特許 7358124 基板搬送装置の給脂装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-09-29

(45)【発行日】2023-10-10

(54)【発明の名称】基板搬送装置の給脂装置

(51)【国際特許分類】

   F16N 7/14 20060101AFI20231002BHJP

   H01L 21/677 20060101ALI20231002BHJP

   F16N 9/04 20060101ALI20231002BHJP

   F16N 11/06 20060101ALI20231002BHJP

   F16N 19/00 20060101ALI20231002BHJP

   B23Q 11/12 20060101ALN20231002BHJP

【ＦＩ】

F16N7/14

H01L21/68 A

F16N9/04

F16N11/06

F16N19/00

B23Q11/12 E

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2019162616

(22)【出願日】2019-09-06

(65)【公開番号】P2021042764

(43)【公開日】2021-03-18

【審査請求日】2022-08-31

(73)【特許権者】

【識別番号】000000974

【氏名又は名称】川崎重工業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000556

【氏名又は名称】弁理士法人有古特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】松岡 淳一

(72)【発明者】

【氏名】山田 幸政

(72)【発明者】

【氏名】山▲崎▼ 大

(72)【発明者】

【氏名】田中 優一郎

【審査官】糟谷 瑛

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－１７７７１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－０２６９３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ１６Ｎ １／００－９９／００

Ｆ１６Ｈ １９／０４

Ｆ１６Ｈ ２５／１８－２５／２４

Ｆ１６Ｈ ５７／０４－５７／０５

Ｈ０１Ｌ ２１／００－２１／９８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

所定方向に延びる第一係合部を備える第一部材と、第二係合部を備え前記第二係合部を前記第一係合部に係合させて前記第一部材に対して相対的に前記所定方向に移動可能な第二部材とを備える基板搬送装置に使用される給脂装置であって、
グリスを貯え、前記グリスの押出口を有するタンクと、
前記タンク内の前記グリスを加圧する加圧体と、
前記押出口から押し出される前記グリスを所定の長さで切断する切断装置と、
前記切断装置が切断したグリス片を前記第一係合部に塗布する塗布体と
を備え、
前記第一係合部に所定の条件を満たす毎に所定量のグリスを供給する給脂装置。

【請求項2】

前記タンクの前記押出口が下方に開口している、請求項１に記載の給脂装置。

【請求項3】

前記塗布体が前記切断装置として機能する、請求項１又は２に記載の給脂装置。

【請求項4】

前記タンクが、長尺形状を備え、上下方向を長手方向としており、
前記タンクの押出口を開閉する開閉体を備える、請求項１に記載の給脂装置。

【請求項5】

前記加圧体が前記タンク内の前記グリスを下向きに加圧する重りである、請求項２から４のいずれかに記載の給脂装置。

【請求項6】

前記タンク内の前記グリスを加圧する圧力流体の供給と供給停止とを切替える加圧装置と、前記タンクに連通するグリス流路とを備えており、
前記第一係合部がラックであり、前記第二係合部がピニオンであり、
前記ラックが、前記ピニオンの歯と係合する歯が形成された表面と、前記表面に貫通する給脂孔とを備えており、
前記給脂孔が前記グリス流路に接続されている、請求項１に記載の給脂装置。

【請求項7】

前記タンクに連通するグリス流路と、前記グリス流路を開閉する開閉弁とを備えており、
前記第一係合部がラックであり、前記第二係合部がピニオンであり、
前記ラックが、前記ピニオンの歯と係合する歯が形成された表面と、前記表面に貫通する給脂孔とを備えており、
前記給脂孔が前記グリス流路に接続されている、請求項１に記載の給脂装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、基板搬送装置に使用される給脂装置に関する。

【背景技術】

【0002】

搬送装置では、係合して相対的に移動する機械部品間に、グリスやオイル等の潤滑剤が給脂される。この様な給脂を必要とするロボットで、給脂口にグリスガンを接続し、グリスが注入される例が、特許文献１（特開２００５－１７７９１４号公報）に記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００５－１７７９１４号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

