報算出工程では、前記位置情報再取得工程で取得された第１、第２マークの位置情報として、それぞれ、最も直近の位置情報再取得工程で取得された最新の位置情報に基づいて前記補正情報を求める、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項2】

請求項１に記載の部品実装方法において、
前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、前記位置情報再取得工程として、前記第１撮像部により第１マークを撮像して当該第１マークの位置情報を再取得する第１の位置情報再取得工程と、前記第２撮像部により第２マークを撮像して当該第２マークの位置情報を再取得する第２の位置情報再取得工程とを、前記所定のタイミングが到来する毎に交互に実行する、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項3】

請求項１又は２に記載の部品実装方法において、
前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合であってかつ前記位置情報再取得工程において第１撮像部により第１マークが撮像されて当該第１マークの位置情報のみが取得された場合には、前記補正情報算出工程において、第１マークの前回の位置情報に対する当該最新の位置情報の変化量を求めるとともに、当該変化量に基づき第２マークの最新の位置情報を補正し、第１マークの最新の位置情報と第２マークの補正後の最新の位置情報とに基づき前記補正情報を算出し、
前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合であってかつ前記位置情報再取得工程において第２撮像部により第２マークが撮像されて当該第２マークの位置情報のみが取得された場合には、前記補正情報算出工程において、第２マークの前回の位置情報に対する当該最新の位置情報の変化量を求めるとともに、当該変化量に基づき第１マークの最新の位置情報を補正し、第２マークの最新の位置情報と第１マークの補正後の最新の位置情報とに基づき前記補正情報を算出する、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項4】

請求項３に記載の部品実装方法において、
前記第１マークと前記第２マークとは共通のマークである、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項5】

請求項１乃至４の何れか一項に記載の部品実装方法において、
前記位置情報再取得工程が実行された後、次回の位置情報再取得工程を実行するタイミングが到来する前に実装動作の中断期間が発生した場合には、当該中断期間に、第１、第２マークの位置情報のうち次回の前記位置情報再取得工程で再取得すべき位置情報の一部又は全部を先行して取得する先行処理を実行する、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項6】

請求項５に記載の部品実装方法において、
前記位置情報再取得工程が実行された後、予め設定された禁止期間が経過している場合にのみ、前記先行処理を実行する、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項7】

請求項１乃至６の何れか一項に記載の部品実装方法において、
前記第１撮像部に複数の前記第１マークが割り当てられるとともに、前記第２撮像部に複数の前記第１マークが割り当てられている場合であって、
前記位置情報再取得工程において、駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、前記第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられた複数のマークのうち何れか１つのマークを撮像して当該マークの位置情報のみを再取得する、ことを特徴とする部品実装方法。

【請求項8】

部品実装用のヘッド及び第１、第２撮像部を有しかつ基台に対して移動可能に設けられたヘッドユニットを備え、当該ヘッドユニットにより、所定の作業位置に配置された基板に部品を実装する部品実装装置であって、
基台上に備えられた複数のマークと、
前記ヘッドユニットの動作を制御する制御部と、
前記ヘッドユニットの駆動機構の熱変形が飽和状態に達しているか否かを判定する判定部と、
前記ヘッドユニットの移動目標位置を補正する補正部と、を含み、
前記制御部は、部品の実装動作の開始前に、前記複数のマークのうち、第１撮像部に割り当てられた第１マークを当該第１撮像部により撮像するとともに、第２撮像部に割り当てられた第２マークを当該第２撮像部により撮像し、それらの画像データから前記複数のマークの位置情報の初期値である初期情報を取得する初期情報取得動作と、この初期情報取得動作の後に所定のタイミングで繰り返し実行される動作であって、第１、第２マークの位置情報を再取得する位置情報再取得動作と、を実行し、
前記補正部は、第１、第２マークの前記初期情報と前記位置情報再取得動作で取得された第１、第２マークの位置情報とに基づき、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形による当該ヘッドユニットの移動誤差を補正するための補正情報を算出するとともに、前記ヘッドユニットの移動目標位置を前記補正情報に基づき補正し、
前記制御部は、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達していない場合には、前記位置情報再取得動作として、第１、第２撮像部によりそれぞれ割り当てられたマークを撮像して第１、第２マーク全ての位置情報を再取得する一方、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられたマークのみを撮像して当該マークの位置情報を再取得し、
前記補正部は、前記位置情報再取得動作で取得された第１、第２マークの位置情報として、それぞれ、最も直近の位置情報再取得動作により取得された最新の位置情報に基づいて前記補正情報を算出する、ことを特徴とする部品実装装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ヘッドユニットによりプリント配線板等の基板上に電子部品等の部品を実装（搭載）することにより部品実装基板を製造する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

直交ロボット（ＸＹロボット）等の駆動機構によりヘッドユニットを移動させてプリント配線板等の基板上に部品を実装する部品実装装置が存在する。この部品実装装置では、摩擦熱により駆動機構に熱変形（熱膨張）が生じ、この熱変形に起因してヘッドユニットの移動量に誤差が生じることが知られている。

【0003】

ヘッドユニットの移動誤差は、基板上に実装される部品（実装部品）の位置ずれを招く要因の一つとなる。そのため、従来の部品実装装置では、ヘッドユニットに搭載されたカメラで定期的に基台上に備えられたマークが撮像され、その画像データにおけるマークの位置の変化に基づき、移動時のヘッドユニットの目標位置（座標）が補正される。つまり、熱変形による移動量の誤差分だけ、ヘッドユニットの目標位置が補正されることにより、実装部品の位置ずれが抑制されるのである。この場合、２つ一組のマーク（マーク対）を装置本体上の複数箇所に設けておき、ヘッドユニットに搭載された２つのカメラで、各箇所のマーク対（２つのマーク）を同時に撮像し、各箇所で各々得られたマーク対の位置に基づき補正データを算出して、ヘッドユニットの位置を補正するような部品実装装置も開発されている（例えば、特許文献１）。このような部品実装装置によると、実装部品の位置ずれをより高度に抑制することが可能となる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－１６８６１９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

駆動機構の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを抑制する観点からは、特許文献１のように、ヘッドユニットに搭載された２つのカメラで２つのマークを同時に撮像するのが望ましい。しかし、実際には、基台上に配置される各種機器による制約を受け、２つのカメラで同時に撮像可能な位置にマーク対を配置できない場合が多い。

【0006】

このような場合には、２つのマークのうち一方側のマークを、２つのカメラらのうちの一方側のカメラでまず撮像し、その後、ヘッドユニットを移動させて、他方側のカメラで他方側のマークを撮像する。そして、このような撮像動作を、基台の複数箇所に設けられたマーク対に対して行うことが必要となる。従って、実装部品の位置ずれを抑制する上では有利となるものの、マークの撮像に時間を要することとなり、タクトタイムの短縮化が犠牲になる場合がある。

【0007】

なお、ヘッドユニットに搭載された２つのカメラで互いに異なるマークを各々撮像する代わりに、基台上に配置された共通の複数のマークを２つのカメラで順番に撮像するものもある。このような装置も２つのカメラでマークを各々撮像して前記補正データを求めるため、実装部品の位置ずれを抑制する上で好適であるが、タクトタイムの短縮化を図る上では、先に説明した部品実装装置と同様に改善の余地がある。

【0008】

本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを高度に抑制しつつ、タクトタイムの短縮化にも寄与し得る技術を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0009】

ヘッドユニットの駆動機構の熱変形は無限に生じるわけではなく、実装動作が継続的に実行されていると、ある程度の変形量に収束する。つまり、当該熱変形は、部品実装装置の起動後からある程度の期間は顕著に増加するが、その期間が経過すると飽和した状態となる。本願の発明者は、このような現象に着目し、上記課題を解決するために鋭意検討を重ねた結果、次のような部品実装方法を発明するに至った。

