特許 7353717 金属化フィルムの検査方法及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-22

(45)【発行日】2023-10-02

(54)【発明の名称】金属化フィルムの検査方法及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20230925BHJP

   G01N 21/88 20060101ALI20230925BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 Z

G01N21/88 Z

【請求項の数】 6

(21)【出願番号】P 2019211622

(22)【出願日】2019-11-22

(65)【公開番号】P2021081389

(43)【公開日】2021-05-27

【審査請求日】2022-10-05

(73)【特許権者】

【識別番号】390022460

【氏名又は名称】株式会社指月電機製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100100044

【弁理士】

【氏名又は名称】秋山 重夫

(74)【代理人】

【識別番号】100205888

【弁理士】

【氏名又は名称】北川 孝之助

(72)【発明者】

【氏名】笹井 浩之

【審査官】横尾 雅一

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１３－２５０２２５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－３０５７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１７９６９８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０３２２６８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着部と非蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査方法であって、
金属化フィルムを撮像して画像を得るステップと、
撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像に対応する領域を切り出すステップと、
切り出された切り出し画像の非蒸着部を、非蒸着部の大きさより小さい範囲で枠取りし、その枠内の画像を抽出するステップと、
抽出された抽出画像の輝度を算出するステップと、
算出された値と基準値とを比較判定するステップと、
を備える金属化フィルムの検査方法。

【請求項2】

切り出し画像全体の輝度を算出するステップと、
切り出し画像全体の輝度と基準値（抽出画像の輝度と比較する基準値とは異なる）とを比較判定するステップと、
を備える請求項１記載の金属化フィルムの検査方法。

【請求項3】

基準画像に対応する領域を切り出せない場合に不良と判定するステップ
を備える請求項１又は２記載の金属化フィルムの検査方法。

【請求項4】

基準画像を作成するステップと、
基準値を作成するステップと、
を備える請求項１から３のいずれかに記載の金属化フィルムの検査方法。

【請求項5】

基準画像を作成するステップが、画像を２値化するステップを含む
請求項４記載の金属化フィルムの検査方法。

【請求項6】

蒸着部と非蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査装置であって、
金属化フィルムを撮像して画像を得る撮像部と、
撮像部で撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像に対応する領域を切り出す検出部と、
検出部で切り出された切り出し画像の非蒸着部を、非蒸着部の大きさより小さい範囲で枠取りし、その枠内の画像を抽出する抽出部と、
抽出部で抽出された抽出画像の輝度を算出する算出部と、
算出部で算出された値と基準値とを比較判定する判定部と、
を備える金属化フィルムの検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、金属化フィルムの検査方法及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムコンデンサに使用される一般的な金属化フィルムには、金属を蒸着させた蒸着部からなる電極部に、ヒューズ部分となる狭隘部を残して、金属を蒸着していない非蒸着部で囲まれた小電極部が形成されている。非蒸着部の良否検査は従来、検査員による目視検査が一般的であったが、検査員の主観的な目視判定に頼るところが多く、良否の一貫性確保が難しく、製品の品質の安定にも関わっていた。また、微細な欠陥は目視による判定自体が難しく、見逃してしまう可能性もある。

【0003】

なお、目視によらないフィルムの検査方法としては、例えば特許文献１が挙げられる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１７－１１０９４９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

ただ、特許文献１の検査方法は、フィルムからの透過光を撮像し、欠陥に起因する光強度の変化から欠陥の有無を検査するものであるため、蒸着部と非蒸着部を備える金属化フィルムに適用した場合、非蒸着部によって光強度が変化することから、欠陥に起因する光強度の変化と区別をつけることができず、欠陥を識別することができない。

【0006】

そこで本発明は、非蒸着部を備える金属化フィルムの検査方法及び検査装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明の金属化フィルムの検査方法は、蒸着部１１と非蒸着部１２とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査方法であって、金属化フィルム１０を撮像して画像を得るステップ（Ｓ３１）と、撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像１３に対応する領域を切り出すステップ（Ｓ３３～Ｓ３６）と、切り出された切り出し画像１４から非蒸着部の画像１５を抽出するステップ（Ｓ３７）と、抽出された抽出画像１５の輝度を算出するステップ（Ｓ３８）と、算出された値と基準値とを比較判定するステップ（Ｓ３９）とを備えることを特徴としている。

