特許 7363373 成膜治具及び成膜方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-10

(45)【発行日】2023-10-18

(54)【発明の名称】成膜治具及び成膜方法

(51)【国際特許分類】

   C23C 14/50 20060101AFI20231011BHJP

   C23C 16/458 20060101ALI20231011BHJP

【ＦＩ】

C23C14/50 B

C23C16/458

【請求項の数】 9

(21)【出願番号】P 2019197095

(22)【出願日】2019-10-30

(65)【公開番号】P2020084320

(43)【公開日】2020-06-04

【審査請求日】2022-06-06

(31)【優先権主張番号】P 2018214788

(32)【優先日】2018-11-15

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000232243

【氏名又は名称】日本電気硝子株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001232

【氏名又は名称】弁理士法人大阪フロント特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】笹井 辰夫

(72)【発明者】

【氏名】乾 武志

(72)【発明者】

【氏名】飯田 貴大

(72)【発明者】

【氏名】宮崎 学

【審査官】西田 彩乃

(56)【参考文献】

【文献】特表２０１７－５３９０８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２００６／０２０７５０８（ＵＳ，Ａ１）

【文献】特開平１０－０７２６６８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１６－０３８５００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－２１７９６２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－２０６７４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－００９１１４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１４／０９８２００（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２０１１－１３４３７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００９－２６５２３１（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｃ２３Ｃ １４／５０

Ｃ２３Ｃ １６／４５８

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

長辺及び短辺を有する略矩形板状のガラス板を複数枚同時に成膜するための成膜治具であって、
前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための治具本体と、
前記治具本体に載置された前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に抑えるための抑え手段と、
複数の蓋部と、
を備え、
前記複数の蓋部が、それぞれ、１枚の前記ガラス板ごとに個別に設けられており、
前記抑え手段が、前記複数の蓋部の主面からそれぞれ突出するように設けられている抑え部であり、
前記複数の蓋部を同時に固定するための枠状の固定部材をさらに備える、成膜治具。

【請求項2】

前記抑え部が、前記ガラス板における両側の短辺側部分に当接されるように設けられている、請求項１に記載の成膜治具。

【請求項3】

前記抑え部が、弾性部材により構成されている、請求項１又は２に記載の成膜治具。

【請求項4】

前記弾性部材が、バネである、請求項３に記載の成膜治具。

【請求項5】

前記治具本体が、前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための複数の凹部を有する、請求項１～４のいずれか１項に記載の成膜治具。

【請求項6】

前記治具本体の前記凹部における底部の一部が開口することにより、前記ガラス板の成膜領域が構成されている、請求項５に記載の成膜治具。

【請求項7】

前記治具本体の前記凹部における底部が、枠状の形状を有する、請求項５又は６に記載の成膜治具。

【請求項8】

前記ガラス板が、ガラスマトリクス中に金属粒子が配向して分散されてなる偏光ガラス板である、請求項１～７のいずれか１項に記載の成膜治具。

【請求項9】

請求項１～８のいずれか１項に記載の成膜治具を用いた成膜方法であって、
前記成膜治具に、前記複数枚のガラス板を固定する工程と、
前記複数枚のガラス板の主面上に、膜を成膜する工程と、
を備える、成膜方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、成膜治具及び該成膜治具を用いた成膜方法に関する。

【背景技術】

【0002】

従来、ガラス板の表面に金属膜等の膜を成膜して、ガラス板に機能性を付与する方法が広く知られている。

【0003】

例えば、下記の特許文献１には、ガラスマトリクス中に金属粒子が配向して分散されてなる偏光ガラス板の表面に、誘電体多層膜からなる反射防止膜を形成することができる旨が記載されている。特許文献１のような偏光ガラス板においては、通常、ハロゲン化金属粒子を含むガラスプリフォーム板を延伸成形することにより、細長い矩形板状の偏光ガラス板を製造した後に、成膜処理が施される。そして、成膜された偏光ガラス板は、所定の大きさに個片化して用いられる。

