特許 7360422 オゾン発生体及びオゾン発生器

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-03

(45)【発行日】2023-10-12

(54)【発明の名称】オゾン発生体及びオゾン発生器

(51)【国際特許分類】

   C01B 13/11 20060101AFI20231004BHJP

【ＦＩ】

C01B13/11 J

【請求項の数】 12

(21)【出願番号】P 2021110564

(22)【出願日】2021-07-02

(65)【公開番号】P2023007605

(43)【公開日】2023-01-19

【審査請求日】2022-06-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000004547

【氏名又は名称】日本特殊陶業株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110000497

【氏名又は名称】弁理士法人グランダム特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】服部 洋一

(72)【発明者】

【氏名】上山 剛

(72)【発明者】

【氏名】西山 寛幸

(72)【発明者】

【氏名】蓮沼 英樹

(72)【発明者】

【氏名】今泉 潤哉

【審査官】小野 久子

(56)【参考文献】

【文献】特開平０８－１８５９５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－３２８９１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－３５３２０９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－０４７３８２（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／００１９６１（ＷＯ，Ａ１）

【文献】国際公開第２００８／０５３９４０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開昭５５－００７５６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－０４０４７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５７－０８８００６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５７－０８８００４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭５５－１４４４０７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－１７０２６７（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００５／００５７９８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００６－１８１４５８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ０１Ｂ １３／１１

Ａ６１Ｌ ９／０１５－９／１２

Ｂ０１Ｊ １９／０８－１９／１２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１電極と、
前記第１電極を覆う第１誘電体と、
第２電極と、
前記第２電極を覆う第２誘電体と、
前記第１誘電体及び前記第２誘電体を支持する支持部と、を有し、
前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に放電空間が形成され、
前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体のいずれよりもヤング率が低く、
前記支持部は、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を、前記第１誘電体及び前記第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、
前記第１誘電体及び前記第２誘電体は、セラミックであり、
前記支持部は、樹脂製であるオゾン発生体。

【請求項2】

前記支持部は、前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に配置されるスペーサを有する請求項１に記載のオゾン発生体。

【請求項3】

前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
前記第１端子は、前記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、前記第１接続部に連なり、前記第１誘電体の端部よりも前記一端側に突出した第１突出部と、を有し、
前記第２端子は、前記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、前記第２接続部に連なり、前記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有し、
前記スペーサは、絶縁性を有する部材であり、前記第１誘電体と前記第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、前記スペーサ部から延びて前記第１突出部と前記第２突出部との間に配置される延設部と、を有する請求項２に記載のオゾン発生体。

【請求項4】

前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
前記第１端子は、前記第１電極に電気的に接続される第１接続部と、前記第１接続部に連なり、前記第１誘電体の端部よりも前記一端側に突出した第１突出部と、前記第１突出部の先端から屈曲して延びる第３接続部と、を有し、
前記第２端子は、前記第２電極に電気的に接続される第２接続部と、前記第２接続部に連なり、前記第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、前記第２突出部の先端から屈曲して延びる第４接続部と、を有する請求項２又は請求項３に記載のオゾン発生体。

【請求項5】

前記支持部は、前記スペーサを挟んだ前記第１誘電体及び前記第２誘電体を保持するホルダを有する請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のオゾン発生体。

【請求項6】

前記ホルダは、前記スペーサを挟んだ前記第１誘電体及び前記第２誘電体の外周を囲む環状をなしている請求項５に記載のオゾン発生体。

【請求項7】

前記第１電極に電気的に接続される第１端子と、
前記第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有し、
前記第１端子は、前記第１誘電体の前記スペーサ側とは反対側に配置され、
前記第２端子は、前記第２誘電体の前記スペーサ側とは反対側に配置され、
前記ホルダは、前記第１端子及び前記第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有する請求項６に記載のオゾン発生体。

【請求項8】

前記ホルダは、前記放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有する請求項６又は請求項７に記載のオゾン発生体。

【請求項9】

前記第１誘電体及び前記第２誘電体の固有振動数が、２００Ｈｚ以上である請求項１から請求項８のいずれか一項に記載のオゾン発生体。

【請求項10】

前記支持部は、前記スペーサに、前記第１誘電体及び前記第２誘電体を接着させる両面テープを有する請求項２から請求項８のいずれか一項に記載のオゾン発生体。

【請求項11】

気体の流路と、
前記流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込むファンと、
請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のオゾン発生体と、を有し、
前記オゾン発生体は、前記吸気口から吸い込まれた空気を原料として、前記流路にオゾンを発生させるオゾン発生器。

【請求項12】

前記オゾン発生体の前記支持部は、前記流路の壁面よりも外側で保持され、
前記オゾン発生体の前記第１誘電体及び前記第２誘電体は、前記壁面よりも内側に突出して配置される請求項１１に記載のオゾン発生器。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、オゾン発生体及びオゾン発生器に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、プラズマ発生電極が開示されている。このプラズマ発生電極は、互いに対向する電極を有する。電極は、誘電体であるセラミック体と、このセラミック体の内部に配設された導電膜と、を有する。互いに対向する電極は、それぞれ保持部材によって支持される。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】ＷＯ２００５／００５７９８

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１の技術では、誘電体が振動した場合に保持部材によって保持される部分に応力がかかり、誘電体が破損するおそれがある。

