特許 7366570 ドライルーム及びその制御方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-13

(45)【発行日】2023-10-23

(54)【発明の名称】ドライルーム及びその制御方法

(51)【国際特許分類】

   F24F 7/06 20060101AFI20231016BHJP

   F24F 11/89 20180101ALI20231016BHJP

   F24F 11/77 20180101ALI20231016BHJP

   F24F 110/20 20180101ALN20231016BHJP

【ＦＩ】

F24F7/06 C

F24F11/89

F24F11/77

F24F110:20

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019069459

(22)【出願日】2019-03-29

(65)【公開番号】P2020165629

(43)【公開日】2020-10-08

【審査請求日】2021-12-14

(73)【特許権者】

【識別番号】000229047

【氏名又は名称】日本スピンドル製造株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110002826

【氏名又は名称】弁理士法人雄渾

(72)【発明者】

【氏名】増田 克洋

(72)【発明者】

【氏名】山口 雅文

(72)【発明者】

【氏名】上田 晃

【審査官】▲高▼藤 啓

(56)【参考文献】

【文献】特開２０１４－１６９８１５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００４－１１６８５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１４－０４７９９０（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１１－１９０９８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１３－０８１９００（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１７／１３８３５６（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－１７４８２８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００７－１３２６０２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－０７６０３２（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ２４Ｆ ７／０６

Ｆ２４Ｆ ３／１４－３／１５３

Ｆ２４Ｆ １１／００－１１／８９

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

管理空間内の露点温度を制御するドライルームであって、
管理空間内の空気の排気を行う複数の排気部と、
複数の支柱と、を備え、
前記複数の排気部は、管理空間内の異なる領域に配置され、各領域から排気する空気の排気量を個別に調整され、
前記排気部は、前記支柱の内部にそれぞれ設けられることを特徴とする、ドライルーム。

【請求項2】

前記ドライルーム内における空気の露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する第１検出部を備えることを特徴とする、請求項１に記載のドライルーム。

【請求項3】

露点温度の上昇を引き起こす物質の前記領域への侵入を事前に検出する第２検出部を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載のドライルーム。

【請求項4】

前記領域の空気の露点温度を制御する制御部を備えることを特徴とする、請求項１～３のいずれか１項に記載のドライルーム。

【請求項5】

管理空間内の露点温度を制御するドライルームの制御方法であって、
管理空間内の空気を、管理空間内の異なる領域から排気する排気ステップと、
前記領域から排気する空気の排気量を個別に調整する排気量調整ステップと、
を備え、
前記排気ステップは、複数の支柱の内部に設けられた排気部により排気することを特徴とする、ドライルームの制御方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、管理された湿度環境が求められる二次電池の製造などに使用するドライルームに関するものである。また、本発明は、ドライルームの制御方法に関するものである。

【背景技術】

【0002】

電池の電極用スラリーの製造ラインなどにおいては、極めて低湿度に環境条件を管理したドライルームが用いられる。例えば、特許文献１には、限られた必要箇所の雰囲気のみを所定の低湿度状態に保持するために用いられるドライルームが記載されている。このドライルームは、ドライルーム本体の周壁を構成するカーテンを２重構造とし、その２重構造のカーテン間に形成された空間から強制的に空気を排気する。そして、排気された空気を除湿ユニットで処理して、２重構造のカーテンにおける内側カーテンで仕切られた空間と、２重構造のカーテン間に形成された空間とに供給することを特徴とするものである。これにより、ドライルーム内に供給する空調した空気量を低減するとともに、ドライルーム内の物質が外部空間に流出することを抑制しながら、人の出入りの影響を極力排除することができる。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２０１４－１６９８１５号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

二次電池の製造工程等は、作業空間に対する極めて低い湿度管理が重要となる。しかしながら、作業者の入退室や、作業者から発せられる水分などにより、作業空間の湿度が一時的に高くなるという問題がある。
そこで、本発明の課題は、ドライルーム内の所定の空間の湿度が上昇した際に、あるいは上昇することが予測される際に、効率的に室内の湿度を調節し、素早く湿度管理を行うことが可能なドライルームを提供することである。

【課題を解決するための手段】

【0005】

本発明者は、上記課題について鋭意検討した結果、ドライルームにおいて、露点温度が上昇した（上昇する）エリア近傍の空気を排気部から優先的に排気することによって、管理空間内の露点温度上昇を速やかに正常化できるという知見に至り、本発明を完成した。
すなわち、本発明は、以下のドライルームである。

