特許7353862液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び液体噴射ヘッドチップの製造方法
(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-09-22
(45)【発行日】2023-10-02
(54)【発明の名称】液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、及び液体噴射ヘッドチップの製造方法
(51)【国際特許分類】
B41J 2/14 20060101AFI20230925BHJP
B41J 2/16 20060101ALI20230925BHJP
【ＦＩ】
B41J2/14 605
B41J2/14 303
B41J2/14 603
B41J2/14 607
B41J2/16 517
【請求項の数】
20
(21)【出願番号】P 2019148764
(22)【出願日】2019-08-14
(65)【公開番号】P2021030460
(43)【公開日】2021-03-01
【審査請求日】2022-06-03
(73)【特許権者】
【識別番号】501167725
【氏名又は名称】エスアイアイ・プリンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100165179
【弁理士】
【氏名又は名称】田▲崎▼ 聡
(74)【代理人】
【識別番号】100126664
【弁理士】
【氏名又は名称】鈴木 慎吾
(74)【代理人】
【識別番号】100161207
【弁理士】
【氏名又は名称】西澤 和純
(72)【発明者】
【氏名】中山 仁
【審査官】中村 博之
(56)【参考文献】
【文献】特開２００８－１８８８８２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１８－１０３５５７（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－２８４７３９（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記連通流路の前記開口部の断面積を流路開口面積とし、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をチャネル開口総面積としたとき、
前記流路開口面積は、前記チャネル開口総面積以上であることを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項2】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、
前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流体供給路は、前記第３方向において前記開口部と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口していることを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項3】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、
前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流路プレートは、前記第１方向において前記連通流路と並ぶとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有し、
前記カバープレートは、前記第３方向において前記第２連通流路と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する凹部を有することを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項4】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、
前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流路プレートは、
前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路と、
前記カバープレートと前記第２連通流路とを前記第３方向に離すように前記カバープレートにおいて前記アクチュエータプレートとは反対側の面に設けられた壁部と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項5】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、
前記流路プレートは、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記連通流路と間隔をあけて設けられるとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有することを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項6】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記第１方向は、鉛直方向であり、
前記連通流路は、前記流路プレートの上面に開口していることを特徴とする液体噴射ヘッドチップ。
【請求項7】
前記連通流路の前記開口部の断面積を流路開口面積とし、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をチャネル開口総面積としたとき、前記流路開口面積は、前記チャネル開口総面積以上であることを特徴とする請求項２から６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項8】
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流体供給路は、前記第３方向において前記開口部と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口していることを特徴とする請求項１、３から７のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項9】
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流路プレートは、前記第１方向において前記連通流路と並ぶとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有し、
前記カバープレートは、前記第３方向において前記第２連通流路と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する凹部を有することを特徴とする請求項１、２、５から８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項10】
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、
前記流路プレートは、
前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路と、
前記カバープレートと前記第２連通流路とを前記第３方向に離すように前記カバープレートにおいて前記アクチュエータプレートとは反対側の面に設けられた壁部と、を有することを特徴とする請求項１、２、５から８のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項11】
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記流路プレートは、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記連通流路と間隔をあけて設けられるとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有することを特徴とする請求項１から４、６から１０のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項12】
前記第２連通流路を前記第１方向と直交する面で切断したときの断面積を断面開口面積としたとき、前記流路プレートは、前記断面開口面積が前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面から前記第１方向の一方の面に向かうに従って漸次小さくなる縮幅部を有することを特徴とする請求項５または１１に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項13】
前記流路プレートは、前記連通流路を前記第２方向の両端で閉塞するように前記流路プレートの前記第２方向の両端面に設けられた保持面を有することを特徴とする請求項１から１２のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項14】
前記第１方向は、鉛直方向であり、前記連通流路は、前記流路プレートの上面に開口していることを特徴とする請求項１から５、７から１３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項15】
前記複数のチャネルと前記開口部との距離をＬｘ、前記複数のチャネルと前記開口部との最短距離をＬｄｍｉ、前記開口部の開口面積をＡｘ、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をＡｃｈとし、Ｘ＝Ａｘ／Ａｃｈ、Ｙ＝Ｌｘ／Ｌｄｍｉとしたとき、
以下の式（Ａ）を満たすことを特徴とする請求項１から１４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
１≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋０．７０ ・・・（Ａ）
【請求項16】
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、それぞれ略同じであることを特徴とする請求項１から１５のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップ。
【請求項17】
請求項１から１６のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップを備えることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項18】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、
前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、
前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、
前記アクチュエータプレートは、前記流路プレートを挟んで前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に対向するように一対設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項19】
請求項１７または１８に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする液体噴射装置。
【請求項20】
第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、
前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定されている液体噴射ヘッドチップの製造方法であって、
前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとを接合する接合工程と、
前記接合工程の後、前記流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給する保護膜形成工程と、を含み、
前記保護膜形成工程の後、前記流路プレートの外面に前記開口部を通じてインクを流入可能なインク流路を有するカバーを取り付けるカバー取付工程を更に含むことを特徴とする液体噴射ヘッドチップの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本開示の実施形態は、液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドチップの製造方法および流路プレートに関する。
【背景技術】
【0002】
従来、記録紙等の被記録媒体に液滴状のインクを吐出して、被記録媒体に画像や文字を記録する装置として、インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）を備えたインクジェットプリンタ（液体噴射装置）がある。
例えば、インクジェットヘッドには、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体に電圧をかけて変形させることでインクを吐出させる方式がある。より精細な印刷のためには、インクの吐出部であるノズルの密度を上げる方法が採用される。このときに、密度を向上させるため、アクチュエータプレートの複数のチャネル等（ヘッドチップの構造）も微細化される。
例えば、インクジェットヘッドにおいてインクに接液する部分には、ポリパラキシリレン（パリレン：登録商標）膜等の保護膜を形成して耐久性を担保している。例えば、チャネルにポリパラキシリレン膜を形成することで、チャネル内に形成された電極がインクによって腐食されることを抑制している。例えば、特開２００４－７４４６９号公報には、ポリパラキシリレン膜からなる有機絶縁膜の製造方法が開示されている。ポリパラキシリレン膜は、複雑な構造への付きまわりを利点とする。
例えば、インクジェットヘッドには、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等の圧電体に電圧をかけて変形させることでインクを吐出させる方式がある。より精細な印刷のためには、インクの吐出部であるノズルの密度を上げる方法が採用される。このときに、密度を向上させるため、アクチュエータプレートの複数のチャネル等（ヘッドチップの構造）も微細化される。
例えば、インクジェットヘッドにおいてインクに接液する部分には、ポリパラキシリレン（パリレン：登録商標）膜等の保護膜を形成して耐久性を担保している。例えば、チャネルにポリパラキシリレン膜を形成することで、チャネル内に形成された電極がインクによって腐食されることを抑制している。例えば、特開２００４－７４４６９号公報には、ポリパラキシリレン膜からなる有機絶縁膜の製造方法が開示されている。ポリパラキシリレン膜は、複雑な構造への付きまわりを利点とする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００４－７４４６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、複雑な構造への付きまわりを利点とするポリパラキシリレン膜であっても、成膜には構造の影響を受ける。ポリパラキシリレン膜等の保護膜の材料（流体）は、微細化した構造へ入りにくい。そのため、微細化した複数のチャネルに保護膜を成膜するときに、複数のチャネルにおいて保護膜の膜厚バラツキが生じる可能性がある。
【0005】
本開示は、上記の課題を解決するためになされたものであって、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドチップの製造方法および流路プレートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記課題の解決手段として、本発明の態様は以下の構成を有する。
