特許 7364037 平面度測定ユニット

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-10

(45)【発行日】2023-10-18

(54)【発明の名称】平面度測定ユニット

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/673 20060101AFI20231011BHJP

   G01B 5/20 20060101ALI20231011BHJP

   G01B 11/26 20060101ALI20231011BHJP

   G01B 21/30 20060101ALI20231011BHJP

【ＦＩ】

H01L21/68 T

G01B5/20 Z

G01B11/26 Z

G01B21/30 101F

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2022505813

(86)(22)【出願日】2021-01-21

(86)【国際出願番号】 JP2021002098

(87)【国際公開番号】W WO2021181906

(87)【国際公開日】2021-09-16

【審査請求日】2022-07-26

(31)【優先権主張番号】P 2020040170

(32)【優先日】2020-03-09

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(31)【優先権主張番号】P 2020191781

(32)【優先日】2020-11-18

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000006297

【氏名又は名称】村田機械株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】100088155

【弁理士】

【氏名又は名称】長谷川 芳樹

(74)【代理人】

【識別番号】100113435

【弁理士】

【氏名又は名称】黒木 義樹

(74)【代理人】

【識別番号】100176245

【弁理士】

【氏名又は名称】安田 亮輔

(74)【代理人】

【識別番号】100156395

【弁理士】

【氏名又は名称】荒井 寿王

(72)【発明者】

【氏名】椿 達雄

(72)【発明者】

【氏名】横山 裕之

【審査官】宮久保 博幸

(56)【参考文献】

【文献】実開平０５－０５９２０７（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特開２０１６－０９４２６５（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／０３８２６８（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開平１１－１０８６５５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１８－１２９４００（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／６７３

Ｇ０１Ｂ ５／２０

Ｇ０１Ｂ １１／２６

Ｇ０１Ｂ ２１／３０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

棚板に載置され、前記棚板上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する平面度を測定するための平面度測定ユニットであって、
本体フレームと、
前記本体フレームに分散して配置され、前記棚板上の４つの前記所定箇所のそれぞれに接地するように設けられた４つの接地部と、を備え、
４つの前記接地部は、対角位置にない２つの第１接地部と、前記第１接地部以外の２つの第２接地部と、からなり、
重心位置を、前記平面度測定ユニットにおいて、対角位置にある前記第１接地部と前記第２接地部とを通る２本の対角線で画成される４つの領域のうち、前記第１接地部を２つ含む領域に設けた、平面度測定ユニット。

【請求項2】

前記本体フレームにおける前記第２接地部の周辺に設けられ、前記平面度測定ユニットが前記棚板に載置された状態において前記棚板上の前記第２接地部に対応する前記所定箇所又はその周辺箇所までの距離を測定する測定装置を備える、請求項１に記載の平面度測定ユニット。

【請求項3】

前記第２接地部は、球面状又は凸曲面状の接地面を構成する凸部を有する、請求項１に記載の平面度測定ユニット。

【請求項4】

前記第１接地部は、内面を接地面とする溝部又は凹部を有する、請求項１～３の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項5】

前記接地部は、前記本体フレームよりも硬度が低い、請求項１～４の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項6】

前記本体フレームには、作業者が把持する把持部が設けられている、請求項１～５の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項7】

前記本体フレームにおける前記第１接地部側には、バランスウェイトが設けられている、請求項１～６の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項8】

前記棚板上には、上方へ突出するピンが設けられ、
前記本体フレームには、前記平面度測定ユニットが前記棚板に載置された状態において前記ピンとの間に隙間を形成する溝部又は凹部が設けられている、請求項１～７の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項9】

前記棚板上には、上方へ突出するノズルが設けられ、
前記本体フレームは、前記平面度測定ユニットが前記棚板に載置された状態において前記ノズルを通過させる開口部を有する、請求項１～８の何れか一項に記載の平面度測定ユニット。

【請求項10】

棚板に載置され、前記棚板上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する平面度を測定するための平面度測定ユニットであって、
本体フレームと、
前記本体フレームに分散して配置され、前記棚板上の４つの前記所定箇所のうちの３つの所定箇所それぞれに接地するように設けられた３つの接地部と、を備え、
重心位置を、前記平面度測定ユニットにおいて３つの前記接地部のそれぞれを頂点とする三角形の領域の内側に設けた、平面度測定ユニット。

【請求項11】

前記本体フレームに配置され、前記棚板上の４つの前記所定箇所のうちの３つの前記接地部がそれぞれ接地する３つの前記所定箇所以外の残りの所定箇所に対応する位置に設けられた測定用凸部を備え、
前記測定用凸部は、前記平面度測定ユニットが前記棚板に載置された状態において、当該残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されている、請求項１０に記載の平面度測定ユニット。

【請求項12】

前記接地部は、接地面を構成する凸部を有し、
前記測定用凸部の高さは、３つの前記接地部の各凸部の頂点で定められた平面よりも低い、請求項１１に記載の平面度測定ユニット。

【請求項13】

前記測定用凸部の頂点と３つの前記接地部の各凸部の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上である、請求項１２に記載の平面度測定ユニット。

【請求項14】

前記本体フレームに設けられ、前記平面度測定ユニットが前記棚板に載置された状態において、前記棚板上の４つの前記所定箇所のうちの３つの前記接地部がそれぞれ接地する３つの前記所定箇所以外の残りの所定箇所又はその周辺箇所までの距離を測定する測定装置を備える、請求項１０に記載の平面度測定ユニット。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明の一側面は、平面度測定ユニットに関する。

【背景技術】

【0002】

格納容器を載置する棚板を複数備え、棚板に載置された格納容器の内部をパージガスによってパージ処理するパージストッカが知られている（例えば、特許文献１参照）。このようなパージストッカでは、格納容器との間でパージガスを流通させる複数のノズルが、棚板上に設けられている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】国際公開第２０１５／１９４２５５号

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

上記パージストッカでは、棚板に格納容器を載置した際、パージ処理を適切に行うためには、所定の接圧でノズルと格納容器と密着させる必要がある。このことから、格納容器を棚板上に適切に接地させるべく、棚板上のある四箇所を同一平面上に存在させることが求められる。そこで、上記パージストッカでは、棚板上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する平面度を測定することが望まれる。このような棚板上の平面度を測定する方法として、当該４つの所定箇所を三次元計測する方法が考えられるが、その測定作業には多大な手間がかかり現実的ではない。

【0005】

本発明の一側面は、上述した実情に鑑みてなされたものであり、棚板上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能な平面度測定ユニットを提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットは、棚板に載置され、棚板上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する平面度を測定するための平面度測定ユニットであって、本体フレームと、本体フレームの四方に分散して配置され、棚板上の４つの所定箇所のそれぞれに接地するように設けられた４つの接地部と、を備え、４つの接地部は、対角位置にない２つの第１接地部と、第１接地部以外の２つの第２接地部と、からなり、重心位置を、前記平面度測定ユニットにおいて、対角位置にある前記第１接地部と前記第２接地部とを通る２本の対角線で画成される４つの領域のうち、前記第１接地部を２つ含む領域に設けている。

【0007】

この平面度測定ユニットは、棚板上の４つの所定箇所に接地部が設置されるように棚板に載置される。これにより、完全平面は３点で特定されることから、４つの所定箇所が同一平面上にないときは、そのうちの何れか一箇所と接地部との間に隙間が形成されるため、この隙間に関する値を平面度として測定することができる。このとき、平面度測定ユニットにおける重心位置が、対角位置にある第１接地部と第２接地部とを通る２本の対角線で画成される４つの領域のうち、第１接地部を２つ含む領域に設けられている（第１接地部側の重量が第２接地部側の重量と比較して重くなっている）ことから、２つの第１接地部は棚板の所定箇所に必ず接地する。したがって、全ての接地部と所定箇所との隙間を測定する必要はなく、第２接地部と所定箇所との隙間を測定することで足り、測定作業の手間を省くことができる。その結果、棚板上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となる。