この様な搬送装置では、潤滑剤の供給不足は、機械部品の摩耗や損傷を招く。機械部品の摩耗や損傷は、搬送装置の位置精度を低下させる。一方で、この潤滑剤の供給過多は、潤滑剤の漏洩や飛散等を生じる。潤滑剤の漏洩や飛散等は、機械部品の周辺環境を悪化させる。

【0005】

半導体等の基板の製造工程や運搬にも、搬送装置（基板搬送装置）が用いられる。この様な基板は、クリーンな環境で取り扱われる。この基板搬送装置では、潤滑剤による周辺環境の悪化を抑制しなければならない。この基板搬送装置では、摩耗や損傷を抑制しつつ、潤滑剤の供給過多を抑制しなければならない。

【0006】

本発明の目的は、基板搬送装置をクリーンに維持しつつ適正に潤滑できる給脂装置の提供にある。

【課題を解決するための手段】

【0007】

本発明に係る給脂装置は、所定方向に延びる第一係合部を備える第一部材と、第二係合部を備え前記第二係合部を前記第一係合部に係合させて前記第一部材に対して相対的に前記所定方向に移動可能な第二部材とを備える基板搬送装置に使用される。この給脂装置は、前記第一係合部に所定の条件を満たす毎に所定量のグリスを供給する。

【0008】

好ましくは、前記所定方向が上下方向である。

【0009】

好ましくは、この給脂装置は、長尺形状を備え前記上下方向を長手方向として前記グリスを貯えるタンクと、前記タンク内の前記グリスを加圧する加圧体と、前記タンクの押出口を開閉する開閉体と、前記押出口から押し出される前記グリスを切断し、この切断したグリス片を前記第一係合部に塗布する塗布体とを備える。

【0010】

好ましくは、前記加圧体は前記タンク内の前記グリスを下向きに加圧する重りである。

【0011】

好ましくは、この給脂装置は、前記グリスを貯えるタンクと、前記タンク内の前記グリスを加圧する圧力流体の供給と供給停止とを切替える加圧装置と、前記タンクに連通するグリス流路とを備える。前記第一係合部はラックであり、前記第二係合部はピニオンである。前記ラックは、前記ピニオンの歯と係合する歯が形成された表面と、前記表面に貫通する給脂孔とを備える。前記給脂孔は前記グリス流路に接続されている。

【0012】

好ましくは、この給脂装置は、前記グリスを貯えるタンクと、前記タンク内の前記グリスを加圧する加圧体と、前記タンクに連通するグリス流路と、前記グリス流路を開閉する開閉弁とを備える。前記第一係合部はラックであり、前記第二係合部はピニオンである。前記ラックは、前記ピニオンの歯と係合する歯が形成された表面と、前記表面に貫通する給脂孔とを備える。前記給脂孔は前記グリス流路に接続されている。

【発明の効果】

【0013】

本発明に係る給脂装置は、所定方向に延びる第一係合部に所定の条件を満たす毎に所定量のグリスを供給する。給脂装置は、クリーンな環境を維持しつつ、基板搬送装置を適正に潤滑できる。

【図面の簡単な説明】

【0014】

【図1】図１は、本発明に係る一の実施形態に係る給脂装置と、この給脂装置が使用される昇降装置とを備える、基板搬送装置の概略図である。

【図2】図２は、図１の基板搬送装置の給脂装置及び昇降装置の説明図である。

【図3】図３は、図１の基板搬送装置の昇降装置の他の説明図である。

【図4】図４（Ａ）は図２の給脂装置の使用状態の説明図であり、図４（Ｂ）はこの給脂装置の他の使用状態の説明図であり、図４（Ｃ）はこの給脂装置の更に他の使用状態の説明図であり、図４（Ｄ）はこの給脂装置の更に他の使用状態の説明図である。

【図5】図５は、本発明に係る他の実施形態に係る給脂装置の説明図である。

【図6】図６（Ａ）は図５の給脂装置の使用状態の説明図であり、図６（Ｂ）はこの給脂装置の他の使用状態の説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0015】