（１）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記連通流路の前記開口部の断面積を流路開口面積とし、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をチャネル開口総面積としたとき、前記流路開口面積は、前記チャネル開口総面積以上であることを特徴とする。
（２）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流体供給路は、前記第３方向において前記開口部と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口していることを特徴とする。
（３）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記第１方向において前記連通流路と並ぶとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有し、前記カバープレートは、前記第３方向において前記第２連通流路と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する凹部を有することを特徴とする。
（４）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路と、前記カバープレートと前記第２連通流路とを前記第３方向に離すように前記カバープレートにおいて前記アクチュエータプレートとは反対側の面に設けられた壁部と、を有することを特徴とする。
（５）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記流路プレートは、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記連通流路と間隔をあけて設けられるとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有することを特徴とする。
（６）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記第１方向は、鉛直方向であり、前記連通流路は、前記流路プレートの上面に開口していることを特徴とする。
（１）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記連通流路の前記開口部の断面積を流路開口面積とし、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をチャネル開口総面積としたとき、前記流路開口面積は、前記チャネル開口総面積以上であることを特徴とする。
（２）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流体供給路は、前記第３方向において前記開口部と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口していることを特徴とする。
（３）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記第１方向において前記連通流路と並ぶとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有し、前記カバープレートは、前記第３方向において前記第２連通流路と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する凹部を有することを特徴とする。
（４）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路と、前記カバープレートと前記第２連通流路とを前記第３方向に離すように前記カバープレートにおいて前記アクチュエータプレートとは反対側の面に設けられた壁部と、を有することを特徴とする。
（５）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記流路プレートは、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記連通流路と間隔をあけて設けられるとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有することを特徴とする。
（６）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記第１方向は、鉛直方向であり、前記連通流路は、前記流路プレートの上面に開口していることを特徴とする。
【0007】
この構成によれば、ポリパラキシリレン等の保護膜を形成するための流体（以下単に「流体」ともいう。）を流路プレートの外面の開口部を通じて複数のチャネルに供給したとき、複数のチャネルにおける保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができる。したがって、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
開口部は、流路プレートにおいて第１方向の一方の面、または、第１方向及び第２方向に直交する第３方向の一方の面に開口しているとよい。
この構成によれば、流路プレートの第２方向の端面に開口部がある場合と比較して、複数のチャネルに流体を均等に供給することができる。したがって、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキをより効果的に抑制することができる。
加えて、流路プレートの第２方向の端面に開口部がある場合と比較して、開口部とチャネルとの最大距離が短くなるため、流体を各チャネルに早く供給することができる。
開口部は、流路プレートにおいて第１方向の一方の面、または、第１方向及び第２方向に直交する第３方向の一方の面に開口しているとよい。
この構成によれば、流路プレートの第２方向の端面に開口部がある場合と比較して、複数のチャネルに流体を均等に供給することができる。したがって、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキをより効果的に抑制することができる。
加えて、流路プレートの第２方向の端面に開口部がある場合と比較して、開口部とチャネルとの最大距離が短くなるため、流体を各チャネルに早く供給することができる。
【0008】
（７）上記（２）から（６）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記連通流路の前記開口部の断面積を流路開口面積とし、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をチャネル開口総面積としたとき、前記流路開口面積は、前記チャネル開口総面積以上であってもよい。
【0009】
この構成によれば、流路開口面積がチャネル開口総面積未満の場合と比較して、複数のチャネルのそれぞれへの必要な流体の流入量を確保することができるため、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚低下を抑制することができる。
【0010】
（８）上記（１）、（３）から（７）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流体供給路は、前記第３方向において前記開口部と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口していてもよい。
【0011】
この構成によれば、流体供給路がカバープレートにおいて第１方向の一方の面で閉塞されている場合と比較して、開口部側における流体の供給開口が大きくなるため、流体の供給量を増加させることができる。したがって、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚低下をより効果的に抑制することができる。
【0012】
（９）上記（１）、（２）、（５）から（８）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記第１方向において前記連通流路と並ぶとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有し、前記カバープレートは、前記第３方向において前記第２連通流路と連なるように前記カバープレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する凹部を有してもよい。
【0013】
この構成によれば、カバープレートにおいて第１方向の他方の面に凹部を有しない場合と比較して、第２連通流路側における流体の供給開口が大きくなるため、流体の供給量（循環量）を増加させることができる。
【0014】
（１０）上記（１）、（２）、（５）から（８）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとの間に配置され、前記複数のチャネルおよび前記連通流路に連通する流体供給路を有するカバープレートを更に備え、前記流路プレートは、前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路と、前記カバープレートと前記第２連通流路とを前記第３方向に離すように前記カバープレートにおいて前記アクチュエータプレートとは反対側の面に設けられた壁部と、を有してもよい。
【0015】
この構成によれば、第２連通流路がカバープレートに接する場合と比較して、第２連通流路が各チャネルの駆動による影響（クロストーク）を受けにくい。
【0016】
（１１）上記（１）から（４）、（６）から（１０）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記流路プレートは、前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向において前記連通流路と間隔をあけて設けられるとともに前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面に開口する第２連通流路を有してもよい。
【0017】
この構成によれば、第２連通流路が第１方向において連通流路と並ぶ場合と比較して、第２連通流路を通じて流体を第１方向へスムーズに流すことができる。したがって、流体の循環性が向上する。
【0018】
（１２）上記（５）または（１１）に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記第２連通流路を前記第１方向と直交する面で切断したときの断面積を断面開口面積としたとき、前記流路プレートは、前記断面開口面積が前記流路プレートにおいて前記第１方向の他方の面から前記第１方向の一方の面に向かうに従って漸次小さくなる縮幅部を有してもよい。
【0019】
この構成によれば、流路プレート内において流体を第１方向へスムーズに流すことができる。したがって、流体の循環性が向上する。例えば、インク吐出時にインク供給を逆転させたときに、インクをスムーズに流すことができる。例えば、インクを下方に吐出するときに、インク供給を逆転させた場合は、チャネル内の気泡が浮力および循環で流れやすいため、チャネル内に気泡が溜まりにくい。
【0020】
（１３）上記（１）から（１２）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記流路プレートは、前記連通流路を前記第２方向の両端で閉塞するように前記流路プレートの前記第２方向の両端面に設けられた保持面を有してもよい。
【0021】
この構成によれば、保持面により液体噴射ヘッドチップの第２方向の両端を保持可能となるため、作業性が向上する。
【0022】
（１４）上記（１）から（５）、（７）から（１３）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記第１方向は、鉛直方向であり、前記連通流路は、前記流路プレートの上面に開口していてもよい。
【0023】
この構成によれば、流体の自重により流体を連通流路へスムーズに流すことができる。
【0024】
（１５）上記（１）から（１４）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記複数のチャネルと前記開口部との距離をＬｘ、前記複数のチャネルと前記開口部との最短距離をＬｄｍｉ、前記開口部の開口面積をＡｘ、前記アクチュエータプレートの前記流路プレートの側の面における前記複数のチャネルの断面積の総和をＡｃｈとし、Ｘ＝Ａｘ／Ａｃｈ、Ｙ＝Ｌｘ／Ｌｄｍｉとしたとき、以下の式（Ａ）を満たしてもよい。
１≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋０．７０ ・・・（Ａ）
１≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋０．７０ ・・・（Ａ）
【0025】
この構成によれば、複数のチャネルにおける保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができるため、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0026】
（１６）上記（１）から（１５）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップでは、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、それぞれ略同じであってもよい。
【0027】
この構成によれば、複数のチャネルに流体を均等に供給することができるため、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0028】
（１７）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドは、上記（１）から（１６）のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドチップを備えることを特徴とする。
【0029】
この構成によれば、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる液体噴射ヘッドを提供することができる。
【0030】
（１８）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドは、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定され、前記開口部は、前記流路プレートにおいて前記第１方向の一方の面に開口し、前記アクチュエータプレートは、前記流路プレートを挟んで前記第１方向及び前記第２方向に直交する第３方向に対向するように一対設けられていることを特徴とする。
【0031】
この構成によれば、二列タイプの液体噴射ヘッドにおいて複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0032】
（１９）本開示の態様に係る液体噴射装置は、上記（１７）または（１８）に記載の液体噴射ヘッドを備えることを特徴とする。
【0033】
この構成によれば、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる液体噴射装置を提供することができる。
【0034】
