特許 7353154 ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-21

(45)【発行日】2023-09-29

(54)【発明の名称】ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20230922BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 501

B41J2/14 301

B41J2/14 607

B41J2/14 605

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019215364

(22)【出願日】2019-11-28

(65)【公開番号】P2021084348

(43)【公開日】2021-06-03

【審査請求日】2022-09-02

(73)【特許権者】

【識別番号】501167725

【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001357

【氏名又は名称】弁理士法人つばさ国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藍 知季

(72)【発明者】

【氏名】山村 祐樹

(72)【発明者】

【氏名】平田 雅一

(72)【発明者】

【氏名】鈴木 研治

【審査官】佐藤 孝幸

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１５－１２０２９７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－０２４６２９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１７８０５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１５－１００９４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－２３４５３９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－１４４６９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０８９２２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０８９２２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許第０６０１０２０８（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／１４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

液体を噴射するヘッドチップであって、
複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートと
を備え、
前記複数の吐出溝が、それらの少なくとも一部が所定方向に沿って互いに重なるようにして、並んで配置されており、
前記複数のノズル孔のうちの前記所定方向に沿って隣接するノズル孔同士が、前記ノズルプレート内における前記吐出溝の延在方向に沿って、互いにずれて配置されており、
前記吐出溝ごとの前記第１貫通孔および前記第２貫通孔からなる貫通孔対が、前記吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、
前記貫通孔対における前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間の距離に対応する、前記吐出溝の延在方向に沿った前記壁部の長さが、全ての前記貫通孔対において同一になっている共に、
前記第１貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、前記第２貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長と、の間の大小関係が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士で、交互に入れ替わっている
ヘッドチップ。

【請求項2】

前記複数の吐出溝の全体が、前記所定方向に沿って互いに重なるようにして配置されており、
前記複数の吐出溝全体が、前記所定方向に沿って１列に配置されている
請求項１に記載のヘッドチップ。

【請求項3】

前記カバープレートは、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第１貫通孔の各々と連通している第１共通流路と、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第２貫通孔の各々と連通している第２共通流路と
を更に有しており、
前記第１共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第１流路幅が、前記所定方向に沿って一定になっていると共に、
前記第２共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第２流路幅が、前記所定方向に沿って一定になっている
請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項4】

前記カバープレートは、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第１貫通孔の各々と連通している第１共通流路と、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第２貫通孔の各々と連通している第２共通流路と
を更に有しており、
前記第１共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第１流路幅が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士における前記第１開口長の交互の変化に応じて、前記所定方向に沿って変化していると共に、
前記第２共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第２流路幅が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士における前記第２開口長の交互の変化に応じて、前記所定方向に沿って変化している
請求項１または請求項２に記載のヘッドチップ。

【請求項5】

液体を噴射するヘッドチップであって、
複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、
前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートと
を備え、
前記複数の吐出溝が、それらの少なくとも一部が所定方向に沿って互いに重なるようにして、並んで配置されており、
前記複数のノズル孔のうちの前記所定方向に沿って隣接するノズル孔同士が、前記ノズルプレート内における前記吐出溝の延在方向に沿って、互いにずれて配置されており、
前記吐出溝ごとの前記第１貫通孔および前記第２貫通孔からなる貫通孔対が、前記吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、
前記貫通孔対における前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間の距離に対応する、前記吐出溝の延在方向に沿った前記壁部の長さが、全ての前記貫通孔対において同一になっている共に、
前記第１貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、前記第２貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長とが、互いに同一になっており、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔がそれぞれ、前記所定方向に沿って、千鳥配置となっている
ヘッドチップ。

【請求項6】

前記複数の吐出溝における一部が、前記所定方向に沿って互いに重なるようにして配置されており、
前記複数の吐出溝全体が、前記所定方向に沿って千鳥配置となっている
請求項５に記載のヘッドチップ。

【請求項7】

前記アクチュエータプレートが、前記所定方向に沿って並設された複数の非吐出溝を更に有していると共に、
前記吐出溝と前記非吐出溝とが、前記所定方向に沿って交互に配置されており、
前記非吐出溝における前記非吐出溝の延在方向に沿った一方側は、前記ノズルプレート側へ向けて前記非吐出溝の断面積が徐々に小さくなる、曲面状の側面になっていると共に、
前記非吐出溝における前記非吐出溝の延在方向に沿った他方側は、前記アクチュエータプレートにおける前記非吐出溝の延在方向に沿った端部に至るまで、開口している
請求項１ないし請求項６のいずれか１項に記載のヘッドチップ。

【請求項8】

請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。

【請求項9】

請求項８に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

液体噴射ヘッドを備えた液体噴射記録装置が様々な分野に利用されており、液体噴射ヘッドとしては、各種方式のものが開発されている（例えば、特許文献１参照）。また、このような液体噴射ヘッドには、インク（液体）を噴射するヘッドチップが設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００４－１７４８５７号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

このようなヘッドチップ等では一般に、印刷画質を向上させることが求められている。印刷画質を向上させることが可能な、ヘッドチップ、液体噴射ヘッドおよび液体噴射記録装置を提供することが望ましい。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本開示の一実施の形態に係る第１のヘッドチップは、複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、吐出溝内に液体を流入させるための第１貫通孔と、吐出溝内から液体を流出させるための第２貫通孔と、吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートと、を備えたものである。上記複数の吐出溝は、それらの少なくとも一部が所定方向に沿って互いに重なるようにして、並んで配置されている。また、上記複数のノズル孔のうちの上記所定方向に沿って隣接するノズル孔同士は、ノズルプレート内における吐出溝の延在方向に沿って、互いにずれて配置されている。また、吐出溝ごとの第１貫通孔および第２貫通孔からなる貫通孔対が、吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、貫通孔対における第１貫通孔と第２貫通孔との間の距離に対応する、吐出溝の延在方向に沿った壁部の長さが、全ての貫通孔対において同一になっている共に、第１貫通孔における吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、第２貫通孔における吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長と、の間の大小関係が、上記所定方向に沿って隣接する貫通孔対同士で、交互に入れ替わっている。
本開示の一実施の形態に係る第２のヘッドチップは、複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと、吐出溝内に液体を流入させるための第１貫通孔と、吐出溝内から液体を流出させるための第２貫通孔と、吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートと、を備えたものである。上記複数の吐出溝は、それらの少なくとも一部が所定方向に沿って互いに重なるようにして、並んで配置されている。また、上記複数のノズル孔のうちの上記所定方向に沿って隣接するノズル孔同士は、ノズルプレート内における吐出溝の延在方向に沿って、互いにずれて配置されている。また、吐出溝ごとの第１貫通孔および第２貫通孔からなる貫通孔対が、吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、貫通孔対における第１貫通孔と第２貫通孔との間の距離に対応する、吐出溝の延在方向に沿った壁部の長さが、全ての貫通孔対において同一になっている共に、第１貫通孔における吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、第２貫通孔における吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長とが、互いに同一になっており、第１貫通孔および第２貫通孔がそれぞれ、上記所定方向に沿って、千鳥配置となっている。

【0006】

本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドは、本開示の一実施の形態に係る第１または第２のヘッドチップを備えたものである。

【0007】

本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置は、上記本開示の一実施の形態に係る液体噴射ヘッドを備えたものである。

【発明の効果】

【0008】

本開示の一実施の形態に係る第１および第２のヘッドチップ、液体噴射ヘッドならびに液体噴射記録装置によれば、印刷画質を向上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置の概略構成例を表す模式斜視図である。

【図2】ノズルプレートを取り外した状態における液体噴射ヘッドの構成例を表す模式底面図である。

【図3】図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。

【図4】図２に示したＩＶ－ＩＶ線に沿った断面構成例を表す模式図である。

【図5】図３，図４に示したカバープレートの上面側における液体噴射ヘッドの平面構成例を表す模式図である。

【図6】図３，図４に示したアクチュエータプレートの端部付近の平面構成例を表す模式図である。

【図7】比較例に係る液体噴射ヘッドにおいてノズルプレートを取り外した状態の構成例を表す模式底面図である。

【図8】図７に示したＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った断面構成例を表す模式図である。

【図9】変形例１に係る液体噴射ヘッドにおけるカバープレートの上面側の平面構成例を表す模式図である。

【図10】変形例１に係る液体噴射ヘッドにおける断面構成例を表す模式図である。

【図11】変形例１に係る液体噴射ヘッドにおける他の断面構成例を表す模式図である。

【図12】変形例２に係る液体噴射ヘッドにおけるカバープレートの上面側の平面構成例を表す模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
１．実施の形態（ノズル孔：千鳥配置，吐出溝：一列配置となっている構成の例）
２．変形例
変形例１（共通流路の流路幅が貫通孔の開口長に応じて変化する構成の例）
変形例２（ノズル孔および吐出溝ともに千鳥配置となっている構成の例）
３．その他の変形例

【0011】

＜１．実施の形態＞
［Ａ．プリンタ１の全体構成］
図１は、本開示の一実施の形態に係る液体噴射記録装置としてのプリンタ１の概略構成例を、模式的に斜視図にて表したものである。プリンタ１は、後述するインク９を利用して、被記録媒体としての記録紙Ｐに対して、画像や文字等の記録（印刷）を行うインクジェットプリンタである。なお、この被記録媒体としては、紙には限定されず、例えばセラミックやガラス等の、被記録可能な材質を含むものである。