以下、適宜図面が参照されつつ、好ましい実施形態に基づいて本発明が詳細に説明される。

【0016】

図１には、基板２と、基板２を収容する容器４と、基板２を搬送する基板搬送装置６とが示されている。図１の左右方向が基板搬送装置６の前後方向であり、紙面に垂直な方向が基板搬送装置６の左右方向である。

【0017】

基板２は、例えば、半導体基板、ガラス基板等である。この基板２は、例えば、円形の薄板である。半導体基板としては、シリコン基板、サファイヤ（単結晶アルミナ）基板、その他の各種の基板等が例示される。ガラス基板としては、ＦＰＤ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）用ガラス基板、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）用ガラス基板等が例示される。

【0018】

容器４は、基板２を収容する。この容器４は、上下方向に並べられた状態で、複数の基板２を収容可能である。容器４は、特に限定されないが、例えばＦＯＵＰ（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）である。この容器４は、図示されないテーブルに載置されている。

【0019】

基板搬送装置６は、マニピュレータ８、ハンド１０及び制御装置１２を備える。ここでは、マニピュレータ８は、ハンド１０を前後方向に移動させる直動機構を備える。マニピュレータ８は、直動関節ロボットをベースにしたものが例示されている。なお、本発明に係るマニピュレータ８は、直動関節ロボットをベースにしたものに限定されない。このマニピュレータ８は、水平多関節ロボットをベースにしたものでもよく、垂直多関節ロボットをベースにしたものでもよい。

【0020】

マニピュレータ８は、昇降装置１４及びアーム１６を備えている。このアーム１６は、第一アーム１６Ａ及び第二アーム１６Ｂを備えている。

【0021】

昇降装置１４は、第一部材としての基台１８と、第二部材としての昇降軸２０とを備えている。基台１８は、例えば、図示されない床に固定されている。基台１８は、昇降軸２０を支持している。昇降軸２０は、移動装置としての、例えばリニアガイドを介して、基台１８に取り付けられている。昇降軸２０は、基台１８に対して上下方向に移動可能である。

【0022】

昇降軸２０には、第一アーム１６Ａの基端部が接続されている。図１の一点鎖線Ｌ１は、上下方向に延びる軸線を表している。第一アーム１６Ａは、軸線Ｌ１周りに回動可能である。昇降軸２０には、第一アーム１６Ａを回動可能に支持する回転装置と駆動モータとが配置されている。図１では、第一アーム１６Ａは、前後方向を長手方向にして延びている。

【0023】

第一アーム１６Ａには、第二アーム１６Ｂの基端部が接続されている。第二アーム１６Ｂは、第一アーム１６Ａの長手方向に、第一アーム１６Ａに対して移動可能である。第一アーム１６Ａには、第二アーム１６Ｂを移動可能に支持する移動装置と駆動モータとが配置されている。

【0024】

第二アーム１６Ｂには、ハンド１０の基端部が接続されている。ハンド１０は、第二アーム１６Ｂの長手方向に、第二アーム１６Ｂに対して移動可能である。第二アーム１６Ｂには、ハンド１０を移動可能に支持する移動装置と駆動モータとが配置されている。

【0025】

ハンド１０は、ハンド本体１０Ａと複数の爪１０Ｂを備えている。ハンド本体１０Ａは、上下方向を厚さ方向とする板状の形状を備えている。ハンド本体１０Ａの上面に、複数の爪１０Ｂが取り付けられている。ハンド１０は、複数の爪１０Ｂによって、基板２を支持可能である。図１では、ハンド１０に基板２が支持されている。