【0008】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットは、本体フレームにおける第２接地部の周辺に設けられ、平面度測定ユニットが棚板に載置された状態において棚板上の第２接地部に対応する所定箇所又はその周辺箇所までの距離を測定する測定装置を備えていてもよい。このような構成では、棚板上の平面度の測定作業を、人手を省いて一層容易に行なうことが可能となる。

【0009】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、第２接地部は、球面状又は凸曲面状の接地面を構成する凸部を有していてもよい。第２接地部と棚板上の所定箇所との間の最小隙間を、複数の方向からでも容易に測定することが可能となる。

【0010】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、第１接地部は、内面を接地面とする溝部又は凹部を有していてもよい。このような構成では、棚板上における上方へ突出する部分に対しても第１接地部を確実に接地させることが可能となる。

【0011】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、接地部は、本体フレームよりも硬度が低くてもよい。このような構成では、棚板上において接地部が接地した所定箇所の損傷を抑制することができる。

【0012】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、本体フレームには、作業者が把持する把持部が設けられていてもよい。このような構成では、平面度測定ユニットを人手で容易に取り扱うことができ、棚板上の平面度の測定作業を一層容易に行なうことが可能となる。

【0013】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、本体フレームにおける第１接地部側には、バランスウェイトが設けられていてもよい。この場合、平面度測定ユニットにおける第１接地部側の重量を第２接地部側の重量と比較して重くする構成を、確実に実現することが可能となる。

【0014】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、棚板上には、上方へ突出するピンが設けられ、本体フレームには、平面度測定ユニットが棚板に載置された状態においてピンとの間に隙間を形成する溝部又は凹部が設けられていてもよい。このような構成では、平面度測定ユニットを棚板に載置する場合に、棚板上のピンとの干渉を溝部又は凹部を利用して回避することが可能となる。

【0015】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、棚板上には、上方へ突出するノズルが設けられ、本体フレームは、平面度測定ユニットが棚板に載置された状態においてノズルを通過させる開口部を有していてもよい。このような構成では、平面度測定ユニットを棚板に載置する場合に、棚板上のノズルとの干渉を開口部を利用して回避することが可能となる。

【0016】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットは、棚板に載置され、棚板上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する平面度を測定するための平面度測定ユニットであって、本体フレームと、本体フレームに分散して配置され、棚板上の４つの所定箇所のうちの３つの所定箇所それぞれに接地するように設けられた３つの接地部と、を備え、重心位置を、平面度測定ユニットにおいて３つの接地部のそれぞれを頂点とする三角形の領域の内側に設けている。

【0017】

この平面度測定ユニットでは、棚板に載置された場合、重心位置が平面度測定ユニットにおいて３つの接地部のそれぞれを頂点とする三角形の領域の内側に設けられていることから、３つの接地部は棚板の所定箇所に必ず接地する。これにより、完全平面は３点で特定されることから、４つの所定箇所が同一平面上にあるときは、４つの所定箇所のうちの接地部が接地していない一箇所と平面度測定ユニットとの間に、規定量の隙間が形成される。そのため、この隙間に関する値を平面度として測定することができ、棚板上の平面度の測定作業の手間を省くことができる。したがって、棚板上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となる。

【0018】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットは、本体フレームに配置され、棚板上の４つの所定箇所のうちの３つの接地部がそれぞれ接地する３つの所定箇所以外の残りの所定箇所に対応する位置に設けられた測定用凸部を備え、測定用凸部は、平面度測定ユニットが棚板に載置された状態において、残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されていてもよい。これにより、測定用凸部と当該残りの所定箇所との間の隙間に基づいて、平面度を測定することができる。

【0019】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、接地部は、接地面を構成する凸部を有し、測定用凸部の高さは、３つの接地部の各凸部の頂点で定められた平面よりも低くてもよい。これにより、平面度測定ユニットが棚板に載置された場合に測定用凸部と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、確実に実現することができる。

【0020】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットでは、測定用凸部の頂点と３つの接地部の各凸部の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上であってもよい。これにより、平面度測定ユニットが棚板に載置された場合において、測定用凸部と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、一層確実に実現することができる。

【0021】

本発明の一側面に係る平面度測定ユニットは、本体フレームに設けられ、平面度測定ユニットが棚板に載置された状態において、棚板上の４つの所定箇所のうちの３つの接地部がそれぞれ接地する３つの所定箇所以外の残りの所定箇所又はその周辺箇所までの距離を測定する測定装置を備えていてもよい。このような構成では、棚板上の平面度の測定作業を、人手を省いて一層容易に行なうことが可能となる。

【発明の効果】

【0022】

本発明の一側面によれば、棚板上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能な平面度測定ユニットを提供することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0023】

【図1】図１は、第１実施形態に係る平面度測定ユニットが載置される棚板を示す斜視図である。

【図2】図２は、第１実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図3】図３は、第１実施形態に係る平面度測定ユニットを下方側から見た斜視図である。

【図4】図４は、第１実施形態に係る平面度測定ユニットの後側を示す斜視図である。

【図5】図５は、第１実施形態に係る平面度測定ユニットを模式的に示す平面図である。

【図6】図６は、第２実施形態に係る平面度測定ユニットを上方側から見た斜視図である。

【図7】図７は、第２実施形態に係る平面度測定ユニットを下方側から見た斜視図である。

【図8】図８は、第２実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図9】図９は、第２実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態における第２接地部の周辺を模式的に示す側面図である。

【図10】図１０は、第３実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図11】図１１は、第３実施形態に係る平面度測定ユニットを下方側から見た斜視図である。

【図12】図１２は、第４実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図13】図１３は、第４実施形態に係る平面度測定ユニットの後側を示す斜視図である。

【図14】図１４は、第４実施形態に係る平面度測定ユニットを模式的に示す平面図である。

【図15】図１５は、第５実施形態に係る平面度測定ユニットを上方側から見た斜視図である。

【図16】図１６は、第５実施形態に係る平面度測定ユニットを下方側から見た斜視図である。

【図17】図１７は、第５実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図18】図１８は、第６実施形態に係る平面度測定ユニットが棚板に載置された状態を示す斜視図である。

【図19】図１９は、第６実施形態に係る平面度測定ユニットを下方側から見た斜視図である。

【発明を実施するための形態】

【0024】

以下、図面を参照して一実施形態について説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明の対象と必ずしも一致していない。「上」及び「下」の語は、図示する状態に基づく便宜的なものである。

【0025】

［第１実施形態］
図１は、平面度測定ユニット１が載置される棚板１０１を示す斜視図である。図２は、棚板１０１に載置された状態の平面度測定ユニット１を示す斜視図である。図３は、平面度測定ユニット１を下方側から見た斜視図である。図４は、平面度測定ユニット１の後側を示す斜視図である。Ｘ方向は一水平方向に対応し、Ｙ方向はＸ方向に直交する水平方向に対応し、Ｚ方向は鉛直方向に対応する。