【0012】

プリンタ１は、図１に示したように、一対の搬送機構２ａ，２ｂと、インクタンク３と、インクジェットヘッド４と、循環流路５０と、走査機構６とを備えている。これらの各部材は、所定形状を有する筺体１０内に収容されている。なお、本明細書の説明に用いられる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

【0013】

ここで、プリンタ１は、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例に対応し、インクジェットヘッド４（後述するインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）は、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。また、インク９は、本開示における「液体」の一具体例に対応している。

【0014】

搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、図１に示したように、記録紙Ｐを搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送する機構である。これらの搬送機構２ａ，２ｂはそれぞれ、グリッドローラ２１、ピンチローラ２２および駆動機構（不図示）を有している。この駆動機構は、グリッドローラ２１を軸周りに回転させる（Ｚ－Ｘ面内で回転させる）機構であり、例えばモータ等によって構成されている。

【0015】

（インクタンク３）
インクタンク３は、インク９を内部に収容するタンクである。このインクタンク３としては、この例では図１に示したように、イエロー（Ｙ），マゼンダ（Ｍ），シアン（Ｃ），ブラック（Ｋ）の４色のインク９を個別に収容する、４種類のタンクが設けられている。すなわち、イエローのインク９を収容するインクタンク３Ｙと、マゼンダのインク９を収容するインクタンク３Ｍと、シアンのインク９を収容するインクタンク３Ｃと、ブラックのインク９を収容するインクタンク３Ｋとが設けられている。これらのインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋは、筺体１０内において、Ｘ軸方向に沿って並んで配置されている。

【0016】

なお、インクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋはそれぞれ、収容するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクタンク３と総称して説明する。

【0017】

（インクジェットヘッド４）
インクジェットヘッド４は、後述する複数のノズル（ノズル孔Ｈ１，Ｈ２）から記録紙Ｐに対して液滴状のインク９を噴射（吐出）して、画像や文字等の記録（印刷）を行うヘッドである。このインクジェットヘッド４としても、この例では図１に示したように、上記したインクタンク３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋにそれぞれ収容されている４色のインク９を個別に噴射する、４種類のヘッドが設けられている。すなわち、イエローのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｙと、マゼンダのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｍと、シアンのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｃと、ブラックのインク９を噴射するインクジェットヘッド４Ｋとが設けられている。これらのインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋは、筺体１０内において、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

【0018】

なお、インクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋはそれぞれ、利用するインク９の色以外については同一の構成であるため、以下ではインクジェットヘッド４と総称して説明する。また、このインクジェットヘッド４の詳細構成例については、後述する（図２～図６）。

【0019】

（循環流路５０）
循環流路５０は、図１に示したように、流路５０ａ，５０ｂを有している。流路５０ａは、インクタンク３から送液ポンプ（不図示）を介して、インクジェットヘッド４へと至る部分の流路である。流路５０ｂは、インクジェットヘッド４から送液ポンプ（不図示）を介して、インクタンク３へと至る部分の流路である。言い換えると、流路５０ａは、インクタンク３からインクジェットヘッド４へと向かって、インク９が流れる流路である。また、流路５０ｂは、インクジェットヘッド４からインクタンク３へと向かって、インク９が流れる流路である。

【0020】

このようにして本実施の形態では、インクタンク３内とインクジェットヘッド４内との間で、インク９が循環するようになっている。なお、これらの流路５０ａ，５０ｂ（インク９の供給チューブ）はそれぞれ、例えば、可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。

【0021】

（走査機構６）
走査機構６は、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って、インクジェットヘッド４を走査させる機構である。この走査機構６は、図１に示したように、Ｙ軸方向に沿って延設された一対のガイドレール６１ａ，６１ｂと、これらのガイドレール６１ａ，６１ｂに移動可能に支持されたキャリッジ６２と、このキャリッジ６２をＹ軸方向に沿って移動させる駆動機構６３と、を有している。

【0022】

駆動機構６３は、ガイドレール６１ａ，６１ｂの間に配置された一対のプーリ６３１ａ，６３１ｂと、これらのプーリ６３１ａ，６３１ｂ間に巻回された無端ベルト６３２と、プーリ６３１ａを回転駆動させる駆動モータ６３３と、を有している。また、キャリッジ６２上には、前述した４種類のインクジェットヘッド４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋが、Ｙ軸方向に沿って並んで配置されている。

【0023】

このような走査機構６と前述した搬送機構２ａ，２ｂとにより、インクジェットヘッド４と記録紙Ｐとを相対的に移動させる、移動機構が構成されるようになっている。なお、このような方式の移動機構には限られず、例えば、インクジェットヘッド４を固定しつつ被記録媒体（記録紙Ｐ）のみを移動させることで、インクジェットヘッド４と被記録媒体とを相違的に移動させる方式（いわゆる「シングルパス方式」）であってもよい。

【0024】

［Ｂ．インクジェットヘッド４の詳細構成］
続いて、図１に加えて図２～図６を参照して、インクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）の詳細構成例について説明する。

【0025】

図２は、ノズルプレート４１１（後出）を取り外した状態におけるインクジェットヘッド４の構成例を、模式的に底面図（Ｘ－Ｙ底面図）で表したものである。図３は、図２に示したＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。同様に、図４は、図２に示したＩＶ－ＩＶ線に沿ったインクジェットヘッド４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。また、図５は、図３，図４に示したカバープレート４１３（後出）の上面側におけるインクジェットヘッド４の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。図６は、図３，図４に示したアクチュエータプレート４１２（後出）におけるＹ軸方向に沿った端部付近の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。

【0026】

なお、図３～図６においては、後述する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよび後述するノズル孔Ｈ１，Ｈ２のうち、後述するノズル列Ａｎ１に対応して配置された、吐出チャネルＣ１ｅおよびノズル孔Ｈ１について、便宜上、代表して図示している。つまり、後述するノズル列Ａｎ２に対応して配置された、吐出チャネルＣ２ｅおよびノズル孔Ｈ２についても、同様の構成となっているため、図示を省略する。

【0027】

本実施の形態のインクジェットヘッド４は、後述するヘッドチップ４１における複数のチャネル（複数のチャネルＣ１および複数のチャネルＣ２）の延在方向（Ｙ軸方向）の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドである。また、このインクジェットヘッド４は、前述した循環流路５０を用いることで、インクタンク３との間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドである。

【0028】

図３，図４に示したように、インクジェットヘッド４は、ヘッドチップ４１を備えている。また、このインクジェットヘッド４には、図示しない制御機構（ヘッドチップ４１の動作を制御する機構）として、回路基板およびフレキシブルプリント基板（Flexible Printed Circuits：ＦＰＣ）が設けられている。

【0029】

回路基板は、ヘッドチップ４１を駆動するための駆動回路（電気回路）を搭載する基板である。フレキシブルプリント基板は、この回路基板上の駆動回路と、ヘッドチップ４１における後述する駆動電極Ｅｄとの間を、電気的に接続するための基板である。なお、このようなフレキシブルプリント基板には、複数の引き出し電極がプリント配線されるようになっている。

【0030】

ヘッドチップ４１は、図３，図４に示したように、インク９をＺ軸方向に沿って噴射する部材であり、各種のプレートを用いて構成されている。具体的には図３，図４に示したように、ヘッドチップ４１は、ノズルプレート（噴射孔プレート）４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３を、主に備えている。これらのノズルプレート４１１、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３はそれぞれ、例えば接着剤等を用いて互いに貼り合わされており、Ｚ軸方向に沿ってこの順に積層されている。なお、以下では、Ｚ軸方向に沿ってカバープレート４１３側を上方と称すると共に、ノズルプレート４１１側を下方と称して説明する。

【0031】

（ノズルプレート４１１）
ノズルプレート４１１は、例えば５０μｍ程度の厚みを有する、ポリイミド等のフィルム材からなり、図３，図４に示したように、アクチュエータプレート４１２の下面に接着されている。ただし、ノズルプレート４１１の構成材料は、ポリイミド等の樹脂材料には限られず、例えば金属材料であってもよい。

【0032】

また、図２に示したように、このノズルプレート４１１には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のノズル列（ノズル列Ａｎ１，Ａｎ２）が設けられている。これらのノズル列Ａｎ１，Ａｎ２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。このように、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）は、２列タイプのインクジェットヘッド（ヘッドチップ）となっている。

【0033】

ノズル列Ａｎ１は、詳細は後述するが、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ１を有している。これらのノズル孔Ｈ１はそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通しており、例えば図３，図４に示したように、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ１ｅ内に個別に連通している。また、ノズル孔Ｈ１におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ１ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一（同一ピッチ）となっている。このようなノズル列Ａｎ１内のノズル孔Ｈ１からは、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ１ｅ内から供給されるインク９が吐出（噴射）されるようになっている。

【0034】

ノズル列Ａｎ２も同様に、詳細は後述するが、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて並んで形成された、複数のノズル孔Ｈ２を有している。これらのノズル孔Ｈ２もそれぞれ、ノズルプレート４１１をその厚み方向に沿って貫通しており、後述するアクチュエータプレート４１２における吐出チャネルＣ２ｅ内に個別に連通している。また、ノズル孔Ｈ２におけるＸ軸方向に沿った形成ピッチは、吐出チャネルＣ２ｅにおけるＸ軸方向に沿った形成ピッチと同一となっている。このようなノズル列Ａｎ２内のノズル孔Ｈ２からも、詳細は後述するが、吐出チャネルＣ２ｅ内から供給されるインク９が吐出されるようになっている。

