特許 7364255 圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-10

(45)【発行日】2023-10-18

(54)【発明の名称】圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/56 20060101AFI20231011BHJP

   H01L 23/40 20060101ALI20231011BHJP

   B29C 65/70 20060101ALI20231011BHJP

【ＦＩ】

H01L21/56 R

H01L23/40 D

B29C65/70

【請求項の数】 13

(21)【出願番号】P 2021208464

(22)【出願日】2021-12-22

(65)【公開番号】P2022103119

(43)【公開日】2022-07-07

【審査請求日】2021-12-22

(31)【優先権主張番号】109146151

(32)【優先日】2020-12-25

(33)【優先権主張国・地域又は機関】TW

(73)【特許権者】

【識別番号】514019132

【氏名又は名称】萬潤科技股▲ふん▼有限公司

(74)【代理人】

【識別番号】100099759

【弁理士】

【氏名又は名称】青木 篤

(74)【代理人】

【識別番号】100123582

【弁理士】

【氏名又は名称】三橋 真二

(74)【代理人】

【識別番号】100092624

【弁理士】

【氏名又は名称】鶴田 準一

(74)【代理人】

【識別番号】100114018

【弁理士】

【氏名又は名称】南山 知広

(74)【代理人】

【識別番号】100153729

【弁理士】

【氏名又は名称】森本 有一

(72)【発明者】

【氏名】ワン アン ティン

(72)【発明者】

【氏名】コー ユー リェン

(72)【発明者】

【氏名】リン イー ター

【審査官】今井 聖和

(56)【参考文献】

【文献】特開２００３－２９７８７８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０４－３０２４４６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特表２００８－５２７６９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－２３５４１１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００２－２６１４９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００５－１４２４６０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００６－２１０６４９（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００９／０６０５６０（ＷＯ，Ａ１）

【文献】中国特許出願公開第１０４８５９１７３（ＣＮ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／５６

Ｈ０１Ｌ ２３／４０

Ｂ２９Ｃ ６５／７０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

上金型として使用される際において下方にある下金型と共に加圧対象を加圧する圧着装置の制御方法であって、
上下に駆動されることが可能な駆動ロッドを備えてマトリックス状に配列される複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュール及び、前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応し、上端のトップ部に負荷検知ユニットが設けられ且つ下端に加圧金型が設けられる加圧ロッドを備える加圧ロッド手段が設けられる複数の加圧ユニットがマトリックス状に配列するように設けられる金型台を有し、前記金型台の下方に金型フレームが配置され、前記加圧ユニットには固定手段が設けられ、前記固定手段に垂直方向に沿った軸孔が設けられ、前記加圧ロッドは前記軸孔内に挿入することによって上下移動可能であり、前記加圧ロッドの下端にある前記加圧金型は前記金型台の下方にある前記金型フレームにおいて仕切られる金型チャンバー内に収容され、前記金型チャンバーの下部は開口が形成され、前記加圧金型は前記加圧ロッドに連動して前記金型チャンバーの中で上下移動できる圧着モジュールを用意するステップと、
前記駆動ロッドを駆動力によって下方へ移動させてまずは前記圧着モジュールにおける前記加圧ユニットにある前記負荷検知ユニットに駆動力を作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの加圧ロッドの下方にある加圧金型を駆動して加圧対象を加圧するステップと、を実行することを特徴とする圧着装置の制御方法。

【請求項2】

温度センサーを用いて前記加圧金型の温度を検知することを特徴とする請求項１に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項3】

前記加圧金型による圧着が完了し前記加圧金型を上昇させる際に、前記加圧金型の下方にある加圧対象に気体を吹き付けることにより前記加圧金型が前記加圧対象から分離しやすくすることを特徴とする請求項１に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項4】

前記加圧ロッドは前記固定手段の第１の位置決定ユニットにより水平に保持されると共に、上下移動可能に枢支されることを特徴とする請求項１に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項5】

前記加圧ロッドは前記固定手段の第２の位置決定ユニットにより垂直に保持されることを特徴とする請求項１に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項6】

前記加圧ロッドが上下に移動する際は回転せず、そして前記加圧ロッドを下方へ移動させる駆動力を打ち消す復帰力を提供することで、前記加圧ロッドを上方へ移動させて元の定位置に戻すことを特徴とする請求項１に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項7】

