特許 7360812 シート支持装置およびシート支持方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-04

(45)【発行日】2023-10-13

(54)【発明の名称】シート支持装置およびシート支持方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/683 20060101AFI20231005BHJP

   B26D 3/00 20060101ALI20231005BHJP

   B26D 3/10 20060101ALI20231005BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 N

B26D3/00 601B

B26D3/10 C

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019093850

(22)【出願日】2019-05-17

(65)【公開番号】P2020188242

(43)【公開日】2020-11-19

【審査請求日】2022-03-16

(73)【特許権者】

【識別番号】000102980

【氏名又は名称】リンテック株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100120592

【弁理士】

【氏名又は名称】山崎 崇裕

(74)【代理人】

【識別番号】100184712

【弁理士】

【氏名又は名称】扇原 梢伸

(74)【代理人】

【識別番号】100192223

【弁理士】

【氏名又は名称】加久田 典子

(72)【発明者】

【氏名】丸山 政徳

【審査官】三浦 みちる

(56)【参考文献】

【文献】特開２００４－０７９７６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３２９０８７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－０８６６６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開昭６１－２７６２３１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－２９７１３５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１２４３０７（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６８３

Ｂ２６Ｄ ３／００

Ｂ２６Ｄ ３／１０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置において、
前記接着シート基材を支持するシート支持手段と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助手段とを備え、
前記切断補助手段は、複数種の前記接着シートの形状に対応して前記貫通部が当接する当接部を備えており、
前記当接部は、複数の当接面を有しており、かつ、前記貫通部が当接する位置が複数種の前記接着シートに対応して異なるように、前記複数の当接面が前記切断部材の貫通方向へ階段状に連なって形成されていることを特徴とするシート支持装置。

【請求項2】

接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置において、
前記接着シート基材を支持するシート支持手段と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助手段とを備え、
前記切断補助手段は、複数種の前記接着シートの形状に対応して前記貫通部が当接する当接部を備えており、
前記当接部は、前記貫通部が当接する位置が複数種の前記接着シートに対応して異なるように、前記切断部材の貫通方向に対して傾斜したスロープ状の当接面を有していることを特徴とするシート支持装置。

【請求項3】

前記切断補助手段は、前記当接部と前記切断部材との当接を検知可能な当接検知手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート支持装置。

【請求項4】

接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持方法において、
前記接着シート基材を支持するシート支持工程と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を切断補助手段で支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助工程とを実施し、
前記切断補助工程では、複数種の前記接着シートの形状に対応した当接部に前記貫通部を当接させるため、複数の当接面を有し、かつ、前記貫通部が当接する位置が複数種の前記接着シートに対応して異なるように、前記複数の当接面が前記切断部材の貫通方向へ階段状に連なって形成された前記当接部を用いることを特徴とするシート支持方法。

【請求項5】

接着シート基材と切断部材とを相対移動させ、当該接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持方法において、
前記接着シート基材を支持するシート支持工程と、
前記接着シート基材を貫通した前記切断部材の貫通部を切断補助手段で支持し、前記接着シート基材と切断部材との相対移動の際、当該切断部材の動向の補助を行う切断補助工程とを実施し、
前記切断補助工程では、複数種の前記接着シートの形状に対応した当接部に前記貫通部を当接させるため、前記貫通部が当接する位置が複数種の前記接着シートに対応して異なるように、前記切断部材の貫通方向に対して傾斜したスロープ状の当接面を有した前記当接部を用いることを特徴とするシート支持方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、シート支持装置およびシート支持方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、接着シート基材を切断して所定形状の接着シートを形成する際、当該接着シート基材を支持するシート支持装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００４－７９７６８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

しかしながら、特許文献１に記載された従来の第２テーブル２０１ｂ（シート支持装置）では、第２接着性シートＦ２（接着シート基材）を切断して形成することができる接着シートの形状は、刃３０１ｂ（切断部材）を当接させて当該切断部材の動向の補助を行う突起片２０１ｃ（切断補助手段）の配置に依存するため、限られた種類の接着シートしか形成することができないという不都合を発生する。

【0005】

本発明の目的は、切断部材の動向の補助を行いつつも、複数種の接着シートを形成することができるシート支持装置およびシート支持方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

