特許 7352321 フラックス転写装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-20

(45)【発行日】2023-09-28

(54)【発明の名称】フラックス転写装置

(51)【国際特許分類】

   B23K 3/00 20060101AFI20230921BHJP

【ＦＩ】

B23K3/00 R

B23K3/00 N

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022569174

(86)(22)【出願日】2021-07-20

(86)【国際出願番号】 JP2021027096

(87)【国際公開番号】W WO2023002557

(87)【国際公開日】2023-01-26

【審査請求日】2022-11-14

(73)【特許権者】

【識別番号】519294332

【氏名又は名称】株式会社新川

(74)【代理人】

【識別番号】110001210

【氏名又は名称】弁理士法人ＹＫＩ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】関口 繁之

【審査官】岩見 勤

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１９／０９３２３２（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１４－１５９０３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－７６２１０（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１６／１８５５４５（ＷＯ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｋ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

表面の中央部に凹部を有するステージと、
フラックスを貯留する貯留部を有し、前記フラックスを前記凹部に供給する供給部が底部に設けられ、前記ステージの表面を往復して前記供給部を通して中に貯留している前記フラックスを前記凹部に供給するフラックスポットと、
前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの残量を検出する検出器と、を備えるフラックス転写装置であって、
前記ステージは、光が透過する光透過部を備え、
前記検出器は、前記ステージの前記光透過部の下側に配置され、前記光透過部と前記供給部とを通して前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの中に入射し、前記フラックスの液面で反射した光の光量に基づいて前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの残量を検出すること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項3】

請求項１に記載のフラックス転写装置であって、
前記フラックスポットは、前記フラックスを転写する際に前記凹部の周辺の初期位置に戻り、
前記光透過部は、前記ステージの前記初期位置に取り付けられていること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項4】

請求項１又は３に記載のフラックス転写装置であって、
前記検出器は、発光部と受光部とを含み、
前記発光部は、前記光透過部と前記供給部とを通して前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの中に光を入射させ、
前記受光部は、前記フラックスの液面で反射して前記光透過部と前記供給部とを透過した光の光量を測定すること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項5】

表面の中央部に凹部を有するステージと、
フラックスを貯留する貯留部を有し、前記フラックスを前記凹部に供給する供給部が底部に設けられ、前記ステージの表面を往復して前記供給部を通して中に貯留している前記フラックスを前記凹部に供給するフラックスポットと、
前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの残量を検出する検出器と、を備えるフラックス転写装置であって、
前記フラックスポットは、対向する側壁に光が透過する光透過壁部を備え、
前記検出器は、前記フラックスポットの側方に配置され、各光透過壁部を通して前記フラックスポットを透過した透過光の光量に基づいて前記フラックスポットの中に貯留されている前記フラックスの残量を検出すること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項6】

請求項５に記載のフラックス転写装置であって、
前記各光透過壁部は、前記フラックスポットの往復移動方向に対向する２つの側壁に設けられており、
前記検出器は、前記フラックスポットの往復移動範囲の外側で往復移動方向の一端側に配置された発光器と他端側に配置された受光器とで構成されること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項7】

請求項５に記載のフラックス転写装置であって、
前記各光透過壁部は、前記フラックスポットの往復移動方向と直交方向に対向する２つの側壁に設けられており、
前記検出器は、前記フラックスポットの往復移動方向と直交方向で前記フラックスポットと離間して一方側に配置された発光器と他方側に配置された受光器とで構成されること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【請求項8】

請求項５から７のいずれか１項に記載のフラックス転写装置であって、
前記検出器は、高さ方向に複数配置されていること、
を特徴とするフラックス転写装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、転写対象物をフラックスに浸漬させてフラックスを転写対象物に転写するフラックス転写装置の構造に関し、特に、フラックスを貯留するフラックスポットの中のフラックスの残量の検出に関する。

【背景技術】

【0002】

フラックス転写装置では、フラックスの転写を行うとフラックスを貯留するフラックスポットの中のフラックスの残量が減ってくる。このため、フラックスポットの中のフラックスの残量を検出してフラックス不足が発生しないようにすることが求められている。