【0005】

本発明は、誘電体を破損しにくくすることが可能な技術を提供する。

【課題を解決するための手段】

【0006】

［１］本発明のオゾン発生体は、第１電極と、第１電極を覆う第１誘電体と、第２電極と、第２電極を覆う第２誘電体と、を有する。オゾン発生体は、更に、第１誘電体及び第２誘電体を支持する支持部を有する。第１誘電体と第２誘電体との間には、放電空間が形成される。支持部は、第１誘電体及び第２誘電体のいずれよりもヤング率が低い。

【0007】

この構成によれば、第１誘電体又は第２誘電体が振動しても、支持部が支持する部分に応力がかかりにくい。このため、第１誘電体及び第２誘電体が破損しにくい。

【0008】

［２］上記支持部は、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持する構成であってもよい。

【0009】

この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体が同じ側で片持ち支持されるため、直交方向の他端側において、第１誘電体と第２誘電体との間を開口させることができる。このため、第１誘電体と第２誘電体との間に形成される放電空間に気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。

【0010】

［３］上記支持部は、第１誘電体と第２誘電体との間に配置されるスペーサを有する構成であってもよい。

【0011】

この構成によれば、第１誘電体と第２誘電体との間隔を、スペーサによって容易に設定することができる。

【0012】

［４］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１電極に電気的に接続される第１接続部と、第１接続部に連なり、第１誘電体の端部よりも一端側に突出した第１突出部と、を有してもよい。第２端子は、第２電極に電気的に接続される第２接続部と、第２接続部に連なり、第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、を有してもよい。スペーサは、絶縁性を有する部材であり、第１誘電体と第２誘電体との間に配置されるスペーサ部と、スペーサ部から延びて第１突出部と第２突出部との間に配置される延設部と、を有してもよい。

【0013】

この構成によれば、第１端子と第２端子とをより確実に絶縁させることができる。

【0014】

［５］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１電極に電気的に接続される第１接続部と、第１接続部に連なり、第１誘電体の端部よりも一端側に突出した第１突出部と、第１突出部の先端から屈曲して延びる第３接続部と、を有してもよい。第２端子は、第２電極に電気的に接続される第２接続部と、第２接続部に連なり、第１突出部と同じ方向に突出した第２突出部と、第２突出部の先端から屈曲して延びる第４接続部と、を有してもよい。

【0015】

この構成によれば、第１端子の第３接続部は第１突出部の先端から屈曲して延びるため、第１突出部の突出方向への第１端子の広がりを抑えることができる。また、第２端子の第４接続部は第２突出部の先端から屈曲して延びるため、第２突出部の突出方向への第２端子の広がりを抑えることができる。

【0016】

［６］上記支持部は、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体を保持するホルダを有してもよい。

【0017】

この構成によれば、支持部のスペーサとホルダとによって、第１誘電体と第２誘電体との間隔を一定に保持することができる。

【0018】

［７］上記ホルダは、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体の外周を囲む環状をなしてもよい。

【0019】

この構成によれば、ホルダの孔に、スペーサを挟んだ第１誘電体及び第２誘電体を挿し通すことで、容易に組み付けることができる。

【0020】

［８］上記オゾン発生体は、第１電極に電気的に接続される第１端子と、第２電極に電気的に接続される第２端子と、を有してもよい。第１端子は、第１誘電体のスペーサ側とは反対側に配置され、第２端子は、第２誘電体のスペーサ側とは反対側に配置されてもよい。ホルダは、第１端子及び第２端子を露出させるように切り欠いた切欠部を有してもよい。

【0021】

この構成によれば、切欠部を通して、第１端子及び第２端子を樹脂で埋めやすくなる。

【0022】

［９］上記ホルダは、放電空間を露出させるように切り欠いた第２切欠部を有してもよい。

【0023】

この構成によれば、ホルダによって第１誘電体及び第２誘電体の外周を囲みつつも、第２切欠部を通して、放電空間への気体の流入を許容することができる。このため、ホルダを設けることによる放電空間への気体の流入量の低下を抑制することができる。

【0024】

［１０］第１誘電体及び第２誘電体は、セラミックでもよい。支持部は、樹脂製でもよい。

【0025】

この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体をセラミックで形成しつつも、振動が加わった際に支持部による支持部分に応力がかかった場合に、第１誘電体及び第２誘電体が破損することを抑制することができる。

【0026】

［１１］上記第１誘電体及び第２誘電体の固有振動数が、２００Ｈｚ以上でもよい。

【0027】

この構成によれば、輸送時など外部から振動が加わる状況において、共振に起因する振動を小さく抑えることができ、その結果、振動時に第１誘電体及び第２誘電体に及ぶ応力が小さくなるため、破損しにくくなる。

【0028】

［１２］上記支持部は、スペーサに、第１誘電体及び第２誘電体を接着させる両面テープを有してもよい。

【0029】

この構成によれば、第１誘電体及び第２誘電体のスペーサに対する接着が容易である。

【0030】

［１３］本発明のオゾン発生器は、気体の流路と、ファンと、［１］から［１２］のいずれかのオゾン発生体と、を有する。ファンは、流路の吸気口側から排気口側に向けて気体を送り込む。オゾン発生体は、吸気口から吸い込まれた空気を原料として、流路にオゾンを発生させる。

