7358026 テーブル駆動装置、工作機械、および、ワーク加工方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B1)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-29

(45)【発行日】2023-10-10

(54)【発明の名称】テーブル駆動装置、工作機械、および、ワーク加工方法

(51)【国際特許分類】

   B23Q 11/12 20060101AFI20231002BHJP

   H02K 9/06 20060101ALI20231002BHJP

【ＦＩ】

B23Q11/12 C

H02K9/06 A

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2023534247

(86)(22)【出願日】2023-03-22

(86)【国際出願番号】 JP2023011057

【審査請求日】2023-06-06

【早期審査対象出願】

(73)【特許権者】

【識別番号】000114787

【氏名又は名称】ヤマザキマザック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100196003

【弁理士】

【氏名又は名称】石川 太郎

(72)【発明者】

【氏名】佐藤 公彦

(72)【発明者】

【氏名】小川 幸夫

(72)【発明者】

【氏名】坂井 宣博

【審査官】城野 祐希

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１８－０７９５２１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２２－１８９３６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－１４２３８５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－３４６８６０（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２３Ｑ １１／１２

Ｈ０２Ｋ ９／０６

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置と、
前記テーブル装置を支持する支持台と、
前記支持台に接する第１部分、および、前記第１部分と比較して前記支持台から遠い位置に配置される第２部分を有し、前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる第１モータと、
前記第１モータを冷却する冷却装置と
を具備し、
前記冷却装置は、
エアに運動量を付与するファンと、
前記第１モータの前記第１部分に前記エアを供給する供給ダクトと、
前記第１モータの前記第２部分の周囲から前記エアを排気する排気ダクトと
を有する
テーブル駆動装置。

【請求項2】

前記テーブル装置は、前記テーブルを直接的または間接的に支持する支持ブロックを含み、
前記第１モータは、前記支持ブロックを傾動させるモータである
請求項１に記載のテーブル駆動装置。

【請求項3】

前記第１モータを囲むカバーを備え、
前記カバーは、前記第１モータの前記第１部分から前記第１モータの前記第２部分に向かうエア流路を規定する
請求項１または２に記載のテーブル駆動装置。

【請求項4】

前記テーブルが配置される第１領域と、前記第１モータおよび前記カバーが配置される第２領域とを仕切る仕切り壁を更に具備し、
前記カバーは、前記第１モータと前記仕切り壁との間に配置される第１壁を含む
請求項３に記載のテーブル駆動装置。

【請求項5】

前記供給ダクト、前記カバー、および、前記排気ダクトによって、略Ｕ字状のエア流路が規定される
請求項３に記載のテーブル駆動装置。

【請求項6】

前記供給ダクトと前記カバーとのアセンブリが、略Ｔ字形状または略Ｌ字形状を有するように、前記供給ダクトと前記カバーとが接続されている
請求項３に記載のテーブル駆動装置。

【請求項7】

前記第１モータに電力を供給する給電線、前記第１モータの回転部の回転を停止させる制御指令を送信する制御線、および、前記第１モータに設けられたエンコーダからの信号を制御装置に伝達する信号線のうちの少なくとも一つが、前記供給ダクトおよび前記排気ダクトのうちの少なくとも一方に形成された開口を通過するように配置されている
請求項３に記載のテーブル駆動装置。

【請求項8】

前記第１モータは、前記支持台の直上に配置される
請求項１または２に記載のテーブル駆動装置。

【請求項9】

冷却液を用いて第２モータを冷却する第２冷却装置を更に具備し、
前記テーブル装置は、
前記テーブルが固定され、前記支持ブロックによって第２軸まわりに回転可能に支持される回転体と、
前記回転体を前記第２軸まわりに回転させる前記第２モータと
を有し、
前記冷却液が流れる冷却液流路は、前記支持台を通過するように配置される
請求項２に記載のテーブル駆動装置。

【請求項10】

前記供給ダクトのエア取込口は、側方開口であり
前記排気ダクトのエア吹出口は、上方開口である
請求項１または２に記載のテーブル駆動装置。

【請求項11】

ワークを加工する工具を支持する加工ヘッドと、
前記加工ヘッドを移動させる移動装置と、
テーブル駆動装置と
を具備し、
前記テーブル駆動装置は、
前記ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置と、
前記テーブル装置を支持する支持台と、
前記支持台に接する第１部分、および、前記第１部分と比較して前記支持台から遠い位置に配置される第２部分を有し、前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる第１モータと、
前記第１モータを冷却する冷却装置と
を備え、
前記冷却装置は、
エアに運動量を付与するファンと、
前記第１モータの前記第１部分に前記エアを供給する供給ダクトと、
前記第１モータの前記第２部分の周囲から前記エアを排気する排気ダクトと
を有する
工作機械。

【請求項12】

平面視において、前記テーブル駆動装置および前記加工ヘッドを囲む外壁を更に具備し、
前記供給ダクトの第１端部は、前記外壁に形成された第１開口部に接続されている
請求項１１に記載の工作機械。

【請求項13】

前記排気ダクトのエア吹出口は、平面視において前記外壁よりも内側に配置されている
請求項１２に記載の工作機械。

【請求項14】

前記加工ヘッドを含む構造体を移動可能に支持するベース構造体と、
前記第１モータを囲むカバーと
を備え、
前記カバーは、前記第１モータと前記ベース構造体との間に配置される第１壁を含む
請求項１２または１３に記載の工作機械。

【請求項15】

支持台に接する第１モータを冷却する工程と、
テーブル装置のテーブルにワークを固定する工程と、
前記第１モータの駆動力を用いて、前記テーブル装置を支持する前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる工程と、
工具を用いて前記ワークを加工する工程と
を具備し、
前記第１モータを冷却する工程は、
ファンを用いてエアに運動量を付与することと、
前記第１モータの第１部分に、供給ダクトから前記エアを供給することと、
前記支持台から離れる方向に、前記第１モータの前記第１部分から前記第１モータの第２部分に向けて前記エアを流すことにより、前記エアを用いて前記第１モータを冷却することと、
前記第１モータの前記第２部分の周囲から、排気ダクトを介して、前記エアを排出することと
を含む
ワーク加工方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、テーブル駆動装置、工作機械、および、ワーク加工方法に関する。

【背景技術】

【0002】

モータ等の発熱体を冷却する技術が知られている。

【0003】

関連する技術として、特許文献１には、工作機械用の割出し装置における発熱体の冷却回路が開示されている。特許文献１に記載の冷却回路は、発熱体の周囲に設けられた冷却流路を有する。より具体的には、特許文献１では、モータのステータに接するように冷却用ジャケットが配置される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－５９０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

本発明の目的は、モータから生じる熱がテーブル装置を支持する支持台に伝わることを抑制することが可能なテーブル駆動装置、工作機械、および、ワーク加工方法を提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0006】

いくつかの実施形態におけるテーブル駆動装置は、ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置と、前記テーブル装置を支持する支持台と、前記支持台に接する第１部分、および、前記第１部分と比較して前記支持台から遠い位置に配置される第２部分を有し、前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる第１モータと、前記第１モータを冷却する冷却装置と、を具備する。前記冷却装置は、エアに運動量を付与するファンと、前記第１モータの前記第１部分に前記エアを供給する供給ダクトと、前記第１モータの前記第２部分の周囲から前記エアを排気する排気ダクトと、を有する。

【0007】

いくつかの実施形態における工作機械は、ワークを加工する工具を支持する加工ヘッドと、前記加工ヘッドを移動させる移動装置と、テーブル駆動装置と、を具備する。前記テーブル駆動装置は、前記ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置と、前記テーブル装置を支持する支持台と、前記支持台に接する第１部分、および、前記第１部分と比較して前記支持台から遠い位置に配置される第２部分を有し、前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる第１モータと、前記第１モータを冷却する冷却装置と、を備える。前記冷却装置は、エアに運動量を付与するファンと、前記第１モータの前記第１部分に前記エアを供給する供給ダクトと、前記第１モータの前記第２部分の周囲から前記エアを排気する排気ダクトと、を有する。

【0008】

いくつかの実施形態におけるワーク加工方法は、支持台に接する第１モータを冷却する工程と、テーブル装置のテーブルにワークを固定する工程と、前記第１モータの駆動力を用いて、前記テーブル装置を支持する前記支持台に対して前記テーブル装置を相対移動させる工程と、工具を用いて前記ワークを加工する工程と、を具備する。前記第１モータを冷却する工程は、ファンを用いてエアに運動量を付与することと、前記第１モータの第１部分に、供給ダクトから前記エアを供給することと、前記支持台から離れる方向に、前記第１モータの前記第１部分から前記第１モータの第２部分に向けて前記エアを流すことにより、前記エアを用いて前記第１モータを冷却することと、前記第１モータの前記第２部分の周囲から、排気ダクトを介して、前記エアを排出することと、を含む。

【発明の効果】

【0009】

本発明により、モータから生じる熱がテーブル装置の支持台に伝わることを抑制することが可能なテーブル駆動装置、工作機械、および、ワーク加工方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】図１は、第１の実施形態における工作機械を模式的に示す概略断面図である。