【0026】

図１及び図２に示されるように、平面度測定ユニット１は、棚板１０１に載置され、棚板１０１上の平面度を測定するためのユニットである。棚板１０１上の平面度とは、棚板１０１上の４つの所定箇所が同一平面上に存在する場合からの乖離の程度に関する指標である。棚板１０１上の平面度は、例えば棚板１０１上の４つの所定箇所のうちの何れか３つにより決定される平面と、残りの１つの所定箇所と、の間に形成される隙間の大きさ（隙間量）によって表すことができる。隙間量が大きいほど、平面度が良くないと判定される。なお、棚板１０１上の平面度は、当該乖離の程度に関するものであれば特に限定されず、種々の公知の指標であってもよい。

【0027】

棚板１０１は、パージストッカ１００のパージ棚を構成する。パージストッカ１００は、格納容器の内部をパージガスによってパージ処理すると共に、複数の格納容器を保管する保管庫としての機能を有している。格納容器は、半導体ウェハ又はガラス基板などの被格納物が格納されたレチクルポッド又はＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）などである。パージガスとしては、例えば、窒素ガス又は空気が用いられる。パージストッカ１００は、例えばクリーンルームに設けられる。

【0028】

棚板１０１は、パージストッカ１００において、Ｘ方向及びＺ方向に沿って複数並んで配置される。棚板１０１は、棚ブラケットＢＲに支持されている。棚板１０１は、ＸＹ面に沿う平板状に形成されている。棚板１０１は、上方から見て、前側（Ｙ方向の一方側）に開口する開口部を有する。棚板１０１には、格納容器が載置される。棚板１０１上には、上方へ突出するピン１０２が３つ設けられている。ピン１０２は、キネマピンであり、格納容器を位置決めする機能を有する。図示する例では、ピン１０２は、上方から見て、棚板１０１の上面の一直線上にない３点に分散して配置されている。

【0029】

棚板１０１上には、上方へ突出するノズル１０３が４つ設けられている。ノズル１０３は、棚板１０１に載置された格納容器との間でパージガスを流通させる。ノズル１０３の管端部である上部は、剛体で構成されている。ノズル１０３の上面は、平面状に形成されている。ノズル１０３の上面が格納容器の通気口に密着されることによって、当該格納容器の内部にパージガスが供給可能、あるいは当該格納容器の内部から余分なパージガスを排出可能とされる。ノズル１０３は、棚板１０１の上面の四方に分散して配置されている。図示する例では、ノズル１０３は、上方から見て、棚板１０１の四隅（前側２箇所及び後側（Ｙ方向の他方側）２箇所）の位置に分散して配置されている。本実施形態では、棚板１０１上において格納容器が４つのノズル１０３の上面に載せられて支持される。４つのノズル１０３の各上面は、平面度測定ユニット１で測定する平面度の対象となる４つの所定箇所に相当する。

【0030】

図２、図３及び図４に示されるように、平面度測定ユニット１は、本体フレーム２、接地部３、測定装置４、把持部５、ガイド部材７、バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１を備える。

【0031】

本体フレーム２は、棚板１０１に載置可能なサイズの板状を呈する。本体フレーム２は、平面状の上面２ｕ及び下面２ｄを有する。本体フレーム２は、例えばアルミニウム等の金属で形成されている。図示する例では、本体フレーム２は、上方から見て、Ｙ方向の一方側及び他方側がＹ方向の中央部分に比べてＸ方向に幅広（換言すると、Ｙ方向の中央部分が幅狭（くびれた））形状とされている。

【0032】

接地部３は、本体フレーム２と別体で形成されている。接地部３は、本体フレーム２よりも硬度が低い。接地部３は、樹脂で形成されている。ここでの接地部３は、耐摩耗性に優れたＰＥＥＫ（Poly Ether Ether Ketone）樹脂により形成されている。接地部３は、本体フレーム２の四方に分散して４つ配置されている。接地部３は、棚板１０１の４つのノズル１０３のそれぞれに接地するように設けられている。接地部３は、本体フレーム２における４つのノズル１０３に対応する位置に設けられている。

【0033】

４つの接地部３は、２つの第１接地部３ａと２つの第２接地部３ｂとからなる。第１接地部３ａは、本体フレーム２における前側２箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、本体フレーム２における後側２箇所に配置されている。２つの第１接地部３ａは、４つの接地部３のうちの対角位置にない接地部３である。２つの第２接地部３ｂは、４つの接地部３のうちの第１接地部３ａ以外であって対角位置にない接地部３である。２つの第１接地部３ａを結ぶ線分と２つの第２接地部３ｂを結ぶ線分とは、交わらない。

【0034】

接地部３は、本体フレーム２の上面２ｕ側にネジ等で取り付けられている。接地部３は、球面状の接地面を構成する凸部３１を有する。凸部３１は、接地部３が本体フレーム２に取り付けられた状態において、本体フレーム２を下方に貫通して下面２ｄから突き出る接地部３の一部分である。凸部３１は、円柱状を呈し、その下端面が接地面である。接地面は、棚板１０１の所定箇所と接地可能な面である。４つの接地部３における凸部３１の頂点（下端点）の位置は、同一平面上にある。

【0035】

測定装置４は、本体フレーム２における第２接地部３ｂのそれぞれの周辺に設けられている。測定装置４は、後側のノズル１０３（第２接地部３ｂに対応するノズル１０３）の上面までの距離を測定する。ここでの測定装置４は、第２接地部３ｂの後側に近接する位置に設けられている。上方から見て、第２接地部３ｂの凸部３１と測定装置４の測定点とを含む領域は、ノズル１０３の上面に収まるように構成されている。

【0036】

測定装置４は、例えばレーザ測長器が用いられる。測定装置４は、測定光Ｌを下方へ向けて出射し、本体フレーム２に形成された測定用貫通孔２ｈを介して、測定光Ｌを下方へ出射すると共にノズル１０３の上面で反射したその反射光を受光することで、ノズル１０３の上面までの距離を測定する。測定装置４としては特に限定されず、種々の公知の装置を用いることができる。測定装置４として、例えばダイヤルゲージを用いてもよい。

【0037】

把持部５は、作業者が把持する部分である。把持部５は、本体フレーム２の上面２ｕにおけるＸ方向の両端部に固定されている。把持部５としては、適宜に屈曲されて成る長尺状の部材が用いられている。

【0038】

ガイド部材７は、下方へ開口し且つ水平方向に延びるＶ溝（溝部）７ｖを有するブロック状の部材である。Ｖ溝７ｖは、断面Ｖ字状の溝である。ガイド部材７は、本体フレーム２においてＶ溝７ｖが下方に露出するように３つ設けられている。ガイド部材７は、本体フレーム２の上面２ｕ側にネジ等で取り付けられている。ガイド部材７は、本体フレーム２に分散して配置されている。ガイド部材７は、３つのピン１０２のそれぞれに対応する位置に設けられている。ガイド部材７は、平面度測定ユニット１が棚板１０１に載置された状態において、ピン１０２をＶ溝７ｖ内に収容すると共に、当該ピン１０２とＶ溝７ｖとの間に隙間を形成する（つまり、ピン１０２に平面度測定ユニット１が載ることを回避する）。

【0039】

バッテリー８は、平面度測定ユニット１で使用する電力を供給する機器である。本体フレーム２の上面２ｕ上の中央前寄りに固定されている。データロガー９は、測定装置４で測定した測定結果を記憶する機器である。データロガー９は、本体フレーム２の上面２ｕ上の中央前寄りに固定されている。表示器１０は、測定装置４で測定又はデータロガー９に記憶した測定結果を表示させる機器である。表示器１０は、測定装置４の数に応じて設けられており、ここでは、２つ設けられている。表示器１０は、本体フレーム２の上面２ｕ上において、前側且つＸ方向の一方側及び他方側に固定されている。一方の表示器１０は、一方の測定装置４の測定結果を表示させ、他方の表示器１０は、他方の測定装置４の測定結果を表示させる。変圧器１１は、バッテリー８から供給される電力を適宜に変圧する機器である。変圧器１１は、本体フレーム２の上面２ｕ上の前側に固定されている。バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１としては特に限定されず、種々の公知の機器を用いることができる。

