特許 7365441 インゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-11

(45)【発行日】2023-10-19

(54)【発明の名称】インゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法

(51)【国際特許分類】

   H01L 21/304 20060101AFI20231012BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20231012BHJP

   B24B 27/06 20060101ALI20231012BHJP

   B28D 5/04 20060101ALI20231012BHJP

   B28D 7/04 20060101ALI20231012BHJP

【ＦＩ】

H01L21/304 611B

B24B41/06 Z

B24B27/06 D

B28D5/04 C

B28D7/04

H01L21/304 611W

【請求項の数】 11

(21)【出願番号】P 2022026582

(22)【出願日】2022-02-24

(65)【公開番号】P2023101442

(43)【公開日】2023-07-21

【審査請求日】2022-02-24

(31)【優先権主張番号】10-2022-0003268

(32)【優先日】2022-01-10

(33)【優先権主張国・地域又は機関】KR

(73)【特許権者】

【識別番号】517354250

【氏名又は名称】エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド

(74)【代理人】

【識別番号】100098394

【弁理士】

【氏名又は名称】山川 茂樹

(72)【発明者】

【氏名】キム，アルム

【審査官】境 周一

(56)【参考文献】

【文献】特開平０８－３０９７３７（ＪＰ，Ａ）

【文献】韓国登録特許第１０－０８８７４９４（ＫＲ，Ｂ１）

【文献】特開平１０－１８２２９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２６２９１７（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－３３７６９５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１０－０４４１４３（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２８Ｄ ５／０４

Ｂ２８Ｄ ７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワイヤ切断装置を用いてインゴットを切断するためにインゴットの切断面角度に合わせてインゴットを付着させるワークプレートであって、
付着させる前記インゴットの長手方向に沿って鉛直方向下向きに湾曲するように上面が形成されるボトムプレートと、
下面が前記ボトムプレートの上面に沿って移動可能に結合され、Ｘ軸切断面角度に合わせて上部にインゴットが結合されるトッププレートと、を含む、インゴットのＹ軸補正用ワークプレートを用いたインゴットのＹ軸補正方法であって、
前記トッププレートの上部でＸ値ターゲットに合わせて前記インゴットを左右に水平移動させるＸ軸ターゲットマッチング段階と、
Ｘ値が調整された前記インゴットを前記トッププレートに付着するインゴット結合段階と、
前記インゴット結合段階の後、前記トッププレートをＹ値ターゲットに合わせて前記ボトムプレートの湾曲した上面に沿って移動させるＹ軸ターゲットマッチング段階と、を含む、インゴットのＹ軸補正方法。

【請求項2】

前記ボトムプレートの上部には、前記トッププレートの移動の際に離脱せずに前記ボトムプレートの湾曲した長手方向に移動するようにガイドする移動ガイド部が形成された、請求項１に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項3】

前記移動ガイド部は、前記ボトムプレートの上面より小さい幅を有するように形成され、インゴットが付着される長手方向の上方に突設され、長手方向の上方に突設された両側面は下部内側から上部外側に傾くように形成された、請求項２に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項4】

前記トッププレートの下部には、前記移動ガイド部に結合されて前記移動ガイド部に沿って移動するように移動ガイド結合部が形成された、請求項２に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項5】

前記ボトムプレートの湾曲した上面に沿って接触したままで移動する前記トッププレートの両側面には折曲部が形成され、
前記折曲部の下端面は前記ボトムプレートの湾曲した上面形状に対応して形成され、
前記折曲部の内側面は前記移動ガイド部の両側面に対応して上部外側から下部内側に傾くように形成された、請求項３に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項6】

前記トッププレートは、前記トッププレートの長手方向の両端部をそれぞれ水平方向に押圧する線形移動手段の動作によって移動し、
前記線形移動手段で前記トッププレートの両端部を押圧するとき、前記線形移動手段の押圧部位が前記ボトムプレートと接触しないように、前記ボトムプレートの上部には前記線形移動手段の移動軌跡に沿って干渉防止溝が形成された、請求項５に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項7】

前記トッププレートを前記ボトムプレートに固定させるか、固定された状態を解除させる固定解除手段をさらに含む、請求項１に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項8】