【0031】

この構成によれば、［１］から［１２］のいずれかのオゾン発生体をオゾン発生器に適用することができる。

【0032】

［１４］オゾン発生体の支持部は、第１誘電体及び第２誘電体を、第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向の一端側で片持ち支持し、且つ流路の壁面よりも外側で保持されてもよい。オゾン発生体の第１誘電体及び第２誘電体は、壁面よりも内側に突出して配置されてもよい。

【0033】

この構成によれば、両持ち支持する構成又は互い違いに片持ち支持する構成と比較して、オゾン発生体を固定する構造や配線を集約することができるため、構造を簡素化できる。

【発明の効果】

【0034】

本発明によれば、誘電体を破損しにくくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【0035】

【図1】図１は、オゾン発生器の斜視図である。

【図2】図２は、オゾン発生器の断面の斜視図である。

【図3】図３は、図２とは異なる切断面におけるオゾン発生器の断面図である。

【図4】図４は、オゾン発生体の斜視図である。

【図5】図５は、オゾン発生体を短手方向から見た図である。

【図6】図６は、オゾン発生体を並び方向から見た図である。

【図7】図７は、オゾン発生体の分解斜視図である。

【図8】図８は、オゾン発生体のホルダを取り付ける前の状態を示す斜視図である。

【図9】図９は、図６のＡ－Ａ線断面図である。

【図10】図１０は、オゾン発生体が保持部に保持された状態を示す斜視図である。

【図11】図１１は、オゾン発生器の電気的構成を示すブロック図である。

【発明を実施するための形態】

【0036】

１．第１実施形態
１－１．オゾン発生器１００の構成
図１に示すオゾン発生器１００は、外部の空気を吸い込み、誘電体バリア放電により空気中の酸素からオゾンを発生させ、外部に排出させる装置である。オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、気体の流路１と、ファン２と、オゾン発生体３と、を有する。

【0037】

流路１は、吸気口５と、排気口６と、を有する。吸気口５は、オゾン発生器１００の外部の気体（例えば空気）を流路１内に取り込む。排気口６は、流路１内の気体を、オゾン発生器１００の外部に排出する。流路１は、吸気口５から吸い込んだ気体を排気口６から排出させる。

【0038】

流路１は、所定のＺ方向（本実施形態では上下方向）に沿って延びている。吸気口５は、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下端側）に配置され、Ｚ方向の一端側（本実施形態では下方）に開口している。吸気口５の吸気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。排気口６は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上端側）に配置され、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）に開口している。排気口６の排気方向は、Ｚ方向の他端側（本実施形態では上方）である。

【0039】

吸気口５は、Ｚ方向を軸方向とした環状（具体的には円環状）に沿って配置されている。排気口６は、吸気口５が配置される環状部分よりも内側に配置されている。排気口６は、円形状に配置されている。

【0040】

流路１は、第１流路７と、第１流路７よりも下流側の第２流路８と、を有する。第１流路７は、吸気口５から排気口６側に延びている。第１流路７は、環状の吸気口５から吸い込まれた気体を吸気口５の内周よりも内側に誘導する。第２流路８は、第１流路７の下流側の端部から排気口６側に向けてＺ方向の他端側（本実施形態では上方）に延びている。第２流路８の下流側の端部は、排気口６につながっている。第２流路８は、環状の吸気口５の内周よりも外形が小さく、第１流路７によって内側に誘導された気体を排気口６側（本実施形態では上方）に誘導し、排気口６から排出させる。

【0041】

ファン２は、流路１に気流（具体的には旋回流）を生成する装置であり、本実施形態では軸流ファンである。ファン２は、流路１の吸気口５側から排気口６側に向けて気体を送り込む送風動作を行う。ファン２は、モータを有する。ファン２は、電力が供給されることでモータが駆動し、送風動作を行う。ファン２は、流路１（具体的には第２流路８）に設けられる。ファン２は、ファン２の軸方向をＺ方向に向けた状態で配置される。ファン２は、Ｚ方向を軸方向として回転する。

【0042】

オゾン発生体３は、交流電圧が印加されることによって誘電体バリア放電を生じさせ、吸気口５から吸い込まれた空気中の酸素を原料として流路１にオゾンを発生させるものである。オゾン発生体３は、図４から図７に示すように、第１電極１０と、第２電極３０と、第１誘電体１１と、第２誘電体３１と、第１端子１２と、第２端子３２と、支持部５０と、を有する。

【0043】

第１電極１０及び第２電極３０は、金属製であり、本実施形態ではタングステン（Ｗ）を材料として形成される。なお、第１電極１０及び第２電極３０は、タングステンに限らず、例えばモリブデン（Ｍｏ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）、白金（Ｐｔ）などを材料として形成されてもよい。第１電極１０及び第２電極３０は、薄い金属層として構成され、所定方向に長い形態をなしている。第１電極１０及び第２電極３０（金属層）の厚さは、密着強度を確保する観点から１０μｍ以上であることが望ましく、厚過ぎることによる剥がれを抑制する観点から５０μｍ以下とすることが望ましい。第１電極１０及び第２電極３０の幅と長さは、必要なオゾン発生量に応じて任意に設定される。第１電極１０及び第２電極３０の幅ＷＥ（図６参照）は、１ｍｍとする。第１電極１０及び第２電極３０の長さは、第１電極１０と第２電極３０との間に支持部５０が存在しない部分の長さＬＥ（図５参照）を基準に設定される。長さＬＥは、１０ｍｍとする。

