特許 7361317 信号処理装置、慣性力センサ、信号処理方法、及びプログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-05

(45)【発行日】2023-10-16

(54)【発明の名称】信号処理装置、慣性力センサ、信号処理方法、及びプログラム

(51)【国際特許分類】

   G01P 15/125 20060101AFI20231006BHJP

   G01P 15/18 20130101ALI20231006BHJP

【ＦＩ】

G01P15/125 V

G01P15/18

【請求項の数】 8

(21)【出願番号】P 2021508092

(86)(22)【出願日】2020-01-09

(86)【国際出願番号】 JP2020000474

(87)【国際公開番号】W WO2020195000

(87)【国際公開日】2020-10-01

【審査請求日】2022-09-12

(31)【優先権主張番号】P 2019061932

(32)【優先日】2019-03-27

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】314012076

【氏名又は名称】パナソニックＩＰマネジメント株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002527

【氏名又は名称】弁理士法人北斗特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】黒田 啓介

(72)【発明者】

【氏名】梶原 拓也

(72)【発明者】

【氏名】中塚 淳二

(72)【発明者】

【氏名】永井 正昭

【審査官】細見 斉子

(56)【参考文献】

【文献】国際公開第２０１５／０５２９２６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１５－０１０８５６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－０７７２００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０１７７９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００８／０２８８２００（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｐ １５／１２５

Ｇ０１Ｐ １５／１８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子の出力信号から検出信号を生成する検出回路と、
前記検出信号を補正する補正回路と、を備え、
前記検出回路は、
前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から前記検出信号を生成する第１検出部と、
前記第１検出部よりも検出範囲が広く、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から補正用信号を生成する第２検出部と、を有し、
前記補正回路は、前記少なくとも２つの方向の各々における前記検出信号を、前記少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における前記補正用信号で補正する、
信号処理装置。

【請求項2】

前記第１検出部及び前記第２検出部の各々は、Ａ／Ｄ変換器を含む、
請求項１に記載の信号処理装置。

【請求項3】

前記少なくとも２つの方向は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向であり、
前記検出素子は、
Ｘ軸方向における慣性力を検出するＸ軸用検出素子と、
Ｙ軸方向における慣性力を検出するＹ軸用検出素子と、
Ｚ軸方向における慣性力を検出するＺ軸用検出素子と、を含む、
請求項１又は２に記載の信号処理装置。

【請求項4】

前記少なくとも２つの方向は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向であり、
前記検出回路は、
Ｘ軸方向における慣性力を検出する前記検出素子としてのＸ軸用検出素子の前記出力信号から前記検出信号を生成するＸ軸用検出回路と、
Ｙ軸方向における慣性力を検出する前記検出素子としてのＹ軸用検出素子の前記出力信号から前記検出信号を生成するＹ軸用検出回路と、
Ｚ軸方向における慣性力を検出する前記検出素子としてのＺ軸用検出素子の前記出力信号から前記検出信号を生成するＺ軸用検出回路と、を含み、
前記Ｘ軸用検出回路は、前記第１検出部としてのＸ軸用第１検出部と、前記第２検出部としてのＸ軸用第２検出部と、を有し、
前記Ｙ軸用検出回路は、前記第１検出部としてのＹ軸用第１検出部と、前記第２検出部としてのＹ軸用第２検出部と、を有し、
前記Ｚ軸用検出回路は、前記第１検出部としてのＺ軸用第１検出部と、前記第２検出部としてのＺ軸用第２検出部と、を有する、
請求項１～３のいずれか１項に記載の信号処理装置。

【請求項5】

前記第１検出部の前記検出信号と前記第２検出部の前記補正用信号とを比較する信号比較部を更に備える、
請求項１～４のいずれか１項に記載の信号処理装置。

【請求項6】

請求項１～５のいずれか１項に記載の信号処理装置と、
前記検出素子と、を備える、
慣性力センサ。

【請求項7】

互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子の出力信号を処理する信号処理方法であって、
前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から検出信号を生成する第１検出ステップと、
前記第１検出ステップよりも広い検出範囲で、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から補正用信号を生成する第２検出ステップと、
前記検出信号を補正する補正ステップと、を含み、
前記補正ステップでは、前記少なくとも２つの方向の各々における前記検出信号を、前記少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における前記補正用信号で補正する、
信号処理方法。

【請求項8】

請求項７に記載の信号処理方法を１以上のプロセッサに実行させるためのプログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、信号処理装置、慣性力センサ、信号処理方法、及びプログラムに関する。より詳細には、本開示は、慣性力を検出する検出素子からの信号を処理する信号処理装置、慣性力センサ、信号処理方法、及びプログラムに関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１には、車両、ナビゲーション装置、及び携帯端末等に用いられる加速度センサ（慣性力センサ）が記載されている。特許文献１に記載の加速度センサは、センサ部（検出素子）と、検出回路（信号処理装置）と、を有する。検出回路は、ＣＶ変換回路と、信号調整回路と、ＡＤ変換回路（第１検出部及び第２検出部）と、を含む。ＣＶ変換回路は、センサ部で生じた容量の変化を電圧に変換する。信号調整回路は、ＣＶ変換回路の出力電圧をサンプリングし、得られた出力電圧にオフセット電圧を付加した後、所定の感度まで増幅する。ＡＤ変換回路は、信号調整回路の出力電圧をデジタル値に変換して出力する。

【0003】

特許文献１に記載の加速度センサが３軸加速度センサの場合、例えばＸ軸方向の加速度に対して、Ｙ軸方向とＺ軸方向との少なくとも一方の加速度が影響する場合がある。この場合、上記加速度の影響を抑制する必要があるが、ＡＤ変換回路のダイナミックレンジを超えるような加速度に対しては抑制できない可能性がある。

【0004】

この問題に対して、ＡＤ変換回路のダイナミックレンジを大きくする方法もあるが、ダイナミックレンジと最小分解能とはトレードオフの関係にあり、ダイナミックレンジを大きくすると最小分解能が低下するという問題がある。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】国際公開第２０１５／０５２９２６号

【発明の概要】

【0006】

本開示の目的は、感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる信号処理装置、慣性力センサ、信号処理方法、及びプログラムを提供することにある。