【0010】

すなわち、本発明の一の局面に係る部品実装方法は、部品実装用のヘッド及び第１、第２撮像部を有しかつ基台に対して移動可能に設けられたヘッドユニットを備え、当該ヘッドユニットにより、所定の作業位置に配置された基板に部品を実装する部品実装装置における部品実装方法であって、部品の実装動作の開始前に、前記基台に備えられた複数のマークのうち、第１撮像部に割り当てられた第１マークを当該第１撮像部により撮像するとともに、第２撮像部に割り当てられた第２マークを当該第２撮像部により撮像し、それらの画像データから第１、第２マークの位置情報の初期値である初期情報を取得する初期情報取得工程と、前記初期情報取得工程後に所定のタイミングで繰り返し実行される工程であって、第１、第２マークの位置情報を再取得する位置情報再取得工程と、前記初期情報取得工程で取得された第１、第２マークの前記初期情報と前記位置情報再取得工程で取得された第１、第２マークの位置情報とに基づき、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形による当該ヘッドユニットの移動誤差を補正するための補正情報を求める補正情報算出工程と、部品の実装動作における前記ヘッドユニットの移動目標位置を前記補正情報に基づき補正する位置補正工程と、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達しているか否かを判定する判定工程と、を含み、前記位置情報再取得工程において、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達していない場合には、第１、第２撮像部によりそれぞれ割り当てられたマークを撮像して第１、第２マーク全ての位置情報を再取得する一方、駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられたマークを撮像して当該マークの位置情報のみを再取得し、前記補正情報算出工程では、前記位置情報再取得工程で取得された第１、第２マークの位置情報として、それぞれ、最も直近の位置情報再取得工程で取得された最新の位置情報に基づいて前記補正情報を求めるようにしたものである。

【0011】

この部品実装方法では、部品の実装動作が開始される前のマークの位置情報（初期情報）と、位置情報再取得工程で取得されたマークの位置情報とに基づき補正情報を求める。この場合、ヘッドユニットに搭載される２つの撮像部（第１、第２撮像部）により各々マークを撮像し、それらの画像データに基づき補正情報を求めるので、より信頼性の高い補正情報を得ることができ、よって、実装部品の位置ずれを高度に抑制することが可能になる。しかも、駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられたマークを撮像して当該マークの位置情報のみを再取得するので、常に２つの撮像部で全てのマーク（第１、第２マーク）を撮像して全てのマーク位置情報を再取得する場合に比べると、ヘッドユニットの移動量を短縮すること、ひいてはマークの位置情報を再取得する際の時間を短縮することが可能となる。なお、この場合、他方側の撮像部に割り当てられたマークについては撮像が行われないため、補正情報算出工程では、当該マークの位置情報として、既に取得済みの最新の位置情報を用いて補正情報が求められることとなるが、駆動機構の熱変形が飽和状態に達しているため、マークの位置情報に大きな変化はなく、求められる補正情報への影響は殆どない。従って、上記の部品実装方法によれば、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを抑制しながら、タクトタイムの短縮化にも寄与するものとなる。

【0012】

この方法において、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、前記位置情報再取得工程として、前記第１撮像部により第１マークを撮像して当該第１マークの位置情報を再取得する第１の位置情報再取得工程と、前記第２撮像部により第２マークを撮像して当該第２マークの位置情報を再取得する第２の位置情報再取得工程とを、前記所定のタイミングが到来する毎に交互に実行するのが好適である。

【0013】

例えば、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、常に、第１撮像部により第１マークを撮像するか、又は第２撮像部により第２マークを撮像するようにしてもよいが、この場合には、再取得されない方のマークの位置情報の信頼性が経時的に低下する虞がある。すなわち、取得済みの最新の位置情報に対して実際の位置情報（実際に撮像したとした場合の位置情報）が乖離している場合が生じ得える。この場合には、位置情報再取得工程で求められる補正情報の信頼が低下する。この点、上記のような部品実装方法によれば、第１の位置情報再取得工程と第２の位置情報取得工程とを交互に実行するので、位置情報再取得工程で求められる補正情報の信頼性をより高度に保つことが可能となる。

【0014】

上記各態様の部品実装方法において、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合であってかつ前記位置情報再取得工程において第１撮像部により第１マークが撮像されて当該第１マークの位置情報のみが取得された場合には、前記補正情報算出工程において、第１マークの前回の位置情報に対する当該最新の位置情報の変化量を求めるとともに、当該変化量に基づき第２マークの最新の位置情報を補正し、第１マークの最新の位置情報と第２マークの補正後の最新の位置情報とに基づき前記補正情報を算出し、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合であってかつ前記位置情報再取得工程において第２撮像部により第２マークが撮像されて当該第２マークの位置情報のみが取得された場合には、前記補正情報算出工程において、第２マークの前回の位置情報に対する当該最新の位置情報の変化量を求めるとともに、当該変化量に基づき第１マークの最新の位置情報を補正し、第２マークの最新の位置情報と第１マークの補正後の最新の位置情報とに基づき前記補正情報を算出するようにするのが好適である。

【0015】

この方法では、要するに、第１、第２マークのうち、位置情報再取得工程において実際に撮像されたマークの位置情報の変化量に準じて、撮像されなかった方のマークの取得済みの最新の位置情報が補正される。そのため、撮像されなかった方のマークの位置情報として、取得済みの最新の位置情報をそっくりそのまま用いて補正情報を求める場合に比べて、当該補正情報の信頼性が向上する。

【0016】

この場合には、前記第１マークと前記第２マークとが共通のマークであるのが好適である。この方法によれば、第１、第２撮像部による撮像対象が同一となるので、上記のように、撮像されなかった方のマークの最新の位置情報を、撮像された第１マークの前記変化量に基づき補正した場合の当該位置情報の信頼性が高いものとなる。

【0017】

なお、上記各態様の部品実装方法において、前記位置情報再取得工程が実行された後、次回の位置情報再取得工程を実行するタイミングが到来する前に実装動作の中断期間が発生した場合には、当該中断期間に、第１、第２マークの位置情報のうち次回の前記位置情報再取得工程で再取得すべき位置情報の一部又は全部を先行して取得する先行処理を実行するようにしてもよい。

【0018】

この方法によれば、次回の位置情報再取得工程に要する時間を合理的に短縮又は省略することが可能となる。そのため、タクトタイムの短縮化に寄与するものとなる。

【0019】

なお、この場合、位置情報再取得工程が実行された後、短期間のうちに先行処理が実行されると、先行処理で取得されるマークの位置情報とその直前に取得されたマークの位置情報とが同一となるなど、先行処理の有用性が損なわれることが考えられる。

【0020】

そのため、上記部品実装方法においては、前記位置情報再取得工程が実行された後、予め設定された禁止期間が経過している場合にのみ、前記先行処理を実行するようにするのが好適である。

【0021】

上記各態様の部品実装方法において、前記第１撮像部に複数の前記第１マークが割り当てられるとともに、前記第２撮像部に複数の前記第１マークが割り当てられられている場合であって、前記位置情報再取得工程において、駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、前記第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられた複数のマークのうち何れか１つのマークを撮像して当該マークの位置情報のみを再取得するようにしてもよい。

【0022】

この方法によれば、位置情報再取得工程に要する時間を可及的に短くすることが可能となる。 一方、本発明の一の局面に係る部品実装装置は、部品実装用のヘッド及び第１、第２撮像部を有しかつ基台に対して移動可能に設けられたヘッドユニットを備え、当該ヘッドユニットにより、所定の作業位置に配置された基板に部品を実装する部品実装装置であって、基台上に備えられた複数のマークと、前記ヘッドユニットの動作を制御する制御部と、前記ヘッドユニットの駆動機構の熱変形が飽和状態に達しているか否かを判定する判定部と、前記ヘッドユニットの移動目標位置を補正する補正部と、を含み、前記制御部は、部品の実装動作の開始前に、前記複数のマークのうち、第１撮像部に割り当てられた第１マークを当該第１撮像部により撮像するとともに、第２撮像部に割り当てられた第２マークを当該第２撮像部により撮像し、それらの画像データから前記複数のマークの位置情報の初期値である初期情報を取得する初期情報取得動作と、この初期情報取得動作の後に所定のタイミングで繰り返し実行される動作であって、第１、第２マークの位置情報を再取得する位置情報再取得動作と、を実行し、前記補正部は、第１、第２マークの前記初期情報と前記位置情報再取得動作で取得された第１、第２マークの位置情報とに基づき、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形による当該ヘッドユニットの移動誤差を補正するための補正情報を算出するとともに、前記ヘッドユニットの移動目標位置を前記補正情報に基づき補正し、前記制御部は、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達していない場合には、前記位置情報再取得動作として、第１、第２撮像部によりそれぞれ割り当てられたマークを撮像して第１、第２マーク全ての位置情報を再取得する一方、前記駆動機構の熱変形が飽和状態に達している場合には、第１、第２撮像部のうち何れか一方側の撮像部で当該一方側の撮像部に割り当てられたマークのみを撮像して当該マークの位置情報を再取得し、前記補正部は、前記位置情報再取得動作で取得された第１、第２マークの位置情報として、それぞれ、最も直近の位置情報再取得動作により取得された最新の位置情報に基づいて前記補正情報を算出するものである。