（２０）本開示の態様に係る液体噴射ヘッドチップの製造方法は、第１方向に沿って延びる複数のチャネルが前記第１方向に直交する第２方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレートと、前記アクチュエータプレートに接合され、前記複数のチャネルに連通する連通流路を有する流路プレートと、を備え、前記連通流路は、前記複数の前記チャネルに跨るように前記第２方向に沿って延びるとともに、前記流路プレートの外面に開口する開口部を有し、前記複数のチャネルと前記開口部との距離は、前記複数のチャネルに保護膜を形成するための流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給したとき、前記複数のチャネルにおける前記保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定されている液体噴射ヘッドチップの製造方法であって、前記アクチュエータプレートと前記流路プレートとを接合する接合工程と、前記接合工程の後、前記流体を前記流路プレートの前記開口部を通じて前記複数のチャネルに供給する保護膜形成工程と、を含み、前記保護膜形成工程の後、前記流路プレートの外面に前記開口部を通じてインクを流入可能なインク流路を有するカバーを取り付けるカバー取付工程を更に含むことを特徴とする。
【0035】
この方法によれば、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0037】
この方法によれば、カバー取付工程の前に、流体を流路プレートの外面の開口部を通じて複数のチャネルに供給することができる。カバー取付工程の前は開口部を遮る部材が無いため、カバー取付工程の後に流体を供給する場合と比較して、複数のチャネルに流体をスムーズに供給することができる。
【発明の効果】
【0040】
本開示によれば、複数のチャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる液体噴射ヘッドチップ、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、液体噴射ヘッドチップの製造方法および流路プレートを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【0041】
【図1】実施形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図。
【図2】実施形態に係るインクジェットヘッド及びインク循環機構の概略構成図。
【図3】実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図。
【図4】実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図5】実施形態に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図7】実施形態に係るヘッドチップの部分拡大斜視図。
【図8】実施形態に係るカバープレートの斜視図。
【図9】実施形態に係る流路開口面積とチャネル開口総面積との関係を示す図。
【図13】実施形態の第１変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図14】実施形態の第２変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図15】実施形態の第３変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図16】実施形態の第４変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図18】実施形態の第５変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図22】実施形態の第８変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図23】実施形態の第９変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図24】実施形態の第１０変形例に係るインクジェットヘッドの断面図。
【図25】実施例に係る保護膜の厚みの評価の説明図。
【発明を実施するための形態】
【0042】
以下、本開示に係る実施形態について図面を参照して説明する。実施形態では、本開示の液体噴射ヘッドチップ（以下、単に「ヘッドチップ」という。）を備えた液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置の一例として、インク（液体）を利用して被記録媒体に記録を行うインクジェットプリンタ（以下、単に「プリンタ」という。）を例に挙げて説明する。なお、以下の説明に用いる図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
【0043】
＜プリンタ＞
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド５（液体噴射ヘッド）と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備える。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。Ｘ方向は、被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向である。Ｙ方向は、走査機構７の走査方向である。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する上下方向である。
図１はプリンタ１の概略構成図である。
図１に示すように、本実施形態のプリンタ１は、一対の搬送機構２，３と、インクタンク４と、インクジェットヘッド５（液体噴射ヘッド）と、インク循環機構６と、走査機構７と、を備える。なお、以下の説明では、必要に応じてＸ，Ｙ，Ｚの直交座標系を用いて説明する。Ｘ方向は、被記録媒体Ｐ（例えば、紙等）の搬送方向である。Ｙ方向は、走査機構７の走査方向である。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交する上下方向である。
【0044】
搬送機構２，３（第１搬送機構２および第２搬送機構３）は、被記録媒体ＰをＸ方向に搬送する。具体的に、第１搬送機構２は、Ｙ方向に延びる第１グリットローラ１１と、第１グリットローラ１１と平行に延びる第１ピンチローラ１２と、第１グリットローラ１１を軸回転させるモータ等の駆動機構（不図示）と、を備える。第２搬送機構３は、第１グリットローラ１１と平行に延びる第２グリットローラ１３と、第２グリットローラ１３と平行に延びる第２ピンチローラ１４と、第２グリットローラ１３を軸回転させる駆動機構（不図示）と、を備える。
【0045】
インクタンク４は、Ｘ方向に並んで複数設けられている。実施形態において、複数のインクタンク４は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ収容するインクタンク４Ｙ，４Ｍ，４Ｃ，４Ｋである。
【0046】
図２に示すように、インク循環機構６は、インクタンク４とインクジェットヘッド５との間でインクを循環させる。具体的に、インク循環機構６は、インク供給管２１及びインク排出管２２を有する循環流路２３と、インク供給管２１に接続された加圧ポンプ２４と、インク排出管２２に接続された吸引ポンプ２５と、を備える。例えば、インク供給管２１及びインク排出管２２は、インクジェットヘッド５を支持する走査機構７の動作に追従可能な程度に可撓性を有するフレキシブルホースにより構成されている。
【0047】
加圧ポンプ２４は、インク供給管２１内を加圧し、インク供給管２１を通してインクジェットヘッド５にインクを送り出している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク供給管２１側は正圧となっている。
【0048】
吸引ポンプ２５は、インク排出管２２内を減圧し、インク排出管２２内を通してインクジェットヘッド５からインクを吸引している。これにより、インクジェットヘッド５に対してインク排出管２２側は負圧となっている。インクは、加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５の駆動により、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間を、循環流路２３を通して循環可能となっている。
【0049】
図１に示すように、走査機構７は、インクジェットヘッド５をＹ方向に往復走査させる。具体的に、走査機構７は、Ｙ方向に延びる一対のガイドレール３１，３２と、一対のガイドレール３１，３２に移動可能に支持されたキャリッジ３３と、キャリッジ３３をＹ方向に移動させる駆動機構３４と、を備える。なお、搬送機構２，３及び走査機構７は、インクジェットヘッド５と被記録媒体Ｐとを相対的に移動させる移動機構として機能する。
【0050】
駆動機構３４は、Ｘ方向におけるガイドレール３１，３２の間に配置されている。駆動機構３４は、Ｙ方向に間隔をあけて配置された一対のプーリ３５，３６と、一対のプーリ３５，３６間に巻回された無端ベルト３７と、一方のプーリ３５を回転駆動させる駆動モータ３８と、を備える。
【0051】
キャリッジ３３は、無端ベルト３７に連結されている。キャリッジ３３には、Ｙ方向に並んで複数のインクジェットヘッド５が搭載されている。実施形態において、複数のインクジェットヘッド５は、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの四色のインクをそれぞれ吐出するインクジェットヘッド５Ｙ，５Ｍ，５Ｃ，５Ｋである。
【0052】
＜インクジェットヘッド５＞
図３に示すように、インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ４０と、カバー４１（図１２参照）と、入口ジョイント４２と、出口ジョイント（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート４４（噴射プレート）と、を備える。インクジェットヘッド５は、吐出チャネル５１におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクタンク４（図１参照）との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。
図示はしないが、ヘッドチップ４０の表面（内部の表面を含む）には、ポリパラキシリレン膜などの保護膜が形成されている。
図３に示すように、インクジェットヘッド５は、ヘッドチップ４０と、カバー４１（図１２参照）と、入口ジョイント４２と、出口ジョイント（不図示）と、帰還プレート４３と、ノズルプレート４４（噴射プレート）と、を備える。インクジェットヘッド５は、吐出チャネル５１におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのうち、インクタンク４（図１参照）との間でインクを循環させる循環式（エッジシュート循環式）のものである。
図示はしないが、ヘッドチップ４０の表面（内部の表面を含む）には、ポリパラキシリレン膜などの保護膜が形成されている。
【0053】
＜ヘッドチップ４０＞
ヘッドチップ４０は、一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂと、一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂと、一対の封止プレート７０Ａ，７０Ｂと、単一の流路プレート８０と、を備える。
ヘッドチップ４０は、一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂと、一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂと、一対の封止プレート７０Ａ，７０Ｂと、単一の流路プレート８０と、を備える。
【0054】
一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ、一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂ、一対の封止プレート７０Ａ，７０Ｂは、それぞれ互いに実質的に同一の構成を有する。一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ、一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂ、一対の封止プレート７０Ａ，７０Ｂは、それぞれＹ方向において流路プレート８０を挟んで実質的に対称の姿勢をなすように実質的に対称の位置に配置されている。
【0055】
以下、特に区別する必要がない場合は、一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ、一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂ、一対の封止プレート７０Ａ，７０Ｂを、それぞれアクチュエータプレート５０、カバープレート６０、封止プレート７０と称して説明する。アクチュエータプレート５０、カバープレート６０、封止プレート７０は、流路プレート８０に近い位置からカバープレート６０、アクチュエータプレート５０、封止プレート７０の順に配置されている。
【0056】
＜アクチュエータプレート５０＞
アクチュエータプレート５０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。実施形態において、アクチュエータプレート５０は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）で異なる２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である。例えば、圧電基板は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられる。
アクチュエータプレート５０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。実施形態において、アクチュエータプレート５０は、分極方向が厚さ方向（Ｙ方向）で異なる２枚の圧電基板を積層した、いわゆるシェブロンタイプの積層基板である。例えば、圧電基板は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等からなるセラミックス基板が好適に用いられる。
【0057】
アクチュエータプレート５０は、カバープレート６０と対向するＡＰ第１面５０ｆ１と、封止プレート７０と対向するＡＰ第２面５０ｆ２と、を有する。図７に示すように、ＡＰ第２面５０ｆ２は、端部領域５０ｆ２１と、チャネル形成領域５０ｆ２２と、を含んでいる。端部領域５０ｆ２１は、封止プレート７０（図３参照）と重なることなく外部に露出する部分である。チャネル形成領域５０ｆ２２は、複数のチャネル５１，５２が形成されるとともに封止プレート７０（図３参照）と重なる部分である。
【0058】
各チャネル５１，５２は、Ｚ方向（第１方向）に延びる直線状に形成されている。各チャネル５１，５２は、Ｘ方向（第２方向）に間隔をあけて交互に形成されている。各チャネル５１，５２間は、アクチュエータプレート５０からなる駆動壁５３によってそれぞれ画成されている。一方のチャネル５１は、インクが充填される吐出チャネル５１（噴射チャネル）である。他方のチャネル５２は、インクが充填されない非吐出チャネル５２（非噴射チャネル）である。
【0059】
吐出チャネル５１の上端部は、アクチュエータプレート５０内で終端している。吐出チャネル５１の下端部は、アクチュエータプレート５０の下端面で開口している。図７中符号５１ｅは、吐出チャネル５１において帰還プレート４３（図３参照）と対向する開口（インクが吐出される吐出端）を示す。