【図2】図２は、供給ダクト、排気ダクト、および、カバーの配置の一例を模式的に示す概略断面図である。

【図3】図３は、第１モータから支持ブロックに動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。

【図4】図４は、第２モータから回転体に動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。

【図5】図５は、供給ダクト、および、排気ダクトの配置の一例を模式的に示す概略断面図である。

【図6】図６は、第２冷却装置の一例について説明するための図である。

【図7】図７は、ダクトの配置の変形例を模式的に示す概略断面図である。

【図8】図８は、第１モータの配置の変形例を模式的に示す概略平面図である。

【図9】図９は、加工ヘッドを移動させる移動装置の一例について説明するための概略斜視図である。

【図10】図１０は、第２の実施形態における工作機械を模式的に示す図である。

【図11】図１１は、第２の実施形態の変形例における工作機械を模式的に示す図である。

【図12】図１２は、第１モータから回転体に動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。

【図13】図１３は、第３の実施形態における工作機械の一部分を模式的に示す図である。

【図14】図１４は、第３の実施形態における工作機械の一部分を模式的に示す概略断面図である。

【図15】図１５は、加工ヘッドを移動させる移動装置の一例について説明するための概略斜視図である。

【図16】図１６は、供給ダクト、排気ダクト、および、カバーの配置の一例を模式的に示す図である。

【図17】図１７は、制御装置と制御対象機器との間の接続関係の一例を模式的に示す図である。

【図18】図１８は、制御装置が、温度センサからの信号に基づいてファンモータを制御可能な様子を模式的に示す図である。

【図19】図１９は、実施形態におけるワーク加工方法の一例を示すフローチャートである。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下、図面を参照して、実施形態におけるテーブル駆動装置１、工作機械１００、および、ワーク加工方法について説明する。なお、以下の実施形態の説明において、同一の機能を有する部位、部材については同一の符号を付し、同一の符号が付された部位、部材についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0012】

（第１の実施形態）
図１乃至図９を参照して、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａ、および、工作機械１００Ａについて説明する。図１は、第１の実施形態における工作機械１００Ａを模式的に示す概略断面図である。図２は、供給ダクト５１、排気ダクト５４、および、カバー６の配置の一例を模式的に示す概略断面図である。なお、図２において、第１モータ４が配置される領域にはドットによるハッチングが付与され、第１モータ４の内部構造の記載は省略されている。図３は、第１モータ４から支持ブロック２２に動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。図４は、第２モータ１４から回転体２４に動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。図５は、供給ダクト５１、および、排気ダクト５４の配置の一例を模式的に示す概略断面図である。なお、図５において、第１モータ４が配置される領域にはドットによるハッチングが付与され、第１モータ４の内部構造の記載は省略されている。図６は、第２冷却装置１５の一例について説明するための図である。図７は、ダクト５０の配置の変形例を模式的に示す概略断面図である。なお、図７において、第１モータ４が配置される領域にはドットによるハッチングが付与され、第１モータ４の内部構造の記載は省略されている。図８は、第１モータ４の配置の変形例を模式的に示す概略平面図である。図９は、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３の一例について説明するための概略斜視図である。なお、図９において、ダクト５０、カバー６、仕切り壁１１、外壁１０８等の記載は省略されている。

【0013】

図１に例示されるように、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａは、テーブル装置２と、支持台３と、第１モータ４と、冷却装置５と、を具備する。

【0014】

テーブル装置２は、加工対象物であるワークＷを支持するテーブル２１を有する。また、支持台３は、テーブル装置２を支持する。

【0015】

第１モータ４は、支持台３に接する第１部分４１と、第１部分４１と比較して支持台３から遠い位置に配置される第２部分４２とを有する。図２に記載の例では、第１モータ４の第１部分４１が支持台３によって支持されている。図２に記載の例では、第１部分４１は第１モータ４の第１端部４１ａを含み、第２部分４２は第１モータ４の第２端部４２ａを含む。第１端部４１ａは、第２端部４２ａと比較して支持台３に近い端部であり、第２端部４２ａは、第１端部４１ａと比較して支持台３から遠い端部である。

【0016】

図１に記載の例において、第１モータ４は、支持台３に対してテーブル装置２を相対移動させる。図１に記載の例では、第１モータ４は、テーブル装置２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動させる。支持台３に対してテーブル装置２が相対移動される際に、第１モータ４には電流が供給される。第１モータ４は、電気的エネルギを、運動エネルギに変換し、当該運動エネルギを用いて、支持台３に対してテーブル装置２が相対移動される。なお、第１モータ４に電流が流れることにより、第１モータ４は発熱する。

【0017】

冷却装置５は、第１モータ４を冷却する。冷却装置５は、エアに運動量を付与するファン５８と、当該エアが流れるダクト５０と、を有する。図２に記載の例では、テーブル駆動装置１Ａは、ファン５８を駆動させるファンモータ５９を有する。ファンモータ５９によってファン５８が回転駆動されると、ファン５８によって、エアに運動量が付与される。こうして、運動量が付与されたエアは、ダクト５０内を流れる。

【0018】

ダクト５０は、供給ダクト５１と、排気ダクト５４とを含む。供給ダクト５１は、第１モータ４の第１部分４１（換言すれば、第１モータ４のうちの支持台３側の第１部分４１）にエアを供給する。排気ダクト５４は、第１モータ４の第２部分４２の周囲（換言すれば、第１モータ４のうちの支持台３側とは反対側の第２部分４２の周囲）からエアを排気する。

【0019】

図１に例示されるように、第１の実施形態における工作機械１００Ａは、上述のテーブル駆動装置１Ａに加え、ワークＷを加工する工具Ｔを支持する加工ヘッドＨＤと、加工ヘッドを移動させる移動装置１０３と、を具備する。加工ヘッドＨＤは、工具Ｔが鉛直方向に略平行な姿勢となるように工具Ｔを支持するように構成されてもよいし、工具Ｔが水平方向に略平行な姿勢となるように工具Ｔを支持するように構成されてもよいし、工具Ｔの姿勢を変更可能なように工具Ｔを支持するように構成されてもよい。工作機械１００Ａは、平面視において、テーブル駆動装置１Ａ、および、加工ヘッドＨＤを囲む外壁１０８を有していてもよい。外壁１０８は、平面視において、テーブル駆動装置１Ａ、加工ヘッドＨＤ、および、移動装置１０３を囲むように配置されていてもよい。また、外壁１０８には、外壁１０８の外側から外壁１０８の内側にワークＷを挿入可能な開口Ｂ１（必要であれば、図８を参照。）が形成されていてもよい。また、工作機械１００Ａは、当該開口Ｂ１を開閉可能な扉１０９（必要であれば、図８を参照。）を有していてもよい。

【0020】

第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａでは、供給ダクト５１によって第１モータ４の第１部分４１にエアが供給されることにより、第１モータ４の第１部分４１が、効果的に冷却される。よって、第１モータ４から生じる熱が、第１部分４１から支持台３に伝達されることが防止または抑制される。また、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａでは、第１部分４１にエアが供給され、第２部分４２の周囲からエアが排気される。こうして、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かうエアの流れが形成される。よって、支持台３に近い第１部分４１の冷却に用いられたエアが、第１モータ４の中央部分あるいは第１モータ４の第２部分４２の冷却にも利用される。また、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向は、支持台３から離れる方向である。よって、第１モータ４との接触により温度が上昇したエアが、支持台３に向かって移動することが防止または抑制される。

【0021】

第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａでは、第１モータ４から、第１部分４１あるいはエアを介して、支持台３に熱が伝わることが抑制されるため、支持台３およびテーブル装置２の熱変形が抑制される。よって、第１モータ４の使用時間の増加に伴って、テーブル装置２によって支持されるワークＷの位置精度が低下することが抑制される。また、ワークＷの位置精度の低下が抑制されるため、ワークＷの加工精度の低下も抑制される。特に、第１モータ４のうちの支持台３に近い第１部分４１がエアによって優先的に冷却され、且つ、第１部分４１の冷却に用いられたエアが支持台３から離れる方向に移動することにより、支持台３およびテーブル装置２の熱変形が効率的に抑制される。

【0022】

第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａでは、ダクト５０およびファン５８を用いた冷却装置５が用いられるため、支持台３の内部に冷却液等を循環させる場合と比較して、支持台３の構造の複雑化が抑制される。また、エアによって冷却が行われるため、冷却装置５による消費電力が小さくて済む（換言すれば、省エネタイプの冷却方式が実現される。）。また、エアによって冷却が行われるため、環境への負荷が小さい。

【0023】

（任意付加的な構成）
続いて、図１乃至図９を参照して、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａにおいて採用可能な任意付加的な構成について説明する。

【0024】

（テーブル装置２の傾動）
図１に記載の例では、支持台３は、テーブル装置２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動可能に支持する。より具体的には、テーブル装置２は、テーブル２１を直接的または間接的に支持する支持ブロック２２を含み、支持台３は、当該支持ブロック２２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動可能に支持する。支持ブロック２２は、複数の部品のアセンブリによって構成される。支持ブロック２２は、第１支持台３ａによって傾動可能に支持される第１ブロック２２ａ（例えば、円柱状の第１ブロック）と、第２支持台３ｂによって傾動可能に支持される第２ブロック２２ｂ（例えば、円柱状の第２ブロック）と、テーブル２１が固定された回転体を回転可能に支持する第３ブロック２２ｃとを含むアセンブリによって構成されていてもよい。

【0025】

図１に記載の例において、第１モータ４は、支持ブロック２２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動させるモータである。第１軸ＡＸ１は、例えば、水平面に平行な軸である。