【0023】

この部品実装装置によると、基板上に部品が実装された部品実装基板を上述した部品実装方法に基づき好適に生産することが可能となる。

【発明の効果】

【0024】

以上説明したように、本発明の部品実装方法および部品実装装置によれば、ヘッドユニットの駆動機構の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを抑制しながら、タクトタイムの短縮化にも寄与することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0025】

【図1】本発明の第１実施形態に係る部品実装装置の平面図である。

【図2】上記部品実装装置の制御系を示すブロック図である。

【図3】補正データ取得処理の制御を示すフローチャートである。

【図4】（ａ）～（ｃ）は、再取得データの一例を示す表図である。

【図5】（ａ）、（ｂ）は、ヘッドユニットの移動経路の一例を示す部品実装装置の平面図である。

【図6】本発明の第２実施形態に係る部品実装装置の平面図である。

【図7】（ａ）～（ｃ）は、再取得データの一例を示す表図である。

【図8】（ａ）、（ｂ）は、再取得データの一例を示す表図である。

【図9】（ａ）、（ｂ）は、位置データ再取得処理の制御を示すタイミングチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0026】

以下、添付図面を参照しながら本発明の第１実施形態について詳述する。

【0027】

［部品実装装置の全体構成］
図１は、本発明に係る部品実装装置１（本発明に係る部品実装方法が使用される部品実装装置）の平面図である。部品実装装置１は、プリント配線板等の基板Ｐに電子部品等の部品を実装することにより、部品実装基板を生産する設備である。なお、図１中には、方向関係の明確化のためにＸＹＺ直角座標軸を示している。Ｘ方向は水平面と平行な方向であり、Ｙ方向は水平面上でＸ方向と直交する方向であり、Ｚ方向はＸ方向及びＹ方向にそれぞれ直交する方向（上下方向）である。

【0028】

部品実装装置１は、基台２と、基板Ｐを搬送する基板搬送部３と、部品供給部５と、基台２に沿ってその上方を移動するヘッドユニット６と、部品認識カメラ７とを備えている。

【0029】

基板搬送部３は、基板ＰをＸ方向に搬送する一対のコンベア４を備えている。コンベア４は、ベルトコンベアである。基板搬送部３は、図１の右側（Ｘ１側）から基板Ｐを受け入れて作業位置（同図に示す基板Ｐの位置）に搬送し、実装作業終了後、基板Ｐを作業位置から同図の左側（Ｘ２側）に搬出する。図示を省略しているが、作業位置には、基板Ｐを位置決めした状態で支持する支持機構が備えられている。

【0030】

部品供給部５は、Ｙ方向における基板搬送部３の両側（Ｙ１側及びＹ２側）に各々配置されている。部品供給部５には、部品供給用のフィーダが配置されている。当例では、フィーダとして、複数のテープフィーダ５ａがコンベア４に沿って並列に配置されている。テープフィーダ５ａは、リボン状のテープをキャリアとして、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサ等の小片状の部品（電子部品）を供給するものである。なお、部品供給部５には、部品の種類に応じて、テープフィーダ５ａ以外のフィーダ、例えば、筒型スティックの内部を通じて部品を供給するスティックフィーダや、トレイ上に部品を載置した状態で供給するトレイフィーダ等も配置され得る。

【0031】

ヘッドユニット６は、部品供給部５から部品を取り出して基板Ｐに実装（搭載）するものである。ヘッドユニット６は、ヘッドユニット駆動機構８（本発明の「駆動機構」に相当する）により、Ｘ方向及びＹ方向に移動可能に設けられている。ヘッドユニット駆動機構８は、いわゆるＸ－Ｙロボットである。具体的には、ヘッドユニット駆動機構８は、基台２に設置された高架フレームに各々固定されたＹ方向に延在する一対の固定レール１０と、これら固定レール１０に移動自在に支持されたＸ方向に延在するビーム１１（ユニット支持部材）と、このビーム１１に螺合挿入されてＹ軸サーボモータ１３により駆動されるボールねじ軸１２とを含む。また、ヘッドユニット駆動機構８は、ビーム１１に固定されて、ヘッドユニット６をＸ方向に移動自在に支持する固定レール１４と、ヘッドユニット６に螺合挿入されてＸ軸サーボモータ１６により駆動されるボールねじ軸１５とを含む。つまり、ヘッドユニット駆動機構８は、Ｘ軸サーボモータ１６の駆動によりボールねじ軸１５を介してヘッドユニット６をＸ方向に移動させ、また、Ｙ軸サーボモータ１３の駆動によりボールねじ軸１２を介してビーム１１をＹ方向に移動させる。この構成により、ヘッドユニット駆動機構８は、基台２の上方の一定範囲内で、ヘッドユニット６をＸ方向及びＹ方向に移動させる。

【0032】

ヘッドユニット６は、Ｚ方向（上下方向）に延びる複数の軸状のヘッド２０と、これらヘッド２０を駆動するヘッド駆動機構とを備えている。当例では、ヘッドユニット６は、Ｘ方向に一定間隔で一列に配列された合計５本のヘッド２０を備えている。

【0033】

ヘッド駆動機構は、各ヘッド２０を個別に昇降（Ｚ方向に移動）させる昇降駆動機構と、各ヘッド２０をヘッド中心軸回り（Ｒ方向）に回転させる回転駆動機構とを含む。昇降駆動機構は、各ヘッド２０に各々対応する複数のＺ軸サーボモータ２４（図２参照）を有し、一つのＺ軸サーボモータ２４により一つのヘッド２０を駆動する。回転駆動機構は、各ヘッド２０に共通する一つのＲ軸サーボモータ２５（図２参照）を有し、このＲ軸サーボモータ２５により各ヘッド２０を同期させて一体に駆動する。なお、各サーボモータ１３、１６、２４、２５にはエンコーダが内蔵されており、各エンコーダからの位置情報が後記制御装置３０に出力される。

【0034】

各ヘッド２０の先端には、部品吸着用のノズルが備えられている。各ノズルは、切替弁を介して負圧発生装置に連通している。当該負圧発生装置から各ノズルに供給される負圧により、ノズル先端に部品が吸着されて保持される。

【0035】

ヘッドユニット６には、さらに第１、第２の２つのヘッドカメラ２２ａ、２２ｂが備えられている。各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂは、ＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等からなる同一のカメラである。各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂは、Ｘ方向に延在する（ボールねじ軸１５と平行に延在する）共通の軸線上に各々視野中心（カメラ中心）が位置し、かつＸ方向に互いに離間するように配置されている。当例では、ヘッドユニット６のうち、Ｘ２側の端部に第１ヘッドカメラ２２ａ（本発明の「第１撮像部」に相当する）が、Ｘ１側の端部に第２ヘッドカメラ２２ｂ（本発明の「第２撮像部」に相当する）が各々配置されている。

【0036】

各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂは、基板Ｐや基台２に設けられる基準マーク（以下、単にマークと言う）を撮像してその画像データを後記制御装置３０に出力するものであり、制御装置３０は、この画像データに基づきマークの位置を認識する。

【0037】

基板Ｐに設けられるマーク（基板フィデューシャルマーク）は、作業位置に配置された基板Ｐとヘッドユニット６との相対的な位置関係を把握するために、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより撮像されるマークである。図示を省略しているが、当該マークは、例えば基板Ｐの上面の角部などに備えられている。

