特許 7361785 液体吐出ヘッドおよび記録装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-05

(45)【発行日】2023-10-16

(54)【発明の名称】液体吐出ヘッドおよび記録装置

(51)【国際特許分類】

   B41J 2/14 20060101AFI20231006BHJP

   B41J 2/01 20060101ALI20231006BHJP

【ＦＩ】

B41J2/14 611

B41J2/14 607

B41J2/14 501

B41J2/01 301

B41J2/01 305

【請求項の数】 15

(21)【出願番号】P 2021553740

(86)(22)【出願日】2020-10-30

(86)【国際出願番号】 JP2020040944

(87)【国際公開番号】W WO2021085632

(87)【国際公開日】2021-05-06

【審査請求日】2022-04-25

(31)【優先権主張番号】P 2019197862

(32)【優先日】2019-10-30

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006633

【氏名又は名称】京セラ株式会社

(73)【特許権者】

【識別番号】000006150

【氏名又は名称】京セラドキュメントソリューションズ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002147

【氏名又は名称】弁理士法人酒井国際特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】岩渕 英

(72)【発明者】

【氏名】冨岡 宏行

【審査官】中村 博之

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１１－２０６９４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－１７７６３８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１８７８４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１８８５４７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０２－１１２９４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１９／０２７５７９４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ４１Ｊ ２／０１－２／２１５

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

第１面および前記第１面の反対側に位置する第２面を有する流路部材と、
前記第１面上に位置する加圧部と、
前記第２面に位置する複数の吐出孔と、
前記加圧部上に位置する一端部が前記加圧部に電気的に接続されているフレキシブル基板と、
前記一端部を覆うカバー部材と、
前記カバー部材上に位置するヒータと
を備える液体吐出ヘッド。

【請求項2】

前記第１面との間に前記加圧部、前記一端部、前記カバー部材および前記ヒータを収容する収容部と、前記収容部に連通するスリットとを有し、前記流路部材に繋がる供給部材と、
前記ヒータに電気的に接続されているヒータ配線と
を備え、
前記フレキシブル基板および前記ヒータ配線は、前記スリットから前記供給部材の外部に引き出されている
請求項１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項3】

前記フレキシブル基板は、前記ヒータ配線よりも外側に位置するように前記スリットから引き出されている
請求項２に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項4】

前記供給部材上に位置するヒータをさらに備える
請求項２または３に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項5】

前記カバー部材は、前記カバー部材の長さ方向の端部で前記流路部材と接触しており、
前記供給部材および前記流路部材がそれぞれ有する流路は、前記流路部材の長さ方向の端部で接続されている
請求項２～４のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【請求項6】

前記カバー部材は、前記供給部材および前記流路部材がそれぞれ有する流路が接続される位置よりも内側で前記流路部材と接触している
請求項２～５のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【請求項7】

前記ヒータと前記供給部材との間に位置する熱伝導シートをさらに備える
請求項２～６のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【請求項8】

前記カバー部材は、前記フレキシブル基板に固定されている
請求項１～７のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【請求項9】

前記カバー部材は、前記流路部材に固定されている
請求項１～８のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッド。

【請求項10】

第１面および前記第１面の反対側に位置する第２面を有する流路部材と、
前記第１面上に位置する加圧部と、
前記第２面に位置する複数の吐出孔と、
前記流路部材の上に位置し、前記流路部材に繋がる分岐流路部材と、
前記分岐流路部材上に位置するヒータと、
前記分岐流路部材および前記ヒータの上に位置し、前記分岐流路部材に繋がり、第１方向に長い供給部材と
を備え、
前記供給部材は、内部に供給流路を有し、
前記供給流路は、前記供給部材の前記第１方向の一端部から他端部にわたって形成されており、
前記ヒータは、前記供給流路に対向する、液体吐出ヘッド。

【請求項11】

前記供給流路のうち、前記ヒータに対向する部位の厚みが略均一である
請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項12】

前記供給流路は、前記第１方向の両端部から前記分岐流路部材に液体を供給する
請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。

【請求項13】

請求項１～１２のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッドと、
前記液体吐出ヘッドに対して記録媒体を搬送する搬送部と
を備える記録装置。

【請求項14】

請求項１～１２のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体にコーティング剤を塗布する塗布機と
を備える記録装置。

【請求項15】

請求項１～１２のいずれか１つに記載の液体吐出ヘッドと、
記録媒体を乾燥させる乾燥機と
を備える記録装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

開示の実施形態は、液体吐出ヘッドおよび記録装置に関する。

【背景技術】

【0002】

印刷装置として、インクジェット記録方式を利用したインクジェットプリンタやインクジェットプロッタが知られている。このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが搭載されている。

【0003】

かかる液体吐出ヘッドには、吐出孔から吐出される液体の粘性を調整するため、ヘッド本体を介して液体を昇温するヒータが設けられている（たとえば、特許文献１参照）。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１４－２２３８０１号公報

【発明の概要】

【0005】

実施形態の一態様に係る液体吐出ヘッドは、流路部材と、加圧部と、複数の吐出孔と、フレキシブル基板と、カバー部材と、ヒータとを備える。流路部材は、第１面および前記第１面の反対側に位置する第２面を有する。加圧部は、前記第１面上に位置する。複数の吐出孔は、前記第２面に位置する。フレキシブル基板は、前記加圧部上に位置する一端部が前記加圧部に電気的に接続されている。カバー部材は、前記一端部を覆う。ヒータは、前記カバー部材上に位置する。

【図面の簡単な説明】

【0006】

【図1】図１は、実施形態に係る記録装置の説明図（その１）である。

【図2】図２は、実施形態に係る記録装置の説明図（その２）である。

【図3】図３は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す分解斜視図である。

【図4】図４は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す斜視図である。

【図5】図５は、図４に示す液体吐出ヘッドの拡大平面図である。

【図6】図６は、図５に示す領域Ｂの拡大図である。

【図7】図７は、図５に示すＣ－Ｃ線に沿った断面図である。

【図8】図８は、図４に示すＡ－Ａ線に沿った拡大断面図である。

【図9A】図９Ａは、ヘッド本体におけるカバー部材の配置を示す説明図である。

【図9B】図９Ｂは、ヘッド本体におけるカバー部材の配置を示す説明図である。

【図10】図１０は、第１変形例に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す断面図である。

【図11】図１１は、第２変形例に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す断面図である。

【図12】図１２は、変形例に係るカバー部材の配置を示す説明図である。

【図13】図１３は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す分解斜視図である。

【図14】図１４は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す斜視図である。

【図15】図１５は、図１４に示すＤ－Ｄ線に沿った断面図である。

【図16】図１６は、図１４に示すＥ－Ｅ線に沿った断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0007】