【0026】

制御装置１２は、図示されないが、記憶部、演算部及び入出力部を備えている。記憶部には、基本プログラム、各種固定データ等の情報が記憶されている。記憶部として、ＲＯＭ、ＲＡＭ等が例示される。演算部は、記憶部に記憶された基本プログラム等のソフトウェアを読み出して実行する。演算部は、入出力部から入力される各種データを基に演算を実行する。演算部として、ＣＰＵが例示される。入出力部は、マニピュレータ８や図示されないセンサ等との間で電気的信号の入出力をする。入出力部として、インターフェースボードが例示される。制御装置１２は、マイクロコンピュータで構成されてもよく、ＰＬＣ(Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ)、ＭＰＵ等によって構成されてもよい。

【0027】

図２には、昇降装置１４の一部と共に、給脂装置２２及びオイルガイド２４が示されている。この基板搬送装置６は、この給脂装置２２及びオイルガイド２４を備えている。昇降装置１４は、第一係合部としてのラック２６と、第二係合部としてのピニオン２８とを備えている。ラック２６は、基台１８の本体に取り付けられている。ピニオン２８は、昇降軸２０の本体に取り付けられている。なお、図２では、基台１８及び昇降軸２０は、その一部が示されている。

【0028】

給脂装置２２は、タンク３０と、重りとしてのピストン３２と、塗布体３４と、駆動装置としてのシリンダ３６と、受板３８とを備えている。給脂装置２２は、昇降軸２０に取り付けられている。

【0029】

タンク３０は、貯留室４０、押出口４２及び通気孔４４を備える。タンク３０は、上下方向を長手方向にして延在している。貯留室４０は、上下方向を長手方向にして形成されている。貯留室４０に、グリスＧが貯えられる。押出口４２は、貯留室４０から下方に開口する。通気孔４４は、貯留室４０から上方に開口する。押出口４２の開口面積は、貯留室４０の断面積より小さい。貯留室４０は、長手方向において、断面積が一定の部分と、この一定の部分から押出口４２までの間で押出口４２に向かって断面積が漸減する部分とからなっている。

【0030】

ピストン３２は、貯留室４０に収容されている。ピストン３２は、貯留室４０の断面積が一定の部分において、壁面４０Ａに摺動可能である。ピストン３２は、貯留室４０の下方のグリスＧと上方の空間とを仕切っている。通気孔４４は、この上方の空間に連通している。

【0031】

塗布体３４は、板状の形状を備えている。この図２では、塗布体３４は押出口４２を塞いでいる。塗布体３４は、シリンダ３６によって、前後方向に移動可能である。受板３８は、押出口４２の下方に位置している。受板３８は、押出口４２に対向している。塗布体３４は、押出口４２と受板３８との間で、前後方向に移動可能である。

【0032】

ラック２６は、上下方向に並べられた複数の歯４６を備えている。複数の歯４６は、ピニオン２８に対向する表面２６Ａに形成されている。ピニオン２８は、昇降軸２０の本体に回転可能に支持されている。ピニオン２８は、その周方向に並ぶ複数の歯４８を備えている。ラック２６の歯４６とピニオン２８の歯４８とが係合している。図示されないが、昇降装置１４は、昇降軸２０を基台１８に対して上下方向に移動可能に支持する移動装置と、ピニオン２８を回転駆動する駆動モータとを備えている。

【0033】

図３に示される様に、この昇降装置１４では、ラック２６とピニオン２８とは、ヘリカルギア（はすば歯車）で形成されている。なお、本発明に係るラック２６及びピニオン２８は、ヘリカルギアに限定されず、スパーギア（平歯車）で形成されてもよい。

【0034】

図４（Ａ）から図４（Ｄ）には、図２の給脂装置２２の使用状態が示されている。図４（Ａ）では、塗布体３４が押出口４２を塞いでいる。図４（Ｂ）では、塗布体３４は、シリンダ３６によって、ラック２６から離れて位置している。押出口４２は開口されている。ピストン３２(図２参照)の重みで押出口４２からグリスＧが押し出されている。押し出されたグリスＧは、受板３８に当接している。