【0038】

一方、基台２に設けられるマーク（基台フィデューシャルマーク）は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形、例えばボールねじ軸１２、１５の熱延び（熱膨張）により生じるヘッドユニット６の移動誤差を検出するために、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより撮像されるマークである。当例では、互いに近設された主副２つのマークを一組とする３組のマーク対が、基台上の３箇所に設けられている。具体的には、第１主マーク２６ａ及び第１副マーク２６ｂを一組とする第１マーク対２６と、第２主マーク２７ａ及び第２副マーク２７ｂを一組とする第２マーク対２７と、第３主マーク２８ａ及び第３副マーク２８ｂを一組とする第３マーク対２８とが設けられている。主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａは、第１ヘッドカメラ２２ａにより撮像されるマークであり、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂは、第２ヘッドカメラ２２ｂにより撮像されるマークである。つまり、基台２に設けられた複数のマーク２６ａ、２６ｂ、２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂのうち、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａは、第１ヘッドカメラ２２ａに割り当てられたマーク（本発明の「第１マーク」）であり、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂは、第２ヘッドカメラ２２ｂに割り当てられたマーク（本発明の「第２マーク」）であると言うことができる。

【0039】

第１マーク対２６は、基板搬送部３とＹ２側の部品供給部５との間に配置されている。第１主マーク２６ａ及び第１副マーク２６ｂは、後記部品認識カメラ７のＸ方向両側に互いに離間して配置されている。具体的に、部品認識カメラ７のＸ２側に第１主マーク２６ａが、Ｘ１側に第１副マーク２６ｂが各々配置されている。

【0040】

第２マーク対２７は、基板搬送部３とＹ１側の部品供給部５との間の位置であってかつ後記部品認識カメラ７のＸ１側の位置に配置されている。第２主マーク２７ａ及び第２副マーク２７ｂは、Ｘ方向に互いに離間した位置に、第２主マーク２７ａがＸ２側に位置するように配置されている。

【0041】

第３マーク対２８は、基板搬送部３とＹ１側の部品供給部５との間の位置であって、後記部品認識カメラ７のＸ２側の位置に配置されている。第３主マーク２８ａ及び第３副マーク２８ｂは、Ｘ方向に互いに離間した位置に、第３主マーク２８ａがＸ２側に位置するように配置されている。

【0042】

なお、第１マーク対２６の各マーク２６ａ、２６ｂは、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより同時に撮像できるように、当該ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂに各々対応する配置で基台２に設けられているのが理想的である。しかし、当例では、基台２に配置される図外の機器の配置が優先される結果、当該機器を避けた余剰スペースに各マーク２６ａ、２６ｂが配置されている。その結果、各マーク２６ａ、２６ｂは、互いに各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂによる同時撮像が不可能な位置に配置されている。第２マーク対２７の各マーク２７ａ、２７ｂ、及び第３マーク対２８の各マーク２８ａ、２８ｂも同様である。

【0043】

基台２には、さらに２つの部品認識カメラ７が配置されている。部品認識カメラ７は、各ヘッド２０により部品供給部５から取り出された部品の吸着状態を認識するために、当該部品を撮像するものである。部品認識カメラ７は、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂと同様にＣＣＤカメラやＣＭＯＳカメラ等からなり、基板搬送部３と各部品供給部５との間の位置であって、Ｘ方向における部品供給部５の中央部に、各々上向きに配置されている。

【0044】

なお、以下の説明では、「第１～第３の主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ」を単に主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ」と称し、「第１～第３の副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂ」を単に「副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂ」と称し、「第１～第３の主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ及び第１～第３の副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８び」を単に「マーク２６ａ～２８ｂ」と称する場合ある。

【0045】

［部品実装装置の制御系］
図２は、部品実装装置１の制御装置３０を示している。制御装置３０は、主な構成要素として、主制御部３１、記憶部３２、駆動制御部３３、画像処理部３４及び入出力制御部３５を含む。

【0046】

主制御部３１は、部品実装装置１を統括的に制御するものであり、ＣＰＵやＲＡＭなどからなるコンピュータで構成される。主制御部３１は、記憶部３２に記憶されているプログラム及び各種データに基づき、部品実装装置１の各部の動作を制御する。具体的には、基板搬送部３による基板Ｐの搬送、テープフィーダ５ａによる部品の供給、及びヘッドユニット６による部品実装などの各種動作を制御する。これにより、基板Ｐに部品が実装された部品実装基板が生産される。

【0047】

また、主制御部３１は、記憶部３２に記憶されているプログラムに基づき、所定のタイミングで、ヘッドユニット６の位置補正用のデータ（以下、補正データＤＣと称す／本発明の「補正情報」に相当する）を求めるべく、部品実装装置１の各部の動作を制御するとともに各種演算処理を実行する。補正データＤＣは、上述したヘッドユニット駆動機構８の熱変形により生じるヘッドユニット６の移動誤差を補正するためのデータである。後述する通り、主制御部３１は、所定のタイミングで、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂに、基台２に配置された前記マーク２６ａ～２８ｂ（主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ及び副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂ）の全部又は一部を撮像させ、その画像データから得られる各マークの位置情報に基づいて補正データＤＣを求める処理（位置補正用データ取得処理と称す）を実行する。部品の実装動作時には、この補正データＤＣに基づいて主制御部３１がヘッドユニット６の移動目標位置を補正することにより、ヘッドユニット６に移動誤差が生じることが抑制される。なお、当例では、主制御部３１が、本発明の「制御部」、「判定部」及び「補正部」に相当する。

【0048】

記憶部３２は、部品実装基板の生産プログラムなどの各種プログラムが記憶されるプログラム記憶部３２ａと、部品実装基板の生産に必要な各種データが記憶されるデータ記憶部３２ｂとを含む。データ記憶部３２ｂには、例えば部品の品種、形状及びサイズや、前記ノズルの形状及びサイズなどのデータが記憶される。また、データ記憶部３２ｂには、位置補正用データ取得処理で求められる補正データＤＣや、当該処理において取得される各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報が蓄積的に記憶される。

【0049】

駆動制御部３３は、Ｘ、Ｙ、Ｚ、Ｒ軸の各サーボモータ１３，１６、２４、２５の駆動を制御するドライバであり、各サーボモータ１３，１６、２４、２５のエンコーダから送信される位置情報と主制御部３１から送信される制御情報とに基づき各サーボモータ１３，１６、２４、２５の駆動を制御する。これにより、ヘッドユニット６がＸ方向及びＹ方向に移動するとともに、ヘッド２０が昇降及び回転（Ｒ方向に移動）する。

【0050】

画像処理部３４は、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂ及び各部品認識カメラ７から送信される画像データを取込んで、当該画像データに所定の画像処理を施すものである。主制御部３１は、画像処理が施された画像データに基づき、ヘッド２０（ノズル）に吸着された部品や前記マーク２６ａ～２８ｂなどを認識し、それらの位置情報を取得する。

【0051】

入出力制御部３５は、制御装置３０と外部機器との通信を制御するインターフェースである。当例では、液晶ディスプレイ等からなる表示部３６と、制御装置３０に対する各種情報の入力を受け付ける、キーボード等からなる操作部３７とがこの入出力制御部３５を介して制御装置３０に接続されている。

【0052】

［位置補正用データ取得処理］
部品実装装置１では、ヘッドユニット６が部品供給部５と作業位置に位置決めされた基板Ｐとの間を往復移動しながら当該基板Ｐに部品を実装する。この部品の実装動作が継続的に実行されると、上記の通り、ヘッドユニット駆動機構８に熱変形が生じてヘッドユニット６に移動誤差が生じる。その結果、設計上の実装位置から実際の部品の実装位置がずれる現象（部品の位置ずれ）が生じる。そこで、この部品実装装置１では、所定のタイミングで以下のような位置補正用データ取得処理が実行され、当該処理により求められる補正データＤＣに基づき、部品実装動作時のヘッドユニット６の移動目標位置が補正される。

【0053】

図３は、位置補正用データ取得処理を示すフローチャートである。この処理は、部品実装装置１の起動と共にスタートする。位置補正用データ取得処理がスタートすると、主制御部３１は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達したか否かの判断指標となるカウンタ値ｎを「０」にリセットし（ステップＳ１）、その後、「初期データＤＩ（本発明の「初期情報」に相当する）」が取得済みか否かを判断する（ステップＳ３）。「初期データＤＩ」とは、後記ステップＳ５の処理で取得される第１～第３のマーク対２６～２８の各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報である。なお、「位置情報」とは、マークの位置を特定することが可能な情報であって、「座標」はその一例である。