従来の液体吐出ヘッドでは、ヒータが吐出孔から離れて位置すると、ヒータからの熱を効率よく伝達することができず、液体の吐出状態にばらつきが生じるおそれがある。

【0008】

本願の開示する液体吐出ヘッドおよび記録装置によれば、ヒータからの熱を効率よく伝達することができる。

【0009】

以下、添付図面を参照して、本願の開示する液体吐出ヘッドおよび記録装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す各実施形態によりこの発明が限定されるものではない。

【0010】

＜プリンタの構成＞
まず、図１および図２を参照して実施形態に係る記録装置の一例であるプリンタ１の概要について説明する。図１および図２は、実施形態に係るプリンタ１の説明図である。具体的には、図１は、プリンタ１の概略的な側面図であり、図２は、プリンタ１の概略的な平面図である。実施形態に係るプリンタ１は、たとえば、カラーインクジェットプリンタである。

【0011】

図１に示すように、プリンタ１は、給紙ローラ２と、ガイドローラ３と、塗布機４と、ヘッドケース５と、複数の搬送ローラ６と、複数のフレーム７と、複数の液体吐出ヘッド８と、搬送ローラ９と、乾燥機１０と、搬送ローラ１１と、センサ部１２と、回収ローラ１３とを備える。搬送ローラ６は、搬送部の一例である。

【0012】

さらに、プリンタ１は、給紙ローラ２、ガイドローラ３、塗布機４、ヘッドケース５、複数の搬送ローラ６、複数のフレーム７、複数の液体吐出ヘッド８、搬送ローラ９、乾燥機１０、搬送ローラ１１、センサ部１２および回収ローラ１３を制御する制御部１４を備える。

【0013】

プリンタ１は、印刷用紙Ｐに液滴を着弾させることにより、印刷用紙Ｐに画像や文字の記録を行う。印刷用紙Ｐは、記録媒体の一例である。印刷用紙Ｐは、使用前において給紙ローラ２に巻かれた状態になっている。そして、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを、給紙ローラ２からガイドローラ３および塗布機４を介してヘッドケース５の内部に搬送する。

【0014】

塗布機４は、コーティング剤を印刷用紙Ｐに一様に塗布する。これにより、印刷用紙Ｐに表面処理を施すことができることから、プリンタ１の印刷品質を向上させることができる。

【0015】

ヘッドケース５は、複数の搬送ローラ６と、複数のフレーム７と、複数の液体吐出ヘッド８とを収容する。ヘッドケース５の内部には、印刷用紙Ｐが出入りする部分などの一部において外部と繋がっている他は、外部と隔離された空間が形成されている。

【0016】

ヘッドケース５の内部空間は、必要に応じて、温度、湿度、および気圧などの制御因子のうち、少なくとも１つが制御部１４によって制御される。搬送ローラ６は、ヘッドケース５の内部で印刷用紙Ｐを液体吐出ヘッド８の近傍に搬送する。

【0017】

フレーム７は、矩形状の平板であり、搬送ローラ６で搬送される印刷用紙Ｐの上方に近接して位置している。また、図２に示すように、フレーム７は、長手方向が印刷用紙Ｐの搬送方向に直交するように位置している。そして、ヘッドケース５の内部には、複数（たとえば、４つ）のフレーム７が、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って位置している。

【0018】

液体吐出ヘッド８には、図示しない液体タンクから液体、たとえば、インクが供給される。液体吐出ヘッド８は、液体タンクから供給される液体を吐出する。

【0019】

制御部１４は、画像や文字などのデータに基づいて液体吐出ヘッド８を制御し、印刷用紙Ｐに向けて液体を吐出させる。液体吐出ヘッド８と印刷用紙Ｐとの間の距離は、たとえば、０．５～２０ｍｍ程度である。

【0020】

液体吐出ヘッド８は、フレーム７に固定されている。液体吐出ヘッド８は、長手方向が印刷用紙Ｐの搬送方向に直交するように位置している。

【0021】

すなわち、実施形態に係るプリンタ１は、プリンタ１の内部に液体吐出ヘッド８が固定されている、いわゆるラインプリンタである。なお、実施形態に係るプリンタ１は、ラインプリンタに限られず、いわゆるシリアルプリンタであってもよい。

【0022】

シリアルプリンタとは、液体吐出ヘッド８を、印刷用紙Ｐの搬送方向に交差する方向、たとえば、略直交する方向に往復させるなどして移動させながら記録する動作と、印刷用紙Ｐの搬送とを交互に行う方式のプリンタである。

【0023】

図２に示すように、１つのフレーム７に複数（たとえば、５つ）の液体吐出ヘッド８が固定されている。図２では、印刷用紙Ｐの搬送方向の前方に３つ、後方に２つの液体吐出ヘッド８が位置している例を示しており、印刷用紙Ｐの搬送方向において、それぞれの液体吐出ヘッド８の中心が重ならないように液体吐出ヘッド８が位置している。

【0024】

そして、１つのフレーム７に位置する複数の液体吐出ヘッド８によって、ヘッド群８Ａが構成されている。４つのヘッド群８Ａは、印刷用紙Ｐの搬送方向に沿って位置している。同じヘッド群８Ａに属する液体吐出ヘッド８には、同じ色のインクが供給される。これにより、プリンタ１は、４つのヘッド群８Ａを用いて４色のインクによる印刷を行うことができる。

【0025】

各ヘッド群８Ａから吐出されるインクの色は、たとえば、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）およびブラック（Ｋ）である。制御部１４は、各ヘッド群８Ａを制御して複数色のインクを印刷用紙Ｐに吐出することにより、印刷用紙Ｐにカラー画像を印刷することができる。