前記固定解除手段は、
前記トッププレートの側面に形成された複数の締結ホールと、
前記締結ホールに結合され、前記ボトムプレートの上部側面を押圧して前記トッププレートを前記ボトムプレートに固定させる固定ボルトと、を含む、請求項７に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項9】

前記トッププレートには、インゴットのノッチ方向が一方向に均一に位置する、請求項１～８のいずれか一項に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項10】

前記インゴット結合段階の後、前記ボトムプレートに固定解除手段によって固定された前記トッププレートの固定された状態を解除させるトッププレート解除段階と、
前記Ｙ軸ターゲットマッチング段階の後、前記固定解除手段によって前記ボトムプレートに前記トッププレートを固定させるトッププレート固定段階と、をさらに含む、請求項１～９のいずれか一項に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【請求項11】

前記Ｘ軸ターゲットマッチング段階に先立ち、前記インゴットのノッチ方向を設定方向に固定させるノッチ方向調整段階をさらに含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載のインゴットのＹ軸補正方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明はインゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法に関し、特に、インゴットのＹ軸補正を容易に遂行することができるように構成したインゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、シリコンウエハーは肉眼でその結晶学的方向を区分することができないので、ウエハーのエッジ一部を平らに切断して方向性を表している。このように、平らに切れた部分はフラットゾーン（ｆｌａｔ ｚｏｎｅ、以下、単純にフラットと言う）といい、フラットの数及び配置はウエハーの種類によって違う。また、このようなフラットはウエハーを作るに先立ち（インゴットをスライスするに先立ち）、インゴットのフラット配向（ｆｌａｔ ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）を検出してインゴットの長手方向に切削加工することによって形成される。このようなフラット配向はインゴットの特定の結晶学的配向であり、通常Ｘ線回折計（Ｘ－ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｏｍｅｔｅｒ）のＸ線ゴニオメーター（Ｘ－ｒａｙ Ｇｏｎｉｏｍｅｔｅｒ）を使って検出することになる。

【0003】

韓国登録特許第１０－１２６３１３２号は、従来多数の装備が必要なシリコンインゴットの切断準備過程でゴニオメーターのみを用いて切断準備過程を遂行することができるように構成したインゴットオリエンテーション測定装置を紹介しており、韓国登録特許第１０－１４６７６９１号は、ストッパーの回転によって固定ローラーと移動ローラーとの間隔が調節されることを特徴とするインゴットのオリエンテーションを測定するための装置を紹介している。

【0004】

図１は従来のインゴットオリエンテーション補正方式を示した概念図である。前述した従来のオリエンテーション補正方式は、まずＹ値（Ｖｅｒｔｉｃａｌ）が‘０’になるようにインゴット（Ｉｎｇｏｔ）１０を回転させた後、Ｘ値（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）がターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）に合うように左右に移動させる方式であり、ターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）に一致すれば、オリエンテーション補正を完了し、インゴット切断（Ｗｉｒｅ Ｓａｗ）工程に進む。

【0005】

しかし、このような従来の補正方式は、Ｙ値（Ｖｅｒｔｉｃａｌ）が無条件に‘０’に固定されなければならなく、ノッチアングル（Ｎｏｔｃｈ Ａｎｇｌｅ）がインゴット１０ごとに違うランダム（Ｒａｎｄｏｍ）方向に形成されるしかない補正方式である。

【0006】

最近になってノッチアングルを一方向に固定させた状態でＸ値及びＹ値に対する補正を要求している実情である。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0007】

【文献】韓国登録特許第１０－１４６７６９１号公報

【文献】韓国登録特許第１０－１２６３１３２号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0008】

本発明が解決しようとする技術的課題は、ノッチ方向を一方向に固定させるとともにＹ軸調整まで遂行できるように構成したインゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法を提供することにある。

【課題を解決するための手段】

【0009】

前記のような技術的課題を解決するための本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートは、ワイヤ切断装置を用いてインゴットを切断するためにインゴットの切断面角度に合わせてインゴットを付着させるワークプレートであって、インゴットが結合される長手方向の下方に湾曲するように上面が形成されるボトムプレートと、下面が前記ボトムプレートの上面に沿って移動可能に結合され、Ｘ軸切断面角度に合わせて上部にインゴットが結合されるトッププレートとを含むことを特徴とする。