【0035】

また、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における各ノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２における各ノズル孔Ｈ２とは、Ｘ軸方向に沿って互い違いとなるように配置されている。したがって、本実施の形態のインクジェットヘッド４では、ノズル列Ａｎ１におけるノズル孔Ｈ１と、ノズル列Ａｎ２におけるノズル孔Ｈ２とが、千鳥状に配置（千鳥配置）されている。なお、このようなノズル孔Ｈ１，Ｈ２はそれぞれ、下方に向かうに従って漸次縮径するテーパ状の貫通孔となっている（図３，図４参照）。

【0036】

ここで、本実施の形態のノズルプレート４１１では、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士が、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。つまり、このノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１全体が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置されている。具体的には、図２に示したように、ノズル列Ａｎ１における複数のノズル孔Ｈ１が、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ１１に属する複数のノズル孔Ｈ１１と、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ１２に属する複数のノズル孔Ｈ１２と、を含むようになっている。また、各ノズル孔Ｈ１１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（後述する第１供給スリットＳin１側）に、ずれて配置されている。一方、各ノズル孔Ｈ１２は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の負側（後述する第１排出スリットＳout１側）に、ずれて配置されている。

【0037】

同様にして、このノズルプレート４１１では、図２に示したように、ノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ２同士が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。つまり、このノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２全体が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置されている。具体的には、図２に示したように、ノズル列Ａｎ２における複数のノズル孔Ｈ２が、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ２１に属する複数のノズル孔Ｈ２１と、Ｘ軸方向に沿って延在するノズル列Ａｎ２２に属する複数のノズル孔Ｈ２２と、を含むようになっている。また、各ノズル孔Ｈ２１は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の負側（後述する第２供給スリット側）に、ずれて配置されている。一方、各ノズル孔Ｈ２２は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（後述する第２排出スリット側）に、ずれて配置されている。

【0038】

なお、このようなノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２），Ｈ２（Ｈ２１，Ｈ２２）の配置構成の詳細については、後述する。

【0039】

（アクチュエータプレート４１２）
アクチュエータプレート４１２は、例えばＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電材料により構成されたプレートである。このアクチュエータプレート４１２は、図３，図４に示したように、分極方向が互いに異なる２つの圧電基板を、厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って積層して構成されている（いわゆる、シェブロンタイプ）。ただし、アクチュエータプレート４１２の構成としては、このシェブロンタイプには限られない。すなわち、例えば、分極方向が厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って一方向に設定されている１つ（単一）の圧電基板によって、アクチュエータプレート４１２を構成するようにしてもよい（いわゆる、カンチレバータイプ）。

【0040】

また、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２には、Ｘ軸方向に沿ってそれぞれ延在する、２列のチャネル列（チャネル列４２１，４２２）が設けられている。これらのチャネル列４２１，４２２同士は、Ｙ軸方向に沿って所定の間隔をおいて配置されている。

【0041】

このようなアクチュエータプレート４１２では、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿った中央部（チャネル列４２１，４２２の形成領域）に、インク９の吐出領域（噴射領域）が設けられている。一方、アクチュエータプレート４１２において、Ｘ軸方向に沿った両端部（チャネル列４２１，４２２の非形成領域）には、インク９の非吐出領域（非噴射領域）が設けられている。この非吐出領域は、上記した吐出領域に対して、Ｘ軸方向に沿った外側に位置している。なお、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った両端部はそれぞれ、図２に示したように、尾部４２０を構成している。

【0042】

上記したチャネル列４２１は、図２に示したように、複数のチャネルＣ１を有している。これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、アクチュエータプレート４１２内において、Ｙ軸方向に沿って延在している。また、これらのチャネルＣ１は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ１は、圧電体（アクチュエータプレート４１２）からなる駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、Ｚ－Ｘ断面の断面視にて、凹状の溝部となっている。

【0043】

チャネル列４２２も同様に、図２に示したように、Ｙ軸方向に沿って延在する複数のチャネルＣ２を有している。これらのチャネルＣ２は、図２に示したように、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。各チャネルＣ２もまた、上記した駆動壁Ｗｄによってそれぞれ画成されており、Ｚ－Ｘ断面の断面視にて、凹状の溝部となっている。

【0044】

ここで、図２～図６に示したように、チャネルＣ１には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ１ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ１ｄ（非吐出溝）とが存在している。各吐出チャネルＣ１ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ１と連通している一方（図３，図４参照）、各ダミーチャネルＣ１ｄはノズル孔Ｈ１には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている。

【0045】

複数の吐出チャネルＣ１ｅは、それらの少なくとも一部が所定方向（Ｘ軸方向）に沿って互いに重なるようにして並設されており、特に図２の例では、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って互いに重なるようにして配置されている。これにより図２に示したように、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されるようになっている。同様にして、複数のダミーチャネルＣ１ｄは、Ｘ軸方向に沿って並設されており、図２の例では、複数のダミーチャネルＣ１ｄ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されている。また、このチャネル列４２１では、このような吐出チャネルＣ１ｅとダミーチャネルＣ１ｄとが、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている（図２参照）。

【0046】

また、図２～図４に示したように、チャネルＣ２には、インク９を吐出させるための吐出チャネルＣ２ｅ（吐出溝）と、インク９を吐出させないダミーチャネルＣ２ｄ（非吐出溝）とが存在している。各吐出チャネルＣ２ｅは、ノズルプレート４１１におけるノズル孔Ｈ２と連通している一方、各ダミーチャネルＣ２ｄはノズル孔Ｈ２には連通しておらず、ノズルプレート４１１の上面によって下方から覆われている（図３，図４参照）。

【0047】

複数の吐出チャネルＣ２ｅは、それらの少なくとも一部が所定方向（Ｘ軸方向）に沿って互いに重なるようにして並設されており、特に図２の例では、複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って互いに重なるようにして配置されている。これにより図２に示したように、複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されるようになっている。同様にして、複数のダミーチャネルＣ２ｄは、Ｘ軸方向に沿って並設されており、図２の例では、複数のダミーチャネルＣ２ｄ全体が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されている。また、このチャネル列４２２では、このような吐出チャネルＣ２ｅとダミーチャネルＣ２ｄとが、Ｘ軸方向に沿って交互に配置されている（図２参照）。

【0048】

なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅはそれぞれ、本開示における「吐出溝」の一具体例に対応しており、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄはそれぞれ、本開示における「非吐出溝」の一具体例に対応している。また、Ｘ軸方向は、本開示における「所定方向」の一具体例に対応しており、Ｙ軸方向は、本開示における「吐出溝の延在方向」の一具体例に対応している。

【0049】

ここで、図２～図４に示したように、チャネル列４２１における吐出チャネルＣ１ｅと、チャネル列４２２におけるダミーチャネルＣ２ｄとは、これらの吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、一直線上に配置されている。また、図２に示したように、チャネル列４２１におけるダミーチャネルＣ１ｄと、チャネル列４２２における吐出チャネルＣ２ｅとは、これらのダミーチャネルＣ１ｄおよび吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、一直線上に配置されている。

【0050】

また、例えば図４に示したように、各吐出チャネルＣ１ｅは、カバープレート４１３側（上方）からノズルプレート４１１側（下方）へ向けて各吐出チャネルＣ１ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。同様に、各吐出チャネルＣ２ｅは、カバープレート４１３側からノズルプレート４１１側へ向けて各吐出チャネルＣ２ｅの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面を有している。なお、このような吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面はそれぞれ、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。

【0051】

なお、図３，図４に示した吐出チャネルＣ１ｅ付近（および吐出チャネルＣ２ｅ付近）の詳細構成については、後述する。

【0052】

また、図３，図４，図６に示したように、前述した駆動壁ＷｄにおいてＸ軸方向に沿って対向する内側面にはそれぞれ、Ｙ軸方向に沿って延在する、駆動電極Ｅｄが設けられている。この駆動電極Ｅｄには、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに面する内側面に設けられた共通電極（コモン電極）Ｅｄｃと、ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄに面する内側面に設けられた個別電極（アクティブ電極）Ｅｄａと、が存在している。なお、このような駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）は、駆動壁Ｗｄの内側面上において、深さ方向（Ｚ軸方向）の全体に亘って形成されている（図３，図４参照）。

【0053】

同一の吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）内で対向する一対の共通電極Ｅｄｃ同士は、図示しない共通端子（共通配線）において互いに電気的に接続されている。また、同一のダミーチャネルＣ１ｄ（またはダミーチャネルＣ２ｄ）内で対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、互いに電気的に分離されている。一方、吐出チャネルＣ１ｅ（または吐出チャネルＣ２ｅ）を介して対向する一対の個別電極Ｅｄａ同士は、図示しない個別端子（個別配線）において、互いに電気的に接続されている。

【0054】

ここで、前述した尾部４２０（アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部付近）においては、駆動電極Ｅｄと前述した回路基板との間を電気的に接続するための、前述したフレキシブルプリント基板が実装されている。このフレキシブルプリント基板に形成された配線パターン（不図示）は、上記した共通配線および個別配線に対して電気的に接続されている。これにより、フレキシブルプリント基板を介して、上記した回路基板上の駆動回路から各駆動電極Ｅｄに対して、駆動電圧が印加されるようになっている。

