特許 7357140 電源遮断装置および電源遮断方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-27

(45)【発行日】2023-10-05

(54)【発明の名称】電源遮断装置および電源遮断方法

(51)【国際特許分類】

   H02J 50/40 20160101AFI20230928BHJP

   H02J 50/90 20160101ALI20230928BHJP

   H02J 50/12 20160101ALI20230928BHJP

   H02J 50/80 20160101ALI20230928BHJP

   H02H 3/08 20060101ALI20230928BHJP

【ＦＩ】

H02J50/40

H02J50/90

H02J50/12

H02J50/80

H02H3/08 D

【請求項の数】 10

(21)【出願番号】P 2022502691

(86)(22)【出願日】2020-02-27

(86)【国際出願番号】 JP2020007913

(87)【国際公開番号】W WO2021171453

(87)【国際公開日】2021-09-02

【審査請求日】2022-06-08

(73)【特許権者】

【識別番号】000237271

【氏名又は名称】株式会社ＦＵＪＩ

(74)【代理人】

【識別番号】110000604

【氏名又は名称】弁理士法人 共立特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】藤村 晋吾

(72)【発明者】

【氏名】水野 草太

(72)【発明者】

【氏名】斎藤 雄介

(72)【発明者】

【氏名】青木 猛史

(72)【発明者】

【氏名】山際 真人

(72)【発明者】

【氏名】平野 崇

(72)【発明者】

【氏名】田中丸 重典

【審査官】辻丸 詔

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１７／１４１３６５（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００４－０４７８６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６３５２６（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１９／２３９５１０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】米国特許第０４６１６２１６（ＵＳ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０２Ｊ ５０／４０

Ｈ０２Ｊ ５０／９０

Ｈ０２Ｊ ５０／１２

Ｈ０２Ｊ ５０／８０

Ｈ０２Ｈ ３／０８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行可能な可動部と、
前記可動部に設けられ、前記対基板作業機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて前記可動部を走行させる駆動部と、
電力を生成する電源装置と、
前記電源装置によって生成された前記電力を複数の前記対基板作業機の各々に配電する配電部と、
複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、前記配電部を介して配電された前記電力を用いて前記駆動部に供給する前記供給電力を生成する電力供給回路と、
複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機において前記対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、前記電力供給回路に対する前記電力の供給を停止させる供給制御部と、
を備える電源遮断装置であって、
前記供給制御部は、
前記電源装置の入力側に設けられ、電磁コイルが励磁されているときに交流電力を前記電源装置に入力可能な電磁接触器と、
前記電磁コイルを励磁する励磁回路と、
複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機の前記駆動電力が遮断されたときに、前記励磁回路を解放する作業機側開閉器と、
を備え、
前記励磁回路は、前記電磁コイルおよび前記作業機側開閉器が直列接続されている電源遮断装置。

【請求項2】

前記電源装置および複数の前記対基板作業機は、デイジーチェーン接続されており、
前記配電部は、前記電源装置によって生成された前記電力を前記基板生産ラインの一端側の前記対基板作業機から他端側の前記対基板作業機まで順に配電する請求項１に記載の電源遮断装置。

【請求項3】

前記作業機側開閉器は、作業者によって前記対基板作業機の前記駆動電力の投入または遮断が可能なブレーカである請求項１または請求項２に記載の電源遮断装置。

【請求項4】

基板に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行可能な可動部と、
前記可動部に設けられ、前記対基板作業機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて前記可動部を走行させる駆動部と、
電力を生成する電源装置と、
前記電源装置によって生成された前記電力を複数の前記対基板作業機の各々に配電する配電部と、
複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、前記配電部を介して配電された前記電力を用いて前記駆動部に供給する前記供給電力を生成する電力供給回路と、
複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機において前記対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、前記電力供給回路に対する前記電力の供給を停止させる供給制御部と、
を備え、
前記供給制御部は、
前記電源装置の入力側に設けられ、電磁コイルが励磁されているときに交流電力を前記電源装置に入力可能な電磁接触器と、
前記電磁コイルを励磁する励磁回路と、
前記電源装置を備える作業機に設けられ、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機の前記駆動電力が遮断されたときに、前記励磁回路を解放する電源側開閉器と、
所定時間が経過するごとに複数の前記対基板作業機について前記対基板作業機が正常に動作している正常状態を確認する正常状態確認部と、
を備え、
前記励磁回路は、前記電磁コイルおよび前記電源側開閉器が直列接続されており、
前記正常状態確認部は、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機について前記正常状態を確認できなかったときに、前記電源側開閉器を開状態にさせる電源遮断装置。

【請求項5】

前記正常状態確認部は、前記所定時間が経過するごとに複数の前記対基板作業機と通信を試行して、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機と通信ができなかったときに、前記正常状態を確認できなかったと判断する請求項４に記載の電源遮断装置。

【請求項6】

前記電力供給回路は、前記所定時間より短い周期で、カウンタが所定値に達する前に前記カウンタをリセットし、前記所定時間が経過し且つ前記カウンタが前記所定値に達しているときに、タイムオーバを示す状態信号を出力するウォッチドッグタイマを備え、
前記正常状態確認部は、前記ウォッチドッグタイマから前記状態信号を取得したときに、前記正常状態を確認できなかったと判断する請求項４または請求項５に記載の電源遮断装置。

【請求項7】

前記電源装置は、直流電力を生成し、
前記電力供給回路は、
前記直流電力を平滑する平滑コンデンサと、
前記供給制御部によって前記直流電力の出力が停止されたときに、前記平滑コンデンサに残存する電荷を放電する放電回路と、
を備える請求項１～請求項６のいずれか一項に記載の電源遮断装置。

【請求項8】

前記基板生産ラインは、ベースと、前記ベースの上に引き出し可能に設けられる作業モジュールとを備える前記対基板作業機が増減可能に設けられており、
前記電力供給回路は、前記ベースに設けられている請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の電源遮断装置。