【0006】

上記課題を解決するための本発明のドライルームは、管理空間内の露点温度を制御するドライルームであって、管理空間内の空気の排気を行う複数の排気部を備え、前記複数の排気部は、管理空間内の異なる領域に配置され、各領域から排気する空気の排気量を個別に調整することを特徴とするものである。
このドライルームによれば、管理空間内の異なる領域に配置された排気部が、各領域から排気する空気の排気量を個別に調整することから、管理空間内の各領域の露点温度の変化に応じて領域ごとに露点温度を制御することができる。そのため、このドライルームによれば、露点温度が上昇した空気を優先的に排出し、管理空間内の露点温度上昇を速やかに正常化できるという効果を奏する。

【0007】

さらに、本発明のドライルームの一実施態様としては、ドライルーム内における空気の露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する第１検出部を備えることを特徴とする。
このドライルームによれば、空気の露点温度の上昇を引き起こす物質を検出して、当該領域の空気の排気量を制御する。そのため、管理空間内において、空気の露点温度が変化する領域を正確に判断し、適切な排気量の制御を行うことができるという効果を奏する。

【0008】

さらに、本発明のドライルームの一実施態様としては、露点温度の上昇を引き起こす物質の領域への侵入を事前に検出する第２検出部を備えることを特徴とする。
このドライルームによれば、作業者や水などの室内の露点温度を上昇させる物質の入出を事前に検出するため、例えば、出入口付近の排気部の排気量を増加する等、当該物質の入出に対して迅速に露点温度の制御を行うことができるという効果を奏する。

【0009】

さらに、本発明のドライルームの一実施態様としては、領域の空気の露点温度を制御する制御部を備えることを特徴とする。
このドライルームによれば、各領域の空気の露点温度を検出し、その測定値の変化などに応じて、当該領域の空気の排気量を制御する。そのため、管理空間内において、どの領域の空気の露点温度が変化しているのかを正確に判断し、適切な排気量の制御を行うことができるという効果を奏する。

【0010】

上記課題を解決するための本発明のドライルームの制御方法は、管理空間内の空気を、管理空間内の異なる領域から排気する排気ステップと、前記領域から排気する空気の排気量を個別に調整する排気量調整ステップと、を備えることを特徴とするものである。
このドライルームの制御方法によれば、管理空間内の異なる領域から排気する空気の排気量を個別に調整することから、管理空間内の各領域の露点温度の変化に応じて領域ごとに露点温度を制御することができる。そのため、このドライルームの制御方法によれば、露点温度が上昇した空気を優先的に排出し、管理空間内の露点温度上昇を速やかに正常化できるという効果を奏する。

【発明の効果】

【0011】

本発明によれば、トライブース内の所定の空間の湿度が上昇した際に、あるいは上昇することが予測される際に、効率的に室内の湿度を調節し、素早く湿度管理を行うことが可能なドライルームを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0012】

【図1】本発明の第１の実施態様のドライルームの構造を示す概略説明図である。（Ａ）ドライルームの正面図である。（Ｂ）ドライルームの背面図である。（Ｃ）ドライルームの左側面図である。（Ｄ）ドライルームの平面図である。

【図2】本発明の第１の実施態様における排気の制御方法を示すブロック図である。

【図3】本発明の第１の実施態様のドライルームと除湿装置の構造を示す概略説明図である。

【図4】本発明の第１の実施態様のドライルームの排気部の構造を示す概略説明図である。（Ａ）排気部の正面図である。（Ｂ）排気部の斜視図である。（Ｃ）排気部のＡ－Ａ’断面図である。（Ｄ）排気部のＡ－Ａ’断面の斜視図である。

【図5】本発明の第１の実施態様のドライルームの排気部の制御について説明する概略説明図である。（Ａ）ドライルームの異なる領域にそれぞれ配置した排気部を示す。（Ｂ）異なる領域にそれぞれ配置した排気部の空気の排気量を個別に制御することを示す概略説明図である。

【図6】本発明の第１の実施態様のドライルームの検出部による制御について説明する概略説明図である。（Ａ）検出部による排気部の空気の排気量を個別に制御することを示す概略説明図である。（Ｂ）作業者が管理空間内を移動した際に、検出部による排気部の空気の排気量を個別に制御することを示す概略説明図である。