【0054】

ステップＳ３でＮｏの場合には、主制御部３１は、初期データＤＩを取得する処理（初期データ取得処理という）を実行する（ステップＳ５）。すなわち、主制御部３１は、ヘッドユニット６を移動させて各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより各マーク２６ａ～２８ｂを撮像し、それらの画像データから各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報を取得する。この場合、主制御部３１は、例えば第１マーク対２６、第２マーク対２７、第３マーク対２８の順番で各マークを撮像する。この場合のヘッドユニット６の概略的な動きは、図５（ａ）に実線矢印で示すような動きとなる。

【0055】

主制御部３１は、取得した初期データＤＩを実装データ記憶部３２ｂに記憶し（ステップＳ７）、その後、ステップＳ９に処理を移行する。なお、ステップＳ５、Ｓ７の各処理は、部品実装装置１の起動後、少なくとも部品の実装動作が開始される前に実行される。また、ステップＳ３の処理でＹｅｓと判断した場合には、主制御部３１は、ステップＳ５、Ｓ７の処理をスキップしてステップＳ９に処理を移行する。

【0056】

ステップＳ９では、主制御部３１は、マーク２６ａ～２８ｂの位置情報を再度取得するタイミング（再取得タイミング）であるか否かを判断する。ここでＹｅｓの場合には、主制御部３１は、さらにカウンタ値ｎが予め設定された閾値Ｎ以上か否かを判断する（ステップＳ１１）。このステップＳ１１の判断は、後述する通り、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達しているか否かの判断である。ここでＮｏの場合には、主制御部３１は、ステップＳ５の処理と同様にして、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより全てのマーク２６ａ～２８ｂを撮像し、それらの画像データから各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報を再取得する（ステップＳ１３）。そして、再取得した各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報（再取得データＤＲという）をデータ記憶部３２ｂに蓄積的に記憶する（ステップＳ１７）。

【0057】

なお、当例では設定時間が経過する毎にステップＳ１３又は後述するステップＳ１５で、マークの位置情報を再取得する処理（位置データ再取得処理という）が実行される。従って、ステップＳ９の処理では、主制御部３１は、例えばタイマーによる計時時間が設定時間に達したか否かに基づき前記再取得タイミングか否かを判断する。

【0058】

主制御部３１は、次に、データ記憶部３２ｂに記憶されている初期データＤＩと最新の再取得データＤＲとに基づき、前記補正データＤＣを算出し、その結果をデータ記憶部３２ｂに更新的に記憶する（ステップＳ１９）。補正データＤＣは、ヘッドユニット６のＸ、Ｙ各方向についての補正値として算出される。補正データＤＣは、初期データＤＩの各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報と、再取得データＤＲの各々対応するマーク２６ａ～２８ｂの位置情報とのずれ量（偏差）に基づき求められるが、具体的な算出方法は周知であるため（例えば特開２０１８－３２６８１号公報）、ここでは、算出方法についての具体的な説明は省略する。なお、部品の実装動作時には、主制御部３１は、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の補正データＤＣに基づきヘッドユニット６の移動目標位置を補正し、当該補正後の移動目標位置に基づきヘッドユニット６の動作を制御する。

【0059】

次に、主制御部３１は、特定の一のマーク対（特定マーク対Ｍと称する）について、主マークのＸＹ各方向の前記ずれ量の変化量（ΔＸａ、ΔＹａ）が閾値（Ｘｔａ、Ｙｔａ）以下に収束し、かつ、副マークのＸＹ各方向の前記ずれ量の変化量（ΔＸｂ、ΔＹｂ）が閾値（Ｘｔｂ、Ｙｔｂ）以下に収束しているかを判断する（ステップＳ２１）。

【0060】

当例では、主制御部３１は、例えば第１マーク対２６を特定マーク対ＭとしてステップＳ２１の処理を実行する。

【0061】

詳しくは、主制御部３１は、最新の再取得データＤＲにおける第１主マーク２６ａのＸＹ各方向のずれ量（ΔＸｐａ、ΔＹｐａ）と、前回取得された再取得データＤＲにおける当該第１主マーク２６ａのＸＹ各方向のずれ量（ΔＸｃａ、ΔＹｃａ）とを算出し、これらの差、つまり、ずれ量の変化量（ΔＸｐａ－ΔＸｃａ、ΔＹｐａ－ΔＹｃａ）が閾値（Ｘｔａ、Ｙｔａ）以下であるか否かを判断する。

【0062】

また、主制御部３１は、最新の再取得データＤＲにおける第１副マーク２６ｂのＸＹ各方向のずれ量（ΔＸｐｂ、ΔＹｐｂ）と、前回取得された再取得データＤＲにおける当該第１副マーク２６ｂのＸＹ各方向のずれ量（ΔＸｃｂ、ΔＹｃｂ）とを算出し、これらの差、つまり、ずれ量の変化量（ΔＸｐｂ－ΔＸｃｂ、ΔＹｐｂ－ΔＹｃｂ）が閾値（Ｘｔｂ、Ｙｔｂ）以下であるか否かを判断する。

【0063】

そして、第１主マーク２６ａに関する前記変化量（ΔＸｐａ－ΔＸｃａ、ΔＹｐａ－ΔＹｃａ）が閾値（Ｘｔａ、Ｙｔａ）以下で、かつ、第１副マーク２６ｂに関する前記変化量（ΔＸｐｂ－ΔＸｃｂ、ΔＹｐｂ－ΔＹｃｂ）が閾値（Ｘｔｂ、Ｙｔｂ）以下である場合に、主制御部３１は、ステップＳ２１の処理においてＹｅｓと判断する。

【0064】

ステップＳ２１の処理でＹｅｓの場合には、主制御部３１は、カウンタ値ｎを「１」だけインクリメントした後、ステップＳ３に処理を移行し、他方、Ｎｏの場合には、ステップＳ２３の処理をスキップしてステップＳ１に処理を移行する。

【0065】

一方、前記ステップＳ１１の処理においてＹｅｓの場合、すなわち、カウンタ値ｎが予め設定された閾値Ｎ以上であると判断した場合には、主制御部３１は処理をステップＳ１５に移行する。ステップＳ１１の処理でＹｅｓの場合とは、要するに、ステップＳ２１の処理でＮ回以上連続してＹｅｓと判断した場合、つまり、特定マーク対Ｍの各マークの前記ずれ量に殆ど変化が見られない場合である。従って、この場合には、主制御部３１は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達していると判断して、処理をステップＳ１５に移行する。

【0066】

ステップＳ１５では、主制御部３１は、第１～第３のマーク対２６～２８のうち、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａのみ、又は副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂのみを撮像し、撮像したマークの位置情報を再取得する処理を実行する。すなわち、このステップＳ１５の処理も、位置データ再取得処理という点でステップＳ１３と共通する。しかし、ステップＳ１３では、全マーク２６ａ～２８ｂについて位置情報を再取得するのに対して、ステップＳ１５では、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａのみ、又は副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂのみの位置情報を再取得する。このように、当例では、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達する前後で位置データ再取得処理の内容が異なる。要するに、ステップＳ１３の処理は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達する前の位置データ再取得処理であり、ステップＳ１５の処理は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達した後の位置データ再取得処理である。

【0067】

なお、主制御部３１は、図３の制御がスタートした後、最初のステップＳ１５の処理では、第１ヘッドカメラ２２ａにより、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａを撮像し、それらの画像データから当該主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報を再取得する（本発明の「第１の位置情報再取得処理」に相当する）。そして、次回のステップＳ１５の処理では、第２ヘッドカメラ２２ｂにより、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂを撮像し、それらの画像データから当該副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報を再取得する（本発明の「第２の位置情報再取得処理」に相当する）。このように、主制御部３１は、ステップＳ１５の処理については、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報を再取得する処理と副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報を再取得する処理とを、位置データ再取得処理のタイミングが到来する毎に交互に実行する。

【0068】

なお、ステップＳ１５の処理の直後に実行されるステップＳ１７の処理については、主制御部３１は、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で再取得されたマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲを作成し、当該再取得データＤＲを記憶部３２に記憶する。

【0069】

この点について具体的に説明する。図４（ａ）は、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲの一例を示している。図示の例では、各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報を、初期データＤＩにおける各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報に対するずれ量（偏差）で示している。