【0007】

本開示の一態様に係る信号処理装置は、検出回路と、補正回路と、を備える。前記検出回路は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子の出力信号から検出信号を生成する。前記補正回路は、前記検出信号を補正する。前記検出回路は、第１検出部と、第２検出部と、を有する。前記第１検出部は、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から前記検出信号を生成する。前記第２検出部は、前記第１検出部よりも検出範囲が広く、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から補正用信号を生成する。前記補正回路は、前記少なくとも２つの方向の各々における前記検出信号を、前記少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における前記補正用信号で補正する。

【0008】

本開示の一態様に係る慣性力センサは、前記信号処理装置と、前記検出素子と、を備える。

【0009】

本開示の一態様に係る信号処理方法は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子の出力信号を処理する信号処理方法である。前記信号処理方法は、第１検出ステップと、第２検出ステップと、補正ステップと、を含む。前記第１検出ステップは、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から検出信号を生成するステップである。前記第２検出ステップは、前記第１検出ステップよりも広い検出範囲で、前記少なくとも２つの方向の各々における前記出力信号から補正用信号を生成するステップである。前記補正ステップは、前記検出信号を補正するステップである。前記補正ステップでは、前記少なくとも２つの方向の各々における前記検出信号を、前記少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における前記補正用信号で補正する。

【0010】

本開示の一態様に係るプログラムは、前記信号処理方法を１以上のプロセッサに実行させるためのプログラムである。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】図１は、本開示の一実施形態に係る信号処理装置及び慣性力センサの構成を示す概略図である。

【図2A】図２Ａは、同上の慣性力センサの他軸感度を説明する説明図である。

【図2B】図２Ｂは、同上の慣性力センサの他軸感度を説明する説明図である。

【図3】図３は、同上の慣性力センサを構成する検出素子の分解斜視図である。

【図4】図４は、図３のＸ１－Ｘ２断面図である。

【図5】図５は、同上の信号処理装置の動作を説明するシーケンス図である。

【図6】図６は、本開示の一実施形態の変形例に係る信号処理装置の一部構成を示す概略図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

（実施形態）
以下の実施形態等において参照する図３及び図４は、いずれも模式的な図であり、図中の各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が、必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。

【0013】

（１）概要
以下、本実施形態に係る慣性力センサ１０の概要について、図１及び図２を参照して説明する。

【0014】

本実施形態に係る慣性力センサ１０は、慣性力を検出するためのセンサであり、例えば、互いに直交する３軸方向の加速度を検出する３軸加速度センサである。つまり、本実施形態に係る慣性力センサ１０は、Ｘ軸方向における加速度と、Ｙ軸方向における加速度と、Ｚ軸方向における加速度と、をそれぞれ検出することができる。慣性力センサ１０は、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、例えば、プリント基板１００の一表面（基準面）１０１に実装される表面実装型の加速度センサである。慣性力センサ１０は、例えば、静電容量型の加速度センサである（図４参照）。

【0015】

本実施形態に係る慣性力センサ１０は、図１に示すように、信号処理装置１と、複数（図１では３つ）の検出素子２と、を備えている。信号処理装置１は、例えば、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）である。また、本実施形態では、検出素子２は、Ｘ軸用検出素子２Ａと、Ｙ軸用検出素子２Ｂと、Ｚ軸用検出素子２Ｃと、を含む。Ｘ軸用検出素子２Ａは、Ｘ軸方向における慣性力（加速度）を検出する。Ｙ軸用検出素子２Ｂは、Ｙ軸方向における慣性力（加速度）を検出する。Ｚ軸用検出素子２Ｃは、Ｚ軸方向における慣性力（加速度）を検出する。以下では、Ｘ軸用検出素子２Ａ、Ｙ軸用検出素子２Ｂ、及びＺ軸用検出素子２Ｃを特に区別しない場合には、Ｘ軸用検出素子２Ａ、Ｙ軸用検出素子２Ｂ、及びＺ軸用検出素子２Ｃの各々を「検出素子２」ともいう。

【0016】

図２Ａ及び図２Ｂは、本実施形態に係る慣性力センサ１０をプリント基板１００に実装した状態の模式図である。図２Ａ及び図２Ｂでは、プリント基板１００の一表面（上面）１０１が基準面（以下、「基準面１０１」ともいう）である。図２Ａは、基準面１０１に対する慣性力センサ１０の傾斜角度がゼロの場合における他軸感度を示している。図２Ｂは、基準面１０１に対する慣性力センサ１０の傾斜角度がθ（θ＞０）の場合における他軸感度を示している。本開示でいう「他軸感度」とは、測定軸以外、すなわち測定軸に直交する軸方向の加速度による測定軸方向への影響の度合いをいう。例えば、図２Ａ及び図２Ｂに示すように、鉛直方向（Ｚ軸方向）に重力加速度１Ｇが加わっている場合には、他軸感度は、Ｚ軸方向以外の軸方向（図２Ａ及び図２ＢではＸ軸方向）において鉛直方向の重力加速度１Ｇによる成分が検出されることをいう。

【0017】

図２Ａでは、鉛直方向の重力加速度１ＧはＺ軸方向のみに作用し、Ｘ軸方向には作用していない。つまり、図２Ａでは、Ｘ軸方向のセンサ出力はゼロであり、Ｚ軸方向のセンサ出力は１Ｇである。この場合、鉛直方向の重力加速度１ＧによるＸ軸方向の他軸感度はゼロである。一方、図２Ｂでは、プリント基板１００の基準面１０１に対して慣性力センサ１０が傾斜しているため、鉛直方向の重力加速度１ＧはＺ軸方向の成分とＸ軸方向の成分とに分けられる。図２Ｂに示す例では、基準面１０１に対する慣性力センサ１０の傾斜角度がθであることから、重力加速度１ＧによるＺ軸方向の成分は（１Ｇ×ｃｏｓθ）となり、重力加速度１ＧによるＸ軸方向の成分は（１Ｇ×ｓｉｎθ）となる。この場合、鉛直方向の重力加速度１ＧによるＸ軸方向の他軸感度は（１Ｇ×ｓｉｎθ）である。このような他軸感度はＸ軸方向における誤差成分であるため、補正により低減する必要がある。

【0018】

このような他軸感度による誤差を補正する方法は従来から種々提供されているが、例えば、上述の特許文献１に記載の加速度センサでは、他軸感度の原因となる加速度の大きさがＡＤ変換回路のダイナミックレンジ（フルスケール電圧）よりも大きくなると、他軸感度による誤差を補正できない可能性がある。この場合、ＡＤ変換回路のダイナミックレンジを大きくすることで対応可能であるが、ＡＤ変換回路のダイナミックレンジと最小分解能とはトレードオフの関係にあるため、ダイナミックレンジを大きくすると最小分解能（信号精度）が低下するという問題がある。本実施形態に係る信号処理装置１では、感度（最小分解能）の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができるように、以下の構成を採用している。