【0035】

図４（Ｃ）では、塗布体３４は、シリンダ３６によって、図４（Ｂ）の位置から図４（Ｄ）の位置に移動する途中に位置している。塗布体３４は、押出口４２から押し出されたグリスＧを所定の押出長さで切断している。ここでは、押出口４２から受板３８までの距離を押出長さとして、塗布体３４がグリスＧを切断している。この切断によって、グリスＧから、所定量のグリス片Ｇｐが形成されている。塗布体３４は、グリス片Ｇｐをラック２６の表面２６Ａに向かって押している。図４（Ｃ）では、塗布体３４は、押出口４２を塞いでいる。

【0036】

図４（Ｄ）では、塗布体３４は、シリンダ３６によって、最もラック２６に近づいている。グリス片Ｇｐが塗布体３４によってラック２６の表面２６Ａに塗布されている。

【0037】

図４（Ａ）から図４（Ｄ）を参照しつつ、給脂装置２２の給脂方法が説明される。この給脂方法では、図２に示される様に、タンク３０にグリスＧが貯留されている。このグリスＧは、ピストン３２によって加圧されている。

【0038】

図４（Ａ）に示される様に、押出口４２は塗布体３４で塞がれている（ＳＴＥＰ１）。このタンク３０からグリスＧが押し出される（ＳＴＥＰ２）。このＳＴＥＰ２では、シリンダ３６が塗布体３４をラック２６から離れた位置に移動させる。押出口４２が開口する。押出口４２からグリスＧが押し出される。図４（Ｂ）に示される様に、押し出されたグリスＧが受板３８に当接する。

【0039】

グリスＧが切断されてグリス片Ｇｐが形成される（ＳＴＥＰ３）。このＳＴＥＰ３では、シリンダ３６が、塗布体３４を、図４（Ｂ）の位置からラック２６に近づく向きに移動させる。塗布体３４は、押出口４２を塞ぎつつ、グリスＧを切断する。図４（Ｃ）に示される様に、塗布体３４が押出口４２を塞ぎ、所定量のグリス片Ｇｐが形成される。

【0040】

グリス片Ｇｐがラック２６に塗布される（ＳＴＥＰ４）。このＳＴＥＰ４では、シリンダ３６が、塗布体３４を、図４（Ｃ）の位置からラック２６に近づく向きに移動させる。この塗布体３４がグリス片Ｇｐをラック２６の歯４６に塗布する。

【0041】

この給脂方法では、このＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ４が、所定の条件を満たす毎に繰り返される。例えば、このＳＴＥＰ１からＳＴＥＰ４が、周期的に繰り返される。また、この所定の条件は、例えば、所定の時間、所定の動作回数、所定の動作距離であってもよい。この所定の条件は、センサで塗布されたグリスの劣化や膜厚等のグリス状態を検知し、このグリス状態を基準に定められてもよい。この所定の条件は、温度や駆動モータの電流値等を基準にして定められてもよい。

【0042】

図１の基板搬送装置６は、クリーンルーム等のクリーンな環境で使用される。給脂装置２２では、潤滑剤としてグリスＧが用いられている。グリスＧは、液状潤滑油又はその他の液状潤滑剤に増ちょう剤を加えた、常温で半固体ののり状又は固体状の潤滑剤である。このグリスＧは、液状潤滑油に比べて、飛散や漏洩が少ない。グリスＧは、基板搬送装置６の様に、クリーンな環境で使用される搬送装置の潤滑に適している。

【0043】

この給脂装置２２では、所定の条件を満たす毎に所定量のグリスＧとして、グリス片Ｇｐが供給される。この給脂装置２２は、潤滑に十分な所定量のグリスＧを供給でき、必要以上のグリスＧの供給を抑制できる。この給脂装置２２は、飛散や漏洩が少ないグリスＧを必要十分な量で供給できる。この給脂装置２２は、クリーンな環境を維持しつつ、基板搬送装置６を適正に潤滑できる。この観点から、この給脂装置２２は、上下方向に延びる第一係合部（ラック２６）に限らず、上下方向の他、水平方向を含む、所定方向に延びる第一係合部（ラック２６）の潤滑に適している。