【0040】

本実施形態では、平面度測定ユニット１における第１接地部３ａ側の重量は、第２接地部３ｂ側の重量と比較して重い。換言すると、平面度測定ユニット１の前側が後側よりも重い。図５に示されるように、平面度測定ユニット１の重心位置Ｇは、対角位置にある第１接地部３ａと第２接地部３ｂとを通る２本の対角線Ｔで画成される４つの領域Ａのうち、２つの第１接地部３ａが存在する領域Ａ０に設けられている。すなわち、４つの接地部３の対角位置にあるもの同士を結ぶ２本の対角線Ｔ線によって区切られる４つの領域Ａのうち、重心位置Ｇが存在する領域Ａ０の反対側の２つの接地部３である第２接地部３ｂを、ノズル１０３との隙間を測定する測定点としている。第１接地部３ａは、領域Ａ０を画成する接地部３である。平面度測定ユニット１は、上方から見て、重心位置ＧがＹ方向の中央よりも前側（第１接地部３ａ側）に偏るように構成されている。図視されるように、平面視（平面度測定ユニット１が棚板１０１に載置された状態における上方視）において、重心位置Ｇを、平面度測定ユニット１において４つの領域Ａのうち第１接地部３ａを２つ含む領域Ａ０に設けている。

【0041】

次に、平面度測定ユニット１を用いて、パージストッカ１００の棚板１０１上の平面度を測定する場合の一例を説明する。

【0042】

棚板１０１では、載置する格納容器の通気口（パージポート面）を４つのノズル１０３と密着させたいため、４つのノズル１０３の上面の平面度を測定する。まず、作業者は、平面度測定ユニット１を平板の上に載置し、４つの接地部３の全てが平板に接地している状態で測定装置４をゼロリセットする。作業者は、把持部５を把持し、平面度測定ユニット１をパージストッカ１００の図示しない入出庫ポート上に載置する。作業者は、測定装置４の測定を開始し、データロガー９において測定結果の記録を開始する。以降、データロガー９において記録が停止されるまで、測定装置４の測定結果がデータロガー９に記録され続ける。

【0043】

続いて、作業者は、パージストッカ１００において、図示しないクレーンロボットによる移載元及び移載先を設定し、クレーンロボットによる平面度測定ユニット１の移載を開始する。これにより、平面度測定ユニット１は、入出庫ポートから、４つのノズル１０３の上面に接地部３が接地するように棚板１０１上に移載される。

【0044】

ここで、平面度測定ユニット１における第１接地部３ａ側の重量は、第２接地部３ｂ側の重量と比較して重い。よって、平面度測定ユニット１が棚板１０１に載置された状態において、２つの第１接地部３ａとノズル１０３の上面との間に隙間が形成される可能性はないが、２つの第２接地部３ｂの何れかとノズル１０３の上面との間には、隙間が形成される可能性がある。第２接地部３ｂとノズル１０３の上面との隙間量は、測定装置４により平面度として測定される。なお、第２接地部３ｂが２つともノズル１０３の上面に接地している場合には、測定装置４で測定された平面度（隙間量）は０である。測定装置４の測定結果が安定する一定時間後、クレーンロボットにより次の棚板１０１に移載される。

【0045】

続いて、複数の棚板１０１の数だけ、上述した測定及び移載が繰り返される。全ての棚板１０１上の平面度について測定が完了した場合、クレーンロボットにより平面度測定ユニット１が入出庫ポート上に戻される。作業者は、データロガー９の記録を停止し、データロガー９から記録データを取り出す。記録データは、入出庫ポートに載置してから戻ってくるまでの連続的なデータであるため、当該データと移載元及び移載先の設定とを照らし合わせることで、当該データのどの部分がどの棚板１０１の平面度であるかを紐付ける。以上により、パージストッカ１００の各棚板１０１毎の平面度の測定が完了する。その後、必要に応じて、測定した平面度に基づき棚板１０１等が調整される。

【0046】

以上、平面度測定ユニット１は、棚板１０１上の４つのノズル１０３の上面に接地部３が設置されるように棚板１０１に載置される。これにより、完全平面は３点で特定されることから、４つのノズル１０３の上面が同一平面上にないときは、そのうちの何れか一箇所と接地部３との間に隙間が形成されるため、この隙間に関する値を平面度として測定することができる。このとき、平面度測定ユニット１における重心位置が、対角位置にある第１接地部３ａと第２接地部３ｂとを通る２本の対角線Ｔで画成される４つの領域Ａのうち、第１接地部３ａを２つ含む領域Ａ０に設けられている（第１接地部３ａ側の重量が第２接地部３ｂ側の重量と比較して重くなっている）ことから、２つの第１接地部３ａは棚板１０１の所定箇所に必ず接地する。したがって、全ての接地部３とノズル１０３との隙間を測定する必要はなく、第２接地部３ｂとノズル１０３との隙間を測定することで足り、測定作業の手間を省くことができる。その結果、棚板１０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となる。

【0047】

平面度測定ユニット１では、本体フレーム２における第２接地部３ｂの周辺に測定装置４が設けられている。測定装置４は、第２接地部３ｂに対応するノズル１０３の上面までの距離を測定する。このような構成では、棚板１０１上の平面度の測定作業を、人手を省いて一層容易に行なうことが可能となる。

【0048】

平面度測定ユニット１では、接地部３は、本体フレーム２よりも硬度が低い。このような構成では、棚板１０１上において接地部３が接地したノズル１０３の上面の損傷を抑制することができる。

【0049】

平面度測定ユニット１では、本体フレーム２には、作業者が把持する把持部５が設けられている。このような構成では、平面度測定ユニット１を人手で容易に取り扱うことができ、棚板１０１上の平面度の測定作業を一層容易に行なうことが可能となる。

【0050】

平面度測定ユニット１では、本体フレーム２には、平面度測定ユニット１が棚板１０１に載置された状態において、棚板１０１上のピン１０２との間に隙間を形成するＶ溝７ｖが設けられている。このような構成では、平面度測定ユニット１を棚板１０１に載置する場合に、ピン１０２との干渉をＶ溝７ｖを利用して回避することが可能となる。

【0051】

平面度測定ユニット１には、本体フレーム２における第１接地部３ａ側（前側）に、バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１が設けられている。このような構成により、平面度測定ユニット１における前側を後側と比較して重くする構成を、バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１の重量を利用して確実に実現することが可能となる。平面度測定ユニット１には、測定装置４、バッテリー８及びデータロガー９が少なくとも設けられていることから、平面度の自動測定が可能となる。

【0052】

［第２実施形態］
次に、第２実施形態について説明する。本実施形態の説明では、上記第１実施形態と異なる点について説明する。

【0053】

図６は、平面度測定ユニット５１を上方側から見た斜視図である。図７は、平面度測定ユニット５１を下方側から見た斜視図である。図８は、棚板２０１に載置された状態の平面度測定ユニット５１を示す斜視図である。図６～図８に示されるように、本実施形態の平面度測定ユニット５１は、パージストッカ２００のパージ棚を構成する棚板２０１に載置される。

【0054】

棚板２０１上には、上方へ突出するノズル２０３が２つ設けられている。ノズル２０３は、棚板２０１に載置された格納容器との間でパージガスを流通させる。ノズル２０３は、スプリングを内蔵した構造を有している。ノズル２０３は、上方から見て、棚板１０１の前側２箇所に配置されている。棚板２０１上において、格納容器は、その前側が２つのノズル２０３の上面に載せられて支持されると共に、その後側が棚板２０１の上面２０１ｕに載せられて支持される。