【0004】

ところで、ガラス板等の基板に膜を成膜するに際しては、下記の特許文献２に記載されているような略正方形状の成膜治具に基板を固定して成膜する方法が知られている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０１６－３８５００号公報

【文献】特開２００７－２７７６０５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかしながら、特許文献２に記載されているような略正方形状の成膜治具に、特許文献１のような細長いガラス板を複数並べて成膜する場合、ガラス板に傷が生じることがある。また、成膜成分が成膜面とは反対側の面まで回り込むことがある。そのため、成膜時の歩留まりが低下するという問題がある。

【0007】

本発明の目的は、成膜時の歩留まりを改善することができる、成膜治具及び該成膜治具を用いた成膜方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明に係る成膜治具は、長辺及び短辺を有する略矩形板状のガラス板を複数枚同時に成膜するための成膜治具であって、前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための治具本体と、前記治具本体に載置された前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に抑えるための抑え手段と、を備えることを特徴としている。

【0009】

本発明においては、蓋部をさらに備え、前記抑え手段が、前記蓋部の主面から突出するように設けられている抑え部であることが好ましい。

【0010】

本発明においては、複数の前記蓋部を備え、前記蓋部が、１枚の前記ガラス板ごとに個別に設けられていることが好ましい。

【0011】

本発明においては、複数の前記蓋部を同時に固定するための枠状の固定部材をさらに備えることが好ましい。

【0012】

本発明においては、前記抑え部が、前記ガラス板における両側の短辺側部分に当接されるように設けられていることが好ましい。

【0013】

本発明においては、前記抑え部が、弾性部材により構成されていることが好ましい。前記弾性部材が、バネであることがより好ましい。

【0014】

本発明においては、前記治具本体が、前記複数枚のガラス板をそれぞれ個別に載置するための複数の凹部を有することが好ましい。前記治具本体の前記凹部における底部の一部が開口することにより、前記ガラス板の成膜領域が構成されていることがより好ましい。前記治具本体の前記凹部における底部が、枠状の形状を有することがさらに好ましい。

【0015】

本発明においては、前記ガラス板が、ガラスマトリクス中に金属粒子が配向して分散されてなる偏光ガラス板であることが好ましい。

【0016】

本発明の成膜方法は、本発明に従って構成される成膜治具を用いた成膜方法であって、前記成膜治具に、前記複数枚のガラス板を固定する工程と、前記複数枚のガラス板の主面上に、膜を成膜する工程と、を備えることを特徴としている。

【発明の効果】

【0017】

本発明によれば、成膜時の歩留まりを改善することができる、成膜治具及び成膜方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0018】

【図1】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具を示す模式的斜視図であり、（ｂ）は、そのＡ－Ａ線に沿う部分の模式的断面図であり、（ｃ）は、そのＢ－Ｂ線に沿う部分の模式的断面図である。

【図2】本発明の一実施形態に係る成膜治具の治具本体を示す模式的斜視図である。

【図3】本発明の一実施形態に係る成膜治具の治具本体を示す模式的平面図である。

【図4】本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部を示す模式的斜視図である。

【図5】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、そのＣ－Ｃ線に沿う部分の模式的断面図である。

【図6】（ａ）は、比較例の成膜治具を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、そのＤ－Ｄ線に沿う部分の模式的断面図であり、（ｃ）は、そのＥ－Ｅ線に沿う部分の模式的断面図である。

【図7】（ａ）は、比較例の成膜治具の治具本体を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、比較例の成膜治具の蓋部を示す模式的平面図である。

【図8】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部における第１の変形例を示す模式的平面図であり、（ｂ）は、そのＦ－Ｆ線に沿う部分の模式的断面図である。

【図9】本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部における第２の変形例を示す模式的平面図である。

【発明を実施するための形態】

【0019】

以下、好ましい実施形態について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示であり、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。また、各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照する場合がある。

【0020】

（成膜治具）
図１（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具を示す模式的斜視図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ線に沿う部分の模式的断面図である。また、図１（ｃ）は、図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿う部分の模式的断面図である。