【0060】
図４は、第１アクチュエータプレート５０Ａにおける吐出チャネル５１の断面を含む図である。図５は、第２アクチュエータプレート５０Ｂにおける吐出チャネル５１の断面を含む図である。
図４に示すように、吐出チャネル５１は、下端部に位置する延在部５１ａと、延在部５１ａから上方に連なる切り上がり部５１ｂと、を有している。
延在部５１ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部５１ｂは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。
図４に示すように、吐出チャネル５１は、下端部に位置する延在部５１ａと、延在部５１ａから上方に連なる切り上がり部５１ｂと、を有している。
延在部５１ａは、Ｚ方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。切り上がり部５１ｂは、上方に向かうに従い溝深さが漸次浅くなっている。
【0061】
非吐出チャネル５２は、Ｚ方向の全体に亘って溝深さが一様とされている。図３に示すように、非吐出チャネル５２の上端部は、アクチュエータプレート５０の上端面で開口している。非吐出チャネル５２の下端部は、アクチュエータプレート５０の下端面で開口している。
【0062】
図７に示すように、吐出チャネル５１の内面には、共通電極５５が形成されている。共通電極５５は、吐出チャネル５１の内面全体に形成されている。すなわち、共通電極５５は、延在部５１ａの内面全体、及び切り上がり部５１ｂの内面全体に形成されている。
【0063】
共通電極５５は、共通パッド５６と接続されている。共通パッド５６は、ＡＰ第２面５０ｆ２のうち吐出チャネル５１の上端部の周辺部分の一部を覆うように形成されている。共通パッド５６は、ＡＰ第２面５０ｆ２のうち吐出チャネル５１の上端部から端部領域５０ｆ２１に至るまで延びている。
【0064】
非吐出チャネル５２の内面には、個別電極５７が形成されている。図６に示すように、個別電極５７は、非吐出チャネル５２の内面のうち、Ｘ方向で対向する内側面に各別に形成されている。したがって、各個別電極５７のうち、同一の非吐出チャネル５２内で対向する個別電極５７同士は、非吐出チャネル５２の底面において電気的に分離されている。個別電極５７は、非吐出チャネル５２の内側面全体（Ｙ方向及びＺ方向の全体）に亘って形成されている。
【0065】
図７に示すように、個別電極５７は、個別パッド５８と接続されている。個別パッド５８は、ＡＰ第２面５０ｆ２のうち端部領域５０ｆ２１の一部を覆うように形成されている。個別パッド５８は、ＡＰ第２面５０ｆ２のうち共通パッド５６よりも上方に位置する部分をＸ方向に延びている。個別パッド５８は、吐出チャネル５１を間に挟んで隣り合う一対の個別電極５７同士を接続している。個別電極５７および個別パッド５８は、共通電極５５および共通パッド５６と電気的に絶縁されている。
共通パッド５６および個別パッド５８は、フレキシブルプリント基板などの外部配線基板５９（図４参照）と接続されている。
共通パッド５６および個別パッド５８は、フレキシブルプリント基板などの外部配線基板５９（図４参照）と接続されている。
【0066】
＜カバープレート６０＞
図３に示すように、カバープレート６０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。カバープレート６０の長手方向および短手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の長手方向および短手方向の長さとそれぞれ実質的に同じである。
図３に示すように、カバープレート６０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。カバープレート６０の長手方向および短手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の長手方向および短手方向の長さとそれぞれ実質的に同じである。
【0067】
カバープレート６０は、Ｙ方向（第３方向）においてアクチュエータプレート５０と流路プレート８０との間に配置されている。カバープレート６０は、流路プレート８０と対向するＣＰ第１面６０ｆ１と、アクチュエータプレート５０（ＡＰ第１面５０ｆ１）と対向するＣＰ第２面６０ｆ２と、を有する。
【0068】
カバープレート６０は、カバープレート６０をＹ方向（厚さ方向）に貫通するとともに、吐出チャネル５１に連通する液体供給路６１を有する。液体供給路６１は、カバープレート６０をＹ方向の流路プレート８０側に開口するマニホールド６２と、マニホールド６２にそれぞれ連通するとともにＹ方向のアクチュエータプレート５０側に開口する複数のスリット６３と、を含んでいる（図８参照）。
【0069】
複数のスリット６３は、複数の吐出チャネル５１に対応するようにＸ方向に間隔をあけて配置されている。複数のスリット６３は、それぞれＺ方向に長手を有する。マニホールド６２は、複数のスリット６３に対して共通に設けられている。マニホールド６２は、各スリット６３を通して各吐出チャネル５１と連通している（図４参照）。一方、マニホールド６２は、非吐出チャネル５２には連通していない。
【0070】
図４に示すように、マニホールド６２は、ＣＰ第１面６０ｆ１に形成されている。マニホールド６２は、Ｚ方向において、吐出チャネル５１の切り上がり部５１ｂと実質的に同じ位置に配置されている。マニホールド６２は、ＣＰ第２面６０ｆ２に向けて窪むとともにＸ方向に延在する溝状に形成されている。マニホールド６２には、流路プレート８０を通してインクが流入する。
【0071】
複数のスリット６３は、ＣＰ第２面６０ｆ２に形成されている。複数のスリット６３は、Ｙ方向においてマニホールド６２の一部とそれぞれ重なる位置に配置されている。複数のスリット６３は、マニホールド６２と吐出チャネル５１とに連通している。複数のスリット６３のＸ方向の幅は、吐出チャネル５１のＸ方向の幅と実質的に同じである。
【0072】
なお、カバープレート６０は、絶縁性を有し、かつアクチュエータプレート５０の形成材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、アクチュエータプレート５０をＰＺＴにより形成した場合、カバープレート６０は、ＰＺＴまたはシリコンにより形成することが好ましい。これにより、アクチュエータプレート５０での温度ばらつきを緩和し、インク温度の均一化を図ることができる。これにより、インクの吐出速度の均一化を図り、印字安定性を向上させることができる。
【0073】
＜封止プレート７０＞
図３に示すように、封止プレート７０（ボトムプレート）の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。封止プレート７０の長手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の長手方向と実質的に同じである。封止プレート７０の短手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の短手方向の長さよりも短い。
図３に示すように、封止プレート７０（ボトムプレート）の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。封止プレート７０の長手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の長手方向と実質的に同じである。封止プレート７０の短手方向の長さは、アクチュエータプレート５０の短手方向の長さよりも短い。
【0074】
封止プレート７０は、アクチュエータプレート５０と対向するＢＰ第１面７０ｆ１と、Ｙ方向においてヘッドチップ４０の最外面に位置するＢＰ第２面７０ｆ２と、アクチュエータプレート５０の上端よりも下方に位置するＢＰ上端面７０ｆ３と、アクチュエータプレート５０の下端とＺ方向において実質的に一致するＢＰ下端面７０ｆ４と、を有する。
【0075】
ＢＰ第１面７０ｆ１は、ＡＰ第２面５０ｆ２のうちのチャネル形成領域５０ｆ２２（図７参照）と対向している。複数のチャネル５１，５２は、封止プレート７０とカバープレート６０とによって閉塞されている。封止プレート７０は、開口や切り欠き、溝などを有しなくてもよい。すなわち、封止プレート７０は、単純な矩形板状を有しているとよい。これにより、封止プレート７０の形成材料として、加工の困難な機能性材料や、高い加工精度が得にくい低価格材料を用いることもできるため、材料の選択の自由度が向上する。
【0076】
＜一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂの配置関係＞
図３に示すように、一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂは、それぞれのＡＰ第１面５０ｆ１同士をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ方向に一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂおよび単一の流路プレート８０を挟んで配置されている。
図３に示すように、一対のアクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂは、それぞれのＡＰ第１面５０ｆ１同士をＹ方向で対向させた状態で、Ｙ方向に一対のカバープレート６０Ａ，６０Ｂおよび単一の流路プレート８０を挟んで配置されている。
【0077】
第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１及び非吐出チャネル５２は、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１及び非吐出チャネル５２の配列ピッチに対してＸ方向に半ピッチずれて配列されている。すなわち、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂの吐出チャネル５１及び非吐出チャネル５２同士は、千鳥状に配列されている。
【0078】
図４に示すように、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１と、第２アクチュエータプレート５０Ｂの非吐出チャネル５２とは、Ｙ方向で対向している。図５に示すように、第１アクチュエータプレート５０Ａの非吐出チャネル５２と、第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１とは、Ｙ方向で対向している。なお、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂのチャネル５１，５２のピッチは、必要に応じて変更可能である。
【0079】
＜流路プレート８０＞
図３に示すように、流路プレート８０は、Ｙ方向において第１カバープレート６０Ａと第２カバープレート６０Ｂとの間に配置されている。流路プレート８０は、同一の部材により一体に形成されている。流路プレート８０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。Ｙ方向から見て、流路プレート８０の外形は、カバープレート６０の外形と実質的に同じである。
図３に示すように、流路プレート８０は、Ｙ方向において第１カバープレート６０Ａと第２カバープレート６０Ｂとの間に配置されている。流路プレート８０は、同一の部材により一体に形成されている。流路プレート８０の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＺ方向に短手を有する矩形板状をなしている。Ｙ方向から見て、流路プレート８０の外形は、カバープレート６０の外形と実質的に同じである。
【0080】
流路プレート８０は、第１カバープレート６０Ａと対向するＦＰ第１面８０ｆ１と、第２カバープレート６０Ｂと対向するＦＰ第２面８０ｆ２と、各カバープレート６０Ａ，６０Ｂの上端とＺ方向において実質的に一致するＦＰ上端面８０ｆ３と、各カバープレート６０Ａ，６０Ｂの下端とＺ方向において実質的に一致するＦＰ下端面８０ｆ４と、を有する。
【0081】
ＦＰ第１面８０ｆ１は、第１カバープレート６０ＡのＣＰ第１面６０ｆ１と接合されている。
ＦＰ第２面８０ｆ２は、第２カバープレート６０ＢのＣＰ第１面６０ｆ１と接合されている。
ＦＰ上端面８０ｆ３は、ヘッドチップ４０の最上面に位置している。
ＦＰ下端面８０ｆ４は、ヘッドチップ４０の最下面に位置している。
ＦＰ第２面８０ｆ２は、第２カバープレート６０ＢのＣＰ第１面６０ｆ１と接合されている。
ＦＰ上端面８０ｆ３は、ヘッドチップ４０の最上面に位置している。
ＦＰ下端面８０ｆ４は、ヘッドチップ４０の最下面に位置している。
【0082】
図４に示すように、流路プレート８０は、ＦＰ上端面８０ｆ３（第１方向の一方の面）に開口する開口部８５を有する一対の入口流路８１Ａ，８１Ｂ（連通流路）と、Ｚ方向において入口流路８１Ａ，８１Ｂと並ぶとともにＦＰ下端面８０ｆ４（第２方向の他方の面）に開口する一対の出口流路８２Ａ，８２Ｂ（第２連通流路）と、を有する。以下、特に区別する必要がない場合は、一対の入口流路８１Ａ，８１Ｂ、一対の出口流路８２Ａ，８２Ｂを、それぞれ入口流路８１、出口流路８２と称して説明する。
【0083】
入口流路８１は、液体供給路６１を通じて複数の吐出チャネル５１に連通している。入口流路８１は、複数の吐出チャネル５１に跨るようにＸ方向に延びている（図９参照）。入口流路８１は、マニホールド６２に格別に連通するようにＦＰ第１面８０ｆ１およびＦＰ第２面８０ｆ２のそれぞれに形成されている。
【0084】
各入口流路８１Ａ，８１Ｂは、ＦＰ第１面８０ｆ１およびＦＰ第２面８０ｆ２からそれぞれＹ方向の内側に向けて窪んでいる。各入口流路８１Ａ，８１ＢのＸ方向の両端部および下端部は、流路プレート８０内で閉塞されている（図３参照）。すなわち、入口流路８１は、ＦＰ上端面８０ｆ３のみで開口する開口部８５を有する。
【0085】
図９は、実施形態に係る流路開口面積とチャネル開口総面積との関係を示す図である。図１０は、図９のＸ－Ｘ断面図である。図９においては、流路プレート８０における開口部８５等を実線で示し、アクチュエータプレート５０における複数の吐出チャネル５１を破線で示している。
【0086】
開口部８５は、複数の吐出チャネル５１との距離が、複数の吐出チャネル５１に保護膜を形成するための流体を流路プレート８０の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給したとき、複数の吐出チャネル５１における保護膜の厚さがそれぞれ同等（例えば均一）になるように設定されている。
【0087】
本発明者は、鋭意検討の結果、複数の吐出チャネル５１において保護膜の厚さをそれぞれ同等にするための、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離、および複数の吐出チャネル５１と開口部８５との開口広さ（開口面積）の関係性を見出した。流路プレート８０の開口部８５が複数の吐出チャネル５１よりも広く開いている場合、最大で８０％程度、少なくとも４０％程度の距離の範囲で、複数の吐出チャネル５１において保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができる。現在の設計を基礎に考えた場合、８０％は理論上取りうる設計上の最大値であり、４０％は実際に行った場合を推定した最小値である。
【0088】
本実施形態では、開口部８５は、複数の吐出チャネル５１との距離がそれぞれ略同じになるようにＦＰ上端面８０ｆ３に開口している。言い換えると、複数の吐出チャネル５１のそれぞれをチャネルのＸ方向の幅中心位置を通る面で切断したときの断面視で、開口部８５と吐出チャネル５１との距離は各断面において略同じである。