【0055】

また、アクチュエータプレート４１２における尾部４２０では、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおいて、それらの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った端部が、以下のような構成となっている。

【0056】

すなわち、まず、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄでは、それらの延在方向に沿った一方側は、ノズルプレート４１１側へ向けて各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの断面積が徐々に小さくなる、円弧状の側面になっている（図３，図４参照）。なお、このようなダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける円弧状の側面もそれぞれ、前述した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける円弧状の側面と同様に、例えば、ダイサーによる切削加工によって形成されるようになっている。これに対して、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおいて、それらの延在方向に沿った他方側（尾部４２０側）は、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部に至るまで、開口している（図３，図４，図６中の破線で示した符号Ｐ２参照）。また、例えば図３，図４，図６に示したように、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内におけるＸ軸方向に沿った両側面に対向配置された各個別電極Ｅｄａもまた、アクチュエータプレート４１２におけるＹ軸方向に沿った端部に至るまで、延在するようになっている。

【0057】

なお、詳細は後述するが、図６中に示した加工スリットＳＬはそれぞれ、アクチュエータプレート４１２の表面上の個別電極Ｅｄａおよび共通電極Ｅｄｃ同士を離隔するように、Ｙ軸方向に沿って形成されたスリットであり、例えば以下のようにして形成される。すなわち、これらの加工スリットＳＬはそれぞれ、アクチュエータプレート４１２の形成の際に、例えば、所定のレーザ加工によって形成されたものとなっている。また、個別電極Ｅｄａおよび共通電極Ｅｄｃはそれぞれ、これらの電極とそれぞれ電気的に接続されていると共に前述したフレキシブルプリント基板と電気的に接続されるパッド部分である、個別電極パッドＰｄａおよび共通電極パッドＰｄｃを含んでいる（図６参照）。また、これらの共通電極パッドＰｄｃおよび個別電極パッドＰｄａの間においてこれらのパッドを隔離する溝Ｄ（図６参照）は、上記した所定のレーザ加工後に、ダイサーによって切削加工されることで、形成されるようになっている。

【0058】

（カバープレート４１３）
カバープレート４１３は、図３～図５に示したように、アクチュエータプレート４１２における各チャネルＣ１，Ｃ２（各チャネル列４２１，４２２）を閉塞するように配置されている。具体的には、このカバープレート４１３は、アクチュエータプレート４１２の上面に接着されており、板状構造となっている。

【0059】

カバープレート４１３には、図３～図５に示したように、一対の入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２と、一対の出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２と、壁部Ｗ１，Ｗ２とが、それぞれ形成されている。

【0060】

壁部Ｗ１は、吐出チャネルＣ１ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄの上方を覆うように配置されており、壁部Ｗ２は、吐出チャネルＣ２ｅおよびダミーチャネルＣ２ｄの上方を覆うように配置されている（図３，図４参照）。

【0061】

入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、例えば図５に示したように、Ｘ軸方向に沿って延在していると共に、Ｘ軸方向に沿って所定の間隔をおいて互いに平行となるよう、並んで配置されている。このうち、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２１（複数のチャネルＣ１）に対応する領域に、形成されている（図３～図５参照）。一方、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はそれぞれ、アクチュエータプレート４１２におけるチャネル列４２２（複数のチャネルＣ２）に対応する領域に、形成されている（図３，図４参照）。

【0062】

なお、このような入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２はそれぞれ、本開示における「第１共通流路」の一具体例に対応している。また、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２はそれぞれ、本開示における「第２共通流路」の一具体例に対応している。

【0063】

入口側共通流路Ｒin１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３～図５参照）。この入口側共通流路Ｒin１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向（Ｚ軸方向）に沿って貫通する、第１供給スリットＳin１が形成されている（図３～図５参照）。同様に、入口側共通流路Ｒin２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った内側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３，図４参照）。この入口側共通流路Ｒin２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第２供給スリット（不図示）が形成されている。

【0064】

なお、これらの第１供給スリットＳin１および第２供給スリットはそれぞれ、本開示における「第１貫通孔」の一具体例に対応している。

【0065】

出口側共通流路Ｒout１は、各チャネルＣ１におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３～図５参照）。この出口側共通流路Ｒout１において、各吐出チャネルＣ１ｅに対応する領域には、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第１排出スリットＳout１が形成されている（図３～図５参照）。同様に、出口側共通流路Ｒout２は、各チャネルＣ２におけるＹ軸方向に沿った外側の端部付近に形成されており、凹状の溝部となっている（図３，図４参照）。この出口側共通流路Ｒout２において、各吐出チャネルＣ２ｅに対応する領域にも、カバープレート４１３をその厚み方向に沿って貫通する、第２排出スリット（不図示）が形成されている。

【0066】

なお、これらの第１排出スリットＳout１および第２排出スリットはそれぞれ、本開示における「第２貫通孔」の一具体例に対応している。

【0067】

ここで、例えば図５に示したように、このような吐出チャネルＣ１ｅごとの第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１とによって、第１スリット対Ｓｐ１が構成されている。この第１スリット対Ｓｐ１では、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１とが、並んで配置されている。同様に、吐出チャネルＣ２ｅごとの第２供給スリットと第２排出スリットとによって、第２スリット対（不図示）が構成されている。この第２スリット対では、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、第２供給スリットと第２排出スリットとが、並んで配置されている。

【0068】

なお、このような第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対はそれぞれ、本開示における「貫通孔対」の一具体例に対応している。

【0069】

このようにして、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はそれぞれ、第１供給スリットＳin１および第１排出スリットＳout１を介して、各吐出チャネルＣ１ｅに連通するようになっている（図３～図５参照）。すなわち、入口側共通流路Ｒin１は、上記した第１スリット対Ｓｐ１ごとの第１供給スリットＳin１の各々と連通している共通流路であり、出口側共通流路Ｒout１は、第１スリット対Ｓｐ１ごとの第１排出スリットＳout１の各々と連通している共通流路となっている（図５参照）。そして、第１供給スリットＳin１および第１排出スリットＳout１はそれぞれ、吐出チャネルＣ１ｅとの間でインク９が流れる貫通孔となっている。詳細には、図３，図４中の破線の矢印で示したように、第１供給スリットＳin１は、吐出チャネルＣ１ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、第１排出スリットＳout１は、吐出チャネルＣ１ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔となっている。一方、各ダミーチャネルＣ１ｄには、入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１はいずれも、連通していない。具体的には、各ダミーチャネルＣ１ｄは、これらの入口側共通流路Ｒin１および出口側共通流路Ｒout１における底部によって、閉塞されるようになっている。

【0070】

同様に、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はそれぞれ、第２供給スリットおよび第２排出スリットを介して、各吐出チャネルＣ２ｅに連通するようになっている。すなわち、入口側共通流路Ｒin２は、上記した第２スリット対ごとの第２供給スリットの各々と連通している共通流路であり、出口側共通流路Ｒout２は、第２スリット対ごとの第２排出スリットの各々と連通している共通流路となっている。そして、第２供給スリットおよび第２排出スリットはそれぞれ、吐出チャネルＣ２ｅとの間でインク９が流れる貫通孔となっている。詳細には、第２供給スリットは、吐出チャネルＣ２ｅ内にインク９を流入させるための貫通孔であり、第２排出スリットは、吐出チャネルＣ２ｅ内からインク９を流出させるための貫通孔となっている。一方、各ダミーチャネルＣ２ｄには、入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２はいずれも、連通していない（図３，図４参照）。具体的には、各ダミーチャネルＣ２ｄは、これらの入口側共通流路Ｒin２および出口側共通流路Ｒout２における底部によって、閉塞されるようになっている（図３，図４参照）。

【0071】

［Ｃ．吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近の詳細構成］
次に、図２～図５を参照して、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近における、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２およびカバープレート４１３の詳細構成について、説明する。

【0072】

まず、本実施の形態のヘッドチップ４１では、前述したように、複数のノズル孔Ｈ１が、２種類のノズル孔Ｈ１１，Ｈ１２を含んでいると共に、複数のノズル孔Ｈ２も、２種類のノズル孔Ｈ２１，Ｈ２２を含んでいる（図２参照）。

【0073】

ここで、各ノズル孔Ｈ１１の中心位置Ｐｎ１１は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置Ｐｃ１（＝壁部Ｗ１のＹ軸方向に沿った中心位置）を基準として、Ｙ軸方向の正側（第１供給スリットＳin１側）に、ずれて配置されている（図３，図５参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２１の中心位置は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置（＝壁部Ｗ２のＹ軸方向に沿った中心位置）を基準として、Ｙ軸方向の負側（第２供給スリット側）に、ずれて配置されている（図２参照）。

【0074】

一方、各ノズル孔Ｈ１２の中心位置Ｐｎ１２は、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向に沿った中心位置Ｐｃ１を基準として、Ｙ軸方向の負側（第１排出スリットＳout１側）に、ずれて配置されている（図４，図５参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２２の中心位置は、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置を基準として、Ｙ軸方向の正側（第２排出スリット側）に、ずれて配置されている（図２参照）。

