特許 7353938 部品実装機、ノズルのブロー圧較正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-22

(45)【発行日】2023-10-02

(54)【発明の名称】部品実装機、ノズルのブロー圧較正方法

(51)【国際特許分類】

   H05K 13/04 20060101AFI20230925BHJP

【ＦＩ】

H05K13/04 B

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2019212108

(22)【出願日】2019-11-25

(65)【公開番号】P2021086842

(43)【公開日】2021-06-03

【審査請求日】2022-06-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000010076

【氏名又は名称】ヤマハ発動機株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】寺田 和広

【審査官】森林 宏和

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１７－０９２１８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－１９８８５８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１８／１３５３４６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１８－１３３４３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－００４７９３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０５Ｋ １３／００ － １３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

中空部を囲む本体と、Ｌ個（Ｌは２以上の整数）の作業位置に対応して設けられたＬ個の正圧導入孔とを有し、前記正圧導入孔が前記本体を貫通して前記中空部に開口するハウジングと、
所定の回転中心の周りで前記ハウジングに対して回転可能に前記中空部内に配置され、円周状に配列されたＭ個（ＭはＬより大きい整数）のノズルを保持するノズルホルダーと、
正圧を出力する正圧源と、
前記Ｌ個の正圧導入孔に対応して設けられ、それぞれ対応する前記正圧導入孔と前記正圧源とを接続するＬ個の正圧導入経路と、
前記正圧導入経路から前記正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値の前記Ｌ個の正圧導入孔の間における差を調整する調整部と
を備え、
前記ノズルホルダーには、前記Ｍ個のノズルに対応して設けられたＭ個の正圧連通路が設けられ、
前記ノズルホルダーが回転することで、前記Ｍ個のノズルのうち、前記Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルが切り換わり、
前記Ｍ個の正圧連通路のうち、前記Ｌ個の作業位置に位置する前記Ｌ個のノズルに対応するＬ個の正圧連通路の開口が前記Ｌ個の正圧導入孔の開口と対向して、前記Ｌ個のノズルと前記Ｌ個の正圧入力孔とが連通する部品実装機。

【請求項2】

前記Ｌ個の正圧導入孔のうち、一の正圧導入孔が設けられた前記本体の内壁と前記ノズルホルダーとの間の隙間が、他の正圧導入孔が設けられた前記本体の内壁と前記ノズルホルダーとの間の隙間より狭く、
前記調整部は、前記一の正圧導入孔に流入する気体の前記対象値を、前記他の正圧導入孔に流入する気体の前記対象値より小さくする請求項１に記載の部品実装機。

【請求項3】

Ｌは２である請求項２に記載の部品実装機。

【請求項4】

前記調整部は、制御弁によって前記対象値を減少させる制御機構を有し、
前記制御機構は、前記Ｌ個の正圧導入経路のうち、前記正圧源と前記一の正圧導入孔とを接続する一の正圧導入経路にのみ設けられ、前記正圧源から前記一の正圧導入経路に流入する気体の前記対象値と比べて、前記一の正圧導入経路から前記正圧導入孔に流入する気体の前記対象値を、前記制御弁によって減少させることで、前記一の正圧導入孔に流入する気体の前記対象値を、前記他の正圧導入孔に流入する気体の前記対象値より小さくする請求項３に記載の部品実装機。

【請求項5】

前記制御機構は、前記一の正圧導入経路から分岐する気体排出経路を有し、
前記制御弁は、前記気体排出経路を流れる気体の流量を調整する流量調整弁であり、
前記調整部は、前記流量調整弁を開いて前記気体排出経路を介して前記一の正圧導入経路から気体を排出することで、前記一の正圧導入孔に流入する気体の流量を、前記他の正圧導入孔に流入する気体の流量より小さくする請求項４に記載の部品実装機。

【請求項6】

前記制御弁は、前記一の正圧導入経路に設けられた減圧弁であり、
前記調整部は、前記正圧源から出力された正圧を前記減圧弁によって減圧してから、前記一の正圧導入孔に供給することで、前記一の正圧導入孔に流入する気体の圧力を、前記他の正圧導入孔に流入する気体の圧力より小さくする請求項４に記載の部品実装機。

【請求項7】

ＭはＬの５倍以上である請求項１ないし６のいずれか一項に記載の部品実装機。

【請求項8】

中空部を囲む本体と、Ｌ個（Ｌは２以上の整数）の作業位置に対応して設けられたＬ個の正圧導入孔とを有し、前記正圧導入孔が前記本体を貫通して前記中空部に開口するハウジングに対して、所定の回転中心の周りで回転可能に前記中空部内に配置されたノズルホルダーに保持される、円周状に配列されたＭ個（ＭはＬより大きい整数）のノズルのうち、Ｌ個のノズルを前記Ｌ個の作業位置に位置させる工程と、
前記Ｌ個の正圧導入孔に対応して設けられ、それぞれ対応する前記正圧導入孔と正圧を出力する正圧源とを接続するＬ個の正圧導入経路から前記Ｌ個の正圧導入孔に気体を流入させつつ、前記正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値の前記Ｌ個の正圧導入孔の間における差を変更する工程と、
前記Ｍ個のノズルに対応して前記ノズルホルダーに設けられたＭ個の正圧連通路のうち、前記Ｌ個の作業位置に位置する前記Ｌ個のノズルに対応するＬ個の正圧連通路の開口が前記Ｌ個の正圧導入孔の開口と対向して、前記Ｌ個のノズルと前記Ｌ個の正圧入力孔とが連通することで、前記Ｌ個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出する工程と、
前記Ｌ個の正圧導入孔の間における前記対象値の差を、前記ブロー圧に基づき設定する工程と
を備えるノズルのブロー圧較正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、いわゆるロータリー型の実装ヘッドにおいて円周状に配列された複数のノズルに正圧を供給する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、円周状に配列された複数のノズルを備えたロータリー型の実装ヘッドが記載されている。この実装ヘッドは、ノズルに負圧を供給することで、ノズルに部品を吸着する。また、部品を基板に実装する際には、ノズルに正圧を供給することで、ノズルから部品を離脱させる。具体的には、図４１に示されるように、エア供給源とノズルとが互いに接続されており、エア供給源とノズルとの接続経路に可変絞り弁が設けられている。そして、絞り弁の開度に応じた正圧がノズルに供給される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特許３８０２９５５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、ロータリーヘッドは、円周状に配列された複数のノズルを保持するノズルホルダーを、ハウジングに設けられた中空部に配置することで構成することができる。かかる構成では、ノズルホルダーには、複数のノズルに対応して複数の正圧連通路が設けられる一方、ハウジングには、所定個数（例えば、２個）の作業位置に対応して所定個数の正圧導入孔が貫通する。そして、複数の正圧連通路のうち、作業位置に位置するノズルに対応する正圧連通路の開口が正圧導入孔の開口と対向して、作業位置のノズルとハウジングの正圧入力孔とが連通する。これによって、正圧導入孔からノズルホルダーの正圧連通路を介してノズルに正圧を供給することができる。

【0005】

ところで、上記構成を具備するロータリーヘッドでは、ハウジングの中空部に対してノズルホルダーが偏心して配置される場合がある。このような場合、ハウジングの内壁とノズルホルダーの外壁との間の隙間の大きさが、各正圧導入孔によって異なるため、隙間から漏れる気体の量が各正圧導入孔で異なって、各ノズルから噴出する気体の流量・圧力がばらつく。その結果、全てのノズルにおいて部品の離脱に適したノズルからの気体の噴出を実現することが難しかった。

【0006】

かかる問題に対しては、例えば特許文献１に示される絞り弁を利用できる。ただし、このような絞り弁をノズル毎に設けるとなると、構成要素の増大やコストアップを招いてしまう。この点において、特許文献１は改善の余地があった。

