特許 7365262 配線パターン生成装置、描画システム、配線パターン生成方法および配線パターン生成プログラム

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-11

(45)【発行日】2023-10-19

(54)【発明の名称】配線パターン生成装置、描画システム、配線パターン生成方法および配線パターン生成プログラム

(51)【国際特許分類】

   G03F 7/20 20060101AFI20231012BHJP

   H05K 3/00 20060101ALI20231012BHJP

【ＦＩ】

G03F7/20 505

G03F7/20 521

H05K3/00 D

【請求項の数】 14

(21)【出願番号】P 2020027816

(22)【出願日】2020-02-21

(65)【公開番号】P2021131500

(43)【公開日】2021-09-09

【審査請求日】2022-12-19

(73)【特許権者】

【識別番号】000207551

【氏名又は名称】株式会社ＳＣＲＥＥＮホールディングス

(74)【代理人】

【識別番号】100105935

【弁理士】

【氏名又は名称】振角 正一

(74)【代理人】

【識別番号】100136836

【弁理士】

【氏名又は名称】大西 一正

(72)【発明者】

【氏名】北村 清志

(72)【発明者】

【氏名】中井 一博

【審査官】田中 秀直

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－０１１２６４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１－２１５０２２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０５８５２０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－００４７９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１７－０６７９９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１５／００２３５８４（ＵＳ，Ａ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０３Ｆ ７／２０

Ｈ０５Ｋ ３／００

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、前記電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得するデータ取得部と、
前記素子配置データが示す前記電気素子の位置と、前記パターンデータが示す前記電力配線パターンとに基づき、前記電気素子と前記電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、前記電力配線パターンおよび前記接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成するデータ補正部と
を備え、
前記データ補正部は、前記パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、前記接続配線パターンの少なくとも一部として前記電気素子と前記電力配線パターンとの間に配置することで、前記接続配線パターンを生成する配線パターン生成装置。

【請求項2】

前記電力配線パターンは、第１方向に平行に延設されており、
前記テンプレートパターンは、前記第１方向に垂直な第２方向に平行に延設されており、
前記電気素子の位置は、前記電力ラインより前記第２方向にずれており、
前記データ補正部は、前記第２方向において、前記テンプレートパターンの一端を前記電気素子上に配置するとともに、前記テンプレートパターンの他端を前記電力配線パターン上に配置することで、前記接続配線パターンを生成する請求項１に記載の配線パターン生成装置。

【請求項3】

前記素子配置データは、前記電気素子の基準角度からの回転角度をさらに示し、
前記データ補正部は、前記電気素子の回転角度が閾角度より大きい場合には、前記電気素子に対する前記テンプレートパターンの配置を行わない請求項２に記載の配線パターン生成装置。

【請求項4】

前記テンプレートパターンの配置が行われなかった前記電気素子と、前記電力配線パターンとを示す画像を表示する表示部をさらに備える請求項３に記載の配線パターン生成装置。

【請求項5】

ユーザの入力操作を受け付ける入力操作部をさらに備え、
前記データ補正部は、前記入力操作部への入力操作に応じて、前記接続配線パターンを生成する請求項４に記載の配線パターン生成装置。

【請求項6】

前記テンプレートパターンは、前記電気素子に対して配置された状態において、前記電気素子の電極に重なる接触部と、前記接触部から前記電気素子の外側まで延設された延設部とを有し、
前記データ補正部は、前記接触部を前記電気素子上に配置することで、前記接続配線パターンを生成する請求項１に記載の配線パターン生成装置。

【請求項7】

前記データ補正部は、前記延設部と前記電力配線パターンとの位置関係に基づき、前記延設部と前記電力配線パターンとの間を補完する補完配線パターンを、前記接続配線パターンの一部として算出することで、前記接続配線パターンを生成する請求項６に記載の配線パターン生成装置。

【請求項8】

前記電力配線パターンは、第１方向に平行に延設されており、
前記電気素子の位置は、前記電力ラインより前記第１方向に垂直な第２方向にずれており、
前記補完配線パターンは、前記第２方向に平行である請求項７に記載の配線パターン生成装置。

【請求項9】

前記素子配置データは、前記電気素子の基準角度からの回転角度をさらに示し、
前記データ補正部は、前記電気素子の前記回転角度に応じて、前記テンプレートパターンを配置する角度を調整する請求項６ないし８のいずれか一項に記載の配線パターン生成装置。

【請求項10】

前記電力ラインとして、電源ラインおよびグランドラインがそれぞれ設けられ、
前記パターンデータは、前記電源ラインの配線パターンである電源配線パターンおよび前記グランドラインの配線パターンであるグランド配線パターンのそれぞれを、前記電力配線パターンとして示し、
前記データ補正部は、前記電気素子と前記電源ラインとを接続する電源接続ラインの配線パターンである電源接続配線パターンおよび前記電気素子と前記グランドラインとを接続するグランド接続ラインの配線パターンであるグランド接続配線パターンのそれぞれを、前記接続配線パターンとして生成する請求項１ないし９のいずれか一項に記載の配線パターン生成装置。

【請求項11】

前記電気素子は、発光ダイオード素子である請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の配線パターン生成装置。

【請求項12】

請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の配線パターン生成装置と、
前記基板を露光する露光ヘッドと
を備え、
前記配線パターン生成装置により生成された前記補正パターンデータに基づき前記露光ヘッドにより前記基板を露光することで、前記電力配線パターンおよび前記接続配線パターンを前記基板に描画する描画システム。

【請求項13】

基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、前記電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得する工程と、
前記素子配置データが示す前記電気素子の位置と、前記パターンデータが示す前記電力配線パターンとに基づき、前記電気素子と前記電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、前記電力配線パターンおよび前記接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成する工程と
を備え、
前記パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、前記接続配線パターンの少なくとも一部として前記電気素子と前記電力配線パターンとの間に配置することで、前記接続配線パターンを生成する配線パターン生成方法。

【請求項14】

基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、前記電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得する工程と、
前記素子配置データが示す前記電気素子の位置と、前記パターンデータが示す前記電力配線パターンとに基づき、前記電気素子と前記電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、前記電力配線パターンおよび前記接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成する工程と
を、コンピュータに実行させて、
前記コンピュータが、前記パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、前記接続配線パターンの少なくとも一部として前記電気素子と前記電力配線パターンとの間に配置することで、前記接続配線パターンを生成する配線パターン生成プログラム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、電気素子に対する配線パターンを示すパターンデータを生成する技術に関する。

【背景技術】

【0002】

特許文献１では、パターンデータに基づき露光ヘッドから基板に光を照射することで、パターンデータが示す配線パターンを基板に描画する技術が記載されている。特に特許文献１では、基板に配置された電気素子の実際の位置と基準位置（換言すれば、設計で定められた位置）とのずれに応じて、電気素子と電極との間の配線パターンが算出される。これによって、電気素子の位置ずれによらず、電気素子と電極との間の配線パターンを得ることができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１６－７１０２２号公報

【文献】特開２０１３－４７９２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

ところで、例えば特許文献２の発光装置のように、多数の電気素子（発光ダイオード）が配列された装置を製造する場合には、各電気素子への配線パターンを求める演算に長時間を要する場合があった。そのため、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることを可能とする技術が求められていた。