【0003】

このため、特許文献１に記載のように、フラックスポットの上側に超音波センサを配置し、フラックスの液面で反射した超音波に基づいてフラックスの残量を検出する方法が提案されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１４－１５９０３９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ところで、フラックス転写装置では、フラックスの一部が発泡し、上側に配置されている機器を汚損させてしまう場合がある。このため、特許文献１に記載された従来技術では、上側に配置された超音波センサが汚損し、安定してフラックスの残量を検出することが困難な場合がある。

【0006】

そこで、本開示は、安定してフラックスの残量を検出することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本開示のフラックス転写装置は、表面の中央部に凹部を有するステージと、フラックスを貯留する貯留部を有し、フラックスを凹部に供給する供給部が底部に設けられ、ステージの表面を往復して供給部を通して中に貯留しているフラックスを凹部に供給するフラックスポットと、フラックスポットの中に貯留されているフラックスの残量を検出する検出器と、を備えるフラックス転写装置であって、検出器は、ステージの下側、又は、フラックスポットの側方に配置されていること、を特徴とする。

【0008】

このように、検出器をステージの下側、又はフラックスポットの側方に配置するので、フラックスの発泡により検出器が汚損することを抑制し、安定してフラックスの残量を検出できる。

【0009】

本開示のフラックス転写装置において、ステージは、光が透過する光透過部を備え、検出器は、ステージの光透過部の下側に配置され、光透過部と供給部とを通してフラックスポットの中に貯留されているフラックスの中に入射し、フラックスの液面で反射した光の光量に基づいてフラックスポットの中に貯留されているフラックスの残量を検出してもよい。

【0010】

この構成により、発泡したフラックスが検出器に付着することを抑制し、より安定してフラックスの残量を検出することができる。

【0011】

本開示のフラックス転写装置において、フラックスポットは、フラックスを転写する際に凹部の周辺の初期位置に戻り、光透過部は、ステージの初期位置に取り付けられてもよい。

【0012】

これにより、フラックスポットが初期位置に停止した状態でフラックスの残量を検出するので、安定してフラックスの残量を検出することができる。

【0013】

本開示のフラックスポット転写装置において、検出器は、発光部と受光部とを含み、発光部は、光透過部と供給部とを通してフラックスポットの中に貯留されているフラックスの中に光を入射させ、受光部は、フラックスの液面で反射して光透過部と供給部とを透過した光の光量を測定してもよい。

【0014】

これにより、簡便な構成でフラックスポットのフラックスの残量を検出することができる。

【0015】

本開示のフラックス転写装置において、フラックスポットは、対向する側壁に光が透過する光透過壁部を備え、検出器は、フラックスポットの側方に配置され、各光透過壁部を通してフラックスポットを透過した透過光の光量に基づいてフラックスポットの中に貯留されているフラックスの残量を検出してもよい。

【0016】

この構成により、発泡したフラックスが検出器に付着することを抑制し、より安定してフラックスの残量を検出することができる。

【0017】

本開示のフラックス転写装置において、各光透過壁部は、フラックスポットの往復移動方向に対向する２つの側壁に設けられており、検出器は、フラックスポットの往復移動範囲の外側で往復移動方向の一端側に配置された発光器と他端側に配置された受光器とで構成されてもよい。

【0018】

これにより、フラックスポットが往復移動している場合でもフラックスの残量を検出することができる。

【0019】

本開示のフラックス転写装置において、各光透過壁部は、フラックスポットの往復移動方向と直交方向に対向する２つの側壁に設けられており、検出器は、フラックスポットの往復移動方向と直交方向でフラックスポットと離間して一方側に配置された発光器と他方側に配置された受光器とで構成されてもよい。