【0008】

上記検査方法では、切り出し画像１４全体の輝度を算出するステップ（Ｓ３８）を備えることが好ましい。

【0009】

また、基準画像１３に対応する領域を切り出せない場合に不良と判定するステップ（Ｓ３６）を備えることが好ましい。

【0010】

さらに、基準画像１３を作成するステップ（Ｓ１１～Ｓ１８）と、基準値を作成するステップ（Ｓ２１～Ｓ２３）とを備えることが好ましい。

【0011】

さらにまた、基準画像１３を作成するステップが、画像を２値化するステップ（Ｓ１７）を含むことが好ましい。

【0012】

本発明の金属化フィルムの検査装置は、蒸着部１１と非蒸着部１２とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査装置１であって、金属化フィルム１０を撮像して画像を得る撮像部３と、撮像部３で撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像１３に対応する領域を切り出す検出部７２と、検出部７２で切り出された切り出し画像１４から非蒸着部１２の画像を抽出する抽出部７５と、抽出部７５で抽出された抽出画像の輝度を算出する算出部７６と、算出部７６で算出された値と基準値とを比較判定する判定部７７とを備えることを特徴としている。

【発明の効果】

【0013】

本発明の金属化フィルムの検査方法および検査装置では、目視によらない検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】この発明の一実施形態の金属化フィルムの検査装置を示す図である。

【図2】金属化フィルムを示す図である。

【図3】基準画像作成工程のフローチャートである。

【図4】基準値作成工程のフローチャートである。

【図5】良否判定工程のフローチャートである。

【図6】基準画像を示す図である。

【図7】切り出し画像を示す図である。

【図8】図８ａは良品の輝度の分布を示すグラフ、図８ｂは不良品の輝度の分布を示すグラフである。

【発明を実施するための形態】

【0015】

次に、この発明の金属化フィルムの検査装置の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。この発明の検査装置１は、図１に示すように、金属化フィルム１０に光を照射する照明部２と、照明部２からの光で照射された金属化フィルム１０を撮像して画像を得る撮像部３と、撮像部３で撮像された画像に基づいて金属化フィルム１０の良否判定を行う良否判定部４とを備えている。

【0016】

（金属化フィルム）
金属化フィルム１０は、誘電体フィルム上に金属を蒸着したものであって、図２に示すように、金属が蒸着された蒸着部１１と、金属が蒸着されていない非蒸着部１２とを備えている。なお、非蒸着部１２の形状は略十字とされているが、例えば棒状（直線状）やＴ字状、クロス状、斜線等、種々の形状のものであってもよい。なお、誘電体フィルムの厚みは例えば２～１５μｍ、蒸着部の厚みは例えば０．０２～１０μｍ、非蒸着部の幅は例えば０．２～１０ｍｍである。

【0017】

（照明部）
照明部２は、ＬＥＤ（発光ダイオード）や蛍光灯、ハロゲンランプやメタルハライドランプ等の光源上にガラス等の光透過性の載置面を設けた透過照明台であって、載置面上に金属化フィルム１０を載置できるようになっている。

【0018】

（撮像部）
撮像部３は、撮影レンズと撮像素子とを備えたカメラであって、例えば撮像指示の入力や画像の出力を行うためのＵＳＢ端子を備えたＵＳＢカメラである。画素数は例えば６４０×４８０であるが、検査対象の金属化フィルムに合わせて適宜変更可能である。

【0019】

（良否判定部）
良否判定部４は、撮像部３で撮像された画像に基づいて基準画像１３を作成する基準画像作成部５と、撮像部３で撮像された画像に基づいて基準値を作成する基準値作成部６と、基準画像１３と基準値とに基づいて金属化フィルム１０の良否判定を行う第１判定部７と、基準画像１３との相関度に基づいて金属化フィルム１０の良否判定を行う簡易判定部８とを備えている。

【0020】

なお、このような良否判定部４は、演算部（ＣＰＵ）、記憶部（不揮発性メモリ、揮発性メモリ、記憶デバイス）、表示部（ディスプレイ）、インターフェース（キーボード、マウス）等を備えた一般的なコンピュータによって実現できる。記憶部には良否判定プログラムが格納されており、これに従って良否判定が行われる。また、記憶部は後述の第１記憶部５５や第２記憶部６３を兼ねてもよい。