【0044】

この給脂装置２２は、ラック２６の上下方向に並ぶ歯４６にグリス片Ｇｐを塗布する。給脂装置２２は、上下方向に延びる第一係合部としてラック２６をグリスＧで潤滑する。塗布されたグリス片Ｇｐは、ラック２６の表面２６Ａ及び側面２６Ｂに沿って下方に流れ落ちる。この給脂装置２２は、上下方向に延びる第一係合部としてのラック２６において、グリスＧが広範囲に飛散することを更に抑制できる。

【0045】

この給脂装置２２は、所定量のグリス片Ｇｐをラック２６に供給する。適正な量のグリス片Ｇｐを供給することで、給脂装置２２は所定時間に亘り潤滑状態を維持できる。この給脂装置２２は、所定の条件を満たす毎にグリス片Ｇｐをラック２６に供給する。これにより、給脂装置２２は長期間に亘り潤滑状態を維持できる。

【0046】

この給脂装置２２のタンク３０は、上下方向を長手方向としている。タンク３０は、上下方向に延びる第一係合部としてのラック２６に沿って延びている。このタンク３０は、貯留するグリスＧの容量を多くしつつ省スペース化できる。

【0047】

この給脂装置２２は、タンク３０内のグリスＧが加圧されている。加圧することで、半固体ののり状又は固体状のグリスＧが、押出口４２から略一定の速度で押し出される。押し出されたグリスＧが塗布体３４の厚さで切断され、グリス片Ｇｐが形成される。これにより、所定量のグリス片Ｇｐが形成される。この給脂装置２２では、タンク３０の押出口４２を塗布体３４が閉じることで、加圧状態のグリスＧの漏洩が抑制される。この給脂装置２２は、適正な潤滑状態を維持すると共に、グリスＧの飛散を抑制できる。

【0048】

この昇降装置１４では、ラック２６とピニオン２８とは、ヘリカルギアで形成されている。ヘリカルギアは、スパーギアに比べて、かみあい率が大きく、振動が小さい。一方で、ヘリカルギアは、スパーギアに比べて、耐摩耗性に劣る。ヘリカルギアは、スパーギアに比べて、潤滑不足による不具合を生じ易い。この給脂装置２２は、適正な潤滑状態を維持すると共にグリスＧの飛散を抑制できる。この給脂装置２２は、このラック２６とピニオン２８を備える昇降装置１４の潤滑に適している。

【0049】

この給脂装置２２では、重りとしてピストン３２がグリスＧを加圧している。この給脂装置２２は、加圧のための動力を必要としない。タンク３０に通気孔４４を形成するだけの簡素な構成で、この給脂装置２２はグリスＧを加圧できる。なお、この給脂装置２２では、ピストン３２を重りとして用いたが、ピストン３２とは別に重りが用いられてもよい。また、本発明の加圧体は、重りで加圧するものに限られない。例えば、この加圧体は、圧縮空気等の加圧流体で加圧するものであってもよい。

【0050】

この給脂装置２２では、塗布体３４がグリスＧを切断する機能を兼ね備えている。この塗布体３４を用いることで、グリスＧが付着する切断装置を別に設ける必要がない。この塗布体３４がタンク３０の押出口４２を開閉する機能を兼ね備えている。この塗布体３４を用いることで、グリスＧが付着する開閉体を別に設ける必要がない。この塗布体３４は、グリスＧが付着する部品を削減できる。この給脂装置２２は、昇降装置１４の周辺の汚れを抑制できる。この塗布体３４を備えることで、給脂装置２２は、構造が簡素化できる。なお、本発明では、グリスＧを切断する切断装置や押出口４２を開閉する開閉体が、塗布体３４と別体で設けられてもよい。

【0051】

この給脂装置２２は、オイルガイド２４を備えている。オイルガイド２４は、ラック２６の表面２６Ａ及び側面２６Ｂに沿って下方に流れ落ちるグリスＧを回収する。回収されたグリスＧは、図示されない回収容器に送られる。このオイルガイド２４を備えることで、グリスＧが、昇降装置１４の周辺を汚すことを抑制できる。