【0007】

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品の離脱に適した気体の噴出をノズルにより実行可能とする技術の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る部品実装機は、中空部を囲む本体と、Ｌ個（Ｌは２以上の整数）の作業位置に対応して設けられたＬ個の正圧導入孔とを有し、正圧導入孔が本体を貫通して中空部に開口するハウジングと、所定の回転中心の周りでハウジングに対して回転可能に中空部内に配置され、円周状に配列されたＭ個（ＭはＬより大きい整数）のノズルを保持するノズルホルダーと、正圧を出力する正圧源と、Ｌ個の正圧導入孔に対応して設けられ、それぞれ対応する正圧導入孔と正圧源とを接続するＬ個の正圧導入経路と、正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値のＬ個の正圧導入孔の間における差を調整する調整部とを備え、ノズルホルダーには、Ｍ個のノズルに対応して設けられたＭ個の正圧連通路が設けられ、ノズルホルダーが回転することで、Ｍ個のノズルのうち、Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルが切り換わり、Ｍ個の正圧連通路のうち、Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルに対応するＬ個の正圧連通路の開口がＬ個の正圧導入孔の開口と対向して、Ｌ個のノズルとＬ個の正圧入力孔とが連通する。

【0009】

このように構成された本発明（部品実装機）では、円周状に配列されたＭ個のノズルを保持するノズルホルダーが、ハウジングに設けられた中空部に配置される。ノズルホルダーには、Ｍ個のノズルに対応してＭ個の正圧連通路が設けられる一方、ハウジングには、Ｌ個（ＬはＭより小さい２以上の整数）の作業位置に対応してＬ個の正圧導入孔が貫通する。そして、Ｍ個の正圧連通路のうち、Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルに対応するＬ個の正圧連通路の開口がＬ個の正圧導入孔の開口と対向して、作業位置のＬ個のノズルとハウジングのＬ個の正圧入力孔とが連通する。これによって、Ｌ個の正圧導入孔からノズルホルダーのＬ個の正圧連通路を介してＬ個のノズルに正圧を供給することができる。

【0010】

また、本発明では、正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値のＬ個の正圧導入孔の間における差が調整部により調整される。そのため、ハウジングの中空部に対してノズルホルダーが偏心して配置されて、ハウジングの内壁とノズルホルダーの外壁との間の隙間の大きさが各正圧導入孔によって異なったとしても、各ノズルから噴出する気体の流量・圧力を揃えて、部品の離脱に適したノズルからの気体の噴出を実現することができる。しかも、調整部は、対象値の差の調整を、Ｍ個のノズルの全てを対象にするのではなく、Ｍ個のノズルのうちのＬ個のノズルを対象にして行うため、少ない構成要素で調整部を構成することができる。こうして、本発明では、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品の離脱に適した気体の噴出をノズルにより実行することが可能となっている。

【0011】

また、Ｌ個の正圧導入孔のうち、一の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間が、他の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間より狭く、調整部は、一の正圧導入孔に流入する気体の対象値を、他の正圧導入孔に流入する気体の対象値より小さくするように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、Ｌ個の正圧導入孔のうちの任意の一の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間と、当該一の正圧導入孔と異なる他の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間との違いに応じて、一の正圧導入孔に流入する気体の対象値が、他の正圧導入孔に流入する気体の対象値より小さく設定されている。その結果、Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルから噴出される気体の流量・圧力を揃えて、部品の離脱に適した気体の噴出をノズルにより実行することができる。

【0012】

なお、本体とノズルホルダーとの隙間の差は、公差によって生じた差と、意図的に生じさせた差とを含む。後者の場合には、一の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間が、他の正圧導入孔が設けられた本体の内壁とノズルホルダーとの間の隙間より狭くなるように、本体およびノズルホルダーが設計される。

【0013】

また、Ｌは２であるように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、対象値の差の調整を２個のノズルに対象を限定して行うこととなる。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0014】

また、調整部は、制御弁によって対象値を減少させる制御機構を有し、制御機構は、Ｌ個の正圧導入経路のうち、正圧源と一の正圧導入孔とを接続する一の正圧導入経路にのみ設けられ、正圧源から一の正圧導入経路に流入する気体の対象値と比べて、一の正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の対象値を、制御弁によって減少させることで、一の正圧導入孔に流入する気体の対象値を、他の正圧導入孔に流入する気体の対象値より小さくするように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値の２個の正圧導入孔の間における差を、単一の制御弁によって調整することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップを最低限に抑えることができる。

【0015】

また、制御機構は、一の正圧導入経路から分岐する気体排出経路を有し、制御弁は、気体排出経路を流れる気体の流量を調整する流量調整弁であり、調整部は、流量調整弁を開いて気体排出経路を介して一の正圧導入経路から気体を排出することで、一の正圧導入孔に流入する気体の流量を、他の正圧導入孔に流入する気体の流量より小さくするように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の流量の２個の正圧導入孔の間における差を、単一の流量調整弁によって調整することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップを最低限に抑えることができる。

【0016】

また、制御弁は、一の正圧導入経路に設けられた減圧弁であり、調整部は、正圧源から出力された正圧を減圧弁によって減圧してから、一の正圧導入孔に供給することで、一の正圧導入孔に流入する気体の圧力を、他の正圧導入孔に流入する気体の圧力より小さくするように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、正圧導入経路から正圧導入孔に流入する気体の圧力の２個の正圧導入孔の間における差を、単一の減圧弁によって調整することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップを最低限に抑えることができる。

【0017】

また、ＭはＬの５倍以上であるように、部品実装機を構成してもよい。かかる構成では、対象値の差の調整を実行するノズルの個数（＝Ｌ）を、ノズルの総数（＝Ｍ）の５分の１以下に限定することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0018】

本発明に係るノズルのブロー圧較正方法は、中空部を囲む本体と、Ｌ個（Ｌは２以上の整数）の作業位置に対応して設けられたＬ個の正圧導入孔とを有し、正圧導入孔が本体を貫通して中空部に開口するハウジングに対して、所定の回転中心の周りで回転可能に中空部内に配置されたノズルホルダーに保持される、円周状に配列されたＭ個（ＭはＬより大きい整数）のノズルのうち、Ｌ個のノズルをＬ個の作業位置に位置させる工程と、Ｌ個の正圧導入孔に対応して設けられ、それぞれ対応する正圧導入孔と正圧を出力する正圧源とを接続するＬ個の正圧導入経路からＬ個の正圧導入孔に気体を流入させつつ、正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値のＬ個の正圧導入孔の間における差を変更する工程と、Ｍ個のノズルに対応してノズルホルダーに設けられたＭ個の正圧連通路のうち、Ｌ個の作業位置に位置するＬ個のノズルに対応するＬ個の正圧連通路の開口がＬ個の正圧導入孔の開口と対向して、Ｌ個のノズルとＬ個の正圧入力孔とが連通することで、Ｌ個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出する工程と、Ｌ個の正圧導入孔の間における対象値の差を、ブロー圧に基づき設定する工程とを備える。

【0019】

このように構成された本発明（ノズルのブロー圧較正方法）では、ハウジングに設けられたＬ個の正圧導入孔から作業位置のＬ個のノズルに気体を流入させつつ、正圧導入孔に流入する気体の圧力および流量の一方の対象値のＬ個の正圧導入孔の間における差が変更される。こうして対象値の差を変更しつつ、Ｌ個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出し、Ｌ個の正圧導入孔の間における対象値の差をこのブロー圧に基づき設定する。したがって、部品実装においては、このノズルのブロー圧較正方法で設定された対象値の差に応じて、Ｌ個の正圧導入孔へ供給される気体の対象値を調整することで、作業位置のＬ個のノズルから噴出する気体のブロー圧を揃えることができる。すなわち、対象値の差の調整を、Ｍ個のノズルの全てを対象にするのではなく、Ｍ個のノズルのうちのＬ個のノズルを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素でノズルのブロー圧を揃えることができる。こうして、本発明では、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品の離脱に適した気体の噴出をノズルにより実行することが可能となっている。

【発明の効果】

【0020】

以上のように、本発明によれば、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品の離脱に適した気体の噴出をノズルにより実行することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0021】

【図1】本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図。

【図2】ロータリーヘッドの外観構成を示す斜視図。

【図3】図２のロータリーヘッドを部分的に拡大して示す斜視図。

【図4】図２のロータリーヘッドの内部構成を示す斜視図。

【図5】図２のロータリーヘッドの断面を示す断面図。

【図6】図２のロータリーヘッドを部分的に拡大して示す断面図。

【図7】ロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第１例を模式的に示す図。

【図8】図７に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第１例を示すフローチャート。

【図9】図７に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第２例を示すフローチャート。

【図10】ロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第２例を模式的に示す図。

【図11】図１０に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第１例を示すフローチャート。

【図12】図１０に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第２例を示すフローチャート。

【図13】ロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第３例を模式的に示す図。

【図14】ロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第４例を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0022】