【図7】本発明の第２の実施態様のドライルームの構造を示す概略説明図である。（Ａ）ドライルームの正面図である。（Ｂ）露点温度の上昇を引き起こす物質の入室を検出する第２検出部による制御について説明する概略説明図である。

【図8】本発明の第３の実施態様のドライルームと除湿装置の構造を示す概略説明図である。

【図9】本発明の第４の実施態様のドライルームの構造を示す概略説明図である。（Ａ）ドライルームの正面図である。（Ｂ）ドライルームの背面図である。（Ｃ）ドライルームの左側面図である。（Ｄ）ドライルームの平面図である。

【図10】本発明の第４の実施態様のドライルームの所定の領域の空気の排気量を個別に制御することを示す概略説明図である。

【図11】本発明の第５の実施態様のドライルームの構造を示す概略説明図である。（Ａ）ドライルームの正面図である。（Ｂ）所定の領域の空気の排気量を個別に制御することを示す概略説明図である。

【図12】本発明の第６の実施態様のドライルームの第１検出部の物体の重量を検出してダンパが機械的に開口する構造を示す概略説明図である。

【発明を実施するための形態】

【0013】

以下、図面を参照しつつ本発明に係るドライルームの実施態様を詳細に説明する。なお、実施態様に記載するドライルームについては、本発明に係るドライルームを説明するために例示したに過ぎず、これに限定されるものではない。
また、ドライルームの制御方法における各ステップの説明は、各ステップに対応するドライルームの各構成の作動により説明する。

【0014】

〔第１の実施態様〕
図１は、本発明の第１の実施態様におけるドライルーム１Ａの構造を示す概略説明図である。（Ａ）はドライルーム１Ａの正面図であり、（Ｂ）はドライルーム１Ａの背面図であり、（Ｃ）はドライルーム１Ａの左側面図であり、（Ｄ）はドライルーム１Ａの平面図である。なお、ドライルーム１Ａの右側面図は、（Ｃ）のドライルーム１Ａの左側面図と同一であるので省略した。また、ドライルーム１Ａは、床面を備えていないため、底面図についても省略した。

【0015】

本発明のドライルーム１Ａは、工場や建屋内に配置されるものであり、内部の空間の露点温度を外部の空間より低く調節することにより、製造工程等の低湿度環境下で行う作業の作業空間を提供するものである。図１に示すように、本発明のドライルーム１Ａは、排気部２ａ～２ｄを有する４本の支柱３ａ～３ｄと天井４を備え、周囲をビニールカーテン５で囲うことにより、内部に、外部の空間より露点温度が低い管理空間１５を形成している。なお、本発明において、「露点温度」とは、実質的には空間の乾燥の程度を示すものであり、実際に露点温度により管理しても、湿度など空間の乾燥状態を示す他の指標で管理してもよい。

【0016】

本発明のドライルーム１Ａは、露点温度が調節された空気を供給する供給部６と、管理空間１５の空気を排気する排気部２を備え、管理空間１５の露点温度を外部の空間より低く調節するものである。さらには、本発明のドライルーム１Ａは、管理空間１５内の露点温度を制御するドライルームであって、管理空間１５内の空気の排気を行う複数の排気部２ａ～２ｄを備え、前記複数の排気部２ａ～２ｄは、管理空間１５内の異なる領域（図５（Ａ）の「領域Ｒａ」～「領域Ｒｄ」参照。）に配置され、各領域から排気する空気の排気量を個別に調整することを特徴とするものである。
なお、本発明における「制御」とは、ドライルーム１Ａ内の管理空間１５内の露点温度を調節することを意味し、例えば、管理空間内の露点温度を所定の温度に調節するだけでなく、管理空間外の露点温度よりも低下させる操作なども含む。
以下に、各部について詳細に説明する。

【0017】

（管理空間）
管理空間１５は、図１（Ａ）～図１（Ｄ）に示すように、支柱３ａ～３ｄ、天井４、正面、背面及び両側面を覆うビニールカーテン５から構成される。天井４には、露点温度が調節された空気を供給する供給部６、正面のビニールカーテン５には、作業者等が入出するための出入口７を備える。支柱３ａ～３ｄの内部には、空気が通気する通気路（不図示）があり、管理空間１５の空気を排気するための排気部２ａ～２ｄを構成する。また、支柱３ａ～３ｄの底部には、アジャスタ８及びキャスタ９を備える。

