(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-10
(45)【発行日】2023-10-18
(54)【発明の名称】不要シート除去装置および不要シート除去方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/683 20060101AFI20231011BHJP
B65H 41/00 20060101ALI20231011BHJP
【ＦＩ】
H01L21/68 N
B65H41/00 A
【請求項の数】
2
(21)【出願番号】P 2018177229
(22)【出願日】2018-09-21
(65)【公開番号】P2020047881
(43)【公開日】2020-03-26
【審査請求日】2021-07-01
【前置審査】
(73)【特許権者】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】110000637
【氏名又は名称】弁理士法人樹之下知的財産事務所
(72)【発明者】
【氏名】黒澤 祐太
【審査官】三浦 みちる
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１２－０８４６８８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１５－０５６６１３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－０７４１０２（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／６８３
Ｂ６５Ｈ ４１／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記剥離シートから前記不要シートを剥離し、所定の回収動作を行って当該不要シートを回収する回収手段と、
前記剥離シートから前記不要シートが剥離される剥離開始部と、前記回収手段で前記不要シートが回収される回収開始部との間で、前記回収手段の回収動作に同期して前記不要シートを回収手段方向に送る不要シート送り手段とを備え、
前記不要シート送り手段は、前記不要シートを挟み込んで当該不要シートを湾曲させる複数のローラ部材と、前記複数のローラ部材に回転力を付与する回転力付与手段とを備え、前記複数のローラ部材は、前記不要シートの一方の面側と他方の面側とで互い違いに位置するように千鳥配置されていることを特徴とする不要シート除去装置。
【請求項2】
複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、前記剥離シートから前記不要シートを剥離し、回収手段で所定の回収動作を行って当該不要シートを回収する回収工程と、
前記剥離シートから前記不要シートが剥離される剥離開始部と、前記回収手段で前記不要シートが回収される回収開始部との間で、前記回収手段の回収動作に同期して前記不要シートを回収手段方向に送る不要シート送り工程とを実施し、
前記不要シート送り工程では、前記不要シートの一方の面側と他方の面側とで互い違いに位置するように千鳥配置された複数のローラ部材で当該不要シートを挟み込んで当該不要シートを湾曲させた状態で、前記複数のローラ部材に回転力を付与することを特徴とする不要シート除去方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、不要シート除去装置および不要シート除去方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反から、当該不要シートを剥離して回収する装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２００８－５５６６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載された連続ラベル製造装置１１（不要シート除去装置）では、ラベル連続体１２（原反）から剥離したラベルカス２１Ａ（不要シート）をカス巻取ローラ１８（回収手段）で引っ張りながら回収するため、剥離紙２３（剥離シート）から不要シートが剥離される剥離開始部と、回収手段で不要シートが回収される回収開始部との間に位置する支持なし不要シート部分が回収手段の張力によって切断され、不要シートの回収不良が生じるという不都合がある。このような不都合は、不要シートが軟弱または脆弱であったり、幅が細かったりした場合等において顕著化する。
【0005】
本発明の目的は、不要シートの回収不良を極力防止することができる不要シート除去装置および不要シート除去方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、回収手段の回収動作に同期して不要シートを回収手段方向に送るので、剥離開始部と回収開始部との間に位置する支持なし不要シート部分が回収手段の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートの回収不良を極力防止することができる。
また、不要シートを挟み込んで湾曲させる複数のローラ部材や、プーリに掛け回されたベルト部材によって不要シートを回収手段方向に送るようにすれば、支持なし不要シート部分に接触する領域を多くして、当該支持なし不要シート部分を回収手段方向に送ることができる。