【0005】

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることを可能とすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る配線パターン生成装置は、基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得するデータ取得部と、素子配置データが示す電気素子の位置と、パターンデータが示す電力配線パターンとに基づき、電気素子と電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、電力配線パターンおよび接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成するデータ補正部とを備え、データ補正部は、パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、接続配線パターンの少なくとも一部として電気素子と電力配線パターンとの間に配置することで、接続配線パターンを生成する。

【0007】

本発明に係る配線パターン生成方法は、基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得する工程と、素子配置データが示す電気素子の位置と、パターンデータが示す電力配線パターンとに基づき、電気素子と電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、電力配線パターンおよび接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成する工程とを備え、パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、接続配線パターンの少なくとも一部として電気素子と電力配線パターンとの間に配置することで、接続配線パターンを生成する。

【0008】

本発明に係る配線パターン生成プログラムは、基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとを取得する工程と、素子配置データが示す電気素子の位置と、パターンデータが示す電力配線パターンとに基づき、電気素子と電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンを生成することで、電力配線パターンおよび接続配線パターンを示す補正パターンデータを生成する工程とを、コンピュータに実行させて、コンピュータが、パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、接続配線パターンの少なくとも一部として電気素子と電力配線パターンとの間に配置することで、接続配線パターンを生成する。

【0009】

このように構成された本発明（配線パターン生成装置、方法およびプログラム）によれば、基板に配置された電気素子の位置を示す素子配置データと、電気素子に電力を供給する電力ラインの配線パターンである電力配線パターンを示すパターンデータとが取得される。そして、素子配置データが示す電気素子の位置と、パターンデータが示す電力配線パターンとに基づき、電気素子と電力ラインとを接続する接続ラインの配線パターンである接続配線パターンが生成される。この際、パターンデータにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを、接続配線パターンの少なくとも一部として配置することで、接続配線パターンが生成される。このように、予め定められた所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンを配置するといった簡便な手法を用いることで、接続配線パターンの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0010】

また、電力配線パターンは、第１方向に平行に延設されており、テンプレートパターンは、第１方向に垂直な第２方向に平行に延設されており、電気素子の位置は、電力ラインより第２方向にずれており、データ補正部は、第２方向において、テンプレートパターンの一端を電気素子上に配置するとともに、テンプレートパターンの他端を電力配線パターン上に配置することで、接続配線パターンを生成するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、テンプレートパターンを配置するといった演算を実行するだけで、電気素子と電力ラインとを接続する接続ラインの接続配線パターンを簡便に生成できる。その結果、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0011】

また、素子配置データは、電気素子の基準角度からの回転角度をさらに示し、データ補正部は、電気素子の回転角度が閾角度より大きい場合には、電気素子に対するテンプレートパターンの配置を行わないように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、基準角度から閾角度より大きく回転した電気素子に対しては、テンプレートパターンの配置による接続配線パターンの生成が禁止される。そのため、大きく回転した電気素子に対して、テンプレートパターンの配置による無理な配線パターンの生成が行われることがなく、好適である。

【0012】

また、テンプレートパターンの配置が行われなかった電気素子と、電力配線パターンとを示す画像を表示する表示部をさらに備えるように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、テンプレートパターンの配置による接続配線パターンの生成が実行されなかった電気素子を、ユーザが確認することができる。

【0013】

また、ユーザの入力操作を受け付ける入力操作部をさらに備え、データ補正部は、入力操作部への入力操作に応じて、接続配線パターンを生成するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、テンプレートパターンの配置による接続配線パターンの生成が実行されなかった場合には、ユーザの入力操作によって接続配線パターンを適切に生成することができる。

【0014】

また、テンプレートパターンは、電気素子に対して配置された状態において、電気素子の電極に重なる接触部と、接触部から電気素子の外側まで延設された延設部とを有し、データ補正部は、接触部を電気素子上に配置することで、接続配線パターンを生成するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、テンプレートパターンを配置するといった簡便な手法を用いることで、電気素子の端子から電気素子の外側まで引き出される配線パターンの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0015】

また、データ補正部は、延設部と電力配線パターンとの位置関係に基づき、延設部と電力配線パターンとの間を補完する補完配線パターンを、接続配線パターンの一部として算出することで、接続配線パターンを生成するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。つまり、電気素子の外側まで引き出された延設部と電力配線パターンとを接続する補完配線パターンの演算は、比較的簡便に実行できる。そこで、かかる補完配線パターンは、テンプレートの配置によらずに算出して、生成するとよい。

【0016】

また、電力配線パターンは、第１方向に平行に延設されており、電気素子の位置は、電力ラインより第１方向に垂直な第２方向にずれており、補完配線パターンは、第２方向に平行であるように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、補完配線パターンは、電力配線パターンに直交する直線状の簡便な形状を有するため、補完配線パターンを簡便に生成することができる。

【0017】

また、素子配置データは、電気素子の基準角度からの回転角度をさらに示し、データ補正部は、電気素子の回転角度に応じて、テンプレートパターンを配置する角度を調整するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、電気素子の回転角度に応じてテンプレートパターンが的確に配置され、電気素子の端子から電気素子の外側まで引き出される配線パターンを適切に求めることができる。

【0018】

また、電力ラインとして、電源ラインおよびグランドラインがそれぞれ設けられ、パターンデータは、電源ラインの配線パターンである電源配線パターンおよびグランドラインの配線パターンであるグランド配線パターンのそれぞれを、電力配線パターンとして示し、 データ補正部は、電気素子と電源ラインとを接続する電源接続ラインの配線パターンである電源接続配線パターンおよび電気素子とグランドラインとを接続するグランド接続ラインの配線パターンであるグランド接続配線パターンのそれぞれを、接続配線パターンとして生成するように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、電源ラインと電気素子およびグランドラインと電気素子との間を接続する接続配線パターンを、高速に求めることができる。

【0019】

また、電気素子は、発光ダイオード素子であるように、配線パターン生成装置を構成してもよい。かかる構成では、発光ダイオードに対する配線パターンを高速に求めることが可能となる。

【0020】

本発明に係る描画システムは、上記の配線パターン生成装置と、基板を露光する露光ヘッドとを備え、配線パターン生成装置により生成された補正パターンデータに基づき露光ヘッドにより基板を露光することで、電力配線パターンおよび接続配線パターンを基板に描画する。したがって、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることが可能となる。

【発明の効果】

【0021】

以上のように、本発明によれば、電気素子に対する配線パターンを高速に求めることが可能となる。なお、本発明は、多数の電気素子に対する配線パターンを求める場合に特に特に好適であるが、１個あるいは数個の電気素子に対する配線パターンを求める場合にも当然のことながら適用できる。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】本発明に係る描画システムが備える描画装置の概略構成を模式的に示す正面図。