【0018】

支柱３ａ～３ｄに取り付けられたアジャスタ８は、ドライルーム１Ａの位置を固定し、各支柱の高さを個別に調整するものである。また、キャスタ９は、ドライルーム１Ａの移動時に資するものである。これにより、ドライルーム１Ａの移動と固定を簡便且つ自由自在とすることが可能となる。

【0019】

支柱３ａ～３ｄと天井４、ビニールカーテン５は、外部と隔離した閉鎖空間を形成する。これにより、湿度を管理することができる管理空間１５を提供することが可能となる。
また、ドライルーム１Ａの正面に設置された出入口７は、管理空間１５に作業者の出入りや製品の搬入出を可能とする。なお、管理空間１５は、作業者が作業等を行う空間であってもよく、機械等のみの無人空間であってもよい。

【0020】

ドライルーム１Ａの大きさや形、出入口７の設置場所や数は、管理空間１５の用途に適した任意のものでよい。例えば、図１に示したドライルーム１Ａの背面に出入口７を設け、別の同様のドライルーム１Ａの全面の出入口７と一体とすることで、複数のドライルームを連結してもよい。

【0021】

また、ドライルーム１Ａ内の作業環境を向上させるために、ドライルーム１Ａ内に照明器具を設置してもよい。例えば、照明器具の設置場所は、柱部３や天井４の表面や内部が挙げられる。好ましくは、天井４の内部である。

【0022】

また、ビニールカーテン５の素材は、管理空間１５内の空気を通さないものであれば特に限定されない。例えば、透明や遮光の素材や帯電を防止する高分子素材が挙げられる。管理空間１５で人が作業を行う場合では、安全性等の点から透明で帯電を防ぐものが好ましい。
さらに、ビニールカーテン５の裾部から、管理空間１５内の空気が過剰に漏れ出ないように重りを配置してもよい。また、入出口７においては、管理空間１５内の空気が必要以上に漏れ出ないようにビニールカーテン５に重りを持たすことが望ましい。

【0023】

なお、第１の実施態様のドライルーム１Ａでは、管理空間１５を形成するための囲いとしてビニールカーテン５を使用しているが、本発明のドライルームにおいては、ビニールカーテン５以外の管理空間１５を形成するための囲いを用いてもよい。例えば、ビニールカーテン５に変えて、木材、鉄鋼、石材、硬質プラスチック等の板材を使用してもよい。ビニールカーテン５は、空気を通さず、軽く移動しやすいという点で好ましい。また、透明のビニールカーテンを使用することにより、内部の作業者の安全状況を外部から確認することができるという利点もある。

【0024】

管理空間１５には、供給部６から露点温度が調節された空気が供給され、排気部２ａ～２ｄから内部の空気が排出される。その際、供給部６からの空気の供給量は、排気部２ａ～２ｄの総排気量よりも大きくなるように設定する。これにより、管理空間１５の内部が陽圧になるため、作業者の入出等の際に、出入口７が一時的に開放された場合でも、外部の空気が管理空間１５の内部に流入しにくいという効果がある。

【0025】

（供給部）
図１（Ｄ）は、ドライルームの平面図である。ドライルーム１Ａは、図１（Ｄ）に示すように、天井４の上部の中央に供給部６が配置されている。供給部６は、図３に示すとおり、給気ホース２１を介して除湿装置１６に連結されている。除湿装置１６で処理され、露点温度の調節された空気は、供給部６から給気ホース２１を通ってドライルーム１Ａに供給される。なお、天井４は、水平方向に広がる空間（不図示）を有しており、さらに、天井４の管理空間１５側には、複数の供給孔４１が形成されている。供給部６から供給された空気は、天井４の内部の空間を流通することにより、水平方向に拡散し、各供給孔４１から管理空間１５の内部に流入する（なお、空気の流れは、図３中の一点鎖線により示す。）。これにより、管理空間１５の広範囲にわたって除湿装置１６で処理された空気を供給することが可能となる。

【0026】

なお、供給部６の配置される場所や数は、ドライルーム１Ａ内の湿度管理を迅速に行えるものであれば任意のものでよい。
天井４から供給される露点温度の調節された空気の流れは、管理空間１５に空気を速やかに行き渡らせることが可能であれば特に限定されるものではない。例えば、平行な流線で一定の流速で一方向に進む一方向流であっても、方向が定まっていない非一方向流であってもよい。なお、一方向流は、乱れのない押し出し流れにより汚染の拡散を抑えて管理空間を清浄な気体で置換できるので、管理空間１５の湿度管理だけでなく清浄度も維持できることから好ましい。