【0075】

したがって、各ノズル孔Ｈ１１と連通する吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１）においては、第１供給スリットＳin１と連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第１入口側流路断面積Ｓｆin１）が、第１排出スリットＳout１と連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第１出口側流路断面積Ｓｆout１）よりも、小さくなっている（Ｓｆin１＜Ｓｆout１：図３参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ２ｅにおいては、第２供給スリットと連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第２入口側流路断面積）が、第２排出スリットと連通する部分におけるインク９の流路の断面積（第２出口側流路断面積）よりも、小さくなっている（Ｓｆin２＜Ｓｆout２）。

【0076】

一方、各ノズル孔Ｈ１２と連通する吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１）においては、逆に、上記した第１出口側流路断面積Ｓｆout１が、上記した第１入口側流路断面積Ｓｆin１よりも、小さくなっている（Ｓｆout１＜Ｓｆin１：図４参照）。同様に、各ノズル孔Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ２ｅにおいても、逆に、上記した第２出口側流路断面積Ｓｆout２が、上記した第２入口側流路断面積Ｓｆin２よりも、小さくなっている（Ｓｆout２＜Ｓｆin２）。

【0077】

また、このヘッドチップ４１では、前述した第１スリット対Ｓｐ１における第１供給スリットＳin１と第１排出スリットＳout１との間の距離に対応する、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）の長さ（第１ポンプ長Ｌｗ１：図３，図４参照）が、全ての第１スリット対Ｓｐ１において同一になっている（図５参照）。同様に、前述した第２スリット対における第２供給スリットと第２排出スリットとの間の距離に対応する、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）の長さ（第２ポンプ長）も、全ての第２スリット対において同一になっている。

【0078】

そして、このヘッドチップ４１では、第１供給スリットＳin１におけるＹ軸方向の長さ（第１供給スリット長Ｌin１）と、第１排出スリットＳout１におけるＹ軸方向の長さ（第１排出スリット長Ｌout１）との間の大小関係が、Ｘ軸方向に沿って隣接する第１スリット対Ｓｐ１同士で、交互に入れ替わっている（図５参照）。すなわち、例えば、ある第１スリット対Ｓｐ１において、（Ｌin１＞Ｌout１）という大小関係である場合、その第１スリット対Ｓｐ１の両隣に位置する第１スリット対Ｓｐ１ではそれぞれ、逆に、（Ｌin１＜Ｌout１）という大小関係になっている。また、例えば、ある第１スリット対Ｓｐ１において、（Ｌin１＜Ｌout１）という大小関係である場合、その第１スリット対Ｓｐ１の両隣に位置する第１スリット対Ｓｐ１ではそれぞれ、逆に、（Ｌin１＞Ｌout１）という大小関係になっている。

【0079】

同様に、第２供給スリットにおけるＹ軸方向の長さ（第２供給スリット長）と、第２排出スリットにおけるＹ軸方向の長さ（第２排出スリット長）との間の大小関係も、Ｘ軸方向に沿って隣接する第２スリット対同士で、上記したようにして、交互に入れ替わっている。

【0080】

更に、このヘッドチップ４１では、入口側共通流路Ｒin１におけるＹ軸方向の長さ（第１入口側流路幅Ｗin１）が、この入口側共通流路Ｒin１の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている（図５参照）。また、出口側共通流路Ｒout１におけるＹ軸方向の長さ（第１出口側流路幅Ｗout１）も、この出口側共通流路Ｒout１の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている（図５参照）。

【0081】

同様に、入口側共通流路Ｒin２におけるＹ軸方向の長さ（第２入口側流路幅）も、この入口側共通流路Ｒin２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている。また、出口側共通流路Ｒout２におけるＹ軸方向の長さ（第２出口側流路幅）も、この出口側共通流路Ｒout２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、一定となっている。

【0082】

なお、上記した第１ポンプ長Ｌｗ１および第２ポンプ長はそれぞれ、本開示における「壁部の長さ」の一具体例に対応している。また、上記した第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長はそれぞれ、本開示における「第１開口長」の一具体例に対応し、上記した第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長はそれぞれ、本開示における「第２開口長」の一具体例に対応している。また、上記した第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅はそれぞれ、本開示における「第１流路幅」の一具体例に対応し、上記した第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅はそれぞれ、本開示における「第２流路幅」の一具体例に対応している。

【0083】

［動作および作用・効果］
（Ａ．プリンタ１の基本動作）
このプリンタ１では、以下のようにして、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作（印刷動作）が行われる。なお、初期状態として、図１に示した４種類のインクタンク３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）にはそれぞれ、対応する色（４色）のインク９が十分に封入されているものとする。また、インクタンク３内のインク９は、循環流路５０を介してインクジェットヘッド４内に充填された状態となっている。

【0084】

このような初期状態において、プリンタ１を作動させると、搬送機構２ａ，２ｂにおけるグリッドローラ２１がそれぞれ回転することで、グリッドローラ２１とピンチローラ２２との間に、記録紙Ｐが搬送方向ｄ（Ｘ軸方向）に沿って搬送される。また、このような搬送動作と同時に、駆動機構６３における駆動モータ６３３が、プーリ６３１ａ，６３１ｂをそれぞれ回転させることで、無端ベルト６３２を動作させる。これにより、キャリッジ６２がガイドレール６１ａ，６１ｂにガイドされながら、記録紙Ｐの幅方向（Ｙ軸方向）に沿って往復移動する。そしてこの際に、各インクジェットヘッド４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ）によって、４色のインク９を記録紙Ｐに適宜吐出させることで、この記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作がなされる。

【0085】

（Ｂ．インクジェットヘッド４における詳細動作）
続いて、インクジェットヘッド４における詳細動作（インク９の噴射動作）について説明する。すなわち、このインクジェットヘッド４（サイドシュートタイプ）では、以下のようにして、せん断（シェア）モードを用いたインク９の噴射動作が行われる。

【0086】

まず、上記したキャリッジ６２（図１参照）の往復移動が開始されると、前述した回路基板上の駆動回路は、前述したフレキシブルプリント基板を介して、インクジェットヘッド４内の駆動電極Ｅｄ（共通電極Ｅｄｃおよび個別電極Ｅｄａ）に対し、駆動電圧を印加する。具体的には、この駆動回路は、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅを画成する一対の駆動壁Ｗｄに配置された各駆動電極Ｅｄに対し、駆動電圧を印加する。これにより、これら一対の駆動壁Ｗｄがそれぞれ、その吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅに隣接するダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ側へ、突出するように変形する。

【0087】

ここで、アクチュエータプレート４１２の構成が、前述したシェブロンタイプになっていることから、上記した駆動回路によって駆動電圧を印加することで、駆動壁Ｗｄにおける深さ方向の中間位置を中心として、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形することになる。そして、このような駆動壁Ｗｄの屈曲変形により、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形する。

【0088】

ちなみに、アクチュエータプレート４１２の構成が、このようなシェブロンタイプではなく、前述したカンチレバータイプである場合には、以下のようにして、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形する。すなわち、このカンチレバータイプの場合、駆動電極Ｅｄが深さ方向の上半分まで斜め蒸着によって取り付けられることになるため、この駆動電極Ｅｄが形成されている部分のみに駆動力が及ぶことによって、駆動壁Ｗｄが（駆動電極Ｅｄの深さ方向端部において）屈曲変形する。その結果、この場合においても、駆動壁ＷｄがＶ字状に屈曲変形するため、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅがあたかも膨らむように変形することになる。

【0089】

このように、一対の駆動壁Ｗｄでの圧電厚み滑り効果による屈曲変形によって、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大する。そして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が増大することにより、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２内に貯留されたインク９が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されることになる。

【0090】

次いで、このようにして吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へ誘導されたインク９は、圧力波となって吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの内部に伝播する。そして、ノズルプレート４１１のノズル孔Ｈ１，Ｈ２にこの圧力波が到達したタイミング（またはその近傍のタイミング）で、駆動電極Ｅｄに印加される駆動電圧が、０（ゼロ）Ｖとなる。これにより、上記した屈曲変形の状態から駆動壁Ｗｄが復元する結果、一旦増大した吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が、再び元に戻ることになる。

【0091】

このようにして、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの容積が元に戻る過程で、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内部の圧力が増加し、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９が加圧される。その結果、液滴状のインク９が、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２を通って外部へと（記録紙Ｐへ向けて）吐出される（図３，図４参照）。このようにしてインクジェットヘッド４におけるインク９の噴射動作（吐出動作）がなされ、その結果、記録紙Ｐに対する画像や文字等の記録動作が行われる。

【0092】

（Ｃ．インク９の循環動作）
続いて、図１，図３，図４を参照して、循環流路５０を介したインク９の循環動作について、詳細に説明する。

【0093】

このプリンタ１では、前述した送液ポンプによって、インクタンク３内から流路５０ａ内へと、インク９が送液される。また、流路５０ｂ内を流れるインク９が、前述した送液ポンプによって、インクタンク３内へと送液される。

【0094】

この際に、インクジェットヘッド４内では、インクタンク３内から流路５０ａを介して流れるインク９が、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２へと流入する。これらの入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２へと供給されたインク９は、第１供給スリットＳin１または第２供給スリットを介して、アクチュエータプレート４１２における各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内へと供給される（図３，図４参照）。