【0020】

これにより、簡便な構成でフラックスポットのフラックスの残量を検出することができる。

【0021】

本開示のフラックス転写装置において、検出器は、高さ方向に複数配置されてもよい。

【0022】

これにより、フラックスの残量をより詳しく検出することができる。

【発明の効果】

【0023】

本開示は、安定してフラックスの残量を検出することができる。

【図面の簡単な説明】

【0024】

【図1】実施形態のフラックス転写装置の平面図である。

【図2】実施形態のフラックス転写装置の断面図であって、図１のＡ－Ａ断面である。

【図3】実施形態のフラックス転写装置のフラックスポットのフラックスの残量とフラックスの液面からの反射光の光量との関係を示すグラフである。

【図4】図１のＡ－Ａ断面であって、フラックスポットの揺すり動作を示す図である。

【図5】他の実施形態のフラックス転写装置の平面図である。

【図6】他の実施形態のフラックス転写装置の断面図であって、図５のＢ－Ｂ断面図である。

【図7】他の実施形態のフラックス転写装置のフラックスの液面高さとフラックスポットの透過光の光量との関係を示すグラフである。

【図8】他の実施形態のフラックス転写装置の平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0025】

以下、図面を参照しながら実施形態のフラックス転写装置１００について説明する。図１、２に示すように、フラックス転写装置１００は、フラックス５０を溜める凹部１３を有するステージ１２と、内部２８にフラックス５０を貯留すると共に、貯留しているフラックス５０を凹部１３に供給するフラックスポット２０と、フラックスポット２０の中に貯留されているフラックス５０の残量を検出する検出器３０とを備えている。フラックスポット２０は、図示しない駆動機構で図１、２中に示す矢印９１～９４の様にＸ方向に往復移動する。フラックス転写装置１００は、電子部品の突起電極等の転写対象物を凹部１３に溜まったフラックス５０に浸漬させてフラックス５０を転写対象物に転写する。以下の説明では、フラックスポット２０の往復移動方向をＸ方向、その直角方向をＹ方向、上下方向をＺ方向とし、検出器３０が配置されている側をＸ方向マイナス側、或いは後方、反対方向をＸ方向プラス側、或いは前方、Ｙ方向プラス側を左方向、Ｙ方向マイナス側を右方向、Ｚ方向プラス側を上方向、Ｚ方向マイナス側を下方向として説明する。

【0026】

図１、２に示すように、ステージ１２は、中央部に表面１４，１５から凹んでフラックス５０を溜める凹部１３を有している。凹部１３は、幅Ｗで往復移動方向（Ｘ方向）に延びている。凹部１３の深さは、電子部品の突起電極等の転写対象物を浸漬できる深さであり、例えば、１０～２０μｍ程度であってもよい。ステージ１２は、フラックス転写装置１００全体を支持するベース（図示せず）に取付けられている。

【0027】

フラックスポット２０は、前壁２１と、後壁２２と、左壁２３と、右壁２４と、底板２５とで構成される上面が開放された長方形の開放箱型部材で、内面の幅は、凹部１３の幅と同一のＷである。底板２５には、前壁２１と後壁２２とに平行に幅方向に延びるスリット状の貫通孔２７が設けられている。前壁２１と後壁２２とはフラックスポット２０の往復移動方向に対向する側壁であり、左壁２３と右壁２４とはフラックスポット２０の往復方向と直交する方向に対向する側壁である。フラックスポット２０は、内部２８にフラックス５０を貯留し、図示しない駆動機構でＸ方向に往復移動した際に貫通孔２７からステージ１２の凹部１３にフラックス５０を供給すると共に、底板２５の底面２６で凹部１３に供給したフラックス５０の表面をならすものである。従って、貫通孔２７は、フラックスポット２０の底部に設けられてフラックスポット２０の貯留部である内部２８に貯留されているフラックス５０を凹部１３に供給する供給部を構成する。

【0028】

図１、２に示すように、初期状態では、フラックスポット２０は、凹部１３の後方の表面１４の上側の初期位置に停止している。フラックスポット２０が初期位置にある際にフラックスポット２０の貫通孔２７に対応するステージ１２の位置にステージ１２の厚さ方向に光を透過させる光透過部１６が設けられている。光透過部１６は、例えば、ガラスなどの光透過材料で構成され、ステージ１２に設けられた取付け穴に液密となるように嵌め込まれてもよい。光透過部１６は、例えば、ステージ１２、或いはフラックスポット２０の幅方向の中央に設けても良いし、中央から左右にずれた位置に配置してもよい。

