特許7366507IP Force 特許公報全文掲載

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ガス分析装置の電圧制御方法

発明が解決しようとする課題[発明の詳細な説明]から抜粋

しかし、本発明者は、ヒートクリーニングを繰り返すと、その都度ガスセンサ素子の空気中での抵抗値が変動し、安定しないことを見出した。つまり、ガス分析装置を使用するたびに単なるヒートクリーニングを行うといった従来の電圧制御方法は、ガスセンサ素子の空気中での抵抗値Ｒａｉｒが安定せず、その影響を受けて、ガスセンサ素子の被検ガス中での抵抗値Ｒｇａｓも安定しないため、ガス感度（＝Ｒｇａｓ／Ｒａｉｒ）を維持できないという問題があった。

課題を解決するための手段[発明の詳細な説明]から抜粋

以下に、課題を解決するための手段として、複数の態様を説明する。

発明の効果[発明の詳細な説明]から抜粋

本発明の方法によれば、ガス分析装置を反復使用しても、ガス感度を維持することができる。

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この特許公報に記載されている図面[図面の簡単な説明]から抜粋

【図1】 （ａ）ガスセンサ素子の一例を示す模式的な平面図である。（ｂ）（ａ）のＡ－Ａ断面図である。
【図2】 （ａ）本発明の一実施形態における、ガス分析装置の初回起動時のフローチャートである。（ｂ）本発明の一実施形態における、ガス分析装置の２回目以降の起動時のフローチャートである。
【図3】 本発明の一実施形態を用いてガス分析装置を５回起動したときの模式的なグラフである。
【図4】 従来の電圧制御方法を用いてガス分析装置を５回起動したときの模式的なグラフである。
【図5】 （ａ）本発明の別の実施形態におけるフローチャートである。（ｂ）本発明の別の実施形態を示す模式的なグラフである。

代表図 図1本件の代表的な図

１ ：ガスセンサ素子 １１ ：感ガス体 １２ ：ヒータ電極 １３ ：検出電極 １４ ：ベース １４ａ：キャビティ １５ ：絶縁膜 １５ａ：開口部 １６ ：パッド １７ ：ヒータ配線パターン １８ ：電極配線パターン

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