【0089】
ここで、「距離」とは、図１０の断面視で開口部８５のＹ方向の中心位置Ｇ１と吐出チャネル５１の開口中心位置Ｇ２とを結ぶ仮想線の長さＬを意味する。
流路プレート８０とカバープレート６０との接合面としてＦＰ第１面８０ｆ１を例示したとき、「距離」は、断面視でＦＰ第１面８０ｆ１側に位置する開口部８５のＹ方向の中心位置Ｇ１と、第１カバープレート６０Ａの液体供給路６１のＺ方向の中心位置Ｇ３と、第１アクチュエータプレート５０Ａと第１カバープレート６０Ａとの接合面（第１カバープレート６０ＡのＡＰ第１面５０ｆ１）における吐出チャネル５１の開口面のＺ方向の中心位置Ｇ２と、を結ぶ第１仮想線の長さである。
流路プレート８０とカバープレート６０との接合面としてＦＰ第２面８０ｆ２を例示したとき、「距離」は、断面視でＦＰ第２面８０ｆ２側に位置する開口部８５のＹ方向の中心位置と、第２カバープレート６０Ｂの液体供給路６１のＺ方向の中心位置と、第２アクチュエータプレート５０Ｂと第２カバープレート６０Ｂとの接合面（第２カバープレート６０ＢのＡＰ第１面５０ｆ１）におけるチャネルの開口面のＺ方向の中心位置と、を結ぶ第２仮想線の長さである。
流路プレート８０とカバープレート６０との接合面としてＦＰ第１面８０ｆ１を例示したとき、「距離」は、断面視でＦＰ第１面８０ｆ１側に位置する開口部８５のＹ方向の中心位置Ｇ１と、第１カバープレート６０Ａの液体供給路６１のＺ方向の中心位置Ｇ３と、第１アクチュエータプレート５０Ａと第１カバープレート６０Ａとの接合面（第１カバープレート６０ＡのＡＰ第１面５０ｆ１）における吐出チャネル５１の開口面のＺ方向の中心位置Ｇ２と、を結ぶ第１仮想線の長さである。
流路プレート８０とカバープレート６０との接合面としてＦＰ第２面８０ｆ２を例示したとき、「距離」は、断面視でＦＰ第２面８０ｆ２側に位置する開口部８５のＹ方向の中心位置と、第２カバープレート６０Ｂの液体供給路６１のＺ方向の中心位置と、第２アクチュエータプレート５０Ｂと第２カバープレート６０Ｂとの接合面（第２カバープレート６０ＢのＡＰ第１面５０ｆ１）におけるチャネルの開口面のＺ方向の中心位置と、を結ぶ第２仮想線の長さである。
【0090】
「略同じ」とは、ヘッドチップ４０の構成要素の設計誤差（寸法誤差）の許容範囲内において、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離がそれぞれ実質的に同じであることを意味する。
「実質的に同じ」とは、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との間のうち、最長距離をＬｍａｘ、最短距離をＬｍｉｎ、平均距離をＬａｖｅとしたとき、以下の式（１）、（２）を満たすことを意味する。
Ｌｍａｘ≦Ｌａｖｅ×１．０５ ・・・（１）
Ｌｍｉｎ≧Ｌａｖｅ×０．９５ ・・・（２）
「実質的に同じ」とは、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との間のうち、最長距離をＬｍａｘ、最短距離をＬｍｉｎ、平均距離をＬａｖｅとしたとき、以下の式（１）、（２）を満たすことを意味する。
Ｌｍａｘ≦Ｌａｖｅ×１．０５ ・・・（１）
Ｌｍｉｎ≧Ｌａｖｅ×０．９５ ・・・（２）
【0091】
なお、「略同じ」には、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離がそれぞれ完全同一である場合が含まれる。
また、「略同じ」には、複数の吐出チャネル５１に保護膜が均等に成膜可能な範囲内において、複数の吐出チャネル５１の開口部８５との距離が目標値に対して一部異なる場合が含まれる。
例えば、「一部異なる場合」には、複数の吐出チャネル５１の一部（Ｘ方向の端部にある１つのチャネル）のみが目標値（他のチャネルの平均値）よりも長い場合、および短い場合が含まれる。
また、「略同じ」には、複数の吐出チャネル５１に保護膜が均等に成膜可能な範囲内において、複数の吐出チャネル５１の開口部８５との距離が目標値に対して一部異なる場合が含まれる。
例えば、「一部異なる場合」には、複数の吐出チャネル５１の一部（Ｘ方向の端部にある１つのチャネル）のみが目標値（他のチャネルの平均値）よりも長い場合、および短い場合が含まれる。
【0092】
開口部８５をＸＹ面（Ｚ方向と直交する面）で切断したときの断面積を流路開口面積Ａｆ１とし、アクチュエータプレート５０とカバープレート６０との接合面（アクチュエータプレート５０の流路プレート８０側の面）における複数の吐出チャネル５１の断面積の総和をチャネル開口総面積Ａｃｈとする。流路開口面積Ａｆ１は、チャネル開口総面積Ａｃｈ以上である。複数の吐出チャネル５１において保護膜の膜厚低下を抑制する観点では、流路開口面積Ａｆ１は、チャネル開口総面積Ａｃｈに対して大きければ大きいほど好ましい。例えば、開口部８５は、以下の式（３）を満たすように設定されている。
Ａｃｈ≦Ａｆｌ ・・・（３）
Ａｃｈ≦Ａｆｌ ・・・（３）
【0093】
図３に示すように、出口流路８２は、入口流路８１の外形に沿うようにＸ方向およびＺ方向に延びている。出口流路８２は、帰還プレート４３の循環路４３ａ，４３ｂに各別に連通するようにＦＰ第１面８０ｆ１およびＦＰ第２面８０ｆ２のそれぞれに形成されている。
【0094】
図４に示すように、各出口流路８２Ａ，８２Ｂは、ＦＰ第１面８０ｆ１およびＦＰ第２面８０ｆ２からそれぞれＹ方向の内側に向けて窪んでいる。各出口流路８２Ａ，８２ＢのＸ方向の両端部は、流路プレート８０内で閉塞されている（図３参照）。図３に示すように、出口流路８２は、Ｘ方向の一端部から他端部に向けて直線状に延びる第１延在部８３と、第１延在部８３の他端部から上方に延びる第２延在部８４と、を有する。
第１延在部８３は、第１延在部８３の長手方向全体にわたってＦＰ下端面８０ｆ４で開口している。第２延在部８４の上端部は、ＦＰ上端面８０ｆ３で開口している。
第１延在部８３は、第１延在部８３の長手方向全体にわたってＦＰ下端面８０ｆ４で開口している。第２延在部８４の上端部は、ＦＰ上端面８０ｆ３で開口している。
【0095】
第２延在部８４の上端部は、流路プレート８０のＸ方向の他端面において図示しない出口ジョイントに接続されている。出口ジョイントは、インク排出管２２（図１参照）に接続されている。
【0096】
図４に示すように、各入口流路８１Ａ，８１Ｂおよび各出口流路８２Ａ，８２Ｂは、第１カバープレート６０Ａと第２カバープレート６０Ｂとの間において、Ｙ方向に間隔をあけて配置されている。流路プレート８０は、入口流路８１Ａ，８１Ｂおよび出口流路８２Ａ，８２ＢをＹ方向における第１カバープレート６０Ａ側と第２カバープレート６０Ｂ側とに仕切る仕切り壁８６を有する。これにより、インク吐出時等に発生するチャネル内の圧力変動が仕切り壁８６で遮られるため、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ間において、前記圧力変動が流路を介して他のチャネル等に圧力波となって伝播される、いわゆるクロストークを抑制することができる。したがって、優れた吐出性能（印字安定性）を得ることができる。
【0097】
図５に示すように、流路プレート８０は、入口流路８１Ａ，８１Ｂおよび出口流路８２Ａ，８２ＢをＸ方向の両端で閉塞するように流路プレート８０のＸ方向の両端面に設けられた保持面８７を有する。保持面８７は、ヘッドチップ４０のＸ方向の最外面に位置している。例えば、保持面８７は作業者の指が接触可能な大きさの面積を有する。
【0098】
流路プレート８０は、絶縁性を有し、かつカバープレート６０の形成材料の熱伝導率と同等以上の熱伝導率を有する材料により形成されているとよい。例えば、カバープレート６０をシリコンにより形成した場合、流路プレート８０は、シリコンまたはカーボンにより形成することが好ましい。これにより、各カバープレート６０Ａ，６０Ｂでの温度ばらつきを緩和することができる。このため、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂでの温度ばらつきを緩和し、インク温度の均一化を図ることができる。これにより、インクの吐出速度の均一化を図り、印字安定性を向上させることができる。
【0099】
＜入口ジョイント４２＞
図３に示すように、入口ジョイント４２は、ヘッドチップ４０及びカバー４１（図１２参照）のＸ方向の一端面にまとめて接合されている。入口ジョイント４２は、各入口流路８１Ａ，８１Ｂに連通する供給路４２ａを有する。供給路４２ａは、入口ジョイント４２のＸ方向内端面からＸ方向外側に向けて窪んでいる。入口ジョイント４２は、インク供給管２１（図１参照）に接続されている。
図３に示すように、入口ジョイント４２は、ヘッドチップ４０及びカバー４１（図１２参照）のＸ方向の一端面にまとめて接合されている。入口ジョイント４２は、各入口流路８１Ａ，８１Ｂに連通する供給路４２ａを有する。供給路４２ａは、入口ジョイント４２のＸ方向内端面からＸ方向外側に向けて窪んでいる。入口ジョイント４２は、インク供給管２１（図１参照）に接続されている。
【0100】
＜帰還プレート４３＞
図３に示すように、帰還プレート４３の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、流路プレート８０、各カバープレート６０Ａ，６０Ｂ、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂおよび各封止プレート７０Ａ，７０Ｂの下端面にまとめて接合されている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０における吐出チャネル５１の開口端側に配置されている。帰還プレート４３は、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂにおける吐出チャネル５１の開口（吐出端５１ｅ、図７参照）と、ノズルプレート４４の上面との間に介在するスペーサプレートである。
図３に示すように、帰還プレート４３の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。帰還プレート４３は、流路プレート８０、各カバープレート６０Ａ，６０Ｂ、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂおよび各封止プレート７０Ａ，７０Ｂの下端面にまとめて接合されている。帰還プレート４３は、ヘッドチップ４０における吐出チャネル５１の開口端側に配置されている。帰還プレート４３は、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂにおける吐出チャネル５１の開口（吐出端５１ｅ、図７参照）と、ノズルプレート４４の上面との間に介在するスペーサプレートである。
【0101】
帰還プレート４３は、各アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂの吐出チャネル５１と出口流路８２Ａ，８２Ｂとの間を接続する複数の循環路４３ａ，４３ｂを有する。複数の循環路４３ａ，４３ｂは、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１に対応する第１循環路４３ａと、第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１に対応する第２循環路４３ｂと、を含む。複数の循環路４３ａ，４３ｂは、帰還プレート４３をＺ方向に貫通している。
【0102】
図４に示すように、第１循環路４３ａは、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１とＸ方向において実質的に同じ位置に配置されている。第１循環路４３ａは、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１の配列ピッチに対応してＸ方向に間隔をあけて複数設けられている。
【0103】
第１循環路４３ａは、Ｙ方向に延びている。第１循環路４３ａにおけるＹ方向の内側端は、第１カバープレート６０ＡにおけるＣＰ第１面６０ｆ１よりもＹ方向の内側に位置している。第１循環路４３ａにおけるＹ方向の内側端部は、一方の出口流路８２Ａ内に連通している。第１循環路４３ａにおけるＹ方向の外側端部は、第１アクチュエータプレート５０Ａの吐出チャネル５１内に各別に連通している。
【0104】
図５に示すように、第２循環路４３ｂは、第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１とＸ方向において実質的に同じ位置に形成されている。第２循環路４３ｂは、第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１の配列ピッチに対応してＸ方向に間隔をあけて複数設けられている。
【0105】
第２循環路４３ｂは、Ｙ方向に延びている。第２循環路４３ｂにおけるＹ方向の内側端は、第２カバープレート６０ＢにおけるＣＰ第１面６０ｆ１よりもＹ方向の内側に位置している。第２循環路４３ｂにおけるＹ方向の内側端部は、他方の出口流路８２Ｂ内に連通している。第２循環路４３ｂにおけるＹ方向の外側端部は、第２アクチュエータプレート５０Ｂの吐出チャネル５１内に各別に連通している。
【0106】
＜ノズルプレート４４＞
図３に示すように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。ノズルプレート４４の外形は、帰還プレート４３の外形と実質的に同じである。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下面に接合されている。ノズルプレート４４は、ノズルプレート４４をＺ方向に貫通する複数のノズル孔４４ａ，４４ｂ（噴射孔）を有する。複数のノズル孔４４ａ，４４ｂは、第１循環路４３ａに対応する第１ノズル孔４４ａと、第２循環路４３ｂに対応する第２ノズル孔４４ｂと、を含む。
図３に示すように、ノズルプレート４４の外形は、Ｘ方向に長手を有しかつＹ方向に短手を有する矩形板状をなしている。ノズルプレート４４の外形は、帰還プレート４３の外形と実質的に同じである。ノズルプレート４４は、帰還プレート４３の下面に接合されている。ノズルプレート４４は、ノズルプレート４４をＺ方向に貫通する複数のノズル孔４４ａ，４４ｂ（噴射孔）を有する。複数のノズル孔４４ａ，４４ｂは、第１循環路４３ａに対応する第１ノズル孔４４ａと、第２循環路４３ｂに対応する第２ノズル孔４４ｂと、を含む。
【0107】
図４に示すように、第１ノズル孔４４ａは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第１循環路４３ａとＺ方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第１ノズル孔４４ａは、第１循環路４３ａと同ピッチで、Ｘ方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第１ノズル孔４４ａは、第１循環路４３ａにおけるＹ方向の外端部で第１循環路４３ａ内に連通している。これにより、各第１ノズル孔４４ａは、第１循環路４３ａを介して第１アクチュエータプレート５０Ａの対応する吐出チャネル５１にそれぞれ連通している。
【0108】
図５に示すように、第２ノズル孔４４ｂは、ノズルプレート４４のうち、帰還プレート４３の各第２循環路４３ｂとＺ方向で対向する部分にそれぞれ形成されている。すなわち、第２ノズル孔４４ｂは、第２循環路４３ｂと同ピッチで、Ｘ方向に間隔をあけて一直線上に配列されている。第２ノズル孔４４ｂは、第２循環路４３ｂにおけるＹ方向の外端部で第２循環路４３ｂ内に連通している。これにより、各第２ノズル孔４４ｂは、第２循環路４３ｂを介して第２アクチュエータプレート５０Ｂの対応する吐出チャネル５１にそれぞれ連通している。
【0109】