【0044】

第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、本実施形態ではアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）を材料として形成される。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、アルミナに限らず、ガラス（ＳｉＯ_２）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、酸化イットリウム（Ｙ_２Ｏ_３）等の別のセラミックやそれらの混合物を材料として形成されてもよい。第１誘電体１１は、第１電極１０を覆い、第２誘電体３１は、第２電極３０を覆う。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ板状をなしている。

【0045】

第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に並んで配置される。つまり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向に対向する。第１誘電体１１と第２誘電体３１との間には、放電空間ＤＳが形成される。互いに対向する面は、それぞれ平坦な面であり、矩形状をなす。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に沿って延びる。互いに対向する面のうち一方の面は、他方の面に対して平行であってもよいし、平行でなくてもよい。第１電極１０及び第２電極３０の厚さ方向は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さ方向と同じである。第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向を、以下では「並び方向」という。

【0046】

第１電極１０は、並び方向において、第１誘電体１１内の第２電極３０側に寄った位置に配置される。第２電極３０は、並び方向において、第２誘電体３１内の第１電極１０側に寄った位置に配置される。第１電極１０及び第２電極３０は、薄く形成された誘電体層の上面に印刷等により配置される。その上に、更に厚めの誘電体層を形成することで第１電極１０を覆う第１誘電体１１及び第２電極３０を覆う第２誘電体３１が製造される。

【0047】

第１誘電体１１のうち第１電極１０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第１電極１０の放電空間ＤＳ側の面と第１誘電体１１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ１とする（図５参照）。第２誘電体３１のうち第２電極３０よりも放電空間ＤＳ側の厚さ（第２電極３０の放電空間ＤＳ側の面と第２誘電体３１の放電空間ＤＳ側の面との距離）をＤ２とする（図５参照）。この場合、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、下記式（１）によって求められる。
（Ｄ１＋Ｄ２の最小値）＝（オゾン発生体３に印加する電圧［ｋＶ］）／（第１誘電体１１及び第２誘電体３１の材料の耐電圧（ｋＶ／ｍｍ）・・・式（１）
アルミナの耐電圧は１５ｋＶ／ｍｍであり、高圧の交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとすると、Ｄ１＋Ｄ２の最小値は、０．３ｍｍとなる。
他方、Ｄ１，Ｄ２が厚過ぎると、第１誘電体１１及び第２誘電体３１での損失が大きくなり、電力効率が低下する。このため、Ｄ１＋Ｄ２の最大値は、Ｄ１＋Ｄ２の最小値の２倍程度となる。具体的には、Ｄ１＋Ｄ２は、０．３ｍｍ以上且つ０．６ｍｍ以下であることが好ましい。つまり、Ｄ１，Ｄ２は、それぞれ０．１５ｍｍ以上且つ０．３ｍｍ以下であることが好ましい。本実施形態では、製造の容易さを考慮して、Ｄ１，Ｄ２をそれぞれ０．１５ｍｍとしている。

【0048】

第１電極１０及び第２電極３０の延び方向（長手方向）は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向（以下、単に「長手方向」という）と同じである。長手方向は、「第１誘電体及び第２誘電体の並び方向に対して直交する直交方向」の一例に相当する。なお、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の短手方向は、以下では、単に「短手方向」という。

【0049】

第１誘電体１１は、第１誘電体本体１３と、第１張出部１４と、第１凹部１５と、を有する。第１誘電体本体１３は、板状をなし、直方体形状をなす。第１誘電体本体１３は、第１電極１０を覆う。第１張出部１４は、長手方向の一端側において、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第１張出部１４は、第１誘電体１１における短手方向全領域にわたって形成されている。第１張出部１４は、第１誘電体１１の長手方向の一端まで形成されている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面において、長手方向の一端側に形成されている。第１凹部１５は、第１張出部１４を凹ませた形態をなしている。第１凹部１５は、第１誘電体１１の長手方向の一端に開口している。

【0050】

第２誘電体３１は、第２誘電体本体３３と、第２張出部３４と、第２凹部３５と、を有する。第２誘電体本体３３は、板状をなし、直方体形状をなす。第２誘電体本体３３は、第２電極３０を覆う。第２誘電体本体３３は、第１誘電体本体１３と対向し、第１誘電体本体１３との間に放電空間ＤＳを形成する。第２張出部３４は、長手方向の一端側において、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）に張り出した形態をなしている。第２張出部３４は、第２誘電体３１における短手方向全領域にわたって形成されている。第２張出部３４は、第２誘電体３１の長手方向の一端まで形成されている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の外側（第１誘電体１１側とは反対側）の面において、長手方向の一端側に形成されている。第２凹部３５は、第２張出部３４を凹ませた形態をなしている。第２凹部３５は、第２誘電体３１の長手方向の一端に開口している。

【0051】

第１誘電体１１（具体的には第１誘電体本体１３）と第２誘電体３１（具体的には第２誘電体本体３３）との距離である誘電体間ギャップＧＣ（図５参照）は、空気の耐電圧が３．０ｋＶ／ｍｍ程度であることを考慮すると、オゾン発生体３に印加する交流電圧のピーク値を４．５ｋＶとする場合、放電させるためには１．５ｍｍ未満とする必要がある。しかし、放電時間を長くし安定した放電を維持するためには、その３分の１以下、つまり０．５ｍｍ以下にすることが好ましい。他方、誘電体間ギャップＧＣが小さくなりすぎると、供給される空気が不足し、オゾン発生量が低下する。このため、誘電体間ギャップＧＣは、０．２ｍｍ以上であることが好ましい。例えば、誘電体間ギャップＧＣは、０．３７ｍｍであることが好ましい。なお、誘電体間ギャップＧＣは、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の互いの対向面が平行でない場合、第１電極１０及び第２電極３０の先端（長手方向の他端）の位置を基準とする。