【図2】本発明に係る描画システムを示すブロック図。

【図3】基板に形成される配線の一例を模式的に示す平面図。

【図4】露光データ生成方法の第１例を示すフローチャート。

【図5】図４のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図。

【図6】露光データ生成方法の第２例を示すフローチャート。

【図7】図６のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図。

【図8】図６のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図。

【図9】図６のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図。

【図10】露光データ生成の第２例で使用可能なテンプレートパターンの変形例を模式的に示す図。

【発明を実施するための形態】

【0023】

図１は本発明に係る描画システムが備える描画装置の概略構成を模式的に示す正面図である。図１では、ＸＹＺ直交座標が示されている。ここで、ＸＹ平面が水平面を表し、Ｚ方向が鉛直方向を表す。さらに、Ｚ軸回りの回転方向をθ軸により表す。

【0024】

描画装置１００は、レジストなどの感光材料の層が形成された基板Ｗの上面に光を照射して、配線パターンを描画する装置である。なお、基板Ｗとしては、半導体基板、プリント基板、カラーフィルタ用基板、液晶表示装置やプラズマ表示装置に具備されるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、光ディスク用基板などの各種基板を適用可能である。図示例では円形の半導体基板の上面に形成された下層パターンに重ねて上層パターン（配線パターン）が描画される。

【0025】

描画装置１００は、本体フレーム１０１で構成される骨格の天井面および周囲面にカバーパネル（図示省略）が取り付けられることによって形成される本体内部と、本体フレーム１０１の外側である本体外部とに、各種の構成要素を配置した構成となっている。

【0026】

描画装置１００の本体内部は、処理領域１０２と受け渡し領域１０３とに区分されている。これらの領域のうち処理領域１０２には、主として、ステージ１０、ステージ移動機構２０、光学ユニットＵ、アライメントユニット６０が配置される。一方、受け渡し領域１０３には、処理領域１０２に対する基板Ｗの搬出入を行う搬送ロボットなどの搬送装置７０が配置される。

【0027】

また、描画装置１００の本体外部には、アライメントユニット６０に照明光を供給する照明ユニット６１が配置される。また、同本体には、描画装置１００が備える装置各部と電気的に接続されて、これら各部の動作を制御する制御ユニット９０が配置される。

【0028】

なお、描画装置１００の本体外部で、受け渡し領域１０３に隣接する位置には、カセットＣを載置するためのカセット載置部１０４が配置される。また、カセット載置部１０４に対応し、本体内部の受け渡し領域１０３に配置された搬送装置７０は、カセット載置部１０４に載置されたカセットＣに収容された未処理の基板Ｗを取り出して処理領域１０２に搬入（ローディング）するとともに、処理領域１０２から処理済みの基板Ｗを搬出（アンローディング）してカセットＣに収容する。カセット載置部１０４に対するカセットＣの受け渡しは、図示しない外部搬送装置によって行われる。この未処理基板Ｗのローディング処理および処理済基板Ｗのアンローディング処理は制御ユニット９０からの指示に応じて搬送装置７０が動作することで行われる。

【0029】

ステージ１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板Ｗを水平姿勢に載置して保持する保持部である。ステージ１０の上面には、複数の吸引孔（図示省略）が形成されており、この吸引孔に負圧（吸引圧）を付与することによって、ステージ１０上に載置された基板Ｗをステージ１０の上面に固定保持することができるようになっている。そして、ステージ１０はステージ移動機構２０により移動させられる。

【0030】

ステージ移動機構２０は、ステージ１０を主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）、および回転方向（Ｚ軸周りの回転方向（θ軸方向））に移動させる機構である。ステージ移動機構２０は、ステージ１０を回転可能に支持する支持プレート２２を支持するベースプレート２４と、支持プレート２２を副走査方向に移動させる副走査機構２３と、ベースプレート２４を主走査方向に移動させる主走査機構２５とを備える。副走査機構２３および主走査機構２５は、制御ユニット９０からの指示に応じてステージ１０を移動させる。

【0031】

アライメントユニット６０は、基板Ｗの上面に形成された図示しないアライメントマークを撮像する。アライメントユニット６０は、鏡筒、対物レンズ、およびＣＣＤイメージセンサを有するアライメントカメラ６０１を備える。アライメントカメラ６０１が備えるＣＣＤイメージセンサは、例えばエリアイメージセンサ（二次元イメージセンサ）により構成される。また、アライメントユニット６０は、図示しない昇降機構によって所定の範囲内で昇降可能に支持されている。

【0032】

照明ユニット６１は、鏡筒とファイバ６１１を介して接続され、アライメントユニット６０に対して照明用の光を供給する。照明ユニット６１から延びるファイバ６１１によって導かれる光は、アライメントカメラ６０１の鏡筒を介して基板Ｗの上面に導かれ、その反射光は、対物レンズを介してＣＣＤイメージセンサで受光される。これによって、基板Ｗの上面が撮像されて画像データが取得されることになる。アライメントカメラ６０１は制御ユニット９０と電気的に接続されており、制御ユニット９０からの指示に応じて画像データを取得し、取得した画像データを制御ユニット９０に送信する。

【0033】

アライメントカメラ６０１から与えられる画像データに基づき、制御ユニット９０は、基板Ｗの基準位置に設けられた基準マークを検出して光学ユニットＵと基板Ｗとの相対位置を位置決めするアライメント処理を行う。そして、配線パターンに応じて変調されたレーザ光を光学ユニットＵから基板Ｗの所定位置に照射することで、基板Ｗ（の感光材料）に配線パターンを描画する。

【0034】

光学ユニットＵは、配線パターンに対応する露光データ（ストリップデータ）に基づいてレーザ光を変調する露光ヘッド４を、Ｘ軸方向に沿って２台並べた概略構成を具備する。なお、露光ヘッド４の台数はこれに限られない。また、これら露光ヘッド４は互いに同様の構成を具備するので、以下では１台の露光ヘッド４に関連する構成について説明を行う。

【0035】

光学ユニットＵには、露光ヘッド４に対してレーザ光を照射する光照射部５が設けられている。光照射部５は、レーザ駆動部５１、レーザ発振器５２および照明光学系５３を有する。そして、レーザ駆動部５１の作動によりレーザ発振器５２から射出されたレーザ光が、照明光学系５３を介して露光ヘッド４へと照射される。露光ヘッド４は、光照射部５から照射されたレーザ光を空間光変調器によって変調して、露光ヘッド４の直下で移動する基板Ｗに対して落射する。これによって、未処理の基板Ｗに形成されていた下層パターンに対して、上層パターン（配線パターン）が重ねて露光される。

【0036】

図２は本発明に係る描画システムを示すブロック図である。描画システムＳは、図１に示す描画装置１００と、コンピュータ２００とを備える。描画装置１００の制御ユニット９０は、演算部９０１、記憶部９０２および通信部９０３を有する。演算部９０１は、例えばＣＰＵ(Central Processing Unit)等のプロセッサであり、制御ユニット９０での演算機能を担う。記憶部９０２は、例えばＨＤＤ(Hard Disk Drive)等の記憶装置であり、露光ヘッド４によるレーザ光の変調パターンを示す露光データＤｅや、アライメントカメラ６０１により撮像することで取得した画像データＤｉ等を記憶する。また、通信部９０３は、コンピュータ２００との通信機能を担う。