【0026】

なお、印刷用紙Ｐの表面処理をするために、液体吐出ヘッド８からコーティング剤を印刷用紙Ｐに吐出してもよい。

【0027】

また、１つのヘッド群８Ａに含まれる液体吐出ヘッド８の個数や、プリンタ１に搭載されているヘッド群８Ａの個数は、印刷する対象や印刷条件に応じて適宜変更可能である。たとえば、印刷用紙Ｐに印刷する色が単色で、かつ、１つの液体吐出ヘッド８で印刷可能な範囲を印刷するのであれば、プリンタ１に搭載されている液体吐出ヘッド８の個数は１つでもよい。

【0028】

ヘッドケース５の内部で印刷処理された印刷用紙Ｐは、搬送ローラ９によってヘッドケース５の外部に搬送され、乾燥機１０の内部を通る。乾燥機１０は、印刷処理された印刷用紙Ｐを乾燥する。乾燥機１０で乾燥された印刷用紙Ｐは、搬送ローラ１１で搬送されて、回収ローラ１３で回収される。

【0029】

プリンタ１では、乾燥機１０で印刷用紙Ｐを乾燥することにより、回収ローラ１３において、重なって巻き取られる印刷用紙Ｐ同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れたりすることを抑制することができる。

【0030】

センサ部１２は、位置センサや速度センサ、温度センサなどにより構成されている。制御部１４は、センサ部１２からの情報に基づいて、プリンタ１の各部における状態を判断し、プリンタ１の各部を制御することができる。

【0031】

ここまで説明したプリンタ１では、印刷対象（すなわち、記録媒体）として印刷用紙Ｐを用いた場合について示したが、プリンタ１における印刷対象は印刷用紙Ｐに限られず、ロール状の布などを印刷対象としてもよい。

【0032】

また、プリンタ１は、印刷用紙Ｐを直接搬送する代わりに、搬送ベルト上に載せて搬送するものであってもよい。搬送ベルトを用いることで、プリンタ１は、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを印刷対象とすることができる。

【0033】

また、プリンタ１は、液体吐出ヘッド８から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。また、プリンタ１は、液体吐出ヘッド８から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、化学薬品を作製してもよい。

【0034】

また、プリンタ１は、液体吐出ヘッド８をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、たとえば、ワイピング処理やキャッピング処理によって液体吐出ヘッド８の洗浄を行う。

【0035】

ワイピング処理とは、たとえば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面を払拭することで、液体吐出ヘッド８に付着していた液体を取り除く処理である。

【0036】

また、キャッピング処理は、たとえば、次のように実施する。まず、液体を吐出される部位、たとえば、流路部材２１の第２面２１ｂ（図７参照）を覆うようにキャップを被せる（これをキャッピングという）。これにより、第２面２１ｂとキャップとの間に、略密閉された空間が形成される。

【0037】

次に、このような密閉された空間で液体の吐出を繰り返す。これにより、吐出孔１６３（図７参照）に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高い液体や異物などを取り除くことができる。

【0038】

［第１の実施形態］
＜液体吐出ヘッドの構成＞
次に、図３、図４を参照して第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の構成について説明する。図３は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の概略構成を示す分解斜視図である。図４は、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の要部の構成を示す斜視図である。

【0039】

液体吐出ヘッド８は、ヘッド本体２０と、配線部４０と、カバー部材５０と、ヒータ６０とを備える。ヘッド本体２０は、流路部材２１と、圧電アクチュエータ基板２２と、リザーバ７０とを備える。また、配線部４０は、フレキシブル基板４１，４２と、駆動ＩＣ４３とを備える。

【0040】

なお、説明を分かりやすくするために、図３、図４には、鉛直下向きを正方向とし、鉛直上向きを負方向とするＺ軸を含む３次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後述の説明に用いる他の図面でも示す場合がある。また、以下の説明では、便宜的に、液体吐出ヘッド８においてヘッド本体２０の流路部材２１が設けられる方向、すなわち、Ｚ軸正方向側を「下」と呼称し、流路部材２１に対してリザーバ７０が設けられる方向、すなわち、Ｚ軸負方向側を「上」と呼称する場合がある。また、図３、図４では、各部材の形状を簡略化して示している場合がある。

【0041】

流路部材２１は、略平板形状であり、１つの主面である第１面２１ａ（図７参照）と、第１面２１ａの反対側に位置する第２面２１ｂ（図７参照）とを有している。第１面２１ａは、開口１６１ａ（図５参照）を有し、リザーバ７０から開口１６１ａを介して流路部材２１の内部に液体が供給される。リザーバ７０は、供給部材の一例である。

【0042】

第２面２１ｂには、印刷用紙Ｐに液体を吐出する複数の吐出孔１６３（図５参照）が位置している。そして、流路部材２１の内部には、第１面２１ａから第２面２１ｂに液体を流す流路が形成されている。

【0043】

圧電アクチュエータ基板２２は、流路部材２１の第１面２１ａ上に位置している。圧電アクチュエータ基板２２は、複数の変位素子１７０（図７参照）を有している。変位素子１７０は、加圧部の一例である。変位素子１７０は、流路部材２１の第１面２１ａ上に位置している。なお、圧電アクチュエータ基板２２については、図７を用いて後述する。

【0044】

圧電アクチュエータ基板２２には、フレキシブル基板４１，４２が電気的に接続されている。フレキシブル基板４１，４２は、外部から送られた所定の信号をヘッド本体２０に伝達する機能を有している。図３に示すように、実施形態に係る液体吐出ヘッド８は、２つのフレキシブル基板４１，４２を有している。なお、図４では、フレキシブル基板４１，４２の図示を省略している。

【0045】

フレキシブル基板４１，４２の一端部４１ａ，４２ａ（図８参照）は、ヘッド本体２０の圧電アクチュエータ基板２２上に位置している。一端部４１ａ，４２ａは、圧電アクチュエータ基板２２と電気的に接続されている。フレキシブル基板４１，４２の他端部は、リザーバ７０のスリット７０ｂを挿通するように上方に引き出されており（図８参照）、図示しない配線基板と電気的に接続されている。