【0052】

第１誘電体１１及び第２誘電体３１の固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が片持ち支持される構造において、それぞれ２００Ｈｚ以上である。固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、実験結果から導き出すようにしてもよいし、演算式によって求めるようにしてもよい。固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、演算式によって求める場合、例えば、以下の式（Ａ）によって求めることができる。

【数1】

Ｋｎは、定数であり、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が片持ち支持される構造である場合には１．８７５である。Ｅ［Ｐａ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のヤング率である。Ｅ［Ｐａ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１がアルミナである場合、２８０ＧＰａ程度である。Ｉ［ｍ^４］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の断面２次モーメントである。ρ［ｋｇ／ｍ^３］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の密度である。Ａ［ｍ^２］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の断面積である。Ｌ［ｍ］は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１における支持部５０によって支持される固定端から自由端までの長さである（図５参照）。

【0053】

Ｌは、第１電極１０及び第２電極３０の長さＬＥよりも長いことが必要である。他方、Ｌが長すぎると固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］が小さくなる。このため、本実施形態では、Ｌは２１．５ｍｍとしている。この場合、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］は、３５００Ｈｚとなり、２００Ｈｚを大きく超える。仮に第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さを１．１５ｍｍとした場合、Ｌが９０ｍｍ以下であれば、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］が２００Ｈｚ以上となる。また、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の厚さをより厚くすれば、Ｌがより長くても、固有振動数Ｆｎ［Ｈｚ］を２００Ｈｚとすることができる。

【0054】

第１電極１０及び第２電極３０は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、互いに同一の大きさで且つ同一形状をなしており、面対称となる位置関係で配置される。

【0055】

第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ金属製であり、板状をなす。第１端子１２は、第１凹部１５に配置され、第２端子３２は、第２凹部３５に配置される。第１端子１２は、第１電極１０に電気的に接続され、第２端子３２は、第２電極３０に電気的に接続される。第１端子１２及び第２端子３２は、それぞれ短手方向から見てＬ字型をなす。

【0056】

第１端子１２は、第１接続部２１と、第１突出部２２と、第３接続部２３と、を有する。第１接続部２１は、図５及び図６に示すように、第１誘電体１１に設けられた第１導電部２４を介して第１電極１０に電気的に接続される。第１導電部２４は、本実施形態では、第１誘電体１１に形成されるビアである。第１導電部２４は、第１電極１０から第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面まで延びている。第１誘電体１１の外側（第２誘電体３１側とは反対側）の面には、第１導電部２４が露出しており、第１導電部２４の露出部分にランドが形成される。このランドに対して、第１接続部２１がロウ付けされる。これにより、第１端子１２が第１電極１０に電気的に接続される。第１突出部２２は、第１接続部２１の一端に連なり、第１誘電体１１の端部よりも一端側に突出している。第３接続部２３は、第１突出部２２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。

【0057】

第２端子３２は、第２接続部４１と、第２突出部４２と、第４接続部４３と、を有する。第２接続部４１は、第２誘電体３１に設けられる第２導電部４４を介して第２電極３０に電気的に接続される。第２導電部４４は、本実施形態では、第２誘電体３１に形成されるビアである。第２接続部４１は、上述した第１接続部２１と第１電極１０との接続と同様に、第２電極３０に接続される。第２突出部４２は、第２接続部４１の一端に連なり、第２誘電体３１の端部よりも一端側に突出している。第４接続部４３は、第２突出部４２の先端（一端側の端部）から屈曲して並び方向に延びている。第３接続部２３及び第４接続部４３は、互いに反対方向に延びている。

【0058】

支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を長手方向の一端側で片持ち支持する。つまり、支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を同じ側で片持ち支持する。支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のいずれよりもヤング率が低い。支持部５０は、樹脂（例えば、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＡＢＳ、ＰＶＣ、ＰＰなど）を材料として形成される。ＰＣなどの樹脂材料のヤング率は、１ＧＰａから２．５ＧＰａ程度であり、アルミナのヤング率２８０ＧＰａと比較して非常に小さい。このため、アルミナで形成される第１誘電体１１及び第２誘電体３１の振動を、支持部５０によって吸収しやすい。支持部５０は、スペーサ５１と、ホルダ５２と、を有する。

【0059】

スペーサ５１は、長手方向の一端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置され、長手方向の他端側において第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に放電空間ＤＳを形成させる。スペーサ５１は、板状をなしている。スペーサ５１は、厚さ方向を、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の並び方向に向けて配置される。スペーサ５１は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置されるスペーサ部５３と、スペーサ部５３から長手方向の一端側に延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４と、を有する。

【0060】

スペーサ部５３は、板状をなす。スペーサ部５３は、短手方向において、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の範囲内に収まる。スペーサ部５３の長手方向の一端は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１の長手方向の一端よりも他端側に配置され、スペーサ部５３の長手方向の他端は、第１張出部１４及び第２張出部３４の他端よりも一端側に配置される。