【発明の効果】

【0007】

本発明によれば、複数種の接着シートの形状に対応した当接部に貫通部を当接させるので、切断部材の動向の補助を行いつつも、複数種の接着シートを形成することができる。

【図面の簡単な説明】

【0008】

【図1】（Ａ）、（Ｂ）は、本発明のシート支持装置の説明図。（Ｃ）～（Ｇ）は、本発明のシート支持装置の変形例の説明図。

【発明を実施するための形態】

【0009】

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

【0010】

本発明のシート支持装置ＥＡは、接着シート基材ＡＢと切断部材としての切断刃ＣＭとを相対移動させ、当該接着シート基材ＡＢを切断して所定形状の接着シートＡＳを形成する際、当該接着シート基材ＡＢを支持する装置であって、接着シート基材ＡＢを支持するシート支持手段１０と、接着シート基材ＡＢを貫通した切断刃ＣＭの貫通部ＣＭ１を支持し、接着シート基材ＡＢと切断刃ＣＭとの相対移動の際、当該切断刃ＣＭの動向の補助を行う切断補助手段２０とを備え、シート支持手段１０で支持した被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付するシート貼付手段３０と、接着シート基材ＡＢと切断刃ＣＭとを相対移動させる移動手段４０とでシート貼付装置ＥＡ１を構成している。
なお、本実施形態の場合、シート支持手段１０は、被着体ＷＫを介して接着シート基材ＡＢを支持する構成となっている。

【0011】

シート支持手段１０は、駆動機器としてのリニアモータ１１と、リニアモータ１１のスライダ１１Ａに支持された支持テーブル１２とを備えている。
支持テーブル１２の上面には、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能とされた内側支持面１２Ａと、当該内側支持面１２Ａの外周に凹溝１２Ｂを隔てて形成された外側支持面１２Ｃとが形成されている。なお、凹溝１２Ｂは、上方から見下した平面視において円環形状とされている。

【0012】

切断補助手段２０は、複数種の接着シートＡＳの形状に対応して貫通部ＣＭ１が当接する当接部２１Ａを有する当接部材２１と、当接部２１Ａと切断刃ＣＭとの当接を検知可能な当接検知手段２２とを備えている。
当接部材２１は、外周面が当接部２１Ａとされた平面視円環形状の部材からなり、当該当接部２１Ａに形成された第１当接面２１Ａ１と第２当接面２１Ａ２とで複数の当接面が形成され、凹溝１２Ｂ内に配置されている。
当接検知手段２２は、導体２２Ａを介して第１当接面２１Ａ１と導通し、導体２２Ｂを介して第２当接面２１Ａ２と導通し、導体２２Ｃを介して切断刃ＣＭと導通することで、第１、第２当接面２１Ａ１、２１Ａ２と切断刃ＣＭとの電気的な導通を検知する電気導通センサとなっている。

【0013】

シート貼付手段３０は、接着シート基材ＡＢが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ３１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ３２と、剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬを折り返し、当該剥離シートＲＬから接着シート基材ＡＢを剥離する剥離手段としての剥離板３３と、被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ３５Ｂとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡ１の自動運転が行われている間、ピンチローラ３５Ｂとの間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートＲＬを回収する回収手段としての回収ローラ３６とを備えている。

【0014】

移動手段４０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム４１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット４１を備えている。
なお、本実施形態では、移動手段４０は、切断刃ＣＭが取り付けられたブラケットＢＲを先端アーム４１Ａで支持し、静止しているシート支持手段１０に対して切断刃ＣＭを移動させ、接着シート基材ＡＢを切断して接着シートＡＳを形成する構成となっている。

【0015】

以上のシート支持装置ＥＡが採用されたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように原反ＲＳをセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して図１（Ａ）中実線で示すように、先頭の接着シート基材ＡＢの繰出方向先端部が剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、回動モータ３５Ａの駆動を停止する。

【0016】

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１（Ａ）に示すように、内側支持面１２Ａ上に被着体ＷＫを載置すると、シート支持手段１０が図示しない減圧手段を駆動し、当該内側支持面１２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始する。その後、シート支持手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル１２を左方に移動させ、当該支持テーブル１２が所定の位置に到達すると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、当該支持テーブル１２の移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シート基材ＡＢが剥離シートＲＬから剥離され、当該剥離シートＲＬから剥離された接着シート基材ＡＢは、図１（Ａ）中二点鎖線で示すように、押圧ローラ３４によって、外側支持面１２Ｃおよび被着体ＷＫの上面に押圧されて貼付される。次に、先頭の接着シート基材ＡＢに次ぐ次の接着シート基材ＡＢの繰出方向先端部が、剥離板３３の剥離縁３３Ａで所定長さ剥離されると、シート貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止する。