【0046】

駆動ＩＣ４３は、フレキシブル基板４１，４２にそれぞれ搭載されている。駆動ＩＣ４３は、圧電アクチュエータ基板２２における各変位素子１７０の駆動を制御する。

【0047】

図３に示すように、駆動ＩＣ４３は、フレキシブル基板４１，４２上にそれぞれ２つ設けられている。なお、フレキシブル基板４１，４２にそれぞれ設けられる駆動ＩＣ４３の数は２つに限られない。

【0048】

カバー部材５０は、フレキシブル基板４１，４２上に位置している。カバー部材５０は、平面視で矩形状を有しており、圧電アクチュエータ基板２２上に位置するフレキシブル基板４１，４２の一端部４１ａ，４２ａを覆っている。カバー部材５０は、一端部４１ａ，４２ａを覆うことで、圧電アクチュエータ基板２２から離れる方向への一端部４１ａ，４２ａの移動を規制する。これにより、実施形態では、圧電アクチュエータ基板２２とフレキシブル基板４１，４２とが剥離する可能性を低減することができる。カバー部材５０は、一端部４１ａ，４２ａを圧電アクチュエータ基板２２に向けて上から押圧するように位置してもよい。また、カバー部材５０は、フレキシブル基板４１，４２とは離れて位置してもよい。

【0049】

カバー部材５０は、例えば、金属製の板状部材により作製することができる。また、カバー部材５０は、樹脂により形成してもよく、セラミックス等の無機材料により形成してもよい。なお、カバー部材５０の配置例については後述する。

【0050】

ヒータ６０は、カバー部材５０上に位置しており、ヘッド本体２０を流れる液体を所定の温度に近づけるために設けられている。ヒータ６０とカバー部材５０とは、図示しない接着剤や両面テープなどで接着してもよい。

【0051】

ヒータ６０としては、フィルムヒータを用いると、厚み方向の大きさを低減することができる。また、図示していないが、ヒータ６０は、通電により発熱する抵抗配線を内部に有している。ヒータ６０の抵抗配線は、ヒータ配線６１と電気的に接続されている。実施形態に係る液体吐出ヘッド８では、カバー部材５０の形状に対応する１つのヒータ６０を位置させたが、これに限らず、複数のヒータ６０をカバー部材５０上に位置させてもよい。

【0052】

ヒータ配線６１は、リザーバ７０のスリット７０ｂを挿通するように上方に引き出されており、ヒータ配線６１の上端部に位置するコネクタを介して、ヒータ６０と外部とを電気的に接続することができる。実施形態に係る液体吐出ヘッド８では、ヒータ配線６１は、スリット７０ｂの長さ方向（Ｙ軸方向）の端部に位置するが、これに限らず、中央部分に位置させてもよい。また、フレキシブル基板４１，４２が位置するスリット７０ｂの両方に位置させてもよい。

【0053】

また、かかるヒータ６０上に、１または複数のサーミスタ６５（図８参照）を設けてもよい。かかるサーミスタ６５は、ヘッド本体２０やヒータ６０の温度を検知する機能を有しており、検知された温度に応じてヒータ６０に対する通電が制御される。

【0054】

供給部材としてのリザーバ７０は、ヘッド本体２０の反対面側に位置し、圧電アクチュエータ基板２２以外の第１面２１ａに接している。リザーバ７０は、内部に流路を有しており、外部から開口７０ａを介して液体が供給される。リザーバ７０は、流路部材２１に液体を供給する機能、および供給される液体を貯留する機能を有している。

【0055】

なお、液体吐出ヘッド８は、図３、図４に示した部材以外の部材、例えば、配線部４０を収容する筐体等をさらに含んでもよい。

【0056】

＜ヘッド本体の構成＞
次に、図５～図７を参照して第１の実施形態に係るヘッド本体２０の構成について説明する。図５は、第１の実施形態に係るヘッド本体２０の拡大平面図であり、図の右側領域が透過した領域を示している。図６は、図５に示す領域Ｂの拡大図である。図７は、図５に示すＣ－Ｃ線に沿った断面図である。

【0057】

図５に示すように、ヘッド本体２０は、流路部材２１と圧電アクチュエータ基板２２とを有している。流路部材２１は、供給マニホールド１６１と、複数の加圧室１６２と、複数の吐出孔１６３とを有している。

【0058】

複数の加圧室１６２は、供給マニホールド１６１に繋がっている。複数の吐出孔１６３は、複数の加圧室１６２にそれぞれ繋がっている。

【0059】

加圧室１６２は、流路部材２１の第１面２１ａ（図７参照）に開口している。また、流路部材２１の第１面２１ａは、供給マニホールド１６１と繋がる開口１６１ａを有している。そして、リザーバ７０（図３参照）から、開口７０ａを介して流路部材２１の内部に液体が供給される。

【0060】

図５に示す例において、ヘッド本体２０は、流路部材２１の内部に４つの供給マニホールド１６１を有している。供給マニホールド１６１は、流路部材２１の長手方向に沿って延びる細長い形状を有しており、その両端において、流路部材２１の第１面２１ａに供給マニホールド１６１の開口１６１ａが形成されている。

【0061】

流路部材２１には、複数の加圧室１６２が２次元的に広がって形成されている。加圧室１６２は、角部にアールが施されたほぼ菱形の平面形状を有する中空の領域である。加圧室１６２は、流路部材２１の第１面２１ａに開口しており、第１面２１ａに圧電アクチュエータ基板２２が接合されることによって閉塞される。

【0062】

加圧室１６２は、長手方向に配列された加圧室行を構成する。加圧室行の加圧室１６２は、近隣する２行の加圧室行の間において千鳥状に配置されている。１つの供給マニホールド１６１に繋がっている２行の加圧室行によって、１つの加圧室群が構成されている。図５に示す例では、流路部材２１が４つの加圧室群を有している。

【0063】

また、各加圧室群内における加圧室１６２の相対的な配置は同じになっており、各加圧室群は長手方向にわずかにずれて位置している。

【0064】

吐出孔１６３は、流路部材２１のうち供給マニホールド１６１と対向する領域を避けた位置に配置されている。すなわち、流路部材２１を第１面２１ａ側から透過視した場合に、吐出孔１６３は、供給マニホールド１６１と重なっていない。