【請求項9】

前記電源装置は、直流電力を生成する請求項１～請求項８のいずれか一項に記載の電源遮断装置。

【請求項10】

基板に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行可能な可動部と、
前記可動部に設けられ、前記対基板作業機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて前記可動部を走行させる駆動部と、
電力を生成する電源装置と、
前記電源装置によって生成された前記電力を複数の前記対基板作業機の各々に配電する配電部と、
複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、前記配電部を介して配電された前記電力を用いて前記駆動部に供給する前記供給電力を生成する電力供給回路と、
を備える給電システムに適用され、
複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機において前記対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、前記電力供給回路に対する前記電力の供給を停止させる供給制御工程を備え、
前記供給制御工程は、
前記電源装置の入力側に設けられ、電磁コイルが励磁されているときに交流電力を前記電源装置に入力可能な電磁接触器と、
前記電磁コイルを励磁する励磁回路と、
複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機の前記駆動電力が遮断されたときに、前記励磁回路を解放する作業機側開閉器と、
を備え前記電磁コイルおよび前記作業機側開閉器が直列接続されている前記励磁回路を用いて、前記電力の供給を停止させる電源遮断方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本明細書は、電源遮断装置および電源遮断方法に関する技術を開示する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１に記載の非接触給電装置では、固定部は、複数の基板生産機が列設された基板生産ラインであり、複数の基板生産機の列設方向に移動体の移動方向が設定される。複数の基板生産機の各々には、同数の給電コイルが配置されており、移動体には、少なくとも一つの受電コイルが配置されている。一の基板生産機の給電コイルが受電コイルに給電可能になると、給電コイルから受電コイルに給電が開始される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１７／１６３３８８号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載の非接触給電装置では、電力供給回路が複数の対基板作業機の各々に設けられている形態が想定される。電力供給回路は、配電部を介して配電された電力を用いて駆動部に供給する供給電力を生成する。この形態では、対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されても、電力供給回路には、配電部を介して電力が供給され続ける可能性がある。対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されると、作業者がメンテナンス作業などを行う可能性があるので、対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断された場合は、電力供給回路に対する電力の供給を停止させることが望ましい。

【0005】

このような事情に鑑みて、本明細書は、対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、電力供給回路に対する電力の供給を停止させることが可能な電源遮断装置を開示する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本明細書は、可動部と、駆動部と、電源装置と、配電部と、電力供給回路と、供給制御部とを備える電源遮断装置を開示する。前記可動部は、基板に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行可能である。前記駆動部は、前記可動部に設けられ、前記対基板作業機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて前記可動部を走行させる。前記電源装置は、電力を生成する。前記配電部は、前記電源装置によって生成された前記電力を複数の前記対基板作業機の各々に配電する。前記電力供給回路は、複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、前記配電部を介して配電された前記電力を用いて前記駆動部に供給する前記供給電力を生成する。前記供給制御部は、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機において前記対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、前記電力供給回路に対する前記電力の供給を停止させる。

【0007】

また、本明細書は、可動部と、駆動部と、電源装置と、配電部と、電力供給回路とを備える給電システムに適用され、供給制御工程を備える電源遮断方法を開示する。前記可動部は、基板に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機が並んで設置されている基板生産ラインに沿って設けられる走行路を走行可能である。前記駆動部は、前記可動部に設けられ、前記対基板作業機から非接触給電によって供給された供給電力を用いて前記可動部を走行させる。前記電源装置は、電力を生成する。前記配電部は、前記電源装置によって生成された前記電力を複数の前記対基板作業機の各々に配電する。前記電力供給回路は、複数の前記対基板作業機の各々に設けられ、前記配電部を介して配電された前記電力を用いて前記駆動部に供給する前記供給電力を生成する。前記供給制御工程は、複数の前記対基板作業機のうちの少なくとも一つの前記対基板作業機において前記対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、前記電力供給回路に対する前記電力の供給を停止させる。

【発明の効果】

【0008】

上記の電源遮断装置は、供給制御部を備える。よって、電源遮断装置は、対基板作業機を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、電力供給回路に対する電力の供給を停止させることができる。電源遮断装置について上述されていることは、電源遮断方法についても同様に言える。

【図面の簡単な説明】

【0009】

【図1】給電システムを備える基板生産ラインの構成例を示す平面図である。

【図2】図１の走行装置および部品装着機の概略構成を示す斜視図である。

【図3】図１の走行装置を示す側面図である。

【図4】第一形態の供給制御部を備える電源遮断装置の構成例を示す模式図である。

【図5】対基板作業機と駆動部の間で非接触給電を行う給電回路の一例を示す回路図である。

【図6】第二形態の供給制御部を備える電源遮断装置の構成例を示す模式図である。

【図7】第二形態の供給制御部の制御ブロックの一例を示すブロック図である。

【図8】第二形態の供給制御部による制御手順の一例を示すフローチャートである。

【図9】部品装着機の構成例を示す側面視の模式図である。

【発明を実施するための形態】

【0010】

１．実施形態
１－１．基板生産ライン１の構成例
本実施形態の電源遮断装置７０は、基板生産ライン１に適用される。図１に示すように、基板生産ライン１は、複数（同図では、４つ）の部品装着機１０が図２に示す基板９０の搬送方向に並んで設置されている。部品装着機１０は、基板９０に所定の対基板作業を行う対基板作業機ＷＭ０に含まれる。なお、基板生産ライン１には、例えば、スクリーン印刷機、はんだ検査機、外観検査機、リフロー炉などの種々の対基板作業機ＷＭ０を設けることができる。