また、不要シートを挟み込んで湾曲させる複数のローラ部材や、プーリに掛け回されたベルト部材によって不要シートを回収手段方向に送るようにすれば、支持なし不要シート部分に接触する領域を多くして、当該支持なし不要シート部分を回収手段方向に送ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】本発明の一実施形態に係る不要シート除去装置の説明図。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
図１において、不要シート除去装置ＥＡは、複数の接着シートＡＳと帯状の不要シートＵＳとが帯状の剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段１０と、剥離シートＲＬから不要シートＵＳを剥離し、所定の回収動作を行って当該不要シートＵＳを回収する回収手段２０と、剥離シートＲＬから不要シートＵＳが剥離される剥離開始部ＰＴ１と、回収手段２０で不要シートＵＳが回収される回収開始部ＰＴ２との間で、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを回収手段２０方向に送る不要シート送り手段３０とを備え、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段４０と、ウエハＷＦを支持する支持手段５０とでシート貼付装置ＥＡ１を形成している。
【0011】
繰出手段１０は、剥離シートＲＬに帯状の接着シート基材ＢＳが仮着され、当該接着シート基材ＢＳ上にカバーシートＣＳが仮着された接着シート積層体ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、接着シート積層体ＲＳ１等を案内する第１～第４ガイドローラ１２Ａ～１２Ｄと、第２ガイドローラ１２Ｂに掛け回されて接着シート基材ＢＳから剥離されたカバーシートＣＳに、常に所定の張力を付与して当該カバーシートＣＳを巻回して回収するカバーシート回収ローラ１３と、接着シート基材ＢＳに閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に位置する接着シートＡＳと、当該切込ＣＵの外側に位置する不要シートＵＳとを形成する切断手段１４と、原反ＲＳに繰出力を付与する繰出力付与手段１５とを備え、原反ＲＳを繰り出す構成となっている。
切断手段１４は、駆動機器としての回動モータ１４Ａの出力軸１４Ｂに支持され、円周面に平ループ状の切断部材としての切断刃１４Ｃが設けられたダイカットローラ１４Ｄと、ダイカットローラ１４Ｄと同期回転するアンビルローラ１４Ｅとを備えている。
繰出力付与手段１５は、駆動機器としてのリニアモータ１５Ａのスライダ１５Ｂに支持された支持プレート１５Ｃと、支持プレート１５Ｃに支持された駆動機器としての回動モータ１５Ｄと、回動モータ１５Ｄの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｅとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５Ｆと、ピンチローラ１５Ｅとの間に存在する剥離シートＲＬに、常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを巻回して回収する剥離シート回収ローラ１５Ｇとを備えている。
切断手段１４は、駆動機器としての回動モータ１４Ａの出力軸１４Ｂに支持され、円周面に平ループ状の切断部材としての切断刃１４Ｃが設けられたダイカットローラ１４Ｄと、ダイカットローラ１４Ｄと同期回転するアンビルローラ１４Ｅとを備えている。
繰出力付与手段１５は、駆動機器としてのリニアモータ１５Ａのスライダ１５Ｂに支持された支持プレート１５Ｃと、支持プレート１５Ｃに支持された駆動機器としての回動モータ１５Ｄと、回動モータ１５Ｄの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｅとで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ１５Ｆと、ピンチローラ１５Ｅとの間に存在する剥離シートＲＬに、常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを巻回して回収する剥離シート回収ローラ１５Ｇとを備えている。
【0012】
回収手段２０は、第４ガイドローラ１２Ｄに掛け回されて剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳを巻回して回収する不要シート回収ローラ２１と、駆動機器としての回動モータ２２によって駆動される駆動ローラ２３と、不要シートＵＳを間に挟んで不要シート回収ローラ２１を駆動ローラ２３方向に付勢し、当該不要シート回収ローラ２１に不要シートＵＳを巻回させる付勢手段２４とを備えている。
付勢手段２４は、支点軸２４Ａに回転自在に支持され、当該支点軸２４Ａの反対側で不要シート回収ローラ２１を回転自在に支持する回動アーム２４Ｂと、回動アーム２４Ｂを駆動ローラ２３方向に付勢するばね２４Ｃとを備えている。
付勢手段２４は、支点軸２４Ａに回転自在に支持され、当該支点軸２４Ａの反対側で不要シート回収ローラ２１を回転自在に支持する回動アーム２４Ｂと、回動アーム２４Ｂを駆動ローラ２３方向に付勢するばね２４Ｃとを備えている。
【0013】