前記加圧ロッドを保持する前記第１の位置決定ユニットと螺合して且つ挿通する微調整手段の該第１の位置決定ユニットに対する螺合の具合を調整することにより、前記加圧ロッドの下方にある前記加圧金型の姿勢を調整することを特徴とする請求項４に記載の圧着装置の制御方法。

【請求項8】

上金型として使用される際において下方にある下金型と共に加圧対象を加圧する圧着装置であって、
上下に移動可能な駆動ロッドを備えてマトリックス状に配列される複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュールと、
前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応する複数の加圧ユニットがマトリックス状に配列するように設けられる金型台を有し、前記金型台の下方に金型フレームが配置され、前記加圧ユニットには固定手段が設けられ、前記固定手段に垂直方向に沿った軸孔が設けられ、加圧ロッドは前記軸孔内に挿入することによって上下移動可能であり、前記加圧ロッドの下端にある加圧金型は前記金型台の下方にある前記金型フレームにおいて仕切られる金型チャンバー内に収容され、前記金型チャンバーの下部は開口が形成され、前記加圧金型は前記加圧ロッドに連動して前記金型チャンバーの中で上下移動できる圧着モジュールと、を備え、
前記加圧ユニットには、上端のトップ部に負荷検知ユニットが設けられ且つ下端に加圧金型が設けられる加圧ロッドを備える加圧ロッド手段が設けられており、該駆動ロッドによる下方へ移動する駆動力を、前記負荷検知ユニットに作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの前記加圧ロッドの下方にある前記加圧金型を駆動して加圧対象を加圧することを特徴とする圧着装置。

【請求項9】

前記加圧ロッドには、外部に連通する開口が設けられるパイプが設けられており、線状に形成された温度センサーが前記加圧ロッドの前記パイプを経由して前記開口から外部まで延伸するように配置されることを特徴とする請求項８に記載の圧着装置。

【請求項10】

前記加圧ロッドにはパイプが設けられており、該パイプの管壁に外部と連通する通気孔が設けられ、前記加圧ロッドの下端にある固定台に形成された該固定台と該加圧金型の間にあるチャンバーに該パイプの下端が連通し、該加圧金型には、一端が前記チャンバーに連通し、他端が前記加圧金型の下方にあるエリアに連通する少なくとも１つの通気路が設けられることを特徴とする請求項８に記載の圧着装置。

【請求項11】

前記加圧ロッドにはパイプが設けられており、
前記負荷検知ユニットには前記加圧ロッドの上端のトップ部を覆うカバーが設けられ、該カバー内の負荷検知器の上端に、加圧タッチング手段が該カバーの外に突起するように設けられており、該負荷検知器の下端に前記加圧ロッドの前記パイプの上端開口に嵌めこまれている底部パッドが設けられることを特徴とする請求項８に記載の圧着装置。

【請求項12】

前記加圧ユニットの固定手段は、軸スリーブと枢支台を有する第１の位置決定ユニットを備えており、
前記軸スリーブには、前記加圧ロッドの枢支設置及び上下移動が可能な軸孔が設けられており、前記枢支台には前記軸スリーブが枢支される枢支孔が設けられると共に、前記枢支台の下方にフランジ台が設けられることを特徴とする請求項８に記載の圧着装置。

【請求項13】

請求項１～請求項７におけるいずれか一項に記載の圧着装置の制御方法の実行に用いられる圧着装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置に関し、特に、上金型と下金型とを用いて加圧対象を押圧して接着させる圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置に関する。

【背景技術】

【0002】

通常のチップのパッケージング工程では、まず基板に放熱ゲルを塗布してからダイを基板に貼り付け、それからダイの上に更に放熱ゲルを塗布し、それからダイ及び基板を覆う放熱シートをその放熱ゲルに接着させる方法が採用されている。また、このような方法に用いられる放熱ゲルの替わりに、放熱効果を持つ放熱パッドを使用する方法も提案されているが、放熱パッドの上に放熱シートを接着する際には、該放熱シートを放熱パッドに圧着することによって、放熱パッドを覆う該放熱シートを基板に固定する。

【0003】

従来では、このような圧着が行われる際、上金型と下金型とを用いて放熱シートを放熱パッドに押圧して接着させるが、この際の押圧力は駆動装置の出力の不安定により変化しやすく制御が困難であるので、大量生産における圧着工程には、改善の余地が残されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】台湾特許第Ｉ６３８４２１号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