各非吐出チャネル５２は、第１ノズル孔４４ａおよび第２ノズル孔４４ｂには連通していない。各非吐出チャネル５２は、帰還プレート４３によって下方から覆われている。
【0110】
＜プリンタの動作方法＞
次に、プリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合のプリンタ１の動作方法について説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
次に、プリンタ１を利用して、被記録媒体Ｐに文字や図形等を記録する場合のプリンタ１の動作方法について説明する。
なお、初期状態として、図１に示す４つのインクタンク４にはそれぞれ異なる色のインクが十分に封入されているものとする。また、インクタンク４内のインクがインク循環機構６を介してインクジェットヘッド５内に充填された状態となっている。
【0111】
図１に示すように、初期状態のもと、プリンタ１を作動させると、搬送機構２，３のグリットローラ１１，１３が回転する。これにより、被記録媒体Ｐがグリットローラ１１，１３とピンチローラ１２，１４との間に挟まれつつ搬送方向（Ｘ方向）に向けて搬送される。また、被記録媒体Ｐの搬送と同時に、駆動モータ３８がプーリ３５，３６を回転させて無端ベルト３７を動かす。これにより、キャリッジ３３がガイドレール３１，３２にガイドされながらＹ方向に往復移動する。
そして、キャリッジ３３の往復移動の間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに吐出させることで、被記録媒体Ｐに文字や画像等の記録を行うことができる。
そして、キャリッジ３３の往復移動の間に、各インクジェットヘッド５より４色のインクを被記録媒体Ｐに吐出させることで、被記録媒体Ｐに文字や画像等の記録を行うことができる。
【0112】
ここで、各インクジェットヘッド５の動作について説明する。
本実施形態のようなエッジシュートタイプのうち、縦循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、図３に示す入口ジョイント４２の供給路４２ａを通り、流路プレート８０の各入口流路８１Ａ，８１Ｂ内に流入する。各入口流路８１Ａ，８１Ｂ内に流入したインクは、マニホールド６２を通過した後、スリット６３を通って各吐出チャネル５１内に供給される。各吐出チャネル５１内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路４３ａ，４３ｂを通して出口流路８２Ａ，８２Ｂ内で集合した後、図示しない出口ジョイントの内部流路を通して図２に示すインク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する。
本実施形態のようなエッジシュートタイプのうち、縦循環式のインクジェットヘッド５では、まず図２に示す加圧ポンプ２４及び吸引ポンプ２５を作動させることで、循環流路２３内にインクを流通させる。この場合、インク供給管２１を流通するインクは、図３に示す入口ジョイント４２の供給路４２ａを通り、流路プレート８０の各入口流路８１Ａ，８１Ｂ内に流入する。各入口流路８１Ａ，８１Ｂ内に流入したインクは、マニホールド６２を通過した後、スリット６３を通って各吐出チャネル５１内に供給される。各吐出チャネル５１内に流入したインクは、帰還プレート４３の循環路４３ａ，４３ｂを通して出口流路８２Ａ，８２Ｂ内で集合した後、図示しない出口ジョイントの内部流路を通して図２に示すインク排出管２２に排出される。インク排出管２２に排出されたインクは、インクタンク４に戻された後、再びインク供給管２１に供給される。これにより、インクジェットヘッド５とインクタンク４との間でインクが循環する。
【0113】
そして、キャリッジ３３（図１参照）によって往復移動が開始されると、外部配線基板５９を介して各電極５５，５７に駆動電圧を印加する。この際、個別電極５７を駆動電位Ｖｄｄとし、共通電極５５を基準電位ＧＮＤとして各電極５５，５７間に駆動電圧を印加する。すると、吐出チャネル５１を画成する２つの駆動壁５３に厚み滑り変形が生じ、これら２つの駆動壁５３が非吐出チャネル５２側へ突出するように変形する。すなわち、アクチュエータプレート５０は、厚さ方向（Ｙ方向）に分極処理された２枚の圧電基板が積層されているため、上記の駆動電圧を印加することで、駆動壁５３におけるＹ方向の中間位置を中心にしてＶ字状に屈曲変形する。これにより、吐出チャネル５１があたかも膨らむように変形する。
【0114】
吐出チャネル５１を画成する２つの駆動壁５３の変形によって吐出チャネル５１の容積が増大すると、マニホールド６２内のインクがスリット６３を通って吐出チャネル５１内に誘導される。そして、吐出チャネル５１の内部に誘導されたインクは、圧力波となって吐出チャネル５１の内部に伝搬し、この圧力波がノズル孔４４ａ，４４ｂに到達したタイミングで、各電極５５，５７間に印加した駆動電圧をゼロにする。
【0115】
これにより、２つの駆動壁５３の形状が復元し、一旦増大した吐出チャネル５１の容積が元の容積に戻る。この動作によって、吐出チャネル５１の内部の圧力が増加し、吐出チャネル５１内のインクが加圧される。その結果、インクをノズル孔４４ａ，４４ｂから吐出させることができる。この際、インクはノズル孔４４ａ，４４ｂを通過する際に液滴状のインク滴となって吐出される。これにより、上述したように被記録媒体Ｐに文字や画像等を記録することができる。
【0116】
なお、インクジェットヘッド５の動作方法は上述した内容に限らない。例えば、通常状態の駆動壁５３が吐出チャネル５１の内側に変形し、吐出チャネル５１があたかも内側に凹むように構成しても構わない。この場合は、各電極５５，５７間に印可する電圧を上述した電圧とは正負逆の電圧にするか、電圧の正負は変えずにアクチュエータプレート５０の分極方向を逆にすることで実現可能である。また、吐出チャネル５１が外側に膨らむように変形させた後で、吐出チャネル５１が内側に凹むように変形させ、吐出時のインクの加圧力を高めても構わない。
【0117】
＜インクジェットヘッド５の製造方法＞
次に、インクジェットヘッド５の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法は、準備工程、接合工程、保護膜形成工程、帰還プレート取付工程、アッシング工程、ノズルプレート取付工程、カバー取付工程、および外部配線基板取付工程を含む。
次に、インクジェットヘッド５の製造方法について説明する。本実施形態のインクジェットヘッド５の製造方法は、準備工程、接合工程、保護膜形成工程、帰還プレート取付工程、アッシング工程、ノズルプレート取付工程、カバー取付工程、および外部配線基板取付工程を含む。
【0118】
準備工程では、インクジェットヘッド５の構成要素を得るためのウエハ等を予め準備する。準備工程の後、接合工程に移る。以下、アクチュエータプレート５０用のウエハを「アクチュエータウエハ」、カバープレート６０用のウエハを「カバーウエハ」、封止プレート７０用のウエハを「封止ウエハ」、流路プレート８０用のウエハを「流路ウエハ」という。接合工程の前、アクチュエータウエハには複数のチャネル５１，５２を含む溝、カバーウエハには流体供給路６１、流路ウエハには入口流路８１および出口流路８２、をそれぞれ形成しておく。
【0119】
接合工程では、インクジェットヘッド５の構成要素を接合する。例えば、先ず、アクチュエータウエハの一方の面（ＡＰ第１面５０ｆ１を含む面）にカバーウエハを接合する。次に、アクチュエータウエハにおいてカバーウエハの接合面とは反対側の面（ＡＰ第２面５０ｆ２を含む面）に封止ウエハを接合する。次に、カバーウエハにおいてアクチュエータウエハの接合面とは反対側の面（ＣＰ第１面６０ｆ１を含む面）に流路ウエハを接合する。次に、流路ウエハにおいて前記カバーウエハの接合面とは反対側の他方の面（ＦＰ第２面８０ｆ２を含む面）に、既に接合したウエハとは別のウエハ（別のカバーウエハ、アクチュエータウエハ、封止ウエハ）を接合する。これにより、各ウエハを接合した接合ウエハを得る。
【0120】
次に、接合ウエハをカバーウエハの溝の中央部分で切り分けて個片化する。これにより、複数のヘッドチップ４０を得る。
接合工程の後、保護膜形成工程に移る。
接合工程の後、保護膜形成工程に移る。
【0121】
図１１に示すように、保護膜形成工程では、複数の吐出チャネル５１（図１０参照）に保護膜を形成するための流体を流路プレート８０の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給する。例えば、パラキシリレン系ダイマーを加熱してモノマー蒸気にし、モノマーを対象物であるヘッドチップ４０の表面（内部の表面を含む）で反応させることにより保護膜を形成する。
保護膜形成工程の後、帰還プレート取付工程に移る。
保護膜形成工程の後、帰還プレート取付工程に移る。
【0122】
帰還プレート取付工程では、ヘッドチップ４０の下面に帰還プレート４３を接合する。なお、保護膜形成工程の前に、ヘッドチップ４０に帰還プレート４３を接合してもよい。
帰還プレート取付工程の後、アッシング工程に移る。
帰還プレート取付工程の後、アッシング工程に移る。
【0123】
アッシング工程では、アクチュエータプレート５０において外部配線基板５９を取り付ける部分（ＡＰ第２面５０ｆ２）の保護膜を除去する。
アッシング工程の後、ノズルプレート取付工程に移る。
アッシング工程の後、ノズルプレート取付工程に移る。
【0124】
ノズルプレート取付工程では、帰還プレート４３の下面にノズルプレート４４を接合する。
ノズルプレート取付工程の後、カバー取付工程に移る。
ノズルプレート取付工程の後、カバー取付工程に移る。
【0125】
図１２に示すように、カバー取付工程では、ヘッドチップ４０の上面（ＦＰ上端面８０ｆ３）に開口部８５を通じてインクを流入可能なインク流路４１ａ，４１ｂを有するカバー４１を取り付ける。カバー４１は下方に凸をなすハット断面形状を有する。インク流路４１ａ，４１ｂは、入口ジョイント４２の供給路４２ａ（図３参照）と流路プレート８０の入口流路８１とに連通する第１インク流路４１ａと、出口ジョイントの内部流路（不図示）と流路プレート８０の出口流路８２とに連通する第２インク流路４１ｂと、である。
カバー取付工程の後、外部配線基板取付工程に移る。
カバー取付工程の後、外部配線基板取付工程に移る。
【0126】
外部配線基板取付工程では、アクチュエータプレート５０のＡＰ第２面５０ｆ２（共通パッド５６および個別パッド５８）に外部配線基板５９を接続する。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド５が完成する。
以上により、本実施形態のインクジェットヘッド５が完成する。
【0127】
ところで、複数の吐出チャネルにおける保護膜の膜厚バラツキを抑制する観点では、封止ウエハの接合前（カバーウエハとアクチュエータウエハとを接合した接合ウエハ）に保護膜を形成することも考えられる。しかしこの場合、接合ウエハを個片化する際に保護膜をきれいに切断することができない可能性がある。保護膜が切断されると、保護性が損なわれる。
これに対し本実施形態では、各ウエハを接合した接合ウエハを個片化することによりヘッドチップを得た後、保護膜を形成している。すなわち、ヘッドチップの状態まで組み立て、ヘッドチップ内部への保護膜形成が難しい状態で、保護膜を形成している。このようにして保護膜形成を行うと、保護膜の材料（流体）は、微細化した構造へ入りにくいため、複数のチャネルにおいて保護膜の膜厚バラツキが生じる可能性がある。上記の課題を解決するために、本実施形態では流路プレートの形状を工夫している。
これに対し本実施形態では、各ウエハを接合した接合ウエハを個片化することによりヘッドチップを得た後、保護膜を形成している。すなわち、ヘッドチップの状態まで組み立て、ヘッドチップ内部への保護膜形成が難しい状態で、保護膜を形成している。このようにして保護膜形成を行うと、保護膜の材料（流体）は、微細化した構造へ入りにくいため、複数のチャネルにおいて保護膜の膜厚バラツキが生じる可能性がある。上記の課題を解決するために、本実施形態では流路プレートの形状を工夫している。
【0128】
以上説明したように、本実施形態に係るヘッドチップ４０は、Ｚ方向に沿って延びる複数のチャネル５１，５２がＸ方向に間隔をあけて設けられたアクチュエータプレート５０と、アクチュエータプレート５０に接合され、複数の吐出チャネル５１に連通する入口流路８１を有する流路プレート８０と、を備え、入口流路８１は、複数の吐出チャネル５１に跨るようにＸ方向に沿って延びるとともに、流路プレート８０の外面に開口する開口部８５を有し、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離は、複数の吐出チャネル５１に保護膜を形成するための流体を流路プレート８０の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給したとき、複数の吐出チャネル５１における保護膜の厚さがそれぞれ同等になるように設定されている。
【0129】
この構成によれば、保護膜を形成するための流体を流路プレート８０の外面の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給したとき、複数の吐出チャネル５１における保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができる。したがって、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
開口部は、流路プレート８０においてＺ方向の一方の面に開口している。
この構成によれば、Ｚ方向の一方の面の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給することができる。流路プレート８０のＸ方向の端面に開口部がある場合と比較して、複数の吐出チャネル５１に流体を均等に供給することができる。したがって、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚バラツキをより効果的に抑制することができる。
加えて、流路プレート８０のＸ方向の端面に開口部がある場合と比較して、開口部８５と吐出チャネル５１との最大距離が短くなるため、流体を各吐出チャネル５１に早く供給することができる。
開口部は、流路プレート８０においてＺ方向の一方の面に開口している。
この構成によれば、Ｚ方向の一方の面の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給することができる。流路プレート８０のＸ方向の端面に開口部がある場合と比較して、複数の吐出チャネル５１に流体を均等に供給することができる。したがって、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚バラツキをより効果的に抑制することができる。
加えて、流路プレート８０のＸ方向の端面に開口部がある場合と比較して、開口部８５と吐出チャネル５１との最大距離が短くなるため、流体を各吐出チャネル５１に早く供給することができる。
【0130】
本実施形態では、入口流路８１の開口部８５の断面積を流路開口面積Ａｆ１とし、アクチュエータプレート５０の流路プレート８０側の面における複数の吐出チャネル５１の断面積の総和をチャネル開口総面積Ａｃｈとしたとき、流路開口面積Ａｆ１は、チャネル開口総面積Ａｃｈ以上である。
【0131】
この構成によれば、流路開口面積Ａｆ１がチャネル開口総面積Ａｃｈ未満の場合と比較して、複数の吐出チャネル５１のそれぞれへの必要な流体の流入量を確保することができるため、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚低下を抑制することができる。
【0132】