【0027】

また、供給部６より流入する空気を、任意のエアフィルターで処理してもよい。これにより、除湿装置１６で除去しきれなかった浮遊微粒子や浮遊微生物等を除去することができる。
除湿装置１６は、管理空間１５の湿度管理を行えるものであれば任意のものでよい。例えば、除湿性能が高いデシカント式除湿装置が好ましい。

【0028】

（排気部）
支柱３ａ～３ｄの内部には、空気が通気する通気路（不図示）があり、管理空間１５の空気を排気するための排気部２ａ～２ｄを構成する。図４に、排気部２ａの構造を示す。図４（Ａ）は正面図であり、図４（Ｂ）は斜視図である。なお、排気部２ａ～２ｄは同様の構造であるため、排気部２ｂ～２ｄについては省略する。支柱３ａの底部には、管理空間１５の空気を支柱３ａに吸い込むための吸い込み口１２ａが形成され、上部には、支柱３ａ内の空気を外部に排気する排気ダクト１３が形成されている。なお、各排気ダクト１３は、図示しない排気ホースにより除湿装置１６と連結されている。

【0029】

また、支柱３ａの内部の通気路には、支柱３ａの内部の空気を吸い込み口１２ａから排気ダクト１３へ送風する吸い込みファン１７が設置されている。図４（Ｃ）及び図４（Ｄ）に、支柱３ａの内部構造を示す。図４（Ｃ）は、図４（Ａ）のＡ－Ａ’で切断した断面図であり、図４（Ｄ）は、その斜視図である。なお、各支柱３ａ～３ｄにそれぞれ設置された吸い込みファン１７は、個別に送風量を調整することが可能である。

【0030】

また、排気部２ａ～２ｄにおける排気量の調整は、どのような手段であってもよい。例えば、吸い込み口１２に開度を調整できるダンパを設け、ダンパの開度で排気量を調整する手段や、複数のダンパを設けて、開くダンパの数で排気量を調整する手段などが挙げられる。また、排気部２ａ～２ｄは、作業者等を検出する検出部１０ａ～１０ｄを備えている。

【0031】

次に、排気部の制御について説明する。図５（Ａ）には、ドライルーム１Ａの異なる領域（Ｒａ～Ｒｄ）にそれぞれ配置した排気部２ａ～２ｄを示す。ここで、領域Ｒａ～Ｒｄは、仕切りを有するものではなく、各排気部２ａ～２ｄに最も近い位置をそれぞれ領域Ｒａ～Ｒｄと設定し、各排気部２ａ～２ｄから空気が排気される領域を示している。なお、各領域の空間が連通する所定の仕切りを設けて、各排気部２ａ～２ｄから空気が排気される領域を形成してもよい。

【0032】

本発明のドライルーム１Ａは、領域Ｒａ～Ｒｄの空気の排気に対応する各排気部２ａ～２ｄの排気量を個別に調整するものである。例えば、図５（Ｂ）に示すように、作業者Ｗが領域Ｒａで作業を行う際に、領域Ｒａの空気の排気を行う排気部２ａの排気量を高めるという制御である。即ち、検出部１０ａで作業者の存在を検出すると、吸い込みファン１７の回転を早くしたり、ダンパの開度を高くしたりすることで領域Ｒａの排気量を大きくするように制御する。なお、供給部６から流入した空気の流れを矢印で示し、排気量の大きさは矢印の太さで示した。

【0033】

第１の実施態様のドライルーム１Ａでは、各排気部２ａ～２ｄの排気量の調整は、支柱３ｂに設置された操作パネル１４により行うこともできる。例えば、作業者Ｗは、領域Ｒａで作業を予定している場合には、ドライルーム１Ａの内部に入室する前に、操作パネル１４により予め排気部２ａにおける排気量を高くする。これにより、作業者Ｗの作業中に領域Ｒａの露点温度が上昇しても、露点温度が上昇した空気を優先的に排出し、管理空間内の露点温度上昇を速やかに正常化できるという効果を奏する。