【0021】

（基準画像作成部）
基準画像作成部５は、画像のノイズを除去する第１ノイズ除去部５１と、良品の撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、良品の撮像された画像の中から理想画像に対応する領域を切り出す第１検出部５２と、第１検出部５２で切り出された切り出し画像１４Ａを２値化する変換部５６と、２値化された画像を基準画像１３として記憶する第１記憶部５５とを備えている。なお、理想画像とは、設計データに基づいた画像である。良品の撮像された画像とは、実際の金属化フィルム１０の蒸着パターン良品を撮像した画像である。

【0022】

第１検出部５２は、理想画像に基づいて画像を回転させる第１角度補正部５３と、理想画像に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す第１切り出し部５４とを備えている。

【0023】

第１角度補正部５３は、良品の撮像された画像と理想画像とを縮小してなる縮小画像を生成する画像縮小部５３ａと、両方の縮小画像を比較して回転角を把握する回転角把握部５３ｂと、回転角把握部５３ｂで把握した回転角に基づいて画像を回転させる回転部５３ｃとを備えている。

【0024】

（基準値作成部）
基準値作成部６は、第１切り出し部５４で切り出された切り出し画像１４Ａから非蒸着部１２の画像を抽出する第１画像抽出部６１と、第１画像抽出部６１で抽出された抽出画像１５から光透過率及び輝度を算出するとともに、切り出し画像１４Ａ（基準画像１３ではない）全体の輝度を算出する第１算出部６２と、第１算出部６２で算出された値を基準値として記憶する第２記憶部６３とを備えている。

【0025】

（第１判定部）
第１判定部７は、画像のノイズを除去する第２ノイズ除去部７１と、撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から基準画像１３に対応する領域を切り出す第２検出部７２と、第２検出部７２で切り出された切り出し画像１４から非蒸着部１２の画像を抽出する第２画像抽出部７５と、第２画像抽出部７５で抽出された抽出画像１５の光透過率及び輝度を算出するとともに、切り出し画像１４全体の輝度を算出する第２算出部７６と、第２算出部７６で算出された値と基準値とを比較判定する第２判定部７７とを備えている。

【0026】

第２検出部７２は、基準画像１３に基づいて画像を回転させる第２角度補正部７３と、基準画像１３に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す第２切り出し部７４とを備えている。

【0027】

第２角度補正部７３は、検査対象の金属化フィルム１０を撮像した画像と基準画像１３とを縮小してなる縮小画像を生成する画像縮小部７３ａと、両方の縮小画像を比較して回転角を把握する回転角把握部７３ｂと、回転角把握部７３ｂで把握した回転角に基づいて画像を回転させる回転部７３ｃとを備えている。

【0028】

（検査方法）
次に、上記検査装置１を用いた検査方法について説明する。

【0029】

（撮像工程）
照明部２の載置面に金属化フィルム１０を載置して光源から光を照射するとともに、金属化フィルム１０を透過した光を撮像部３で撮像する（図３のＳ１１や図５のＳ３１）。この際、理想画像や基準画像１３の非蒸着部１２と、検査対象の金属化フィルム１０の非蒸着部１２の角度を合わせるように撮像してもよい。この場合、以下で説明する角度補正は不要となる。また、非蒸着部１２のパターン（連続する模様の１つ：図２の場合は十字状）を中心に撮像することが好ましい。ただ、画像にパターンが１つ以上含まれていればよい。なお、良否判断はパターン毎に行われるため、画像に複数のパターンが含まれている場合は、パターンの数だけ良否判断を繰り返す。

【0030】

（基準画像作成工程）
続いて、基準画像１３を作成する。まず、第１ノイズ除去部５１で、撮像部３で撮像された良品の画像のノイズを除去する（図３のＳ１２）。具体的には、画像には照明部２や撮像部３に起因するノイズが生じるため、画像にフィルター処理を施してノイズを除去する。