【0061】

延設部５４は、板状をなす。延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さい。なお、延設部５４は、スペーサ部５３よりも厚さが小さくなくてもよく、例えばスペーサ部５３と同じ厚さであってもよい。延設部５４は、短手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の両側の端部よりも外側まで延びている。延設部５４は、長手方向において、第１端子１２及び第２端子３２の一端側の端部よりも一端側に延びている。

【0062】

オゾン発生体３は、スペーサ５１に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を接着させる両面テープ５５を有する。第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、それぞれ両面テープ５５によってスペーサ５１のスペーサ部５３に接着される。

【0063】

ホルダ５２は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持する部材である。ホルダ５２は、環状（具体的には角筒状）をなしており、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲むように配置される。なお、ホルダ５２は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ５２は、ホルダ本体５６と、係止部５７と、第１切欠部５８と、第２切欠部５９と、を有する。

【0064】

ホルダ本体５６は、環状（具体的には角筒状）をなしている。なお、ホルダ本体５６は、円環状であってもよいし、円環状以外であってもよい。ホルダ本体５６は、並び方向の両側に配置される一対の第１壁部５６Ａと、短手方向の両側に配置される一対の第２壁部５６Ｂと、を有する。

【0065】

係止部５７は、ホルダ本体５６における長手方向の他端側の内面から内側に突出する形態をなしている。係止部５７は、一対の第１壁部５６Ａの内面からそれぞれ突出している。係止部５７は、第１壁部５６Ａにおける短手方向全領域にわたって形成されている。

【0066】

第１切欠部５８は、第１端子１２及び第２端子３２を露出させるように切り欠いた形態をなしている。第１切欠部５８は、一対の第１壁部５６Ａにおける長手方向の一端側の端部を切り欠いた形態をなしている。

【0067】

第２切欠部５９は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９は、一対の第２壁部５６Ｂにおける長手方向の他端側の端部を切り欠いた形態をなしている。第２切欠部５９の長手方向の一端は、第１切欠部５８の長手方向の他端よりも他端側に配置されている。第２切欠部５９の幅（並び方向の間隔）は、誘電体間ギャップＧＣよりも大きいことが好ましい。

【0068】

ホルダ５２は、図８に示すように、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１に対し、長手方向の他端側から挿し通される。ホルダ５２は、係止部５７が第１誘電体１１の第１張出部１４及び第２誘電体３１の第２張出部３４の長手方向の端部に接触することで、位置決めされる。なお、図９に示すように、並び方向において、スペーサ５１を挟んだ状態の第１誘電体本体１３及び第２誘電体本体３３の外面同士の間隔をＬ１とし、スペーサ５１を挟んだ状態の第１張出部１４及び第２張出部３４の外面同士の間隔をＬ２とし、ホルダ５２の一対の第２壁部５６Ｂの内面同士の最小の間隔をＬ３とし、ホルダ５２の一対の係止部５７の内面同士の間隔をＬ４とした場合、以下の式（２）及び式（３）が成り立つ。
Ｌ１≦Ｌ４ ・・・式（２）
Ｌ４＜Ｌ２≦Ｌ３ ・・・式（３）

【0069】

オゾン発生器１００は、図２及び図３に示すように、流路構成部６０と、周壁部６１と、底部６２と、天井部６３と、フィンガーガード６４と、吸気部６５と、拡散板６６と、を有する。

【0070】

流路構成部６０は、流路１を構成する部位である。流路構成部６０は、周方向に複数（本実施形態では２）の分割体に分割される構造となっている。具体的には、流路構成部６０は、周方向に分割された第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを有し、第１分割体６０Ａ及び第２分割体６０Ｂを連結させることで構成される。

【0071】

周壁部６１は、環状（具体的には筒状、より具体的には円筒状）をなしており、流路構成部６０及び流路１の外周を囲む形態をなしている。オゾン発生器１００の外周の直径（周壁部６１の外径）は、２２５ｍｍであり、オゾン発生器１００の高さは、２０４ｍｍである。

【0072】

底部６２は、載置面に載置される部位である。底部６２は、上側に配置される流路構成部６０を支持する。底部６２は、環状に配置される吸気口５の内側に収まる形態をなしている。また、底部６２は、周壁部６１の内周よりも小さい外形をなしている。

【0073】

天井部６３は、オゾン発生器１００におけるＺ方向の他端側に配置され、Ｚ方向を軸方向とした環状をなしている。天井部６３の内側には、排気口６が形成されている。天井部６３は、外周が周壁部６１の他端側の端部（本実施形態では上端部）に連結されており、周壁部６１と一体に形成されている。周壁部６１及び天井部６３は、フィンガーガード６４を間に挟んで流路構成部６０の上側に配置され、流路構成部６０に支持される。周壁部６１は、載置面から浮いた状態で支持される。

【0074】

フィンガーガード６４は、複数の貫通孔が形成された平面状（本実施形態では円板状）の部位である。貫通孔は、スリット状に形成されている。フィンガーガード６４は、流路１内の排気を許容しつつ、外部からの異物（例えば指など）の侵入を抑制する機能を有する。フィンガーガード６４は、流路構成部６０及び天井部６３とは別部材として構成されている。フィンガーガード６４は、拡散板６６よりも下流側に配置される。