【0034】

（第１検出部）
第１の実施態様のドライルーム１Ａは、各支柱３ａ～３ｄに対応する各領域Ｒａ～Ｒｄを移動する露点温度の上昇を引き起こす物質や、各支柱３ａ～３ｄの近傍の露点温度を検出する第１検出部１０ａ～１０ｄを備える。特に、移動する露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する第１検出部を物体検出部、露点温度を検出する第１検出部を領域湿度検出部とする。例えば、図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、作業者Ｗが領域Ｒａから領域Ｒｂに移動する際に、操作パネル１４により排気部の排気量を変更する必要がなくなる。即ち、第１検出部１０ａ（物体検出部）が作業者等を検出しなくなることで自動的に排気部２ａの排気量を低下し、第１検出部１０ｂが作業者等を検出することで排気量２ｂの排気量を増加する制御を行うことができる。
また、第１検出部１０（領域湿度検出部）が、各支柱３ａ～３ｄの近傍の露点温度の上昇を検出すると、自動的に排気部２の排気量を増加する制御を行うことができる。

【0035】

第１検出部（物体検出部）は、露点温度の上昇を引き起こす物質を検出するものが使用できる。露点温度の上昇を引き起こす物質とは、例えば、作業者（人間）、水分を含む物体などが挙げられ、これを検出するものとしては、例えば、監視カメラや赤外線センサや局所的な重量変化を検出する重量測定器のように、露点温度の上昇を引き起こす物質の位置を検出するものである。また、物体の重量を検出する第１検出部は、物体の重量に応じて近傍のダンパが機械的に開口する構造を有していてもよい。
検出部として、露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する場合には、各領域Ｒａ～Ｒｄの空間の水分量が変化する前に排気量の調整をすることができるため、素早い露点温度の調整が可能である。

【0036】

また、第１検出部（領域湿度検出部）は、空気の露点温度を検出するものが使用できる。例えば、湿度計や露点計のように直接的に空気中の水分量を検出するものが挙げられる。検出部１１として、湿度計や露点計のように直接的に空気中の水分量を検出するものを使用する場合には、各領域Ｒａ～Ｒｄの空間の水分量の変化を正確に確認できるため、高精度な露点温度の調整をすることができる。

【0037】

（制御部）
制御部１１は、ドライルーム１Ａ内の任意の箇所に設けられてもよいし、ドライルーム１Ａ外に設置されてもよい。図２に示すように、制御部１１は、第１検出部１０と排気部２と連絡する。これらの連絡は、ケーブルで直接接続されるものでもよいし、無線等の通信技術を介して間接的に接続されるものであってもよい。
制御部１１は、第１検出部１０で検出された情報に基づいて、管理空間１５の露点温度を維持するために、排気部２の動作を調節する。これにより、領域Ｒａ～Ｒｄの露点温度を自動的に制御することができる。

【0038】

なお、露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する場合には、当該物質の種類や状態に応じて排気部の排気量を制御してもよい。例えば、作業者の体重や発熱量を重量測定器や赤外線センサにより計測して、これらの情報により、排気部における排気量を増減する制御などが挙げられる。

【0039】

以上の特徴により、本発明のドライルーム１Ａは、管理空間１５内の領域Ｒａ～Ｒｄの露点温度の変化に応じて、それに対応する各排気部２ａ～２ｄの排気量を調整することにより、露点温度が－４０℃以下の低湿雰囲気において、作業者などからの湿度負荷によって上昇した管理空間１５内の露点温度を効率的、かつ、適切に管理することができる。

【0040】

〔第２の実施態様〕
本発明の第２の実施態様のドライルーム１Ｂは、第１の実施態様のドライルーム１Ａに、さらに第２検出部１８を備えるものである。なお、その他の構成は、第１の実施態様のドライルーム１Ａと同様であるため、説明を省略する。

【0041】

（第２検出部）
ドライルーム１Ｂは、図７（Ａ）に示すように、管理空間外の支柱３ｂに第２検出部１８を備える。第２検出部１８は、例えば、図７（Ｂ）に示すように、作業者等の露点温度の上昇を引き起こす物質の入室を検出して、出入口７付近の排気部（例えば、排気部２ａと２ｂ）に対して、事前に排気量を高める指示を送る。これにより、作業者などによる管理空間１５に対する湿度負荷を自動的に低減することが可能となる。

【0042】

第２検出部１８としては、露点温度の上昇を引き起こす物質を検出するものであり、例えば、監視カメラ、赤外線センサ、重量測定器のように、露点温度の上昇を引き起こす物質を検出するものである。なお、第２検出部１８による制御としては、当該物質の種類や状態に応じて排気部の排気量を制御してもよい。例えば、作業者の体重や発熱量を重量測定器や赤外線センサにより計測して、これらの情報により、排気部における排気量を増減する制御などが挙げられる。