【0026】

図１に記載の例では、第１モータ４は、支持台３に内蔵されていない。換言すれば、第１モータ４は、支持台３の外側に配置されている。この場合、第１モータ４が支持台３に内蔵されたダイレクトドライブモータである場合と比較して、支持台３の構造がシンプルになる。また、第１モータ４が支持台３の外側に配置される場合、第１モータ４から生じる熱が支持台３内に籠らない。よって、冷却装置を用いて第１モータ４を冷却しない場合でも、第１モータ４の発熱に起因する支持台３の熱変形は相対的に小さい。上述の冷却装置５を用いて第１モータ４の第１部分４１を優先的に冷却する場合には、第１モータ４の発熱に起因する支持台３の熱変形が更に小さくなる。

【0027】

図１に記載の例では、支持ブロック２２は、支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ）によって傾動可能に支持される第１端部２ａと、支持台３（より具体的には、第２支持台３ｂ）によって傾動可能に支持される第２端部２ｂとを有する。図３に記載の例では、第１モータ４の出力軸４４は、支持ブロック２２（より具体的には、支持ブロック２２の第１端部２ａ）に動力伝達可能に接続されている。図３に記載の例において、第１モータ４の出力軸４４が回転すると、支持ブロック２２は、第１軸ＡＸ１まわりに傾動する。

【0028】

付加的に、図４に例示されるように、テーブル装置２は、テーブル２１（必要であれば、図１を参照。）が固定される回転体２４と、第２モータ１４とを含んでいてもよい。第２モータ１４は、回転体２４を第２軸ＡＸ２まわりに回転させる。

【0029】

図４に記載の例では、回転体２４は、支持ブロック２２によって、第２軸ＡＸ２まわりに回転可能なように支持される。また、第２モータ１４の出力軸１４４は、回転体２４に動力伝達可能に接続されている。図４に記載の例において、第２モータ１４の出力軸１４４が回転すると、回転体２４は、第２軸ＡＸ２まわりに回転する。こうして、回転体２４に固定されたテーブル２１が第２軸ＡＸ２まわりに回転する。図４に記載の例では、第２軸ＡＸ２は、第１軸ＡＸ１に平行な方向に対して垂直な軸である。図４に記載の例では、第２モータ１４は、機械的な動力伝達機構Ｍ２を介して回転体２４を回転させるモータである。代替的に、第２モータ１４は、回転体２４を直接的に駆動するダイレクトドライブモータであってもよい。より具体的には、第２モータ１４は、回転体２４に固定されるロータと、支持ブロック２２に固定されるステータとを含んでいてもよい。

【0030】

（カバー６）
図２に記載の例では、テーブル駆動装置１Ａは、第１モータ４を囲むカバー６を備える。カバー６は、第１ポート６９ａと、第２ポート６９ｂと、壁６０とを有する。

【0031】

第１ポート６９ａは、供給ダクト５１からカバー６の内部領域ＳＰ１にエアを導入するための導入口として機能する。第２ポート６９ｂは、カバー６の内部領域ＳＰ１から排気ダクト５４にエアを排出する排出口として機能する。

【0032】

図２に記載の例では、カバー６は、第１ポート６９ａから第２ポート６９ｂに至るエア流路を規定する。以下、カバー６によって規定されるエア流路（より具体的には、第１ポート６９ａから第２ポート６９ｂに至るエア流路）を第１流路ＦＰ１と定義する。

【0033】

テーブル駆動装置１Ａが、第１モータ４を囲むカバー６を有する場合、エアによる第１モータ４の冷却効率が向上する。また、第１モータ４から生じる熱が、排気ダクト５４以外の経路で、第１モータ４の周囲から散逸しにくくなる。よって、第１モータ４の周囲に配置された部材の熱変形がより効果的に抑制される。図２に記載の例では、カバー６は、第１モータ４の第１部分４１から第２部分４２に向かうエア流路（より具体的には、第１ポート６９ａから第２ポート６９ｂに至る第１流路ＦＰ１）を規定する。この場合、第１モータ４の第１部分４１が優先的に冷却されつつ、第１モータ４の全体も効率的に冷却される。

【0034】

図２に記載の例では、カバー６の内部領域ＳＰ１に第１モータ４が配置されるため、第１モータ４の占有分だけ、第１流路ＦＰ１の流路断面積が小さくなる。また、第１流路ＦＰ１の流路断面積が小さくなるため、第１流路ＦＰ１を流れるエアの速度が増加する。よって、速度が相対的に速いエアによって、更に効率的に第１モータ４が冷却される。また、速度が相対的に速いエアによって、カバー６も効率的に冷却される。よって、カバー６から、カバー６の外側に配置された部材に、熱が伝わることが抑制される。こうして、カバー６の外側に配置された部材の熱変形が更により効果的に抑制される。

【0035】

図２に記載の例では、カバー６は、第１壁６２ａおよび第２壁６２ｂを含む複数の壁６０を有する。また、複数の壁６０によって、第１モータ４を収容するハウジングが構成されている。図２に記載の例では、第２壁６２ｂに第１ポート６９ａが形成されている。また、当該第２壁６２ｂに第２ポート６９ｂが形成されている。図２に記載の例では、第２ポート６９ｂが第１ポート６９ａよりも上方に配置されている。よって、カバー６は、全体として上に向かう運動量成分を有するエアの流れを形成する。

【0036】

複数の壁６０は、第１モータ４の側面に対向配置される側壁６２と、第１モータ４の頂部４ｔを覆う頂壁６３とを含んでいてもよい。

【0037】

図２に記載の例では、カバー６の下端部が支持台３の頂部３ｔに取り付けられている。カバー６は、第１モータ４と、支持台３の一部分３１ｔ（より具体的には、支持台３の頂部３ｔの一部分３１ｔ）と、を囲んでいてもよい。

【0038】

図２に記載の例では、カバー６は、板材（より具体的には、金属製の板材）によって構成されている。

【0039】

代替的に、図５に例示されるように、カバー６は省略されてもよい。

【0040】

（仕切り壁１１）
図１に記載の例では、テーブル駆動装置１Ａは、仕切り壁１１を備える。仕切り壁１１は、ワークＷが加工される加工領域（換言すれば、ワークＷを支持するテーブル２１が配置される第１領域ＲＧ１）と、第１モータ４およびカバー６が配置される第２領域ＲＧ２とを仕切る。

【0041】

テーブル駆動装置１Ａが仕切り壁１１を備える場合、ワークＷの加工によって生じる切屑、あるいは、加工時にワークＷに供給されるクーラント液が、加工領域である第１領域ＲＧ１から第２領域ＲＧ２に飛散することが防止される。なお、クーラント液のミストは、仕切り壁１１と他の部材との間の隙間を介して第２領域ＲＧ２に侵入し得る。第１モータ４がカバー６によって囲まれ、カバー６内の内部空間に供給ダクト５１からエアが供給される場合、カバー６の内部空間に、当該ミストが侵入することが効果的に抑制される。

【0042】

カバー６は、第１モータ４と仕切り壁１１との間に配置される第１壁６２ａを含んでいてもよい。また、第１モータ４と仕切り壁１１との間に第１壁６２ａが配置される場合、第１モータ４から生じる熱が、仕切り壁１１に伝わることが、第１壁６２ａによって抑制される。図１に記載の例では、第１壁６２ａは、空間ＳＰ２を介して、仕切り壁１１に対向配置されている。当該空間ＳＰ２が第１壁６２ａと仕切り壁１１との間の空気層として機能するため、第１モータ４から生じる熱が、仕切り壁１１に伝わることが、更により効果的に抑制される。

【0043】

（動力伝達部材１３）
図３に記載の例では、第１モータ４は、機械的な動力伝達機構Ｍ１を介してテーブル装置２の支持ブロック２２（より具体的には、第１ブロック２２ａ）に動力を伝達する。

【0044】

図３に記載の例では、テーブル駆動装置１Ａは、第１モータ４の駆動力を、テーブル装置２の支持ブロック２２に伝達する動力伝達部材１３を有する。図３に記載の例では、動力伝達部材１３は、（１）第１モータ４の出力軸４４に連結される第１シャフト１３１と、（２）支持ブロック２２に連結され、第１シャフト１３１の中心軸ＡＸ３まわりの第１シャフト１３１の回転を、第１軸ＡＸ１まわりの支持ブロック２２の回転に変換する変換部材１３３と、を含む。なお、動力伝達部材１３、あるいは、変換部材１３３としては、公知の任意の部材（例えば、シャフト、カム、歯車、伝動ベルト等）を採用可能である。

【0045】

図３に記載の例では、第１シャフト１３１は、ローラギヤカム１３１ａ（「グロボイダルカム」と呼ばれることもある。）を含み、変換部材１３３は、支持ブロック２２の周囲に配置された複数のカムフォロワ１３３ａを含む。代替的に、第１シャフト１３１がウォームギヤを含み、支持ブロック２２がウォームギヤに噛み合う歯車を含んでいてもよい。更に代替的に、第１シャフト１３１が第１傘歯車を含み、支持ブロック２２が第１傘歯車に噛み合う第２傘歯車を含んでいてもよい。