【0010】

また、前記ボトムプレートの上部には、前記トッププレートの移動の際に離脱せずに前記ボトムプレートの湾曲した長手方向に移動するようにガイドする移動ガイド部が形成されることを特徴とする。

【0011】

また、前記移動ガイド部は、前記ボトムプレートの上面より小さい幅を有するように形成され、インゴットが付着される長手方向の上方に突設され、長手方向の上方に突設された両側面は下部内側から上部外側に傾くように形成されることを特徴とする。

【0012】

また、前記トッププレートの下部には、前記移動ガイド部に結合されて前記移動ガイド部に沿って移動するように移動ガイド結合部が形成されることを特徴とする。

【0013】

また、前記ボトムプレートの湾曲した上面に沿って接触したままで移動する前記トッププレートの両側面には折曲部が形成され、前記折曲部の下端面は前記ボトムプレートの湾曲した上面形状に対応して形成され、前記折曲部の内側面は前記移動ガイド部の両側面に対応して上部外側から下部内側に傾くように形成されることを特徴とする。

【0014】

また、前記トッププレートは、前記トッププレートの長手方向の両端部をそれぞれ水平方向に押圧する線形移動手段の動作によって移動し、前記線形移動手段で前記トッププレートの両端部を押圧するとき、前記線形移動手段の押圧部位が前記ボトムプレートと接触しないように、前記ボトムプレートの上部には前記線形移動手段の移動軌跡に沿って干渉防止溝が形成されることを特徴とする。

【0015】

また、前記トッププレートを前記ボトムプレートに固定させるか、固定された状態を解除させる固定解除手段をさらに含むことを特徴とする。

【0016】

また、前記固定解除手段は、前記トッププレートの側面に形成された複数の締結ホールと、前記締結ホールに結合され、前記ボトムプレートの上部側面を押圧して前記トッププレートを前記ボトムプレートに固定させる固定ボルトとを含むことを特徴とする。

【0017】

また、前記トッププレートには、インゴットのノッチ方向が一方向に均一に位置することを特徴とする。

【0018】

一方、前述したインゴットのＹ軸補正用ワークプレートを用いたインゴットのＹ軸補正方法は、前記トッププレートにＸ値（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）ターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）に合わせて前記インゴットを左右に移動させるＸ軸ターゲットマッチング段階と、Ｘ値が調整された前記インゴットを前記トッププレートに付着するインゴット結合段階と、前記インゴット結合段階の後、前記トッププレートをＹ値（Ｖｅｒｔｉｃａｌ）ターゲットに合わせて前記ボトムプレートの湾曲した上面に沿って移動させるＹ軸ターゲットマッチング段階とを含むことを特徴とする。

【0019】

また、前記インゴット結合段階の後、前記ボトムプレートに固定解除手段によって固定された前記トッププレートの固定された状態を解除させるトッププレート解除段階と、前記Ｙ軸ターゲットマッチング段階の後、前記固定解除手段によって前記ボトムプレートに前記トッププレートを固定させるトッププレート固定段階とをさらに含むことを特徴とする。

【0020】

また、前記Ｘ軸ターゲットマッチング段階に先立ち、前記インゴットのノッチ方向を設定方向に固定させるノッチ方向調整段階をさらに含むことを特徴とする。

【発明の効果】

【0021】

以上で説明した本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレート及びこれを用いたインゴットのＹ軸補正方法によれば、ノッチアングル（Ｎｏｔｃｈ Ａｎｇｌｅ）の位置を固定させることができ、既存には制御することができなかったインゴットオリエンテーション（Ｉｎｇｏｔ Ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）のＹ軸（Ｙ－ａｘｉｓ）制御が可能である。

【図面の簡単な説明】

【0022】

【図1】従来のインゴットオリエンテーション補正方式を示す概念図である。

【図2】本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの一実施例の斜視図である。

【図3】本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの要部分解斜視図である。

【図4】本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートをボトムプレートとトッププレートとに区分して示す正面図である。

