特許7346778光学測定装置が装着された原子顕微鏡及びこれを利用して測定対象の表面の情報を得る方法

発明の名称　光学測定装置が装着された原子顕微鏡及びこれを利用して測定対象の表面の情報を得る方法

出願人　パーク　システムズ　コーポレーション　（識別番号 515304628）

　　　　特許公開件数ランキング 1219 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 1250 位（0件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7346778

公報発行日　2023年9月20

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7346778

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