【0046】

図３に記載の例では、支持ブロック２２の回動軸である第１軸ＡＸ１は、第１モータ４の出力軸４４（あるいは、第１シャフト１３１の中心軸ＡＸ３）に垂直な面に対して平行である。代替的に、複数の汎用の歯車、あるいは、伝動ベルトを用いて、第１シャフト１３１と支持ブロック２２との間で動力伝達が行われる場合には、支持ブロック２２の回動軸である第１軸ＡＸ１は、第１シャフト１３１の中心軸ＡＸ３と平行であってもよい。

【0047】

（第２冷却装置１５）
図６に例示されるように、テーブル駆動装置１Ａは、冷却液を用いて第２モータ１４を冷却する第２冷却装置１５を備えていてもよい。第２冷却装置１５は、冷却液が流れる冷却液流路ＦＬを有する。冷却液流路ＦＬは、例えば、支持台３を通過するように配置される。第２冷却装置１５は、冷却液流路ＦＬ内で冷却液を循環させるポンプ１５１を有していてもよい。

【0048】

図６に記載の例では、第１モータ４が、供給ダクト５１から供給されるエアによって冷却され、第２モータ１４が、冷却液流路ＦＬを流れる冷却液を用いて冷却される。よって、第１モータ４および第２モータ１４の両方が冷却液を用いて冷却される場合と比較して、冷却液流路ＦＬが複雑化しない。例えば、支持台３の内部に第１モータ４を冷却するための冷却液流路を設ける必要がないため、支持台３の構造が複雑化しない。また、支持台３の内部に第１モータ４を冷却するための冷却液流路を設ける必要がないため、支持台３の大型化が抑制される。

【0049】

図６に記載の例では、第１モータ４と比較してテーブル２１に近い位置に配置される第２モータ１４が冷却液を用いて冷却される。よって、第２モータ１４の発熱に起因するテーブル装置２の熱変形が効果的に抑制される。また、第２モータ１４と比較してテーブル２１から遠い位置に配置される第１モータ４がエアを用いて冷却される。よって、テーブル駆動装置１Ａの構造の複雑化が抑制されつつ、第１モータ４の発熱に起因する支持台３の熱変形が抑制される。

【0050】

（支持台３）
図１に記載の例では、支持台３は、テーブル装置２の第１端部２ａを傾動可能に支持する第１支持台３ａと、テーブル装置２の第２端部２ｂを傾動可能に支持する第２支持台３ｂとを含む。また、第１モータ４の第１部分４１が、第１支持台３ａに接している。より具体的には、第１モータ４の第１部分４１が、第１支持台３ａに取り付けられている。

【0051】

（ベース構造体９）
図１に記載の例では、工作機械１００Ａは、ベース構造体９を備える。ベース構造体９には、支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ、および、第２支持台３ｂ）が固定される。ベース構造体９には、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３の固定部分が固定されていてもよい。図１に記載の例では、ベース構造体９に支持台３が固定され、支持台３に第１モータ４を囲むカバー６が固定されている。換言すれば、カバー６は、ベース構造体９に対して相対移動不能なように、支持台３を介してベース構造体９によって支持されている。また、図１に記載の例では、支持台３に第１モータ４の第１部分４１が固定されている。換言すれば、第１モータ４の第１部分４１は、ベース構造体９に対して相対移動不能なように、支持台３を介してベース構造体９によって支持されている。

【0052】

（ダクト５０）
本明細書において、第１支持台３ａから第２支持台３ｂに向かう方向を第１方向ＤＲ１と定義し、第１方向ＤＲ１とは反対の方向を第２方向ＤＲ２と定義する。図２に記載の例では、供給ダクト５１は、第１端部５１ａと、第２端部５１ｂとを有する。第１端部５１ａには、エア取込口ＯＰ１が設けられ、第２端部５１ｂには、エア吹出口ＯＰ２が設けられる。図２に記載の例では、供給ダクト５１の第１端部５１ａから供給ダクト５１の内部にエアが取り込まれ、供給ダクト５１の第２端部５１ｂから、第１モータ４の第１部分４１に向けてエアが吹き出される。図２に記載の例では、第２端部５１ｂは、第１端部５１ａよりも第１方向ＤＲ１側に配置されている。よって、供給ダクト５１は、全体として第１方向ＤＲ１に沿う方向の運動量成分を有するエアの流れを形成する。

【0053】

平面視において、供給ダクト５１の延在方向は、第１方向ＤＲ１に平行であってもよい。また、図１に例示されるように、供給ダクト５１の第１端部５１ａは、外壁１０８に形成された第１開口部Ｅ１に接続されていてもよい。

【0054】

図２に記載の例では、排気ダクト５４は、第１端部５４ａと、第２端部５４ｂとを有する。第１端部５４ａには、エア取込口ＯＰ３が設けられ、第２端部５４ｂには、エア吹出口ＯＰ４が設けられる。換言すれば、排気ダクト５４の第１端部５４ａから排気ダクト５４の内部にエアが取り込まれ、排気ダクト５４の第２端部５４ｂからエアが吹き出される。図２に記載の例では、第２端部５４ｂは、第１端部５４ａよりも第２方向ＤＲ２側に配置されている。よって、排気ダクト５４は、全体として第２方向ＤＲ２に沿う方向の運動量成分を有するエアの流れを形成する。

【0055】

図２に記載の例では、排気ダクト５４は、供給ダクト５１よりも上方に配置されている。排気ダクト５４は、供給ダクト５１の直上に配置されてもよい。この場合、平面視におけるダクト５０のサイズをコンパクトにすることができる。

【0056】

平面視において、排気ダクト５４の延在方向は、第１方向ＤＲ１に平行であってもよい。また、図１に例示されるように、排気ダクト５４の第２端部５４ｂは、外壁１０８に形成された第２開口部Ｅ２に接続されていてもよい。

【0057】

図２に記載の例では、供給ダクト５１と、カバー６と、排気ダクト５４とによって、略Ｕ字状のエア流路が規定されている。Ｕ字状のエア流路によって、第１モータ４の第１部分４１に向かうエアの流れと、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かうエアの流れと、第１モータ４の第２部分４２から離れるエアの流れとが形成される（図２における破線矢印を参照。）。また、エア流路がＵ字状であることにより、エア流路の全体がコンパクトに配置される。

【0058】

図２に記載の例では、供給ダクト５１とカバー６とのアセンブリが、略Ｔ字形状を有するように、供給ダクト５１とカバー６とが接続されている。代替的に、供給ダクト５１とカバー６とのアセンブリが、略Ｌ字形状を有するように、供給ダクト５１とカバー６とが接続されていてもよい（必要であれば、図１０を参照。）。

【0059】

（ファン５８）
図２に記載の例では、供給ダクト５１に（より具体的には、供給ダクト５１の第１端部５１ａに）、ファン５８が配置されている。この場合、ファン５８は、供給ダクト５１にエアを取り込む取込ファン５８ａとして機能する。代替的に、あるいは、付加的に、排気ダクト５４に（より具体的には、排気ダクト５４の第２端部５４ｂに）、ファン５８が配置されてもよい。この場合、ファン５８は、排気ダクト５４からエアを排出する排出ファン５８ｂ（図５を参照。）として機能する。なお、実施形態におけるファン５８の種類、ファン５８の取り付け方法、および、ファン５８の配置に制限はない。換言すれば、ダクト５０内にエアの流れを生成可能である限りにおいて、どのようなファン５８が採用されてもよい。

【0060】

（フィルタ５７）
テーブル駆動装置１Ａは、エアから塵埃等の異物を除去するフィルタ５７を備えていてもよい。図２に記載の例では、フィルタ５７が、供給ダクト５１（より具体的には、供給ダクト５１の第１端部５１ａ）に配置されている。

【0061】

（ダクト５０の配置の変形例）
本明細書において、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向を第３方向ＤＲ３と定義する。図２に記載の例では、供給ダクト５１の延在方向が、第３方向ＤＲ３と実質的に垂直である。また、排気ダクト５４の延在方向が、第３方向ＤＲ３と実質的に垂直である。

【0062】

代替的に、図７に例示されるように、排気ダクト５４の延在方向は、第３方向ＤＲ３に沿う方向であってもよい。また、排気ダクト５４の第１端部５４ａから排気ダクト５４の第２端部５４ｂに向かう方向は、上方向であってもよい。

【0063】

図２に記載の例では、排気ダクト５４とカバー６とが別体であり、排気ダクト５４がカバー６に取り付けられている。代替的に、図７に例示されるように、第１モータ４を囲むカバー６と、第１モータ４の第２部分４２の周囲からエアを排気する排気ダクト５４とが一体的に成形されていてもよい。換言すれば、排気ダクト５４の一部が、第１モータ４を囲むカバー６として機能してもよい。

【0064】

（第１モータ４の配置）
図２に記載の例では、第１モータ４は、支持台３の直上に配置されている。この場合、支持台３の直上の空間を有効に活用することができる。また、高い温度のエアは上方に向かうため、第１モータ４から生じる熱に起因して温められたエアが支持台３に向かいにくい。

【0065】

（第１モータ４の配置の変形例）
図２に記載の例では、第１モータ４の第１部分４１が、支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ）の頂部３ｔに接している。代替的に、図８に例示されるように、第１モータ４の第１部分４１が、支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ）の側部に接していてもよい。