【0019】

本実施形態に係る信号処理装置１は、図１に示すように、検出回路１１と、補正回路１２と、を備える。検出回路１１は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子２の出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成する。補正回路１２は、検出信号Ｓｉｇ２を補正する。検出回路１１は、第１検出部１１２と、第２検出部１１３と、を有する。第１検出部１１２は、少なくとも２つの方向の各々における出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成する。第２検出部１１３は、第１検出部１１２よりも検出範囲が広く、少なくとも２つの方向の各々における出力信号Ｓｉｇ１から補正用信号Ｓｉｇ３を生成する。補正回路１２は、少なくとも２つの方向の各々における検出信号Ｓｉｇ２を、少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における補正用信号Ｓｉｇ３で補正する。

【0020】

このように、本実施形態に係る信号処理装置１では、補正用信号Ｓｉｇ３を生成する第２検出部１１３の検出範囲（フルスケールレンジ）が、検出信号Ｓｉｇ２を生成する第１検出部１１２の検出範囲（フルスケールレンジ）よりも広い。そのため、加速度については、第２検出部１１３よりも検出範囲の狭い第１検出部１１２により検出することで、感度の低下を抑えることができる。また、他軸感度については、第１検出部１１２よりも検出範囲の広い第２検出部１１３により検出することで、他軸感度の原因となる加速度が大きい場合でも、他軸感度の影響を抑えることができる。つまり、本実施形態に係る信号処理装置１によれば、感度（最小分解能）の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0021】

（２）構成
次に、本実施形態に係る慣性力センサ１０の構成について、図１、図３及び図４を参照して説明する。

【0022】

本実施形態に係る慣性力センサ１０は、図１に示すように、信号処理装置１と、複数（図１では３つ）の検出素子２と、を備えている。

【0023】

（２．１）信号処理装置
信号処理装置１は、複数（図１では３つ）の検出回路１１と、複数（図１では３つ）の補正回路１２と、を備えている。

【0024】

複数の検出回路１１の各々は、Ｘ軸用検出回路１１Ａと、Ｙ軸用検出回路１１Ｂと、Ｚ軸用検出回路１１Ｃのいずれかである。Ｘ軸用検出回路１１Ａは、後述するＸ軸用検出素子２Ａの出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成する。Ｙ軸用検出回路１１Ｂは、後述するＹ軸用検出素子２Ｂの出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成する。Ｚ軸用検出回路１１Ｃは、後述するＺ軸用検出素子２Ｃの出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成する。

【0025】

また、複数の補正回路１２の各々は、Ｘ軸用補正回路１２Ａと、Ｙ軸用補正回路１２Ｂと、Ｚ軸用補正回路１２Ｃのいずれかである。Ｘ軸用補正回路１２Ａは、Ｘ軸方向の他軸感度による誤差を補正する。Ｙ軸用補正回路１２Ｂは、Ｙ軸方向の他軸感度による誤差を補正する。Ｚ軸用補正回路１２Ｃは、Ｚ軸方向の他軸感度による誤差を補正する。

【0026】

以下では、Ｘ軸用検出回路１１Ａ、Ｙ軸用検出回路１１Ｂ、及びＺ軸用検出回路１１Ｃを特に区別しない場合には、Ｘ軸用検出回路１１Ａ、Ｙ軸用検出回路１１Ｂ、及びＺ軸用検出回路１１Ｃの各々を「検出回路１１」ともいう。また、以下では、Ｘ軸用補正回路１２Ａ、Ｙ軸用補正回路１２Ｂ、及びＺ軸用補正回路１２Ｃを特に区別しない場合には、Ｘ軸用補正回路１２Ａ、Ｙ軸用補正回路１２Ｂ、及びＺ軸用補正回路１２Ｃの各々を「補正回路１２」ともいう。

【0027】

（２．１．１）Ｘ軸用検出回路
Ｘ軸用検出回路１１Ａは、図１に示すように、ＣＶ変換回路１１１と、Ｘ軸用第１検出部１１２Ａと、Ｘ軸用第２検出部１１３Ａと、を有している。言い換えると、Ｘ軸用検出回路１１Ａは、第１検出部１１２としてのＸ軸用第１検出部１１２Ａと、第２検出部１１３としてのＸ軸用第２検出部１１３Ａと、を有している。

【0028】

ＣＶ変換回路１１１は、Ｘ軸用検出素子２Ａで生じた容量の変化を電圧に変換する。ＣＶ変換回路１１１は、増幅器１１４と、コンデンサ１１５と、スイッチ１１６と、を含む。増幅器１１４の反転入力端子は、Ｘ軸用検出素子２Ａの一部を構成する２つのコンデンサＣ１，Ｃ２の接続点に電気的に接続されている。増幅器１１４の反転入力端子と出力端子との間には、コンデンサ１１５とスイッチ１１６とが並列に電気的に接続されている。また、増幅器１１４の非反転入力端子には、基準電圧が入力される。

【0029】

Ｘ軸用第１検出部１１２Ａは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第１検出部１１２は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｘ軸用第１検出部１１２Ａは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＸ軸用検出素子２Ａのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの検出信号Ｓｉｇ２を生成する。Ｘ軸用第１検出部１１２Ａの検出信号Ｓｉｇ２は、後述するＸ軸用補正回路１２Ａの減算器１２３に入力される。

【0030】

Ｘ軸用第２検出部１１３Ａは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第２検出部１１３は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｘ軸用第２検出部１１３Ａは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＸ軸用検出素子２Ａのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの補正用信号Ｓｉｇ３を生成する。Ｘ軸用第２検出部１１３Ａの補正用信号Ｓｉｇ３は、後述するＹ軸用補正回路１２Ｂの第１乗算器１２１、及び後述するＺ軸用補正回路１２Ｃの第１乗算器１２１に入力される。