【0052】

ここでは、ラック２６が基台１８の本体に取り付けられ、ピニオン２８が昇降軸２０の本体に取り付けられたが、これに限られない。ラック２６が昇降軸２０の本体に取り付けられ、ピニオン２８が基台１８の本体に取り付けられてもよい。この場合に、基台１８に、給脂装置２２が取り付けられればよい。

【0053】

この給脂装置２２は、ラック２６とピニオン２８との潤滑に用いられたが、これに限られない。給脂装置２２は、第一係合部としてのボールネジと第二係合部としてナットとの潤滑に用いられてもよい。

【0054】

この給脂装置２２では、グリスＧが受板３８で受けられて、塗布体３４がグリスＧを切断しているがこれに限られない。受板３８を用いることなく、グリスＧが塗布体３４の厚さに対応する押し出し長さで切断されてもよい。

【0055】

図５には、本発明に係る他の給脂装置５６を備える基板搬送装置５８の一部が示されている。この基板搬送装置５８は、基板搬送装置６の給脂装置２２に代えて給脂装置５６を備えている。基板搬送装置５８は、基板搬送装置６のラック２６に代えてラック６０を備えている。基板搬送装置５８は、その他の構成を基板搬送装置６と同様にされている。ここでは、基板搬送装置６と異なる構成について、主に説明がされる。基板搬送装置６と同様の構成について、その説明が省略される。また、基板搬送装置６と同様の構成について、同様の符号を付して説明がされる。

【0056】

給脂装置５６は、タンク６２、ピストン６４、グリス流路６６及び加圧装置６８とを備えている。給脂装置５６は、ラック６０と共に基台１８に取り付けられている。基板搬送装置５８では、３つの給脂装置５６が取り付けられているが、これに限られない。複数の給脂装置５６が上下方向に所定の間隔を開けて取り付けられてもよいし、１つの給脂装置５６が取り付けられてもよい。なお、給脂装置５６は、ラック６０が昇降軸２０に取り付けられる場合、昇降軸２０に取り付けられる。

【0057】

タンク６２は、貯留室７０及び押出口７２を備える。貯留室７０に、グリスＧが貯えられる。ピストン６４は、貯留室７０に収容されている。ピストン６４は、貯留室７０の壁面７０Ａに摺動可能である。ピストン６４は、貯留室７０を、貯留空間７４と加圧空間７６とに仕切っている。

【0058】

グリス流路６６は、タンク６２の押出口７２に接続されている。グリス流路６６は、貯留室７０に連通している。グリス流路６６は、例えばホースからなる。グリス流路６６は、金属製配管からなってもよい。

【0059】

加圧装置６８は、加圧流体の配管７８及び切替弁８０を備えている。この加圧流体は、特に限定されなが、ここでは加圧空気を例に説明がされる。この配管７８は、加圧空気が貯えられた図示されない加圧タンクと、タンク６２とを接続している。切替弁８０は、この配管７８の流路を開閉する。なお、ここでは、切替弁８０は、加圧タンクとタンク６２との間で配管７８の流路が開かれた状態と、この流路が閉じられた状態とで切替え可能である。また、この切替弁８０では、流路が閉じられた状態でタンク６２の加圧空間７６の空気が大気開放されている。

【0060】

ラック６０は、上下方向に並べられた複数の歯８２を備えている。複数の歯８２は、ピニオン２８に対向する表面６０Ａに形成されている。ラック６０は、歯８２が形成された表面６０Ａに貫通する給脂孔８４を備えている。この給脂孔８４は、ラック６０の裏面から表面６０Ａまでに貫通している。この給脂孔８４にグリス流路６６が接続されている。ラック６０の歯８２とピニオン２８の歯４８とが係合している。図示されないが、基板搬送装置５８は、昇降軸２０を基台１８に対して上下方向に移動可能に支持する移動装置と、ピニオン２８を回転駆動する駆動モータとを備えている。