【0037】

コンピュータ２００は、制御ユニット２１０、ディスプレイ２２０および入力操作器２３０を備える。制御ユニット２１０は、演算部２１１、記憶部２１２および通信部２１３を有する。演算部２１１は、例えばＣＰＵ等のプロセッサであり、制御ユニット２１０での演算機能を担う。記憶部２１２は、例えばＨＤＤ等の記憶装置であり、各種データＤｉ、Ｄｐ、Ｄｐａ、ＤｅおよびプログラムＧを記憶する。また、通信部２１３は、描画装置１００（の通信部９０３）との通信機能を担う。

【0038】

ディスプレイ２２０は、演算部２１１から指示された内容をユーザに対して表示する。また、入力操作器２３０は、キーボードやマウスで構成されて、ユーザによる入力操作を受け付け、演算部２１１は、入力操作器２３０に対する入力操作の内容に応じた演算を実行する。なお、ディスプレイ２２０と入力操作器２３０とを別々に構成する必要はなく、タッチパネルによってこれらを一体的に構成してもよい。

【0039】

後述するように、コンピュータ２００は、露光データＤｅを生成して描画装置１００に送信する。描画装置１００は、露光データＤｅに基づき露光ヘッド４により変調したレーザ光を基板Ｗに照射することで、露光データＤｅに応じた配線パターンを基板Ｗの感光材料に描画する。配線パターンが描画された基板Ｗは、描画装置１００から搬出された後に、現像処理およびエッチング処理を受ける。これによって、露光データＤｅに応じた配線（ライン）が基板Ｗに形成される。

【0040】

図３は基板に形成される配線の一例を模式的に示す平面図である。図３および以下の図では、互いに直交する方向Ａ１および方向Ａ２が適宜示される。ここで、方向Ａ１および方向Ａ２は基板Ｗの表面の法線に直交し、いずれも水平方向である。図３に示すように、基板Ｗ上では、複数の電気素子Ｅが方向Ａ１に所定ピッチ（例えば、３００μｍ～７００μｍ）で一列に配列される。電気素子Ｅは、ＬＥＤ(Light Emitting Diode)チップであり、例えば５０μｍ～１００μｍ程度の辺を有する矩形状に形成されている。電気素子Ｅは、陽極端子Ｔａ（アノード）と、陰極端子Ｔｋ（カソード）とをその両端に有し、陽極端子Ｔａに電源電圧が与えられるとともに陰極端子Ｔｋにグランド電圧が与えられると、電力供給を受けて発光する。例えば、車のヘッドライトや電光パネル等を製造する場合には、図３に示すような電気素子Ｅの列が多数配置されて、１０万個程度の電気素子Ｅがマトリックス状に配列される。

【0041】

また、基板Ｗ上では、方向Ａ１にそれぞれ水平に延設された電源ラインＬｖとグランドラインＬｇとが配置されている。電源ラインＬｖとグランドラインＬｇとは、方向Ａ２に間隔を空けて配置され、電源ラインＬｖとグランドラインＬｇとの間に複数の電気素子Ｅが一列に配列されている。さらに、電源ラインＬｖと電気素子Ｅの陽極端子Ｔａとの間には電源接続ラインＬｃｖが配置され、電源ラインＬｖと陽極端子Ｔａとは電源接続ラインＬｃｖによって電気的に接続される。また、グランドラインＬｇと電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋとの間にはグランド接続ラインＬｃｇが配置され、グランドラインＬｇと陰極端子Ｔｋとはグランド接続ラインＬｃｇによって電気的に接続される。したがって、電源ラインＬｖに電源電圧を与えるとともにグランドラインＬｇにグランド電圧を与えることで、電気素子Ｅを発光させることができる。

【0042】

そして、図２のコンピュータ２００は、図３に示す電気素子Ｅに対する各ラインＬｖ、Ｌｇ、Ｌｃｖ、Ｌｃｇの配線パターンを基板Ｗの感光材料に描画するための露光データＤｅを生成する。特にコンピュータ２００は、電気素子Ｅの位置ずれに応じて露光データＤｅを生成することができる。つまり、基板Ｗ上における電気素子Ｅの位置は、設計値からずれる場合ある。これに対して、コンピュータ２００は、設計値が示す位置に配置された電気素子Ｅに対してはもちろん、設計値が示す位置からずれて配置された電気素子Ｅに対しても、電源接続ラインＬｃｖおよびグランド接続ラインＬｃｇの配線パターンを適切に求めて、露光データＤｅを生成する。続いては、この点について詳述する。

【0043】

図４は露光データ生成方法の第１例を示すフローチャートであり、図５は図４のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図である。図４のフローチャートは、露光データ生成プログラムＧ（図２）に従って演算部２１１により実行される。

【0044】

ステップＳ１０１では、基板Ｗ上における複数の電気素子Ｅを撮像した画像データＤｉが取得される。具体的には、演算部２１１は、画像データＤｉの取得を指示する画像撮像指示を、通信部２１３を介して描画装置１００の通信部９０３に送信する。描画装置１００では、通信部９０３による画像撮像指示の受信を受けて、演算部９０１がアライメントカメラ６０１に基板Ｗの表面を撮像させることで画像データＤｉを取得する。なお、画像撮像指示には、電気素子Ｅの配置位置（設計値）が含まれており、アライメントカメラ６０１はこの配置位置を撮像して、画像データＤｉを取得する。この画像データＤｉは、通信部９０３を介してコンピュータ２００の通信部２１３に送信され、コンピュータ２００では、通信部２１３により受信された画像データＤｉが記憶部２１２に記憶される。こうして、コンピュータ２００は画像データＤｉを取得する。

【0045】

ステップＳ１０２では、パターンデータＤｐが取得される。このパターンデータＤｐは、設計値が示す位置に理想的に配置された複数の電気素子Ｅに対する各ラインＬｖ、Ｌｇ、Ｌｃｖ、Ｌｃｇの配線パターンを示すＣＡＤ(Computer Aided Design)データであり、具体的にはＧＤＳ(Graphic Data System)データである。かかるパターンデータＤｐの取得は、例えばコンピュータ２００に接続されたＵＳＢ(Universal Serial Bus)メモリ等の記憶装置から記憶部２１２にパターンデータＤｐを読み込むことで実行してもよいし、外部装置から通信部２１３によりパターンデータＤｐを受信して記憶部２１２に保存することで実行してもよい。

【0046】

ちなみに、ステップＳ１０１、Ｓ１０２の実行順序はこれに限られず、これの逆でも構わない。また、複数の同種の基板Ｗに対して順番に描画を実行する場合、画像データＤｉの取得は、描画装置１００に基板Ｗが搬入される度に実行する必要があるのに対して、パターンデータＤｐの取得は、描画装置１００への最初の基板Ｗの搬入の前、途中あるいは後に一度実行すれば足りる。

【0047】

ステップＳ１０３では、基板Ｗ上に設けられた電気素子Ｅの配置位置をカウントするためのカウント値Ｎがゼロにリセットされ、ステップＳ１０４では、カウント値Ｎが１だけインクリメントされる。