【0095】

また、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ内のインク９は、第１排出スリットＳout１または第２排出スリットを介して、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２内へと流入する（図３，図４参照）。これらの出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２へ供給されたインク９は、流路５０ｂへと排出されることで、インクジェットヘッド４内から流出される。そして、流路５０ｂへと排出されたインク９は、インクタンク３内へと戻されることになる。このようにして、循環流路５０を介したインク９の循環動作がなされる。

【0096】

ここで、循環式ではないインクジェットヘッドでは、乾燥性の高いインクを使用した場合、ノズル孔の近傍でのインクの乾燥に起因して、インクの局所的な高粘度化や固化が生じる結果、インク不吐出の不良が発生するおそれがある。これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（循環式のインクジェットヘッド）では、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の近傍に常に新鮮なインク９が供給されることから、上記したようなインク不吐出の不良が回避されることになる。

【0097】

（Ｄ．作用・効果）
次に、本実施の形態のインクジェットヘッド４における作用および効果について、比較例と比較しつつ、詳細に説明する。

【0098】

（Ｄ－１．比較例）
図７は、比較例に係るインクジェットヘッド１０４において、比較例に係るノズルプレート１０１（後出）を取り外した状態の構成例を、模式的に底面図（Ｘ－Ｙ底面図）で表したものである。図８は、図７に示したＶＩＩＩ－ＶＩＩＩ線に沿った、比較例に係るインクジェットヘッド１０４の断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。

【0099】

図７，図８に示したように、この比較例のインクジェットヘッド１０４（ヘッドチップ１００）は、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）において、各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の配置構成を異ならせたものに対応している。

【0100】

具体的には、この比較例のノズルプレート１０１では、本実施の形態のノズルプレート４１１とは異なり、各ノズル列Ａｎ１０１，１０２内のノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれ、各ノズル列Ａｎ１０１，１０２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、１列に並んで配置されている（図７参照）。つまり、前述した本実施の形態の場合とは異なり、この比較例では、各ノズル孔Ｈ１の中心位置Ｐｎ１が、吐出チャネルＣ１ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置Ｐｃ１（＝壁部Ｗ１のＹ軸方向に沿った中心位置）と、一致するようになっている（図８参照）。同様に、この比較例では、各ノズル孔Ｈ２の中心位置が、吐出チャネルＣ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った中心位置（＝壁部Ｗ２のＹ軸方向に沿った中心位置）と、一致するようになっている

【0101】

このような比較例では、上記したように、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って１列に並んで配置されていることから、例えば印刷画素の高解像度化等に伴い、隣接するノズル孔Ｈ１間の距離や、隣接するノズル孔Ｈ２間の距離が、小さくなった場合に、例えば以下のようなおそれがある。すなわち、このような場合、同時期に噴射されて被記録媒体（記録紙Ｐ等）へ向けて飛翔している液滴間の距離が減少することから、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から被記録媒体の間にて飛翔中の液滴が、局所的に集中するケースがある。これにより、飛翔した各液滴に及ぼす影響（気流の発生）が増大する結果、被記録媒体上において木目調の濃度むらが発生し、印刷画質が低下してしまうおそれがある。

【0102】

（Ｄ－２．本実施の形態）
これに対して、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）では、複数のノズル孔Ｈ１，Ｈ２のうち、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（およびＸ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿って、互いにずれて配置されている。

【0103】

これにより本実施の形態では、隣接するノズル孔Ｈ１間の距離（および隣接するノズル孔Ｈ２間の距離）が、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２がそれぞれＸ軸方向に沿って１列に並んで配置されている場合（上記比較例）と比べ、大きくなる。このため、同時期に噴射されて被記録媒体（記録紙Ｐ等）へ向けて飛翔している液滴間の距離が増加することから、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２から被記録媒体の間にて飛翔中の液滴が局所的に集中することを、緩和させることができる。これにより本実施の形態では、飛翔した各液滴に及ぼす影響（気流の発生）が抑えられる結果、上記比較例と比べ、上記したような被記録媒体（記録紙Ｐ等）上での木目調の濃度むらの発生が、抑えられる。以上のことから、本実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）では、例えば上記比較例のインクジェットヘッド１０４（ヘッドチップ１００）と比べ、印刷画質を向上させることが可能となる。

【0104】

また、特に本実施の形態では、複数の吐出チャネルＣ１ｅの全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅの全体）が、アクチュエータプレート４１２内でＸ軸方向に沿って１列に配置されていることから、以下のようになる。すなわち、これら複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）で、既存の構造が維持されることになる。よって、ヘッドチップ４１全体のサイズ（チップサイズ）を維持しつつ（増大させることなく）、印刷画質を向上させることが可能となる。

【0105】

更に、本実施の形態では、上記したようにして、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）で既存の構造を維持しつつ、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されている構造においても、既存の構造と同様にして、以下のようにすることができる。すなわち、前述した第１ポンプ長Ｌｗ１および第２ポンプ長をそれぞれ、全ての第１スリット対Ｓｐ１および全ての第２スリット対において、同一にする（共通化する）ことができる。これにより本実施の形態では、隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）での、吐出特性のばらつきが抑えられる結果、印刷画質を更に向上させることが可能となる。また、本実施の形態では、後述する変形例２の場合（第１供給スリットＳin１および第２供給スリットと、第１排出スリットＳout１および第２排出スリットとをそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置とした場合：後述する図１２参照）と比べ、以下のようになる。すなわち、まず、この変形例２の場合には、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）も、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置となる（図１２参照）。一方、本実施の形態では、既存の構造と同様にして、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）を、千鳥配置せずに形成（加工）できることから（図５参照）、ヘッドチップ４１の加工性が良好となる（既存の製造プロセスを維持したまま、加工できるようになる）。これにより本実施の形態では、ヘッドチップ４１の製造プロセスの容易化を実現することも、可能となる。

【0106】

加えて、本実施の形態では、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２における流路幅（第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅）と、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２における流路幅（第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅）とがそれぞれ、各共通流路の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って一定になっていることから、以下のようになる。すなわち、これらの入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２の各構造についても、既存の構造を維持することが可能となる。

【0107】

また、本実施の形態では、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける延在方向（Ｙ軸方向）に沿った一方側は、前述した側面になっていると共に、この延在方向に沿った他方側は、アクチュエータプレート４１２のＹ軸方向に沿った端部に至るまで、開口していることから、以下のようになる。すなわち、上記したように、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（および隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されている構造において、ヘッドチップ４１全体のサイズ（チップサイズ）を変えることなく、ノズルプレート４１１内でのノズル孔Ｈ１，Ｈ２の高密度配置が可能となる。また、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄにおける上記した他方側が、上記した端部に至るまで開口していることから、各ダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄ内に個別に配置される個別電極Ｅｄａが、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｄ内に配置される共通電極Ｅｄｃとは別個に（電気的に絶縁した状態で）、形成できるようになる（図６参照）。これらのことから本実施の形態では、ヘッドチップ４１におけるチップサイズの小型化を図りつつ、ヘッドチップ４１の製造プロセスの容易化を実現することが可能となる。

【0108】

＜２．変形例＞
続いて、上記実施の形態の変形例（変形例１，２）について説明する。なお、実施の形態における構成要素と同一のものには同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

【0109】

［変形例１］
（構成）
図９は、変形例１に係るインクジェットヘッド４ａにおける、変形例１に係るカバープレート４１３ａの上面側の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。また、図１０，図１１はそれぞれ、この変形例１のインクジェットヘッド４ａにおける断面構成例（Ｙ－Ｚ断面構成例）を、模式的に表したものである。具体的には、図１０は、実施の形態における図３に対応する断面構成例であり、図１１は、実施の形態における図４に対応する断面構成例となっている。

【0110】

図１０，図１１に示したように、この変形例１のインクジェットヘッド４ａは、実施の形態のインクジェットヘッド４（図３，図４参照）において、ヘッドチップ４１の代わりに、ヘッドチップ４１ａを設けるようにしたものに対応している。また、この変形例１のヘッドチップ４１ａは、ヘッドチップ４１において、カバープレート４１３の代わりに、以下説明するカバープレート４１３ａを設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている（図１０，図１１参照）。なお、このようなインクジェットヘッド４ａは、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

【0111】

例えば図９に示したように、この変形例１のカバープレート４１３ａでは、実施の形態のカバープレート４１３（図５参照）とは異なり、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２における流路幅（第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅）が、Ｘ軸方向に沿って、第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対ごとに変化するようになっている。具体的には、これらの第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って隣接する第１スリット対Ｓｐ１同士（および隣接する第２スリット対同士）における、第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長の交互の変化（第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対ごとの大小変化）に応じて、Ｘ軸方向に沿って変化している（図９参照）。

【0112】

同様に、このカバープレート４１３ａでは、出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２における流路幅（第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅）が、Ｘ軸方向に沿って、第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対ごとに変化するようになっている（図９参照）。具体的には、これらの第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って隣接する第１スリット対Ｓｐ１同士（および隣接する第２スリット対同士）における、第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長の交互の変化（第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対ごとの大小変化）に応じて、Ｘ軸方向に沿って変化している（図９参照）。