図１は本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図である。同図および以下の図では、互いに直交するＸ方向、Ｙ方向およびＺ方向を適宜示す。ここで、Ｘ方向およびＹ方向は水平方向であり、Ｚ方向は鉛直方向である。図１に示すように、部品実装機１は、基台１１の上に設けられた一対のコンベア１２、１２を備える。そして、部品実装機１は、コンベア１２によりＸ方向（基板搬送方向）の上流側から実装処理位置（図１の基板Ｂの位置）に搬入した基板Ｂに対して部品を実装し、部品実装を完了した基板Ｂをコンベア１２により実装処理位置からＸ方向の下流側へ搬出する。

【0023】

部品実装機１では、Ｙ方向に延びる一対のＹ軸レール２１、２１と、Ｙ方向に延びるＹ軸ボールネジ２２と、Ｙ軸ボールネジ２２を回転駆動するＹ軸モーターＭｙとが設けられ、Ｘ方向に延びるＸ軸レール２３が一対のＹ軸レール２１、２１にＹ方向に移動可能に支持された状態でＹ軸ボールネジ２２のナットに固定されている。Ｘ軸レール２３には、Ｘ方向に延びるＸ軸ボールネジ２４と、Ｘ軸ボールネジ２４を回転駆動するＸ軸モーターＭｘとが取り付けられており、ロータリーヘッド３がＸ軸レール２３にＸ方向に移動可能に支持された状態でＸ軸ボールネジ２４のナットに固定されている。したがって、Ｙ軸モーターＭｙによりＹ軸ボールネジ２２を回転させてロータリーヘッド３をＹ方向に移動させ、あるいはＸ軸モーターＭｘによりＸ軸ボールネジ２４を回転させてロータリーヘッド３をＸ方向に移動させることができる。

【0024】

一対のコンベア１２、１２のＹ方向の両側それぞれでは、２つの部品供給部２８がＸ方向に並んでいる。各部品供給部２８に対しては、複数のテープフィーダー２８１がピッチＰでＸ方向に並んで着脱可能に装着されており、各テープフィーダー２８１には、集積回路、トランジスター、コンデンサー等の小片状の部品Ｅ（チップ電子部品）を所定間隔おきに収納したテープが巻かれたリールが配置されている。そして、テープフィーダー２８１は、テープを基板Ｂ側に間欠的に送り出すことによって、基板Ｂ側の先端の部品供給位置に部品Ｅを供給する。

【0025】

ロータリーヘッド３は、ノズルＮ（図４、図５）により、部品Ｅの吸着・実装を行う。つまり、ロータリーヘッド３はテープフィーダー２８１の上方へ移動して、テープフィーダー２８１により供給された部品Ｅを吸着する。具体的には、ロータリーヘッド３は、部品Ｅに当接するまでノズルＮを下降させた後にノズルＮ内に負圧を発生させつつノズルＮを上昇させることで、部品Ｅを吸着する。続いて、ロータリーヘッド３は実装処理位置の基板Ｂの上方に移動して基板Ｂに部品Ｅを実装する。具体的には、ロータリーヘッド３は、部品Ｅが基板Ｂに当接するまでノズルＮを下降させた後にノズルＮ内に正圧を発生させることで、部品Ｅを実装する。部品Ｅの実装後は、ロータリーヘッド３はノズルＮを上昇させる。

【0026】

図２はロータリーヘッドの外観構成を示す斜視図であり、図３は図２のロータリーヘッドを部分的に拡大して示す斜視図であり、図４は図２のロータリーヘッドの内部構成を示す斜視図であり、図５は図２のロータリーヘッドの断面を示す断面図であり、図６は図２のロータリーヘッドを部分的に拡大して示す断面図である。

【0027】

ロータリーヘッド３はＺ方向に平行に延びるメインロッド３１と、メインロッド３１の下端に支持されたシャフトホルダー３２とを有する。メインロッド３１およびシャフトホルダー３２は、これらの中心を通るＺ方向に平行な回転軸Ｃａを中心に回転可能に支持されており、回転モーター（図示せず）の駆動力を受けて回転する。

【0028】

図６に示すように、ロータリーヘッド３は、シャフトホルダー３２を側方（水平方向）から囲むハウジング３６を有する。ハウジング３６は、ハウジング本体３６１と、ハウジング本体３６１の内側に形成されてハウジング本体３６１をＺ方向に貫通する中空部３６２を有する。ハウジング本体３６１の内周面（換言すれば、中空部３６２の外周面）と、ハウジング本体３６１の外周面とは、Ｚ方向に平行な直線を共通の中心とする円筒形状を有し、Ｚ方向からの平面視においてハウジング本体３６１は円環形状を有する。これに対して、シャフトホルダー３２の外周壁は、回転軸Ｃａを中心とした円筒形状を有する。この際、中空部３６２の円筒形状の径よりも、シャフトホルダー３２の円筒形状の径は僅かに短く、シャフトホルダー３２は、中空部３６２に嵌入する。こうして中空部３６２内に配置されたシャフトホルダー３２は、回転軸Ｃａを中心にハウジング本体３６１に対して回転可能である。

【0029】

このシャフトホルダー３２は、回転軸Ｃａを中心とする円周状に等角度（２０度）を空けて配列されたＭ個のシャフト挿入孔３２１を有する。ここで、Ｍは、ロータリーヘッド３に装着されるノズルＮの個数に相当する３以上の整数であり、ここの例ではＭ＝１８である。シャフト挿入孔３２１はＺ方向に貫通し、ノズルシャフト３３はシャフト挿入孔３２１に挿入された状態でシャフトホルダー３２により支持される。こうして、シャフトホルダー３２により支持された１８個のノズルシャフト３３が、回転軸Ｃａを中心とする円周状に等角度（２０度）を空けて並ぶ。したがって、シャフトホルダー３２が回転軸Ｃａを中心に回転すると、１８個のノズルシャフト３３が一体的に回転軸Ｃａを中心に回転する。

【0030】

各ノズルシャフト３３は、Ｚ方向に延設された昇降ロッド３３１と、シャフトホルダー３２に取り付けられたスプラインシャフト３３２とを有する。スプラインシャフト３３２は、シャフト挿入孔３２１に挿入された状態でシャフトホルダー３２に取り付けられている。スプラインシャフト３３２には、Ｚ方向に貫通するロッド挿入孔が設けられており、昇降ロッド３３１はロッド挿入孔に挿入される。また、ノズルシャフト３３は、昇降ロッド３３１に外嵌されたコイルスプリング３３３を有し、コイルスプリング３３３がスプラインシャフト３３２に対して昇降ロッド３３１を上方に付勢する。こうして、昇降ロッド３３１はスプラインシャフト３３２およびコイルスプリング３３３によって昇降可能に支持される。かかる昇降ロッド３３１の下端は、シャフトホルダー３２の下方に位置し、当該下端にノズルＮが取り付けられている。

【0031】

ノズルシャフト３３は、その中心線に一致する回転軸Ｃｂを中心に回転可能にシャフトホルダー３２に支持されている。具体的には、ノズルシャフト３３のスプラインシャフト３３２は、シャフトホルダー３２に対して回転軸Ｃｂを中心に回転可能である。このスプラインシャフト３３２は、回転軸Ｃｂを中心とする回転方向において昇降ロッド３３１を拘束しており、スプラインシャフト３３２と昇降ロッド３３１とは、回転軸Ｃｂを中心に一体的に回転する。このスプラインシャフト３３２は、回転軸Ｃｂを中心とする被駆動ギア３３２ｂをシャフトホルダー３２の上方に有し、被駆動ギア３３２ｂに加わるトルクに応じて、昇降ロッド３３１を伴って回転する。