従って、本発明は駆動装置の出力の不安定に対応して押圧力を適切に制御する圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置を提供することを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

上記目的を達成するために、本発明は、上下に駆動されることが可能な駆動ロッドを備える複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュール及び、前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応し、上端のトップ部に負荷検知ユニットを有し且つ下端に加圧金型が配置される加圧ロッドを備える加圧ロッド手段を有する複数の加圧ユニットが設けられる金型台を有する圧着モジュールを用意するステップと、
前記駆動ロッドを駆動力によって下方へ移動させてまずは前記圧着モジュールにおける前記加圧ユニットにある前記負荷検知ユニットに駆動力を作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの加圧ロッドの下方にある加圧金型を駆動して加圧対象を加圧するステップと、を実行することを特徴とする圧着装置の制御方法を提供する。

【0007】

また、本発明は上下に移動可能な駆動ロッドを備える複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュールと、
前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応する複数の加圧ユニットが設けられる金型台を有する圧着モジュールと、を備え、
前記圧着モジュールには、上端のトップ部に負荷検知ユニットが設けられ且つ下端に加圧金型が設けられる加圧ロッドを備える加圧ロッド手段が設けられており、該駆動ロッドによる下方へ移動する駆動力を、前記負荷検知ユニットに作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの前記加圧ロッドの下方にある前記加圧金型を駆動して加圧対象を加圧することを特徴とする圧着装置をも提供する。

【0008】

更に、本発明は上記圧着装置の制御方法の実行に用いられる圧着装置も提供する。

【発明の効果】

【0009】

上記のように、本発明は駆動ロッドによる下方へ移動する駆動力を、まずは圧着モジュールにおける加圧ユニットの上方にある負荷検知ユニットで受けてから、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの加圧ロッドの下方にある加圧金型を駆動して加圧対象を加圧する構成になっているので、負荷検知ユニットの検知結果に応じて駆動モジュールによる出力を適切に、且つ即時に調整できる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明に係る圧着装置の一部の構成が示される斜視図である。

【図2】本発明に係る圧着装置の一部の構成が示される側面図である。

【図3】本発明に係る圧着装置が有する一つの加圧ユニットの構成が示される斜視図である。

【図4】本発明に係る圧着装置が有する一つの加圧ユニットの構成が示される側面図である。

【図5】本発明に係る圧着装置が有する一つの加圧ユニットの構成が示される断面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

以下は図１～図５を参照して本発明の圧着装置の制御方法及び該制御方法の実行に用いられる圧着装置についてより詳細に説明する。

【0012】

この実施形態では、放熱シートを接着するプロセスに用いられる圧着装置を例として挙げて説明するが、本発明を実施する際は、上金型と下金型とを用いて加圧対象Ｅを押圧し、そして該加圧対象Ｅは半導体の製造プロセスにおいて基板の上にダイを乗せて放熱ゲルを塗布したもの、もしくは放熱パッドを接着してから更に放熱シートでカバーしたアセンブリである。

【0013】

図１と図２に示されるように、該圧着装置は、上下に移動可能な駆動ロッドＢ１を下方に備える複数の駆動手段Ｂが設けられる固定台Ａを有する駆動モジュールＡＢと、前記駆動モジュールＡＢの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応する複数のマトリックス状に配列された加圧ユニットＤが設けられる四角形の金型台Ｃを有する圧着モジュールＣＤと、を備えたものである。

【0014】

該駆動モジュールＡＢの２つの短辺に対応する場所には、互いに間を開けて配置される複数のローラーＡ１が設けられ、該圧着モジュールＣＤの２つの短辺に対応する場所に、互いに間を開けて配置される複数のローラーＣ１が設けられる。また、該駆動モジュールＡＢの各駆動手段Ｂの該駆動ロッドＢ１のボトム端は、駆動されてない際において、それぞれその下方にある対応の該圧着モジュールＣＤにおける各該加圧ユニットＤのトップ端と所定の距離ｄを維持する分離状態を成すようになっている。また、該圧着モジュールＣＤの該金型台Ｃの下方には、四角形の金型フレームＣ２が設けられている。