不要シート送り手段３０は、不要シートＵＳを挟み込んで当該不要シートＵＳを湾曲させる複数のローラ部材３１と、複数のローラ部材３１に回転力を付与する回転力付与手段であって駆動機器としての回動モータ３２とを備え、剥離開始部ＰＴ１と回収開始部ＰＴ２との間に位置する支持なし不要シート部分ＵＳ１を支持して不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るようになっている。なお、各ローラ部材３１は、それぞれに取り付けられた図示しないプーリと、それら各プーリに掛け回された駆動力伝達手段としてのベルト３３とを介して回動モータ３２によって回転駆動される構成となっている。
【0014】
押圧手段４０は、全部が繰出手段１０と共用されており、リニアモータ１５Ａ、スライダ１５Ｂ、支持プレート１５Ｃ、回動モータ１５Ｄ、ピンチローラ１５Ｅ、駆動ローラ１５Ｆおよび剥離シート回収ローラ１５Ｇを備えている。
【0015】
支持手段５０は、駆動機器としての直動モータ５１と、直動モータ５１の出力軸５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面５２Ａを有するテーブル５２とを備えている。
【0016】
以上の不要シート除去装置ＥＡを備えたシート貼付装置ＥＡ１の動作を説明する。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が接着シート積層体ＲＳ１を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０、回収手段２０および不要シート送り手段３０が回動モータ１４Ａ、１５Ｄ、２２、３２を駆動し、接着シート積層体ＲＳ１を繰り出しつつ、ダイカットローラ１４Ｄを回転させて接着シート基材ＢＳに閉ループ状の切込ＣＵを形成することにより、剥離シートＲＬに接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを形成し、当該原反ＲＳを繰り出す。
先ず、図１中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡ１に対し、当該シート貼付装置ＥＡ１の使用者（以下、単に「使用者」という）が接着シート積層体ＲＳ１を同図に示すようにセットし、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、繰出手段１０、回収手段２０および不要シート送り手段３０が回動モータ１４Ａ、１５Ｄ、２２、３２を駆動し、接着シート積層体ＲＳ１を繰り出しつつ、ダイカットローラ１４Ｄを回転させて接着シート基材ＢＳに閉ループ状の切込ＣＵを形成することにより、剥離シートＲＬに接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを形成し、当該原反ＲＳを繰り出す。
【0017】
次いで、図１に示すように、剥離シートＲＬに仮着された先頭の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第３ガイドローラ１２Ｃの下方所定位置に到達したことを、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等からなる図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０、回収手段２０および不要シート送り手段３０が回動モータ１４Ａ、１５Ｄ、２２、３２の駆動を停止する。
なお、上記のようにして原反ＲＳが繰り出されると、カバーシートＣＳは、第２ガイドローラ１２Ｂで接着シート基材ＢＳから剥離され、カバーシート回収ローラ１３に巻回されて回収されるとともに、不要シートＵＳは、第４ガイドローラ１２Ｄで剥離シートＲＬから剥離され、不要シート回収ローラ２１に巻回されて回収される。
ここで、剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳは、回収手段２０の回収動作すなわち、不要シート回収ローラ２１の回転動作に同期して回転駆動されるローラ部材３１によって回収手段２０方向に送られ、不要シート回収ローラ２１に巻き取られる。
なお、上記のようにして原反ＲＳが繰り出されると、カバーシートＣＳは、第２ガイドローラ１２Ｂで接着シート基材ＢＳから剥離され、カバーシート回収ローラ１３に巻回されて回収されるとともに、不要シートＵＳは、第４ガイドローラ１２Ｄで剥離シートＲＬから剥離され、不要シート回収ローラ２１に巻回されて回収される。
ここで、剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳは、回収手段２０の回収動作すなわち、不要シート回収ローラ２１の回転動作に同期して回転駆動されるローラ部材３１によって回収手段２０方向に送られ、不要シート回収ローラ２１に巻き取られる。
【0018】
その後、使用者または、ベルトコンベアや多関節ロボット等の図示しない搬送手段が、図１に示すように、保持面５２Ａ上にウエハＷＦを載置すると、支持手段５０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面５２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を開始する。次に、繰出手段１０が回動モータ１５Ｄの駆動をロックした状態でリニアモータ１５Ａを駆動し、図１中二点鎖線で示すように、支持プレート１５Ｃを右方へ移動させて原反ＲＳを繰り出す。この際も、繰出手段１０、回収手段２０および不要シート送り手段３０が回動モータ１４Ａ、２２、３２を駆動し、カバーシート回収ローラ１３でカバーシートＣＳを回収し、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成するとともに、ローラ部材３１によって送られてくる不要シートＵＳを不要シート回収ローラ２１で回収する。そして、先頭の接着シートＡＳに次ぐ次の接着シートＡＳの繰出方向先端部が第３ガイドローラ１２Ｃの下方所定位置に到達したことを、図示しないシート先端検知機器が検知すると、繰出手段１０、回収手段２０および不要シート送り手段３０がリニアモータ１５Ａ、回動モータ１４Ａ、２２、３２の駆動を停止する。