【0031】

（２．１．２）Ｙ軸用検出回路
Ｙ軸用検出回路１１Ｂは、図１に示すように、ＣＶ変換回路１１１と、Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂと、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂと、を有している。言い換えると、Ｙ軸用検出回路１１Ｂは、第１検出部１１２としてのＹ軸用第１検出部１１２Ｂと、第２検出部１１３としてのＹ軸用第２検出部１１３Ｂと、を有している。なお、ＣＶ変換回路１１１については、Ｘ軸用検出回路１１ＡのＣＶ変換回路１１１と同様であり、ここでは説明を省略する。

【0032】

Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第１検出部１１２は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＹ軸用検出素子２Ｂのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの検出信号Ｓｉｇ２を生成する。Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂの検出信号Ｓｉｇ２は、Ｙ軸用補正回路１２Ｂの減算器１２３に入力される。

【0033】

Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第２検出部１１３は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＹ軸用検出素子２Ｂのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの補正用信号Ｓｉｇ３を生成する。Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂの補正用信号Ｓｉｇ３は、Ｚ軸用補正回路１２Ｃの第２乗算器１２２、及びＸ軸用補正回路１２Ａの第１乗算器１２１に入力される。

【0034】

（２．１．３）Ｚ軸用検出回路
Ｚ軸用検出回路１１Ｃは、図１に示すように、ＣＶ変換回路１１１と、Ｚ軸用第１検出部１１２Ｃと、Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃと、を有している。言い換えると、Ｚ軸用検出回路１１Ｃは、第１検出部１１２としてのＺ軸用第１検出部１１２Ｃと、第２検出部１１３としてのＺ軸用第２検出部１１３Ｃと、を有している。なお、ＣＶ変換回路１１１については、Ｘ軸用検出回路１１ＡのＣＶ変換回路１１１と同様であり、ここでは説明を省略する。

【0035】

Ｚ軸用第１検出部１１２Ｃは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第１検出部１１２は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｚ軸用第１検出部１１２Ｃは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＺ軸用検出素子２Ｃのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの検出信号Ｓｉｇ２を生成する。Ｚ軸用第１検出部１１２Ｃの検出信号Ｓｉｇ２は、Ｚ軸用補正回路１２Ｃの減算器１２３に入力される。

【0036】

Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃは、例えば、Ａ／Ｄ変換器である。言い換えると、第２検出部１１３は、Ａ／Ｄ変換器を含む。Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃは、ＣＶ変換回路１１１を介して入力されるＺ軸用検出素子２Ｃのアナログの出力信号Ｓｉｇ１からデジタルの補正用信号Ｓｉｇ３を生成する。Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃの補正用信号Ｓｉｇ３は、Ｘ軸用補正回路１２Ａの第２乗算器１２２、及びＹ軸用補正回路１２Ｂの第２乗算器１２２に入力される。

【0037】

ここで、第１検出部１１２による加速度の検出範囲を±６Ｇとした場合、第２検出部１１３による加速度の検出範囲は、例えば、±３０Ｇとすることが好ましい。これにより、広範囲に亘って他軸感度による誤差を補正することができる。

【0038】

（２．１．４）Ｘ軸用補正回路
Ｘ軸用補正回路１２Ａは、図１に示すように、第１乗算器１２１と、第２乗算器１２２と、減算器１２３と、を有している。

【0039】

第１乗算器１２１は、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ａ１を乗算し、減算器１２３に出力する。第２乗算器１２２は、Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ｂ１を乗算し、減算器１２３に出力する。減算器１２３は、Ｘ軸用第１検出部１１２Ａの検出信号Ｓｉｇ２から、乗算後の２つの補正用信号Ｓｉｇ３を減算する。これにより、Ｙ軸方向の加速度によるＸ軸方向の他軸感度、及びＺ軸方向の加速度によるＸ軸方向の他軸感度について補正することができる。

【0040】

（２．１．５）Ｙ軸用補正回路
Ｙ軸用補正回路１２Ｂは、図１に示すように、第１乗算器１２１と、第２乗算器１２２と、減算器１２３と、を有している。

【0041】

第１乗算器１２１は、Ｘ軸用第２検出部１１３Ａからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ａ２を乗算し、減算器１２３に出力する。第２乗算器１２２は、Ｚ軸用第２検出部１１３Ｃからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ｂ２を乗算し、減算器１２３に出力する。減算器１２３は、Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂの検出信号Ｓｉｇ２から、乗算後の２つの補正用信号Ｓｉｇ３を減算する。これにより、Ｚ軸方向の加速度によるＹ軸方向の他軸感度、及びＸ軸方向の加速度によるＹ軸方向の他軸感度について補正することができる。

【0042】

（２．１．６）Ｚ軸用補正回路
Ｚ軸用補正回路１２Ｃは、図１に示すように、第１乗算器１２１と、第２乗算器１２２と、減算器１２３と、を有している。

【0043】

第１乗算器１２１は、Ｘ軸用第２検出部１１３Ａからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ａ３を乗算し、減算器１２３に出力する。第２乗算器１２２は、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂからの補正用信号Ｓｉｇ３に補正係数Ｂ３を乗算し、減算器１２３に出力する。減算器１２３は、Ｚ軸用第１検出部１１２Ｃの検出信号Ｓｉｇ２から、乗算後の２つの補正用信号Ｓｉｇ３を減算する。これにより、Ｘ軸方向の加速度によるＺ軸方向の他軸感度、及びＹ軸方向の加速度によるＺ軸方向の他軸感度について補正することができる。上述の補正係数Ａ１～Ａ３，Ｂ１～Ｂ３は、ＡＳＩＣのレジスタに記憶されている。

【0044】

（２．２）検出素子
複数の検出素子２の各々は、Ｘ軸用検出素子２Ａと、Ｙ軸用検出素子２Ｂと、Ｚ軸用検出素子２Ｃと、のいずれかである。Ｘ軸用検出素子２Ａは、Ｘ軸方向の慣性力（加速度）を検出する。Ｙ軸用検出素子２Ｂは、Ｙ軸方向の慣性力（加速度）を検出する。Ｚ軸用検出素子２Ｃは、Ｚ軸方向の慣性力（加速度）を検出する。

【0045】

本実施形態に係る慣性力センサ１０は、図３に示すように、筐体２１と、上蓋２２と、下蓋２３と、を更に備えている。筐体２１、上蓋２２、及び下蓋２３の各々は、Ｙ軸方向に長い直方体状に形成されており、Ｚ軸方向から見たときの外形寸法（Ｘ軸方向の寸法及びＹ軸方向の寸法）は略同じである。