【0011】

また、基板生産ライン１の基板搬入側（図１の紙面左側）には、カセット式のフィーダ２０の保管に用いられるフィーダ保管装置ＢＳ０が設置されている。本実施形態の基板生産ライン１には、複数（４つ）の部品装着機１０およびフィーダ保管装置ＢＳ０の各々に対して所定の作業を行う作業機としての走行装置５０が設けられている。基板生産ライン１を構成する各装置および走行装置５０は、ネットワークを介してライン制御装置ＬＣ０と種々のデータを入出力可能に構成されている。走行装置５０の詳細構成は、後述されている。

【0012】

フィーダ保管装置ＢＳ０は、複数のスロットを備える。フィーダ保管装置ＢＳ０は、複数のスロットの各々に装備されたフィーダ２０をストックする。フィーダ保管装置ＢＳ０のスロットに装備されたフィーダ２０は、ライン制御装置ＬＣ０との間で通信可能な状態となる。これにより、フィーダ保管装置ＢＳ０のスロットと当該スロットに装備されたフィーダ２０の識別情報が関連付けられて、ライン制御装置ＬＣ０に記録される。

【0013】

ライン制御装置ＬＣ０は、基板生産ライン１の動作状況を監視し、部品装着機１０、フィーダ保管装置ＢＳ０、走行装置５０を含む生産設備の制御を行う。例えば、ライン制御装置ＬＣ０には、部品装着機１０を制御するための各種データが記憶されている。ライン制御装置ＬＣ０は、各生産設備における生産処理の実行に際して、制御プログラムなどの各種データを各生産設備に適宜送出する。

【0014】

１－２．部品装着機１０の構成例
図２に示すように、基板生産ライン１を構成する複数（４つ）の部品装着機１０は、基板搬送装置１１と、部品供給装置１２と、ヘッド駆動装置１３とを備えている。以下の説明において、部品装着機１０の水平幅方向であり基板９０の搬送方向をＸ方向とし、部品装着機１０の水平奥行き方向をＹ方向とし、Ｘ方向およびＹ方向に垂直な鉛直方向（図２の紙面上下方向）をＺ方向とする。

【0015】

基板搬送装置１１は、ベルトコンベアおよび位置決め装置などにより構成される。基板搬送装置１１は、基板９０を搬送方向（Ｘ方向）に順次搬送するとともに、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。

【0016】

部品供給装置１２は、基板９０に装着される部品を供給する。部品供給装置１２は、フィーダ２０を装備可能な上部スロット１２１および下部スロット１２２を備えている。上部スロット１２１は、部品装着機１０の前部側の上部に配置され、装備されたフィーダ２０を動作可能に保持する。つまり、上部スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による装着処理において動作を制御され、当該フィーダ２０の上部の規定位置に設けられた取り出し部において部品を供給する。

【0017】

下部スロット１２２は、上部スロット１２１の下方に配置され、装備されたフィーダ２０をストックする。つまり、下部スロット１２２は、生産に用いられるフィーダ２０を予備的に保持する。また、下部スロット１２２は、生産に用いられた使用済みのフィーダ２０を一時的に保持する。なお、上部スロット１２１と下部スロット１２２との間におけるフィーダ２０の交換は、後述する走行装置５０による自動交換、または、作業者による手動交換によって行われる。

【0018】

また、フィーダ２０は、部品供給装置１２の上部スロット１２１または下部スロット１２２に装備されると、コネクタを介して部品装着機１０から電力が供給される。そして、フィーダ２０は、部品装着機１０との間で通信可能な状態となる。上部スロット１２１に装備されたフィーダ２０は、部品装着機１０による制御指令などに基づいて、部品を収容するキャリアテープの送り動作を制御する。これにより、フィーダ２０は、フィーダ２０の上部に設けられた取り出し部において、後述する装着ヘッド３０の保持部材によって部品を採取可能に供給する。

【0019】

ヘッド駆動装置１３は、部品供給装置１２によって供給された部品を、基板搬送装置１１によって機内に搬入された基板９０上の所定の装着位置まで移載する。ヘッド駆動装置１３は、直動機構によって移動台１３１を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させる。移動台１３１には、クランプ部材によって装着ヘッド３０が交換可能に固定される。装着ヘッド３０は、部品を採取するとともに、部品の上下方向位置および角度を調整して基板９０に装着する。

【0020】

具体的には、フィーダ２０によって供給される部品を保持する保持部材が、装着ヘッド３０に取り付けられている。保持部材には、例えば、供給される負圧エアによって部品を保持する吸着ノズル、部品を把持して保持するチャックなどが適用され得る。装着ヘッド３０は、保持部材をＺ方向に移動可能に、且つ、Ｚ軸に平行なθ軸周りに回転可能に保持する。装着ヘッド３０は、ヘッド駆動装置１３の直動機構によって水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動される。

【0021】

上記の部品装着機１０は、部品を基板９０に装着する装着処理を実行する。装着処理において、部品装着機１０は、画像処理の結果、各種センサによる検出結果、予め記憶されている制御プログラムなどに基づいて、ヘッド駆動装置１３に制御信号を送出する。これにより、装着ヘッド３０に支持されている複数の保持部材（例えば、吸着ノズル）の位置および角度が制御される。

【0022】

なお、装着ヘッド３０に保持される保持部材（例えば、吸着ノズル）は、装着処理において基板９０に装着される部品の種別に応じて適宜変更され得る。例えば、部品装着機１０は、実行する装着処理において用いる吸着ノズルが装着ヘッド３０に保持されていない場合に、ノズルステーションに収容されている吸着ノズルを装着ヘッド３０に保持させる。ノズルステーションは、部品装着機１０の機内の所定位置に着脱可能に装備される。

【0023】

１－３．交換システム４０および走行装置５０の構成例
図１～図３に示すように、交換システム４０は、第一レール４１と、第二レール４２と、走行装置５０とを備える。図１に示すように、第一レール４１および第二レール４２は、複数の部品装着機１０の前部に設けられている固定部である。本実施形態の第一レール４１および第二レール４２は、電気伝導体によって形成されており、走行装置５０の走行路４０Ｒを構成する。