【0021】

図１（ａ）～（ｃ）に示すように、成膜治具１は、治具本体２と、蓋部３とを備える。治具本体２は、対向している第１の主面２ａ及び第２の主面２ｂを有する。成膜治具１では、治具本体２の第１の主面２ａ上に、蓋部３が配置されて用いられる。また、成膜治具１では、複数枚のガラス板４が個々の収容部１ａに個別に収容されている。治具本体２及び蓋部３の材質としては、特に限定されないが、例えば、ステンレスを用いることができる。

【0022】

図２は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の治具本体を示す模式的斜視図である。また、図３は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の治具本体を示す模式的平面図である。

【0023】

図２及び図３に示すように、治具本体２は、略矩形板状の形状を有する。もっとも、治具本体２は、他の形状を有していてもよく、特に限定されない。治具本体２は、複数の凹部２ｃを有する。凹部２ｃは、第１の主面２ａ側に開口している。凹部２ｃの平面形状は、細長い略矩形形状である。また、凹部２ｃの底部２ｄは、枠状の形状を有している。ここで、凹部２ｃの底部２ｄにも、開口部２ｅが設けられている。開口部２ｅは、第２の主面２ｂ側に開口している。

【0024】

成膜治具１では、この凹部２ｃの底部２ｄ上にガラス板４が載置される。本実施形態では、治具本体２の凹部２ｃと蓋部３で囲まれる領域が、ガラス板４を収容するための収容部１ａとなる。

【0025】

また、成膜治具１では、治具本体２の第２の主面２ｂ側から、成膜が行われる。従って、ガラス板４における成膜領域は、平面視において開口部２ｅが設けられている領域と等しくなる。

【0026】

ガラス板４は、細長い略矩形板状である。従って、ガラス板４は、平面視において、長辺及び短辺を有する。ガラス板４の長辺の長さは、例えば、１００ｍｍ～１４０ｍｍとすることができる。ガラス板４の短辺の長さは、例えば、１０ｍｍ～４０ｍｍとすることができる。また、ガラス板４の厚みは、例えば、０．０５ｍｍ～１ｍｍとすることができる。

【0027】

本実施形態では、平面視において、ガラス板４の長辺及び短辺の長さが、それぞれ、治具本体２の凹部２ｃの長辺及び短辺の長さより短い。そのため、ガラス板４を凹部２ｃの底部２ｄ上に、より一層容易に載置することができる。また、図３に示すように、ガラス板４を、凹部２ｃの一方の長辺側の端面及び一方の短辺側の端面に接触させるように配置することにより、ガラス板４の成膜領域の位置決めをより一層容易に行うことができる。

【0028】

ガラス板４の長辺の長さと、凹部２ｃの長辺の長さの比（ガラス板／凹部）は、０．９～０．９９であることが好ましい。ガラス板４の短辺の長さと、凹部２ｃの短辺の長さの比（ガラス板／凹部）は、０．９～０．９９であることが好ましい。なお、ガラス板４を凹部２ｃに載置できる限りにおいて、ガラス板４の長辺及び短辺の長さと、凹部２ｃの長辺及び短辺の長さは、略同一であってもよい。

【0029】

また、治具本体２の第１の主面２ａには、ネジ穴５ａ，５ｂが設けられている。ネジ穴５ａ，５ｂは、第１の主面２ａの周縁部に設けられている。また、治具本体２の第１の主面２ａ上には、位置決めピン６ａ，６ｂが設けられている。位置決めピン６ａ，６ｂは、第１の主面２ａから突出するように設けられている。位置決めピン６ａ，６ｂも、第１の主面２ａの周縁部に設けられている。

【0030】

図４は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部を示す模式的斜視図である。図５（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部を示す模式的平面図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＣ－Ｃ線に沿う部分の模式的断面図である。