【0070】

例えばステップＳ１５の処理において、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報を再取得した場合には、主制御部３１は、図４（ａ）に示す再取得データＤＲのうち、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報のみを書き換えた、図４（ｂ）に示すような再取得データＤＲを作成し（破線枠内参照）、当該再取得データＤＲをデータ記憶部３２ｂに記憶する。そして、次回のステップＳ１５の処理で副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報を再取得すると、主制御部３１は、図４（ｂ）に示す再取得データＤＲのうち、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報のみを書き換えた、図４（ｃ）に示すような再取得データＤＲを作成し（破線枠内参照）、当該再取得データＤＲをデータ記憶部３２ｂに記憶する。

【0071】

以降、ステップＳ１１でＹｅｓと判断し、ステップＳ１５の位置データ再取得処理を実行した場合には、主制御部３１は、ステップＳ１７において、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で再取得されたマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲを作成し、当該再取得データＤＲを記憶部３２に記憶する。従って、ステップＳ１９では、記憶部３２に記憶されている最新の再取得データＤＲに基づいて、主制御部３１が補正データＤＣを算出する。

【0072】

なお、ステップＳ１５で第１主マーク２６ａの位置情報が取得された場合には、主制御部３１は、当該第１主マーク２６ａに関する前記変化量（ΔＸｐａ－ΔＸｃａ、ΔＹｐａ－ΔＹｃａ）が閾値（Ｘｔａ、Ｙｔａ）以下であるか否かのみに基づきステップＳ２１の判断を行い、他方、ステップＳ１５で第１副マーク２６ｂの位置情報が取得された場合には、第１副マーク２６ｂに関する前記変化量（ΔＸｐｂ－ΔＸｃｂ、ΔＹｐｂ－ΔＹｃｂ）が閾値（Ｘｔｂ、Ｙｔｂ）以下であるか否かのみに基づきステップＳ２１の判断を行う。

【0073】

当例では、図３のステップＳ５が本発明の「初期情報取得工程」に相当し、ステップＳ１３、Ｓ１５が本発明の「位置情報再取得工程」に相当し、ステップＳ１９が本発明の「補正情報算出工程」に相当し、ステップＳ１１が本発明の「判定工程」に相当する。また、部品の実装動作において、主制御部３１が、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の補正データＤＣに基づきヘッドユニット６の移動目標位置を補正し、当該移動目標位置に基づきヘッドユニット６の動作を制御する工程が、本発明の「位置補正工程」に相当する。

【0074】

また、ステップＳ５で実行される処理（初期データ取得処理）の動作が本発明の「初期情報取得動作」に相当し、ステップＳ１３、Ｓ１５で実行される処理（位置データ再取得処理）の動作が本発明の「位置情報再取得動作」に相当する。

【0075】

［作用効果］
上記部品実装装置１によれば、ヘッドユニット６に第１、第２の２つのヘッドカメラ２２ａ、２２ｂが搭載され、基台２に備えられた各マーク対２６～２８のうち主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａが第１ヘッドカメラ２２ａで、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂが第２ヘッドカメラ２２ｂで各々撮像され、これにより取得される各マーク２６ａ～２８ｂの位置情報に基づき補正データＤＣが求められる。そのため、１つのヘッドカメラのみで撮像された複数のマークの位置情報に基づいて補正データが求められる場合と比べると、補正データＤＣの信頼性が高く、よって、部品実装基板における部品の位置ずれをより高度に抑制することが可能となる。

【0076】

しかも、上記部品実装装置１では、マーク２６ａ～２８ｂの位置情報を再取得する場合であって、かつ、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達している場合には、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ、又は副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの何れかのみが撮像される。そして、当該撮像されたマークの位置情報のみが書き換えられた再取得データＤＲが作成されて、当該再取得データＤＲに基づいて補正データＤＣが求められる。そのため、位置データ再取得処理において、常に全てのマーク２６ａ～２８ｂを撮像する場合に比べてヘッドユニット６の移動量が短縮される。具体的には、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａのみを撮像する場合のヘッドユニット６の移動経路は、概略的には、図５（ａ）中の破線矢印に示す通りであり、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂのみを撮像する場合のヘッドユニット６の移動経路は、概略的には、図５（ｂ）中の破線矢印に示す通りである。このように、何れの場合も、ヘッドユニット６の移動量は、全てのマーク２６ａ～２８ｂを撮像する場合（図５（ａ）中の実線矢印）に比べて短縮されており、よって、その分、位置データ再取得処理に要する時間が短縮される。

【0077】

なお、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達している場合には、位置データ再取得処理において再取得される位置情報に変化が生じないか、生じていても微差に過ぎない場合が多い。そのため、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ、又は副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの何れかのみを撮像して得られたマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲに基づいて補正データＤＣを求める場合でも、当該補正データＤＣの信頼性は維持され得る。

【0078】

従って、上記部品実装装置１（部品実装方法）は、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを抑制する一方で、タクトタイムの短縮化にも寄与するものと言える。

【0079】

特に、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達している場合の位置データ再取得処理（ステップＳ１５）については、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報と、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報とがマークの再取得タイミングが到来する毎に交互に実行される。そのため、この点でも補正データＤＣの信頼性が維持されると言える。すなわち、例えば、常に一方のマーク、例えば主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａのみの位置情報を取得するようにしてもよいが、この場合には、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達しているとはいえ、長期的に副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報が更新されないことにより、当該位置情報の信頼性が低下する虞がある。すなわち、再取得データＤＲにおける副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報と、実際に副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂを撮像して得られる位置情報とが精度上無視できない程度に乖離していることも考えられる。この場合には、補正データＤＣの信頼が低下し得る。この点、上記実施形態によれば、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報と、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報とが交互に更新されるので、再取得データＤＲの信頼性の低下を抑制でき、その結果、補正データＤＣの信頼性をより高度に確保することが可能となる。

【0080】

［第２実施形態］
図６は、第２実施形態に係る部品実装装置１００（本発明に係る部品実装方法が使用される部品実装装置）の平面図である。部品実装装置１００の基本的な構成は、第１実施形態の部品実装装置１と同等である。よって、以下の部品実装装置１００の説明では、第１実施形態の部品実装装置１と共通する部分については同一符号を付して説明を省略（又は簡略）し、主に第１実施形態との相違点について説明する。

【0081】

図６に示すように、第２実施形態の部品実装装置１００の基台２には、第１～第３のマーク対２６～２８の代わりに、第１～第３のマーク４６～４８（以下、単にマーク４６～４８と称する場合がある）が備えられている。第１～第３のマーク４６～４８は、例えば、第１実施形態の第１～第３の主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａと同じ位置に設けられている。

【0082】

第１実施形態の部品実装装置１では、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａが第１ヘッドカメラ２２ａにより撮像され、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂが第２ヘッドカメラ２２ｂにより撮像される。これに対して、第２実施形態の部品実装装置１００では、各マーク４６～４８が両方のヘッドカメラ２２ａ、２２ｂで撮像される。すなわち、第２実施形態では、第１ヘッドカメラ２２ａに割り当てられているマークと、第２ヘッドカメラ２２ｂに割り当てられているマークとが同一である。この点が第１実施形態の部品実装装置１と第２実施形態の部品実装装置１との主たる相違点である。

【0083】

第２実施形態では、位置補正用データ取得処理（図３）の内容も、以下の点が第１実施形態と相違する。

【0084】

まず、ステップＳ５の初期データ取得処理では、主制御部３１は、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂでそれぞれマーク４６～４８を撮像する。これにより、初期データＤＩとして、第１ヘッドカメラ２２ａの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報と、第２ヘッドカメラ２２ｂの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報とを取得する。

【0085】

ステップＳ１３の位置データ再取得処理では、上記のステップＳ５と同様に、主制御部３１は、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂでそれぞれマーク４６～４８を撮像し、再取得データＤＲとして、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報を再取得する。図７（ａ）は、データ記憶部３２ｂに記憶される再取得データＤＲの一例を示している。図７（ａ）の例も、図４の例と同様に、各マーク４６～４８の位置情報を、初期データＤＩの各マーク４６～４８の位置情報に対するずれ量（偏差）で示している。