【0032】

かかる構成では、１８個のノズルシャフト３３が、それぞれの被駆動ギア３３２ｂにトルクが加わると、それぞれの回転軸Ｃｂを中心に回転する。これに対して、ロータリーヘッド３は、１８個のノズルシャフト３３を駆動・回転させる駆動ギア３４を有する。駆動ギア３４は、回転軸Ｃａを中心とし、シャフトホルダー３２の上方に配置されている。この駆動ギア３４は、ベアリング３５を介してメインロッド３１に外嵌しており、回転モーター（図示せず）の駆動力を受けると、回転軸Ｃａを中心に回転する。これに対して、１８個のノズルシャフト３３にそれぞれ設けられた１８個の被駆動ギア３３２ｂは、駆動ギア３４の周縁に沿って円周状に配列され、駆動ギア３４に外側から噛み合う。したがって、駆動ギア３４の回転によって１８個の被駆動ギア３３２ｂが駆動されて、１８個のノズルシャフト３３は、それぞれの回転軸Ｃｂを中心に回転する。

【0033】

また、ロータリーヘッド３は、メインロッド３１を回転させることで、回転軸Ｃａを中心にシャフトホルダー３２に伴って１８個のノズルシャフト３３を回転させることができる。これに対して、ロータリーヘッド３は、回転軸Ｃａを中心に１８０度の回転角度を空けて設けられて、Ｘ方向にピッチＰで並ぶＬ個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒを有する。ここで、Ｌは、作業位置の個数に相当するＭ未満かつ２以上の整数であり、ここの例ではＬ＝２である。したがって、ロータリーヘッド３は、１８個のノズルシャフト３３（換言すれば、１８個のノズルＮ）のうち、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルシャフト３３を、１８個のノズルシャフト３３を回転させることで切り換えることができる。なお、Ｌが２より大きい場合には、Ｌ個の作業位置の間隔は、１８０度ではなく、Ｌの値に応じて変わる。例えば、Ｌ＝３の場合には、３個の作業位置の間隔を１２０度（３６０度／３）にするとよい。

【0034】

さらに、１８個のノズルシャフト３３のうち、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルシャフト３３を選択的に昇降させることができる。つまり、ロータリーヘッド３は、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに対応して、２個の昇降機構５１を有する。２個の昇降機構５１の構成は共通するため、ここでは、作業位置Ｓｌに対応する１個の昇降機構５１について説明を行う。

【0035】

昇降機構５１は、作業位置Ｓｌに位置するノズルシャフト３３の昇降ロッド３３１の上端に上方から対向するカムフォロア５２と、カムフォロア５２を昇降させる昇降部材５３とを有し、リニアモーターによって昇降部材５３をＺ方向に駆動することで、昇降部材５３に伴ってカムフォロア５２を昇降させる。カムフォロア５２が図５に示す高さに位置する場合には、カムフォロア５２は、作業位置Ｓｌのノズルシャフト３３の昇降ロッド３３１から上方に離間する。その結果、作業位置Ｓｌにおいて、昇降ロッド３３１は、コイルスプリング３３３による上方への付勢力に従って最高点に位置して、当該昇降ロッド３３１に取り付けられたノズルＮは上昇位置に位置する。一方、カムフォロア５２が図５に示す高さから下降すると、カムフォロア５２は、ノズルシャフト３３の昇降ロッド３３１に上方から当接して、コイルスプリング３３３の付勢力に抗して昇降ロッド３３１を押し下げる。その結果、作業位置Ｓｌにおいて、昇降ロッド３３１は、最高点から下降して、当該昇降ロッド３３１に取り付けられたノズルＮは、上昇位置より低い下降位置に位置する。

【0036】

かかるロータリーヘッド３は、作業位置Ｓｌ、Ｓｒにおいて下降位置に位置するノズルＮに負圧を供給することで、ノズルＮにより部品Ｅを吸着する。ちなみに、上述の通り、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒと、２個のテープフィーダー２８１とは、同じピッチＰでＸ方向に並ぶため、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮは、２個のテープフィーダー２８１から部品Ｅを同時に吸着できる。また、ロータリーヘッド３は、作業位置Ｓｌ、Ｓｒにおいて下降位置に位置するノズルＮに正圧を供給することで、部品ＥをノズルＮから下方へ離脱させて、基板Ｂに実装する。続いては、ノズルＮに負圧・正圧を供給する構成について説明する。

【0037】

ロータリーヘッド３は、１８個のノズルシャフト３３に対応して１８個の圧力切換機構４を有する。１８個の圧力切換機構４は、シャフトホルダー３２に取り付けられて、シャフトホルダー３２に伴って回転軸Ｃａを中心に回転する。これら１８個の圧力切換機構４は、１８個のノズルシャフト３３の外側において、回転軸Ｃａを中心として円周状に等角度（２０度）を空けて並び、各圧力切換機構４は対応するノズルシャフト３３の下端に取り付けられたノズルＮに供給される圧力を、負圧と正圧との間で切り換える。

【0038】

圧力切換機構４は、Ｚ方向に延設されたバルブスプール４１と、バルブスプール４１を収容するスリーブ４２とを有する。スリーブ４２は、その上端にフランジ４２１を有し、シャフトホルダー３２で上方に開口する取付孔３２２に挿入されたスリーブ４２のフランジ４２１がシャフトホルダー３２の上面に係合する。こうして、スリーブ４２は、シャフトホルダー３２に支持される。バルブスプール４１は、スリーブ４２において上方に開口する収容孔に挿入され、スリーブ４２に対してＺ方向に可動である。このバルブスプール４１は、その上端部分に係合部４１１を有する。そして、後述する昇降機構のカムフォロアが係合部４１１に係合しつつ昇降することで、バルブスプール４１が昇降して、ノズルＮに供給される圧力が切り換えられる。

【0039】

具体的には、図６に示すように、スリーブ４２は、負圧が入力される負圧入力ポート４２ａと、正圧が入力される正圧入力ポート４２ｂとを有する。スリーブ４２の内部は、中空に形成されており、対応するノズルシャフト３３の下端に取り付けられたノズルＮに連通する。したがって、負圧入力ポート４２ａからスリーブ４２の内部に入力された負圧および正圧入力ポート４２ｂからスリーブ４２の内部に入力された正圧は、それぞれ当該ノズルＮに供給される。

【0040】

これに対して、メインロッド３１の内部には、Ｚ方向に延設された負圧供給経路３１ａが設けられるとともに、シャフトホルダー３２の内部には、１８個の圧力切換機構４に対応する１８個の負圧分岐経路３２ａが設けられている。１８個の負圧分岐経路３２ａは、回転軸Ｃａを中心とする放射状に設けられ、対応する圧力切換機構４の負圧入力ポート４２ａと負圧供給経路３１ａとを連通させる。したがって、１８個のスリーブ４２の負圧入力ポート４２ａには、それぞれに対応する負圧分岐経路３２ａを介して負圧供給経路３１ａから負圧が供給される。

【0041】

また、シャフトホルダー３２の内部には、１８個の圧力切換機構４に対応する１８個の正圧入力孔３２ｂが設けられている。各正圧入力孔３２ｂは、対応する圧力切換機構４のスリーブ４２の正圧入力ポート４２ｂと、シャフトホルダー３２の外周面との間で水平方向に延設され、シャフトホルダー３２の外周面で開口する。一方、ロータリーヘッド３は、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに対応して２個の圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒを有し、ハウジング３６のハウジング本体３６１には、２個の圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに対応して２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒが水平方向に貫通して、中空部３６２に対して開口する。そして、１８個の圧力切換機構４のうち、２個の圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに位置する２個の圧力切換機構４（換言すれば、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置するノズルシャフト３３に対応する２個の圧力切換機構４）の正圧入力ポート４２ｂが正圧入力孔３２ｂを介して正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに対向・連通する。

【0042】

また、ロータリーヘッド３は、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに対応して２本の正圧導入管６１ｒ、６１ｌ（正圧導入経路）を有し、正圧導入管６１ｒ、６１ｌのそれぞれは対応する正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに接続されて、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに正圧を供給する。こうして、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに供給された正圧は、圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに位置する圧力切換機構４の正圧入力ポート４２ｂに供給される。