【0031】

図４及び図５（ａ）に示すように、蓋部３は、略矩形板状の形状を有している。蓋部３は、平面視において、治具本体２と同じ形状を有している。もっとも、蓋部３は、治具本体２と異なる形状を有していてもよく、形状は特に限定されない。

【0032】

蓋部３は、対向している第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂを有する。蓋部３の第１の主面３ａから第２の主面３ｂに至るように、ネジ穴７ａ，７ｂが設けられている。蓋部３のネジ穴７ａ，７ｂは、平面視において、治具本体２のネジ穴５ａ，５ｂと重なる位置に設けられている。蓋部３のネジ穴７ａ，７ｂ及び治具本体２のネジ穴５ａ，５ｂを、図１（ａ）に示すネジ１０ａ，１０ｂで締めることにより、蓋部３を治具本体２上に固定することができる。なお、ネジ１０ａ，１０ｂ以外の他の手段により、蓋部３を治具本体２上に固定してもよい。

【0033】

図４及び図５（ａ）に戻り、蓋部３の第１の主面３ａから第２の主面３ｂに至るように、位置決め穴８ａ，８ｂが設けられている。蓋部３の位置決め穴８ａ，８ｂは、平面視において、治具本体２の位置決めピン６ａ，６ｂと重なる位置に設けられている。蓋部３の位置決め穴８ａ，８ｂを、治具本体２の位置決めピン６ａ，６ｂに嵌合させることにより、蓋部３の位置決めをより一層容易に行うことができる。なお、位置決め穴８ａ，８ｂ及び位置決めピン６ａ，６ｂは、設けられていなくてもよい。

【0034】

蓋部３は、複数の開口部３ｃを有する。開口部３ｃの平面形状は、細長い略矩形形状である。開口部３ｃの長辺は、上述したガラス板４の長辺及び凹部２ｃの長辺より短い。開口部３ｃは、蓋部３を治具本体２に重ね合わせた際に、成膜領域と重なる位置に設けられていることが好ましい。なお、開口部３ｃは、設けられていなくてもよい。

【0035】

また、図５（ｂ）に示すように、本実施形態では、蓋部３の第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂを貫くように、抑え部９が設けられている。抑え部９は、蓋部３の第１の主面３ａ及び第２の主面３ｂの両側から突出している突出部を有する。もっとも、抑え部９は、蓋部３の第２の主面３ｂ側から突出している突出部のみを有していてもよい。なお、本実施形態において、突出部の形状は、略円柱状である。もっとも、本発明において、突出部の形状は、特に限定されない。

【0036】

本実施形態において、抑え部９は、金属のバネピンである。もっとも、抑え部９を構成する材料は、特に限定されないが、本実施形態のように弾性部材により構成されていることが好ましい。弾性部材は、本実施形態のようにバネであってもよく、ゴム状部材であってもよい。ゴム状部材は、エラストマーであってもよく、樹脂であってもよい。抑え部９がこのような弾性部材により構成されている場合、ガラス板４を不当に傷つけることなく確実に抑えることができる。

【0037】

また、抑え部９は、平面視において、蓋部３の開口部３ｃにおける両側の短辺の外側に設けられている。また、抑え部９は、蓋部３を治具本体２の第１の主面２ａ上に固定する際に、ガラス板４に当接する部分に設けられている。特に、本実施形態では、ガラス板４における両側の短辺側部分（短辺付近）に当接されるように設けられている。もっとも、抑え部９は、ガラス板４に当接される部分に設けられている限りにおいて、その位置は限定されないが、本実施形態のようにガラス板４における短辺側部分に当接されるように設けられていることが好ましい。この場合、抑え部９によって、より一層確実にガラス板４を抑えることができる。特に、抑え部９は、ガラス板４における短辺側部分の中央に当接されるように設けられていることが好ましい。

【0038】

このように、本実施形態の成膜治具１では、蓋部３を治具本体２の第１の主面２ａ上に固定する際に、個別にガラス板４に当接されるように抑え部９が設けられている。そのため、成膜治具１では、成膜時の歩留まりを改善することができる。なお、この点については、図６及び図７に示す比較例と比較して、以下のように説明することができる。