【0029】

ステージ１２の下側にはステージ１２を支持するベースの一部である下ベース部１９ｅが配置されている。ステージ１２に設けられた光透過部１６に対応する位置の下ベース部１９ｅの上には、フラックスポット２０の中に貯留されているフラックス５０の残量を検出する検出器３０が取付けられている。検出器３０は、発光部３１と、受光部３２と、受光部３２で検出したフラックス５０の液面５１からの反射光の光量をフラックス５０の残量に変換して出力する演算回路３３とを備えている。

【0030】

ここで、以上の様に構成されたフラックス転写装置１００の動作について簡単に説明する。

【0031】

先に説明したように、初期状態では、フラックスポット２０は、凹部１３の後方の表面１４の上側の初期位置に停止している。この状態でフラックスポット２０の内部２８には所定量のフラックス５０が充填されており、フラックス５０の液面５１は所定の高さとなっている。この際、フラックスポット２０の底面２６は、ステージ１２の表面１４に密着しているので、フラックス５０は貫通孔２７から外部に流出せず、フラックスポット２０の内部２８に保持される。また、光透過部１６は、ステージ１２に設けられた取付け穴に液密となるように嵌め込まれているので、フラックス５０は光透過部１６の周りからステージ１２の下側に漏れることはない。

【0032】

次に、図示しない駆動機構によって、フラックスポット２０をＸ方向プラス側に向かって移動させる。フラックスポット２０の貫通孔２７が凹部１３の上方に来ると、貫通孔２７の中に充填されていたフラックス５０がステージ１２の凹部１３の中に落下してくる。凹部１３に落下したフラックス５０は、フラックスポット２０の底面２６で表面がならされて、凹部１３の深さと略同一深さのフラックス５０となる。フラックスポット２０は、凹部１３全体が均一厚さのフラックス５０で満たされるように、凹部１３の上を何回かＸ方向に往復移動する。そして、凹部１３にフラックス５０を満たしたら、図示しない駆動機構は、フラックスポット２０を初期位置に戻す。

【0033】

そして、フラックス転写装置１００は、図示しないボンディングヘッドの先端に電子部品を吸着し、電子部品の突起電極を凹部１３に溜まったフラックス５０に浸漬させてフラックス５０を突起電極に転写する。

【0034】

このように、フラックスポット２０をＸ方向に往復移動させて内部２８に貯留しているフラックス５０を凹部１３に供給すると、フラックスポット２０のフラックス５０の残量は次第に減少し、フラックス５０の液面５１は次第に下がってくる。

【0035】

次にフラックス転写装置１００のフラックス５０の残量の検出動作について説明する。

【0036】

先に説明したように、フラックスポット２０は、凹部１３の後方の表面１４の上側の初期位置に停止している。そして、フラックスポット２０の貫通孔２７は、光透過部１６の上に重なっている。

【0037】

この状態で検出器３０の発光部３１から光を出射させると、出射された光は、図２の矢印８１に示すように、ステージ１２の光透過部１６と、フラックスポット２０の貫通孔２７を通ってフラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０の中に入射する。そして、フラックス５０の液面５１で反射して、図２の矢印８２に示すように、フラックスポット２０の貫通孔２７と、ステージ１２の光透過部１６を通って受光部３２に入射する。検出器３０は、受光部３２に入射した反射光の光量を測定する。

【0038】

フラックス５０の残量と反射光の光量との関係を図３に示す。フラックス５０の残量が多くなると、フラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０の液面５１が高くなり、反射光の光量は大きくなる。そして、残量が少なくなって液面５１が低くなると、反射光の光量は次第に小さくなり、残量がゼロになり、液面５１が無くなると反射光の光量はゼロとなる。

【0039】

検出器３０は演算回路３３の中に図３に示すグラフを格納しており、受光部３２で検出したフラックス５０の液面５１からの反射光の光量を図３に示すグラフに基づいてフラックス５０の残量に変換して出力する。

【0040】

尚、フラックスポット２０をＸ方向に往復動作させた後、初期位置に戻った際に、図４に示すようにフラックス５０の液面５１が傾斜している場合がある。この場合には、図４中に破線と矢印９５で示すように、図示しない駆動機構によってフラックスポット２０をＸ方向に何回か揺すり、液面５１が水平になった状態にして検出器３０によってフラックス５０の残量を検出してもよい。