【0046】

Ｘ軸用検出素子２Ａは、錘２４Ａと、一対の固定電極２５Ａ，２５Ａと、一対の可動電極２６Ａ，２６Ａと、を有している。錘２４Ａは、Ｚ軸方向から見たときの形状が矩形状に形成されている。錘２４Ａは、Ｙ軸方向の両端部において一対の梁２７Ａ，２７Ａを介して筐体２１に固定されている。錘２４Ａの上面（上蓋２２との対向面）には、一対の可動電極２６Ａ，２６ＡがＸ軸方向に並んだ状態で取り付けられている。一対の固定電極２５Ａ，２５Ａは、Ｘ軸方向に並んだ状態で上蓋２２の下面（筐体２１との対向面）に取り付けられている。一対の固定電極２５Ａ，２５Ａと一対の可動電極２６Ａ，２６Ａとは、筐体２１と上蓋２２とを重ねた状態において、所定の間隔を空けた状態で対向している。Ｘ軸用検出素子２Ａは、Ｘ軸方向に加速度が加わると、一対の梁２７Ａ，２７Ａを支点として、ＺＸ平面内で揺動するように構成されている。

【0047】

Ｙ軸用検出素子２Ｂは、錘２４Ｂと、一対の固定電極２５Ｂ，２５Ｂと、一対の可動電極２６Ｂ，２６Ｂと、を有している。錘２４Ｂは、Ｚ軸方向から見たときの形状が矩形状に形成されている。錘２４Ｂは、Ｘ軸方向の両端部において一対の梁２７Ｂ，２７Ｂを介して筐体２１に固定されている。錘２４Ｂの上面（上蓋２２との対向面）には、一対の可動電極２６Ｂ，２６ＢがＹ軸方向に並んだ状態で取り付けられている。一対の固定電極２５Ｂ，２５Ｂは、Ｙ軸方向に並んだ状態で上蓋２２の下面（筐体２１との対向面）に取り付けられている。一対の固定電極２５Ｂ，２５Ｂと一対の可動電極２６Ｂ，２６Ｂとは、筐体２１と上蓋２２とを重ねた状態において、所定の間隔を空けた状態で対向している。Ｙ軸用検出素子２Ｂは、Ｙ軸方向に加速度が加わると、一対の梁２７Ｂ，２７Ｂを支点として、ＹＺ平面内で揺動するように構成されている。

【0048】

Ｚ軸用検出素子２Ｃは、錘２４Ｃと、一対の固定電極２５Ｃ，２５Ｃと、一対の可動電極２６Ｃ，２６Ｃ（図３では、上側の可動電極２６Ｃのみ図示）と、を有している。錘２４Ｃは、Ｚ軸方向から見たときの形状が矩形状に形成されている。錘２４Ｃは、Ｌ字状の４つの梁２７Ｃを介して筐体２１に固定されている。錘２４ＣのＺ軸方向における両面には、一対の可動電極２６Ｃ，２６Ｃがそれぞれ取り付けられている。一対の固定電極２５Ｃのうち一方の固定電極２５Ｃは、上蓋２２の下面に取り付けられ、一対の固定電極２５Ｃのうち他方の固定電極２５Ｃは、下蓋２３の上面に取り付けられている。筐体２１と上蓋２２と下蓋２３とを重ねた状態では、一対の固定電極２５Ｃのうち一方の固定電極２５Ｃと、一対の可動電極２６Ｃのうち一方の可動電極２６Ｃとが、所定の間隔を空けた状態で対向している。また、筐体２１と上蓋２２と下蓋２３とを重ねた状態では、一対の固定電極２５Ｃのうち他方の固定電極２５Ｃと、一対の可動電極２６Ｃのうち他方の可動電極２６Ｃとが、所定の間隔を空けた状態で対向している。Ｚ軸用検出素子２Ｃは、Ｚ軸方向に加速度が加わると、４つの梁２７Ｃを支点として、Ｚ軸方向に移動可能に構成されている。

【0049】

図４は、図３のＸ１－Ｘ２断面図であり、Ｘ軸用検出素子２Ａを示している。一対の固定電極２５Ａのうち一方（図４の左側）の固定電極２５Ａと、一対の可動電極２６Ａのうち一方（図４の左側）の可動電極２６Ａと、でコンデンサＣ１を構成している。また、一対の固定電極２５Ａのうち他方（図４の右側）の固定電極２５Ａと、一対の可動電極２６Ａのうち他方（図４の右側）の可動電極２６Ａと、でコンデンサＣ２を構成している。ここで、図４におけるＸ３の向きに加速度が作用した場合を想定する。この場合、Ｘ軸用検出素子２Ａの錘２４Ａは、上記加速度によって、一対の梁２７Ａ，２７Ａを支点としてＺＸ平面内を揺動する。図４に示す例では、Ｘ３の向きの加速度によって、一方の固定電極２５Ａと可動電極２６Ａとの間隔が広く、他方の固定電極２５Ａと可動電極２６Ａとの間隔が狭くなっている。これにより、Ｘ３の向きに加速度が作用していない場合に比べて、コンデンサＣ１の容量が小さくなり、かつコンデンサＣ２の容量が大きくなっている。そして、本実施形態に係る慣性力センサ１０では、これら２つのコンデンサＣ１，Ｃ２の容量からＸ３の向きの加速度を検出することができる。

【0050】

（３）動作
次に、本実施形態に係る信号処理装置１の動作について、図５に示すシーケンス図を参照して説明する。以下では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に加速度が作用し、Ｙ軸方向の加速度によるＸ軸方向の他軸感度による誤差を補正する場合について説明する。なお、Ｙ軸方向の他軸感度及びＺ軸方向の他軸感度についても同様であるから、ここではＸ軸方向の他軸感度について説明し、Ｙ軸方向の他軸感度及びＺ軸方向の他軸感度については説明を省略する。

【0051】

Ｘ軸用検出素子２Ａは、Ｘ軸方向の加速度を検出すると、信号処理装置１のＸ軸用検出回路１１Ａに対して出力信号Ｓｉｇ１を出力する（第１ステップＳ１）。また、Ｙ軸用検出素子２Ｂは、Ｙ軸方向の加速度を検出すると、Ｙ軸用検出回路１１Ｂに対して出力信号Ｓｉｇ１を出力する（第１ステップＳ１）。Ｘ軸用検出回路１１Ａに入力された出力信号Ｓｉｇ１は、ＣＶ変換回路１１１にてアナログの電圧信号に変換され、Ｘ軸用第１検出部１１２Ａ及びＸ軸用第２検出部１１３Ａにそれぞれ入力される。また、Ｙ軸用検出回路１１Ｂに入力された出力信号Ｓｉｇ１は、ＣＶ変換回路１１１にてアナログの電圧信号に変換され、Ｙ軸用第１検出部１１２Ｂ及びＹ軸用第２検出部１１３Ｂにそれぞれ入力される。