【0055】

本実施形態では、棚板２０１の上面２０１ｕにおけるノズル２０３に近接する前側２箇所、及び、棚板２０１の上面２０１ｕにおける後側２箇所が、平面度測定ユニット５１で測定する平面度の対象となる４つの所定箇所に相当する。すなわち、ノズル２０３がスプリングを内蔵した構造で変形しやすいことから、測定する平面度に係る４つの所定箇所には、２つのノズル２０３の上面を含めず、その代替として、上面２０１ｕにおいてノズル２０３に近接する２箇所を含めている。なお、場合によっては、４つの所定箇所に２つのノズル２０３の上面を含めてもよい。

【0056】

平面度測定ユニット５１では、本体フレーム２は、上方から見て矩形状の外形の板部材である。平面度測定ユニット５１では、第１接地部３ａは、本体フレーム２における後側２箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、本体フレーム２における前側２箇所に配置されている。平面度測定ユニット５１は、バランスウェイトＢＷを備える。バランスウェイトＢＷは、ブロック状の重りである。バランスウェイトＢＷは、本体フレーム２における上面２ｕの第１接地部３ａ側（図示する例では後側）に設けられている。

【0057】

平面度測定ユニット５１は、測定装置４、バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１（図２参照）を備えない。平面度測定ユニット５１では、本体フレーム２には、開口部２ｐが設けられている。開口部２ｐは、本体フレーム２を上下に貫通する孔である。開口部２ｐは、平面度測定ユニット５１が棚板２０１に載置された状態においてノズル２０３を通過（挿通）させる。開口部２ｐは、棚板１０１のノズル２０３に対応する前側２箇所を含むように、本体フレーム２のＸ方向の両端部に形成されている。

【0058】

平面度測定ユニット５１における第１接地部３ａ側の重量は、第２接地部３ｂ側の重量と比較して重い。換言すると、平面度測定ユニット５１の後側が前側よりも重い。平面度測定ユニット５１は、上方から見て、重心位置ＧがＹ方向の中央よりも後側に偏るように構成されている。

【0059】

このような平面度測定ユニット５１は、図８に示されるように、上面２０１ｕにおける後側２箇所に第１接地部３ａの凸部３１が接地し、且つ、上面２０１ｕにおけるノズル２０３に近接する前側２箇所に第２接地部３ｂの凸部３１が接地するように、棚板２０１上に載置される。棚板２０１のノズル２０３は本体フレーム２の開口部２ｐに挿通される。ここで、平面度測定ユニット５１における第１接地部３ａ側が第２接地部３ｂ側と比較して重いことから、２つの第２接地部３ｂの何れかと上面２０１ｕとの間に隙間が生じ得る。そこで、２つの第２接地部３ｂの何れかの凸部３１と上面２０１ｕとの間に隙間ゲージ５６が差し込まれるかどうか確認し、その隙間量（隙間ゲージ５６の厚さ）を平面度として測定する（図８中の矢印及び図９参照）。

【0060】

以上、平面度測定ユニット５１においても、上記実施形態と同様な効果、すなわち、棚板２０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となるという効果を奏する。

【0061】

平面度測定ユニット５１では、図９に示されるように、第２接地部３ｂは、球面状の接地面を構成する凸部３１を有する。よって、例えば隙間ゲージ５６を用いて隙間量を測定する場合に、第２接地部３ｂの凸部３１と棚板２０１の上面２０１ｕとの間の最小隙間を、どの方向からでも容易に測定することが可能となる。換言すれば、隙間ゲージ５６を差し込む方向によって、差し込むことが可能な隙間ゲージ５６の厚さがばらつくのを抑制することができる。

【0062】

平面度測定ユニット５１では、本体フレーム２における第１接地部３ａ側には、バランスウェイトＢＷが設けられている。この場合、平面度測定ユニット５１における第１接地部３ａ側を第２接地部３ｂ側と比較して重くする構成を、確実に実現することが可能となる。

【0063】

平面度測定ユニット５１では、本体フレーム２は、平面度測定ユニット５１が棚板２０１に載置された状態においてノズル２０３を通過させる開口部２ｐを有する。このような構成では、平面度測定ユニット５１を棚板２０１に載置する場合に、ノズル２０３との干渉を開口部２ｐを利用して回避することが可能となる。

【0064】

平面度測定ユニット５１では、前側（正面側）の接地部３である第２接地部３ｂと棚板２０１との間の隙間を測定する。このように測定点を前側とすることで、隙間ゲージ５６を差し込む作業がしやすくなる。重心位置Ｇを任意の位置に設定することにより、測定点を任意の位置とすることができる。平面度測定ユニット５１では、測定装置４等を備えないことから、構成を簡易化することができる。

【0065】

［第３実施形態］
次に、第３実施形態について説明する。本実施形態の説明では、上記第２実施形態と異なる点について説明する。

【0066】

図１０は、棚板３０１に載置された状態の平面度測定ユニット８１を示す斜視図である。図１１は、平面度測定ユニット８１を下方側から見た斜視図である。図１０及び図１１に示されるように、本実施形態の平面度測定ユニット８１は、パージストッカ３００のパージ棚を構成する棚板３０１に載置される。

【0067】

棚板３０１には、格納容器の載置場所ＲがＸ方向に並ぶように２箇所設けられている。
棚板３０１は、２箇所の載置場所Ｒのそれぞれにおいて、上方から見て前側に開口する開口部を有する。棚板３０１上には、２箇所の載置場所Ｒのそれぞれにおいて、上方へ突出するノズル３０３が２つ設けられている。ノズル３０３は、棚板３０１に載置された格納容器との間でパージガスを流通させる。ノズル３０３は、ゴムで形成されたジャバラ構造を有している。図示する例では、ノズル３０３は、２箇所の載置場所Ｒのそれぞれにおいて、棚板３０１の後側２箇所に配置されている。

【0068】

棚板３０１上には、２箇所の載置場所Ｒのそれぞれにおいて、上方へ突出するピン３０２が２つ設けられている。ピン３０２は、キネマピンであり、格納容器を位置決めする機能を有する。図示する例では、ピン３０２は、２箇所の載置場所Ｒのそれぞれにおいて、上方から見て、棚板３０１の前側２箇所に配置されている。棚板３０１の各載置場所Ｒ上において、格納容器は、その前側が２つのピン３０２に載せられて支持されると共に、その後側が２つのノズル３０３の上面に載せられて支持される。

【0069】

本実施形態では、棚板３０１の上面３０１ｕにおけるノズル３０３に近接する後側２箇所、及び、棚板３０１の２つのピン３０２が、平面度測定ユニット８１で測定する平面度の対象となる４つの所定箇所に相当する。すなわち、ノズル３０３がジャバラ構造で変形しやすいことから、平面度に係る４つの所定箇所には、２つのノズル３０３の上面を含めず、その代わりとして、上面３０１ｕにおいてノズル３０３に近接する２箇所を含めている。なお、場合によっては、４つの所定箇所に２つのノズル３０３の上面を含めてもよい。

