特許7357390回転軸密閉装置及びこれを用いる半導体基板処理装置

発明の名称　回転軸密閉装置及びこれを用いる半導体基板処理装置

出願人　シーリンク株式会社　（識別番号 520296750）

　　　　特許公開件数ランキング 13870 位（0件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 3848 位（1件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7357390

公報発行日　2023年10月6

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7357390

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