本実施形態では、流路プレート８０は、入口流路８１をＸ方向の両端で閉塞するように流路プレート８０のＸ方向の両端面に設けられた保持面８７を有する。
【0133】
この構成によれば、保持面８７によりヘッドチップ４０のＸ方向の両端を保持可能となるため、作業性が向上する。
【0134】
本実施形態では、Ｚ方向は、鉛直方向であり、入口流路８１は、流路プレート８０の上面（ＦＰ上端面８０ｆ３）に開口している。
【0135】
この構成によれば、流体の自重により流体を入口流路８１へスムーズに流すことができる。
【0136】
本実施形態では、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離は、それぞれ略同じである。
【0137】
この構成によれば、複数の吐出チャネル５１に流体を均等に供給することができるため、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0138】
本実施形態では、アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂは、流路プレート８０を挟んでＹ方向に対向するように一対設けられている。
【0139】
この構成によれば、二列タイプのインクジェットヘッド５において複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0140】
本実施形態では、保護膜形成工程の後、流路プレート８０の外面に開口部８５を通じてインクを流入可能なインク流路４１ａ，４１ｂを有するカバー４１を取り付けるカバー取付工程を含む。
【0141】
この方法によれば、カバー取付工程の前に、流体を流路プレート８０の外面の開口部８５を通じて複数の吐出チャネル５１に供給することができる。カバー取付工程の前は開口部８５を遮る部材が無いため、カバー取付工程の後に流体を供給する場合と比較して、複数の吐出チャネル５１に流体をスムーズに供給することができる。
【0142】
なお、本開示の技術範囲は上述した実施形態に限定されるものではなく、本開示の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【0143】
例えば、上述した実施形態では、液体噴射装置の一例として、インクジェットプリンタ１を例に挙げて説明したが、プリンタに限らない。例えば、液体噴射装置は、ファックスやオンデマンド印刷機等であっても構わない。
【0144】
上述した実施形態では、吐出チャネル５１におけるチャネル延在方向の先端部からインクを吐出する、いわゆるエッジシュートタイプのインクジェットヘッド５を例に挙げて説明したが、これに限らない。例えば、アクチュエータプレート５０の厚さ方向、すなわち吐出チャネル５１の深さ方向にインクが通過する、いわゆるサイドシュートタイプのインクジェットであってもよい。
【0145】
上述した実施形態では、ノズル孔４４ａ，４４ｂが二列並んだ二列タイプのインクジェットヘッド５について説明したが、これに限らない。例えば、ノズル孔が三列以上のインクジェットヘッドとしてもよく、ノズル孔が一列のインクジェットヘッドとしてもよい。
【0146】
上述した実施形態では、吐出チャネル５１と非吐出チャネル５２とが交互に配列された構成について説明したが、これに限らない。例えば、全チャネルから順次インクを吐出する、いわゆる３サイクル方式のインクジェットヘッドに本開示を適用しても構わない。
【0147】
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５０としてシェブロンタイプを用いた構成について説明したが、これに限らない。すなわち、モノポールタイプ（分極方向が厚さ方向で一方向）のアクチュエータプレートを用いても構わない。
【0148】
上述した実施形態では、入口流路８１が流路プレート８０のＺ方向の一方の面のみで開口している構成について説明したが、これに限らない。例えば、入口流路８１を流路プレート８０のＸ方向の少なくとも一方の面で開口させてもよい。
【0149】
上述した実施形態では、出口流路８２（第２延在部８４の一端部）が流路プレート８０のＺ方向の一方の面で開口している構成について説明したが、これに限らない。例えば、出口流路８２を流路プレート８０のＸ方向の少なくとも一方の面で開口させてもよい。
【0150】
上述した実施形態では、流路プレート８０が同一の部材により一体に形成された構成について説明したが、これに限らない。例えば、流路プレート８０が複数の部材の組合せで形成されていてもよい。
【0151】
上述した実施形態では、Ｙ方向においてアクチュエータプレート５０と流路プレート８０との間に配置されたカバープレート６０を備える例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、ヘッドチップ４０は、カバープレート６０を有しなくてもよい。例えば、流路プレート８０は、アクチュエータプレート５０に直接的に接合されていてもよい。例えば、流路プレート８０は、複数の吐出チャネル５１および入口流路８１に連通する液体供給路を有していてもよい。例えば、流路プレート８０は、カバープレート６０の機能を有していてもよい。
【0152】
上述した実施形態では、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離は、それぞれ略同じである例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との距離をＬｘ、複数の吐出チャネル５１と開口部８５との最短距離をＬｄｍｉ、開口部８５の開口面積をＡｘ、チャネル開口総面積をＡｃｈとし、Ｘ＝Ａｘ／Ａｃｈ、Ｙ＝Ｌｘ／Ｌｄｍｉとしたとき、以下の式（Ａ）を満たしてもよい。
１≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋０．７０ ・・・（Ａ）
または、上記の式（Ａ）を満たすことに限らず、以下の式（Ｂ）を満たしてもよい。
０．３３Ｘ＋０．７０≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋１．１０ ・・・（Ｂ）
１≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋０．７０ ・・・（Ａ）
または、上記の式（Ａ）を満たすことに限らず、以下の式（Ｂ）を満たしてもよい。
０．３３Ｘ＋０．７０≦Ｙ＜０．３３Ｘ＋１．１０ ・・・（Ｂ）
【0153】
以下の変形例において、上記実施形態と同一の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【0154】
［第１変形例］
図１３は、実施形態の第１変形例に係るインクジェットヘッド１０５の断面図である。図１３は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、流体供給路６１がカバープレート６０においてＺ方向の一方の面で閉塞されている例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１３に示すように、流体供給路１６１は、Ｚ方向において開口部８５と連なるようにカバープレート６０においてＺ方向の一方の面（ＦＰ上端面８０ｆ３に隣接する面）に開口していてもよい。
図１３は、実施形態の第１変形例に係るインクジェットヘッド１０５の断面図である。図１３は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、流体供給路６１がカバープレート６０においてＺ方向の一方の面で閉塞されている例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１３に示すように、流体供給路１６１は、Ｚ方向において開口部８５と連なるようにカバープレート６０においてＺ方向の一方の面（ＦＰ上端面８０ｆ３に隣接する面）に開口していてもよい。
【0155】
この構成によれば、流体供給路６１がカバープレート６０においてＺ方向の一方の面で閉塞されている場合と比較して、開口部８５側における流体の供給開口が大きくなるため、流体の供給量を増加させることができる。したがって、複数の吐出チャネル５１における保護膜の膜厚低下をより効果的に抑制することができる。
【0156】
［第２変形例］
図１４は、実施形態の第２変形例に係るインクジェットヘッド２０５の断面図である。図１４は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、カバープレート６０においてＺ方向の他方の面に凹部を有しない例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１４に示すように、カバープレート６０は、Ｙ方向において出口流路８２と連なるようにカバープレート６０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４に隣接する面）に開口する凹部２４５を有してもよい。
図１４は、実施形態の第２変形例に係るインクジェットヘッド２０５の断面図である。図１４は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、カバープレート６０においてＺ方向の他方の面に凹部を有しない例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１４に示すように、カバープレート６０は、Ｙ方向において出口流路８２と連なるようにカバープレート６０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４に隣接する面）に開口する凹部２４５を有してもよい。
【0157】
この構成によれば、カバープレート６０においてＺ方向の他方の面に凹部２４５を有しない場合と比較して、出口流路８２側における流体の供給開口が大きくなるため、流体の供給量（循環量）を増加させることができる。
【0158】
［第３変形例］
図１５は、実施形態の第３変形例に係るインクジェットヘッド３０５の断面図である。図１５は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２がカバープレート６０（ＣＰ第１面６０ｆ１）に接する例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１５に示すように、流路プレート８０は、カバープレート６０と出口流路８２とをＹ方向に離すようにＣＰ第１面６０ｆ１（カバープレート６０においてアクチュエータプレート５０とは反対側の面）に設けられた壁部３８８を有してもよい。
図１５は、実施形態の第３変形例に係るインクジェットヘッド３０５の断面図である。図１５は、図１０に相当する断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２がカバープレート６０（ＣＰ第１面６０ｆ１）に接する例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１５に示すように、流路プレート８０は、カバープレート６０と出口流路８２とをＹ方向に離すようにＣＰ第１面６０ｆ１（カバープレート６０においてアクチュエータプレート５０とは反対側の面）に設けられた壁部３８８を有してもよい。
【0159】
この構成によれば、出口流路８２がカバープレート６０に接する場合と比較して、吐出チャネル５１と出口流路８２との間の距離が大きくなるため、各吐出チャネル５１間の駆動による影響（クロストーク）を受けにくい。
【0160】
［第４変形例］
図１６は、実施形態の第４変形例に係るインクジェットヘッド４０５の断面図である。図１６は、図１０に相当する断面図である。図１７は、図１６のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２がＺ方向において入口流路８１と並ぶ例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１６に示すように、流路プレート８０は、Ｙ方向において入口流路４８１（図１７参照）と間隔をあけて設けられるとともに流路プレート８０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４）に開口する出口流路４８２を有してもよい。図１７においては、Ｙ方向において出口流路４８２とオフセットして配置された入口流路４８１を二点鎖線で示す。
図１６は、実施形態の第４変形例に係るインクジェットヘッド４０５の断面図である。図１６は、図１０に相当する断面図である。図１７は、図１６のＸＶＩＩ－ＸＶＩＩ断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２がＺ方向において入口流路８１と並ぶ例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１６に示すように、流路プレート８０は、Ｙ方向において入口流路４８１（図１７参照）と間隔をあけて設けられるとともに流路プレート８０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４）に開口する出口流路４８２を有してもよい。図１７においては、Ｙ方向において出口流路４８２とオフセットして配置された入口流路４８１を二点鎖線で示す。
【0161】
この構成によれば、出口流路８２がＺ方向において入口流路８１と並ぶ場合と比較して、出口流路４８２を通じて流体をＺ方向へスムーズに流すことができる。したがって、流体の循環性が向上する。
【0162】
［第５変形例］
図１８は、実施形態の第５変形例に係るインクジェットヘッド５０５の断面図である。図１８は、図１０に相当する断面図である。図１９は、図１８のＸＩＸ－ＸＩＸ断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２をＸＹ面で切断したときの断面積を断面開口面積としたとき、出口流路８２（第２延在部８４）の断面開口面積はＺ方向において一様である例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１９に示すように、流路プレート８０は、断面開口面積が流路プレート８０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４）からＺ方向の一方の面（ＦＰ上端面８０ｆ３）に向かうに従って漸次小さくなる縮幅部５８２ｓを有してもよい。
図１８は、実施形態の第５変形例に係るインクジェットヘッド５０５の断面図である。図１８は、図１０に相当する断面図である。図１９は、図１８のＸＩＸ－ＸＩＸ断面図である。
上述した実施形態では、出口流路８２をＸＹ面で切断したときの断面積を断面開口面積としたとき、出口流路８２（第２延在部８４）の断面開口面積はＺ方向において一様である例（図１０参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図１９に示すように、流路プレート８０は、断面開口面積が流路プレート８０においてＺ方向の他方の面（ＦＰ下端面８０ｆ４）からＺ方向の一方の面（ＦＰ上端面８０ｆ３）に向かうに従って漸次小さくなる縮幅部５８２ｓを有してもよい。
【0163】
この構成によれば、流路プレート８０内において流体をＺ方向へスムーズに流すことができる。したがって、流体の循環性が向上する。例えば、インク吐出時にインク供給を逆転させたときに、インクをスムーズに流すことができる。例えば、インクを下方に吐出するときに、インク供給を逆転させた場合は、チャネル内の気泡が浮力および循環で流れやすいため、チャネル内に気泡が溜まりにくい。
【0164】
図１９の例では、縮幅部５８２ｓがＦＰ下端面８０ｆ４からＦＰ上端面８０ｆ３に向かうに従ってＸ方向の中央に位置するように傾斜する傾斜部を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、縮幅部は、ＦＰ下端面８０ｆ４からＦＰ上端面８０ｆ３に向かうに従ってＸ方向の一端部に位置するように傾斜する傾斜部を有していてもよい。また、傾斜部は、断面視で直線形状を有することに限らず、断面視で湾曲形状を有していてもよい。