【0017】

そして、外側支持面１２Ｃおよび被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢ全体が貼付され、支持テーブル１２が移動手段４０の作業範囲内に到達すると、シート支持手段１０がリニアモータ１１の駆動を停止する。次いで、移動手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、図１（Ｂ）中実線で示すように、接着シート基材ＡＢを貫通した切断刃ＣＭの貫通部ＣＭ１が、凹溝１２Ｂ内で第１当接面２１Ａ１よりも内側支持面１２Ａから離れるように、当該切断刃ＣＭを接着シート基材ＡＢに突き刺す。その後、移動手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、切断刃ＣＭを第１当接面２１Ａ１に接近させつつ、当該切断刃ＣＭを第１当接面２１Ａ１に沿って移動させる。次に、図１（Ｃ）中実線で示すように、切断刃ＣＭが第１当接面２１Ａ１に当接したことを当接検知手段２２が検知すると、移動手段４０は、この当接位置を起点にして、切断刃ＣＭを第１当接面２１Ａ１に接触させたまま当該第１当接面２１Ａ１に沿って１周させる。すると、接着シート基材ＡＢから接着シートＡＳが形成され、当該接着シートＡＳが被着体ＷＫに貼付された一体物ＵＰが形成される。この際、第１当接面２１Ａ１は、多関節ロボット４１によって移動される切断刃ＣＭの動いていく方向や向き等である動向の補助を行うことで、当該切断刃ＣＭの挙動や姿勢等を安定化させ、形成される接着シートＡＳの外縁を綺麗に形成することができる。

【0018】

一体物ＵＰが形成されると、移動手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、切断刃ＣＭを初期位置に復帰させる。そして、シート支持手段１０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、内側支持面１２Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を解除すると、使用者または、図示しない運搬手段が一体物ＵＰを内側支持面１２Ａから取り去り、当該一体物ＵＰを次工程に搬送する。次いで、使用者または図示しないシート剥離手段が、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを外側支持面１２Ｃ上から剥離して破棄すると、シート支持手段１０がリニアモータ１１を駆動し、支持テーブル１２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

【0019】

ここで、接着シートＡＳの大きさまたは形状を変更する際は、移動手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、接着シート基材ＡＢを貫通した切断刃ＣＭの貫通部ＣＭ１が、凹溝１２Ｂ内で第２当接面２１Ａ２よりも内側支持面１２Ａから離れるように、当該切断刃ＣＭを接着シート基材ＡＢに突き刺す。その後、移動手段４０が多関節ロボット４１を駆動し、上記と同様にして図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、切断刃ＣＭを第２当接面２１Ａ２に当接させて接着シートＡＳを形成する。

【0020】

以上のような実施形態によれば、複数種の接着シートＡＳの形状に対応した当接部２１に貫通部ＣＭ１を当接させるので、切断刃ＣＭの動向の補助を行いつつも、複数種の接着シートＡＳを形成することができる。

【0021】

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート支持手段は、接着シート基材を支持するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

【0022】

シート支持手段１０は、被着体ＷＫを支持することなく、接着シート基材ＡＢのみを支持するものでもよいし、シート貼付手段３０以外の例えば人手や公知の接着シート基材供給手段等によって供給された接着シート基材ＡＢを支持する構成でもよいし、吸着保持が不能な内側支持面１２Ａを有していてもよいし、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な外側支持面１２Ｃを有していてもよいし、内側支持面１２Ａの外形形状が被着体ＷＫの外形形状と同じでもよいし、異なっていてもよいし、内側支持面１２Ａの外形形状が円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、内側支持面１２Ａの大きさが被着体ＷＫよりも大きくてもよいし、小さくてもよいし、外側支持面１２Ｃの外形形状が円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、有底の凹溝１２Ｂを備えていてもよいし、底無しの凹溝１２Ｂを備えていてもよいし、リニアモータ１１等の駆動機器に支持されていなくてもよいし、凹溝１２Ｂや外側支持面１２Ｃが形成されていなくてもよい。

【0023】

切断補助手段２０は、前記実施形態のように支持テーブル１２と別体で構成されていてもよいし、支持テーブル１２と一体で構成させていてもよいし、当接検知手段２２を備えていなくてもよい。
当接部２１Ａは、図１（Ｄ）に示すように、凹溝のない支持テーブル１２の外壁１２Ｄに設けられていてもよいし、同図および図１（Ｉ）に示すように、３つ以上の当接面２１Ａ１、２１Ａ２、２１Ａ３、２１Ａ４・・・が形成されていてもよいし、図１（Ｅ）に示すように、平面視円環形状でない凹溝１２Ｂ内や、図１（Ｆ）に示すように、平面視円環形状でない支持テーブル１２の外壁１２Ｄに設けられていてもよいし、図１（Ｇ）に示すように、平面視環状の複数のスリットにおける内側支持面１２Ａ側のそれぞれの内側面によって複数の当接面２１Ａ１、２１Ａ２が形成されていてもよいし、図１（Ｈ）に示すように、スロープ状の当接面２１ＡＳを備えていてもよいし、図１（Ｉ）に示すように、様々な平面形状を備えた当接面２１Ａ１、２１Ａ２、２１Ａ３、２１Ａ４が形成されていてもよいし、複数の当接面２１Ａ１、２１Ａ２・・・とスロープ状の当接面２１ＡＳとの両方を備えていてもよい。
当接検知手段２２は、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサの他、圧力センサ、音感知センサ、振動感知センサ等、当接部２１Ａと切断刃ＣＭとの当接を検知可能なものであれば何でもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0024】