【0048】

ステップＳ１０５、Ｓ１０６では、Ｎ番目の配置位置の電気素子Ｅに対する接続ラインＬｃｖ、Ｌｃｇの配線パターンが求められる。図５の「実行前」の欄に示すように、ステップＳ１０５、Ｓ１０６の実行前では、電源ラインＬｖの配線パターンである電源配線パターンＰｖと、グランドラインＬｇの配線パターンであるグランド配線パターンＰｇとの間に、Ｎ番目の配置位置の電気素子Ｅが位置しており、配線パターンＰｖ、Ｐｇと電気素子Ｅとは接続されていない。なお、電源配線パターンＰｖおよびグランド配線パターンＰｇの配置は、パターンデータＤｐに基づき認識され、電気素子Ｅの配置は画像データＤｉに基づき認識される。

【0049】

そこで、ステップＳ１０５では、電源接続ラインＬｃｖの配線パターンである電源接続配線パターンＰｃｖが、テンプレートパターンＰｔｖの配置により生成される。つまり、露光データ生成プログラムＧの実行に伴って、電源接続用のテンプレートパターンＰｔｖが記憶部２１２に展開・記憶される。ここの例では、テンプレートパターンＰｔｖは、方向Ａ２に平行に延設された形状を有しており、方向Ａ１に所定幅を有するとともに方向Ａ２に所定長さを有する。そして、テンプレートパターンＰｔｖの一端を電気素子Ｅの陽極端子Ｔａ上に配置するとともに、テンプレートパターンＰｔｖの他端を電源配線パターンＰｖ上に配置する演算が実行される。こうしてテンプレートパターンＰｔｖにより構成される電源接続配線パターンＰｃｖが生成される。かかる演算をパターンデータＤｐに対して実行することで、設計通りに配置された電源接続配線パターンが電気素子Ｅの実際の位置に応じた電源接続配線パターンＰｃｖに変換されて、パターンデータＤｐが補正される。

【0050】

また、ステップＳ１０６では、グランド接続ラインＬｃｇの配線パターンであるグランド接続配線パターンＰｃｇが、テンプレートパターンＰｔｇの配置により生成される。つまり、露光データ生成プログラムＧの実行に伴って、グランド接続用のテンプレートパターンＰｔｇが記憶部２１２に展開・記憶される。ここの例では、テンプレートパターンＰｔｇは、方向Ａ２に平行に延設された形状を有しており、方向Ａ１に所定幅を有するとともに方向Ａ２に所定長さを有する。そして、テンプレートパターンＰｔｇの一端を電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋ上に配置するとともに、テンプレートパターンＰｔｇの他端をグランド配線パターンＰｇ上に配置する演算が実行される。こうしてテンプレートパターンＰｔｇにより構成されるグランド接続配線パターンＰｃｇが生成される。かかる演算をパターンデータＤｐに対して実行することで、設計通りに配置されたグランド配線パターンが電気素子Ｅの実際の位置に応じて配置されたグランド接続配線パターンＰｃｇに変換されて、パターンデータＤｐが補正される。なお、ステップＳ１０５、Ｓ１０６の実行順序はこれに限られず、この逆でも構わない。

【0051】

ここで、テンプレートパターンＰｔｖは、設計通りに配置された電気素子Ｅと電源配線パターンＰｖとの方向Ａ２における距離に所定のマージンを加算した長さを有し、テンプレートパターンＰｔｇは、設計通りに配置された電気素子Ｅとグランド配線パターンＰｇとの方向Ａ２における距離に所定のマージンを加算した長さを有する。また、ここの例では、電気素子Ｅが電源配線パターンＰｖとグランド配線パターンＰｇとの中間に位置するように設計されていることから、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇは同一の長さを有する。ただし、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇは同一の長さを有する必要はなく、互いに異なる長さを有していてもよい。特に、電源配線パターンＰｖとグランド配線パターンＰｇとの中間からずれて電気素子Ｅが位置するように設計されている場合には、これらの長さは異なる。

【0052】

ステップＳ１０７では、Ｎｘ個の配置位置の全てについて、ステップＳ１０５、Ｓ１０６を実行したが判断される。ここで、Ｎｘは、基板Ｗにおける電気素子Ｅの配置位置の個数である。そして、全ての配置位置についてステップＳ１０５、Ｓ１０６が完了するまで（ステップＳ１０７で「ＹＥＳ」と判断されるまで）、ステップＳ１０４～Ｓ１０６が繰り返される。全ての配置位置についてステップＳ１０５、Ｓ１０６が完了すると（ステップＳ１０７で「ＹＥＳ」）、補正パターンデータＤｐａの生成が完了したこととなる。ここで、補正パターンデータＤｐａは、基板Ｗ上に実際に配置されたＮｘ個の電気素子Ｅに対する配線パターンを示すＧＤＳデータである。

【0053】

ステップＳ１０８では、補正パターンデータＤｐａがラスタライズされて、露光データＤｅが生成され、ステップＳ１０９では、露光データＤｅが通信部２１３を介して、描画装置１００に出力される。したがって、描画装置１００は、この露光データＤｅに基づき露光を行うことで、補正パターンデータＤｐａが示す配線パターンを基板Ｗに描画することができる。

【0054】

以上の実施形態では、基板Ｗに配置された電気素子Ｅの位置を示す画像データＤｉ（素子配置データ）と、電気素子Ｅに電力を供給する電源ラインＬｖ（電力ライン）の配線パターンである電源配線パターンＰｖ（電力配線パターン）を示すパターンデータＤｐが取得される（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）。そして、画像データＤｉが示す電気素子Ｅの位置と、パターンデータＤｐが示す電源配線パターンＰｖとに基づき、電気素子Ｅと電源ラインＬｖとを接続する電源接続ラインＬｃｖ（接続ライン）の配線パターンである電源接続配線パターンＰｃｖ（接続配線パターン）が生成される。この際、パターンデータＤｐにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｖを、電源接続配線パターンＰｃｖとして配置する演算により、電源接続配線パターンＰｃｖが生成される（ステップＳ１０５）。このように、予め定められた所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｖを配置するといった簡便な手法を用いることで、電源接続配線パターンＰｃｖの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0055】

また、基板Ｗに配置された電気素子Ｅの位置を示す画像データＤｉ（素子配置データ）と、電気素子Ｅに電力を供給するグランドラインＬｇ（電力ライン）の配線パターンであるグランド配線パターンＰｇ（電力配線パターン）を示すパターンデータＤｐが取得される（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）。そして、画像データＤｉが示す電気素子Ｅの位置と、パターンデータＤｐが示すグランド配線パターンＰｇとに基づき、電気素子ＥとグランドラインＬｇとを接続するグランド接続ラインＬｃｇ（接続ライン）の配線パターンであるグランド接続配線パターンＰｃｇ（接続配線パターン）が生成される。この際、パターンデータＤｐにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｇを、グランド接続配線パターンＰｃｇとして配置する演算により、グランド接続配線パターンＰｃｇが生成される（ステップＳ１０６）。このように、予め定められた所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｇを配置するといった簡便な手法を用いることで、グランド接続配線パターンＰｃｇの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0056】

また、電源配線パターンＰｖは方向Ａ１（第１方向）に平行に延設されており、電気素子Ｅの位置は、電源配線パターンＰｖより方向Ａ２（第２方向）にずれている。これに対して、テンプレートパターンＰｔｖは、方向Ａ２に平行に延設されている。そして、演算部２１１は、方向Ａ２において、テンプレートパターンＰｔｖの一端を電気素子Ｅ上に配置するとともに、テンプレートパターンＰｔｖの他端を電源配線パターンＰｖ上に配置する演算により、電源接続配線パターンＰｃｖを生成する。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｖを配置するといった演算を実行するだけで、電気素子Ｅと電源ラインＬｖとを接続する電源接続ラインＬｃｖの電源接続配線パターンＰｃｖを簡便に生成できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0057】