【0061】

図６（Ａ）及び図６（Ｂ）には、この給脂装置５６の使用状態が示されている。図６（Ａ）では、切替弁８０によって、加圧空間７６の圧力が大気圧にされている。これにより、グリスＧは加圧されていない。図６（Ｂ）では、切替弁８０によって、加圧空間７６内が加圧空気によって加圧されている。ピストン６４を介してグリスＧが加圧されている。グリスＧが給脂孔８４から表面６０Ａに押し出されている。押し出されたグリス片Ｇｐが表面６０Ａに付着している。

【0062】

図６（Ａ）及び図６（Ｂ）を参照しつつ、給脂装置５６の給脂方法が説明される。この給脂方法では、図６（Ａ）に示される様に、タンク６２にグリスＧが貯留されている（ＳＴＥＰ１’）。

【0063】

グリス片Ｇｐが表面６０Ａに塗布される（ＳＴＥＰ２’）。このＳＴＥＰ２’では、図６（Ａ）の状態から切替弁８０が切替えられる。ピストン６４がタンク６２のグリスＧを加圧する。グリスＧが給脂孔８４から表面６０Ａに押し出される。所定の時間、このＳＴＥＰ２’の状態が保持される。所定量のグリスＧが押し出される。所定時間が経過した後に、図６（Ａ）の状態に切替弁８０が切替えられる。給脂孔８４からのグリスＧの押し出しが停止される。これにより、給脂装置５６は、図６（Ａ）に示されたＳＴＥＰ１’の状態に戻る。

【0064】

この給脂方法では、このＳＴＥＰ１’とＳＴＥＰ２’とが、所定の条件を満たす毎に周繰り返される。例えば、このＳＴＥＰ１’とＳＴＥＰ２’とが、所定時間毎に繰り返される。このＳＴＥＰ１’とＳＴＥＰ２’とが、昇降装置１４の所定の使用回数毎に繰り返されてもよい。

【0065】

この給脂装置５６では、貯留室７０とグリス流路６６と給脂孔８４とが気密に接続されている。ＳＴＥＰ２’の状態が維持される所定時間と加圧空気の圧力とを管理することで、押し出されるグリスＧの量を制御できる。この給脂装置５６は、所定量のグリス片Ｇｐを供給できる。この所定量のグリス片Ｇｐをラック６０に塗布することで、適正な潤滑状態が維持されると共に、グリスＧの飛散が抑制される。

【0066】

この給脂装置５６では、ラック６０の給脂孔８４からグリスＧが塗布される。この給脂装置５６では、グリスＧの飛散が一層抑制されている。

【0067】

この給脂装置５６では、切替弁８０によって、グリスＧの押し出しと押し出しの停止とが切替えられたがこれに限られない。例えば、グリス流路６６の開閉弁が設けられてもよい。貯留室７０のグリスＧを加圧しつつ、グリス流路６６の開閉弁が開閉されてもよい。この場合、貯留室７０は常時加圧されてもよく、例えば重りで加圧されてもよい。

【0068】

この説明から、当業者にとっては、本発明の多くの改良又は他の実施形態が明らかである。従って、この説明は、例示としてのみ解釈されるべきである。この説明は、本発明を実行する最良の形態を当業者に教示する目的で提供されたものである。本発明を逸脱することなく、その構造及び機能の詳細は、実質的に変更可能である。また、この実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組合せにより、種々の発明が形成できる。

【符号の説明】

【0069】

２・・・基板
４・・・容器
６、５８・・・基板搬送装置
１４・・・昇降装置
１８・・・基台
２０・・・昇降軸
２２、５６・・・給脂装置
２６、６０・・・ラック
２６Ａ、６０Ａ・・・表面
２８・・・ピニオン
３０、６２・・・タンク
３２、６４・・・ピストン
３４・・・塗布体
４０、７０・・・貯留室
４２、７２・・・押出口
４６、４８、８２・・・歯
６６・・・グリス流路
６８・・・加圧装置
８０・・・切替弁
８４・・・給脂孔

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】