【0075】

吸気部６５は、吸気口５を形成する部位であり、環状をなしている。吸気部６５は、周壁部６１の下端側の内周側と、底部６２の上端側の外周側との間に配置され、流路構成部６０に対して係止される。吸気部６５は、複数の吸気口５が形成されている。複数の吸気口５は、環状の吸気部６５に沿って環状に並んで配置されている。吸気口５は、径方向に長い形状をなしている。

【0076】

拡散板６６は、オゾン発生体３が発生させたオゾンを流路１内に拡散させるものである。拡散板６６は、流路１のうちオゾン発生体３よりも下流側に配置される。拡散板６６は、流路１の壁面１Ａから内側に突出した形態をなしている。拡散板６６は、壁面１Ａの周方向の一部から突出している。拡散板６６は、壁面１Ａから離れるにつれて幅が小さくなっている。拡散板６６は、扇形状をなしている。拡散板６６は、Ｚ方向の他端側から見た場合に、オゾン発生体３と重なる位置に配置される。拡散板６６は、流路構成部６０（具体的には第１分割体６０Ａ）と一体に形成されている。

【0077】

オゾン発生器１００は、図３及び図１０に示すように、保持部７０と、第１相手側端子７１と、第２相手側端子７２と、ねじ７３と、交流電源７４と、を有する。

【0078】

保持部７０は、オゾン発生体３を保持する部位である。保持部７０は、第１収容部７５と、端子固定部７６と、第２収容部７７と、を有する。第１収容部７５は、底面と、底面から突出してホルダ５２の外周を囲む囲み部と、を有する。第１収容部７５には、ホルダ５２における長手方向の一端側が収容される。ホルダ５２の少なくとも一部は、第１収容部７５の開口端から突出する。第１収容部７５は、オゾン発生体３の第１端子１２及び第２端子３２が嵌まる切欠溝７５Ａを有する。端子固定部７６は、第１端子１２及び第２端子３２のそれぞれに対応して設けられている。端子固定部７６は、雌ねじ部を有する。第１端子１２の第３接続部２３は、一方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第１相手側端子７１と共締めされる。第２端子３２の第４接続部４３は、他方の端子固定部７６に対し、ねじ７３によって第２相手側端子７２と共締めされる。第１相手側端子７１及び第２相手側端子７２は、それぞれ交流電源７４に電気的に接続される。

【0079】

第２収容部７７は、第１収容部７５に収容されたオゾン発生体３における長手方向の一端側を収容し、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体を収容する。第２収容部７７の内部は、少なくとも第１端子１２及び第２端子３２の全体が埋まる位置まで樹脂モールドされる。ホルダ５２の少なくとも一部（具体的には、少なくとも第２切欠部５９の長手方向の一端よりも他端側）は、モールドされた樹脂から突出した状態となる。

【0080】

保持部７０は、流路構成部６０の外側面に対して固定される。保持部７０は、図３に示すように、流路１の壁面１Ａの外側に配置され。壁面１Ａの外側でオゾン発生体３の支持部５０を保持する。流路１の壁面１Ａには、オゾン発生体３を内側に突出させる開口部１Ｂが形成されている。オゾン発生体３の第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。第１電極１０の少なくとも一部及び第２電極３０の少なくとも一部は、壁面１Ａよりも内側に配置される。また、ホルダ５２も、開口部１Ｂから壁面１Ａの内側に突出した状態で配置される。

【0081】

交流電源７４は、トランスを有し、交流電力を供給しうる。交流電源７４は、オゾン発生器１００の外部の商用電源から供給される電力に基づいて所望の交流電力を生成し、オゾン発生体３等に供給する。

【0082】

オゾン発生器１００は、図１１に示すように、制御部８０と、操作部８１と、オゾン検出部８２と、表示部８３と、音出力部８４と、を有する。制御部８０は、オゾン発生器１００の動作を制御する。制御部８０は、マイクロコンピュータを主体として構成され、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、駆動回路等を有する。

【0083】

操作部８１は、例えば押圧によってオンオフ状態が切り替わるスイッチであり、例えばタクトスイッチである。操作部８１の操作結果を示す信号は、制御部８０に入力される。オゾン検出部８２は、オゾン発生器１００の外部の空気のオゾン濃度を検出する。オゾン検出部８２の検出値を示す信号は、制御部８０に入力される。

【0084】

制御部８０は、交流電源７４を介して、オゾン発生体３の動作を制御しうる。制御部８０は、オゾン発生体３に印加する交流電圧を制御することで、オゾン発生体３が発生させるオゾンの量を調整しうる。制御部８０は、操作部８１の操作結果に基づいてオゾンの発生量を調整しうる。制御部８０は、オゾン検出部８２で検出されたオゾン濃度に基づいて、オゾン濃度が目標値に近づくようにオゾン発生体３の動作をフィードバック制御しうる。

【0085】

制御部８０は、ファン２の動作を制御しうる。制御部８０は、ファン２にＰＷＭ信号を与えることで、ファン２をＰＷＭ制御する。これにより、制御部８０は、風量を調整しうる。

【0086】

制御部８０は、表示部８３の動作を制御しうる。表示部８３は、例えばＬＥＤランプである。表示部８３は、ＬＥＤの点灯状態によって、電源のオンオフ状態や、ファン２の動作状態、外部のオゾン濃度などを示す。

