特許7351812荷電粒子線装置および帯電評価方法

発明の名称　荷電粒子線装置および帯電評価方法

出願人　株式会社日立製作所　（識別番号 5108）

　　　　特許公開件数ランキング 13 位（1147件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 15 位（915件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7351812

公報発行日　2023年9月27

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7351812

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