【0070】

平面度測定ユニット８１は、第１接地部３ａ（図６参照）に代えて、第１接地部８３ａを有する。第１接地部８３ａは、下方へ開口し且つ水平方向に延びるＶ溝（溝部）８５を有するブロック状の部材である。Ｖ溝８５は、内面を接地面とする断面Ｖ字状の溝である。第１接地部８３ａは、本体フレーム２における前側２箇所に、Ｖ溝８５が下方に露出するように設けられている。第１接地部８３ａは、本体フレーム２の上面２ｕ側にネジ等で取り付けられている。第１接地部８３ａは、２つのピン３０２のそれぞれに対応する位置に設けられている。第１接地部８３ａは、平面度測定ユニット８１が棚板１０１に載置された状態において、Ｖ溝８５がピン３０２と接地するように当該ピン３０２上に配置される。

【0071】

平面度測定ユニット８１では、第２接地部３ｂは、本体フレーム２における後側２箇所に配置されている。平面度測定ユニット８１では、バランスウェイトＢＷが本体フレーム２における上面２ｕの第１接地部３ａ側（図示する例では前側）に設けられている。平面度測定ユニット８１では、本体フレーム２に設けられた開口部２ｐは、平面度測定ユニット５１が棚板２０１に載置された状態においてノズル３０３を通過（挿通）させる。開口部２ｐは、本体フレーム２の後側に形成されている。

【0072】

平面度測定ユニット８１における第１接地部３ａ側の重量は、第２接地部３ｂ側の重量と比較して重い。換言すると、平面度測定ユニット８１の前側が後側よりも重い。平面度測定ユニット８１は、上方から見て、重心位置ＧがＹ方向の中央よりも前側に偏るように構成されている。

【0073】

このような平面度測定ユニット８１は、２箇所のピン３０２に第１接地部８３ａのＶ溝８５が接地し、且つ、上面３０１ｕにおけるノズル３０３に近接する後側２箇所に第２接地部３ｂの凸部３１が接地するように、棚板３０１上に載置される。棚板３０１のノズル３０３は本体フレーム２の開口部２ｐに挿通される。ここで、平面度測定ユニット８１における第１接地部８３ａ側が第２接地部３ｂ側と比較して重いことから、２つの第２接地部３ｂの何れかと上面３０１ｕとの間に隙間が生じ得る。そこで、２つの第２接地部３ｂの何れかの凸部３１と上面３０１ｕとの間に隙間ゲージ５６（図９参照）が差し込まれるかどうか確認し、その隙間量を平面度として測定する。

【0074】

以上、平面度測定ユニット８１においても、他の実施形態と同様な効果、すなわち、棚板３０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となるという効果を奏する。

【0075】

平面度測定ユニット８１では、第１接地部８３ａは、内面を接地面とするＶ溝８５を有する。このような構成では、棚板３０１上のピン３０２（上方へ突出する部分）に対しても第１接地部８３ａを確実に接地させることが可能となる。

【0076】

［第４実施形態］
次に、第４実施形態について説明する。本実施形態の説明では、上記第１実施形態と重複する説明は適宜省略する。

【0077】

図１２は、棚板１０１に載置された状態の平面度測定ユニット１２１を示す斜視図である。図１３は、平面度測定ユニット１２１の後側を示す斜視図である。図１２及び図１３に示されるように、平面度測定ユニット１２１は、棚板１０１に載置され、棚板１０１上の平面度を測定するためのユニットである。平面度測定ユニット１２１は、上記第１実施形態と同様に、本体フレーム２、接地部３、測定装置４、把持部５、ガイド部材７、バッテリー８、データロガー９、表示器１０及び変圧器１１を備える。

【0078】

本実施形態の接地部３は、本体フレーム２に分散して３つ配置されている。接地部３は、棚板１０１の４つのノズル１０３のうちの３つのノズル１０３のそれぞれに接地するように設けられている。接地部３は、本体フレーム２における当該３つのノズル１０３に対応する位置に設けられている。３つの接地部３は、２つの第１接地部３ａと１つの第２接地部３ｂとからなる。第１接地部３ａは、本体フレーム２における前側２箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、本体フレーム２における後側１箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、２つの第１接地部３ａの何れか一方の後側に離れた位置に配置されている。３つの接地部３における凸部３１の頂点（下端点）の位置は、同一平面上にある。

【0079】

本実施形態の測定装置４は、平面度測定ユニット１２１が棚板１０１に載置された状態において、３つの接地部３がそれぞれ接地する棚板１０１上の３つのノズル１０３以外の残りのノズル１０３（以下、単に「残りのノズル１０３」ともいう）までの距離を測定する。測定装置４は、本体フレーム２の後側において第２接地部３ｂとはＸ方向に離れる位置に設けられている。測定装置４は、接地部３が接地しない残りのノズル１０３の上面までの距離を測定する。測定装置４は、測定光Ｌを下方へ向けて出射し、本体フレーム２に形成された測定用貫通孔２ｈを介して、測定光Ｌを下方へ出射すると共に残りのノズル１０３の上面で反射したその反射光を受光することで、残りのノズル１０３の上面までの距離を測定する。測定装置４としては特に限定されず、種々の公知の装置を用いることができる。測定装置４として、例えばダイヤルゲージを用いてもよい。本実施形態の表示器１０は、測定装置４の数に応じて設けられており、ここでは、１つ設けられている。表示器１０は、本体フレーム２の上面２ｕ上において、前側且つＸ方向の一方側に固定されている。

【0080】

本実施形態では、図１２及び図１４に示されるように、平面度測定ユニット１２１の重心位置Ｇは、平面度測定ユニット１２１において３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域Ａ１の内側に設けられている。換言すると、平面度測定ユニット１２１の測定装置４が設けられた側の重量が、その対角側の重量に比べて軽い。図視されるように、重心位置Ｇは、平面視において、３つの接地部３に囲まれた領域である三角形ＴＲの領域Ａ１内に設けられている。

【0081】

次に、平面度測定ユニット１２１を用いて、パージストッカ１００の棚板１０１上の平面度を測定する場合の一例を説明する。

【0082】

棚板１０１では、載置する格納容器の通気口（パージポート面）を４つのノズル１０３と密着させたいため、４つのノズル１０３の上面の平面度を測定する。まず、作業者は、平面度測定ユニット１２１を平板の上に載置し、３つの接地部３の全てが平板に接地している状態で測定装置４をゼロリセットする。作業者は、把持部５を把持し、平面度測定ユニット１２１をパージストッカ１００の図示しない入出庫ポート上に載置する。作業者は、測定装置４の測定を開始し、データロガー９において測定結果の記録を開始する。以降、データロガー９において記録が停止されるまで、測定装置４の測定結果がデータロガー９に記録され続ける。

【0083】

続いて、作業者は、パージストッカ１００において、図示しないクレーンロボットによる移載元及び移載先を設定し、クレーンロボットによる平面度測定ユニット１２１の移載を開始する。これにより、平面度測定ユニット１２１は、入出庫ポートから、３つのノズル１０３の上面に接地部３が接地するように棚板１０１上に移載される。

【0084】

ここで、平面度測定ユニット１２１の重心位置Ｇは、３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域Ａ１の内側に設けられている。よって、平面度測定ユニット１２１が棚板１０１に載置された状態において、３つの接地部３とノズル１０３の上面との間に隙間が形成される可能性はなく、３つの接地部３が確実にノズル１０３の上面に接地する。この状態で、平面度測定ユニット１２１は安定する。平面度測定ユニット１２１と接地部３が接地されていない残りのノズル１０３の上面との隙間量は、測定装置４により平面度として測定される。測定装置４の測定結果が安定する一定時間後、クレーンロボットにより次の棚板１０１に平面度測定ユニット１２１が移載される。