【0039】

図６（ａ）は、比較例の成膜治具を示す模式的平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のＤ－Ｄ線に沿う部分の模式的断面図である。図６（ｃ）は、図６（ａ）のＥ－Ｅ線に沿う部分の模式的断面図である。また、図７（ａ）は、比較例の成膜治具の治具本体を示す模式的平面図である。図７（ｂ）は、比較例の成膜治具の蓋部を示す模式的平面図である。

【0040】

図６（ａ）～（ｃ）に示すように、比較例の成膜治具１０１は、治具本体１０２と、蓋部１０３とを備える。成膜治具１０１では、複数枚のガラス板４が１つの収容部１０１ａに纏めて収容されている。そして、蓋部１０３により複数枚のガラス板４が纏めて抑えられている。

【0041】

具体的には、図７（ａ）に示すように、略正方形状の開口部１０２ａが設けられた治具本体１０２を有する比較例の成膜治具では、細長い略矩形板状のガラス板４が複数枚並べて載置される。しかしながら、このように複数枚のガラス板４を並べて載置する場合、隣り合うガラス板４が干渉することにより、ガラス板４に傷が生じ易い。そのため、成膜時の歩留まりが低下する原因となっていた。

【0042】

また、治具本体１０２にガラス板４を並べて載置した後、ガラス板４の両側の短辺側部分を抑えるように、図７（ｂ）に示す蓋部１０３が載置される。しかしながら、複数枚のガラス板４を用いた場合、通常、厳密にはその厚みに差が生じる。そのため、複数枚のガラス板４のうち、一部のガラス板４を十分に抑えられず、ガラス板４と治具本体１０２または蓋部１０３との間に隙間が生じることとなる。従って、成膜時にガラス板４が動いてしまうことがあり、その結果ガラス板４に傷が生じることがある。また、ガラス板４と治具本体１０２または蓋部１０３との隙間を成膜成分が通り抜けて、成膜成分がガラス板４の成膜面とは反対側の面まで回り込むことがある。そのため、これらの点も、成膜時の歩留まりが低下する原因となっていた。

【0043】

これに対して、本実施形態の成膜治具１では、治具本体２に複数枚のガラス板４が個別に載置される。そのため、隣り合うガラス板４が干渉し合うことがなく、ガラス板４に傷が生じ難い。従って、成膜治具１によれば、成膜時の歩留まりを改善することができる。

【0044】

また、本実施形態の成膜治具１では、抑え部９により、複数枚のガラス板４を個別に抑えることができる。そのため、複数枚のガラス板４を同時に成膜する場合においても、成膜時にガラス板４がしっかりと固定され、動き難い。従って、この点からもガラス板４に傷が生じ難い。また、ガラス板４と治具本体１０２または蓋部１０３との間に隙間が生じ難いので、成膜成分がガラス板４の成膜面とは反対側の面まで回り込み難い。よって、この点からも、成膜時の歩留まりを改善することができる。

【0045】

また、本実施形態の成膜治具１では、抑え部９が弾性部材により構成されているので、各ガラス板４をより一層確実に抑えることができる。また、抑え部９が弾性部材により構成されている場合、ガラス板４を抑える際に、より一層傷が生じ難い。もっとも、上述したように、抑え部９は、弾性部材とは異なる材料によって構成されていてもよい。

【0046】

なお、本実施形態では、蓋部３の第２の主面３ｂから突出している抑え部９により抑え手段が構成されていたが、複数枚のガラス板４をそれぞれ個別に抑えるための抑え手段である限りにおいて、抑え部９でなくともよく、抑え手段は特に限定されない。

【0047】

また、本実施形態の成膜治具１は、細長い略矩形板状のガラス板４に成膜する際に好適に用いることができる。なかでも、ガラスマトリクス中に金属粒子が配向して分散されてなる偏光ガラス板に成膜する際に特に好適に用いることができる。偏光ガラス板には、例えば、誘電体多層膜からなる反射防止膜を成膜することができる。成膜後、偏光ガラス板は、所定の大きさに個片化して用いることができる。