【0019】
次いで、支持手段５０が直動モータ５１を駆動し、図１中二点鎖線で示すように、テーブル５２を上昇させた後、押圧手段４０がリニアモータ１５Ａおよび回動モータ１５Ｄを駆動し、駆動ローラ１５Ｆを転動させて原反ＲＳをウエハＷＦに押圧しながら支持プレート１５Ｃを左方に移動させる。これにより、ウエハＷＦの上面に接着シートＡＳが貼付されるとともに、当該接着シートＡＳから剥離シートＲＬが剥離され、剥離された剥離シートＲＬが剥離シート回収ローラ１５Ｇに回収される。その後、接着シートＡＳから剥離シートＲＬが完全に剥離され、支持プレート１５Ｃが初期位置に復帰すると、押圧手段４０がリニアモータ１５Ａおよび回動モータ１５Ｄの駆動を停止する。
【0020】
次に、支持手段５０が直動モータ５１を駆動し、テーブル５２を初期位置に復帰させた後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面５２ＡでのウエハＷＦの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、保持面５２Ａ上のウエハＷＦを次の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
【0021】
以上のような実施形態によれば、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るので、剥離開始部ＰＴ１と回収開始部ＰＴ２との間に位置する支持なし不要シート部分ＵＳ１が回収手段２０の張力によって切断されることが極力抑制され、不要シートＵＳの回収不良を極力防止することができる。
【0022】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。
【0023】
例えば、繰出手段１０は、接着シート基材ＢＳに予め切込ＣＵが形成されることで剥離シートＲＬに接着シートＡＳと不要シートＵＳとが仮着された原反ＲＳを支持ローラ１１で支持し、当該原反ＲＳを繰り出してもよく、この場合、当該繰出手段１０に切断手段１４が備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
繰出手段１０は、支持プレート１５Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ１１、第１～第４ガイドローラ１２Ａ～１２Ｄ、カバーシート回収ローラ１３、切断手段１４等を移動させ、原反ＲＳを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反ＲＳを保持して繰り出してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体ＲＳ１や原反ＲＳを繰り出してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段１４は、接着シート積層体ＲＳ１を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、接着シート基材ＢＳからカバーシートＣＳを剥離する前に当該カバーシートＣＳを貫通し、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材ＢＳに離間接近することで、当該接着シート基材ＢＳに所定形状の切込ＣＵを形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃１４Ｃがダイカットローラ１４Ｄに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよい。
繰出手段１０は、支持プレート１５Ｃを移動させずにまたは移動させつつ、支持ローラ１１、第１～第４ガイドローラ１２Ａ～１２Ｄ、カバーシート回収ローラ１３、切断手段１４等を移動させ、原反ＲＳを繰り出してもよいし、チャックシリンダや吸着パッド等の保持手段で原反ＲＳを保持して繰り出してもよいし、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持した接着シート積層体ＲＳ１や原反ＲＳを繰り出してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、カバーシートＣＳや剥離シートＲＬを巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。
切断手段１４は、接着シート積層体ＲＳ１を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、接着シート基材ＢＳからカバーシートＣＳを剥離する前に当該カバーシートＣＳを貫通し、接着シート基材ＢＳに切込ＣＵを形成して原反ＲＳを形成してもよいし、切断部材として、例えば、接着シート基材ＢＳに離間接近することで、当該接着シート基材ＢＳに所定形状の切込ＣＵを形成する所謂平刃を採用してもよいし、切断刃１４Ｃがダイカットローラ１４Ｄに対して着脱可能でもよいし、着脱不能でもよい。