【0085】

なお、測定装置４で測定された隙間量が規定量である場合、４つのノズル１０３の上面からなる面が平面であると判定でき、平面度は０である。測定装置４で測定された隙間量が規定量でない場合、４つのノズル１０３の上面からなる面が平面でないと判定でき、隙間量の規定量からの乖離の程度に応じて平面度が定められる。規定量とは、平面度が０のときの隙間量であって予め定められる。

【0086】

続いて、複数の棚板１０１の数だけ、上述した測定及び移載が繰り返される。全ての棚板１０１上の平面度について測定が完了した場合、クレーンロボットにより平面度測定ユニット１２１が入出庫ポート上に戻される。作業者は、データロガー９の記録を停止し、データロガー９から記録データを取り出す。記録データは、入出庫ポートに載置してから戻ってくるまでの連続的なデータであるため、当該データと移載元及び移載先の設定とを照らし合わせることで、当該データのどの部分がどの棚板１０１の平面度であるかを紐付ける。以上により、パージストッカ１００の各棚板１０１毎の平面度の測定が完了する。その後、必要に応じて、測定した平面度に基づき棚板１０１等が調整される。

【0087】

以上、平面度測定ユニット１２１では、棚板１０１に載置された場合に、重心位置Ｇが３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域Ａ１の内側に設けられていることから、３つの接地部３は棚板１０１のノズル１０３の上面に必ず接地する。これにより、完全平面は３点で特定されることから、４つのノズル１０３の上面が同一平面上にあるときは、４つのノズル１０３の上面のうちの接地部３が接地していない一箇所と平面度測定ユニット１２１との間に、規定量の隙間が形成される。そのため、この隙間に関する値を平面度として測定することができる。測定部が１箇所に特定されることから、棚板１０１上の平面度の測定作業の手間を省くことができる。したがって、棚板１０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となる。

【0088】

平面度測定ユニット１２１は、本体フレーム２に設けられた測定装置４を備える。測定装置４は、平面度測定ユニット１２１が棚板１０１に載置された状態において、棚板１０１上の接地部３が接地しない残りのノズル１０３の上面までの距離を測定する。このような構成では、棚板１０１上の平面度の測定作業を、人手を省いて一層容易に行なうことが可能となる。なお、測定装置４の数量は１つだけで足りる。

【0089】

［第５実施形態］
次に、第５実施形態について説明する。本実施形態の説明では、上記第２実施形態と異なる点について説明する。

【0090】

図１５は、平面度測定ユニット１５１を上方側から見た斜視図である。図１６は、平面度測定ユニット１５１を下方側から見た斜視図である。図１７は、棚板２０１に載置された状態の平面度測定ユニット１５１を示す斜視図である。図１５～図１７に示されるように、本実施形態の平面度測定ユニット１５１は、パージストッカ２００のパージ棚を構成する棚板２０１に載置される。

【0091】

本実施形態では、棚板２０１の上面２０１ｕにおける２つのノズル２０３に近接する前側２箇所、及び、棚板２０１の上面２０１ｕにおける後側２箇所が、平面度測定ユニット１５１で測定する平面度の対象となる４つの所定箇所に相当する。平面度測定ユニット１５１では、接地部３は、本体フレーム２に分散して３つ配置されている。接地部３は、上面２０１ｕにおける一方のノズル２０３に近接する前側１箇所と、上面２０１ｕにおける後側２箇所と、のそれぞれに接地するように設けられている。３つの接地部３は、２つの第１接地部３ａと１つの第２接地部３ｂとからなる。第１接地部３ａは、本体フレーム２における後側２箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、本体フレーム２における前側１箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、２つの第１接地部３ａの何れか一方の前側に離れた位置に配置されている。

【0092】

平面度測定ユニット１５１は、バランスウェイトＢＷ２を更に備える。バランスウェイトＢＷ２は、ブロック状の重りである。バランスウェイトＢＷ２は、本体フレーム２の上面２ｕにおける、３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側の領域に設けられている。

【0093】

平面度測定ユニット１５１は、本体フレーム２に配置された測定用凸部１５３を備える。測定用凸部１５３は、棚板２０１上の４つの所定箇所のうちの３つの接地部３がそれぞれ接地する３つの所定箇所以外の残りの所定箇所（ここでは、他方のノズル２０３に近接する前側１箇所、単に「残りの所定箇所」ともいう）に対応する位置に設けられている。測定用凸部１５３は、２つの第１接地部３ａの何れか他方の前側に離れた位置に配置されている。測定用凸部１５３は、本体フレーム２の下面２ｄから突き出るように設けられている。

【0094】

測定用凸部１５３は、平面度測定ユニット１５１が棚板２０１に載置された状態において、残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されている。測定用凸部１５３の高さ（突出長）は、３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた（頂点を通る）平面よりも低い。測定用凸部１５３の頂点と３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上であってもよい。最大乖離量は、想定される中で平面度が最も大きい場合（最も平面から乖離した場合）のときの、測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間の隙間量である。最大乖離量は、計算、試験及び／又は経験等により予め求めることができる所定値である。

【0095】

平面度測定ユニット１５１の重心位置Ｇは、平面度測定ユニット１５１において３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側に設けられている。換言すると、平面度測定ユニット１５１の測定用凸部１５３が設けられた側の重量が、その対角側の重量に比べて軽い。図視されるように、重心位置Ｇは、平面視において、３つの接地部３に囲まれた領域である三角形ＴＲの領域内に設けられている。

【0096】

このような平面度測定ユニット１５１は、上面２０１ｕにおける後側２箇所に第１接地部３ａの凸部３１が接地し、且つ、上面２０１ｕにおけるノズル２０３に近接する前側１箇所に第２接地部３ｂの凸部３１が接地するように、棚板２０１上に載置される。棚板２０１のノズル２０３は本体フレーム２の開口部２ｐに挿通される。ここで、平面度測定ユニット１５１では、測定用凸部１５３と上面２０１ｕとの間には隙間が生じることから、その隙間を隙間ゲージにより確認し、当該確認結果から平面度を測定する。例えば、規定量の隙間ゲージが丁度挿入できたとき、４つの所定箇所は平面であると判定する。規定量よりも厚い隙間ゲージが挿入できてしまうとき、又は、規定量よりも薄い隙間ゲージしか挿入できないときは、４つの所定箇所は平面ではないと判定する。

【0097】

以上、平面度測定ユニット１５１においても、上記実施形態と同様な効果、すなわち、棚板２０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となるという効果を奏する。

【0098】

平面度測定ユニット１５１は、測定用凸部１５３を備える。測定用凸部１５３は、平面度測定ユニット１５１が棚板２０１に載置された状態において、当該残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されている。これにより、測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間の隙間に基づいて、平面度を測定することができる。

【0099】

平面度測定ユニット１５１では、測定用凸部１５３の高さは、３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面よりも低い。これにより、平面度測定ユニット１５１が棚板２０１に載置された場合に測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、確実に実現することができる。

【0100】

平面度測定ユニット１５１では、測定用凸部１５３の頂点と３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上である。これにより、平面度測定ユニット１５１が棚板２０１に載置された場合において、測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、一層確実に実現することができる。

【0101】

平面度測定ユニット１５１では、バランスウェイトＢＷ２が設けられている。この場合、平面度測定ユニット１５１における重心位置Ｇを３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側に設ける構成を、確実に実現することが可能となる。

【0102】

［第６実施形態］
次に、第６実施形態について説明する。本実施形態の説明では、上記第３実施形態と異なる点について説明する。

【0103】

図１８は、棚板３０１に載置された状態の平面度測定ユニット１８１を示す斜視図である。図１９は、平面度測定ユニット１８１を下方側から見た斜視図である。図１８及び図１９に示されるように、本実施形態の平面度測定ユニット１８１は、パージストッカ３００のパージ棚を構成する棚板３０１に載置される。