また、グランド配線パターンＰｇは方向Ａ１に平行に延設されており、電気素子Ｅの位置は、グランド配線パターンＰｇより方向Ａ２（第２方向）にずれている。これに対して、テンプレートパターンＰｔｇは、方向Ａ２に平行に延設されている。そして、演算部２１１は、方向Ａ２において、テンプレートパターンＰｔｇの一端を電気素子Ｅ上に配置するとともに、テンプレートパターンＰｔｇの他端をグランド配線パターンＰｇ上に配置する演算により、グランド接続配線パターンＰｃｇを生成する。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｇを配置するといった演算を実行するだけで、電気素子ＥとグランドラインＬｇとを接続するグランド接続ラインＬｃｇのグランド接続配線パターンＰｃｇを簡便に生成できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0058】

また、電源ラインＬｖおよびグランドラインＬｇのそれぞれに対して、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置による配線パターンの生成が実行されている。したがって、電源ラインＬｖと電気素子ＥおよびグランドラインＬｇと電気素子Ｅとの間を接続する電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇを、高速に求めることができる。

【0059】

また、電気素子ＥはＬＥＤチップである。かかる構成では、ＬＥＤチップに対する配線パターンを高速に求めることが可能となる。

【0060】

図６は露光データ生成方法の第２例を示すフローチャートであり、図７、図８および図９は図６のフローチャートに従って実行される演算の内容を模式的に示す図である。図６のフローチャートは、露光データ生成プログラムＧ（図２）に従って演算部２１１により実行される。なお、以下では、図４の第１例との差異点を中心に説明し、第１例との共通点については相当符号を付して説明を適宜省略する。

【0061】

図６の第２例においても、第１例と同様にステップＳ１０１～Ｓ１０４が実行される。そして、Ｎ番目の配置位置の電気素子Ｅに対して、ステップＳ２０１が実行される。ステップＳ２０１では、画像データＤｉが示す電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔより大きいか否かが判断される。つまり、図７の「θｒ＝０」の欄に示すように、電気素子Ｅが設計値通りに配置された場合の電気素子Ｅの回転角度θｒが０度（基準角度）に設定される。そして、図７の「θｒ≦θｔ」の欄に示すように、基準角度に対する電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔ（例えば、３５度）以下であれば、ステップＳ２０１で「ＮＯ」と判断される。一方、図７の「θｒ＞θｔ」の欄に示すように、基準角度に対する電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔより大きければ、ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」と判断される。なお、図７では、電気素子Ｅが反時計回りに回転した場合を示したが、電気素子Ｅが時計回りに回転した場合も同様である。

【0062】

Ｎ番目の配置箇所の電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔより大きければ（ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」）、この電気素子Ｅに対する電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇの生成（ステップＳ２０２～Ｓ２０５）を実行せずに、ステップＳ１０４に戻る。これによって、インクリメントされたＮ番目の配置箇所の電気素子Ｅに対してステップＳ２０１が実行される。

【0063】

Ｎ番目の配置箇所の電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔ以下であれば（ステップＳ２０１で「ＮＯ」）、この電気素子Ｅに対してステップＳ２０２～Ｓ２０５が実行されて、Ｎ番目の配置位置の電気素子Ｅに対する接続ラインＬｃｖ、Ｌｃｇの配線パターンが求められる。図９の「実行前」の欄に示すように、ステップＳ２０２～Ｓ２０５の実行前では、電源配線パターンＰｖとグランド配線パターンＰｇとの間に、Ｎ番目の配置位置の電気素子Ｅが位置しており、配線パターンＰｖ、Ｐｇと電気素子Ｅとは接続されていない。

【0064】

これに対して、ステップＳ２０２～Ｓ２０５では、図８に示すテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇを用いて、電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇが生成される。ここで、図８では、回転角度θｒがゼロであるテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇが示されている。テンプレートパターンＰｔｖは、方向Ａ１に平行に延設された接触部Ｈｃと、接触部Ｈｃから電源配線パターンＰｖ側（同図の上側）に方向Ａ２に延設された台形状の延設部Ｈｅとを有する。テンプレートパターンＰｔｇは、方向Ａ１に平行に延設された接触部Ｈｃと、接触部Ｈｃからグランド配線パターンＰｇ側（同図の下側）に方向Ａ２に延設された台形状の延設部Ｈｅとを有する。

【0065】

ステップＳ２０２では、電気素子Ｅの回転角度θｒに応じて回転させたテンプレートパターンＰｔｖを電気素子Ｅの陽極端子Ｔａに対して配置する演算が実行される。これによって、テンプレートパターンＰｔｖの接触部Ｈｃは、電気素子Ｅの陽極端子Ｔａ上に配置されて、電気素子Ｅの陽極端子Ｔａに重なる。また、テンプレートパターンＰｔｖの延設部Ｈｅは、接触部Ｈｃから電気素子Ｅの外側まで引き出されて、電気素子Ｅから電源配線パターンＰｖ側に突出する。

【0066】

ステップＳ２０３では、電気素子Ｅの回転角度θｒに応じて回転させたテンプレートパターンＰｔｇが電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋに対して配置する演算が実行される。これによって、テンプレートパターンＰｔｇの接触部Ｈｃは、電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋ上に配置されて、電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋに重なる。また、テンプレートパターンＰｔｇの延設部Ｈｅは、接触部Ｈｃから電気素子Ｅの外側まで引き出されて、電気素子Ｅからグランド配線パターンＰｇ側に突出する。

【0067】

ステップＳ２０４では、電源配線パターンＰｖと、テンプレートパターンＰｔｖの延設部Ｈｅの先端（方向Ａ２における電源配線パターンＰｖ側の端）との間を補完する補完配線パターンＰｓｖを、これらの位置関係に基づき算出する演算が実行される。この補完配線パターンＰｓｖは、方向Ａ２に平行な形状を有し、テンプレートパターンを用いずに算出によって求められる。この補完配線パターンＰｓｖによって、電源配線パターンＰｖとテンプレートパターンＰｔｖの延設部Ｈｅの先端とが接続される。こうして、電源配線パターンＰｖと電気素子Ｅの陽極端子Ｔａとを接続する電源接続配線パターンＰｃｖが、テンプレートパターンＰｔｖと補完配線パターンＰｓｖとによって構成される。

【0068】

ステップＳ２０５では、グランド配線パターンＰｇと、テンプレートパターンＰｔｇの延設部Ｈｅの先端（方向Ａ２におけるグランド配線パターンＰｇ側の端）との間を補完する補完配線パターンＰｓｇを算出する演算が実行される。この補完配線パターンＰｓｇは、方向Ａ２に平行な形状を有し、テンプレートパターンを用いずに算出によって求められる。この補完配線パターンＰｓｇによって、グランド配線パターンＰｇとテンプレートパターンＰｔｇの延設部Ｈｅの先端とが接続される。こうして、グランド配線パターンＰｇと電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋとを接続するグランド接続配線パターンＰｃｇが、テンプレートパターンＰｔｇと補完配線パターンＰｓｇとによって構成される。