【0024】
回収手段２０は、第４ガイドローラ１２Ｄに掛け回されることなく剥離シートＲＬから剥離された不要シートＵＳを回収してもよいし、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして不要シートＵＳを回収してもよく、これらの場合、不要シート送り手段３０は、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりする回収手段２０の回収動作に同期して、不要シートＵＳを回収手段２０方向に送る動作を行うように構成すればよい。
回収手段２０は、駆動機器としての回動モータで不要シート回収ローラ２１を駆動してもよく、この場合、回動モータ２２、駆動ローラ２３および付勢手段２４はなくてもよい。
付勢手段２４は、駆動機器としての直動モータや、駆動機器としてのリニアモータによって、不要シート回収ローラ２１を駆動ローラ２３方向に付勢してもよいし、不要シート回収ローラ２１を上下方向に自由移動可能に構成し、不要シート回収ローラ２１の自重で当該不要シート回収ローラ２１を駆動ローラ２３方向に付勢してもよい。
回収手段２０は、駆動機器としての回動モータで不要シート回収ローラ２１を駆動してもよく、この場合、回動モータ２２、駆動ローラ２３および付勢手段２４はなくてもよい。
付勢手段２４は、駆動機器としての直動モータや、駆動機器としてのリニアモータによって、不要シート回収ローラ２１を駆動ローラ２３方向に付勢してもよいし、不要シート回収ローラ２１を上下方向に自由移動可能に構成し、不要シート回収ローラ２１の自重で当該不要シート回収ローラ２１を駆動ローラ２３方向に付勢してもよい。
【0025】
不要シート送り手段３０は、ローラ部材３１を不要シートＵＳから離間接近させる駆動機器を備えていてもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していた面のみに当接し、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを回収手段２０方向に送る構成でもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していなかった面のみに当接し、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを回収手段２０方向に送る構成でもよい。
不要シート送り手段３０は、例えば、図１中左上に示した符号ＡＡの図のように、駆動機器としての回動モータ３４Ａによって駆動される第１プーリ３４と、自由回転可能な第２プーリ３５と、第１プーリ３４および第２プーリ３５に掛け回されたベルト部材３６とを備えていてもよい。この場合も前記実施形態と同様に、ベルト部材３６で不要シートＵＳを挟み込んで当該不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るように構成してもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していなかった面のみに当接し、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを当該回収手段２０方向に送る構成としてもよいし、図１中符号ＡＡの図に二点鎖線で示すように、ベルト部材３６を多孔質部材で構成し、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引が可能な吸引面３７Ａを有する吸引チャンバ３７を採用し、ベルト部材３６で不要シートＵＳを吸着保持しながら、当該不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るように構成してもよいし、前記実施形態で示した不要シート送り手段３０と、図１中符号ＡＡの図に示した不要シート送り手段３０とを併用してもよい。
ローラ部材３１は、不要シートＵＳの幅と同じ長さであってもよいし、不要シートＵＳの幅の長さよりも長くてもよいし、短くてもよい。
回転力付与手段は、全てのローラ部材３１を個別に回転駆動させる駆動機器としての回動モータを採用してもよいし、前記実施形態の態様において、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していた面側に当接するローラ部材３１のみに回転力を付与してもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していなかった面側に当接するローラ部材３１のみに回転力を付与してもよい。
駆動力伝達手段は、ギヤやチェーン等で構成してもよい。
不要シート送り手段３０は、例えば、図１中左上に示した符号ＡＡの図のように、駆動機器としての回動モータ３４Ａによって駆動される第１プーリ３４と、自由回転可能な第２プーリ３５と、第１プーリ３４および第２プーリ３５に掛け回されたベルト部材３６とを備えていてもよい。この場合も前記実施形態と同様に、ベルト部材３６で不要シートＵＳを挟み込んで当該不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るように構成してもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していなかった面のみに当接し、回収手段２０の回収動作に同期して不要シートＵＳを当該回収手段２０方向に送る構成としてもよいし、図１中符号ＡＡの図に二点鎖線で示すように、ベルト部材３６を多孔質部材で構成し、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸引が可能な吸引面３７Ａを有する吸引チャンバ３７を採用し、ベルト部材３６で不要シートＵＳを吸着保持しながら、当該不要シートＵＳを回収手段２０方向に送るように構成してもよいし、前記実施形態で示した不要シート送り手段３０と、図１中符号ＡＡの図に示した不要シート送り手段３０とを併用してもよい。