シート貼付手段３０は、帯状の接着シート基材を外側支持面１２Ｃおよび被着体ＷＫの上面に貼付する構成でもよいし、支持ローラ３１やガイドローラ３２等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反ＲＳを支持したり案内したりしてもよいし、原反ＲＳを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートＲＬを回収してもよいし、剥離シートＲＬを回収しなくてもよいし、支持テーブル１２を移動させずにまたは移動させつつ、剥離板３３、押圧ローラ３４、駆動ローラ３５等を移動させて被着体ＷＫに接着シート基材ＡＢを貼付してもよいし、剥離シートＲＬが仮着されていない接着シート基材ＡＢを繰り出して被着体に貼付してもよいし、被着体ＷＫを支持していないシート支持手段１０に接着シート基材ＡＢを貼付する構成でもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0025】

移動手段４０は、切断刃ＣＭを移動させずにまたは移動させつつ、接着シート基材ＡＢを移動させて当該接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｃ）に示すように、切断刃ＣＭにおける切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向に当該切断刃ＣＭを傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｄ）に示すように、切先側が被着体ＷＫに接近する方向に当該切断刃ＣＭを傾斜させて接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｇ）に示すように、切先側が被着体ＷＫから遠ざかる方向または接近する方向にも傾斜させることなく接着シートＡＳを切断してもよいし、図１（Ｃ）中実線で示すように、被着体ＷＫの外縁に切断刃ＣＭを押し当てるようにして接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁と同形状となるように接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、被着体ＷＫの外縁よりも被着体ＷＫから離れた位置で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁よりも内側で接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、被着体ＷＫの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢのみを切断してもよいし、接着シート基材ＡＢおよび被着体ＷＫの両方を切断してもよいし、図１（Ｇ）に示すように、被着体ＷＫに貼付されていない接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、図１（Ｄ）に示すように、接着シート基材ＡＢを介して被着体ＷＫが内側支持面１２Ａに支持されたものから当該接着シート基材ＡＢを切断してもよいし、ブラケットＢＲを介することなく切断刃ＣＭを支持する構成でもよいし、切断刃ＣＭを着脱可能または着脱不能な構成でもよいし、切断刃ＣＭの着脱を自動で行ったり、人手で行ったり、他の装置で行ったりしてもよいし、多関節ロボット４１が、接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを保持可能な保持手段を先端アーム４１Ａで支持し、当該接着シートＡＳが切り抜かれた接着シート基材ＡＢを外側支持面１２Ｃ上から剥離するシート剥離手段として機能してもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0026】

切断部材は、接着シート基材ＡＢを切断可能なものであればどのようなものが採用されてもよく、例えば、切断刃ＣＭ４の延出方向（図１（Ａ）の状態におけるＺ軸方向）に対して峰が平行で刃先が傾斜した切断刃ＣＭが採用されてもよいし、切断刃ＣＭの延出方向に対して刃先が平行で峰が傾斜した切断刃ＣＭが採用されてもよいし、切断刃ＣＭの延出方向に対して刃先および峰の両方が傾斜した所謂両刃の切断刃ＣＭが採用されてもよいし、丸刃や鋸刃等のその他の形状の切断刃ＣＭが採用されてもよいし、ニクロム線や金属線等の電熱線や、ワイヤやベルト等の線状刃物等が採用されてもよいし、本発明のシート支持装置ＥＡやシート貼付装置ＥＡ１に備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。

【0027】

シート支持装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、接着シートＡＳを積層するシート積層装置や接着シートＡＳに印字や塗布を行う印刷装置等の他の装置に用いられてもよいし、シート貼付装置ＥＡ１や他の装置等に用いられることなく、単独で用いられてもよい。
接着シート基材ＡＢは、剥離シートＲＬが仮着されていなくてもよい。

【0028】

本発明における接着シート基材ＡＢ、接着シートＡＳおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シート基材ＡＢや接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

【0029】

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

【符号の説明】

【0030】

ＥＡ…シート支持装置
１０…シート支持手段
２０…切断補助手段
２１Ａ…当接部
２１Ａ１…第１当接面
２１Ａ２…第２当接面
２１ＡＳ…スロープ状の当接面
２２…当接検知手段
ＡＢ…接着シート基材
ＡＳ…接着シート
ＣＭ…切断刃（切断部材）
ＣＭ１…貫通部

【図1】