【0052】

Ｘ軸用第１検出部１１２Ａは、ＣＶ変換回路１１１の出力信号から検出信号Ｓｉｇ２を生成する（第２ステップＳ２）。また、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂは、ＣＶ変換回路１１１の出力信号から補正用信号Ｓｉｇ３を生成する（第３ステップＳ３）。Ｘ軸用第１検出部１１２Ａは、生成した検出信号Ｓｉｇ２をＸ軸用補正回路１２Ａに出力する（第４ステップＳ４）。また、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂは、生成した補正用信号Ｓｉｇ３をＸ軸用補正回路１２Ａに出力する（第５ステップＳ５）。

【0053】

Ｘ軸用補正回路１２Ａは、Ｘ軸用第１検出部１１２Ａの検出信号Ｓｉｇ２と、Ｙ軸用第２検出部１１３Ｂの補正用信号Ｓｉｇ３とから、他軸感度による誤差を補正した検出信号Ｓｉｇ４を生成する（第６ステップＳ６）。具体的には、Ｘ軸用補正回路１２Ａは、補正係数Ａ１を乗算した補正用信号Ｓｉｇ３を検出信号Ｓｉｇ２から減算する。これにより、Ｙ軸方向の加速度によって生じるＸ軸方向の他軸感度による誤差を補正することができる。そして、Ｘ軸用補正回路１２Ａは、プリント基板１００に実装されている制御回路に対して検出信号Ｓｉｇ４を出力する（第７ステップＳ７）。

【0054】

（４）効果
本実施形態に係る信号処理装置１では、補正用信号Ｓｉｇ３を生成する第２検出部１１３の検出範囲は、検出信号Ｓｉｇ２を生成する第１検出部１１２の検出範囲よりも広い。そのため、加速度については、第２検出部１１３よりも検出範囲の狭い（最小分解能の高い）第１検出部１１２により検出することで、最小分解能（信号精度）の低下を抑えることができる。また、他軸感度については、第１検出部１１２よりも検出範囲の広い第２検出部１１３により検出することで、他軸感度の原因となる加速度が大きい場合でも、他軸感度の影響を抑えることができる。つまり、本実施形態に係る信号処理装置１によれば、最小分解能（信号精度）の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0055】

また、本実施形態に係る信号処理装置１では、第１検出部１１２及び第２検出部１１３の各々は、Ａ／Ｄ変換器を含む。そのため、検出素子２から入力されるアナログの出力信号Ｓｉｇ１をデジタルの検出信号Ｓｉｇ２に変換することができる。

【0056】

また、本実施形態に係る信号処理装置１では、検出素子２は、Ｘ軸方向における慣性力を検出するＸ軸用検出素子２Ａと、Ｙ軸方向における慣性力を検出するＹ軸用検出素子２Ｂと、Ｚ軸方向における慣性力を検出するＺ軸用検出素子２Ｃと、を含む。そのため、Ｘ軸方向の慣性力、Ｙ軸方向の慣性力、及びＺ軸方向の慣性力をそれぞれ検出することができる。

【0057】

また、本実施形態に係る信号処理装置１では、Ｘ軸用検出回路１１Ａは、Ｘ軸用第１検出部１１２ＡとＸ軸用第２検出部１１３Ａとを有し、Ｙ軸用検出回路１１Ｂは、Ｙ軸用第１検出部１１２ＢとＹ軸用第２検出部１１３Ｂとを有し、Ｚ軸用検出回路１１Ｃは、Ｚ軸用第１検出部１１２ＣとＺ軸用第２検出部１１３Ｃとを有している。そのため、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の各々について、最小分解能（信号精度）の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0058】

（５）変形例
上述の実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上述の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。また、上述の実施形態に係る信号処理装置１と同様の機能は、信号処理方法、コンピュータプログラム、又はコンピュータプログラムを記録した非一時的記録媒体等で具現化されてもよい。

【0059】

一態様に係る信号処理方法は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子２の出力信号Ｓｉｇ１を処理する信号処理方法である。信号処理方法は、図５に示すように、第１検出ステップ（第２ステップＳ２）と、第２検出ステップ（第３ステップＳ３）と、補正ステップ（第６ステップＳ６）と、を含む。第１検出ステップは、少なくとも２つの方向の各々における出力信号Ｓｉｇ１から検出信号Ｓｉｇ２を生成するステップである。第２検出ステップは、第１検出ステップよりも広い検出範囲で、少なくとも２つの方向の各々における出力信号Ｓｉｇ１から補正用信号Ｓｉｇ３を生成するステップである。補正ステップは、検出信号Ｓｉｇ２を補正するステップである。補正ステップでは、少なくとも２つの方向の各々における検出信号Ｓｉｇ２を、少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における補正用信号Ｓｉｇ３で補正する。

【0060】

一態様に係るプログラムは、１以上のプロセッサに上述の信号処理方法を実行させるためのプログラムである。

【0061】

以下、上述の実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。

【0062】

本開示における信号処理装置１は、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における信号処理装置１としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）又は大規模集積回路（ＬＳＩ）を含む１ないし複数の電子回路で構成される。ここでいうＩＣ又はＬＳＩ等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、又はＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれる集積回路を含む。更に、ＬＳＩの製造後にプログラムされる、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成若しくはＬＳＩ内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、１つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、１つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、１以上のプロセッサ及び１以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む１ないし複数の電子回路で構成される。

【0063】

また、信号処理装置１における複数の機能が、１つの筐体内に集約されていることは、信号処理装置１に必須の構成ではない。つまり、信号処理装置１の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、信号処理装置１の少なくとも一部の機能、例えば、補正回路１２の機能がクラウド（クラウドコンピューティング）等によって実現されてもよい。

