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特許 7360159出願番号 特願 2019-237955
レーザー光の回折集光方法及び回折集光光学素子装置
出願人 国立大学法人電気通信大学（識別番号 504133110）
2026年 特許公開件数ランキング 743位 36件（※）
2026年 特許取得件数ランキング 902位 28件（※）
公報発行日 2023年10月12
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7360159 ログイン済みの方はこのURLへ
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※ 共同出願を含む
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技術分野
レーザー光の回折集光方法及び回折集光光学素子装置
この特許の権利範囲[特許請求の範囲]
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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋
【図1】
本発明の一回折集光光学素子装置の構成の一例を示す概略図である。
【図2】
励起用レーザーによる干渉縞生成を説明した概念図である。
【図3】
（Ａ）は、本発明の一レーザー光の回折集光方法を実施した際の垂直方向の集光特性を示した図であり、（Ｂ）は、水平方向の集光特性を示した図である。
代表図 図1本件の代表的な図
１０ 気体発生手段、１１ ガス生成部、１２ ガス流路、１３ ガス排出部、１４ 開口部、２０ 光励起手段、２１ 励起用レーザー光源、２２ ビームスプリッタ、２３Ａ～２３Ｆ 反射鏡、２４ 集光光学系、２５ 発散光学系、３０ 干渉光学系、４０ 被制御レーザー光源、５０ 加工対象、５１ デブリ、６０ 遮蔽板、１００ 回折集光光学素子装置、Ｌ，Ｌ１，Ｌ２ 励起用レーザー光、Ｌin 被制御レーザー光、Ｌｏ 回折及び集光されたレーザー光
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