【0015】

図２に示されるように、各加圧ユニットＤはいずれも同様な構造を有するので、以下ではその中の１つの加圧ユニットＤを代表としてその構成について詳しく説明する。図３に示されるように、該加圧ユニットＤには加圧ロッド手段Ｄ１と固定手段Ｄ２とが設けられており、そして該加圧ユニットＤの上端のトップ部に負荷検知ユニットＤ３が設けられている。

【0016】

図３～図５に示されるように、該加圧ロッド手段Ｄ１に加圧ロッドＤ１１が設けられており、該加圧ロッドＤ１１の上端トップ部に該負荷検知ユニットＤ３が設けられており、下端に加圧金型Ｄ１２が設けられている。

【0017】

該加圧ロッドＤ１１は中空の管状を呈し、且つ、管の中央にパイプＤ１１１が設けられている。該パイプＤ１１１の上端は該負荷検知ユニットＤ３の下端に位置し、該パイプＤ１１１の管壁Ｄ１１２から外部に連通する開口Ｄ１１３が開けられるように設けられている。該パイプＤ１１１の下端は該加圧ロッドＤ１１の下端にある固定台Ｄ１１４により形成され且つ該固定台Ｄ１１４と該加圧金型Ｄ１２との間に位置するチャンバーＤ１１５に連通しており、該管壁Ｄ１１２の該開口Ｄ１１３に相対する反対側に外部に連通する通気孔Ｄ１１６が設けられている。

【0018】

該負荷検知ユニットＤ３には、該加圧ロッドＤ１１の上端トップ部をカバーするカバーＤ３１が設けられている。該カバーＤ３１の中にある負荷検知器Ｄ３２の上端に加圧タッチング手段Ｄ３３が該カバーＤ３１の外に突起するように設けられており、該負荷検知器Ｄ３２の下端に該加圧ロッドＤ１１の該パイプＤ１１１の上端開口に嵌めこまれている底部パッドＤ３４が設けられている。該駆動ロッドＢ１は下方へ移動する駆動力により駆動されてまず該圧着モジュールＣＤの中の該加圧ユニットＤの上の該負荷検知ユニットＤ３に対して作用し、該駆動力は更に該負荷検知ユニットＤ３を間接的に経由して該加圧ユニットＤの該加圧ロッドＤ１１の下方にある該加圧金型Ｄ１２を連動的に駆動して該加圧対象Ｅに対する押圧を実行する。

【0019】

該加圧金型Ｄ１２は、耐圧力及び耐高温性を備える非金属の材質、例えばポリエーテルイミド（ＰＥＩ）からなり、また温度センサーＤ１２１が設けられている。温度センサーＤ１２１は、該加圧金型Ｄ１２が加圧対象Ｅを圧着する際、下金型Ｆの加熱から該加圧対象Ｅにより該加圧金型Ｄ１２に伝熱される温度を感知する。また、該温度センサーＤ１２１は線状であり該加圧ロッドＤ１１の該パイプＤ１１１を経由して該開口Ｄ１１３から外部まで延伸している。該温度センサーＤ１２１の周囲に位置するように、該加圧金型Ｄ１２には複数の通気路Ｄ１２２が設けられ、各通気路Ｄ１２２は一端が該加圧ロッドＤ１１の下端にある該固定台Ｄ１１４の該チャンバーＤ１１５に連通し、他の一端が該加圧金型Ｄ１２の下方のエリアに連通している。この構成により、該加圧ロッドＤ１１の該通気孔Ｄ１１６から入る気体はパイプＤ１１１を経由して該チャンバーＤ１１５に到達することが出来、更に該チャンバーＤ１１５から各該通気路Ｄ１２２に拡散して該加圧金型Ｄ１２の下方にある加圧対象Ｅに対して吹きつけることが可能となり、これにより該加圧金型Ｄ１２による圧着が完成した後に上昇させる際において、該加圧金型Ｄ１２と加圧対象Ｅとの分離がしやすくなる。

【0020】

該固定手段Ｄ２には、該加圧ロッドＤ１１の水平径方向における位置を維持しながら、該加圧ロッドＤ１１の上下移動を提供する第１の位置決定ユニットＤ２１が枢支されており、更に、該加圧ロッドＤ１１の垂直方向における位置を維持する第２の位置決定ユニットＤ２２が設けられている。