【0024】

第一レール４１は、複数（４つ）の部品装着機１０の各々における上部スロット１２１と下部スロット１２２との上下方向の間に設けられる。第二レール４２は、部品装着機１０の下部スロット１２２の下方に設けられる。第一レール４１および第二レール４２は、基板生産ライン１において、基板９０の搬送方向（Ｘ方向）の概ね全域に亘って延伸している。

【0025】

また、図３に示すように、第一レール４１は、上方に開口した溝形状に形成されている。第一レール４１の一対の側壁部には、複数の磁石４３がＸ方向に並んで設けられている。複数の磁石４３の各々は、Ｘ方向にＮ極およびＳ極が交互に現れるように配置される。第一レール４１の上面には、Ｘ方向に延びるリニアスケール４４が設けられている。第一レール４１の溝底部には、Ｙ方向に一対の送電部４５が配置されている。一対の送電部４５は、Ｘ方向に延びる送電コイルである。一対の送電部４５は、後述する走行装置５０の受電部５２に非接触で電力を供給する。

【0026】

また、第一レール４１の一対の側壁部では、上部において走行装置５０の可動部５１を構成する複数の第一ガイドローラ５１２が転動可能に支持されている。さらに、第一レール４１の溝底部のＹ方向中央には、可動部５１を構成する複数の走行ローラ５１４が転動可能な走行溝４６が形成されている。第二レール４２では、走行装置５０の可動部５１を構成する第二ガイドローラ５１３が転動可能に支持されている。上記の構成により、第一レール４１および第二レール４２は、走行装置５０を鉛直方向に支持すると共に、走行装置５０の傾動を抑制している。

【0027】

走行装置５０は、可動部５１と、受電部５２と、駆動部５３と、位置検出部５４と、作業ロボット５５と、メンテナンススイッチ５６と、人感センサ５７と、制御装置５８とを備える。可動部５１は、走行装置５０の本体である。可動部５１は、第一レール４１および第二レール４２によって形成される走行路４０Ｒに沿って走行可能に設けられる。可動部５１は、ブラケット５１１、第一ガイドローラ５１２、第二ガイドローラ５１３および走行ローラ５１４を備えている。

【0028】

ブラケット５１１は、駆動部５３などを支持するフレーム部材である。第一ガイドローラ５１２は、ブラケット５１１に設けられ、第一レール４１の上部に転動可能に係合する。このとき、第一ガイドローラ５１２は、Ｘ方向の移動が許容され、Ｙ方向およびＺ方向の移動が規制される。第二ガイドローラ５１３は、ブラケット５１１に設けられ、第二レール４２に沿って転動する。

【0029】

走行ローラ５１４は、第一レール４１の溝底部に形成された走行溝４６の一対の側壁部を転動可能に、Ｙ方向に並んで二個一組でブラケット５１１に設けられる。上記の構成により、可動部５１は、走行装置５０の姿勢を維持しつつ、第一レール４１および第二レール４２によって形成される走行路４０Ｒに沿って走行可能になる。

【0030】

受電部５２は、ブラケット５１１において走行ローラ５１４のＹ方向外側に対をなすように設けられる。本実施形態では、一対の受電部５２の各々は、Ｘ方向に延びる受電コイルである。受電部５２は、可動部５１のＸ方向位置によらずに、第一レール４１に設けられている少なくとも一つの送電部４５と対向する。後述するように、送電部４５には、複数（４つ）の部品装着機１０の各々に設けられる電力供給回路７３から交流電力が供給される。電力供給回路７３は、電源装置７１から出力される電力を用いて交流電力を生成する。

【0031】

これらにより、送電部４５および受電部５２は、電磁結合して磁路を形成する。このように、受電部５２は、例えば、電磁結合方式の非接触給電によって、送電部４５から電力を受け取ることができる。受電部５２が受け取った電力は、後述する受電回路ＰＲ０を介して駆動部５３、作業ロボット５５、制御装置５８などに供給される。

【0032】

駆動部５３は、可動部５１に設けられている。駆動部５３は、対基板作業機ＷＭ０から非接触給電によって供給された供給電力を用いて可動部５１を走行させる。具体的には、駆動部５３には、ムービングコイル５３１が用いられている。ムービングコイル５３１は、第一レール４１に設けられる磁石４３に対向して配置されている。駆動部５３は、ムービングコイル５３１に給電することにより、ムービングコイル５３１を励磁させる。これにより、駆動部５３は、磁石４３との間にＸ方向の推進力を生成する。このように、駆動部５３は、固定部である第一レール４１に並んで設けられている磁石４３と共にリニアモータを構成している。

【0033】

位置検出部５４は、第一レール４１に設けられるリニアスケール４４に対向するように、ブラケット５１１に配置されている。位置検出部５４は、リニアスケール４４の目盛りを検出して、可動部５１の走行路４０Ｒにおける現在位置を検出する。位置検出部５４は、種々の方法によって、可動部５１の現在位置を検出することができる。例えば、位置検出部５４は、光学的な検出方法、電磁誘導を用いた検出方法などによって、可動部５１の現在位置を検出することができる。

【0034】

作業ロボット５５は、可動部５１に設けられ、所定の作業を行う。所定の作業には、部品装着機１０などの対基板作業機ＷＭ０に着脱可能に装備される交換要素を対基板作業機ＷＭ０との間で交換する交換作業が含まれる。本実施形態の作業ロボット５５は、基板９０に装着される部品を供給するフィーダ２０を交換要素として、基板生産ライン１を構成する複数（４つ）の部品装着機１０との間、および、フィーダ保管装置ＢＳ０との間でフィーダ２０の交換作業を行う。上記の交換作業には、フィーダ２０の回収作業およびフィーダ２０の補給作業のうちの少なくとも一方が含まれる。