【0065】

さらに、平面視して、吐出孔１６３は、圧電アクチュエータ基板２２の搭載領域に収まるように位置している。このような吐出孔１６３は、１つの群として圧電アクチュエータ基板２２と略同一の大きさおよび形状の領域を占有している。

【0066】

そして、対応する圧電アクチュエータ基板２２の加圧部である変位素子１７０（図７参照）を変位させることにより、吐出孔１６３から液滴が吐出される。

【0067】

図７に示すように、流路部材２１は、複数のプレートが積層された積層構造を有している。これらのプレートは、流路部材２１の第１面２１ａ側から順に、キャビティプレート２１Ａ、ベースプレート２１Ｂ、アパーチャ（しぼり）プレート２１Ｃ、サプライプレート２１Ｄ、マニホールドプレート２１Ｅ，２１Ｆ，２１Ｇ、カバープレート２１Ｈおよびノズルプレート２１Ｉが位置している。

【0068】

流路部材２１を構成するプレートには、多数の孔が形成されている。各プレートの厚さは、１０μｍ～３００μｍ程度である。これにより、孔の形成精度を高くすることができる。プレートは、これらの孔が互いに連通して個別流路１６４および供給マニホールド１６１を構成するように、位置合わせして積層されている。

【0069】

流路部材２１において、供給マニホールド１６１と吐出孔１６３との間は、個別流路１６４で繋がっている。供給マニホールド１６１は、流路部材２１の内部の第２面２１ｂ側に位置しており、吐出孔１６３は、流路部材２１の第２面２１ｂに位置している。

【0070】

個別流路１６４は、加圧室１６２と、個別供給流路１６５とを有している。加圧室１６２は、流路部材２１の第１面２１ａに位置しており、個別供給流路１６５は、供給マニホールド１６１と加圧室１６２とを繋ぐ流路である。

【0071】

また、個別供給流路１６５は、他の部分よりも幅の狭いしぼり１６６を含んでいる。しぼり１６６は、個別供給流路１６５の他の部分よりも幅が狭いため、流路抵抗が高い。このように、しぼり１６６の流路抵抗が高いとき、加圧室１６２に生じた圧力は、供給マニホールド１６１に逃げにくい。

【0072】

圧電アクチュエータ基板２２は、圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂと、共通電極１７１と、個別電極１７２と、接続電極１７３と、ダミー接続電極１７４と、表面電極１７５（図５参照）とを含んでいる。

【0073】

圧電アクチュエータ基板２２は、圧電セラミック層２２Ｂ、共通電極１７１、圧電セラミック層２２Ａおよび個別電極１７２がこの順に積層されている。

【0074】

圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂは、それぞれ２０μｍ程度の厚さを有している。圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂのいずれの層も複数の加圧室１６２を跨ぐように延在している。圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂは、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料を用いることができる。

【0075】

共通電極１７１は、圧電セラミック層２２Ａおよび圧電セラミック層２２Ｂの間の領域に面方向の略全面にわたって形成されている。すなわち、共通電極１７１は、圧電アクチュエータ基板２２に対向する領域内の全ての加圧室１６２と重なっている。共通電極１７１の厚さは、２μｍ程度である。共通電極１７１は、たとえば、Ａｇ－Ｐｄ系などの金属材料を用いることができる。

【0076】

個別電極１７２は、個別電極本体１７２ａと、引出電極１７２ｂとを含んでいる。個別電極本体１７２ａは、圧電セラミック層２２Ｂ上のうち加圧室１６２と対向する領域に位置している。個別電極本体１７２ａは、加圧室１６２より一回り小さく、加圧室１６２と略相似な形状である。

【0077】

引出電極１７２ｂは、個別電極本体１７２ａから引き出されている。引出電極１７２ｂの一端における加圧室１６２と対向する領域外に引き出された部分には、接続電極１７３が位置している。個別電極１７２は、たとえば、Ａｕ系などの金属材料を用いることができる。

【0078】

接続電極１７３は、引出電極１７２ｂ上に位置し、厚さが１５μｍ程度で凸状である。また、接続電極１７３は、フレキシブル基板４１，４２（図３参照）に設けられた電極と電気的に接合されている。接続電極１７３は、たとえば、ガラスフリットを含む銀－パラジウムを用いることができる。

【0079】

ダミー接続電極１７４は、圧電セラミック層２２Ａ上に位置しており、個別電極１７２などの各種電極と重ならないように位置している。ダミー接続電極１７４は、圧電アクチュエータ基板２２とフレキシブル基板４１，４２とを接続し、接続強度を高めている。

【0080】

また、ダミー接続電極１７４は、圧電アクチュエータ基板２２と、圧電アクチュエータ基板２２との接触位置の分布を均一化し、電気的な接続を安定させる。ダミー接続電極１７４は、接続電極１７３と同等の材料、同等の工程により形成されるとよい。

【0081】

表面電極１７５は、圧電セラミック層２２Ａ上において、個別電極１７２を避ける位置に形成されている。表面電極１７５は、圧電セラミック層２２Ａに形成されたビアホールを介して共通電極１７１と繋がっている。このため、表面電極１７５は、接地され、グランド電位に保持されている。表面電極１７５は、個別電極１７２と同等の材料、同等の工程により形成されるとよい。

【0082】

複数の個別電極１７２は、個別に電位を制御するために、それぞれがフレキシブル基板４１，４２および配線を介して、個別に制御部１４（図１参照）に電気的に接続されている。そして、個別電極１７２と共通電極１７１とを異なる電位にして、圧電セラミック層２２Ａの分極方向に電界を印加すると、かかる圧電セラミック層２２Ａ内の電界が印加された部分が、圧電効果により歪む活性部として動作する。

【0083】

すなわち、圧電アクチュエータ基板２２では、個別電極１７２、圧電セラミック層２２Ａおよび共通電極１７１における加圧室１６２に対向する部位が、変位素子１７０として機能する。そして、かかる変位素子１７０がユニモルフ変形することにより、加圧室１６２が押圧され、吐出孔１６３から液体が吐出される。