【0041】

そして、フラックス転写装置１００は、検出器３０からフラックス５０の残量がフラックスポット２０の交換、或いはフラックス５０の充填が必要な量まで減少した信号が入力されたら、アラームを出して作業者にフラックスポット２０の交換、或いはフラックス５０の充填が必要なことを知らせるようにしてもよい。作業者は、アラームを確認したらフラックスポット２０を所定量のフラックス５０が充填された新品に交換してもよいし、フラックスポット２０の中にフラックス５０を充填してもよい。

【0042】

以上説明した実施形態のフラックス転写装置１００は、フラックス５０の残量を検出する検出器３０をステージ１２の下側に配置したので、フラックス５０の発泡によりフラックス５０が検出器３０を汚損することがない。また、光透過部１６がステージ１２に設けられた取付け穴に液密となるように嵌め込まれているので、フラックス５０が光透過部１６の周りからステージ１２の下側に漏れることはない。このため、フラックス５０が検出器３０を汚損することがなく、安定してフラックス５０の残量を検出できる。

【0043】

また、実施形態のフラックス転写装置１００は、光透過部１６を通してステージ１２の下側に配置された検出器３０から出射した光をフラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０に入射させ、液面５１で反射した反射光の光量と、図３に示すグラフに基づいてフラックス５０の残量を検出するので、フラックス５０の残量がフラックスポット２０の交換、或いはフラックス５０の充填が必要な量かのみでなく、どの程度の残量があるかどうかを検出し、フラックスポット２０の交換、或いはフラックス５０の充填時期を予測することができる。

【0044】

以上の説明では、光透過部１６は、フラックスポット２０がステージ１２の凹部１３の後方の表面１４の上の初期位置にある際にフラックスポット２０の貫通孔２７に対応するステージ１２の位置に設けられるとして説明したがこれに限らない。例えば、光透過部１６は、フラックスポット２０がステージ１２の凹部１３の前方の表面１５の上にある際にフラックスポット２０の貫通孔２７に対応するステージ１２の位置に設けられてもよい。

【0045】

また、以上の説明では、検出器３０は、ステージ１２の下側の下ベース部１９ｅに取付けられることとして説明したがこれに限らない。ステージ１２を支持するベースに接続される部位であれば他の部位に取付けられてもよく、例えば、ステージ１２の下面に取付けられてもよい。

【0046】

また、以上の説明では、検出器３０は演算回路３３の中に図３に示すグラフを格納しており、受光部３２で検出したフラックス５０の液面５１からの反射光の光量をフラックス５０の残量に変換して出力するとして説明したがこれに限らない。例えば、検出器３０は演算回路３３を含まず、受光部３２で検出した反射光の光量を出力し、フラックス転写装置１００の制御装置（図示せず）の中に図３に示すグラフを格納し、反射光の光量からフラックス５０の残量を演算してアラームを表示するようにしてもよい。

【0047】

また、検出器３０は演算回路３３を含まず、フラックス残量表示装置（図示せず）を別途備え、フラックス残量表示装置の中に図３に示すグラフを格納し、反射光の光量からフラックス５０の残量を演算して表示器に残量を表示するようにしてもよい。

【0048】

更に、検出器３０は、発光部３１と受光部３２とを含むとして説明したが、発光器と受光器とを別々に配置して検出器３０を構成してもよい。

【0049】

また、以上の説明では、フラックスポット２０は、上面が開放された長方形の開放箱型部材で、フラックス５０を凹部１３に供給するスリット状の貫通孔２７が底板に設けられているとして説明したがこれに限らない。例えば、蓋があってもよいし、円筒形や多角形であってもよい。また、半透明や透明である交換可能なシリンジのような形状であってもよい。また、フラックスポット２０は、環状部材で、上方の開口面積と底面の開口面積とが同一の貫通開口を有するものであってもよい。この場合、貫通開口の下端は、フラックスポット２０の底部に設けられてフラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０を凹部１３に供給する供給部を構成する。

【0050】

次に図５から図７を参照しながら他の実施形態のフラックス転写装置２００について説明する。先に図１から図４を参照して説明したフラックス転写装置１００と同様の部位には、同様の符号を付して説明は省略する。