【0035】

本実施形態の作業ロボット５５は、フィーダ保管装置ＢＳ０から部品装着機１０の上部スロット１２１または下部スロット１２２にフィーダ２０を搬送する。また、作業ロボット５５は、部品装着機１０の上部スロット１２１と下部スロット１２２との間でフィーダ２０を交換する。さらに、作業ロボット５５は、使用済みのフィーダ２０を部品装着機１０からフィーダ保管装置ＢＳ０に搬送する。図３に示すように、作業ロボット５５の保持部５５１は、フィーダ２０を保持する。保持部５５１は、フィーダ２０の着脱方向（本実施形態では、Ｙ方向）および上下方向（Ｚ方向）に移動可能に設けられている。

【0036】

メンテナンススイッチ５６は、作業者による操作を受け付けて、制御装置５８に信号を送出する。制御装置５８は、メンテナンススイッチ５６の状態に基づいて、走行装置５０の制御モードを通常の運用モードまたはメンテナンスモードに切り替える。メンテナンススイッチ５６は、例えば、走行装置５０の走行停止、作業ロボット５５の作業エラーなどが生じた場合、基板生産ライン１で使用される機器のメンテナンスを行う場合などに、作業者によって操作される。メンテナンスモードでは、可動部５１の走行および作業ロボット５５の作業が規制される。

【0037】

人感センサ５７は、周辺の作業者の存在を検出し、制御装置５８に検出信号を送出する。人感センサ５７は、例えば、赤外線、超音波などを用いて、作業者を検出する。制御装置５８は、人感センサ５７から送出された検出信号の有無に基づいて、走行装置５０の所定範囲に作業者が接近しているか否かを認識することができる。

【0038】

制御装置５８は、演算装置、記憶装置および制御回路を備えている。制御装置５８は、複数（４つ）の部品装着機１０、フィーダ保管装置ＢＳ０、走行装置５０を含む交換システム４０およびライン制御装置ＬＣ０などと通信可能に設けられており、これらを駆動制御することができる。例えば、走行装置５０は、制御装置５８によって駆動制御されて、第一レール４１および第二レール４２に沿って所定位置まで移動すると共に、停止位置において交換要素であるフィーダ２０の交換を行う。

【0039】

１－４．給電システム６０および電源遮断装置７０の構成例
図１および図４に示すように、給電システム６０は、可動部５１と、駆動部５３と、電源装置７１と、配電部７２と、電力供給回路７３とを備えている。電源遮断装置７０は、可動部５１と、駆動部５３と、電源装置７１と、配電部７２と、電力供給回路７３と、供給制御部７４とを備えている。既述したように、可動部５１は、基板９０に所定の対基板作業を行う複数の対基板作業機ＷＭ０が並んで設置されている基板生産ライン１に沿って設けられる走行路４０Ｒを走行可能である。駆動部５３は、可動部５１に設けられ、対基板作業機ＷＭ０から非接触給電によって供給された供給電力を用いて可動部５１を走行させる。

【0040】

電源装置７１は、電力を生成する。電源装置７１は、公知の電源装置を用いることができ、種々の直流電力または交流電力を生成することができる。本実施形態の電源装置７１は、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力を直流電力に変換する電力変換器であり、入力された交流電力から直流電力を生成する。また、電源装置７１は、例えば、基板生産ライン１の一端側の作業機に設けることができる。本実施形態の電源装置７１は、フィーダ保管装置ＢＳ０に設けられている。

【0041】

配電部７２は、電源装置７１によって生成された電力を複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に配電する。電源装置７１および複数の対基板作業機ＷＭ０は、例えば、デイジーチェーン接続、バス接続、スター接続などによって電気的に接続される。本実施形態の配電部７２では、電源装置７１および複数の対基板作業機ＷＭ０がデイジーチェーン接続されており、配電部７２は、電源装置７１によって生成された電力を基板生産ライン１の一端側の対基板作業機ＷＭ０から他端側の対基板作業機ＷＭ０まで順に配電する。同図では、図示の便宜上、電源装置７１および複数（２つ）の部品装着機１０がデイジーチェーン接続されている状態が示されているが、実際は、電源装置７１および図１に示す複数（４つ）の部品装着機１０がデイジーチェーン接続されている。

【0042】

電力供給回路７３は、複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に設けられ、配電部７２を介して配電された電力を用いて駆動部５３に供給する供給電力を生成する。例えば、供給電力は、図５に示す給電回路ＰＳ０を介して駆動部５３に供給される。給電回路ＰＳ０は、対基板作業機ＷＭ０と駆動部５３の間で非接触給電を行う電気回路であり、送電回路ＰＴ０と受電回路ＰＲ０とを備えている。電力供給回路７３は、送電回路ＰＴ０に交流電力を供給する。

【0043】

図５に示すように、電力供給回路７３は、平滑コンデンサＣ０と、放電回路ＤＳ０と、電力変換器ＩＮＶ０とを備えている。平滑コンデンサＣ０および放電回路ＤＳ０は、電力変換器ＩＮＶ０の入力側において並列接続されている。配電部７２を介して入力された直流電力（同図では、直流電力Ｖｄｃ１で示されている。）は、平滑コンデンサＣ０によって平滑され、電力変換器ＩＮＶ０によって交流電力に変換される。電力変換器ＩＮＶ０は、直流電力を交流電力に変換する電力変換器であり、公知の電力変換器を用いることができる。なお、放電回路ＤＳ０については、後述されている。

【0044】

送電回路ＰＴ０は、送電側共振部ＲＴ１と、送電部４５とが直列接続されており、送電側共振回路が形成されている。例えば、送電側共振部ＲＴ１は、コンデンサを用いることができる。送電部４５は、コイルを用いることができる。受電回路ＰＲ０は、受電部５２と、受電側共振部ＲＲ１と、整流回路ＲＣ０とを備えている。受電部５２および受電側共振部ＲＲ１は、整流回路ＲＣ０の入力側において並列接続されており、受電側共振回路が形成されている。例えば、受電部５２は、コイルを用いることができる。受電側共振部ＲＲ１は、コンデンサを用いることができる。