【0086】

ステップＳ１５の位置データ再取得処理では、主制御部３１は、第１ヘッドカメラ２２ａのみ、又は第２ヘッドカメラ２２ｂのみでマーク４６～４８を撮像し、ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂのうちの何れか一方のみの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報を再取得する。この場合、主制御部３１は、図３の制御がスタートした後、最初のステップＳ１５の処理では、第１ヘッドカメラ２２ａのみによりマーク４６～４８を撮像し、それらの画像データから当該マーク４６～４８の位置情報を再取得する（本発明の「第１の位置情報再取得処理」に相当する）。そして、次回のステップＳ１５の処理では、第２ヘッドカメラ２２ｂのみによりマーク４６～４８を撮像し、それらの画像データから当該マーク４６～４８の位置情報を再取得する（本発明の「第２の位置情報再取得処理」に相当する）。このように、主制御部３１は、ステップＳ１５の処理については、第１ヘッドカメラ２２ａのみの撮像に基づきマーク４６～４８の位置情報を再取得する処理と、第２ヘッドカメラ２２ｂのみの撮像に基づきマーク４６～４８の位置情報を再取得する処理とを、位置データ再取得処理のタイミングが到来する毎に交互に実行する。

【0087】

ステップＳ１５の処理の直後に実行されるステップＳ１７の処理については、主制御部３１は、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で再取得されたマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲを作成し、当該再取得データＤＲを記憶部３２に記憶する。

【0088】

具体的には次の通りである。例えば図７（ａ）に示す再取得データＤＲがデータ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲとする。この状況で、ステップＳ１５において、第１ヘッドカメラ２２ａの撮像のみに基づきマーク４６～４８の位置情報を再取得した場合には、主制御部３１は、図７（ａ）に示す再取得データＤＲのうち、第１ヘッドカメラ２２ａの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報のみを書き換えた、図７（ｂ）に示すような再取得データＤＲを作成し（破線枠内参照）、当該再取得データＤＲをデータ記憶部３２ｂに記憶する。そして、次回のステップＳ１５の処理で、第２ヘッドカメラ２２ｂの撮像のみに基づきマーク４６～４８の位置情報を再取得すると、主制御部３１は、図７（ｂ）に示す再取得データＤＲのうち、第２ヘッドカメラ２２ｂの撮像に基づくマーク４６～４８の位置情報のみを書き換えた、図７（ｃ）に示すような再取得データＤＲを作成し（破線枠内参照）、当該再取得データＤＲをデータ記憶部３２ｂに記憶する。

【0089】

以降、ステップＳ１１でＹｅｓと判断して、ステップＳ１５の位置データ再取得処理を実行した場合には、ステップＳ１７において、主制御部３１は、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で再取得されたマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲを作成し、当該再取得データＤＲを記憶部３２に記憶する。

【0090】

以上のような第２実施形態の部品実装装置１００についても、第１実施形態の部品実装装置１と同様の作用効果を享受することができる。すなわち、この部品実装装置１００によれば、ヘッドユニット６に搭載された２つのヘッドカメラ２２ａ、２２ｂで基台２に備えられたマーク４６～４８が各々撮像され、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂの撮像に基づき取得される各マーク４６～４８の位置情報に基づき補正データＤＣが算出される。そのため、１つのヘッドカメラのみで撮像された複数のマークの位置情報に基づいて補正データが算出される場合に比べると、補正データＤＣの信頼性が高く、部品実装基板における部品の位置ずれをより高度に抑制することができる。

【0091】

しかも、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形が飽和状態に達している場合には（ステップＳ１１でＹｅｓ）、第１ヘッドカメラ２２ａ、又は第２ヘッドカメラ２２ｂの何れか一方のみでマーク４６～４８が撮像され（ステップＳ１５）、これにより再取得されたマークの位置情報のみが書き換えられた再取得データＤＲが作成される（ステップＳ１７）。そして、当該再取得データＤＲに基づいて補正データＤＣが求められる（ステップＳ１９）。そのため、常に両方のヘッドカメラ２２ａ、２２ｂでマーク４６～４８を撮像する場合に比べると、ヘッドユニット６の移動量が短縮され、その分、位置データ再取得処理に要する時間も短縮される。

【0092】

従って、第２実施形態の部品実装装置１００（部品実装方法）によれば、第１実施形態の部品実装装置１と同様に、ヘッドユニット駆動機構８の熱変形に起因する実装部品の位置ずれを抑制する一方で、タクトタイムの短縮化にも寄与するものとなる。

【0093】

なお、この第２実施形態においては、ステップＳ１５の位置データ再取得処理が実行された直後のステップＳ１７の処理として、上述したような処理（図７（ｂ）、（ｃ）を用いて説明した処理）に代えて、以下のような処理が実行されるようにしてもよい。なお、以下の説明では、便宜上、第１ヘッドカメラ２２ａが撮像した画像データに基づき再取得されるマーク４６～４８の位置情報を「第１再取得情報」と称し、第２ヘッドカメラ２２ｂが撮像した画像に基づき再取得されるマーク４６～４８の位置情報を「第２再取得情報」と称する。

【0094】

例えば図７（ａ）に示す再取得データＤＲが、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲとする。この状況で、ステップＳ１５において、第１再取得情報を取得した場合には、主制御部３１は、図８（ａ）に示すような再取得データＤＲを作成してデータ記憶部３２ｂに記憶する。

【0095】

この再取得データＤＲの第１再取得情報（図８（ａ）の破線枠部）は、ステップＳ１５で実際に取得された情報である。一方、第２再取得情報は、この実際に取得した第１再取得情報に基づき、図７（ａ）に示す再取得データＤＲの第２再取得情報（すなわち最新の第２取得情報）を補正した情報である。具体的には、図７（ａ）に示す前回の第１再取得情報に対する今回の第１再取得情報の変化量だけ、図７（ａ）に示す第２再取得情報をオフセットした位置情報である。

【0096】

例えば、第１マーク４６の位置情報（Ｘ方向、Ｙ方向）のみに着目した場合、主制御部３１は、図７（ａ）に示す前回の第１再取得情報（－０．００２、０．００４）に対する今回取得した第１再取得情報（－０００１、０．００２）の変化量（＋０．００１，－０．００２）を算出するとともに、当該変化量に基づき、図７（ａ）に示す第２再取得情報（－０．００１，０．００５）をオフセット補正した情報（０．０００，０．００３）を算出し、実際に取得された第１再取得情報と当該補正後の第２再取得情報とで構成される再取得データＤＲ（図８（ａ））をデータ記憶部３２ｂに記憶する。

【0097】

そして、次回のステップＳ１５の処理において、実際に第２再取得情報を取得すると、主制御部３１は、図８（ｂ）に示すような再取得データＤＲを作成してデータ記憶部３２ｂに記憶する。この再取得データＤＲの第２再取得情報（図８（ｂ）の破線枠部）は、ステップＳ１５で実際に取得された情報である。一方、第１再取得情報は、実際に取得した第２再取得情報に基づき、図８（ａ）に示す再取得データＤＲの第１再取得情報（すなわち最新の第１取得情報）を補正した情報である。具体的には、図８（ａ）に示す前回の第２再取得情報に対する今回の第２再取得情報の変化量だけ、図８（ａ）に示す第１再取得情報をオフセットした位置情報である。

【0098】

このように、第１再取得情報及び第２再取得情報のうち、実際に取得された再取得情報の変化量に準じて、取得されてない方の再取得情報を補正するようにしてもよい。このような構成によれば、取得されてない方の再取得情報として取得済みの再取得情報をそのまま用いる場合（上述した図７（ｂ）、（ｃ）の例）に比べて、再取得データＤＲの信頼性、ひいてはステップＳ１９で求められる補正データＤＣの信頼性を向上させることが可能となる。

【0099】

なお、図８（ａ）、（ｂ）を用いて説明したような第２実施形態の位置補正用データ取得処理は、第１実施形態のように、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂで互いに異なるマークを撮像してそれらの位置情報を取得する構成についても同様に適用可能である。しかし、当該位置補正用データ取得処理は、第１再取得情報及び第２再取得情報のうち、実際に取得された再取得情報の変化量をそのまま用いて、取得されてない方の再取得情報を補正する。そのため、再取得データＤＲの信頼性、ひいては補正データＤＣの信頼性を確保する観点からは、各ヘッドカメラ２２ａ、２２ｂにより互いに共通するマーク４６～４８を撮像してそれらの位置情報を取得する第２実施形態の構成に適していると言える。