【0069】

なお、ステップＳ２０２、Ｓ２０３の実行順序はこれに限られず、これの逆でもよく、ステップＳ２０４、Ｓ２０５の実行順序はこれに限られず、これの逆でもよい。また、ステップＳ２０４、Ｓ２０５を実行してから、ステップＳ２０２、Ｓ２０３を実行してもよい。つまり、電気素子Ｅの回転角度θｒが分かれば、電気素子Ｅに対してテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇを配置した場合の延設部Ｈｅの先端の位置は分かる。したがって、ステップＳ２０２、Ｓ２０３の前にステップＳ２０４、Ｓ２０５を実行することはできる。

【0070】

ステップＳ２０６では、Ｎｘ個の配置位置の全てについて、ステップＳ２０１（さらにはステップＳ２０２～Ｓ２０５）を実行したが判断される。そして、全ての配置位置について該当のステップが完了するまで（ステップＳ２０６で「ＹＥＳ」と判断されるまで）、該当のステップが繰り返される。

【0071】

全ての配置位置について該当のステップが完了すると（ステップＳ２０６で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２０７において非配線素子の有無が確認される。つまり、ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」と判断された電気素子Ｅは、電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇが生成されていない非配線素子Ｅと判断される。非配線素子が無い場合（ステップＳ２０７で「ＮＯ」の場合）には、補正パターンデータＤｐａの生成が完了したこととなる。そこで、ステップＳ１０８、Ｓ１０９が実行される。

【0072】

一方、非配線素子が有る場合（ステップＳ２０７で「ＹＥＳ」）の場合には、非配線素子Ｅ、電源配線パターンＰｖおよびグランド配線パターンＰｇを含む画面がディスプレイ２２０に表示される。これによって、ユーザは、ディスプレイ２２０に表示された当該画面を確認しつつ入力操作器２３０を操作することで、非配線素子Ｅに対する電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇを入力することができる。換言すれば、演算部２１１は、ユーザによる入力操作器２３０への入力操作に応じて、非配線素子Ｅに対する電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇを生成する演算を実行する。

【0073】

そして、全ての非配線素子Ｅに対する電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇの生成が完了すると（ステップＳ２０９で「ＹＥＳ」）、補正パターンデータＤｐａの生成が完了したこととなる。そこで、ステップＳ１０８、Ｓ１０９が実行される。

【0074】

以上の実施形態では、基板Ｗに配置された電気素子Ｅの位置を示す画像データＤｉと、電気素子Ｅに電力を供給する電源ラインＬｖの配線パターンである電源配線パターンＰｖを示すパターンデータＤｐとが取得される（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）。そして、画像データＤｉが示す電気素子Ｅの位置と、パターンデータＤｐが示す電源配線パターンＰｖとに基づき、電気素子Ｅと電源ラインＬｖとを接続する電源接続ラインＬｃｖの配線パターンである電源接続配線パターンＰｃｖが生成される。この際、パターンデータＤｐにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｖを、電源接続配線パターンＰｃｖの少なくとも一部として配置することで、電源接続配線パターンＰｃｖが生成される。このように、予め定められた所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｖを配置するといった簡便な手法を用いることで、電源接続配線パターンＰｃｖの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0075】

また、基板Ｗに配置された電気素子Ｅの位置を示す画像データＤｉと、電気素子Ｅに電力を供給するグランドラインＬｇの配線パターンであるグランド配線パターンＰｇを示すパターンデータＤｐとが取得される（ステップＳ１０１、Ｓ１０２）。そして、画像データＤｉが示す電気素子Ｅの位置と、パターンデータＤｐが示すグランド配線パターンＰｇとに基づき、電気素子ＥとグランドラインＬｇとを接続するグランド接続ラインＬｃｇの配線パターンであるグランド接続配線パターンＰｃｇが生成される。この際、パターンデータＤｐにおいて、所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｇを、グランド接続配線パターンＰｃｇの少なくとも一部として配置することで、グランド接続配線パターンＰｃｇが生成される。このように、予め定められた所定の形状および寸法を有するテンプレートパターンＰｔｇを配置するといった簡便な手法を用いることで、グランド接続配線パターンＰｃｇの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0076】

また、画像データＤｉは、電気素子Ｅの回転角度θｒをさらに示す。そして、演算部２１１（データ補正部）は、電気素子Ｅの回転角度θｒが閾角度θｔより大きい場合（ステップＳ２０１で「ＹＥＳ」の場合）には、電気素子Ｅに対するテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置を行わない。かかる構成では、閾角度θｔより大きく回転した電気素子Ｅに対しては、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置による電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇの生成が禁止される。そのため、大きく回転した電気素子Ｅに対して、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置による無理な配線パターンの生成が行われることがなく、好適である。

【0077】

また、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置が行われなかった電気素子Ｅ、電源配線パターンＰｖおよびグランド配線パターンＰｇを示す画像を表示するディスプレイ２２０が具備されている。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置による電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇの生成が実行されなかった電気素子Ｅを、ユーザが確認することができる。

【0078】

また、ユーザの入力操作を受け付ける入力操作器２３０が具備されている。そして、演算部２１１は、入力操作器２３０への入力操作に応じて、電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇを生成する。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの配置による電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇの生成が実行されなかった場合には、ユーザの入力操作によって電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇを適切に生成することができる。

【0079】

また、テンプレートパターンＰｔｖは、電気素子Ｅに対して配置された状態において、電気素子Ｅの陽極端子Ｔａ（電極）に重なる接触部Ｈｃと、接触部Ｈｃから電気素子Ｅの外側まで延設された延設部Ｈｅとを有する。そして、演算部２１１は、接触部Ｈｃを電気素子Ｅ上に配置することで、電源接続配線パターンＰｃｖを生成する。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｖを配置するといった簡便な手法を用いることで、電気素子Ｅの陽極端子Ｔａから電気素子Ｅの外側まで引き出される配線パターンの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0080】

また、テンプレートパターンＰｔｇは、電気素子Ｅに対して配置された状態において、電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋ（電極）に重なる接触部Ｈｃと、接触部Ｈｃから電気素子Ｅの外側まで延設された延設部Ｈｅとを有する。そして、演算部２１１は、接触部Ｈｃを電気素子Ｅ上に配置することで、グランド接続配線パターンＰｃｇを生成する。かかる構成では、テンプレートパターンＰｔｇを配置するといった簡便な手法を用いることで、電気素子Ｅの陰極端子Ｔｋから電気素子Ｅの外側まで引き出される配線パターンの生成に要する演算を簡略化できる。その結果、電気素子Ｅに対する配線パターンを高速に求めることが可能となっている。

【0081】

また、演算部２１１は、延設部Ｈｅと電源配線パターンＰｖとの位置関係に基づき、延設部Ｈｅと電源配線パターンＰｖとの間を補完する補完配線パターンＰｓｖを、電源接続配線パターンＰｃｖの一部として算出することで、電源接続配線パターンＰｃｖを生成する。つまり、電気素子Ｅの外側まで引き出された延設部Ｈｅと電源配線パターンＰｖとを接続する補完配線パターンＰｓｖを算出する演算は、比較的簡便に実行できる。そこで、かかる補完配線パターンＰｓｖは、テンプレートパターンＰｔｖの配置によらずに算出して、生成するとよい。