【0045】

整流回路ＲＣ０は、送電回路ＰＴ０から供給された交流電力を整流する整流回路であり、公知の整流回路を用いることができる。既述したように、本実施形態では、整流回路ＲＣ０によって整流された直流電力（同図では、直流電力Ｖｄｃ２で示されている。）は、駆動部５３、作業ロボット５５、制御装置５８などに供給される。なお、受電回路ＰＲ０は、整流回路ＲＣ０によって整流された直流電力を交流電力に変換する電力変換器を備えることもできる。

【0046】

供給制御部７４は、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０において対基板作業機ＷＭ０を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、電力供給回路７３に対する電力の供給を停止させる。供給制御部７４は、対基板作業機ＷＭ０を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、電力供給回路７３に対する電力の供給を停止させることができれば良く、種々の形態をとり得る。例えば、供給制御部７４は、以下に示す第一形態であっても良く、第二形態であっても良い。また、供給制御部７４は、第一形態および第二形態を組み合わせた形態であっても良い。

【0047】

１－５．第一形態の供給制御部７４の構成例
図４に示すように、第一形態の供給制御部７４は、電磁接触器７５と、励磁回路７６と、作業機側開閉器７７とを備えている。電磁接触器７５は、電源装置７１の入力側に設けられ、電磁コイル７５１が励磁されているときに交流電力を電源装置７１に入力可能にする。具体的には、電磁接触器７５は、電磁コイル７５１が励磁されているときに、接点が閉状態になり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力が電源装置７１に入力される。逆に、電磁接触器７５は、電磁コイル７５１が励磁されていないときに、接点が開状態になり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力は、電源装置７１に入力されなくなる。

【0048】

励磁回路７６は、電磁コイル７５１を励磁する。本形態の励磁回路７６は、直流電源ＤＣ１から出力される直流電力によって電磁コイル７５１を励磁する。作業機側開閉器７７は、複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に設けられ、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０の駆動電力が遮断されたときに、励磁回路７６を解放する。

【0049】

励磁回路７６は、電磁コイル７５１および作業機側開閉器７７が直列接続されている。そのため、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０に設けられている作業機側開閉器７７が閉状態から開状態に切り替わると、励磁回路７６が解放される。その結果、電磁コイル７５１が励磁されなくなり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力は、電源装置７１に入力されなくなる。つまり、電力供給回路７３に対する電力の供給が停止される。

【0050】

作業機側開閉器７７は、対基板作業機ＷＭ０の駆動電力の遮断に連動して作業機側開閉器７７を閉状態から開状態に切り替えることができれば良く、種々の形態をとり得る。本形態の作業機側開閉器７７は、作業者によって対基板作業機ＷＭ０の駆動電力の投入または遮断が可能なブレーカである。この場合、作業者が複数の対基板作業機ＷＭ０のすべてのブレーカを閉状態にして、すべての対基板作業機ＷＭ０の駆動電力が投入されると、励磁回路７６が閉路され、電磁コイル７５１が励磁される。その結果、電磁接触器７５の接点が閉状態になり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力が電源装置７１に入力されて、電力供給回路７３に直流電力が供給される。

【0051】

作業者が複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０のブレーカを開状態にして、少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０の駆動電力が遮断されると、励磁回路７６が解放され、電磁コイル７５１が励磁されなくなる。その結果、電磁接触器７５の接点が開状態になり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力は、電源装置７１に入力されなくなり、電力供給回路７３に対する電力の供給が停止される。このように、本形態の作業機側開閉器７７は、作業者によって対基板作業機ＷＭ０の駆動電力の投入または遮断が可能なブレーカであるので、対基板作業機ＷＭ０の駆動電力の遮断に連動して作業機側開閉器７７を閉状態から開状態に容易に切り替えることができる。

【0052】

１－６．第二形態の供給制御部７４の構成例
図６に示すように、第二形態の供給制御部７４は、電磁接触器７５と、励磁回路７６と、電源側開閉器７８と、正常状態確認部８０とを備えている。電磁接触器７５は、第一形態の供給制御部７４の電磁接触器７５と同様である。電源側開閉器７８は、電源装置７１を備える作業機に設けられ、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０の駆動電力が遮断されたときに、励磁回路７６を解放する。既述したように、電源装置７１は、フィーダ保管装置ＢＳ０に設けられており、本形態の電源側開閉器７８は、フィーダ保管装置ＢＳ０に設けられている。

【0053】

励磁回路７６は、第一形態の供給制御部７４と同様に、電磁コイル７５１を励磁する。但し、本形態の励磁回路７６は、電磁コイル７５１および電源側開閉器７８が直列接続されている。そのため、フィーダ保管装置ＢＳ０に設けられている電源側開閉器７８が閉状態から開状態に切り替わると、励磁回路７６が解放される。その結果、電磁コイル７５１が励磁されなくなり、三相（Ｒ相、Ｓ相、Ｔ相）の交流電力は、電源装置７１に入力されなくなる。つまり、電力供給回路７３に対する電力の供給が停止される。

【0054】

正常状態確認部８０は、所定時間が経過するごとに複数の対基板作業機ＷＭ０について対基板作業機ＷＭ０が正常に動作している正常状態を確認する。正常状態確認部８０は、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０について正常状態を確認できなかったときに、電源側開閉器７８を開状態にさせる。図７に示すように、本形態の正常状態確認部８０は、図１に示すライン制御装置ＬＣ０に設けられている。なお、正常状態確認部８０は、複数の基板生産ライン１を管理する管理装置に設けることもできる。また、正常状態確認部８０は、クラウド上に形成することもできる。