【図5】図４でボトムプレートとタブプレイトの結合状態を示すための透視図である。

【図6】本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートによって付着されたインゴットのＹ軸補正によるインゴットティルティング状態を示す図である。

【図7】本発明によるインゴットのＹ軸補正方法の一実施例の構成図である。

【図8】本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートを用いたインゴットオリエンテーション補正方式を示す概念図である。

【発明を実施するための形態】

【0023】

以下、本発明を具体的に説明するために実施例に基づいて説明し、発明に対する理解を助けるために添付図面を参照して詳細に説明する。

【0024】

図面で大きさは説明の便宜性及び明確性のために誇張または省略するかあるいは概略的に示した。また、各構成要素の大きさは実際の大きさをそのまま反映するものではなく、同じ参照番号は図面の説明全般にわたって同じ要素を示す。

【0025】

図２は本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの一実施例による斜視図、図３は本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの要部分解斜視図、図４は本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートをボトムプレートとトッププレートに区分して示す正面図、図５は図４でボトムプレートとタブプレイトの結合状態を示すための透視図、図６は本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートによって付着されたインゴットのＹ軸補正によるインゴットティルティング状態を示す図である。

【0026】

図２～図６を参照して、本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの構造を説明すれば次のようである。

【0027】

ワークプレートとは、インゴット（Ｉｎｇｏｔ）をインゴット切断装置（Ｗｉｒｅ Ｓａｗ）に適用するための一種のジグ（Ｊｉｇ）と理解することができる。本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレート（以下、‘ワークプレート１００’という）は、インゴット切断装置（図示せず）を用いてインゴット１０を切断するために、インゴット１０を切断面角度に合わせて付着固定するためのものであり、ボトムプレート１１０及びトッププレート１２０を含んでなることができる。

【0028】

ボトムプレート１１０は下側に位置して作業テーブルに固定されるためのものであり、作業テーブルの構造及び形状によってその下部形状が変わることができる。
ボトムプレート１１０の上部は、インゴット１０が結合される長手方向に設定された曲率を有し、湾曲するように形成される。前記設定された曲率はインゴット１０のＹ軸調整角度を考慮して設定することができる。

【0029】

前記のように設定された曲率を有するとともに湾曲するように形成されたボトムプレート１１０の上面にトッププレート１２０が移動可能に結合される。このために、トッププレート１２０の下面は、ボトムプレート１１０の上面に対応するように、前記設定された曲率と同じ曲率を有し、下方に湾曲するように形成される。トッププレート１２０の上面は平たく形成され、Ｘ軸切断面角度に合わせてインゴット１０が付着固定される。ここで、炭酸カルシウム材から構成されたプレートの両面をボンディング処理してインゴット１０を付着固定させることができる。インゴット１０のＸ軸調整及びボンディング付着方式自体は公知の技術なので、これについての詳細な説明は省略する。ただ、従来にはインゴット１０のＹ軸を零点に固定させただけであるので、インゴット１０を回転させる過程でインゴット１０に形成されたノッチ方向がそれぞれ異なっていたが、本発明によればノッチアングルを所望の角度に同一に調整した状態でトッププレート１２０の上面に付着固定させることができる。

【0030】

一方、ボトムプレート１１０の上部には、トッププレート１２０の移動の際にトッププレート１２０がボトムプレート１１０から離脱せずにボトムプレート１１０の湾曲した上方に移動することができるように、移動ガイド部１１１が形成される。移動ガイド部１１１の形状は、トッププレート１２０がボトムプレート１１０によって支持されるとともに左右に移動することができる構造であれば、公知の多様な形状のいずれにも製作されることができる。一例として、移動ガイド部１１１はボトムプレート１１０の上面より小さい幅を有するように形成されてインゴット１０が付着される長手方向の上方に突設され、長手方向の上方に突設された両側面が下部内側から上部外側に傾くように形成されることができる。