【0021】

該第１の位置決定ユニットＤ２１には、軸スリーブＤ２１１と枢支台Ｄ２１２とが設けられている。該軸スリーブＤ２１１にはＺ軸（垂直方向）に沿って延伸する軸孔Ｄ２１３が形成され、該軸孔Ｄ２１３内に挿入する加圧ロッドＤ１１は該軸孔Ｄ２１３に沿って上下移動可能に該軸スリーブＤ２１１に枢支されている。また該軸スリーブＤ２１１の上端に円形の径方向の断面直径が該軸スリーブＤ２１１の外径より大きいフランジ部Ｄ２１４が設けられている。該枢支台Ｄ２１２には該軸スリーブＤ２１１が枢支できる枢支孔Ｄ２１５が設けられており、また該枢支台Ｄ２１２の下端に該枢支台Ｄ２１２の径方向から外へ延伸するフランジ台Ｄ２１６が設けられている。該フランジ台Ｄ２１６の径方向における幅は該枢支台Ｄ２１２の径方向における幅より大きい。

【0022】

該第２の位置決定ユニットＤ２２には、第１の位置決定台Ｄ２２１及び第２の位置決定台Ｄ２２２が設けられている。該第１の位置決定台Ｄ２２１は該負荷検知ユニットＤ３の下方に隣接する位置にあり、且つ、一対の部材である第１の係合手段Ｄ２２１１及び第２の係合手段Ｄ２２１２が、径方向に向かい合って寄せられ合うように互いに螺合固定されることで該加圧ロッドＤ１１を挟み込んで係合固定するように設けられている。

【0023】

ここで、該第１の係合手段Ｄ２２１１には該加圧ロッドＤ１１における該通気孔Ｄ１１６に対応して連通する空気案内孔Ｄ２２１３が形成されており、且つ、該空気案内孔Ｄ２２１３から正圧気体を引き入れて該通気孔Ｄ１１６を経由して該加圧ロッドＤ１１の該パイプＤ１１１に出力することが出来る。該第２の位置決定台Ｄ２２２は該第１の位置決定台Ｄ２２１の下方に位置し、且つ，互いに距離を置いて配置された一対の部材である第１のサポートフレームＤ２２２１と第２のサポートフレームＤ２２２２が、該加圧ロッドＤ１１の外径の外側にある位置移動区間Ｄ２２２３の外側において互いに向かい合って径方向において該加圧ロッドＤ１１を包囲するように配置されている。該第１のサポートフレームＤ２２２１の上端には該位置移動区間Ｄ２２２３の外周環状直径の一部を包囲するカーブ状区間Ｄ２２２４が形成されており、該第１のサポートフレームＤ２２２１の下端は該第１の位置決定ユニットＤ２１の該枢支台Ｄ２１２の該フランジ台Ｄ２１６に固定されている。該第２のサポートフレームＤ２２２２の下端は該第１の位置決定ユニットＤ２１の該枢支台Ｄ２１２の該フランジ台Ｄ２１６に固定され、且つ、上下に移動して上端から突起する軸ピンＤ２２２５が設けられている。第２の係合手段Ｄ２２１２の底部は該軸ピンＤ２２２５の上端面に固定されている。

【0024】

該第１の位置決定ユニットＤ２１と該第２の位置決定ユニットＤ２２との間には、スプリングにより構成されたスプリングユニットＤ２３が設けられている。該スプリングユニットＤ２３は下端が該第１の位置決定ユニットＤ２１の該軸スリーブＤ２１１のフランジ部Ｄ２１４の上表面に当接し、上端が該第２の位置決定ユニットＤ２２の該第１の係合手段Ｄ２２１１の下端縁に当接するよう、該加圧ロッドＤ１１の外に取り付けられ、且つ、該位置移動区間Ｄ２２２３の中に配置されている。

【0025】

該加圧ロッドＤ１１が該第２の位置決定ユニットＤ２２の該第１の係合手段Ｄ２２１１及び該軸ピンＤ２２２５の上下移動に連動する際、該軸ピンＤ２２２５は該加圧ロッドＤ１１の回転を阻止し、圧縮されるスプリングユニットＤ２３の復帰力により該加圧ロッドＤ１１を下に移動させる駆動力が打ち消されると、該第２の位置決定ユニットＤ２２の該第１の係合手段Ｄ２２１１が上方へ移動するのに連動して、該加圧ロッドＤ１１も上方へ移動して元の定位置に戻るようになる。