【0084】

つづいて、第１の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の駆動手順について説明する。まず、個別電極１７２を予め共通電極１７１よりも高い電位（以下、高電位という）にしておく。そして、吐出要求があるごとに個別電極１７２を共通電極１７１と一旦同じ電位（以下、低電位という）とし、その後、所定のタイミングで再び高電位とする。

【0085】

これにより、個別電極１７２が低電位になるタイミングで、圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂが元の形状に戻り、加圧室１６２の容積が初期状態（両電極の電位が異なる状態）よりも増加する。

【0086】

このとき、加圧室１６２内に負圧が与えられ、液体が供給マニホールド１６１側から加圧室１６２内部に吸い込まれる。その後、再び個別電極１７２を高電位にしたタイミングで、圧電セラミック層２２Ａ，２２Ｂが加圧室１６２側へ向けて凸となるように変形し、加圧室１６２の容積減少により加圧室１６２内の圧力が正圧となる。

【0087】

この結果、加圧室１６２内部の液体に付与する圧力が上昇し、液滴が吐出される。つまり、液滴を吐出させるため、高電位を基準とするパルスを含む駆動信号を個別電極１７２に供給することになる。

【0088】

このパルス幅は、圧力波がしぼり１６６から吐出孔１６３まで伝播する時間の長さであるＡＬ（Acoustic Length）とすればよい。これによると、加圧室１６２の内部が負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさり、より強い圧力で液滴を吐出させることができる。

【0089】

また、階調印刷においては、吐出孔１６３から連続して吐出される液滴の数、すなわち、液滴吐出回数で調整される液滴量（体積）で階調表現が行われる。このため、指定された階調表現に対応する回数の液滴吐出を、指定されたドット領域に対応する吐出孔１６３から連続して行う。

【0090】

一般に、液体吐出を連続して行う場合は、液滴を吐出させるために供給するパルスとパルスとの間隔をＡＬとしてもよい。これにより、先に吐出された液滴を吐出させるときに発生した圧力の残余圧力波と、後に吐出させる液滴を吐出させるときに発生する圧力の圧力波との周期が一致する。このため、残余圧力波と圧力波とが重畳して液滴を吐出するための圧力を増幅させることができる。なお、この場合、後から吐出される液滴の速度が速くなり、複数の液滴の着弾点が近くなる。

【0091】

＜液体吐出ヘッドの要部の構成＞
次に、図８を参照して実施形態に係る液体吐出ヘッド８の要部の構成について説明する。図８は、図４に示すＡ－Ａ線に沿った拡大断面図である。

【0092】

図８に示すように、流路部材２１の第１面２１ａ上に位置するリザーバ７０は、収容部７３と、接続部７４とを有する。リザーバ７０は、Ｙ軸方向に沿って延びるスリット７０ｂを有する。

【0093】

上述したように、流路部材２１の第１面２１ａ上には、圧電アクチュエータ基板２２、フレキシブル基板４１，４２の一端部４１ａ，４２ａ、カバー部材５０、ヒータ６０、およびサーミスタ６５が順に位置している。収容部７３は、第１面２１ａとの間に圧電アクチュエータ基板２２、フレキシブル基板４１，４２の一端部４１ａ，４２ａ、カバー部材５０、ヒータ６０、およびサーミスタ６５を収容する空間である。

【0094】

また、接続部７４は、収容部７３とスリット７０ｂとを連通させる開口であり、ヒータ６０に接続されたヒータ配線６１およびフレキシブル基板４１，４２を、リザーバ７０の外部に引き出すために利用される。

【0095】

このようにリザーバ７０が収容部７３を有することにより、流路部材２１の近傍にヒータ６０を位置させることができる。このため、ヒータ６０からの熱を効率よく流路部材２１に伝達することができ、液体の吐出状態が安定する。また、ヒータ６０からの熱が速やかに流路部材２１に伝達されるため、第２面２１ｂに位置する吐出孔１６３（図７参照）およびその近傍に位置する液体の温度を速やかに上昇させることができ、液体吐出ヘッド８の起動時間が短縮する。

【0096】

また、リザーバ７０が接続部７４およびスリット７０ｂを有することにより、フレキシブル基板４１，４２やヒータ配線６１の配設が容易になる。

【0097】

また、図８に示すように、フレキシブル基板４２は、ヒータ配線６１よりも外側に位置するようにスリット７０ｂから引き出されている。このため、フレキシブル基板４２は、スリット７０ｂからのヒータ配線６１の引き出しを案内するガイドの役割を担うことができ、作業効率が向上する。

【0098】

また、サーミスタ６５が有する図示しないリード線は、導線６１ａを介してヒータ配線６１に接続されている。ヒータ配線６１を介したヒータ６０への電力供給は、サーミスタ６５が感知した温度に応じて制御されることで、ヒータ６０の温度を所定の範囲に保つことができる。

【0099】

＜カバー部材の配置例＞
図９Ａ、図９Ｂは、ヘッド本体におけるカバー部材の配置を示す説明図である。図９Ａは、カバー部材５０をＺ軸負方向側から見た平面図であり、図９Ｂは、フレキシブル基板４１が位置する部分をＹＺ平面に沿って切断した断面図である。なお、図９Ａ、図９Ｂでは、カバー部材５０上に位置するヒータ６０およびサーミスタ６５の図示は省略している。

【0100】

図９Ａに示すように、流路部材２１は、第１面２１ａの長さ方向の両端部に位置する開口１６１ａを有している。開口１６１ａは、リザーバ７０から供給された液体を流路部材２１に導入するようリザーバ７０が有する流路に接続されている。

【0101】

また、図９Ｂに示すように、カバー部材５０は、長さ方向の端部に位置し、第１面２１ａ側に突出する突出部５０ａで流路部材２１と接触している。カバー部材５０上に位置させたヒータ６０からの熱は、突出部５０ａを介して流路部材２１の第１面２１ａに伝達される。このため、液体の流れが集中する開口１６１ａの近傍に位置する液体の温度を速やかに上昇させることができ、液体吐出ヘッド８の起動時間が短縮する。

