発明の名称 スパッタリングターゲット材及びその製造方法
出願人 三井金属鉱業株式会社 (識別番号 6183)
特許公開件数ランキング 548 位(50件)(共同出願を含む)
特許取得件数ランキング 325 位(82件)(共同出願を含む)
公報番号 特許-7364443
公報発行日 2023年10月18
公報URL https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7364443
知財ポータルサイト IP Force にログインすれば、特許-7364443「スパッタリングターゲット材及びその製造方法」の公報全文を閲覧することができます。
ログインはこちら ログイン・ユーザー登録