【0026】

該第１の位置決定ユニットＤ２１の該軸スリーブＤ２１１の該フランジ部Ｄ２１４の両側には互いに平行するフランジ対応辺Ｄ２１７がそれぞれ形成され、該枢支台Ｄ２１２の両側の外径には互いに平行する外径対応辺Ｄ２１８がそれぞれ形成されている。該フランジ対応辺Ｄ２１７と該外径対応辺Ｄ２１８とは互いの位置が重なるように上下に対応している。該第２の位置決定ユニットＤ２２の該第１の位置決定台Ｄ２２１及び該第２の位置決定台Ｄ２２２はそれぞれ対応して該フランジ対応辺Ｄ２１７と該外径対応辺Ｄ２１８とが重なる両側に対応して取り付けられることにより、該軸スリーブＤ２１１と該枢支台Ｄ２１２との相対回転を制限する。

【0027】

該固定手段Ｄ２は該第１の位置決定ユニットＤ２１の該枢支台Ｄ２１２の該フランジ台Ｄ２１６で該金型台Ｃの上表面に凹設された円形の溝状の位置決定部Ｃ３に嵌めこまれ、且つ、略矩形の枠状である固定手段Ｄ４で該第２の位置決定ユニットＤ２２の該第２の位置決定台Ｄ２２２及び該第１の位置決定ユニットＤ２１の該軸スリーブＤ２１１外に取り付けられ、且つ、該金型台Ｃの上表面に螺合して固定されている。該固定手段Ｄ４は薄板状を呈し、内径が該枢支台Ｄ２１２の該フランジ台Ｄ２１６の外径より小さい中央開口のスリーブ孔Ｄ４１が設けられることにより、該固定手段Ｄ４は該スリーブ孔Ｄ４１の内周縁部分を同時にフランジ台Ｄ２１６の上表面に押し当てて該枢支台Ｄ２１２を該金型台Ｃの該位置決定部Ｃ３の中に制限するようになる。

【0028】

該位置決定部Ｃ３のボトム部Ｃ３１に円形の中空の通過孔Ｃ３２が設けられており、該ボトム部Ｃ３１に環状の支持パッドＤ５が支持するように設けられており、該支持パッドＤ５の中央に位置決定部Ｃ３のボトム部Ｃ３１の該通過孔Ｃ３２に対応して略同じ大きさを有する中空孔Ｄ５１が設けられ、該通過孔Ｃ３２及び該中空孔Ｄ５１は、該軸スリーブＤ２１１がその中に挿入できるように該第１の位置決定ユニットＤ２１の該軸スリーブＤ２１１の外径より大きく形成されている。該加圧ロッドＤ１１の下端にある該固定台Ｄ１１４及びそこに固定された該加圧金型Ｄ１２は該金型台Ｃの下方にある金型フレームＣ２において仕切られる金型チャンバーＣ２１内に収容されている。該金型チャンバーＣ２１の下部は四角形を呈する開口Ｃ２２が形成され、上部は該通過孔Ｃ３２に連通する。該加圧金型Ｄ１２は該加圧ロッドＤ１１に連動して該金型チャンバーＣ２１の中で上下移動できる。

【0029】

該固定手段Ｄ４の該スリーブ孔Ｄ４１の口径は該軸スリーブＤ２１１の外径より広く、そして該固定手段Ｄ４の内周縁の４隅に４つの微調整区間Ｄ４２がそれぞれ凹設されている。各該微調整区間Ｄ４２の中には、棒ねじに形成された微調整手段Ｄ６が設けられている。該微調整手段Ｄ６は該第１の位置決定ユニットＤ２１の該枢支台Ｄ２１２の該フランジ台Ｄ２１６の上表面に螺合するように設けられると共に、下方へ延伸する先端部が該支持パッドＤ５の上表面に当接するので、軸スリーブＤ２１１の反対する両側それぞれ配置されて該枢支台Ｄ２１２と螺合して挿通してそれぞれの先端が該支持パッドＤ５に当接する２つの該微調整手段Ｄ６の該枢支台Ｄ２１２に対する螺合の具合を調整することにより、該第１の位置決定ユニットＤ２１が該第２の位置決定ユニットＤ２２及び該加圧ロッドＤ１１の下端にある該加圧金型Ｄ１２を一側に傾けさせるように連動させることで、該加圧金型Ｄ１２の底面の角度を調整することができる。また、該金型台Ｃはアルミニウム材料により作成されたので、鉄材の支持パッドＤ５を配置することにより、位置決定部Ｃ３の底部が微調整手段Ｄ６の当接により磨耗して故障する状況を回避できるが、本発明としては支持パッドＤ５は省略することもできる。