【0102】

また、カバー部材５０は、リザーバ７０および流路部材２１がそれぞれ有する流路が接続される開口１６１ａよりも内側に位置する突出部５０ａで流路部材２１と接触している。このため、リザーバ７０から流路部材２１に供給された液体の温度を速やかに上昇させることができ、液体吐出ヘッド８の起動時間が短縮する。

【0103】

また、図９Ｂに示すように、カバー部材５０は、接着材８０を介してフレキシブル基板４１，４２に固定されている。接着材８０は、例えば、両面テープまたは接着剤である。カバー部材５０上に位置させたヒータ６０からの熱は、カバー部材５０→フレキシブル基板４１，４２→圧電アクチュエータ基板２２→流路部材２１の順に伝わる。カバー部材５０およびフレキシブル基板４１，４２を固定することにより、カバー部材５０とフレキシブル基板４１，４２との密着性が高まり、流路部材２１への伝熱性が向上する。

【0104】

＜液体吐出ヘッドの変形例＞
図１０は、第１変形例に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す断面図である。図１０に示す液体吐出ヘッド８は、リザーバ７０の上面７１に位置するヒータ６３をさらに備えることを除き、図８に示す液体吐出ヘッド８と同様の構成を有している。ヒータ６３には、ヒータ配線６４を介して電力供給が行われる。このようにリザーバ７０上にヒータ６３を位置させることにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、リザーバ７０内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0105】

図１１は、第２変形例に係る液体吐出ヘッドの要部の構成を示す断面図である。図１１に示す液体吐出ヘッド８は、ヒータ６０の上に熱伝導シート６６がさらに位置している点で図８に示す液体吐出ヘッド８と相違する。熱伝導シート６６は、収容部７３の上端７５とヒータ６０との間に位置している。熱伝導シート６６は、ヒータ６０で発生した熱をリザーバ７０に伝達させる。このように、ヒータ６０上に熱伝導シート６６を位置させることにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、リザーバ７０内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0106】

熱伝導シート６６としては、例えば、シリコン系、または非シリコン系の熱伝導シートを使用することができる。熱伝導シート６６は、収容部７３の上端７５に接していてもよく、離れていてもよい。熱伝導シート６６およびリザーバ７０が接触していると、リザーバ７０内の液体の温度を効率よく上昇させることができる。

【0107】

なお、図１１では図示を省略したが、液体吐出ヘッド８は、サーミスタ６５（図８参照）を有してもよい。かかる場合、サーミスタ６５は、熱伝導シート６６が位置しないヒータ６０上に位置してもよく、ヒータ６０と熱伝導シート６６との間に位置してもよい。また、サーミスタ６５は、熱伝導シート６６と収容部７３の上端７５との間に位置してもよい。なお、液体吐出ヘッド８は、サーミスタ６５を有さなくてもよい。

【0108】

＜カバー部材の変形例＞
図１２は、変形例に係るカバー部材の配置を示す説明図である。図１２に示すカバー部材５０は、突出部５０ａに配された接着材８０を介して流路部材２１の第１面２１ａに固定されている。このようにカバー部材５０と流路部材２１とを固定することにより、カバー部材５０から流路部材２１への伝熱性が向上する。

【0109】

なお、図１２において、カバー部材５０とフレキシブル基板４１，４２とは互いに接触していてもよく、離間していてもよい。カバー部材５０とフレキシブル基板４１，４２とが接触していると、圧電アクチュエータ基板２２とフレキシブル基板４１，４２とが剥離する可能性を低減することができる。また、カバー部材５０とフレキシブル基板４１，４２との間、突出部５０ａと流路部材２１との間にそれぞれ接着材８０を位置させて、カバー部材５０およびフレキシブル基板４１，４２、突出部５０ａおよび流路部材２１をそれぞれ固定させてもよい。

【0110】

［第２の実施形態］
次に、図１３～図１６を参照して第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の構成について説明する。図１３は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の概略構成を示す分解斜視図であり、図１４は、第２の実施形態に係る液体吐出ヘッド８の要部の構成を示す斜視図である。また、図１５は、図１４に示すＤ－Ｄ線に沿った断面図であり、図１６は、図１４に示すＥ－Ｅ線に沿った拡大断面図である。

【0111】

図１３、図１４に示すように、液体吐出ヘッド８は、ヘッド本体２０と、配線部４０と、カバー部材５０と、ヒータ６０とを備える。ヘッド本体２０は、流路部材２１と、圧電アクチュエータ基板２２と、分岐流路部材５５と、リザーバ７０Ａとを備える。リザーバ７０Ａおよび分岐流路部材５５は、例えば、第１の実施形態に係るリザーバ７０（例えば、図３、図４等参照）に相当する。

【0112】

また、図１５、図１６に示すように、ヒータ６０は、分岐流路部材５５上に位置している。具体的には、ヒータ６０は、分岐流路部材５５の上面である第１面５５ａに固定されている。また、第１面５５ａに面するリザーバ７０Ａには、凹部７７が位置しており、ヒータ６０は、第１面５５ａと凹部７７との間の空間に収容されている。

【0113】

このように、分岐流路部材５５上にヒータ６０を位置させることにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、分岐流路部材５５およびリザーバ７０Ａ内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0114】

ヒータ６０は、分岐流路部材５５の内部に位置する分岐流路５６に対向している。換言すると、ヒータ６０は、分岐流路部材５５の分岐流路５６を構成する隔壁と対向している。それにより、分岐流路５６を流れる液体を効率よく昇温することができる。

【0115】

また、ヒータ６０は、リザーバ７０Ａの内部に位置する供給流路７６に対向している。換言すると、ヒータ６０は、リザーバ７０Ａの供給流路７６を構成する隔壁と対向している。それにより、供給流路７６を流れる液体を効率よく昇温することができる。

【0116】

液体吐出ヘッド８は、ヒータ６０が、分岐流路部材５５の内部に位置する分岐流路５６に対向しているとともに、ヒータ６０は、リザーバ７０Ａの内部に位置する供給流路７６に対向する構成を有している。そのため、液体吐出ヘッド８に供給された液体を効率よく昇温することができる。