【0048】

以下、成膜治具１を用いた成膜方法の一例について説明する。

【0049】

（成膜方法）
まず、治具本体２及び蓋部３を用意する。次に、用意した治具本体２における複数の凹部２ｃの底部２ｄ上に、複数枚のガラス板４をそれぞれ個別に載置する。載置後、治具本体２の第１の主面２ａ上に、蓋部３を載置する。この際、治具本体２の位置決めピン６ａ，６ｂに、蓋部３の位置決め穴８ａ，８ｂを嵌合させるように、蓋部３を載置する。次に、蓋部３のネジ穴７ａ，７ｂ及び治具本体２のネジ穴５ａ，５ｂを、図１（ａ）に示すネジ１０ａ，１０ｂで締めることにより、蓋部３を治具本体２の第１の主面２ａ上に固定する。それによって、成膜治具１に、複数枚のガラス板４を固定することができる。

【0050】

次に、治具本体２の第２の主面２ｂ側から、ガラス板４の主面上に膜を成膜する。成膜方法としては、特に限定されず、例えば、スパッタリング法や蒸着法により誘電体多層膜や金属膜などの無機膜を成膜することができる。もっとも、有機膜を成膜してもよい。また、蓋部３の第１の主面３ａ側から成膜してもよい。

【0051】

本実施形態の成膜方法では、成膜治具１を用いるので、複数枚のガラス板４を同時に成膜する場合においても、ガラス板４に傷が生じ難く、成膜成分がガラス板４の成膜面とは反対側の面まで回り込み難い。従って、本実施形態の成膜方法によれば、成膜時の歩留まりを改善することができる。

【0052】

（変形例）
図８（ａ）は、本発明の一実施形態に係る成膜治具の蓋部における第１の変形例を示す模式的平面図である。また、図８（ｂ）は、図８（ａ）のＦ－Ｆ線に沿う部分の模式的断面図である。

【0053】

第１の変形例では、図８（ａ）及び（ｂ）に示すように、複数の蓋部１３が設けられている。蓋部１３は、それぞれ、１枚のガラス板４ごとに個別に設けられている。

【0054】

蓋部１３は、細長い略矩形板状の形状を有する。従って、蓋部１３は、平面視において、長辺及び短辺を有する。蓋部１３の長辺は、ガラス板４の長辺と同じ側に位置するように設けられている。また、蓋部１３の短辺は、ガラス板４の短辺と同じ側に位置するように設けられている。

【0055】

複数の蓋部１３には、それぞれ開口部１３ｃが設けられている。開口部１３ｃの平面形状は、細長い略矩形形状である。もっとも、開口部１３ｃのより詳細な形状及び位置は、上述した開口部３ｃと同様の形状及び位置とすることができる。

【0056】

また、蓋部１３は、対向している第１の主面１３ａ及び第２の主面１３ｂを有する。蓋部１３の第１の主面１３ａ及び第２の主面１３ｂを貫くように、抑え部１９が設けられている。抑え部１９は、上述した抑え部９と同様のものを用いることができる。

【0057】

また、蓋部１３の第１の主面１３ａから第２の主面１３ｂに至るように、ネジ穴１７ａ，１７ｂが設けられている。ネジ穴１７ａ，１７ｂは、抑え部１９よりも蓋部１３の外周縁における短辺側に設けられている。ここで、第１の変形例においても、治具本体１２は、治具本体２と同様のものを用いることができる。もっとも、治具本体１２のネジ穴の位置が、平面視においてネジ穴１７ａ，１７ｂと重なる位置に設けられている点や、位置決めピンが設けられていない点において治具本体２とは異なっている。第１の変形例では、蓋部１３におけるネジ穴１７ａ，１７ｂと、上述した治具本体１２のネジ穴を、ネジで締めることにより、蓋部１３を治具本体１２上に固定することができる。