【0104】

本実施形態では、棚板３０１の上面３０１ｕにおいて２つのノズル３０３に近接する後側２箇所、及び、棚板３０１の２つのピン３０２が、平面度測定ユニット１８１で測定する平面度の対象となる４つの所定箇所に相当する。平面度測定ユニット１８１では、接地部３は、本体フレーム２に分散して３つ配置されている。接地部３は、上面３０１ｕにおける２つのピン３０２のそれぞれに近接する前側２箇所と、上面３０１ｕにおける一方のノズル３０３に近接する後側１箇所と、のそれぞれに接地するように設けられている。３つの接地部３は、２つの第１接地部８３ａと１つの第２接地部３ｂとからなる。第１接地部８３ａは、本体フレーム２における前側２箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、本体フレーム２における後側１箇所に配置されている。第２接地部３ｂは、２つの第１接地部８３ａの何れか一方の後側に離れた位置に配置されている。

【0105】

平面度測定ユニット１８１は、バランスウェイトＢＷ３を更に備える。バランスウェイトＢＷ３は、ブロック状の重りである。バランスウェイトＢＷ３は、本体フレーム２の上面２ｕにおける、３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側の領域に設けられている。

【0106】

平面度測定ユニット１８１は、本体フレーム２に配置された測定用凸部１５３を備える。測定用凸部１５３は、棚板３０１上の４つの所定箇所のうちの３つの接地部３がそれぞれ接地する３つの所定箇所以外の残りの所定箇所（ここでは、他方のノズル３０３に近接する後側１箇所、単に「残りの所定箇所」ともいう）に対応する位置に設けられている。測定用凸部１５３は、２つの第１接地部８３ａの何れか他方の後側に離れた位置に配置されている。測定用凸部１５３は、本体フレーム２の下面２ｄから突き出るように設けられている。

【0107】

測定用凸部１５３は、平面度測定ユニット１８１が棚板３０１に載置された状態において、残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されている。測定用凸部１５３の高さ（突出長）は、３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面よりも低い。測定用凸部１３３の頂点と３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上であってもよい。最大乖離量は、想定される中で平面度が最も大きい場合（最も平面から乖離した場合）のときの、測定用凸部１５３と当該残りの所定箇所との間の隙間量である。最大乖離量は、計算、試験及び／又は経験等により予め求めることができる所定値である。

【0108】

平面度測定ユニット１８１の重心位置Ｇは、平面度測定ユニット１８１において３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側に設けられている。換言すると、平面度測定ユニット１８１の測定用凸部１５３が設けられた側の重量が、その対角側の重量に比べて軽い。図視されるように、重心位置Ｇは、平面視において、３つの接地部３に囲まれた領域である三角形ＴＲの領域内に設けられている。

【0109】

このような平面度測定ユニット１８１は、２箇所のピン３０２に第１接地部８３ａのＶ溝８５が接地し、且つ、上面３０１ｕにおけるノズル３０３に近接する後側１箇所に第２接地部３ｂの凸部３１が接地するように、棚板３０１上に載置される。棚板３０１のノズル３０３は本体フレーム２の開口部２ｐに挿通される。ここで、平面度測定ユニット１８１では、測定用凸部１５３と上面３０１ｕとの間には隙間が生じることから、その隙間を隙間ゲージにより確認し、当該確認結果から平面度を測定する。例えば、規定量の隙間ゲージが丁度挿入できたとき、４つの所定箇所は平面であると判定する。規定量よりも厚い隙間ゲージが挿入できてしまうとき、又は、規定量よりも薄い隙間ゲージしか挿入できないときは、４つの所定箇所は平面ではないと判定する。

【0110】

以上、平面度測定ユニット１８１においても、上記実施形態と同様な効果、すなわち、棚板３０１上の平面度の測定作業を容易に行なうことが可能となるという効果を奏する。

【0111】

平面度測定ユニット１８１は、測定用凸部１５３を備える。測定用凸部１５３は、平面度測定ユニット１８１が棚板３０１に載置された状態において、当該残りの所定箇所との間に隙間が形成されるように構成されている。これにより、測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間の隙間に基づいて、平面度を測定することができる。

【0112】

平面度測定ユニット１８１では、測定用凸部１５３の高さは、３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面よりも低い。これにより、平面度測定ユニット１８１が棚板３０１に載置された場合に測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、確実に実現することができる。

【0113】

平面度測定ユニット１８１では、測定用凸部１５３の頂点と３つの接地部３の各凸部３１の頂点で定められた平面との間の距離は、最大乖離量以上である。これにより、平面度測定ユニット１８１が棚板３０１に載置された場合において、測定用凸部１５３と残りの所定箇所との間に隙間が形成される構成を、一層確実に実現することができる。

【0114】

平面度測定ユニット１８１では、バランスウェイトＢＷ３が設けられている。この場合、平面度測定ユニット１８１における重心位置Ｇを３つの接地部３のそれぞれを頂点とする三角形ＴＲの領域の内側に設ける構成を、確実に実現することが可能となる。

【0115】

［変形例］
以上、実施形態について説明したが、本発明の一態様は上記実施形態に限定されない。

【0116】

上記実施形態では、平面度測定ユニット１，５１，８１を設置させる４つの所定箇所は特に限定されない。４つの所定箇所は、棚板１０１，２０１，３０１上の箇所であれば、種々の箇所を含んでいてもよい。上記実施形態では、把持部５は無くてもよい。

【0117】

上記第１実施形態では、棚板１０１上のピン１０２との間に隙間を形成するＶ溝７ｖに代えて、他の溝部を設けてもよいし、凹部を設けてもよい。上記第１実施形態では、測定装置４が棚板１０１上の所定箇所までの距離を測定したが、測定装置４が所定箇所の周辺箇所までの距離を測定してもよい。上記第３実施形態では、第１接地部８３ａにおいて、内面を接地面とするＶ溝８５に代えて、他の溝部を設けてもよいし、凹部を設けてもよい。上記第４実施形態では、測定装置４が棚板１０１上の所定箇所までの距離を測定したが、測定装置４が所定箇所の周辺箇所までの距離を測定してもよい。

【0118】

上記実施形態では、第２接地部３ｂの接地面を球面状としたが、凸曲面状としてもよい。これにより、第２接地部３ｂと棚板上の所定箇所との間の最小隙間を、複数の方向からでも容易に測定することが可能となる。隙間ゲージ５６を差し込む方向によって、差し込むことが可能な隙間ゲージ５６の厚さがばらつくのを抑制することができる。上記実施形態では、バランスウェイトＢＷ，ＢＷ２，ＢＷ３は無くてもよい。

【0119】

上記実施形態及び変形例における各構成には、上述した材料及び形状に限定されず、様々な材料及び形状を適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。上記実施形態又は変形例における各構成の一部は、本発明の一態様の要旨を逸脱しない範囲で適宜に省略可能である。

【符号の説明】

【0120】

１，５１，８１，１２１，１５１，１８１…平面度測定ユニット、２…本体フレーム、２ｐ…開口部、３…接地部、３ａ，８３ａ…第１接地部、３ｂ…第２接地部、４…測定装置、５…把持部、７ｖ…Ｖ溝、３１…凸部、８５…Ｖ溝（溝部）、１０１，２０１，３０１…棚板、１０２，３０２…ピン、１０３，２０３，３０３…ノズル、１５３…測定用凸部、Ａ，Ａ０…領域、ＢＷ，ＢＷ２，ＢＷ３…バランスウェイト、Ｇ…重心位置、Ｔ…対角線。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】

【図18】

【図19】