【0051】

図５、６に示すように、フラックス転写装置２００は、フラックスポット２０の前壁２１と後壁２２とにそれぞれ光が透過する前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとを設け、検出器３０を後側に配置された発光器３４と、前側に配置された受光器３５とで構成したものである。

【0052】

図５、６に示すように、フラックスポット２０の往復移動方向に対向する側壁である前壁２１と後壁２２とには、前壁２１、後壁２２の厚さ方向に光を透過させる前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとが設けられている。前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとは、例えば、ガラスなどの光透過材料で構成され、前壁２１と後壁２２にそれぞれ設けられた取付け穴に液密となるように嵌め込まれている。前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとは、Ｘ方向に並べて配置されていればよく、例えば、ステージ１２、或いはフラックスポット２０の幅方向の中央に設けても良いし、中央から左右にずれた位置に配置してもよい。

【0053】

フラックスポット２０の往復移動範囲の外側となるステージ１２の前側と後側にはステージ１２を支持するベースの一部である前ベース部１９ａと後ベース部１９ｂとが配置されている。ここで、ステージ１２の後側は、フラックスポット２０の往復移動方向の一端側であり、ステージ１２の前側は、フラックスポット２０の往復移動方向の他端側である。

【0054】

後ベース部１９ｂには光を出射する発光器３４が取付けられており、前ベース部１９ａには、発光器３４から出射した光を受光し、受光した光量を出力する受光器３５が取付けられている。発光器３４、受光器３５は、フラックスポット２０に設けられた前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとに対向するように、前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂと同じ高さで幅方向の位置が同一となるように取付けられている。受光器３５は、前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂを通してフラックスポット２０を透過した透過光の光量を検出する。

【0055】

次にフラックス転写装置２００のフラックス５０の残量の検出原理について説明する。

【0056】

フラックスポット２０の往復移動範囲よりも後方に配置されている発光器３４から出射した光は、図５、６中に矢印で示す光路８３のように後光透過壁部２９ｂを通ってフラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０の中を透過し、前光透過壁部２９ａを通って外部に出てフラックスポット２０の往復移動範囲よりも前側に配置されている受光器３５に入射する。

【0057】

フラックス５０の残量が多く、液面５１が発光器３４から出射する光の光路８３よりも上にある場合には、発光器３４から出射した光は、フラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０によって吸収される。このため、受光器３５が検出する透過光の光量は少なくなる。一方、液面５１が発光器３４から出射する光の光路８３よりも下にある場合には、発光器３４から出射した光は、フラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０の中を透過しないので、受光器３５が検出する透過光の光量は大きくなる。

【0058】

従って、図７に示すように、受光器３５が検出する透過光の光量は、フラックス５０の液面５１の高さが検出器３０の光路８３よりも高い場合には、小さくなり、フラックス５０の液面５１の高さが検出器３０の光路８３よりも低い場合には、大きくなる。従って、受光器３５が検出した透過光の光量が所定の閾値よりも大きくなった場合には、フラックス５０の液面５１が検出器３０の光路８３よりも低くなり、フラックス５０の残量が少なくなり、フラックスポット２０の交換、或いはフラックス５０の充填が必要になったことを検出できる。

【0059】

そこで、フラックス転写装置２００の制御装置（図示せず）は、受光器３５から入力される透過光の光量の信号が所定の閾値よりも大きくなった場合に、フラックスポット２０の交換、又はフラックス５０の充填が必要と判断してアラームを表示するようにしてもよい。また、フラックス残量表示装置（図示せず）を別途備え、フラックス残量表示装置に入力される受光器３５からの信号が所定の閾値よりも大きくなった場合に、アラームを表示するようにしてもよい。

【0060】

実施形態のフラックス転写装置２００は、発光器３４と受光器３５とで構成される検出器３０をフラックスポット２０の前方と後方とに配置しているので、フラックス５０の発泡によりフラックス５０が検出器３０を汚損することがなく、安定してフラックス５０の残量を検出することができる。

【0061】

また、実施形態のフラックス転写装置２００は、発光器３４と受光器３５とがフラックスポット２０の往復移動範囲の外側に配置されているので、フラックスポット２０のＸ方向位置にかかわらず、フラックスポット２０の内部２８に貯留されているフラックス５０の残量がフラックスポット２０の交換が必要な量になったかどうかを検出することができる。