【0066】

図８に記載の例では、平面視において、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向（換言すれば、第３方向ＤＲ３）は、第１方向ＤＲ１に垂直である。図８に例示されるように、平面視において、供給ダクト５１の延在方向は、第１方向ＤＲ１に平行であってもよい。また、平面視において、排気ダクト５４の延在方向は、第１方向ＤＲ１に平行であってもよい。

【0067】

図８に例示されるように、外壁１０８は、扉１０９が配置される正面壁１０８ａと、側壁１０８ｂと、背面壁１０８ｃとを有していてもよい。また、供給ダクト５１の第１端部５１ａが取り付けられる壁は、扉１０９が配置される壁（例えば、正面壁１０８ａ）とは異なっていてもよい。図８に記載の例では、供給ダクト５１の第１端部５１ａが、側壁１０８ｂに取り付けられている。

【0068】

（移動装置１０３）
図９に記載の例では、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３は、水平面に平行なＸ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第１移動装置１０３ａと、水平面に平行なＹ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第２移動装置１０３ｂと、水平面に垂直なＺ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第３移動装置１０３ｃとを含む。図９に記載の例では、Ｘ軸は、第１方向ＤＲ１と平行であり、Ｙ軸は、Ｘ軸方向と垂直である。

【0069】

図９に記載の例では、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３は、第１部材１０４ａ（例えば、サドル）と、第２部材１０５ａ（例えば、コラム）と、第３部材１０６ａと、を有する。第１部材１０４ａは、Ｘ軸に沿う方向に移動可能なようにベース構造体９によって支持されている。第１移動装置１０３ａは、第１部材１０４ａを、ベース構造体９に対してＸ軸に沿う方向に相対移動させる。第２部材１０５ａは、Ｙ軸に沿う方向に移動可能なように第１部材１０４ａによって支持されている。第２移動装置１０３ｂは、第２部材１０５ａを、第１部材１０４ａに対してＹ軸に沿う方向に相対移動させる。第３部材１０６ａは、Ｚ軸に沿う方向に移動可能なように第２部材１０５ａによって支持されている。第３移動装置１０３ｃは、第３部材１０６ａを、第２部材１０５ａに対してＺ軸に沿う方向に相対移動させる。第３部材１０６ａは加工ヘッドＨＤを含む（換言すれば、加工ヘッドＨＤは第３部材１０６ａと一体的に移動する。）。

【0070】

図９に記載の例では、移動装置１０３は、加工ヘッドＨＤを３次元的に移動させることができる。代替的に、移動装置１０３は、加工ヘッドＨＤを２次元的または１次元的に移動させる装置であってもよい。

【0071】

（第２の実施形態）
図１０を参照して、第２の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｂ、および、工作機械１００Ｂについて説明する。図１０は、第２の実施形態における工作機械１００Ｂを模式的に示す図である。図１１は、第２の実施形態の変形例における工作機械１００Ｂを模式的に示す図である。図１２は、第１モータ４から回転体２４に動力を伝達する機構の一例を模式的に示す図である。

【0072】

第１の実施形態では、支持台３に接する第１モータ４が、テーブル装置２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動させる例について説明された。第２の実施形態では、支持台３に接する第１モータ４が、テーブル２１が固定された回転体２４を第１軸ＡＴ１まわりに回転させる。第１軸ＡＴ１は、例えば、鉛直方向に平行な軸である。

【0073】

第２の実施形態では、第１の実施形態と異なる点を中心に説明する。他方、第２の実施形態では、第１の実施形態で説明済みの事項についての繰り返しとなる説明は省略する。したがって、第２の実施形態において、明示的に説明をしなかったとしても、第１の実施形態において説明済みの事項を第２の実施形態に適用できることは言うまでもない。

【0074】

図１０に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｂは、（１）加工対象物であるワークＷを支持するテーブル２１を有するテーブル装置２と、（２）テーブル装置２を支持する支持台３と、（３）支持台３に接する第１部分４１、および、第１部分４１と比較して支持台３から遠い位置に配置される第２部分４２を有し、支持台３に対してテーブル装置２を相対移動させる第１モータ４と、（４）第１モータ４を冷却する冷却装置５と、を具備する。また、冷却装置５は、（５）エアに運動量を付与するファン５８と、（６）第１モータ４の第１部分４１にエアを供給する供給ダクト５１と、（７）第１モータ４の第２部分４２の周囲からエアを排気する排気ダクト５４と、を有する。

【0075】

また、図１０に記載の例では、工作機械１００Ｂは、上述のテーブル駆動装置１Ｂに加えて、ワークＷを加工する工具Ｔを支持する加工ヘッドＨＤと、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３と、を備える。

【0076】

以上のことから、第２の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｂおよび工作機械１００Ｂは、それぞれ、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａと同様の効果を奏する。

【0077】

（任意付加的な構成）
続いて、図１０乃至図１２を参照して、第２の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｂおよび工作機械１００Ｂにおいて採用可能な任意付加的な構成について説明する。

【0078】

図１０に記載の例では、テーブル装置２は、テーブル２１と、テーブル２１が固定された回転体２４とを有する。支持台３は、回転体２４を第１軸ＡＴ１まわりに回転可能に支持する。また、第１モータ４は、テーブル２１が固定された回転体２４を第１軸ＡＴ１まわりに回転させる。

【0079】

図１０に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｂは、第１モータ４を囲むカバー６を備える。図１０に記載の例では、第１モータ４を囲むカバー６と、第１モータ４の第２部分４２の周囲からエアを排気する排気ダクト５４とが一体的に成形されている。換言すれば、排気ダクト５４の一部が、第１モータ４を囲むカバー６として機能する。代替的に、排気ダクト５４と、第１モータ４を囲むカバー６とが別体であってもよい。

【0080】

図１２に記載の例では、回転体２４の回動軸である第１軸ＡＴ１は、第１モータ４の出力軸４４（あるいは、第１シャフト１３１の中心軸ＡＴ２）に垂直な面に対して平行である。

【0081】

図１２に記載の例では、第１モータ４は、機械的な動力伝達機構Ｍ１を介してテーブル装置２の回転体２４に動力を伝達する。より具体的には、テーブル駆動装置１Ｂは、第１モータ４の駆動力を、テーブル装置２の回転体２４に伝達する動力伝達部材１３を有する。図１２に記載の例では、動力伝達部材１３は、（１）第１モータ４の出力軸４４に連結される第１シャフト１３１と、（２）回転体２４に連結され、第１シャフト１３１の中心軸ＡＴ２まわりの第１シャフト１３１の回転を、第１軸ＡＴ１まわりの回転体２４の回転に変換する変換部材１３３と、を含む。なお、動力伝達部材１３、あるいは、変換部材１３３としては、公知の任意の部材（例えば、シャフト、カム、歯車、伝動ベルト等）を採用可能である。

【0082】

図１２に記載の例では、第１シャフト１３１は、ローラギヤカム１３１ａ（「グロボイダルカム」と呼ばれることもある。）を含み、変換部材１３３は、回転体２４の周囲に配置された複数のカムフォロワ１３３ａを含む。代替的に、第１シャフト１３１がウォームギヤを含み、回転体２４がウォームギヤに噛み合う歯車を含んでいてもよい。更に代替的に、第１シャフト１３１が第１傘歯車を含み、回転体２４が第１傘歯車に噛み合う第２傘歯車を含んでいてもよい。

【0083】

図１０に記載の例では、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向（換言すれば、第３方向ＤＲ３）は、テーブル装置２および支持台３から離れる方向である。また、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向（換言すれば、第３方向ＤＲ３）は、水平面に平行な方向である。

【0084】

図１０に記載の例では、工作機械１００Ｂは、支持台３が固定されるベース構造体９を備える。図１０に記載の例では、ベース構造体９に支持台３が固定され、支持台３に第１モータ４を囲むカバー６が固定されている。また、図１０に記載の例では、支持台３に第１モータ４の第１部分４１が固定されている。

【0085】

図１１に例示されるように、供給ダクト５１の第１端部５１ａは、工作機械１００Ｂの外壁１０８の第１開口部Ｅ１に接続されていてもよい。また、排気ダクト５４の第２端部５４ｂは、工作機械１００Ｂの外壁１０８の第２開口部Ｅ２に接続されていてもよい。

【0086】

（第３の実施形態）
図１３乃至図１８を参照して、第３の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｃ、および、工作機械１００Ｃについて説明する。図１３は、第３の実施形態における工作機械１００Ｃの一部分を模式的に示す図である。図１４は、第３の実施形態における工作機械１００Ｃの一部分を模式的に示す概略断面図である。図１５は、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３の一例について説明するための概略斜視図である。なお、図１５において、ダクト５０、カバー６、仕切り壁１１、外壁１０８等の記載は省略されている。図１６は、供給ダクト５１、排気ダクト５４、および、カバー６の配置の一例を模式的に示す図である。図１７は、制御装置８５と制御対象機器との間の接続関係の一例を模式的に示す図である。図１８は、制御装置８６が、温度センサ８１からの信号に基づいてファンモータ５９を制御可能な様子を模式的に示す図である。

【0087】

第３の実施形態では、第１の実施形態および第２の実施形態と異なる点を中心に説明する。他方、第３の実施形態では、第１の実施形態または第２の実施形態で説明済みの事項についての繰り返しとなる説明は省略する。したがって、第３の実施形態において、明示的に説明をしなかったとしても、第１の実施形態または第２の実施形態において説明済みの事項を第３の実施形態に適用できることは言うまでもない。逆に、第３の実施形態で説明される事項は、第１の実施形態または第２の実施形態に適用可能である。