【0031】

次に、ノイズを除去した画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から理想画像に対応する領域を切り出す。具体的には、まず、画像縮小部５３ａで、予め設定されている理想画像とノイズを除去した画像とをともに縮小して２つの縮小画像を出力する（Ｓ１３）。次に、回転角把握部５３ｂで、２つの縮小画像を比較し、画像をどれだけ回転させれば理想画像の非蒸着部１２と撮像された画像の非蒸着部１２とが同形状になるか（角度が等しくなるか）を把握し、画像を回転させる角度を把握する（Ｓ１４）。そして、回転部５３ｃで、回転角把握部５３ｂで把握した角度に基づいて画像（縮小画像ではない）を回転させる（Ｓ１５）。次に、第１切り出し部５４で、理想画像に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す（Ｓ１６）。具体的には、理想画像と相関度が高くなる範囲を指定して切り出す。すなわち、蒸着部１１の大きさ、非蒸着部１２の大きさ、蒸着部１１と非蒸着部１２との位置関係が理想画像とほぼ等しくなるように切り出す。理想画像は非蒸着部１２のパターン（例えば十字状）を含む画像である。従って、第１切り出し部５４で切り出された切り出し画像１４Ａは、非蒸着部１２のパターンを含んだ画像となる（図７参照）。

【0032】

そして、変換部５６で、切り出し画像１４Ａを２値化（Ｓ１７）した後、第１記憶部５５に、２値化した画像を基準画像１３として記憶させて（Ｓ１８）、基準画像作成工程を完了する。このように、実際の金属化フィルム１０に基づいて基準画像１３を作成することにより、理想画像に比べてより実態に即した基準を設けることができ、精度の良い良否判定が可能となる。

【0033】

（基準値作成工程）
次に、基準値を作成する。まず、第１画像抽出部６１で、第１切り出し部５４で切り出された切り出し画像１４Ａから非蒸着部１２の画像を抽出する（図４のＳ２１）。この際、矩形状に枠取りをする（図７の破線参照）。また、非蒸着部１２の大きさより僅かに小さい範囲で枠取りをすることが好ましい。続いて、第１算出部６２で、第１画像抽出部６１で抽出された抽出画像１５の光透過率及び輝度を算出するとともに、切り出し画像１４Ａ全体の輝度を算出する（Ｓ２２）。例えば抽出画像１５全体の平均輝度や輝度のばらつき（標準偏差）、光透過率を算出する。なお、光透過率については、画像の輝度値（０～２５５）からパーセントに換算するための式を予め設定しておき、この換算式に基づいて算出する。また、切り出し画像１４Ａ全体の平均輝度や輝度のばらつき（標準偏差）を算出する。そして、第２記憶部６３に、第１算出部６２で算出された値を基準値として記憶させて（Ｓ２３）、基準値作成工程を完了する。

【0034】

（良否判定工程）
基準画像１３と基準値とが作成された後で、次に良否判定を行う。まず、上記撮像工程に基づいて検査対象となる金属化フィルム１０を撮像する（図５のＳ３１）。次に、第２ノイズ除去部７１で、撮像部３で撮像された検査対象の画像のノイズを除去する（Ｓ３２）。ノイズ除去方法は第１ノイズ除去部５１と同じである。

【0035】

次に、ノイズを除去した画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から基準画像１３に対応する領域を切り出す。具体的には、まず、画像縮小部７３ａで、基準画像１３とノイズを除去した画像とをともに縮小して２つの縮小画像を出力する（Ｓ３３）。次に、回転角把握部７３ｂで、２つの縮小画像を比較し、画像をどれだけ回転させれば基準画像１３の非蒸着部１２と撮像された画像の非蒸着部１２とが同形状になるか（角度が等しくなるか）を把握し、画像を回転させる角度を把握する（Ｓ３４）。そして、回転部７３ｃで、回転角把握部７３ｂで把握した角度に基づいて画像（縮小画像ではない）を回転させる（Ｓ３５）。次に、第２切り出し部７４で、基準画像１３に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す（Ｓ３６）。具体的には、基準画像１３と相関度が高くなる範囲を指定して切り出す。すなわち、蒸着部１１の大きさ、非蒸着部１２の大きさ、蒸着部１１と非蒸着部１２との位置関係が基準画像１３とほぼ等しくなるように切り出す。基準画像１３は、図６に示すように、非蒸着部１２のパターン（例えば十字状）を含む画像である。従って、第２切り出し部７４で切り出された切り出し画像１４は、非蒸着部１２のパターンを含んだ画像となる。