【0043】

かかる構成では、圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに位置する圧力切換機構４のバルブスプール４１を、負圧供給位置ｈａに位置させると、バルブスプール４１が負圧入力ポート４２ａを開くとともに正圧入力ポート４２ｂを閉じる。その結果、負圧供給経路３１ａがスリーブ４２の内部を介して作業位置Ｓｌ、ＳｒのノズルＮに連通して、これらのノズルＮに負圧が供給される。また、圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに位置する圧力切換機構４のバルブスプール４１を負圧供給位置ｈａより低い正圧供給位置ｈｂに位置させると、バルブスプール４１が負圧入力ポート４２ａを閉じるとともに正圧入力ポート４２ｂを開く。その結果、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒがスリーブ４２の内部を介して作業位置Ｓｌ、ＳｒのノズルＮに連通して、これらのノズルＮに正圧が供給される。

【0044】

そして、ロータリーヘッド３は、２個の圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒに対応して２個の昇降機構５５を有し、各昇降機構５５は、２個の圧力切換位置Ｃｌ、Ｃｒのうち対応する一方に位置する圧力切換機構４のバルブスプール４１を負圧供給位置ｈａと正圧供給位置ｈｂとの間で昇降させる。２個の昇降機構５５の構成は共通するため、ここでは、圧力切換位置Ｃｌに対応する１個の昇降機構５５について説明を行う。

【0045】

昇降機構５５は、圧力切換位置Ｃｌに位置する圧力切換機構４のバルブスプール４１の係合部４１１に対向するカムフォロア５６を有する。この係合部４１１は、上下に配置された一対の対向部４１２を有し、Ｚ方向において、カムフォロア５６はこれら対向部４１２の間に位置して、上下の対向部４１２それぞれに対向する。さらに、昇降機構５５は、カムフォロア５６を昇降させる昇降部材５７を有し、リニアモーターによって昇降部材５７をＺ方向に駆動することで、昇降部材５７に伴ってカムフォロア５６を昇降させる。

【0046】

つまり、カムフォロア５６を上昇させると、一対の対向部４１２のうち、上側の対向部４１２をカムフォロア５６が下方から押し上げて、バルブスプール４１を負圧供給位置ｈａに位置させる。また、カムフォロア５６を下降させると、一対の対向部４１２のうち、下側の対向部４１２をカムフォロア５６が上方から押し下げて、バルブスプール４１を正圧供給位置ｈｂに位置させる。

【0047】

続いては、部品実装機１において、ロータリーヘッド３のハウジング本体３６１に開口する２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに正圧を供給する機構について、図７を用いて説明する。ここで、図７はロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第１例を模式的に示す図である。なお、以下の説明では、圧力切換位置Ｃｒ、Ｃｌの２個のバルブスプール４１はそれぞれ正圧供給位置Ｈｂに位置しており、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮはそれぞれ正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに連通している状況を前提とする。

【0048】

図７に示すように、部品実装機１が備える正圧供給機構６は、ロータリーヘッド３のハウジング本体３６１の外周面で開口する２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒにそれぞれ接続された上述の２本の正圧導入管６１ｌ、６１ｒを有する。さらに、正圧供給機構６は、正圧を出力する正圧源６２を有し、２本の正圧導入管６１ｌ、６１ｒは、共通の正圧源６２と、それぞれに接続された正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒとの間で延設されている。

【0049】

これら正圧導入管６１ｌ、６１ｒに対する構成は共通するため、１本の正圧導入管６１ｌに対する構成について説明する。正圧導入管６１ｌに対しては、正圧源６２と正圧導入孔Ｈｌとの間において、開閉バルブ６３が介挿されている。したがって、開閉バルブ６３を開くことで、正圧導入管６１ｌによって正圧源６２と正圧導入孔Ｈｌとを連通させて、正圧導入孔Ｈｌに正圧を供給できる。一方、開閉バルブ６３を閉じることで、正圧源６２と正圧導入孔Ｈｌとを遮断して、正圧導入孔Ｈｌへの正圧の供給を停止できる。なお、ここでは、開閉バルブ６３が開いている状況を前提として説明を行う。

【0050】

さらに、正圧導入管６１ｌに対しては、気体排出機構６４が設けられている。この気体排出機構６４は、開閉バルブ６３と正圧導入孔Ｈｌとの間で、正圧導入管６１ｌから分岐する気体排出管６４１と、気体排出管６４１に取り付けられた流量調整弁６４２とを有する。この流量調整弁６４２は、気体排出管６４１から外部へ排出される気体（空気）の流量を調整する。したがって、流量調整弁６４２が開くと、正圧源６２から正圧導入管６１ｌを介して正圧導入孔Ｈｌへ向かう気体の一部は、気体排出管６４１および流量調整弁６４２を介して正圧導入管６１ｌから排出される。また、正圧導入管６１ｌから排出される気体の流量は、流量調整弁６４２の開度を上げるのに伴って増大する。その結果、流量調整弁６４２の開度を上げるのに伴って、正圧導入管６１ｌから気体排出管６４１および流量調整弁６４２を介して排出される気体の流量が増大するとともに、正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量が減少する。

【0051】

上述の通り、正圧導入孔Ｈｌが開口するハウジング本体３６１の内部（中空部３６２）には、シャフトホルダー３２が位置する。このシャフトホルダー３２には、上述の正圧入力孔３２ｂやスリーブ４２でそれぞれ構成された１８個の正圧連通路Ｔが１８個のノズルＮに対応して設けられており、各正圧連通路Ｔは対応するノズルＮに連通する。そして、１８個のノズルＮのうち、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮに連通する正圧連通路Ｔの開口Ｏｉが正圧導入孔Ｈｌの開口Ｏｏに水平方向から対向し、正圧導入孔Ｈｌと作業位置Ｓｌに位置するノズルＮとが連通する。その結果、正圧導入管６１ｌを介して正圧源６２から正圧導入孔Ｈｌに供給された正圧が、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮに供給される。

【0052】

同様に、１８個のノズルＮのうち、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮに連通する正圧連通路Ｔの開口Ｏｉが正圧導入孔Ｈｒの開口Ｏｏに水平方向から対向し、正圧導入孔Ｈｒと作業位置Ｓｒに位置するノズルＮとが連通する。その結果、正圧導入管６１ｒを介して正圧源６２から正圧導入孔Ｈｒに供給された正圧が、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮに供給される。

【0053】

ところで、図７の例では、中空部３６２の円筒形状の中心線と、シャフトホルダー３２の回転軸Ｃａとがずれた結果、例えば、中空部３６２の円筒形状の中心線に対してシャフトホルダー３２の回転軸Ｃａが図７において僅かに左にずれた結果、正圧導入孔Ｈｌ側のハウジング本体３６１の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｌが、正圧導入孔Ｈｒ側のハウジング本体３６１の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｒよりも狭くなっている。このような場合、正圧導入孔Ｈｌから中空部３６２に流入した空気が隙間Δｌから逃げる流量よりも、正圧導入孔Ｈｒから中空部３６２に流入した空気が隙間Δｒから逃げる流量が多くなる。そのため、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに供給される気体の流量・正圧が同じであると、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出する気体のブロー圧に比較して、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出する気体のブロー圧が小さくなる。このようなブロー圧のばらつきの結果、ブロー圧の大きいノズルＮは部品Ｅを吹き飛ばしてしまう一方、ブロー圧の小さいノズルＮからは部品Ｅが的確に離脱しないといった状況が起こりうる。このように、ノズルＮから部品Ｅを確実に離脱させつつ部品Ｅを吹き飛ばすことのない、適切な気体の噴出を各ノズルＮに対して実行することが難しい場合があった。

【0054】

そこで、正圧供給機構６は、正圧導入管６１ｒに対して設けられた流量調整弁６４２の開度より、正圧導入管６１ｌに対して設けられた流量調整弁６４２の開度を大きくすることで、正圧導入管６１ｒから気体排出管６４１を介して排出する気体の流量（ゼロを含む）より、正圧導入管６１ｌから気体排出管６４１を介して排出する気体の流量を多くする。すなわち、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量が、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量より小さくなるように、これらの流量の間に差が設定されている。これによって、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮから噴射される気体のブロー圧との差が抑制される。

【0055】

以上のように構成された実施形態では、円周状に配列された１８個（Ｍ個）のノズルＮを保持するシャフトホルダー３２（ノズルホルダー）が、ハウジング３６に設けられた中空部３６２に配置される。シャフトホルダー３２には、１８個のノズルＮに対応して１８個の正圧連通路Ｔが設けられる一方、ハウジング３６には、２個（Ｌ個）の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに対応して２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒが貫通する。そして、１８個の正圧連通路Ｔのうち、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮに対応する２個の正圧連通路Ｔの開口Ｏｉが２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの開口Ｏｏと対向して、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮとハウジング３６の２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒとが連通する。これによって、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒからシャフトホルダー３２の２個の正圧連通路Ｔを介して２個のノズルＮに正圧を供給することができる。