【0165】
［第６変形例］
図２０は、図９に相当する、実施形態の第６変形例に係る流路プレート６８０の説明図である。
上述した実施形態では、ＦＰ上端面８０ｆ３に開口部８５が１つのみ設けられている例（図９参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２０に示すように、開口部６８５は、複数設けられていてもよい。図２０において符号６８９は、複数の開口部６８５をそれぞれＸ方向に仕切る開口仕切り部を示す。なお、本変形例において、流路開口面積Ａｆ１は、複数の開口部６８５をＸＹ面で切断したときの断面積の総和となる。
図２０は、図９に相当する、実施形態の第６変形例に係る流路プレート６８０の説明図である。
上述した実施形態では、ＦＰ上端面８０ｆ３に開口部８５が１つのみ設けられている例（図９参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２０に示すように、開口部６８５は、複数設けられていてもよい。図２０において符号６８９は、複数の開口部６８５をそれぞれＸ方向に仕切る開口仕切り部を示す。なお、本変形例において、流路開口面積Ａｆ１は、複数の開口部６８５をＸＹ面で切断したときの断面積の総和となる。
【0166】
この構成によれば、図９の例よりも流路開口面積Ａｆ１を小さくすることができるため、流路プレート６８０の強度が向上する。したがって、ヘッドチップ４０の強度向上に寄与する。
【0167】
［第７変形例］
図２１は、図９に相当する、実施形態の第７変形例に係る流路プレート７８０の説明図である。
図２０の例では、開口仕切り部６８９がＺ方向において一様の幅（Ｘ方向の幅）を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２１に示すように、開口仕切り部７８９は、ＦＰ下端面８０ｆ４の側からＦＰ上端面８０ｆ３に向かうに従って漸次大きくなる拡幅部７８９ｗを有してもよい。拡幅部７８９ｗの上端の幅（Ｘ方向の幅）は、図２０の例における開口仕切り部６８９の幅（Ｘ方向の幅）よりも大きい。すなわち、本変形例は、第６変形例よりも開口部７８５の幅（Ｘ方向の幅）が小さい。なお、本変形例において、流路開口面積Ａｆ１は、複数の開口部７８５をＸＹ面で切断したときの断面積の総和となる。
図２１は、図９に相当する、実施形態の第７変形例に係る流路プレート７８０の説明図である。
図２０の例では、開口仕切り部６８９がＺ方向において一様の幅（Ｘ方向の幅）を有する例を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２１に示すように、開口仕切り部７８９は、ＦＰ下端面８０ｆ４の側からＦＰ上端面８０ｆ３に向かうに従って漸次大きくなる拡幅部７８９ｗを有してもよい。拡幅部７８９ｗの上端の幅（Ｘ方向の幅）は、図２０の例における開口仕切り部６８９の幅（Ｘ方向の幅）よりも大きい。すなわち、本変形例は、第６変形例よりも開口部７８５の幅（Ｘ方向の幅）が小さい。なお、本変形例において、流路開口面積Ａｆ１は、複数の開口部７８５をＸＹ面で切断したときの断面積の総和となる。
【0168】
この構成によれば、図２０の例よりも流路開口面積Ａｆ１を小さくすることができるため、流路プレート７８０の強度が向上する。したがって、ヘッドチップ４０の更なる強度向上に寄与する。
【0169】
［第８変形例］
図２２は、実施形態の第８変形例に係るインクジェットヘッド８０５の断面図である。図２２は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、ヘッドチップ４０とノズルプレート４４との間に帰還プレート４３が配置された例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２２に示すように、インクジェットヘッド８０５は、帰還プレート４３を有しなくてもよい。すなわち、ヘッドチップ４０の下面は、ノズルプレート４４の上面に直接的に接合されていてもよい。
図２２は、実施形態の第８変形例に係るインクジェットヘッド８０５の断面図である。図２２は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、ヘッドチップ４０とノズルプレート４４との間に帰還プレート４３が配置された例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２２に示すように、インクジェットヘッド８０５は、帰還プレート４３を有しなくてもよい。すなわち、ヘッドチップ４０の下面は、ノズルプレート４４の上面に直接的に接合されていてもよい。
【0170】
上述した実施形態では、流路プレート８０は、ＦＰ下端面８０ｆ４に開口する出口流路８２を有する例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２２に示すように、流路プレート８０は、出口流路８２を有しなくてもよい。この場合、インクジェットヘッド８０５では、その内部におけるインク循環が行われない。すなわち、本変形例では、吐出チャネル５１の開口から吐出されるインクがノズルプレート４４へ向かい、ノズル孔４４ａ，４４ｂから吐出される。
【0171】
［第９変形例］
図２３は、実施形態の第９変形例に係るインクジェットヘッド９０５の断面図である。図２３は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ等が流路プレート８０を挟んでＹ方向に対向するように一対設けられている例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２３に示すように、流路プレート８０の片側のみ（ＦＰ第１面８０ｆ１のみ）にアクチュエータプレート５０等が設けられていてもよい。
図２３は、実施形態の第９変形例に係るインクジェットヘッド９０５の断面図である。図２３は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、アクチュエータプレート５０Ａ，５０Ｂ等が流路プレート８０を挟んでＹ方向に対向するように一対設けられている例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２３に示すように、流路プレート８０の片側のみ（ＦＰ第１面８０ｆ１のみ）にアクチュエータプレート５０等が設けられていてもよい。
【0172】
［第１０変形例］
図２４は、実施形態の第１０変形例に係るインクジェットヘッド１００５の断面図である。図２４は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、流路プレート８０のＦＰ上端面８０ｆ３に開口部８５が設けられている例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２４に示すように、流路プレート１０８０の片側のみ（ＦＰ第１面８０ｆ１のみ）にアクチュエータプレート５０等が設けられている場合、流路プレート１０８０のＦＰ第１面８０ｆ１とは反対側の面（＋Ｙ方向を向く面）に開口部１０８５が設けられていてもよい。
この場合、流路プレート１０８０は、帰還プレート１０４３の取付精度の確保、およびインク流路の取り回しを目的に使用される。
帰還プレート１０４３の循環路１０４３ａにおけるＹ方向の内側端部位置は、出口流路８２ＡのＹ方向位置と揃っていてもよい。
図２４は、実施形態の第１０変形例に係るインクジェットヘッド１００５の断面図である。図２４は、図４に相当する断面図である。
上述した実施形態では、流路プレート８０のＦＰ上端面８０ｆ３に開口部８５が設けられている例（図４参照）を挙げて説明したが、これに限らない。例えば、図２４に示すように、流路プレート１０８０の片側のみ（ＦＰ第１面８０ｆ１のみ）にアクチュエータプレート５０等が設けられている場合、流路プレート１０８０のＦＰ第１面８０ｆ１とは反対側の面（＋Ｙ方向を向く面）に開口部１０８５が設けられていてもよい。
この場合、流路プレート１０８０は、帰還プレート１０４３の取付精度の確保、およびインク流路の取り回しを目的に使用される。
帰還プレート１０４３の循環路１０４３ａにおけるＹ方向の内側端部位置は、出口流路８２ＡのＹ方向位置と揃っていてもよい。
【0173】
その他、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは可能である。また、上述した各変形例を組み合わせても構わない。
【実施例】
【0174】
以下、実施例により本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。
【0175】
本発明者は、複数の吐出チャネルと開口部との距離、および開口部の開口面積を所定の関係とすることによって、複数の吐出チャネルにおいて保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができることを以下の評価により確認した。
【0176】
（評価内容）
開口部の開口面積として以下の開口面積の比Ｘ（１、２、３．４）を設定し、以下の距離の比Ｙ（１、１．４、１．８、２．２）を変え、目標厚みに対する保護膜の厚みをそれぞれ評価した。ここで、複数の吐出チャネルと開口部との距離をＬｘ、複数の吐出チャネルと開口部との最短距離をＬｄｍｉ、開口部の開口面積をＡｘ、チャネル開口総面積をＡｃｈとし、開口面積の比をＸ＝Ａｘ／Ａｃｈ、距離の比をＹ＝Ｌｘ／Ｌｄｍｉとする。
開口部の開口面積として以下の開口面積の比Ｘ（１、２、３．４）を設定し、以下の距離の比Ｙ（１、１．４、１．８、２．２）を変え、目標厚みに対する保護膜の厚みをそれぞれ評価した。ここで、複数の吐出チャネルと開口部との距離をＬｘ、複数の吐出チャネルと開口部との最短距離をＬｄｍｉ、開口部の開口面積をＡｘ、チャネル開口総面積をＡｃｈとし、開口面積の比をＸ＝Ａｘ／Ａｃｈ、距離の比をＹ＝Ｌｘ／Ｌｄｍｉとする。
【0177】
（評価結果）
保護膜の厚みの評価は、Ａｘ＝ＡｃｈかつＬｘ＝Ｌｄｍｉ（すなわちＡｘ／Ａｃｈ＝１かつＬｘ／Ｌｄｍｉ＝１）での膜厚を基準（以下「基準膜厚」という。）とした場合、基準膜厚の９０％以上（基準膜厚と同等）を「○」、基準膜厚の６０％以上かつ９０％未満（流体の種類によっては（非水性のインクの場合は）基準膜厚と同等の効果を発揮する範囲）を「△」、基準膜厚の６０％未満を「×」とした。
保護膜の厚みの評価は、Ａｘ＝ＡｃｈかつＬｘ＝Ｌｄｍｉ（すなわちＡｘ／Ａｃｈ＝１かつＬｘ／Ｌｄｍｉ＝１）での膜厚を基準（以下「基準膜厚」という。）とした場合、基準膜厚の９０％以上（基準膜厚と同等）を「○」、基準膜厚の６０％以上かつ９０％未満（流体の種類によっては（非水性のインクの場合は）基準膜厚と同等の効果を発揮する範囲）を「△」、基準膜厚の６０％未満を「×」とした。
【0178】
【表1】
【0179】
図２５は、実施例に係る保護膜の厚みの評価の説明図である。図２５の横軸は開口面積の比Ｘ（Ａｘ／Ａｃｈ）、縦軸は距離の比Ｙ（Ｌｘ／Ｌｄｍｉ）をそれぞれ示す。図２５において、実線のグラフは評価「○」を満たすＹの上限値、二点鎖線のグラフは評価「△」を満たすＹの上限値、濃いドット領域は評価「○」を満たす領域、薄いドット領域は評価「△」を満たす領域をそれぞれ示す。
なお、実線のグラフは、評価「○」を満たす３点（３つの◇）を通る近似直線である。実線のグラフは、Ｙ＝０．３３Ｘ＋０．７０を満たす直線である。
二点鎖線のグラフは、評価「△」を満たす３点（３つの□）を通る近似直線である。二点鎖線のグラフは、Ｙ＝０．３３Ｘ＋１．１０を満たす直線である。
濃いドット領域は、上記の式（Ａ）を満たす範囲である。
薄いドット領域は、上記の式（Ｂ）を満たす範囲である。
なお、実線のグラフは、評価「○」を満たす３点（３つの◇）を通る近似直線である。実線のグラフは、Ｙ＝０．３３Ｘ＋０．７０を満たす直線である。
二点鎖線のグラフは、評価「△」を満たす３点（３つの□）を通る近似直線である。二点鎖線のグラフは、Ｙ＝０．３３Ｘ＋１．１０を満たす直線である。
濃いドット領域は、上記の式（Ａ）を満たす範囲である。
薄いドット領域は、上記の式（Ｂ）を満たす範囲である。
【0180】
上述の通り、複数の吐出チャネルと開口部との距離がそれぞれ略同じであると、複数の吐出チャネルに流体を均等に供給することができる。
この場合、距離Ｌｘが長すぎると、吐出チャネル内に入る流体の量が不足するため好ましくない。
開口部の開口面積Ａｘがチャネル開口総面積Ａｃｈより大きい場合（Ａｘ＞Ａｃｈの場合）は、距離Ｌｘが最短距離Ｌｄｍｉより大きくても（Ｌｘ＞Ｌｄｍｉ）、吐出チャネル内に入る流体の量を確保できる可能性がある。
開口部の開口面積Ａｘをある値としたとき、上記の式（Ａ）でＹ＝０．３３Ｘ＋０．７０となるまでの距離Ｌｘの範囲まで（Ｙの上限値）、保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
この場合、距離Ｌｘが長すぎると、吐出チャネル内に入る流体の量が不足するため好ましくない。
開口部の開口面積Ａｘがチャネル開口総面積Ａｃｈより大きい場合（Ａｘ＞Ａｃｈの場合）は、距離Ｌｘが最短距離Ｌｄｍｉより大きくても（Ｌｘ＞Ｌｄｍｉ）、吐出チャネル内に入る流体の量を確保できる可能性がある。
開口部の開口面積Ａｘをある値としたとき、上記の式（Ａ）でＹ＝０．３３Ｘ＋０．７０となるまでの距離Ｌｘの範囲まで（Ｙの上限値）、保護膜の膜厚バラツキを抑制することができる。
【0181】
以上より、複数の吐出チャネルと開口部との距離、および開口部の開口面積を所定の関係とする（上記の式（Ａ）を満たす）ことによって、複数の吐出チャネルにおいて保護膜の厚さをそれぞれ同等にすることができることが分かった。
【符号の説明】
【0182】
１…インクジェットプリンタ（液体噴射装置）
５，５Ｋ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ，１０５，２０５，３０５，４０５，５０５，８０５，９０５，１００５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
４０…ヘッドチップ
４１…カバー
４１ａ…第１インク流路（インク流路）
４１ｂ…第２インク流路（インク流路）
５０，５０Ａ，５０Ｂ…アクチュエータプレート
５１…吐出チャネル（チャネル）
５２…非吐出チャネル（チャネル）
６０，６０Ａ，６０Ｂ…カバープレート
６１，１６１…液体供給路
８０，６８０，７８０…流路プレート
８１，８１Ａ，８１Ｂ，４８１…入口流路（連通流路）
８２，８２Ａ，８２Ｂ，４８２，５８２…出口流路（第２連通流路）
８５，６８５，７８５…開口部
８７…保持面
２４５…凹部
３８８…壁部
５８２ｓ…縮幅部
Ｌ…開口部とチャネルとの距離
５，５Ｋ，５Ｃ，５Ｍ，５Ｙ，１０５，２０５，３０５，４０５，５０５，８０５，９０５，１００５…インクジェットヘッド（液体噴射ヘッド）
４０…ヘッドチップ
４１…カバー
４１ａ…第１インク流路（インク流路）
４１ｂ…第２インク流路（インク流路）
５０，５０Ａ，５０Ｂ…アクチュエータプレート
５１…吐出チャネル（チャネル）
５２…非吐出チャネル（チャネル）
６０，６０Ａ，６０Ｂ…カバープレート
６１，１６１…液体供給路
８０，６８０，７８０…流路プレート
８１，８１Ａ，８１Ｂ，４８１…入口流路（連通流路）
８２，８２Ａ，８２Ｂ，４８２，５８２…出口流路（第２連通流路）
８５，６８５，７８５…開口部
８７…保持面
２４５…凹部
３８８…壁部
５８２ｓ…縮幅部
Ｌ…開口部とチャネルとの距離
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】
【図16】
【図17】
【図18】
【図19】
【図20】
【図21】
【図22】
【図23】
【図24】
【図25】