【0082】

また、演算部２１１は、延設部Ｈｅとグランド配線パターンＰｇとの位置関係に基づき、延設部Ｈｅとグランド配線パターンＰｇとの間を補完する補完配線パターンＰｓｇを、グランド接続配線パターンＰｃｇの一部として算出することで、グランド接続配線パターンＰｃｇを生成する。つまり、電気素子Ｅの外側まで引き出された延設部Ｈｅとグランド配線パターンＰｇとを接続する補完配線パターンＰｓｇを算出する演算は、比較的簡便に実行できる。そこで、かかる補完配線パターンＰｓｇは、テンプレートパターンＰｔｇの配置によらずに算出して、生成するとよい。

【0083】

また、電源配線パターンＰｖは、方向Ａ１に平行に延設されており、電気素子Ｅの位置は、電源配線パターンＰｖより方向Ａ２にずれている。これに対して、補完配線パターンＰｓｖは、方向Ａ２に平行である。かかる構成では、補完配線パターンＰｓｖは、電源配線パターンＰｖに直交する直線状の簡便な形状を有するため、補完配線パターンＰｓｖを簡便に生成することができる。

【0084】

また、グランド配線パターンＰｇは、方向Ａ１に平行に延設されており、電気素子Ｅの位置は、グランド配線パターンＰｇより方向Ａ２にずれている。これに対して、補完配線パターンＰｓｇは、方向Ａ２に平行である。かかる構成では、補完配線パターンＰｓｇは、グランド配線パターンＰｇに直交する直線状の簡便な形状を有するため、補完配線パターンＰｓｇを簡便に生成することができる。

【0085】

また、画像データＤｉは、電気素子Ｅの回転角度θｒをさらに示し、演算部２１１は、電気素子Ｅの回転角度θｒに応じて、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの回転角度を調整してを配置する。かかる構成では、電気素子Ｅの回転角度θｒに応じてテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇが的確に配置され、電気素子Ｅの陽極端子Ｔａあるいは陰極端子Ｔｋから電気素子Ｅの外側まで引き出される配線パターンを適切に求めることができる。

【0086】

以上に説明した実施形態では、方向Ａ１が本発明の「第１方向」の一例に相当し、方向Ａ２が本発明の「第２方向」の一例に相当し、画像データＤｉが本発明の「素子配置データ」の一例に相当し、パターンデータＤｐが本発明の「パターンデータ」の一例に相当し、補正パターンデータＤｐａが本発明の「補正パターンデータ」の一例に相当し、露光データ生成プログラムＧが本発明の「配線パターン生成プログラム」の一例に相当し、接触部Ｈｃが本発明の「接触部」の一例に相当し、延設部Ｈｅが本発明の「延設部」の一例に相当し、電源配線パターンＰｖおよびグランド配線パターンＰｇが本発明の「電力配線パターン」の一例に相当し、電源接続配線パターンＰｃｖおよびグランド接続配線パターンＰｃｇが本発明の「接続配線パターン」の一例に相当し、補完配線パターンＰｓｖおよび補完配線パターンＰｓｇが本発明の「補完配線パターン」の一例に相当し、テンプレートパターンＰｔｖおよびテンプレートパターンＰｔｇが本発明の「テンプレートパターン」の一例に相当し、描画システムＳが本発明の「描画システム」の一例に相当し、露光ヘッド４が本発明の「露光ヘッド」の一例に相当し、コンピュータ２００が本発明の「配線パターン生成装置」あるいは「コンピュータ」の一例に相当し、演算部２１１が本発明の「データ補正部」の一例に相当し、記憶部２１２が本発明の「データ取得部」の一例に相当し、ディスプレイ２２０が本発明の「表示部」の一例に相当し、入力操作器２３０が本発明の「入力操作部」の一例に相当し、回転角度θｒが本発明の「回転角度」の一例に相当し、閾角度θｔが本発明の「閾角度」の一例に相当する。

【0087】

なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、電気素子ＥはＬＥＤチップに限られない。

【0088】

また、電気素子Ｅの配置を示すデータとして利用できるのは、画像データＤｉに限られない。したがって、電気素子Ｅが配置された基板Ｗの検査装置で取得したデータを利用してもよい。

【0089】

また、基板Ｗ上の全ての電気素子Ｅに対する配線パターンを上記の実施例に基づき生成する必要はない。つまり、設計値から所定距離以上ずれた位置に配置された電気素子Ｅに対しては上記の実施例に基づき配線パターンを生成する一方、設計値から所定距離未満に配置された電気素子Ｅに対しては、パターンデータＤｐにもともと含まれている配線パターンを利用すればよい。

【0090】

また、ステップＳ１０２で取得するパターンデータＤｐは、電源接続配線パターンおよびグランド接続配線パターンを含んでいなくてもよい。

【0091】

また、露光データ生成の第１例と第２例とを併用してもよい。つまり、基板Ｗ上に配置された複数の電気素子Ｅのうち、回転角度θｒが所定の判定角度未満の電気素子Ｅに対しては第１例を実行する一方、回転角度θｒが判定角度以上の電気素子Ｅに対しては第２例を実行してもよい。なお、判定角度は、閾角度θｔ未満となる。

【0092】

また、露光データ生成の第２例で使用されるテンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇの具体的な形状は図８の例に限られず、テンプレートパターンＰｔｖ、Ｐｔｇは、例えば図１０に示す形状を有してもよい。ここで、図１０は露光データ生成の第２例で使用可能なテンプレートパターンの変形例を模式的に示す図である。

【産業上の利用可能性】

【0093】

本発明は、基板に配置された電気素子に対する配線パターンを生成しる技術全般に好適に利用でき、特に基板Ｗの感光材料に配線パターンを描画する技術に好適に利用できる。

【符号の説明】

【0094】

４…露光ヘッド
２００…コンピュータ（配線パターン生成装置）
２１１…演算部（データ補正部）
２１２…記憶部（データ取得部）
２２０…ディスプレイ（表示部）
２３０…入力操作器（入力操作部）
Ａ１…方向（第１方向）
Ａ２…方向（第２方向）
Ｄｉ…画像データ（素子配置データ）
Ｄｐ…パターンデータ（パターンデータ）
Ｄｐａ…補正パターンデータ
Ｇ…露光データ生成プログラム（配線パターン生成プログラム）
Ｈｃ…接触部
Ｈｅ…延設部
Ｐｖ…電源配線パターン（電力配線パターン）
Ｐｇ…グランド配線パターン（電力配線パターン）
Ｐｃｖ…電源接続配線パターン（接続配線パターン）
Ｐｃｇ…グランド接続配線パターン（接続配線パターン）
Ｐｓｖ…補完配線パターン
Ｐｓｇ…補完配線パターン
Ｐｔｖ…テンプレートパターン
Ｐｔｇ…テンプレートパターン
Ｓ…描画システム
θｒ…回転角度
θｔ…閾角度

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】