【0056】

また、この実施形態（図７の第１例）では、正圧導入管６１ｌ、６１ｒ（正圧導入経路）から正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の流量の２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が正圧供給機構６（調整部）により調整される。そのため、ハウジング３６の中空部３６２に対してシャフトホルダー３２が偏心して配置されて、ハウジング３６の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｌ、Δｒの大きさが各正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒによって異なったとしても、各ノズルＮから噴出する気体の流量を揃えて、部品Ｅの離脱に適したノズルＮからの気体の噴出を実現することができる。しかも、正圧供給機構６は、気体の流量の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルＮのうちの作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個（Ｌ個）のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素で正圧供給機構６を構成することができる。こうして、この実施形態では、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0057】

つまり、この実施形態では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒが設けられている点に注目して、気体の流量差の調整を、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに対象を限定して行う。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0058】

また、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒのうち、一方の正圧導入孔Ｈｌ側のハウジング本体３６１の内壁とシャフトホルダー３２との間の隙間Δｌが、他方の正圧導入孔Ｈｒ側のハウジング本体３６１の内壁とシャフトホルダー３２との間の隙間Δｒより狭い。これに対応して、正圧供給機構６は、一方の正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量を、他方の正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量より小さくしている。つまり、これらの隙間Δｌ、Δｒの違いに応じて、一方の正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量が、他方の正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量より小さく設定されている。その結果、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮから噴出される気体の流量を一致させて、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することができる。

【0059】

また、ノズルＮの個数（＝Ｍ）は作業位置Ｓｌ、Ｓｒの個数（＝Ｌ）の５倍以上である。かかる構成では、気体の流量の差の調整を実行するノズルＮの個数（＝Ｌ）を、ノズルＮの総数（＝Ｍ）の５分の１以下に限定することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0060】

図８は図７に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第１例を示すフローチャートである。このノズルのブロー圧較正方法は、部品実装機１での部品実装の開始前に、例えば作業者によって実行される。

【0061】

ステップＳ１０１では、作業位置Ｓｌ、ＳｒのそれぞれにノズルＮを位置させて、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮから気体を噴出させる。このステップＳ１０１は、作業位置Ｓｌ、ＳｒにいずれのノズルＮも位置しない状態でステップＳ１０２以後が実行されるのを防止するものであり、１８個のノズルＮのうちの何れか２個のノズルＮを作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置させればよい。また、ノズルのブロー圧較正方法の開始前から、作業位置Ｓｌ、ＳｒのそれぞれにノズルＮが位置する場合には、当該方法の開始時点でステップＳ１０１が実行・完了されたと見なす。

【0062】

ステップＳ１０２では、正圧供給機構６の２個の流量調整弁６４２のそれぞれを全閉にする（すなわち、開度をゼロにする）。そして、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧（風圧）と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧とをそれぞれ検出する（ステップＳ１０３）。例えば、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮに対応する２個の正圧連通路Ｔに、図示しない検出器が設けられており、ステップＳ１０３の検出はこの検出器により実行される。

【0063】

かかる検出結果に基づき、ステップＳ１０４では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮのうち、最高ブロー圧で気体を噴出したノズルＮに連通する正圧連通経路（正圧連通経路６１ｌ、６１ｒの一方）に接続された流量調整弁６４２を徐々に開く開動作が開始される。ここでは、隙間Δｌが隙間Δｒより狭いため、作業位置ＳｌのノズルＮのブロー圧が作業位置ＳｒのノズルＮのブロー圧より高くなる。したがって、作業位置ＳｌのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｌに接続された流量調整弁６４２に対して開動作が開始される。

【0064】

かかる開動作の開始・実行に伴って、正圧導入管６１ｌから気体排出管６４１および流量調整弁６４２を介して排出される気体の流量が増大するとともに、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量が減少する。その結果、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体の流量が減少して、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧との差（ブロー圧の差）が縮まる。そこで、ステップＳ１０５では、このブロー圧の差を監視しつつ、これが許容範囲内に収まったかを確認する。そして、ブロー圧の差が許容範囲内に収まると（ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」）、作業位置ＳｌのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｌに接続された気体排出管６４１に設けられた流量調整弁６４２に対する開動作が停止される（ステップＳ１０６）。これによって、開動作が停止した時点における開度に、各流量調整弁６４２の開度が設定される。

【0065】

このノズルのブロー圧較正方法では、ハウジング３６に設けられた２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒから作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに気体を流入させつつ（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の流量の２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が変更される（ステップＳ１０４）。こうして気体の流量の差を変更しつつ、２個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出し（ステップＳ１０４、Ｓ１０５）、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における気体の流量の差をこのブロー圧に基づき設定する（ステップＳ１０５、Ｓ１０６）。したがって、部品実装においては、このノズルのブロー圧較正方法で設定された気体の流量の差が生じるように、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒへ供給される気体の流量が調整されるため、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮから噴出する気体のブロー圧を揃えることができる。すなわち、気体の流量の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルのうちの２個のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素でノズルＮのブロー圧を揃えることができる。こうして、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0066】

図９は図７に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第２例を示すフローチャートである。このノズルのブロー圧較正方法は、部品実装機１での部品実装の開始前に、例えば作業者によって実行される。

【0067】

ステップＳ２０１では、作業位置Ｓｌ、ＳｒのそれぞれにノズルＮを位置させる。ステップＳ２０２では、正圧供給機構６の２個の流量調整弁６４２のそれぞれを全開にする（すなわち、開度を最大にする）。そして、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧とをそれぞれ検出する（ステップＳ２０３）。

【0068】

かかる検出結果に基づき、ステップＳ２０４では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮのうち、最低ブロー圧で気体を噴出したノズルＮに連通する正圧連通経路（正圧連通経路６１ｌ、６１ｒの一方）に接続された流量調整弁６４２を徐々に閉じる閉動作が開始される。ここでは、隙間Δｒが隙間Δｌより広いため、作業位置ＳｒのノズルＮのブロー圧が作業位置ＳｌのノズルＮのブロー圧より低くなる。したがって、作業位置ＳｒのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｒに接続された流量調整弁６４２に対して閉動作が開始される。

【0069】

かかる閉動作の開始・実行に伴って、正圧導入管６１ｒから気体排出管６４１および流量調整弁６４２を介して排出される気体の流量が減少するとともに、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量が増大する。その結果、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体の流量が増大して、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧との差（ブロー圧の差）が縮まる。そこで、ステップＳ２０５では、このブロー圧の差を監視しつつ、これが許容範囲内に収まったかを確認する。そして、ブロー圧の差が許容範囲内に収まると（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）、作業位置ＳｒのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｒに設けられた流量調整弁６４２に対する閉動作が停止される（ステップＳ２０６）。これによって、閉動作が停止した時点における開度に、各流量調整弁６４２の開度が設定される。

【0070】

このノズルのブロー圧較正方法では、ハウジング３６に設けられた２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒから作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに気体を流入させつつ（ステップＳ２０１、Ｓ２０２）、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の流量の２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が変更される（ステップＳ２０４）。こうして気体の流量の差を変更しつつ、２個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出し（ステップＳ２０４、Ｓ２０５）、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における気体の流量の差をこのブロー圧に基づき設定する（ステップＳ２０５、Ｓ２０６）。したがって、部品実装においては、このノズルのブロー圧較正方法で設定された気体の流量の差が生じるように、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒへ供給される気体の流量が調整されるため、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮから噴出する気体のブロー圧を揃えることができる。すなわち、気体の流量の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルのうちの２個のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素でノズルＮのブロー圧を揃えることができる。こうして、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0071】

図１０はロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第２例を模式的に示す図である。図１０の第２例と図７の第１例との違いは、気体排出機構６４に代えて減圧弁６５（レギュレーター）が正圧導入管６１ｌ、６１ｒのそれぞれに設けられている点である。ここでは、第１例との差異点を中心に説明を行うこととし、第１例との共通点は相当符号を付して適宜説明を省略する。また、第１例と同様に、正圧導入管６１ｌ、６１ｒに対する構成は共通するため、１本の正圧導入管６１ｌに対する構成について説明する。