【0113】

このような構成に伴い、例えば図１０，図１１中の破線の矢印で示したように、このカバープレート４１３ａでは、実施の形態のカバープレート４１３（図３，図４参照）と比べ、壁部Ｗ１，Ｗ２における一方の側面部分の厚みが、大きくなっている。具体的には、例えば図１０に示したように、ノズル孔Ｈ１１，Ｈ２１と連通する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近では、壁部Ｗ１，Ｗ２における第１供給スリットＳin１および第２供給スリット側の側面部分の厚みが、実施の形態（図３参照）と比べて大きくなっている。一方、例えば図１１に示したように、ノズル孔Ｈ１２，Ｈ２２と連通する吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅ付近では、壁部Ｗ１，Ｗ２における第１排出スリットＳout１および第２排出スリット側の側面部分の厚みが、実施の形態（図４参照）と比べて大きくなっている。

【0114】

（作用・効果）
このような構成の変形例１のインクジェットヘッド４ａ（ヘッドチップ４１ａ）においても、基本的には、実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

【0115】

また、特にこの変形例１では、上記したように、第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅がそれぞれ、第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長の交互の変化に応じて、Ｘ軸方向に沿って変化していると共に、第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅がそれぞれ、第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長の交互の変化に応じて、Ｘ軸方向に沿って変化している。これにより変形例１では、例えば実施の形態（図５参照）のように、これらの第１入口側流路幅Ｗin１および第２入口側流路幅および第１出口側流路幅Ｗout１および第２出口側流路幅がそれぞれ、Ｘ軸方向に沿って一定となっている場合と比べ、以下のようになる。すなわち、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２や出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２の形成に伴って、カバープレート４１３ａ内での厚みの薄くなる部分（上記したような、壁部Ｗ１，Ｗ２における一方の側面部分）の発生が、最小限に抑えられることになる。その結果、この変形例１では、実施の形態の場合（図３，図４に示したカバープレート４１３参照）と比べ、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２や出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２における機械的な強度が向上し、クラックの発生を抑制することができる。よって、この変形例１では、上記実施の形態と比べ、ヘッドチップ４１ａの信頼性を向上させることが可能となる。

【0116】

［変形例２］
（構成）
図１２は、変形例２に係るインクジェットヘッド４ｂにおける、変形例２に係るカバープレート４１３ｂの上面側の平面構成例（Ｘ－Ｙ平面構成例）を、模式的に表したものである。

【0117】

図１２に示したように、この変形例２のインクジェットヘッド４ｂは、実施の形態のインクジェットヘッド４（図３，図４参照）において、ヘッドチップ４１の代わりに、ヘッドチップ４１ｂを設けるようにしたものに対応している。また、この変形例２のヘッドチップ４１ｂは、ヘッドチップ４１において、アクチュエータプレート４１２およびカバープレート４１３の代わりに、以下説明するアクチュエータプレート４１２ｂおよびカバープレート４１３ｂをそれぞれ設けるようにしたものに対応しており、他の構成は基本的に同様となっている（図１２参照）。なお、このようなインクジェットヘッド４ｂは、本開示における「液体噴射ヘッド」の一具体例に対応している。

【0118】

例えば図１２に示したように、この変形例２のアクチュエータプレート４１２ｂでは、実施の形態および変形例１のアクチュエータプレート４１２（図５，図９参照）とは異なり、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの配置構成がそれぞれ、以下のようになっている。すなわち、このアクチュエータプレート４１２ｂでは、アクチュエータプレート４１２とは異なり、複数の吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅにおける（全体ではなく）一部が、Ｙ軸方向に沿って互いに重なるようにして配置されている。これによりアクチュエータプレート４１２ｂでは、これら複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）が、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置（Ｙ軸方向に沿って交互にずれた配置）となっている（図１２参照）。

【0119】

また、この変形例２のカバープレート４１３ｂでは、実施の形態および変形例１のカバープレート４１３ａ，４１３ｂ（図５，図９参照）と同様に、前述した第１ポンプ長Ｌｗ１および第２ポンプ長がそれぞれ、全ての第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対において、同一になっている（図１２参照）。

【0120】

一方、このカバープレート４１３ｂでは、カバープレート４１３，４１３ａとは異なり、前述した第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長と、前述した第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長とが、互いに同一になっている（Ｌin１＝Ｌout１，第２供給スリット長＝第２排出スリット長）。そして、このカバープレート４１３ｂでは、カバープレート４１３，４１３ａとは異なり、第１供給スリットＳin１および第２供給スリットと、第１排出スリットＳout１および第２排出スリットとがそれぞれ、入口側共通流路Ｒin１，Ｒin２および出口側共通流路Ｒout１，Ｒout２の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って、千鳥配置となっている（図１２参照）。

【0121】

（作用・効果）
このような構成の変形例２のインクジェットヘッド４ｂ（ヘッドチップ４１ｂ）においても、基本的には、実施の形態のインクジェットヘッド４（ヘッドチップ４１）と同様の作用により、同様の効果を得ることが可能である。

【0122】

また、特にこの変形例２では、上記したように、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（隣接するノズル孔Ｈ２同士）が、Ｙ軸方向に沿って互いにずれて配置されていると共に、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）も、Ｘ軸方向に沿って千鳥配置になっていることから、以下のようになる。すなわち、例えば実施の形態および変形例１のように、複数の吐出チャネルＣ１ｅ全体（および複数の吐出チャネルＣ２ｅ全体）が、Ｘ軸方向に沿って１列に配置されている場合と比べ、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅと対応する各ノズル孔Ｈ１，Ｈ２との間における、各吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅの延在方向（Ｙ軸方向）に沿った相対位置のずれが、小さくなる。つまり、図１２に示した吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２）の例で説明すると、吐出チャネルＣ１ｅ１に対するノズル孔Ｈ１１のＹ軸方向の位置と、吐出チャネルＣ１ｅ２に対するノズル孔Ｈ１２のＹ軸方向の位置とが、Ｘ軸方向に沿って隣接する吐出チャネルＣ１ｅ同士で、ずれにくくなる。言い換えると、各吐出チャネルＣ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２）における延在方向（Ｙ軸方向）の中央付近に、各ノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２）の位置を寄せることができ、各ノズル孔Ｈ１での吐出特性を近づけることができる。なお、この点は、吐出チャネルＣ２ｅおよびノズル孔Ｈ２においても、同様である。これにより変形例２では、例えば実施の形態および変形例１の場合と比べ、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１同士（隣接するノズル孔Ｈ２同士）での、吐出特性のばらつきが抑えられる結果、印刷画質を更に向上させることが可能となる。

【0123】

更に、この変形例２では、上記したように、第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長と第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長とが、互いに同一になっていることから、例えば実施の形態および変形例１の場合と比べ、以下のようになる。すなわち、まず、これらの実施の形態および変形例１の場合（図５，図９参照）には、前述したように、第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長と第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長との間の大小関係が、Ｘ軸方向に沿って隣接する第１スリット対Ｓｐ１および第２スリット対同士で交互に入れ替わっている。これに対して変形例２では、これらの第１供給スリット長Ｌin１および第２供給スリット長と第１排出スリット長Ｌout１および第２排出スリット長とが、互いに同一になっていることから、Ｘ軸方向に沿って隣接するノズル孔Ｈ１間（隣接するノズル孔Ｈ２間）での圧力差が生じにくくなり、インク９の吐出速度の不均一性が低減する。その結果、この変形例２では、印刷画質の更なる向上を図ることが可能となる。

【0124】

＜３．その他の変形例＞
以上、実施の形態および変形例を挙げて本開示を説明したが、本開示はこれらの実施の形態等に限定されず、種々の変形が可能である。

【0125】

例えば、上記実施の形態等では、プリンタおよびインクジェットヘッドにおける各部材の構成例（形状、配置、個数等）を具体的に挙げて説明したが、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の形状や配置、個数等であってもよい。また、上記実施の形態等で説明した各種パラメータの値や範囲、大小関係等についても、上記実施の形態等で説明したものには限られず、他の値や範囲、大小関係等であってもよい。

【0126】

具体的には、例えば、上記実施の形態等では、２列タイプの（２列のノズル列Ａｎ１，Ａｎ２を有する）インクジェットヘッド４を挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、１列タイプ（１列のノズル列を有する）のインクジェットヘッドや、３列以上（例えば３列や４列など）の複数例タイプ（３列以上のノズル列を有する）インクジェットヘッドであってもよい。

【0127】

また、上記実施の形態等では、ノズル孔Ｈ１（Ｈ１１，Ｈ１２），Ｈ２（Ｈ２１，Ｈ２２）のずらし配置の例（千鳥配置の例）や、カバープレートの構成例（供給スリットや排出スリット、入口側共通流路、出口側共通流路等の構成例）等について、具体的に説明したが、これらの例には限られない。すなわち、各ノズル孔のずらし配置や、カバープレートの構成については、他の構成例であってもよい。

【0128】

また、上記実施の形態等では、各吐出チャネル（吐出溝）および各ダミーチャネル（非吐出溝）がそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内でＹ軸方向（各チャネルの並設方向に対する直交方向）に沿って延在している場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、各吐出チャネルおよび各ダミーチャネルがそれぞれ、アクチュエータプレート４１２内で、斜め方向（Ｘ軸方向，Ｙ軸方向の各々と角度を成す方向）に沿って延在しているようにしてもよい。