【0088】

図１３および図１４に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｃは、（１）加工対象物であるワークＷを支持するテーブル２１を有するテーブル装置２と、（２）テーブル装置２を支持する支持台３と、（３）支持台３に接する第１部分４１、および、第１部分４１と比較して支持台３から遠い位置に配置される第２部分４２を有し、支持台３に対してテーブル装置２を相対移動させる第１モータ４と、（４）第１モータ４を冷却する冷却装置５と、を具備する。また、冷却装置５は、（５）エアに運動量を付与するファン５８と、（６）第１モータ４の第１部分４１にエアを供給する供給ダクト５１と、（７）第１モータ４の第２部分４２の周囲からエアを排気する排気ダクト５４と、を有する。

【0089】

また、図１５に記載の例では、工作機械１００Ｃは、上述のテーブル駆動装置１Ｃに加えて、ワークを加工する工具Ｔを支持する加工ヘッドＨＤと、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３と、を備える。

【0090】

以上のことから、第３の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｃおよび工作機械１００Ｃは、それぞれ、第１の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ａおよび工作機械１００Ａと同様の効果を奏する。

【0091】

（任意付加的な構成）
続いて、図１乃至図１８を参照して、第３の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｃおよび工作機械１００Ｃにおいて採用可能な任意付加的な構成について説明する。第３の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｃおよび工作機械１００Ｃにおいて、第１の実施形態で説明された任意付加的な構成を採用可能である。また、第３の実施形態におけるテーブル駆動装置１Ｃおよび工作機械１００Ｃにおいて、第２の実施形態で説明された任意付加的な構成を採用可能である。

【0092】

（テーブル装置２の傾動）
図１３に記載の例では、支持台３は、テーブル装置２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動可能に支持する。より具体的には、テーブル装置２は、テーブル２１を直接的または間接的に支持する支持ブロック２２を含み、支持台３は、当該支持ブロック２２を第１軸ＡＸ１まわりに傾動可能に支持する。支持ブロック２２は、複数の部品のアセンブリによって構成される。

【0093】

第１モータ４が、テーブル装置２（より具体的には、支持ブロック２２）を第１軸ＡＸ１まわりに傾動させる機構については、第１の実施形態において説明済みである（必要であれば、図３を参照。）。よって、第１モータ４が、テーブル装置２（より具体的には、支持ブロック２２）を第１軸ＡＸ１まわりに傾動させる機構についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0094】

図１３に例示されるように、テーブル装置２は、テーブル２１が固定される回転体２４を有していてもよい。回転体２４は、第２軸ＡＸ２まわりに回転可能なように、支持ブロック２２によって支持される。また、テーブル装置２は、回転体２４を第２軸ＡＸ２まわりに回転させる第２モータ１４（図４を参照。）を有する。

【0095】

第２モータ１４が、回転体２４を第２軸ＡＸ２まわりに回転させる機構については、第１の実施形態において説明済みである（必要であれば、図４を参照。）。よって、第２モータ１４が、回転体２４を第２軸ＡＸ２まわりに回転させる機構についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0096】

（カバー６）
図１４に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｃは、第１モータ４を囲むカバー６を備える。カバー６については、第１の実施形態において説明済みであるため、カバー６についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0097】

（仕切り壁１１）
図１３に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｃは、ワークが加工される加工領域（換言すれば、ワークＷを支持するテーブル２１が配置される第１領域ＲＧ１）と、第１モータ４およびカバー６が配置される第２領域ＲＧ２とを仕切る仕切り壁１１を備える。仕切り壁１１については、第１の実施形態において説明済みであるため、仕切り壁１１についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0098】

（第２冷却装置１５）
図６に例示されるように、テーブル駆動装置１Ａは、冷却液を用いて第２モータ１４を冷却する第２冷却装置１５を備えていてもよい。第２冷却装置１５については、第１の実施形態において説明済みであるため、第２冷却装置１５についての繰り返しとなる説明は省略する。

【0099】

（支持台３）
図１５に記載の例では、支持台３は、テーブル装置２の第１端部を傾動可能に支持する第１支持台３ａと、テーブル装置２の第２端部を傾動可能に支持する第２支持台３ｂとを含む。また、第１モータ４の第１部分４１が、第１支持台３ａに接している。より具体的には、第１モータ４の第１部分４１が、第１支持台３ａに取り付けられている。図１３に例示されるように、支持台３に第１モータ４を囲むカバー６が固定されていてもよい。

【0100】

（ベース構造体９）
図１５に記載の例では、工作機械１００Ｃは、ベース構造体９を備える。ベース構造体９には、支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ、および、第２支持台３ｂ）が固定される。

【0101】

（ダクト５０）
図１６に記載の例では、供給ダクト５１は、第１端部５１ａと、第２端部５１ｂとを有する。第１端部５１ａには、エア取込口ＯＰ１が設けられ、第２端部５１ｂには、エア吹出口ＯＰ２が設けられる。図１６に記載の例では、第２端部５１ｂは、第１端部５１ａよりも第１方向ＤＲ１側に配置されている。よって、供給ダクト５１は、全体として第１方向ＤＲ１に沿う方向の運動量成分を有するエアの流れを形成する。図１６に記載の例では、第２端部５１ｂの高さは、第１端部５１ａの高さよりも低い。代替的に、第２端部５１ｂの高さは、第１端部５１ａの高さより低くてもよいし、両端部の高さは同等であってもよい。

【0102】

平面視において、供給ダクト５１の延在方向は、第１方向ＤＲ１に平行であってもよい。また、図１４に例示されるように、供給ダクト５１の第１端部５１ａは、外壁１０８に形成された第１開口部Ｅ１に接続されていてもよい。

【0103】

図１４に記載の例では、排気ダクト５４は、第１端部５４ａと、第２端部５４ｂとを有する。第１端部５４ａには、エア取込口ＯＰ３が設けられ、第２端部５４ｂには、エア吹出口ＯＰ４が設けられる。図１４に記載の例では、第２端部５４ｂは、第１端部５４ａよりも第２方向ＤＲ２側に配置されている。よって、排気ダクト５４は、全体として第２方向ＤＲ２に沿う方向の運動量成分を有するエアの流れを形成する。

【0104】

図１４に記載の例では、排気ダクト５４は、供給ダクト５１よりも上方に配置されている。排気ダクト５４は、供給ダクト５１の直上に配置されてもよい。この場合、平面視におけるダクト５０のサイズをコンパクトにすることができる。

【0105】

図１４に記載の例では、供給ダクト５１と、カバー６と、排気ダクト５４とによって、略Ｕ字状のエア流路が規定されている。Ｕ字状のエア流路によって、第１モータ４の第１部分４１に向かうエアの流れと、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かうエアの流れと、第１モータ４の第２部分４２から離れるエアの流れとが形成される。

【0106】

図１４に記載の例では、供給ダクト５１のエア取込口ＯＰ１は、側方開口である。供給ダクト５１のエア取込口ＯＰ１が側方開口である場合、供給ダクト５１の第１端部５１ａ（換言すれば、エア取込口ＯＰ１側の端部）を、外壁１０８（より具体的には、側壁１０８ｂ）に取り付け易い。図１４に記載の例では、排気ダクト５４のエア吹出口ＯＰ４は、上方開口である。排気ダクト５４のエア吹出口ＯＰ４が上方開口である場合、エア吹出口ＯＰ４から吹き出される温かいエアが、排気ダクト５４よりも下方の空間に戻りにくい。

【0107】

図１３に記載の例では、排気ダクト５４のエア吹出口ＯＰ４は、平面視において外壁１０８よりも内側に配置されている。エア吹出口ＯＰ４が外壁１０８よりも内側に配置される場合、排気ダクト５４の長さを短くすることができる。また、外壁１０８よりも外側に位置する作業者が、エア吹出口ＯＰ４から吹き出されるエアに対して不快を感じることがない。

【0108】

図１３に記載の例では、排気ダクト５４のエア吹出口ＯＰ４は、平面視において、仕切り壁１１と外壁１０８との間に配置されている。また、図１３に記載の例では、エア吹出口ＯＰ４は上方開口である。この場合、エア吹出口ＯＰ４から吹き出される温かいエアが、支持台３に向かいにくい。

【0109】

（点検用の開口Ｂ２、および、パネルＰＮ）
図１３に例示されるように、外壁１０８には、外壁１０８と仕切り壁１１との間の第２領域ＲＧ２に配置された機器を保守または点検するための開口Ｂ２が形成されていてもよい。また、工作機械１００Ｃは、当該開口Ｂ２を開閉可能なパネルＰＮを備えていてもよい。図１３に記載の例では、開口Ｂ２を塞ぐように、パネルＰＮが外壁１０８に取り付けられている。

【0110】

（移動装置１０３）
図１５に記載の例では、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３は、水平面に平行なＸ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第１移動装置１０３ａと、水平面に平行なＹ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第２移動装置１０３ｂと、水平面に垂直なＺ軸に沿う方向に加工ヘッドＨＤを移動させる第３移動装置１０３ｃとを含む。図１５に記載の例では、Ｘ軸は、第１方向ＤＲ１と平行であり、Ｙ軸は、Ｘ軸方向と垂直である。