【0072】

つまり、第２例では、正圧導入管６１ｌに対しては、正圧源６２と開閉バルブ６３との間において、減圧弁６５が設けられている。この減圧弁６５は、正圧源６２から出力された正圧を減圧した出力圧を開閉バルブ６３側（換言すれば、正圧導入孔Ｈｌ側）へ出力する。また、減圧弁６５による減圧量、換言すれば出力圧は、変更・設定可能である。したがって、減圧弁６５の出力圧の減少に伴って、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌへ流入する気体の正圧が減少する。

【0073】

また、図１０の例においても、図７の例と同様に、正圧導入孔Ｈｌ側のハウジング本体３６１の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｌが、正圧導入孔Ｈｒ側のハウジング本体３６１の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｒよりも狭くなっている。そのため、ノズルＮから部品Ｅを確実に離脱させつつ部品Ｅを吹き飛ばすことのない、適切な気体の噴出を各ノズルＮに対して実行することが難しい場合があった。

【0074】

そこで、正圧供給機構６は、正圧導入管６１ｒに対して設けられた減圧弁６５の出力圧より、正圧導入管６１ｌに対して設けられた減圧弁６５の出力圧を低く設定（換言すれば、減圧量を大きく設定）することで、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧が、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧より小さくなるように、これらの正圧の間に差が設定されている。これによって、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮから噴射される気体のブロー圧との差が抑制される。

【0075】

以上に説明するように、この実施形態（図１０の第２例）では、正圧導入管６１ｌ、６１ｒ（正圧導入経路）から正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の正圧の２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が正圧供給機構６（調整部）により調整される。そのため、ハウジング３６の中空部３６２に対してシャフトホルダー３２が偏心して配置されて、ハウジング３６の内周面とシャフトホルダー３２の外周面との間の隙間Δｌ、Δｒの大きさが各正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒによって異なったとしても、各ノズルＮから噴出する気体の正圧を揃えて、部品Ｅの離脱に適したノズルＮからの気体の噴出を実現することができる。しかも、正圧供給機構６は、気体の正圧の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルＮのうちの作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個（Ｌ個）のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素で正圧供給機構６を構成することができる。こうして、この実施形態では、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0076】

つまり、この実施形態では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒが設けられている点に注目して、気体の正圧差の調整を、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに対象を限定して行う。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0077】

また、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒのうち、一方の正圧導入孔Ｈｌ側のハウジング本体３６１の内壁とシャフトホルダー３２との間の隙間Δｌが、他方の正圧導入孔Ｈｒ側のハウジング本体３６１の内壁とシャフトホルダー３２との間の隙間Δｒより狭い。これに対応して、正圧供給機構６は、一方の正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧を、他方の正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧より小さくしている。つまり、これらの隙間Δｌ、Δｒの違いに応じて、一方の正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧が、他方の正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧より小さく設定されている。その結果、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮから噴出される気体の正圧を揃えて、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することができる。

【0078】

また、ノズルＮの個数（＝Ｍ）は作業位置Ｓｌ、Ｓｒの個数（＝Ｌ）の５倍以上である。かかる構成では、気体の正圧の差の調整を実行するノズルＮの個数（＝Ｌ）を、ノズルＮの総数（＝Ｍ）の５分の１以下に限定することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップをより確実に抑えることができる。

【0079】

図１１は図１０に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第１例を示すフローチャートである。このノズルのブロー圧較正方法は、部品実装機１での部品実装の開始前に、例えば作業者によって実行される。

【0080】

ステップＳ３０１では、作業位置Ｓｌ、ＳｒのそれぞれにノズルＮを位置させる。ステップＳ３０２では、正圧供給機構６の２個の減圧弁６５のそれぞれの出力圧を最高に設定する（すなわち、減圧量を最低に設定する）。そして、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧とをそれぞれ検出する（ステップＳ３０３）。

【0081】

かかる検出結果に基づき、ステップＳ３０４では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮのうち、最高ブロー圧で気体を噴出したノズルＮに連通する正圧連通経路（正圧連通経路６１ｌ、６１ｒの一方）に設けられた減圧弁６５の出力圧の減少が開始される。ここでは、隙間Δｌが隙間Δｒより狭いため、作業位置ＳｌのノズルＮのブロー圧が作業位置ＳｒのノズルＮのブロー圧より高くなる。したがって、作業位置ＳｌのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｌに設けられた減圧弁６５の出力圧が徐々に減少されることとなる。

【0082】

かかる減圧弁６５の出力圧の減少に伴って、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧が減少する。その結果、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体の正圧が減少して、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧との差（ブロー圧の差）が縮まる。そこで、ステップＳ３０５では、このブロー圧の差を監視しつつ、これが許容範囲内に収まったかを確認する。そして、ブロー圧の差が許容範囲内に収まると（ステップＳ３０５で「ＹＥＳ」）、作業位置ＳｌのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｌに設けられた減圧弁６５の出力圧の減少が停止される（ステップＳ３０６）。これによって、出力圧の減少が停止された時点における出力圧に、各減圧弁６５の出力圧が設定される。

【0083】

このノズルのブロー圧較正方法では、ハウジング３６に設けられた２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒから作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに気体を流入させつつ（ステップＳ３０１、Ｓ３０２）、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の正圧の２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が変更される（ステップＳ３０４）。こうして気体の正圧の差を変更しつつ、２個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出し（ステップＳ３０４、Ｓ３０５）、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における気体の正圧の差をこのブロー圧に基づき設定する（ステップＳ３０５、Ｓ３０６）。したがって、部品実装においては、このノズルのブロー圧較正方法で設定された気体の正圧の差が生じるように、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒへ供給される気体の正圧が調整されるため、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮから噴出する気体のブロー圧を揃えることができる。すなわち、気体の正圧の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルのうちの２個のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素でノズルＮのブロー圧を揃えることができる。こうして、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0084】

図１２は図１０に示す正圧供給機構におけるノズルのブロー圧較正方法の第２例を示すフローチャートである。このノズルのブロー圧較正方法は、部品実装機１での部品実装の開始前に、例えば作業者によって実行される。

【0085】

ステップＳ４０１では、作業位置Ｓｌ、ＳｒのそれぞれにノズルＮを位置させる。ステップＳ４０２では、正圧供給機構６の２個の減圧弁６５のそれぞれの出力圧を最低に設定する（すなわち、減圧量を最高に設定する）。そして、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧とをそれぞれ検出する（ステップＳ４０３）。

【0086】

かかる検出結果に基づき、ステップＳ４０４では、２個の作業位置Ｓｌ、Ｓｒに位置する２個のノズルＮのうち、最低ブロー圧で気体を噴出したノズルＮに連通する正圧連通経路（正圧連通経路６１ｌ、６１ｒの一方）に設けられた減圧弁６５の出力圧の増加が開始される。ここでは、ここでは、隙間Δｒが隙間Δｌより広いため、作業位置ＳｒのノズルＮのブロー圧が作業位置ＳｌのノズルＮのブロー圧より低くなる。したがって、作業位置ＳｒのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｒに設けられた減圧弁６５の出力圧が徐々に増加されることとなる。

【0087】

かかる減圧弁６５の出力圧の増加に伴って、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧が増加する。その結果、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体の正圧が増加して、作業位置ＳｒのノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置ＳｌのノズルＮから噴出される気体のブロー圧との差（ブロー圧の差）が縮まる。そこで、ステップＳ４０５では、このブロー圧の差を監視しつつ、これが許容範囲内に収まったかを確認する。そして、ブロー圧の差が許容範囲内に収まると（ステップＳ４０５で「ＹＥＳ」）、作業位置ＳｒのノズルＮに連通する正圧導入管６１ｒに設けられた減圧弁６５の出力圧の増加が停止される（ステップＳ４０６）。これによって、出力圧の減少が停止された時点における出力圧に、各減圧弁６５の出力圧が設定される。