【0030】

この実施例において説明した圧着装置及びその制御方法は、該駆動モジュールＡＢが該駆動ロッドＢ１により下方へ移動する駆動力を提供し、該圧着モジュールＣＤは該金型台Ｃで該加圧ユニットＤを設置するので、該駆動ロッドＢ１が下方へ移動する駆動力を受ける際、まずは該圧着モジュールＣＤにおける該加圧ユニットＤにある該負荷検知ユニットＤ３に対して作用してから、該駆動力は該負荷検知ユニットＤ３を経由して該加圧ユニットＤの該加圧ロッドＤ１１の下方にある該加圧金型Ｄ１２で該加圧対象Ｅに対して間接的に加圧ので、該駆動モジュールＡＢの該駆動ロッドＢ１からの駆動力は該負荷検知ユニットＤ３により先に検知されることで、該駆動力を制御することが可能となりこれにより製造プロセスの品質を高めることが出来る。

【0031】

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、最も広い解釈の精神および範囲内に含まれる様々な構成として、全ての修飾および均等な構成を包含するものとする。
また、本開示は以下の発明を含む。
第１の態様は、
上下に駆動されることが可能な駆動ロッドを備える複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュール及び、前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応し、上端のトップ部に負荷検知ユニットが設けられ且つ下端に加圧金型が設けられる加圧ロッドを備える加圧ロッド手段が設けられる複数の加圧ユニットが設けられる金型台を有する圧着モジュールを用意するステップと、
前記駆動ロッドを駆動力によって下方へ移動させてまずは前記圧着モジュールにおける前記加圧ユニットにある前記負荷検知ユニットに駆動力を作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの加圧ロッドの下方にある加圧金型を駆動して加圧対象を加圧するステップと、を実行することを特徴とする圧着装置の制御方法である。
第２の態様は、
温度センサーを用いて前記加圧金型の温度を検知することを特徴とする第１の態様における圧着装置の制御方法である。
第３の態様は、
前記加圧金型による圧着が完了し前記加圧金型を上昇させる際に、前記加圧金型の下方にある加圧対象に気体を吹き付けることにより前記加圧金型が前記加圧対象から分離しやすくすることを特徴とする第１の態様における圧着装置の制御方法である。
第４の態様は、
前記加圧ロッドは固定手段の第１の位置決定ユニットにより水平に保持されると共に、上下移動可能に枢支されることを特徴とする第１の態様における圧着装置の制御方法である。
第５の態様は、
前記加圧ロッドは固定手段の第２の位置決定ユニットにより垂直に保持されることを特徴とする第１の態様における圧着装置の制御方法である。
第６の態様は、
前記加圧ロッドが上下に移動する際は回転せず、そして前記加圧ロッドを下方へ移動させる駆動力を打ち消す復帰力を提供することで、前記加圧ロッドを上方へ移動させて元の定位置に戻すことを特徴とする第１の態様における圧着装置の制御方法である。
第７の態様は、
前記加圧ロッドを保持する前記第１の位置決定ユニットと螺合して且つ挿通する微調整手段の該第１の位置決定ユニットに対する螺合の具合を調整することにより、前記加圧ロッドの下方にある前記加圧金型の姿勢を調整することを特徴とする第４の態様にまたは第５の態様における圧着装置の制御方法である。
第８の態様は、
上下に移動可能な駆動ロッドを備える複数の駆動手段が設けられる固定台を有する駆動モジュールと、
前記駆動モジュールの下方に位置し、上方にある各前記駆動手段にそれぞれ対応する複数の加圧ユニットが設けられる金型台を有する圧着モジュールと、を備え、
前記加圧ユニットには、上端のトップ部に負荷検知ユニットが設けられ且つ下端に加圧金型が設けられる加圧ロッドを備える加圧ロッド手段が設けられており、該駆動ロッドによる下方へ移動する駆動力を、前記負荷検知ユニットに作用させ、該駆動力により前記負荷検知ユニットを経由して前記加圧ユニットの前記加圧ロッドの下方にある前記加圧金型を駆動して加圧対象を加圧することを特徴とする圧着装置である。
第９の態様は、
前記加圧ロッドには、外部に連通する開口が設けられるパイプが設けられており、線状に形成された温度センサーが前記加圧ロッドの前記パイプを経由して前記開口から外部まで延伸するように配置されることを特徴とする第８の態様における圧着装置である。
第１０の態様は、
前記加圧ロッドにはパイプが設けられており、該パイプの管壁に外部と連通する通気孔が設けられ、前記加圧ロッドの下端にある固定台に形成された該固定台と該加圧金型の間にあるチャンバーに該パイプの下端が連通し、該加圧金型には、一端が前記チャンバーに連通し、他端が前記加圧金型の下方にあるエリアに連通する少なくとも１つの通気路が設けられることを特徴とする第８の態様における圧着装置である。
第１１の態様は、
前記加圧ロッドにはパイプが設けられており、
前記負荷検知ユニットには前記加圧ロッドの上端のトップ部を覆うカバーが設けられ、該カバー内の前記負荷検知器の上端に、加圧タッチング手段が該カバーの外に突起するように設けられており、該負荷検知器の下端に前記加圧ロッドの前記パイプの上端開口に嵌めこまれている底部パッドが設けられることを特徴とする第８の態様における圧着装置である。
第１２の態様は、
前記加圧ユニットには、軸スリーブと枢支台を有する第１の位置決定ユニットを備える固定手段が設けられており、
前記軸スリーブには、前記加圧ロッドの枢支設置及び上下移動が可能な軸孔が設けられており、前記枢支台には前記軸スリーブが枢支される枢支孔が設けられると共に、前記枢支台の下方にフランジ台が設けられることを特徴とする第８の態様における圧着装置である。
第１３の態様は、
第１の態様～第７の態様のいずれか１つにおける圧着装置の制御方法の実行に用いられる圧着装置である。