【0087】

制御部８０は、音出力部８４の動作を制御しうる。音出力部８４は、音を出力するものであり、例えばブザーである。音出力部８４は、例えばオゾン発生器１００に異常が生じた場合に警報音を出力する。

【0088】

１－２．第１実施形態の効果
第１実施形態では、支持部５０が、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のいずれよりもヤング率が低い。このため、第１誘電体１１又は第２誘電体３１が振動しても、支持部５０が支持する部分に応力がかかりにくい。ゆえに、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が破損しにくい。

【0089】

更に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が同じ側で片持ち支持されるため、長手方向の他端側において、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間を開口させることができる。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に形成される放電空間ＤＳに気体が入り込みやすくなり、その結果、オゾンの発生効率を向上させることができる。

【0090】

更に、支持部５０は、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間に配置されるスペーサ５１を有する。このため、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を、スペーサ５１によって容易に設定することができる。

【0091】

更に、支持部５０は、スペーサ部５３から延びて第１突出部２２と第２突出部４２との間に配置される延設部５４と、を有する。このため、第１端子１２と第２端子３２とをより確実に絶縁させることができる。

【0092】

更に、第１端子１２の第３接続部２３は第１突出部２２の先端から屈曲して延びるため、第１突出部２２の突出方向への第１端子１２の広がりを抑えることができる。また、第２端子３２の第４接続部４３は第２突出部４２の先端から屈曲して延びるため、第２突出部４２の突出方向への第２端子３２の広がりを抑えることができる。

【0093】

更に、支持部５０は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を保持するホルダ５２を有する。このため、支持部５０のスペーサ５１とホルダ５２とによって、第１誘電体１１と第２誘電体３１との間隔を一定に保持することができる。

【0094】

更に、ホルダ５２は、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲む環状をなしている。このため、ホルダ５２の孔に、スペーサ５１を挟んだ第１誘電体１１及び第２誘電体３１を挿し通すことで、容易に組み付けることができる。

【0095】

更に、ホルダ５２は、第１端子１２及び第２端子３２を露出させるように切り欠いた第１切欠部５８を有する。このため、第１切欠部５８を通して、第１端子１２及び第２端子３２を樹脂で埋めやすくなる。

【0096】

更に、ホルダ５２は、放電空間ＤＳを露出させるように切り欠いた第２切欠部５９を有する。このため、ホルダ５２によって第１誘電体１１及び第２誘電体３１の外周を囲みつつも、第２切欠部５９を通して、放電空間ＤＳへの気体の流入を許容することができる。ゆえに、ホルダ５２を設けることによる放電空間ＤＳへの気体の流入量の低下を抑制することができる。

【0097】

更に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、セラミックであり、支持部５０は、樹脂製である。このため、第１誘電体１１及び第２誘電体３１をセラミックで形成しつつも、振動が加わった際に支持部５０による支持部分に応力がかかった場合に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１が破損することを抑制することができる。

【0098】

更に、第１電極１０及び第２電極３０の固有振動数Ｆｎが、２００Ｈｚ以上である。このため、輸送時など外部から振動が加わる状況において、共振に起因する振動を小さく抑えることができ、その結果、振動時に第１誘電体１１及び第２誘電体３１に及ぶ応力が小さくなるため、破損しにくくなる。

【0099】

更に、支持部５０は、スペーサ５１に、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を接着させる両面テープ５５を有する。このため、第１誘電体１１及び第２誘電体３１のスペーサ５１に対する接着が容易である。

【0100】

更に、オゾン発生体３の支持部５０は、第１誘電体１１及び第２誘電体３１を、長手方向の一端側で片持ち支持し、且つ流路１の壁面１Ａよりも外側で保持される。そして、オゾン発生体３の第１誘電体１１及び第２誘電体３１は、壁面１Ａよりも内側に突出して配置される。このため、オゾン発生器１００は、両持ち支持する構成又は互い違いに片持ち支持する構成と比較して、オゾン発生体３を固定する構造や配線を集約することができるため、構造を簡素化できる。

【0101】

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。また、上述した実施形態や後述する実施形態の様々な特徴は、矛盾しない組み合わせであればどのように組み合わされてもよい。

【0102】

上記実施形態では、Ｚ方向が上下方向であったが、上下方向に限らない。例えば、Ｚ方向は、上下方向に対して傾斜する方向であってもよい。

【0103】

上記実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を片持ち支持する構成であったが、両持ち支持する構成であってもよい。

【0104】

上記実施形態では、支持部が第１誘電体及び第２誘電体を同じ側で片持ち支持する構成であったが、同じ側で片持ち支持する構成でなくてもよく、例えば互い違いに反対側の端部で片持ち支持する構成であってもよい。

【0105】

なお、今回開示された実施の形態は全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、今回開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示された範囲内又は特許請求の範囲と均等の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0106】

１…流路
１Ａ…壁面
２…ファン
３…オゾン発生体
５…吸気口
６…排気口
１０…第１電極
１１…第１誘電体
１２…第１端子
２１…第１接続部
２２…第１突出部
２３…第３接続部
３０…第２電極
３１…第２誘電体
３２…第２端子
４１…第２接続部
４２…第２突出部
４３…第４接続部
５０…支持部
５１…スペーサ
５２…ホルダ
５３…スペーサ部
５４…延設部
５５…両面テープ
５８…第１切欠部（切欠部）
５９…第２切欠部
１００…オゾン発生器
ＤＳ…放電空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】