【0088】

このノズルのブロー圧較正方法では、ハウジング３６に設けられた２個（Ｌ個）の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒから作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮに気体を流入させつつ（ステップＳ４０１、Ｓ４０２）、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の正圧の２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における差が変更される（ステップＳ４０４）。こうして気体の正圧の差を変更しつつ、２個のノズルから噴出する気体のブロー圧を検出し（ステップＳ４０４、Ｓ４０５）、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒの間における気体の正圧の差をこのブロー圧に基づき設定する（ステップＳ４０５、Ｓ４０６）。したがって、部品実装においては、このノズルのブロー圧較正方法で設定された気体の正圧の差が生じるように、２個の正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒへ供給される気体の正圧が調整されるため、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの２個のノズルＮから噴出する気体のブロー圧を揃えることができる。すなわち、気体の正圧の差の調整を、１８個（Ｍ個）のノズルＮの全てを対象にするのではなく、１８個のノズルのうちの２個のノズルＮを対象にして行えば足りるため、少ない構成要素でノズルＮのブロー圧を揃えることができる。こうして、構成要素の増大やコストアップを抑えつつ、部品Ｅの離脱に適した気体の噴出をノズルＮにより実行することが可能となっている。

【0089】

図１３はロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第３例を模式的に示す図である。図１３の第３例は、図７の第１例から、正圧導入管６１ｒに対して設けられた気体排出機構６４を排除した点で異なり、その他の点で図７の第１例と共通する。したがって、第１例との差異点を中心に説明することとし、第１例との共通点は相当符号を付して適宜説明を省略する。

【0090】

つまり、図１３の第３例では、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒのうち、シャフトホルダー３２に対する隙間Δｌ、Δｒが狭い方の正圧導入孔Ｈｌに接続された正圧導入管６１ｌに対してのみ気体排出機構６４が設けられ、広いほうの正圧導入孔Ｈｒに接続された正圧導入管６１ｒに対しては気体排出機構６４が設けられない。

【0091】

そして、正圧供給機構６は、正圧導入管６１ｌに対して設けられた流量調整弁６４２を開くことで、正圧導入管６１ｌから気体排出管６４１を介して気体を排出する。これによって、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量が、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量より小さくなるように、これらの流量の間に差が設定されている。その結果、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮから噴射される気体のブロー圧との差が抑制される。

【0092】

つまり、正圧供給機構６は、流量調整弁６４２（制御弁）によって流量を減少させる気体排出機構６４を有する。気体排出機構６４は、２個（Ｌ個）の正圧導入管６１ｌ、６１ｒ（正圧導入経路）のうち、正圧源６２と正圧導入孔Ｈｌ（一方の正圧導入孔）とを接続する正圧導入管６１ｌ（一方の正圧導入経路）にのみ設けられ、正圧源６２から正圧導入管６１ｌに流入する気体の流量と比べて、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量を、流量調整弁６４２によって減少させる。これによって、正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の流量を、正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の流量より小さくする。かかる構成では、正圧導入管６１ｌ、６１ｒから正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の流量の２個の正圧導入管６１ｌ、６１ｒの間における差を、単一の流量調整弁６４２によって調整することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップを最低限に抑えることができる。

【0093】

図１４はロータリーヘッドに正圧を供給する正圧供給機構の第４例を模式的に示す図である。図１４の第４例は、図１０の第２例から、正圧導入管６１ｒに対して設けられた減圧弁６５を排除した点で異なり、その他の点で図１０の第２例と共通する。したがって、第２例との差異点を中心に説明することとし、第２例との共通点は相当符号を付して適宜説明を省略する。

【0094】

つまり、図１４の第４例では、正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒのうち、シャフトホルダー３２に対する隙間Δｌ、Δｒが狭い方の正圧導入孔Ｈｌに接続された正圧導入管６１ｌに対してのみ減圧弁６５が設けられ、広いほうの正圧導入孔Ｈｒに接続された正圧導入管６１ｒに対しては減圧弁６５が設けられない。

【0095】

そして、正圧供給機構６は、正圧導入管６１ｌに対して設けられた減圧弁６５によって、正圧源６２から出力された正圧を減圧した出力圧を正圧導入孔Ｈｌに供給する。これによって、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧が、正圧導入管６１ｒから正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧より小さくなるように、これらの正圧の間に差が設定されている。その結果、作業位置Ｓｌに位置するノズルＮから噴出される気体のブロー圧と、作業位置Ｓｒに位置するノズルＮから噴射される気体のブロー圧との差が抑制される。

【0096】

つまり、正圧供給機構６は、減圧弁６５（制御弁、制御機構）によって正圧を減少させる。減圧弁６５は、２個（Ｌ個）の正圧導入管６１ｌ、６１ｒ（正圧導入経路）のうち、正圧源６２と正圧導入孔Ｈｌ（一方の正圧導入孔）とを接続する正圧導入管６１ｌ（一方の正圧導入経路）にのみ設けられ、正圧源６２から正圧導入管６１ｌに流入する気体の正圧と比べて、正圧導入管６１ｌから正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧を、減圧弁６５によって減少させる。これによって、正圧導入孔Ｈｌに流入する気体の正圧を、正圧導入孔Ｈｒに流入する気体の正圧より小さくする。かかる構成では、正圧導入管６１ｌ、６１ｒから正圧導入孔Ｈｌ、Ｈｒに流入する気体の正圧の２個の正圧導入管６１ｌ、６１ｒの間における差を、単一の減圧弁６５によって調整することができる。したがって、構成要素の増大やコストアップを最低限に抑えることができる。

【0097】

このように上記実施形態では、部品実装機１が本発明の「部品実装機」の一例に相当し、シャフトホルダー３２が本発明の「ノズルホルダー」の一例に相当し、ハウジング３６が本発明の「ハウジング」の一例に相当し、ハウジング本体３６１が本発明の「本体」の一例に相当し、中空部３６２が本発明の「中空部」の一例に相当し、正圧導入管６１ｌおよび正圧導入管６１ｒのそれぞれが本発明の「正圧導入経路」の一例に相当し、正圧源６２が本発明の「正圧源」の一例に相当し、気体排出機構６４が本発明の「調整部」および「制御機構」の一例に相当し、気体排出管６４１が本発明の「気体排出経路」の一例に相当し、流量調整弁６４２が本発明の「制御弁」および「流量調整弁」の一例に相当し、減圧弁６５が本発明の「調整部」、「制御機構」、「制御弁」および「減圧弁」の一例に相当し、正圧導入孔Ｈｌおよび正圧導入孔Ｈｒがそれぞれ本発明の「正圧導入孔」の一例に相当し、ノズルＮが本発明の「ノズル」の一例に相当し、開口Ｏｉが本発明の「開口」の一例に相当し、開口Ｏｏが本発明の「開口」の一例に相当し、作業位置Ｓｌおよび作業位置Ｓｒがそれぞれ本発明の「作業位置」の一例に相当し、正圧連通路Ｔが本発明の「正圧連通路」の一例に相当し、隙間Δｌが本発明の「隙間」の一例に相当し、隙間Δｒが本発明の「隙間」の一例に相当する。

【0098】

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、ノズルＮの個数（＝Ｍ）は１８個に限られない。

【0099】

また、作業位置Ｓｌ、Ｓｒの個数（＝Ｌ）は２個に限られず、３個以上でも構わない。

【0100】

また、正圧供給機構６の構成を適宜省略してもよい。例えば、開閉バルブ６３を設ける必要は必ずしもない。

【0101】

また、気体排出機構６４あるいは減圧弁６５を設ける場所は、上記の例に限られない。

【符号の説明】

【0102】

１…部品実装機
３２…シャフトホルダー（ノズルホルダー）
３６…ハウジング
３６１…ハウジング本体（本体）
３６２…中空部
６１ｌ…正圧導入管（正圧導入経路）
６１ｒ…正圧導入管（正圧導入経路）
６２…正圧源
６４…気体排出機構（調整部、制御機構）
６４１…気体排出管（気体排出経路）
６４２…流量調整弁（制御弁、流量調整弁）
６５…減圧弁（調整部、制御機構、制御弁、減圧弁）
Ｈｌ…正圧導入孔
Ｈｒ…正圧導入孔
Ｎ…ノズル
Ｏｉ…開口
Ｏｏ…開口
Ｓｌ…作業位置
Ｓｒ…作業位置
Ｔ…正圧連通路
Δｌ…隙間
Δｒ…隙間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】