【0064】

（５．１）変形例１
以下、本実施形態の変形例１に係る慣性力センサ１０について、図６を参照して説明する。

【0065】

変形例１に係る慣性力センサ１０は、図６に示すように、信号比較部１３を備えている点で上述の実施形態に係る慣性力センサ１０と異なっている。なお、変形例１に係る慣性力センサ１０は、信号比較部１３以外の構成については上述の実施形態に係る慣性力センサ１０と同様であり、同一の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。図６では、複数の検出回路１１のうち、Ｘ軸方向の加速度を検出するＸ軸用検出回路１１Ａを示している。

【0066】

変形例１に係る慣性力センサ１０は、信号処理装置１と、複数の検出素子２と、を備えている。また、変形例１に係る慣性力センサ１０は、信号比較部１３を更に備えている。信号比較部１３は、図６に示すように、第１検出部１１２の検出信号Ｓｉｇ２と、第２検出部１１３の補正用信号Ｓｉｇ３と、が入力され、検出信号Ｓｉｇ２の値と補正用信号Ｓｉｇ３の値とを比較する。信号比較部１３の比較結果は、プリント基板１００上に実装されている制御回路に入力される。制御回路は、信号比較部１３の比較結果から、検出信号Ｓｉｇ２の値と補正用信号Ｓｉｇ３の値とが一致していれば、第１検出部１１２と第２検出部１１３との両方が正常であると判断する。また、制御回路は、信号比較部１３の比較結果から、検出信号Ｓｉｇ２の値と補正用信号Ｓｉｇ３の値とが一致していなければ、第１検出部１１２と第２検出部１１３との少なくとも一方が異常（故障）であると判断する。本開示でいう「一致する」とは、両者が完全に一致する場合だけでなく、両者の差分が所定範囲内に収まっている場合も含む。したがって、制御回路は、検出信号Ｓｉｇ２の値と補正用信号Ｓｉｇ３の値との差分が所定範囲内に収まっていれば、検出信号Ｓｉｇ２の値と補正用信号Ｓｉｇ３の値とが一致していると判断する。

【0067】

変形例１に係る慣性力センサ１０によれば、信号比較部１３を備えることにより、第１検出部１１２及び第２検出部１１３の異常の有無を検出することができる。

【0068】

ここで、図６では、複数の検出回路１１のうち、Ｘ軸方向の加速度を検出するＸ軸用検出回路１１Ａに信号比較部１３が設けられている。これに対して、Ｙ軸方向の加速度を検出するＹ軸用検出回路１１Ｂに信号比較部が設けられていてもよいし、Ｚ軸方向の加速度を検出するＺ軸用検出回路１１Ｃに信号比較部が設けられていてもよい。言い換えると、Ｘ軸用検出回路１１Ａ、Ｙ軸用検出回路１１Ｂ、及びＺ軸用検出回路１１Ｃの少なくとも１つに信号比較部が設けられていればよい。

【0069】

（５．２）その他の変形例
上述の実施形態では、慣性力センサ１０が静電容量型のセンサであるが、慣性力センサ１０は、例えば、ピエゾ抵抗型のセンサであってもよい。

【0070】

上述の実施形態では、慣性力センサ１０が３軸加速度センサであるが、慣性力センサ１０は、例えば、２軸加速度センサであってもよい。

【0071】

上述の実施形態では、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の加速度をそれぞれ別々の検出回路１１で検出しているが、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の加速度を１つの検出回路で検出してもよい。この場合、例えば、マルチプレクサによって時分割で、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、Ｚ軸方向の加速度の順に順次検出すればよい。

【0072】

上述の実施形態では、慣性力センサ１０が表面実装型であるが、例えば、スルーホール実装型であってもよい。

【0073】

上述の実施形態では、慣性力センサ１０が加速度センサであるが、慣性力センサ１０は加速度センサに限らず、例えば、角速度センサ（ジャイロセンサ）であってもよい。

【0074】

上述の実施形態では、信号処理装置１がＡＳＩＣであるが、信号処理装置１はＡＳＩＣに限らず、例えば、ＦＰＧＡ（Field-Programmable Gate Array）であってもよいし、１以上のプロセッサ及びメモリにて構成されていてもよい。

【0075】

上述の実施形態では、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、及びＺ軸方向の加速度をそれぞれ別々の検出素子２で検出しているが、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、及びＺ軸方向の加速度を１つの検出素子で検出してもよい。すなわち、検出素子は、Ｘ軸方向の加速度、Ｙ軸方向の加速度、及びＺ軸方向の加速度を検出する機能を１チップに集積させたＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）で構成されていてもよい。

【0076】

上述の実施形態では、第１検出部１１２及び第２検出部１１３の各々がＡ／Ｄ変換器であるが、第１検出部１１２及び第２検出部１１３の各々は、例えば、オペアンプであってもよい。つまり、第１検出部１１２及び第２検出部１１３の各々はアナログ回路であってもよい。オペアンプの場合でも信号の検出範囲と感度とがトレードオフの関係にあるため、信号の検出範囲を大きくすると感度が低下するという問題がある。そのため、第２検出部１１３を構成するオペアンプの信号幅が、第１検出部１１２を構成するオペアンプの信号幅よりも大きくなるように、オペアンプを選択すればよい。この構成によれば、上述の実施形態に係る信号処理装置１と同様に、感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0077】

（まとめ）
以上説明したように、第１の態様に係る信号処理装置（１）は、検出回路（１１）と、補正回路（１２）と、を備える。検出回路（１１）は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子（２）の出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成する。補正回路（１２）は、検出信号（Ｓｉｇ２）を補正する。検出回路（１１）は、第１検出部（１１２）と、第２検出部（１１３）と、を有する。第１検出部（１１２）は、少なくとも２つの方向の各々における出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成する。第２検出部（１１３）は、第１検出部（１１２）よりも検出範囲が広く、少なくとも２つの方向の各々における出力信号（Ｓｉｇ１）から補正用信号（Ｓｉｇ３）を生成する。補正回路（１２）は、少なくとも２つの方向の各々における検出信号（Ｓｉｇ２）を、少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における補正用信号（Ｓｉｇ３）で補正する。

【0078】

この態様によれば、第２検出部（１１３）の検出範囲が第１検出部（１１２）の検出範囲よりも広くなっており、そのため感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0079】