【0117】

なお、図１６では、ヒータ６０はリザーバ７０Ａと分岐流路部材５５との間に位置するとして説明したが、これに限られない。ヒータ６０は、例えば、リザーバ７０Ａの内部に位置する供給流路７６および／または分岐流路部材５５の内部に位置する分岐流路５６に面していてもよい。これにより、ヒータ６０は、供給流路７６および／または分岐流路５６を流れる液体を直接加熱することができる。このため、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性をさらに高めることができる。また、供給流路７６および／分岐流路５６内の液体の温度をさらに速やかに上昇させることができる。

【0118】

以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。たとえば、上述の実施形態では、流路部材２１が積層された複数のプレートで構成された例について示したが、流路部材２１は積層された複数のプレートで構成されている場合に限られない。

【0119】

たとえば、供給マニホールド１６１や個別流路１６４などをエッチング処理で形成することにより、流路部材２１を構成してもよい。

【0120】

以上のように、実施形態に係る液体吐出ヘッド８は、流路部材２１と、加圧部（変位素子１７０）と、複数の吐出孔１６３と、フレキシブル基板４１，４２と、カバー部材５０と、ヒータ６０とを備える。流路部材２１は、第１面２１ａおよび第１面２１ａの反対側に位置する第２面２１ｂを有する。加圧部（変位素子１７０）は、第１面２１ａ上に位置する。複数の吐出孔１６３は、第２面２１ｂに位置する。フレキシブル基板４１，４２は、加圧部（変位素子１７０）上に位置する一端部４１ａ，４２ａが加圧部（変位素子１７０）に電気的に接続されている。カバー部材５０は、フレキシブル基板４１，４２の一端部４１ａ，４２ａを覆う。ヒータ６０は、カバー部材５０上に位置する。このため、ヒータ６０からの熱を効率よく伝達することができる。

【0121】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８は、供給部材（リザーバ７０）と、ヒータ配線６１とを備えてもよい。供給部材（リザーバ７０）は、収容部７３と、スリット７０ｂとを有し、流路部材２１に繋がる。収容部７３は、第１面２１ａとの間に加圧部（変位素子１７０）、一端部４１ａ，４２ａ、カバー部材５０およびヒータ６０を収容する。スリット７０ｂは、収容部７３に連通する。ヒータ配線６１は、ヒータ６０に電気的に接続されている。フレキシブル基板４１，４２およびヒータ配線６１は、スリット７０ｂから供給部材（リザーバ７０）の外部に引き出されている。これにより、フレキシブル基板４１，４２やヒータ配線６１の配設が容易になる。

【0122】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、フレキシブル基板４１，４２は、ヒータ配線６１よりも外側に位置するようにスリット７０ｂから引き出されていてもよい。これにより、スリット７０ｂからのヒータ配線６１の引き出しの作業性が向上する。

【0123】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、供給部材（リザーバ７０）上に位置するヒータ６３をさらに備えてもよい。これにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、供給部材（リザーバ７０）内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0124】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、カバー部材５０は、カバー部材５０の長さ方向の端部で流路部材２１と接触しており、供給部材（リザーバ７０）および流路部材２１がそれぞれ有する流路は、流路部材２１の長さ方向の端部で接続されていてもよい。これにより、液体の流れが集中する部分（開口１６１ａ）の近傍に位置する液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0125】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、カバー部材５０は、供給部材（リザーバ７０）および流路部材２１がそれぞれ有する流路が接続される位置（開口１６１ａ）よりも内側で流路部材２１と接触していてもよい。これにより、供給部材（リザーバ７０）から流路部材２１に供給された液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0126】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、ヒータ６０と供給部材（リザーバ７０）との間に位置する熱伝導シート６６をさらに備えてもよい。これにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、供給部材（リザーバ７０）内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0127】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、カバー部材５０は、フレキシブル基板４１，４２に固定されていてもよい。これにより、カバー部材５０とフレキシブル基板４１，４２との密着性が高まり、ヒータ６０から流路部材２１への伝熱性が向上する。

【0128】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８において、カバー部材５０は、流路部材２１に固定されていてもよい。これにより、カバー部材５０と流路部材２１との密着性が高まり、ヒータ６０から流路部材２１への伝熱性が向上する。

【0129】

また、実施形態に係る液体吐出ヘッド８は、流路部材２１と、加圧部（変位素子１７０）と、複数の吐出孔１６３と、分岐流路部材５５と、ヒータ６０と、供給部材（リザーバ７０Ａ）を備える。流路部材２１は、第１面２１ａおよび第１面２１ａの反対側に位置する第２面２１ｂを有する。加圧部（変位素子１７０）は、第１面２１ａ上に位置する。複数の吐出孔１６３は、第２面２１ｂに位置する。分岐流路部材５５は、流路部材２１の上に位置し、流路部材２１に繋がる。ヒータ６０は、分岐流路部材５５上に位置する。供給部材（リザーバ７０Ａ）は、分岐流路部材５５およびヒータ６０の上に位置し、分岐流路部材５５に繋がる。これにより、液体吐出ヘッド８の内部に位置する液体の均熱性を高めることができる。また、分岐流路部材５５および供給部材（リザーバ７０Ａ）内の液体の温度を速やかに上昇させることができる。

【0130】

また、実施形態に係る分岐流路部材５５は、内部に分岐流路５６を有し、ヒータ６０は、分岐流路５６に対向していてもよい。これにより、分岐流路５６内の液体の温度をさらに速やかに上昇させることができる。

【0131】

また、実施形態に係る供給部材（リザーバ７０Ａ）は、内部に供給流路７６を有し、ヒータ６０は、供給流路７６に対向していてもよい。これにより、供給流路７６内の液体の温度をさらに速やかに上昇させることができる。

【0132】

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。

【符号の説明】

【0133】

１ プリンタ（記録装置の一例）
４ 塗布機
６ 搬送ローラ（搬送部の一例）
８ 液体吐出ヘッド
１０ 乾燥機
１４ 制御部
２１ 流路部材
４１，４２ フレキシブル基板
５０ カバー部材
５５ 分岐流路部材
６０，６３ ヒータ
７０，７０Ａ リザーバ（供給部材の一例）
７０ｂ スリット
１７０ 変位素子（加圧部の一例）
１６３ 吐出孔（吐出孔の一例）

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9A】

【図9B】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】