【0058】

なお、図９に第２の変形例で示すように、複数の蓋部１３を同時に固定するための枠状の固定部材２０がさらに設けられていてもよい。この場合、固定部材２０において、上述した蓋部３のネジ穴７ａ，７ｂと同じ位置にネジ穴２７ａ，２７ｂを設けることができる。また、固定部材２０において、上述した蓋部３の位置決め穴８ａ，８ｂと同じ位置に位置決め穴２８ａ，２８ｂを設けることができる。従って、第２の変形例では、治具本体２をそのまま用いることができる。また、各蓋部１３を個別に治具本体１２に固定する代わりに、固定部材２０のネジ穴２７ａ，２７ｂ及び治具本体２のネジ穴５ａ，５ｂを、ネジで締めることによって、固定部材２０により蓋部１３を治具本体２上に固定することができる。なお、固定部材２０の材質としては、特に限定されないが、例えば、ステンレスを用いることができる。

【0059】

第１の変形例及び第２の変形例においても、治具本体２，１２に複数枚のガラス板４が個別に載置される。そのため、隣り合うガラス板４が干渉し合うことがなく、ガラス板４に傷が生じ難い。従って、成膜時の歩留まりを改善することができる。

【0060】

また、第１の変形例及び第２の変形例においても、抑え部１９により、複数枚のガラス板４を個別に抑えることができる。そのため、複数枚のガラス板４を同時に成膜する場合においても、成膜時にガラス板４がしっかりと固定され、動き難い。従って、この点からもガラス板４に傷が生じ難い。また、ガラス板４と治具本体２，１２または蓋部１３との間に隙間が生じ難いので、成膜成分がガラス板４の成膜面とは反対側の面まで回り込み難い。よって、この点からも、成膜時の歩留まりを改善することができる。

【0061】

なお、第１の変形例及び第２の変形例における複数の蓋部１３は、厚みが０．２ｍｍ以下のガラス板４に好適に用いることができ、厚みが０．１５ｍｍ以下のガラス板４により好適に用いることができ、厚みが０．１ｍｍ以下のガラス板４にさらに好適に用いることができる。この点については、以下のように説明することができる。

【0062】

ガラス板４として、例えば、上述した偏光ガラス板を用いる場合、還元工程の後に成膜されることがあるが、ガラス板４の厚みが薄いと、還元工程においてガラス板４に反りが生じやすい。そのため、このような反りの生じたガラス板４を含む複数のガラス板４を蓋部３のような１つの蓋部で抑えつけようとすると、ガラス板４が破損したり、ガラス板４のセッティングに大幅に時間を要したりする場合がある。

【0063】

これに対して、第１の変形例及び第２の変形例においては、ガラス板４ごとに個別に設けられた蓋部１３により、個別にガラス板４を抑えることができるので、たとえガラス板４に反りが生じていたとしても、抑え部１９によりその反りに応じてガラス板４を抑えることができる。従って、ガラス板４が破損し難く、ガラス板４のセッティングに要する時間もより短くすることができる。よって、第１の変形例及び第２の変形例のように、１枚のガラス板４ごとに個別に蓋部１３が設けられている成膜治具は、厚みが薄く反りが生じた偏光ガラス板のようなガラス板に特に好適に用いることができる。

【符号の説明】

【0064】

１…成膜治具
１ａ…収容部
２，１２…治具本体
２ａ，３ａ，１３ａ…第１の主面
２ｂ，３ｂ，１３ｂ…第２の主面
２ｃ…凹部
２ｄ…底部
２ｅ，３ｃ，１３ｃ…開口部
３，１３…蓋部
４…ガラス板
５ａ，５ｂ，７ａ，７ｂ，１７ａ，１７ｂ，２７ａ，２７ｂ…ネジ穴
６ａ，６ｂ…位置決めピン
８ａ，８ｂ，２８ａ，２８ｂ…位置決め穴
９，１９…抑え部（抑え手段）
１０ａ，１０ｂ…ネジ
２０…固定部材

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】