【符号の説明】

【0032】

Ａ 固定台
Ａ１ ローラー
ＡＢ 駆動モジュール
Ｂ 駆動手段
Ｂ１ 駆動ロッド
Ｃ 金型台
Ｃ１ ローラー
Ｃ２ 金型フレーム
Ｃ３ 位置決定部
Ｃ３１ ボトム部
Ｃ３２ 中空の通過孔
ＣＤ 圧着モジュール
Ｄ 加圧ユニット
Ｄ１ 加圧ロッド手段
Ｄ１１１ パイプ
Ｄ１１２ 管壁
Ｄ１１３ 開口
Ｄ１１４ 固定台
Ｄ１１５ チャンバー
Ｄ１１６ 通気孔
Ｄ１１ 加圧ロッド
Ｄ１２ 加圧金型
Ｄ１２１ 温度センサー
Ｄ１２２ 通気路
Ｄ２ 固定手段
Ｄ２１ 第１の位置決定ユニット
Ｄ２１１ 軸スリーブ
Ｄ２１２ 枢支台
Ｄ２１３ 軸孔
Ｄ２１４ フランジ部
Ｄ２１５ 枢支孔
Ｄ２１６ フランジ台
Ｄ２１７ フランジ対応辺
Ｄ２１８ 外径対応辺
Ｄ２２ 第２の位置決定ユニット
Ｄ２２１ 第１の位置決定台
Ｄ２２１１ 第１の係合手段
Ｄ２２１１ 第１の係合手段
Ｄ２２１２ 第２の係合手段
Ｄ２２１３ 空気案内孔
Ｄ２２２ 第２の位置決定台
Ｄ２２２１ 第１のサポートフレーム
Ｄ２２２２ 第２のサポートフレーム
Ｄ２２２３ 位置移動区間
Ｄ２２２４ カーブ状区間
Ｄ２２２５ 軸ピン
Ｄ２３ スプリングユニット
Ｄ３ 負荷検知ユニット
Ｄ３１ カバー
Ｄ３２ 負荷検知器
Ｄ３３３ 加圧タッチング手段
Ｄ３４ 底部パッド
Ｄ５ 支持パッド
Ｄ５１ 中空孔
Ｅ 加圧対象
Ｆ 下金型
ｄ 距離

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】