【0111】

図１５に記載の例では、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３は、第１部材１０４ｂと、第２部材１０５ｂと、第３部材１０６ｂと、を有する。第１部材１０４ｂは、Ｙ軸に沿う方向に移動可能なようにベース構造体９によって支持されている。第２移動装置１０３ｂは、第１部材１０４ｂを、ベース構造体９に対してＹ軸に沿う方向に相対移動させる。第２部材１０５ｂは、Ｘ軸に沿う方向に移動可能なように第１部材１０４ｂによって支持されている。第１移動装置１０３ａは、第２部材１０５ｂを、第１部材１０４ｂに対してＸ軸に沿う方向に相対移動させる。第３部材１０６ｂは、Ｚ軸に沿う方向に移動可能なように第２部材１０５ｂによって支持されている。第３移動装置１０３ｃは、第３部材１０６ｂを、第２部材１０５ｂに対してＺ軸に沿う方向に相対移動させる。第３部材１０６ｂは加工ヘッドＨＤを含む。

【0112】

図１５に記載の例では、移動装置１０３は、加工ヘッドＨＤを３次元的に移動させることができる。代替的に、移動装置１０３は、加工ヘッドＨＤを２次元的または１次元的に移動させる装置であってもよい。

【0113】

（ベース構造体９）
工作機械１００Ｃは、ベース構造体９を備える。図１５に記載の例では、ベース構造体９は、加工ヘッドＨＤを含む構造体（１０４ｂ、１０５ｂ、１０６ｂ）を移動可能に支持する。図１３に例示されるように、第１モータを囲むカバー６は、第１モータとベース構造体９との間に配置される第１壁６２ａを含んでいてもよい。第１モータがカバー６によって囲まれ、且つ、第１モータとベース構造体９とが第１壁６２ａによって隔離されることにより、第１モータから生じる熱が、ベース構造体９に伝わりにくい。よって、ベース構造体９の熱変形が抑制される。

【0114】

図１５に記載の例では、ベース構造体９は、移動装置１０３の第１部材１０４ｂの移動をガイドするガイド部材９１（より具体的には、ガイドレール９１ｒ）を含む。また、図１３に記載の例では、第１モータを囲むカバー６は、第１モータとガイド部材９１との間に配置される第１壁６２ａを含む。この場合、第１モータから生じる熱が、ガイド部材９１に伝わりにくい。よって、ガイド部材９１の熱変形が抑制され、加工ヘッドＨＤの位置精度の低下が抑制される。

【0115】

（給電線７１、制御線７３、信号線７５、および、制御装置８５）
図１６に記載の例では、テーブル駆動装置１Ｃは、第１モータ４に電力を供給する給電線７１を備える。付加的に、テーブル駆動装置１Ｃは、第１モータ４に、第１モータ４の回転部の回転を停止させる制御指令を送信する制御線７３（例えば、第１モータ４の電磁ブレーキを作動させる制御線）を備えていてもよい。代替的に、あるいは、付加的に、テーブル駆動装置１Ｃは、第１モータ４に設けられたエンコーダ７４からの信号（より具体的には、第１モータ４の回転位相を示す信号）を制御装置８５に伝達する信号線７５を備えていてもよい。図１７に記載の例では、制御装置８５は、第１モータ４、および、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３（例えば、上述の第１移動装置１０３ａ、上述の第２移動装置１０３ｂ、および、上述の第３移動装置１０３ｃ）を制御する。付加的に、制御装置８５は、第２モータ１４、および、冷却液を循環させるポンプ１５１を制御してもよい。

【0116】

図１６に例示されるように、上述の給電線７１、上述の制御線７３、および、上述の信号線７５のうちの少なくとも一つが、供給ダクト５１および排気ダクト５４のうちの少なくとも一方に形成された開口ＯＰ５を通過するように配置されていてもよい。図１６に記載の例では、上述の給電線７１が、排気ダクト５４に形成された開口ＯＰ５を通過するように配置されている。付加的に、上述の制御線７３、および／または、上述の信号線７５が、排気ダクト５４に形成された開口ＯＰ５を通過するように配置されていてもよい。

【0117】

第１モータ４がカバー６によって囲まれ、給電線７１、制御線７３、および、信号線７５の各々が、ダクト５０に形成された開口ＯＰ５を通過するように配置される場合、給電線７１、制御線７３、および、信号線７５の各々と第１モータ４との接続部が、ダクト５０およびカバー６によって保護される。

【0118】

（温度センサ８１、および、制御装置８５）
図１６に例示されるように、テーブル駆動装置１Ｃは、温度センサ８１を有していてもよい。温度センサ８１は、第１モータ４の温度、カバー６の内部空間の温度、または、排気ダクト５４の内部空間の温度を検出する。

【0119】

図１８に例示されるように、テーブル駆動装置１Ｃは、ファンモータ５９を制御する制御装置８６を有していてもよい。ファンモータ５９を制御する制御装置８６は、第１モータ４を制御する制御装置８５と同一であってもよい。換言すれば、１つの制御装置８５が第１モータ４とファンモータ５９とを制御してもよい。制御装置８６は、温度センサ８１から受け取る信号に基づいて、ファンモータ５９を制御してもよい。例えば、制御装置８６は、温度センサ８１から受け取る信号に基づいて、ファンモータ５９のＯＮ／ＯＦＦを制御してもよい。代替的に、あるいは、付加的に、制御装置８６は、温度センサ８１から受け取る信号に基づいて、ファンモータ５９の回転数を制御してもよい。

【0120】

例えば、温度センサ８１によって検出される検出温度が、第１閾値ＴＨ１を超えることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９をＯＦＦからＯＮに切り替えてもよい。代替的に、あるいは、付加的に、温度センサ８１によって検出される検出温度が、第２閾値ＴＨ２を超えることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９の回転数を増加させてもよい。また、温度センサ８１によって検出される検出温度が、第３閾値ＴＨ３以下になることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９をＯＮからＯＦＦに切り替えてもよい。代替的に、あるいは、付加的に、温度センサ８１によって検出される検出温度が、第４閾値ＴＨ４以下になることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９の回転数を減少させてもよい。

【0121】

代替的に、温度センサ８１によって検出される検出温度から参照温度を減算することにより得られる値が、第５閾値ＴＨ５を超えることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９をＯＦＦからＯＮに切り替えてもよい。なお、参照温度は、第１モータ４が駆動される前に温度センサ８１によって検出された温度であってもよい。代替的に、参照温度は、任意の参照位置（例えば、供給ダクト５１のエア取込口の近傍位置）に配置される第２の温度センサ８２によって検出される温度であってもよい。

【0122】

代替的に、あるいは、付加的に、温度センサ８１によって検出される検出温度から上述の参照温度を減算することにより得られる値が、第６閾値ＴＨ６を超えることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９の回転数を増加させてもよい。

【0123】

また、温度センサ８１によって検出される検出温度から上述の参照温度を減算することにより得られる値が、第７閾値ＴＨ７以下になることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９をＯＮからＯＦＦに切り替えてもよい。代替的に、あるいは、付加的に、温度センサ８１によって検出される検出温度から上述の参照温度を減算することにより得られる値が、第８閾値ＴＨ８以下になることに応じて、制御装置８６は、ファンモータ５９の回転数を減少させてもよい。

【0124】

代替的に、ファンモータ５９は、工作機械１００Ｃの運転中に、あるいは、第１モータ４の駆動中に、常時駆動されてもよい。

【0125】

（ワーク加工方法）
図１乃至図１９を参照して、実施形態におけるワーク加工方法について説明する。図１９は、実施形態におけるワーク加工方法の一例を示すフローチャートである。

【0126】

実施形態におけるワーク加工方法は、工作機械１００（例えば、第１の実施形態における工作機械１００Ａ、第２の実施形態における工作機械１００Ｂ、第３の実施形態における工作機械１００Ｃ、あるいは、他の工作機械）を用いて行われる。

【0127】

第１ステップＳＴ１において、工作機械１００の電源がＯＮにされる。第１ステップＳＴ１は、工作機械の起動工程である。

【0128】

第２ステップＳＴ２において、支持台３に接する第１モータ４が冷却される。第２ステップＳＴ２は、第１冷却工程である。第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、工作機械１００の電源がＯＮにされると同時に開始されてもよい。代替的に、第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、温度センサ８１によって検出される検出温度が第１閾値ＴＨ１を超えることに応じて開始されてもよい。例えば、第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、後述の移動工程（第５ステップＳＴ５）および／または後述のワーク加工工程（第６ステップＳＴ６）の実行中または実行後に、温度センサ８１によって検出される検出温度が第１閾値ＴＨ１を超えることに応じて開始されてもよい。更に代替的に、第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、温度センサ８１によって検出される検出温度から参照温度を減算することにより得られる値が、第５閾値ＴＨ５より高くなることに応じて開始されてもよい。例えば、第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、後述の移動工程（第５ステップＳＴ５）および／または後述のワーク加工工程（第６ステップＳＴ６）の実行中または実行後に、温度センサ８１によって検出される検出温度から参照温度を減算することにより得られる値が、第５閾値ＴＨ５より高くなることに応じて開始されてもよい。