【0100】

［変形例等］
以上説明した部品実装装置１、１００は、本発明に係る部品実装装置の好ましい実施形態の例示であって、部品実装装置１，１００の具体的な構成や、この部品実装装置１，００で使用される上記部品実装方法の具体的な内容は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、以下のような構成（方法）を採用することも可能である。

【0101】

（１）実施形態では、設定時間が経過するタイミングで位置データ再取得処理（ステップＳ１３、Ｓ１５）が実行されるが、例えば、作業位置から部品実装基板が搬出される期間や、作業位置へ新たな基板Ｐが搬入される期間など部品の実装動作が中断される期間（中断期間と称する）を利用して、一部又は全部のマークの位置情報を先行して（前倒しで）再取得するようにしてもよい。以下、この点について具体的に説明する。

【0102】

図９（ａ）は、第１実施形態の部品実装装置１におけるマーク２６ａ～２８ｂの位置情報の再取得のタイミング（図３のステップＳ１５の位置データ再取得処理のタイミング）を示すタイミングチャートである。図中の丸印は、マーク２６ａ～２８ｂのうち実際に撮像されて位置情報が取得されるマークを示している。すなわち、主制御部３１は、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報の再取得をｔ１時点に開始し、このｔ１時点から設定時間Ｔ０が経過したｔ２時点で副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報の再取得を開始する。その後、設定時間Ｔ０が経過する度に、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａの位置情報の再取得と、副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの位置情報の再取得とを交互に実行する。

【0103】

ここで、例えば図９（ｂ）に示すように、ｔ１時点の経過後、設定時間Ｔ０が経過する前にヘッドユニット６の実装動作に中断期間が発生した場合には、主制御部３１は、その中断期間の長さに応じて、次回の位置データ再取得処理で取得予定の副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂの一部又は全部の位置情報を先行して取得する処理（先行処理という）を実行する。図示の例では、２つの副マーク２６ｂ、２７ｂの位置情報が中断期間中（ｔ１・２時点～ｔ１・３時点）に再取得されている。そして、中断期間中に位置情報を再取得できなかったマークが生じた場合には、主制御部３１は、ｔ１時点から設定時間Ｔ０が経過したｔ２時点、すなわち本来の再取得タイミングで、残りのマーク（当例では第３副マーク２８ｂ）の位置情報を再取得する。

【0104】

なお、先行処理を実行した場合には、主制御部３１は、先行処理が開始された時点（ｔ１・２時点）を基準に、次の設定時間Ｔ０を計時する。

【0105】

以上のような構成によれば、実装動作の中断期間を利用して位置データ再取得処理の一部又は全部を先行して実行できるため、常に一定の時間間隔で（設定時間Ｔ０の経過毎に）位置データ再取得処理を実行する場合に比べて、部品実装装置１のタクトタイムの短縮化に寄与するものとなる。なお、この場合には、図９（ｂ）に示すように、禁止期間Ｔ１を設定するのが望ましい。つまり、位置データ再取得処理が実行された後、当該禁止期間Ｔ１の経過後（ｔ１・１時点以降）に中断期間が発生する場合にのみ、主制御部３１が先行処理を実行するようにし、中断期間が発生した場合でもそれが禁止期間Ｔ１の経過前であれば、先行処理の実行を禁止するのが好適である。これは、位置データ再取得処理が実行される時間間隔が短いと、再取得される位置情報と前回の位置情報とが同一になる可能性が高く、位置データ再取得処理で取得される位置情報の有用性が損なわれるためである。

【0106】

なお、ここでは、先行処理について、図３のステップＳ１５の位置データ再取得処理が定期的に実行される場合を例に説明したが、先行処理は、図３のステップＳ１３、Ｓ１５の位置データ再取得処理に拘わらず実行可能である。

【0107】

（２）第１実施形態では、図３のステップ１５の位置データ再取得処理において、主制御部３１は、３つの主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａ、又は３つの副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂを撮像してそれらの位置情報を再取得するが、主マーク２６ａ、２７ａ、２８ａのうちの何れか一つ（例えば第１主マーク２６ａ）、又は副マーク２６ｂ、２７ｂ、２８ｂのうちの何れか一つ（例えば第１副マーク２６ｂ）を撮像して、その位置情報を再取得するようにしてもよい。この構成（方法）によれば、位置データ再取得処理において撮像すべきマークの数が１つとなるため、当該処理に要する時間を可及的に短くすることが可能となる。この場合、ステップＳ１７の処理については、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で再取得されたマークの位置情報のみ、つまり、撮像された１つのマークの位置情報のみを書き換えた再取得データＤＲを作成し、当該再取得データＤＲをデータ記憶部３２ｂに記憶するようにする。

【0108】

なお、３つのマークのうち何れか一つを撮像するという当該構成（方法）は、第２実施形態についても同様に適用可能である。つまり、第１ヘッドカメラ２２ａにより第１～第３のマーク４６～４８のうち何れか一つを撮像して、又は第２ヘッドカメラ２２ｂにより第１～第３のマーク４６～４８のうちの何れか一つを撮像してその位置情報を再取得するようにしてもよい。

【0109】

この際、第１再取得情報及び第２再取得情報のうち、実際に取得された再取得情報と、その変化量に準じて、取得されてない方の再取得情報を補正（オフセット）した再取得情報とを再取得データＤＲとする場合には、以下のようにすればよい。すなわち、データ記憶部３２ｂに記憶されている最新の再取得データＤＲのうち、ステップＳ１５で実際に再取得されたマークの位置情報のみ、つまり、実施に撮像された一つマークの位置情報のみを書き換え、その他のマークの位置情報については、実際に取得された前記一つのマークの位置情報の変化量に準じて補正（オフセット）する。例えば、第１ヘッドカメラ２２ａの撮像により第１マーク４６の位置情報のみが実際に取得された場合には、データ記憶部３２ｂに記憶されている再取得データＤＲのうち、第１ヘッドカメラ２２ａの実際の撮像に基づく第１マーク４６の位置情報のみを書き替え、第１ヘッドカメラ２２ａの撮像に基づく他のマーク（第２、第３マーク４７、４８）の位置情報、および第２ヘッドカメラ２２ｂの撮像に基づく第１～第３のマーク４６～４８の位置情報については、実際に取得された第１マーク４６の位置情報の変化量に準じて再取得データＤＲを補正し、これを新たな再取得データＤＲとしてデータ記憶部３２ｂに記憶するようにする。 （３）実施形態の位置補正用データ取得処理（図３）では、主制御部３１は、設定時間が経過するタイミングで位置データ再取得処理（ステップＳ１３、Ｓ１５）を実行しているが、勿論、設定時間以外のタイミングで位置データ再取得処理を実行するようにしてもよい。例えば、基板Ｐの生産数や生産ロット数が所定値に達した時点で位置データ再取得処理を実行するようにしてもよい。

【0110】

（４）実施形態のステップＳ２１の処理では、特定マーク対Ｍにおける主マーク及び副マークの双方について、ずれ量の変化量が閾値以下に収束しているか否かを判断しているが、例えば、主マーク又は副マークの何れか一方について、前記ずれ量の変化量が閾値以下に収束しているか否かを判断するようにしてもよい。

【符号の説明】

【0111】

１、１００ 部品実装装置
２ 基台
６ ヘッドユニット
８ ヘッドユニット駆動機構
２０ ヘッド
２２ａ 第１ヘッドカメラ（第１撮像部）
２２ｂ 第２ヘッドカメラ（第２撮像部）
２６ 第１マーク対
２６ａ 第１主マーク
２６ｂ 第１副マーク
２７ 第２マーク対
２７ａ 第２主マーク
２７ｂ 第２副マーク
２８ 第３マーク対
２８ａ 第３主マーク
２８ｂ 第３副マーク
３０ 制御装置
３１ 主制御部（制御部、判定部、補正部）
３２ 記憶部
３２ａ プログラム記憶部
３２ｂ データ記憶部
４６ 第１マーク
４７ 第２マーク
４８ 第３マーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】