【0055】

正常状態確認部８０は、複数の対基板作業機ＷＭ０について正常状態を確認して、少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０について正常状態を確認できなかったときに、電源側開閉器７８を開状態にさせることができれば良く、種々の形態をとり得る。例えば、正常状態確認部８０は、所定時間が経過するごとに複数の対基板作業機ＷＭ０と通信を試行して、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０と通信ができなかったときに、正常状態を確認できなかったと判断することができる。

【0056】

正常状態確認部８０は、図８に示すフローチャートに従って、電源側開閉器７８を開閉制御する。具体的には、正常状態確認部８０は、所定時間が経過するごとに複数の対基板作業機ＷＭ０と通信を試行して、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０と通信ができなかったか否かを判断する（ステップＳ１１）。既述したように、基板生産ライン１を構成する複数の対基板作業機ＷＭ０は、ネットワークを介してライン制御装置ＬＣ０と種々のデータを入出力可能に構成されている。正常状態確認部８０は、例えば、図７に示す対基板作業機ＷＭ０の制御装置１４に正常状態確認信号を送信する。制御装置１４は、対基板作業機ＷＭ０を構成する各装置を駆動制御する。

【0057】

正常状態確認信号は、限定されない。正常状態確認信号は、例えば、ＰＩＮＧを用いることができる。この場合、正常状態確認部８０は、複数の対基板作業機ＷＭ０の各々の制御装置１４に対して、所定のメッセージを送信する。そして、正常状態確認部８０は、メッセージを送信してから、メッセージに対する返信を受信するまでの所要時間を測定する。正常状態確認部８０は、所定時間が経過するまでに返信を受信したときに、対基板作業機ＷＭ０と通信ができたと判断し、所定時間が経過するまでに返信を受信しなかったときに、対基板作業機ＷＭ０と通信ができなかったと判断する。

【0058】

少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０と通信ができなかった場合（ステップＳ１１でＹｅｓの場合）、正常状態確認部８０は、対基板作業機ＷＭ０の正常状態を確認できなかったと判断する（ステップＳ１２）。そして、正常状態確認部８０は、電源側開閉器７８を開状態にして（ステップＳ１３）、制御は、一旦、終了する。すべての対基板作業機ＷＭ０と通信ができた場合（ステップＳ１１でＮｏの場合）、正常状態確認部８０は、対基板作業機ＷＭ０の正常状態を確認できたと判断して（ステップＳ１４）、制御は、一旦、終了する。

【0059】

電力供給回路７３は、ウォッチドッグタイマを備えることもできる。ウォッチドッグタイマは、所定時間より短い周期で、カウンタが所定値に達する前にカウンタをリセットし、所定時間が経過し且つカウンタが所定値に達しているときに、タイムオーバを示す状態信号を出力する。この場合、正常状態確認部８０は、ウォッチドッグタイマからタイムオーバを示す状態信号を取得したときに、正常状態を確認できなかったと判断することができる。

【0060】

ウォッチドッグタイマは、例えば、図５に示す電力供給回路７３の放電回路ＤＳ０および電力変換器ＩＮＶ０を駆動制御する制御装置に設けることができる。また、ウォッチドッグタイマは、配電部７２を介して入力された直流電力（直流電力Ｖｄｃ１）を監視する電源監視装置などに設けることもできる。このように、ウォッチドッグタイマは、ハードウエアで実現することができる。また、ウォッチドッグタイマは、ソフトウエアで実現することもできる。

【0061】

また、正常状態確認部８０は、所定時間が経過するごとに複数の対基板作業機ＷＭ０と通信を試行して、複数の対基板作業機ＷＭ０のうちの少なくとも一つの対基板作業機ＷＭ０と通信ができず、且つ、ウォッチドッグタイマからタイムオーバを示す状態信号を取得したときに、正常状態を確認できなかったと判断することもできる。

【0062】

さらに、供給制御部７４は、第一形態および第二形態を組み合わせた形態であっても良い。具体的には、供給制御部７４は、電磁接触器７５と、励磁回路７６と、作業機側開閉器７７と、電源側開閉器７８と、正常状態確認部８０とを備える。また、励磁回路７６は、電磁コイル７５１、作業機側開閉器７７および電源側開閉器７８が直列接続される。この形態では、電力供給回路７３に対する電力の供給を停止させる二つの停止手段を備えるので、一の停止手段に不具合が生じても、他の停止手段によって電力供給回路７３に対する電力の供給を停止させることができ、一つの停止手段を備える形態と比べて、電源遮断装置７０の信頼性が向上する。

【0063】

１－７．その他
図５に示すように、電力供給回路７３には、配電部７２を介して直流電力が供給されるので、電力供給回路７３は、電源装置７１が生成した直流電力を平滑する平滑コンデンサＣ０を備えている。供給制御部７４によって電力供給回路７３に対する電力の供給が停止されても、平滑コンデンサＣ０には電荷が残存している可能性がある。

【0064】

そこで、電力供給回路７３は、放電回路ＤＳ０を備えると良い。放電回路ＤＳ０は、供給制御部７４によって直流電力の出力が停止されたときに、平滑コンデンサＣ０に残存する電荷を放電する。放電回路ＤＳ０は、供給制御部７４によって直流電力の出力が停止されたときに、平滑コンデンサＣ０に残存する電荷を放電することができれば良く、種々の形態をとり得る。

【0065】

本実施形態の放電回路ＤＳ０は、スイッチング素子ＴＲ０と、抵抗器Ｒ０とを備えている。スイッチング素子ＴＲ０および抵抗器Ｒ０は、直列接続され、平滑コンデンサＣ０と並列接続されている。電力供給回路７３の制御装置は、供給制御部７４によって直流電力の出力が停止されたときに、所定時間、スイッチング素子ＴＲ０を開状態から閉状態に制御して、平滑コンデンサＣ０に残存する電荷を放電することができる。

