特許7352765IP Force 特許公報全文掲載

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技術分野

セラミックヒーターに関し、特に、熱損失が減少したシャフト（ｓｈａｆｔ）接合構造を有するセラミックヒーター

要約特許出願時に添付された[要約書]

本発明はセラミックヒーターに関し、本発明のセラミックヒーターは、発熱体が配置されたセラミック材質のヒータープレート、貫通ホールを有する管状であり、前記ヒータープレートの下面に結合し、前記貫通ホールを通じて前記発熱体に電力を供給するロッドを収容するシャフト、及び前記ヒータープレートと前記シャフトとが結合すように当接する接合部に設けられた連続的又は断続的なエアポケットを含み、前記エアポケットは前記接合部の接合面に沿って形成されている。
【選択図】図２

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

したがって、本発明は、上述した問題点を解決するために案出されたものであり、本発明の目的は、ヒータープレートとシャフトとの接合部にエアポケット（Ａｉｒ Ｐｏｃｋｅｔ）を設けて熱損失を減少させ、半導体装備のチャンバー内のリークの減少、熱応力の減少によるクラック発生の低減、及び熱損失経路の短縮による熱効率の増大を図ることができるセラミックヒーターを提供することにある。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

まず、本発明の特徴を要約すると、の目的を達成するための本発明の一面に係るセラミックヒーターは、発熱体が配置されたセラミック材質のヒータープレート；貫通ホールを有する管状のものであり、前記ヒータープレートの下面に結合し、前記貫通ホールを通じて前記発熱体に電力を供給するロッドを収容するシャフト；及び、前記ヒータープレートと前記シャフトとが結合すように当接する接合部に設けられた連続的又は断続的・・・　続きを知財ポータルサイト IP Force にログインして見る

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明に係るセラミックヒーターによれば、エアポケット（Ａｉｒ Ｐｏｃｋｅｔ）をヒータープレートとシャフトとの接合部に置くことによって熱損失を減少させることができる。前記エアポケットは、半導体装備のチャンバー内のリーク（ｌｅａｋ）の減少、熱応力の減少によるクラック発生の低減、及び熱損失経路の短縮による熱効率の増大を図ることができる。

この特許の権利範囲[特許請求の範囲]

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

本発明に関する理解を助けるために詳細な説明の一部として含まれる添付の図面は、本発明に関する実施例を提供し、詳細な説明と一緒に本発明の技術的思想を説明する。
【図1】 従来のセラミックヒーターを示す概略断面図である。
【図2】 本発明の一実施例に係るセラミックヒーターを示す概略断面図である。
【図3】 図２の接合部を示す拡大図である。
【図4】 図２の接合部の接合物質に形成されたエアポケットを説明するための図である。
【図5A】 本発明の他の実施例に係るセラミックヒーターの概略断面図及び接合部の拡大図である。
【図5B】 図５Ａの接合部のエアポケットの他の実施例である。
【図6】 図５Ａ及び図５Ｂのヒータープレートに形成されたエアポケットを説明するためのヒータープレートの底面図である。
【図7】 本発明の実施例のセラミックヒーターにおいて発熱体の配置経路に形成されたエアポケットを説明するための図である。

代表図 図2本件の代表的な図

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