【0129】

第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、（１）ファン５８を用いてエアに運動量を付与すること、（２）第１モータ４の第１部分４１に、供給ダクト５１からエアを供給すること、（３）支持台３から離れる方向に、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向けてエアを流すことにより、エアを用いて第１モータ４を冷却すること、および、（４）第１モータ４の第２部分４２の周囲から、排気ダクト５４を介して、エアを排出すること、を含む。

【0130】

付加的に、実施形態におけるワーク加工方法は、テーブル２１を第２軸ＡＸ２まわりに回転させる第２モータ１４を冷却する第２冷却工程を有していてもよい。第２冷却工程（第３ステップＳＴ３）は、第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）と同時に実行されてもよい。図６に記載の例では、テーブル装置２に設けられた第２モータ１４の冷却が冷却液を用いて行われ、支持台３に接する第１モータ４の冷却がエアを用いて行われる。この場合、冷却液を用いて第２モータ１４が冷却されることにより、テーブル装置２の熱変形が効果的に抑制される。また、エアを用いて第１モータ４の冷却が行われることにより、低コスト且つ省エネルギで、支持台３の熱変形が抑制される。

【0131】

第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）は、第１モータ４と第１モータ４を囲むカバー６との間の領域において、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向けてエアを流すことを含んでいてもよい。第１モータ４とカバー６との間の比較的狭い領域をエアが流れることにより、第１モータ４およびカバー６の両方が効果的に冷却される。よって、第１モータ４から生じる熱に起因して、カバー６の外側に配置された部材が熱変形することが効果的に抑制される。

【0132】

第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）において、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向は、上方向であってもよいし（図１、図１４を参照。）、平面視において支持台３（より具体的には、第１支持台３ａ）から離れる方向であってもよい（図８を参照。）。

【0133】

第４ステップＳＴ４において、テーブル装置２のテーブル２１にワークＷが固定される。第４ステップＳＴ４は、ワーク固定工程である。ワーク固定工程（第４ステップＳＴ４）は、上述の第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）の開始後に実行されてもよし、上述の第１冷却工程（第２ステップＳＴ２）の開始前に実行されてもよい。

【0134】

第５ステップＳＴ５において、第１モータ４の駆動力を用いて、テーブル装置２を支持する支持台３に対してテーブル装置２が相対移動される。第５ステップＳＴ５は、移動工程である。

【0135】

移動工程（第５ステップＳＴ５）は、第１軸ＡＸ１まわりにテーブル装置２を傾動させることを含んでいてもよい。図１、図１３に記載の例において、テーブル装置２の傾動は、第１モータ４の駆動力を用いて行われる。第１軸ＡＸ１は、例えば、水平面に平行な軸である。テーブル装置２の傾動は、支持台３に対して、支持ブロック２２を第１軸ＡＸ１まわりに回動させることを含んでいてもよい。

【0136】

代替的に、あるいは、付加的に、移動工程（第５ステップＳＴ５）は、テーブル２１を回転させることを含んでいてもよい。

【0137】

図６に記載の例では、テーブル２１の回転は、第１モータ４とは異なる第２モータ１４の駆動力を用いて行われる。図６に記載の例では、第２モータ１４は、テーブル２１が固定された回転体２４を、支持ブロック２２に対して、第２軸ＡＸ２まわりに回転させる。第２軸ＡＸ２は、例えば、テーブル２１の上面に垂直な軸である。

【0138】

図１０に記載の例では、テーブル２１の回転は、第１モータ４の駆動力を用いて行われる。図１０に記載の例では、第１モータ４は、テーブル２１が固定された回転体２４を、支持台３に対して、第１軸ＡＴ１まわりに回転させる。第１軸ＡＴ１は、例えば、水平面に垂直な軸である。図１０に記載の例では、第１軸ＡＴ１は、テーブル２１の上面に垂直な軸である。

【0139】

代替的に、あるいは、付加的に、移動工程（第５ステップＳＴ５）は、テーブル装置２を直線的に移動させることを含んでいてもよい。

【0140】

第６ステップＳＴ６において、工具Ｔを用いてワークＷが加工される。第６ステップＳＴ６は、ワーク加工工程である。ワーク加工工程（第６ステップＳＴ６）は、ワークＷに対して工具Ｔを相対移動させることに行われる。当該相対移動は、加工ヘッドＨＤを移動させる移動装置１０３を用いて行われる。代替的に、あるいは、付加的に、当該相対移動は、上述の第１モータ４、および／または、上述の第２モータ１４を用いて行われてもよい。

【0141】

実施形態におけるワーク加工方法では、供給ダクト５１によって第１モータ４の第１部分４１にエアが供給されることにより、第１モータ４の第１部分４１が、効果的に冷却される。よって、第１モータ４から生じる熱が、第１部分４１から支持台３に伝達されることが防止または抑制される。また、実施形態におけるワーク加工方法では、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かってエアが流れる。よって、支持台３に近い第１部分４１の冷却に用いられたエアが、第１モータ４の第２部分４２の冷却にも利用される。また、第１モータ４の第１部分４１から第１モータ４の第２部分４２に向かう方向は、支持台３から離れる方向である。よって、第１モータ４との接触により温度が上昇したエアが、支持台３に向かって移動することが防止または抑制される。

【0142】

実施形態におけるワーク加工方法では、第１モータ４から、第１部分４１あるいはエアを介して、支持台３に熱が伝わることが抑制されるため、支持台３およびテーブル装置２の熱変形が抑制される。よって、第１モータ４の使用時間の増加に伴って、テーブル装置２によって支持されるワークＷの位置精度が低下することが抑制される。また、ワークＷの位置精度の低下が抑制されるため、ワークＷの加工精度の低下も抑制される。

【0143】

本発明は上記各実施形態または各変形例に限定されず、本発明の技術思想の範囲内において、各実施形態または各変形例は適宜変形又は変更され得ることは明らかである。また、各実施形態または各変形例で用いられる種々の技術は、技術的矛盾が生じない限り、他の実施形態または他の変形例にも適用可能である。さらに、各実施形態または各変形例における任意付加的な構成は、適宜省略可能である。

【符号の説明】

【0144】

１、１Ａ、１Ｂ、１Ｃ…テーブル駆動装置、２…テーブル装置、２ａ…第１端部、２ｂ…第２端部、３…支持台、３ａ…第１支持台、３ｂ…第２支持台、３ｔ…頂部、４…第１モータ、４ｔ…頂部、５…冷却装置、６…カバー、９…ベース構造体、１１…仕切り壁、１３…動力伝達部材、１４…第２モータ、１５…第２冷却装置、２１…テーブル、２２…支持ブロック、２２ａ…第１ブロック、２２ｂ…第２ブロック、２２ｃ…第３ブロック、２４…回転体、３１ｔ…支持台の頂部の一部分、４１…第１モータの第１部分、４１ａ…第１モータの第１端部、４２…第１モータの第２部分、４２ａ…第１モータの第２端部、４４…出力軸、５０…ダクト、５１…供給ダクト、５１ａ…第１端部、５１ｂ…第２端部、５４…排気ダクト、５４ａ…第１端部、５４ｂ…第２端部、５７…フィルタ、５８…ファン、５８ａ…取込ファン、５８ｂ…排出ファン、５９…ファンモータ、６０…壁、６２…側壁、６２ａ…第１壁、６２ｂ…第２壁、６３…頂壁、６９ａ…第１ポート、６９ｂ…第２ポート、７１…給電線、７３…制御線、７４…エンコーダ、７５…信号線、８１…温度センサ、８２…第２の温度センサ、８５…制御装置、８６…制御装置、９１…ガイド部材、９１ｒ…ガイドレール、１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ…工作機械、１０３…移動装置、１０３ａ…第１移動装置、１０３ｂ…第２移動装置、１０３ｃ…第３移動装置、１０４ａ…第１部材、１０４ｂ…第１部材、１０５ａ…第２部材、１０５ｂ…第２部材、１０６ａ…第３部材、１０６ｂ…第３部材、１０８…外壁、１０８ａ…正面壁、１０８ｂ…側壁、１０８ｃ…背面壁、１０９…扉、１３１…第１シャフト、１３１ａ…ローラギヤカム、１３３…変換部材、１３３ａ…カムフォロワ、１４４…出力軸、１５１…ポンプ、Ｂ１…開口、Ｂ２…開口、Ｅ１…第１開口部、Ｅ２…第２開口部、ＦＬ…冷却液流路、ＦＰ１…第１流路、ＨＤ…加工ヘッド、Ｍ１…動力伝達機構、Ｍ２…動力伝達機構、ＯＰ１…エア取込口、ＯＰ２…エア吹出口、ＯＰ３…エア取込口、ＯＰ４…エア吹出口、ＯＰ５…開口、ＰＮ…パネル、ＲＧ１…第１領域、ＲＧ２…第２領域、ＳＰ１…内部領域、ＳＰ２…空間、Ｔ…工具、Ｗ…ワーク

【要約】

テーブル駆動装置は、ワークを支持するテーブルを有するテーブル装置と、テーブル装置を支持する支持台と、支持台に接する第１部分、および、第１部分と比較して支持台から遠い位置に配置される第２部分を有し、支持台に対してテーブル装置を相対移動させる第１モータと、第１モータを冷却する冷却装置と、を具備する。冷却装置は、エアに運動量を付与するファンと、第１モータの第１部分にエアを供給する供給ダクトと、第１モータの第２部分の周囲から前記エアを排気する排気ダクトと、を有する。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】