ローラ部材３１は、不要シートＵＳの幅と同じ長さであってもよいし、不要シートＵＳの幅の長さよりも長くてもよいし、短くてもよい。
回転力付与手段は、全てのローラ部材３１を個別に回転駆動させる駆動機器としての回動モータを採用してもよいし、前記実施形態の態様において、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していた面側に当接するローラ部材３１のみに回転力を付与してもよいし、不要シートＵＳにおける剥離シートＲＬに仮着していなかった面側に当接するローラ部材３１のみに回転力を付与してもよい。
駆動力伝達手段は、ギヤやチェーン等で構成してもよい。
【0026】
押圧手段４０は、リニアモータ１５Ａ、スライダ１５Ｂ、支持プレート１５Ｃ、回動モータ１５Ｄ、ピンチローラ１５Ｅ、駆動ローラ１５Ｆおよび剥離シート回収ローラ１５Ｇの一部または全部に代えて、繰出手段１０と共用することのない部材を採用してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材で剥離シートＲＬ上から原反ＲＳをウエハＷＦに押圧し、接着シートＡＳを当該ウエハＷＦに貼付してもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で剥離シートＲＬを保持し、当該保持部材で保持した剥離シートＲＬを接着シートＡＳから離間させて剥離する構成を採用してもよい。
【0027】
支持手段５０は、保持手段がなくてもよいし、テーブル５２を上昇させた際、ウエハＷＦを接着シートＡＳに当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、他の装置でウエハＷＦを支持する場合、シート貼付装置ＥＡ１に備わっていなくてもよい。
【0028】
不要シート除去装置ＥＡは、シート貼付装置ＥＡ１以外に、例えば、帯状の剥離シートＲＬに所定の間隔を隔てて複数の接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳであって、不要シートＵＳのない原反ＲＳを形成する原反製造装置や、接着シートＡＳに所定の印刷や印字を行う印刷機械やプリンタ等、どのようなものに採用されてもよい。
不要シートＵＳは、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されている場合、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重なるように仮着されていてもよい。
不要シートＵＳは、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着されていない面に仮着されていてもよいし、剥離シートＲＬにおける接着シートＡＳが仮着された面に仮着されている場合、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳに隣接して仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重ならないように当該接着シートＡＳから離れるようにして仮着されていてもよいし、接着シートＡＳと重なるように仮着されていてもよい。
【0029】
本発明における接着シートＡＳ、不要シートＵＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とを有するもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの等１層または２層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【0030】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、繰出手段は、複数の接着シートと帯状の不要シートとが帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出すことが可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
【符号の説明】
【0031】
ＥＡ…不要シート除去装置
１０…繰出手段
２０…回収手段
３０…不要シート送り手段
３１…ローラ部材
３２…回動モータ（回転力付与手段）
３４…第１プーリ
３５…第２プーリ
３６…ベルト部材
ＡＳ…接着シート
ＰＴ１…剥離開始部
ＰＴ２…回収開始部
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＵＳ…不要シート
１０…繰出手段
２０…回収手段
３０…不要シート送り手段
３１…ローラ部材
３２…回動モータ（回転力付与手段）
３４…第１プーリ
３５…第２プーリ
３６…ベルト部材
ＡＳ…接着シート
ＰＴ１…剥離開始部
ＰＴ２…回収開始部
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反
ＵＳ…不要シート
【図1】