【0031】

トッププレート１２０の下部には、移動ガイド部１１１に対応して結合される移動ガイド結合部１２１が形成されることができる。一例として、ボトムプレート１１０の湾曲した上面に沿って接触したままで移動するトッププレート１２０の両側面には下方に折曲部１２２が形成されることができる。折曲部１２２の下端面はボトムプレート１１０の湾曲した上面の形状に対応して形成され、折曲部１２２の内側面は移動ガイド部１１１の両側面に対応して上部外側から下部内側に傾くように形成されることができる。すなわち、トッププレート１２０の折曲部１２２がボトムプレート１１０の移動ガイド部１１１の両側面に結合されることで、上方に分離されず、湾曲面に沿って前後方向（図４及び図５で左右方向）にスライドする。

【0032】

一方、固定解除手段１３０をさらに備えることにより、ボトムプレート１１０の上面に沿って左右（図４及び図５を基準）に移動するトッププレート１２０をボトムプレート１１０に固定させるか、トッププレート１２０がボトムプレート１１０に固定された状態を解除することができる。

【0033】

固定解除手段１３０はトッププレート１２０をボトムプレート１１０に固定及び固定解除することができる構造であれば公知の多様な技術のいずれも適用することができる。一例として、固定解除手段１３０は締結ホール（図面符号なし）及び固定ボルト（図面符号なし）から構成することができる。前記締結ホールはトッププレート１２０の両側面のいずれか一側面に構成されることができ、複数から構成されることができる。図示のように、前記締結ホール（図面符号なし）はトッププレート１２０の折曲部１２２に形成されることができ、三つから構成されることができる。前記固定ボルト（図面符号なし）は前記締結ホールに結合されてボトムプレート１１０の上部側面を押圧することにより、トッププレート１２０をボトムプレート１１０に堅固に固定させることができる。

【0034】

前述したように形成されたトッププレート１２０は、線形移動手段（図示せず）によってボトムプレート１１０の上部で移動することができる。前記線形移動手段は、一例として、サーボモーターによって水平方向に前後進する押圧棒（図示せず）から構成されることができる。

【0035】

すなわち、図４及び図５を基準に、トッププレート１２０の両側にはそれぞれ前記線形移動手段が設けられ、前記線形移動手段に結合された前記押圧棒が水平方向に移動することができる。前記押圧棒が前進しながらトッププレート１２０の両端部を押圧することができる。ここで、トッププレート１２０の左側及び右側の中でＹ軸を調整しなければならない方向にトッププレート１２０を押圧して移動させることができる。ここで、最初に固定解除手段１３０によってボトムプレート１１０に固定されたトッププレート１２０から固定解除手段１３０を分離した後、前記線形移動手段によってトッププレート１２０を移動させることができる。前記線形移動手段によってトッププレート１２０を移動させてインゴット１０のＹ軸調整を遂行することができ、このようなＹ軸調整によって、図６に示すように、インゴット１０をティルティングさせることができる。トッププレート１２０のＹ軸調整が完了すれば、また固定解除手段１３０によってトッププレート１２０をボトムプレート１１０に固定させることができる。

【0036】

一方、前記線形移動手段によってトッププレート１２０の両端部を押圧するとき、前記線形移動手段の押圧部位、すなわち前記押圧棒がボトムプレート１１０と接触しないように、ボトムプレート１１０の上部には前記線形移動手段の移動軌跡に沿って干渉防止溝１１２が形成されることができる。

【0037】

また、作業者がワークプレート１００を容易に把持することができるように、ボトムプレート１１０またはトッププレート１２０には取っ手１４０がさらに設けられることができる。ここで、取っ手１４０がトッププレート１２０に設けられる場合、取っ手１４０の上部にも干渉防止溝１１２が形成されることが好ましい。

【0038】

図７は本発明によるインゴットのＹ軸補正方法の一実施例の構成図、図８は本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートを用いたインゴットオリエンテーション補正方式を示す概念図である。

【0039】

図面符号は図２～図５を一緒に参照し、図７及び図８を参照して本発明によるインゴットのＹ軸補正方法を説明すれば次のようである。

【0040】

本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートを用いたインゴットのＹ軸補正方法は、Ｘ軸ターゲットマッチング段階（Ｓ２０）、インゴット結合段階（Ｓ３０）、及びＹ軸ターゲットマッチング段階（Ｓ５０）を含んでなることができる。ここで、トッププレート解除段階（Ｓ４０）及びトッププレート固定段階（Ｓ６０）をさらに含むことができる。また、ノッチ方向調整段階（Ｓ１０）をさらに含むことができる。