第２の態様に係る信号処理装置（１）では、第１の態様において、第１検出部（１１２）及び第２検出部（１１３）の各々は、Ａ／Ｄ変換器を含む。

【0080】

この態様によれば、検出素子（２）から入力されるアナログの出力信号（Ｓｉｇ１）をデジタルの検出信号（Ｓｉｇ２）に変換することができる。

【0081】

第３の態様に係る信号処理装置（１）では、第１又は２の態様において、少なくとも２つの方向は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向である。検出素子（２）は、Ｘ軸用検出素子（２Ａ）と、Ｙ軸用検出素子（２Ｂ）と、Ｚ軸用検出素子（２Ｃ）と、を含む。Ｘ軸用検出素子（２Ａ）は、Ｘ軸方向における慣性力を検出する。Ｙ軸用検出素子（２Ｂ）は、Ｙ軸方向における慣性力を検出する。Ｚ軸用検出素子（２Ｃ）は、Ｚ軸方向における慣性力を検出する。

【0082】

この態様によれば、Ｘ軸方向の慣性力、Ｙ軸方向の慣性力、及びＺ軸方向の慣性力をそれぞれ検出することができる。

【0083】

第４の態様に係る信号処理装置（１）では、第１～３のいずれかの態様において、少なくとも２つの方向は、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向である。検出回路（１１）は、Ｘ軸用検出回路（１１Ａ）と、Ｙ軸用検出回路（１１Ｂ）と、Ｚ軸用検出回路（１１Ｃ）と、を含む。Ｘ軸用検出回路（１１Ａ）は、Ｘ軸方向における慣性力を検出する検出素子（２）としてのＸ軸用検出素子（２Ａ）の出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成する。Ｙ軸用検出回路（１１Ｂ）は、Ｙ軸方向における慣性力を検出する検出素子（２）としてのＹ軸用検出素子（２Ｂ）の出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成する。Ｚ軸用検出回路（１１Ｃ）は、Ｚ軸方向における慣性力を検出する検出素子（２）としてのＺ軸用検出素子（２Ｃ）の出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成する。Ｘ軸用検出回路（１１Ａ）は、第１検出部（１１２）としてのＸ軸用第１検出部（１１２Ａ）と、第２検出部（１１３）としてのＸ軸用第２検出部（１１３Ａ）と、を有する。Ｙ軸用検出回路（１１Ｂ）は、第１検出部（１１２）としてのＹ軸用第１検出部（１１２Ｂ）と、第２検出部（１１３）としてのＹ軸用第２検出部（１１３Ｂ）と、を有する。Ｚ軸用検出回路（１１Ｃ）は、第１検出部（１１２）としてのＺ軸用第１検出部（１１２Ｃ）と、第２検出部（１１３）としてのＺ軸用第２検出部（１１３Ｃ）と、を有する。

【0084】

この態様によれば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向の各々について、感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0085】

第５の態様に係る信号処理装置（１）では、第１～４のいずれかの態様において、第１検出部（１１２）の検出信号（Ｓｉｇ２）と第２検出部（１１３）の補正用信号（Ｓｉｇ３）とを比較する信号比較部（１３）を更に備える。

【0086】

この態様によれば、信号比較部（１３）の比較結果から、第１検出部（１１２）と第２検出部（１１３）との少なくとも一方の異常（故障）を検出することができる。

【0087】

第６の態様に係る慣性力センサ（１０）は、第１～５のいずれかの態様に係る信号処理装置（１）と、検出素子（２）と、を備える。

【0088】

この態様によれば、第２検出部（１１３）の検出範囲が第１検出部（１１２）の検出範囲よりも広くなっており、そのため感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0089】

第７の態様に係る信号処理方法は、互いに直交する３つの方向のうち少なくとも２つの方向における慣性力を検出する検出素子（２）の出力信号（Ｓｉｇ１）を処理する信号処理方法である。信号処理方法は、第１検出ステップ（Ｓ２）と、第２検出ステップ（Ｓ３）と、補正ステップ（Ｓ６）と、を含む。第１検出ステップ（Ｓ２）は、少なくとも２つの方向の各々における出力信号（Ｓｉｇ１）から検出信号（Ｓｉｇ２）を生成するステップである。第２検出ステップ（Ｓ３）は、第１検出ステップ（Ｓ２）よりも広い検出範囲で、少なくとも２つの方向の各々における出力信号（Ｓｉｇ１）から補正用信号（Ｓｉｇ３）を生成するステップである。補正ステップ（Ｓ６）は、検出信号（Ｓｉｇ２）を補正するステップである。補正ステップ（Ｓ６）では、少なくとも２つの方向の各々における検出信号（Ｓｉｇ２）を、少なくとも２つの方向のうち補正対象である１つの方向を除く少なくとも１つの方向における補正用信号（Ｓｉｇ３）で補正する。

【0090】

この態様によれば、第２検出部（１１３）の検出範囲が第１検出部（１１２）の検出範囲よりも広くなっており、そのため感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0091】

第８の態様に係るプログラムは、第７の態様に係る信号処理方法を１以上のプロセッサに実行させるためのプログラムである。

【0092】

この態様によれば、第２検出部（１１３）の検出範囲が第１検出部（１１２）の検出範囲よりも広くなっており、そのため感度の低下を抑えながら他軸感度の影響を抑えることができる。

【0093】

第２～５の態様に係る構成については、信号処理装置（１）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

【符号の説明】

【0094】

１ 信号処理装置
１１ 検出回路
１１Ａ Ｘ軸用検出回路
１１Ｂ Ｙ軸用検出回路
１１Ｃ Ｚ軸用検出回路
１１０ Ａ／Ｄ変換器
１１２ 第１検出部
１１２Ａ Ｘ軸用第１検出部
１１２Ｂ Ｙ軸用第１検出部
１１２Ｃ Ｚ軸用第１検出部
１１３ 第２検出部
１１３Ａ Ｘ軸用第２検出部
１１３Ｂ Ｙ軸用第２検出部
１１３Ｃ Ｚ軸用第２検出部
１２ 補正回路
１３ 信号比較部
２ 検出素子
２Ａ Ｘ軸用検出素子
２Ｂ Ｙ軸用検出素子
２Ｃ Ｚ軸用検出素子
１０ 慣性力センサ
Ｓｉｇ１ 出力信号
Ｓｉｇ２ 検出信号
Ｓｉｇ３ 補正用信号
Ｓ２ 第２ステップ（第１検出ステップ）
Ｓ３ 第３ステップ（第２検出ステップ）
Ｓ６ 第６ステップ（補正ステップ）

【図1】

【図2A】

【図2B】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】