【0036】

なお、この際、非蒸着部１２に形状の崩れや欠け、汚れなどの不具合が生じていると、基準画像１３と画像との相関度が所定値を満たさない。そのため、撮像された画像の中から基準画像１３に対応する領域を切り出すことができず、この時点で不良判定がされる。すなわち、この段階で、基準画像１３との相関度に基づいて金属化フィルム１０の良否判定を行う簡易判定部８が働くのである。

【0037】

簡易判定部８で良判定となった、すなわち、第２切り出し部７４から切り出し画像１４が出力されると、次に第２画像抽出部７５で、切り出し画像１４から非蒸着部１２の画像を抽出する（Ｓ３７）。この際、図７に示すように矩形状に枠取りをする。また、非蒸着部１２の大きさより僅かに小さい範囲で枠取りをすることが好ましい。続いて、第２算出部７６で、第２画像抽出部７５で抽出された抽出画像１５の光透過率及び輝度を算出するとともに、切り出し画像１４全体の輝度を算出する（Ｓ３８）。例えば抽出画像１５全体の平均輝度や輝度のばらつき（標準偏差）、光透過率を算出する。なお、光透過率については、画像の輝度値（０～２５５：０が全く光を透過しない状態、２５５がフィルムの無い状態）からパーセントに換算するための式を予め設定しておき、この換算式に基づいて算出する。また、切り出し画像１４全体の平均輝度や輝度のばらつき（標準偏差）を算出する。

【0038】

そして、第２判定部７７で、第２算出部７６で算出された値と、予め設定されている基準値とを比較し、検査対象の良否を判定する（Ｓ３９）。例えば、図８ａに示すように、良品の場合、蒸着部１１の輝度と非蒸着部１２の輝度とがはっきりと区別されるため、２つのピーク（山）を見てとることができる。一方で、欠陥部（非蒸着部１２内に蒸着金属が付着している場合等）は非蒸着部１２の輝度が低く、非蒸着部１２の山を見ることができない。このように欠陥部があると輝度のばらつきが大きくなる傾向にある。そのため、第２算出部７６で算出された値（抽出画像１５の光透過率、輝度ばらつき）とそれに対応する基準値とを比較することで非蒸着部１２の良否判断を行うことができる。また、蒸着部１１の膜厚が薄い場合、切り出し画像１４全体の平均輝度が大きくなる傾向にある。そのため、第２算出部７６で算出された値（切り出し画像１４全体の平均輝度）とそれに対応する基準値とを比較することで蒸着部１１の良否判断を行うことができる。

【0039】

このように、本発明では、蒸着部１１と非蒸着部１２とが存在するフィルムコンデンサ用金属化フィルムに対して容易に適用でき、検査員の目視に頼ることなく確実且つ一定の品質基準で蒸着パターンの良否判定を行うことができる。また、画像同士の比較ではなく、光透過率や輝度ばらつきを比較しているため、品種間の差異や経時的な変化を捉えることができ、微細な欠陥や変動を見つけ出すことが可能となる。

【0040】

以上に、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、図２では十字状のパターンのみであったが、複数種類のパターンを備える金属化フィルムもある。この場合、各パターンで基準画像１３を設定し、最も相関度が高くなる基準画像１３に基づいて画像を切り出すようにすればよい。

【0041】

なお、基準画像１３として良品の画像や設計図に基づく理想画像を用いる場合、基準画像作成工程は不要である。また、基準値として理想値や規格値等を用いる場合、基準値作成工程は不要である。また、基準画像作成部５や基準値作成部６を設ける必要もない。

【0042】

画像縮小部５３ａ、７３ａ、回転角把握部５３ｂ、７３ｂについては必ずしも設ける必要はない。すなわち、理想画像や基準画像１３と未縮小の画像とを比較して画像を回転するようにしてもよい。

【0043】

第１ノイズ除去部５１と第２ノイズ除去部７１、第１検出部５２と第２検出部７２、第１角度補正部５３と第２角度補正部７３、第１切り出し部５４と第２切り出し部７４、第１記憶部５５と第２記憶部６３、第１画像抽出部６１と第２画像抽出部７５、第１算出部６２と第２算出部７６については一方を他方にまとめてもよい。すなわち、例えば第１ノイズ除去部５１が第２ノイズ除去部７１を兼ねていてもよい。