【0041】

前記各段階での動作状態などは前述したインゴットのＹ軸補正用ワークプレートの説明を参照することができ、便宜上、図７に示した順に簡略に説明する。

【0042】

ノッチ方向調整段階（Ｓ１０）では、ノッチ方向を所望の方向または設定方向に固定させることができる。すなわち、従来のように、Ｙ値（Ｖｅｒｔｉｃａｌ）が‘０’になるようにインゴット１０を回転させた後、Ｘ値（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）がターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）に合うように左右に移動させる方式ではなく、ノッチ方向を設定の一方向に均一に統一させて固定させる方式である。

【0043】

Ｘ軸ターゲットマッチング段階（Ｓ２０）では、トッププレート１２０の上部でインゴット１０を左右に移動させてＸ値（Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）ターゲット（Ｔａｒｇｅｔ）に合わせてインゴット１０のＸ軸を調整することができる。

【0044】

インゴット結合段階（Ｓ３０）では、前記のようにＸ軸が調整されたインゴット１０をそのままトッププレート１２０の上部に付着することができる。すなわち、インゴット１０はＸ軸がターゲットに合わせて調整された状態でトッププレート１２０に付着される。

【0045】

トッププレート解除段階（Ｓ４０）では、トッププレート１２０及びボトムプレート１１０に形成された固定解除手段１３０を用いて、トッププレート１２０がボトムプレート１１０に固定された状態を解除することができる。すなわち、トッププレート１２０はボトムプレート１１０の上部湾曲面に沿って移動可能な状態になる。

【0046】

Ｙ軸ターゲットマッチング段階（Ｓ５０）では、トッププレート１２０をＹ値（Ｖｅｒｔｉｃａｌ）ターゲットに合わせてボトムプレート１１０の湾曲した上面に沿って移動させることができる。すなわち、トッププレート１２０は左右方向（図４及び図５基準）のみに動くので、トッププレート１２０に結合されたインゴット１０のＸ軸はそのまま維持されながらＹ軸値のみが調整され、これによりインゴット１０のＹ軸をターゲット値に合わせて補正することができる。

【0047】

トッププレート固定段階（Ｓ６０）では、Ｙ軸角度までターゲット（Ｔａｇｅｔ）値に調整した後、固定解除手段１３０を用いてトッププレート１２０をボトムプレート１１０に固定させることができる。すなわち、トッププレート１２０はボトムプレート１１０の上部で位置固定された状態になる。

【0048】

図示しなかったが、トッププレート固定段階（Ｓ６０）の後、ワークプレート１００をインゴット切断装置に移送してインゴット切断作業を遂行することができる。

【0049】

以上で説明した本発明によるインゴットのＹ軸補正用ワークプレートを使うことにより、ノッチアングル（Ｎｏｔｃｈ Ａｎｇｌｅ）の位置を固定させることができ、既存には制御できなかったインゴットオリエンテーション（Ｉｎｇｏｔ Ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ）のＹ軸（Ｙ－ａｘｉｓ）制御が可能である。

【0050】

以上で実施例に基づいて説明した特徴、構造、効果などは本発明の少なくとも一実施例に含まれ、必ずしも一実施例のみに限定されるものではない。また、各実施例で例示した特徴、構造、効果などは実施例が属する分野で通常の知識を有する者によって他の実施例にも組み合わせられるか変形されて実施可能である。したがって、このような組合せ及び変形についての内容は本発明の範囲に含まれるものと解釈しなければならないであろう。

【符号の説明】

【0051】

１０ インゴット
１００ ワークプレート
１１０ ボトムプレート
１１１ 移動ガイド部
１１２ 干渉防止溝
１２０ トッププレート
１２１ 移動ガイド結合部
１２２ 折曲部
１３０ 固定解除手段
１４０ 取っ手
Ｓ１０ ノッチ方向調整段階
Ｓ２０ Ｘ軸ターゲットマッチング段階
Ｓ３０ インゴット結合段階
Ｓ４０ トッププレート解除段階
Ｓ５０ Ｙ軸ターゲットマッチング段階
Ｓ６０ トッププレート固定段階

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】