【0062】

尚、以上の説明では、検出器３０は、発光器３４から受光器３５に達する１つの光路８３によってフラックス５０の残量を検出することとして説明したがこれに限らない。例えば、上下方向に複数並べた発光器３４と受光器３５とで上下方向に並んだ複数の検出器３０を構成し、上下方向に複数本の光路８３を含むように構成してもよい。これにより、フラックスポット２０の残量の変化を検出することができる。

【0063】

また、以上の説明では、フラックスポット２０は、前壁２１、後壁２２の厚さ方向に光を透過させる前光透過壁部２９ａと後光透過壁部２９ｂとが設けられているとして説明したがこれに限らず、全体が透明で透光性の材料で構成されてもよい。

【0064】

次に図８を参照しながら他の実施形態のフラックス転写装置３００について説明する。先に図５から図７を参照して説明したフラックス転写装置２００と同様の部分には同様の符号を付して説明は省略する。

【0065】

図８に示すように、フラックス転写装置３００は、フラックスポット２０の左壁２３と右壁２４とにそれぞれ光が透過する左光透過壁部２９ｃと右光透過壁部２９ｄとを設け、検出器３０を左側に配置された発光器３４と、右側に配置され受光器３５とで構成したものである。

【0066】

フラックスポット２０のＹ方向プラス側である左側には、ステージ１２を支持するベースの一部である左ベース部１９ｃが配置されている。また、Ｙ方向マイナス側である右側には、右ベース部１９ｄが配置されている。ここで、Ｙ方向プラス側は、往復移動方向と直交方向の一方側であり、Ｙ方向マイナス側は、往復移動方向と直交方向の他方側である。

【0067】

左ベース部１９ｃにはフラックスポット２０の左壁２３と離間した位置に発光器３４が配置されている。また、右ベース部１９ｄにはフラックスポット２０の右壁２４と離間するように受光器３５が配置されている。

【0068】

発光器３４と受光器３５とは、フラックスポット２０が初期位置にある際にフラックスポット２０に設けられた左光透過壁部２９ｃと右光透過壁部２９ｄにそれぞれ対向する位置に配置されている。

【0069】

先に図５～図７を参照して説明したフラックス転写装置２００と同様、発光器３４は光路８４を進む光を出射し、フラックスポット２０の左光透過壁部２９ｃと右光透過壁部２９ｄを通った光は受光器３５に入射する。受光器３５は、透過光の光量を検出し、受光器３５が検出した透過光の光量が所定の閾値よりも大きいかどうかで、フラックス５０の液面５１が検出器３０の光路８４よりも低くなったかどうかを検出できる。

【0070】

実施形態のフラックス転写装置３００は、発光器３４と受光器３５とで構成される検出器３０をフラックスポット２０の左方と右方とに配置しているので、フラックス５０の発泡によりフラックス５０が検出器３０を汚損することがなく、安定してフラックス５０の残量を検出することができる。

【0071】

また、以上の説明では、フラックスポット２０は、左壁２３と右壁２４とにそれぞれ光が透過する左光透過壁部２９ｃと右光透過壁部２９ｄとが設けられているとして説明したがこれに限らず、全体が透明で透光性の材料で構成されてもよい。

【符号の説明】

【0072】

１２ ステージ、１３ 凹部、１４，１５ 表面、１６ 光透過部、１９ａ 前ベース部、１９ｂ 後ベース部、１９ｃ 左ベース部、１９ｄ 右ベース部、１９ｅ 下ベース部、２０ フラックスポット、２１ 前壁、２２ 後壁、２３ 左壁、２４ 右壁、２５ 底板、２６ 底面、２７ 貫通孔、２８ 内部、２９ａ 前光透過壁部、２９ｂ 後光透過壁部、２９ｃ 左光透過壁部、２９ｄ 右光透過壁部、３０ 検出器、３１ 発光部、３２ 受光部、３３ 演算回路、３４ 発光器、３５ 受光器、５０ フラックス、５１ 液面、８３，８４ 光路、１００，２００，３００ フラックス転写装置。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】