【0044】

また、撮像部３は金属化フィルム１０を透過した光を撮像していたが、金属化フィルム１０を反射した光を撮像してもよい。

【0045】

なお、本発明には以下の構成のものも含まれる。

【0046】

金属蒸着部と非金属蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査装置であって、金属化フィルムに光を照射する照明部と、金属化フィルムを撮像して画像を得る撮像部と、撮像部で撮像された画像に基づいて金属化フィルムの良否判定を行う良否判定部とを備え、良否判定部が、画像のノイズを除去するノイズ除去部と、基準画像に基づいて画像を回転させる角度補正部と、基準画像に基づいて画像から非金属蒸着部を含む画像を切り出す切り出し部と、切り出し部で切り出された切り出し画像から非金属蒸着部の画像を抽出する画像抽出部と、画像抽出部で抽出された抽出画像の光透過率及び輝度を算出する算出部と、算出部で算出された値と基準値とを比較判定する判定部とを備えている、金属化フィルムの検査装置。

【0047】

金属蒸着部と非金属蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査装置であって、金属化フィルムに光を照射する照明部と、金属化フィルムを撮像して画像を得る撮像部と、撮像部で撮像された画像に基づいて金属化フィルムの良否判定を行う良否判定部とを備え、良否判定部が、撮像部で撮像された画像に基づいて基準画像を作成する基準画像作成部と、基準値を作成する基準値作成部と、基準画像と基準値とに基づいて金属化フィルムの良否判定を行う第１判定部とを備え、基準画像作成部が、画像のノイズを除去する第１ノイズ除去部と、理想画像に基づいて画像を回転させる第１角度補正部と、理想画像に基づいて画像から非金属蒸着部を含む画像を切り出す第１切り出し部と、第１切り出し部で切り出された切り出し画像を基準画像として記憶する第１記憶部とを備え、基準値作成部が、第１切り出し部で切り出された切り出し画像から非金属蒸着部の画像を抽出する第１画像抽出部と、第１画像抽出部で抽出された抽出画像から光透過率及び輝度を算出する第１算出部と、第１算出部で算出された値を基準値として記憶する第２記憶部とを備え、第１判定部が、検査対象の画像のノイズを除去する第２ノイズ除去部と、基準画像に基づいて画像を回転させる第２角度補正部と、基準画像に基づいて画像から非金属蒸着部を含む画像を切り出す第２切り出し部と、第２切り出し部で切り出された切り出し画像から非金属蒸着部の画像を抽出する第２画像抽出部と、第２画像抽出部で抽出された抽出画像の光透過率及び輝度を算出する第２算出部と、第２算出部で算出された値と基準値とを比較判定する第２判定部とを備えている、金属化フィルムの検査装置。

【0048】

第１角度補正部及び／又は第２角度補正部が、画像を縮小してなる縮小画像を生成する画像縮小部と、理想画像又は基準画像と縮小画像とを比較して回転角を把握する回転角把握部と、回転角把握部で把握した回転角に基づいて画像を回転させる回転部とを備えている、金属化フィルムの検査装置。

【0049】

基準画像作成部が、第１ノイズ除去部でノイズが除去された画像を２値化する変換部を備えている、金属化フィルムの検査装置。

【0050】

基準画像との相関度に基づいて金属化フィルムの良否判定を行う簡易判定部を備えている、金属化フィルムの検査装置。

【符号の説明】

【0051】

１ 検査装置
２ 照明部
３ 撮像部
４ 良否判定部
５ 基準画像作成部
５１ 第１ノイズ除去部
５２ 第１検出部
５３ 第１角度補正部
５３ａ 画像縮小部
５３ｂ 回転角把握部
５３ｃ 回転部
５４ 第１切り出し部
５５ 第１記憶部
５６ 変換部
６ 基準値作成部
６１ 第１画像抽出部
６２ 第１算出部
６３ 第２記憶部
７ 第１判定部
７１ 第２ノイズ除去部
７２ 第２検出部
７３ 第２角度補正部
７３ａ 画像縮小部
７３ｂ 回転角把握部
７３ｃ 回転部
７４ 第２切り出し部
７５ 第２画像抽出部
７６ 第２算出部
７７ 第２判定部
８ 簡易判定部
１０ 金属化フィルム
１１ 蒸着部
１２ 非蒸着部
１３ 基準画像
１４ 第２切り出し部で切り出された切り出し画像
１４Ａ 第１切り出し部で切り出された切り出し画像
１５ 抽出画像

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】