【0066】

また、放電回路ＤＳ０は、抵抗器Ｒ０を流れる電流を検出する電流検出器を備えることもできる。この場合、電力供給回路７３の制御装置は、電流検出器の検出結果に基づいて、抵抗器Ｒ０を流れる電流が一定になるように、スイッチング素子ＴＲ０を開閉制御する定電流制御を行うこともできる。

【0067】

既述したように、電源装置７１によって生成された電力を複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に供給する形態として、バス接続が考えられる。バス接続では、共通の電源ラインに複数の対基板作業機ＷＭ０の各々の電力供給回路７３が並列接続される。しかしながら、この形態では、予め電源ラインを配置しておく必要があり、電源ラインを伸縮させることは困難である。そのため、この形態では、例えば、生産計画に応じて対基板作業機ＷＭ０を増減させることが困難である。

【0068】

そこで、本実施形態では、電源装置７１および複数の対基板作業機ＷＭ０がデイジーチェーン接続されている。これにより、対基板作業機ＷＭ０を容易に増減させることができる。例えば、対基板作業機ＷＭ０が増設されると、増設前の最後尾の対基板作業機ＷＭ０の電力供給回路７３と、増設する対基板作業機ＷＭ０の電力供給回路７３とが電気的に接続される。また、励磁回路７６を形成する図４および図６に示す接続部７６１は、増設前の最後尾の対基板作業機ＷＭ０において電気的に開放され、増設する対基板作業機ＷＭ０において電気的に接続される。なお、図４および図６では、図示の便宜上、白色の丸印で示される接続位置が紙面右方向にずらして図示されている。また、電気的に開放される部位は、破線で示されている。

【0069】

また、図９に示すように、本実施形態の基板生産ライン１は、ベースＢ０と、ベースＢ０の上に引き出し可能に設けられる作業モジュールＭ０とを備える対基板作業機ＷＭ０が増減可能に設けられている。作業モジュールＭ０には、既述した基板搬送装置１１、装着ヘッド３０などが設けられている。そのため、電力供給回路７３は、ベースＢ０に設けられている。

【0070】

なお、図９の実線で示される作業モジュールＭ０は、ベースＢ０の搭載位置に搭載されている状態を示している。破線で示される作業モジュールＭ０は、搭載位置から引き出された状態を示している。例えば、作業者は、対基板作業機ＷＭ０のメンテナンスを行う際に、ブレーカを操作して、対基板作業機ＷＭ０の駆動電力を遮断した後に、作業モジュールＭ０を引き出すことができる。メンテナンスが終了すると、作業者は、作業モジュールＭ０をベースＢ０の搭載位置まで引き戻す。作業モジュールＭ０がベースＢ０の搭載位置まで引き戻されると、作業者は、ブレーカを操作して、対基板作業機ＷＭ０の駆動電力を投入することができる。

【0071】

電源装置７１は、交流電力を生成することもできる。この場合、配電部７２は、電源装置７１によって生成された交流電力を基板生産ライン１の一端側の対基板作業機ＷＭ０から他端側の対基板作業機ＷＭ０まで順に配電する。しかしながら、この形態では、複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に、入力された交流電力を直流電力に変換する電力変換器が必要になる。そこで、本実施形態の電源装置７１は、直流電力を生成する。また、直流電力を生成する電源装置７１の出力側に開閉器を設けることもできるが、交流電力を断続する場合と比べて、開閉器が大型化し、高コスト化する可能性がある。そこで、本実施形態では、電磁接触器７５は、電源装置７１の入力側に設けられている。

【0072】

また、電源装置７１によって生成された電力を複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に供給する形態として、スター接続が考えられる。この形態においても、配電部７２は、電源装置７１によって生成された電力を複数の対基板作業機ＷＭ０の各々に配電することができる。但し、この形態では、電源遮断装置７０は、励磁回路７６および電源側開閉器７８が電源装置７１を備える作業機に設けられる第二形態の供給制御部７４を備えることができるが、第一形態の供給制御部７４を備えることが困難である。そこで、本実施形態では、電源装置７１および複数の対基板作業機ＷＭ０がデイジーチェーン接続されている。これにより、供給制御部７４のバリエーションが増加し、既述したように、複数の停止手段によって電源遮断装置７０の信頼性を向上させることもできる。

【0073】

２．電源遮断方法
電源遮断装置７０について既述されていることは、電源遮断方法についても同様に言える。電源遮断方法は、可動部５１と、駆動部５３と、電源装置７１と、配電部７２と、電力供給回路７３とを備える給電システム６０に適用され、供給制御工程を備える。供給制御工程は、供給制御部７４が行う制御に相当する。電源遮断方法は、正常状態確認工程を備えることもできる。正常状態確認工程は、正常状態確認部８０が行う制御に相当する。

【0074】

３．実施形態の効果の一例
電源遮断装置７０は、供給制御部７４を備える。よって、電源遮断装置７０は、対基板作業機ＷＭ０を駆動させる駆動電力が遮断されたときに、電力供給回路７３に対する電力の供給を停止させることができる。電源遮断装置７０について上述されていることは、電源遮断方法についても同様に言える。

【符号の説明】

【0075】

１：基板生産ライン、４０Ｒ：走行路、５１：可動部、５３：駆動部、
６０：給電システム、７０：電源遮断装置、７１：電源装置、
７２：配電部、７３：電力供給回路、７４：供給制御部、
７５：電磁接触器、７５１：電磁コイル、７６：励磁回路、
７７：作業機側開閉器、７８：電源側開閉器、８０：正常状態確認部、
Ｃ０：平滑コンデンサ、ＤＳ０：放電回路、９０：基板、
Ｂ０：ベース、Ｍ０：作業モジュール、ＷＭ０：対基板作業機。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】