【0129】

更に、例えば、ノズル孔Ｈ１，Ｈ２の断面形状については、上記実施の形態等で説明したような円形状には限られず、例えば、楕円形状や、三角形状等の多角形状、星型形状などであってもよい。また、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの各断面形状についても、上記実施の形態等では、ダイサーによる切削加工によって形成されることで、円弧状（曲面状）の側面となっている場合を例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば、そのようなダイサーによる切削加工以外の加工方法（エッチングやブラスト加工など）を用いて形成することで、吐出チャネルＣ１ｅ，Ｃ２ｅおよびダミーチャネルＣ１ｄ，Ｃ２ｄの各断面形状が、円弧状以外の各種の側面形状となるようにしてもよい。

【0130】

加えて、上記実施の形態等では、インクタンクとインクジェットヘッドとの間でインク９を循環させて利用する、循環式のインクジェットヘッドを例に挙げて説明したが、この例には限られない。すなわち、例えば場合によっては、インク９を循環させずに利用する、非循環式のインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

【0131】

また、インクジェットヘッドの構造としては、各タイプのものを適用することが可能である。すなわち、例えば上記実施の形態等では、アクチュエータプレートにおける各吐出チャネルの延在方向の中央部からインク９を吐出する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットヘッドを例に挙げて説明した。ただし、この例には限られず、他のタイプのインクジェットヘッドにおいて、本開示を適用するようにしてもよい。

【0132】

更には、プリンタの方式としても、上記実施の形態等で説明した方式には限られず、例えば、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）方式など、各種の方式を適用することが可能である。

【0133】

また、上記実施の形態等で説明した一連の処理は、ハードウェア（回路）で行われるようにしてもよいし、ソフトウェア（プログラム）で行われるようにしてもよい。ソフトウェアで行われるようにした場合、そのソフトウェアは、各機能をコンピュータにより実行させるためのプログラム群で構成される。各プログラムは、例えば、上記コンピュータに予め組み込まれて用いられてもよいし、ネットワークや記録媒体から上記コンピュータにインストールして用いられてもよい。

【0134】

更に、上記実施の形態等では、本開示における「液体噴射記録装置」の一具体例として、プリンタ１（インクジェットプリンタ）を挙げて説明したが、この例には限られず、インクジェットプリンタ以外の他の装置にも、本開示を適用することが可能である。換言すると、本開示の「液体噴射ヘッド」（インクジェットヘッド）を、インクジェットプリンタ以外の他の装置に適用するようにしてもよい。具体的には、例えば、ファクシミリやオンデマンド印刷機などの装置に、本開示の「液体噴射ヘッド」を適用するようにしてもよい。

【0135】

加えて、これまでに説明した各種の例を、任意の組み合わせで適用させるようにしてもよい。

【0136】

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。

【0137】

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
（１）
液体を噴射するヘッドチップであって、
複数の吐出溝を有するアクチュエータプレートと、
前記複数の吐出溝に個別に連通する複数のノズル孔を有するノズルプレートと
を備え、
前記複数の吐出溝が、それらの少なくとも一部が所定方向に沿って互いに重なるようにして、並んで配置されており、
前記複数のノズル孔のうちの前記所定方向に沿って隣接するノズル孔同士が、前記ノズルプレート内における前記吐出溝の延在方向に沿って、互いにずれて配置されている
ヘッドチップ。
（２）
前記複数の吐出溝の全体が、前記所定方向に沿って互いに重なるようにして配置されており、
前記複数の吐出溝全体が、前記所定方向に沿って１列に配置されている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（３）
前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートを更に備え、
前記吐出溝ごとの前記第１貫通孔および前記第２貫通孔からなる貫通孔対が、前記吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、
前記貫通孔対における前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間の距離に対応する、前記吐出溝の延在方向に沿った前記壁部の長さが、全ての前記貫通孔対において同一になっている共に、
前記第１貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、前記第２貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長と、の間の大小関係が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士で、交互に入れ替わっている
上記（２）に記載のヘッドチップ。
（４）
前記カバープレートは、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第１貫通孔の各々と連通している第１共通流路と、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第２貫通孔の各々と連通している第２共通流路と
を更に有しており、
前記第１共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第１流路幅が、前記所定方向に沿って一定になっていると共に、
前記第２共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第２流路幅が、前記所定方向に沿って一定になっている
上記（３）に記載のヘッドチップ。
（５）
前記カバープレートは、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第１貫通孔の各々と連通している第１共通流路と、
前記所定方向に沿って延在しつつ、前記貫通孔対ごとの前記第２貫通孔の各々と連通している第２共通流路と
を更に有しており、
前記第１共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第１流路幅が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士における前記第１開口長の交互の変化に応じて、前記所定方向に沿って変化していると共に、
前記第２共通流路における前記所定方向の直交方向に沿った長さである第２流路幅が、前記所定方向に沿って隣接する前記貫通孔対同士における前記第２開口長の交互の変化に応じて、前記所定方向に沿って変化している
上記（３）に記載のヘッドチップ。
（６）
前記複数の吐出溝における一部が、前記所定方向に沿って互いに重なるようにして配置されており、
前記複数の吐出溝全体が、前記所定方向に沿って千鳥配置となっている
上記（１）に記載のヘッドチップ。
（７）
前記吐出溝内に前記液体を流入させるための第１貫通孔と、前記吐出溝内から前記液体を流出させるための第２貫通孔と、前記吐出溝を覆う壁部と、を有するカバープレートを更に備え、
前記吐出溝ごとの前記第１貫通孔および前記第２貫通孔からなる貫通孔対が、前記吐出溝の延在方向に沿って並んで配置されており、
前記貫通孔対における前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間の距離に対応する、前記吐出溝の延在方向に沿った前記壁部の長さが、全ての前記貫通孔対において同一になっている共に、
前記第１貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第１開口長と、前記第２貫通孔における前記吐出溝の延在方向に沿った長さである第２開口長とが、互いに同一になっており、
前記第１貫通孔および前記第２貫通孔がそれぞれ、前記所定方向に沿って、千鳥配置となっている
上記（６）に記載のヘッドチップ。
（８）
前記アクチュエータプレートが、前記所定方向に沿って並設された複数の非吐出溝を更に有していると共に、
前記吐出溝と前記非吐出溝とが、前記所定方向に沿って交互に配置されており、
前記非吐出溝における前記非吐出溝の延在方向に沿った一方側は、前記ノズルプレート側へ向けて前記非吐出溝の断面積が徐々に小さくなる、曲面状の側面になっていると共に、
前記非吐出溝における前記非吐出溝の延在方向に沿った他方側は、前記アクチュエータプレートにおける前記非吐出溝の延在方向に沿った端部に至るまで、開口している
上記（１）ないし（７）のいずれかに記載のヘッドチップ。
（９）
上記（１）ないし（８）のいずれかに記載のヘッドチップを備えた
液体噴射ヘッド。
（１０）
上記（９）に記載の液体噴射ヘッドを備えた
液体噴射記録装置。

【符号の説明】

【0138】

１…プリンタ、１０…筺体、２ａ，２ｂ…搬送機構、２１…グリッドローラ、２２…ピンチローラ、３（３Ｙ，３Ｍ，３Ｃ，３Ｋ）…インクタンク、４（４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋ），４ａ，４ｂ…インクジェットヘッド、４１，４１ａ，４１ｂ…ヘッドチップ、４１１…ノズルプレート、４１２，４１２ｂ…アクチュエータプレート、４１３，４１３ａ，４１３ｂ…カバープレート、４２０…尾部、４２１，４２２…チャネル列、５０…循環流路、５０ａ，５０ｂ…流路（供給チューブ）、６…走査機構、６１ａ，６１ｂ…ガイドレール、６２…キャリッジ、６３…駆動機構、６３１ａ，６３１ｂ…プーリ、６３２…無端ベルト、６３３…駆動モータ、９…インク、Ｐ…記録紙、ｄ…搬送方向、Ｈ１，Ｈ１１，Ｈ１２，Ｈ２，Ｈ２１，Ｈ２２…ノズル孔、Ａｎ１，Ａｎ１１，Ａｎ１２，Ａｎ２，Ａｎ２１，Ａｎ２２…ノズル列、Ｃ１，Ｃ２…チャネル、Ｃ１ｅ（Ｃ１ｅ１，Ｃ１ｅ２），Ｃ２ｅ…吐出チャネル、Ｃ１ｄ，Ｃ２ｄ…ダミーチャネル（非吐出チャネル）、Ｗｄ…駆動壁、Ｅｄ…駆動電極、Ｅｄａ…個別電極（アクティブ電極）、Ｅｄｃ…共通電極（コモン電極）、Ｐｄａ…個別電極パッド、Ｐｄｃ…共通電極パッド、Ｄ…溝、Ｒin１，Ｒin２…入口側共通流路、Ｒout１，Ｒout２…出口側共通流路、Ｓin１…第１供給スリット、Ｓout１…第１排出スリット、Ｓｐ１…第１スリット対、Ｗ１，Ｗ２…壁部、Ｌｗ１…第１ポンプ長、Ｌin１…第１供給スリット長、Ｌout１…第１排出スリット長、Ｗin１…第１入口側流路幅、Ｗout１…第１出口側流路幅、Ｓｆin１…第１入口側流路断面積、Ｓｆout１…第１出口側流路断面積、Ｐｃ１，Ｐｎ１１，Ｐｎ１２…中心位置、ＳＬ…加工スリット。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】