【0043】

なお、第２検出部１８は、管理空間外であれば、支柱３ｂに設置しなくともよい。例えば、ドライルーム１Ｂと独立した装置として、製造設備等におけるドライルーム１Ｂまでの作業者の導線上に設置してもよい。

【0044】

以上の特徴により、本発明のドライルーム１Ｂは、管理空間１５の外側に第２検出部１８を設けることにより、人の出入りや製品の搬入出など、露点温度の上昇を引き起こす物質の侵入に先立ち、事前に出入口７近傍の排気部の排気量を高めて、前記侵入による湿度負荷を低減することができる。これにより、人等の出入りなどの湿度負荷があっても、管理空間１５の露点温度を効率的、かつ、適切に管理することができる。

【0045】

〔第３の実施態様〕
本発明の第３の実施態様のドライルーム１Ｃは、第１の実施態様のドライルーム１Ａの各排気部２ａ～２ｄが除湿装置１６と連結しているものである。第３の実施態様のドライルーム１Ｃは、図８に示すように、各排気部２ａ～２ｄの排気ダクト１３が一つの排気ホース１９に連結されており、排気ホース１９は除湿装置１６に連結する。また、排気ホース１９は、ドライルーム１Ｃから排気された空気を除湿装置１６に送風する排気ファン２０を備えており、排気ファン２０によりドライルーム１Ｃからの総排気量を設定する。

【0046】

また、第３の実施態様のドライルーム１Ｃでは、第１の実施態様のドライルーム１Ａの各支柱３ａ～３ｄに設置されていた吸い込みファン１７は備えておらず、各排気部２ａ～２ｄにおける排気量の個別の調整は、各支柱３ａ～３ｄの吸い込み口１２のダンパの開度で調整する。その他の構成は、第１の実施態様のドライルーム１Ａと同様であるため、説明を省略する。

【0047】

以上の特徴により、本発明のドライルーム１Ｃは、各排気部２ａ～２ｄの総排気量を一つの排気ファン２０で制御するため、総排気量を制御しやすく、管理空間の内部を陽圧に調整することが容易であるという効果を奏する。

【0048】

〔第４の実施態様〕
本発明の第４の実施態様のドライルーム１Ｄは、第１の実施態様のドライルーム１Ａの各吸い込み口１２ａ～１２ｄに変えて、複数のダンパ２２を有する配管からなる排気部２ｅ、２ｆ及び２ｇを備えたものである（図９（Ｄ）参照。）。また、第１の実施態様のドライルーム１Ａの第１検出部１０ａ～１０ｄに変えて、監視カメラからなる第１検出部１０ｅを備えたものである（図９（Ａ）参照。）。その他の構成は、第１の実施態様のドライルーム１Ａと同様であるため、説明を省略する。

【0049】

排気部２ｅは、支柱３ｂの内部に形成された排気部２ｂと、支柱３ｃの内部に形成された排気部２ｃとを連結する配管であり、排気部２ｅには管理空間１５側に向けて複数のダンパ２２が設置されている。また、排気部２ｆは、支柱３ｃの内部に形成された排気部２ｃと、支柱３ｄの内部に形成された排気部２ｄとを連結する配管であり、排気部３ｇは、支柱３ｄの内部に形成された排気部２ｄと、支柱３ａの内部に形成された排気部２ａとを連結する配管である。排気部２ｅ、２ｆ及び２ｇに設置された複数のダンパ２２は、開閉動作が個別に制御される。

【0050】

第１検出部１０ｅは、監視カメラからなり、管理空間１５内の作業者Ｗ等の露点温度の上昇を引き起こす物質を検出する。第４の実施態様のドライルーム１Ｄの制御では、例えば、図１０に示すように、作業者Ｗの位置を監視カメラからなる第１検出部１０ｅにより検出すると、作業者Ｗの近傍のダンパ２２を開き（開いたダンパ２２を黒色で示す。）、作業者Ｗの周囲には、露点温度が上昇した空気を優先的に排出する領域Ｒｅが形成される。そして、作業者Ｗが移動すれば、作業者Ｗの位置に応じて、適切なダンパ２２が開閉し、露点温度が上昇した空気を優先的に排出する。なお、ダンパ２２の開閉は、全開又は全閉のオンオフ制御でもよいし、複数のダンパ２２について、それぞれ開度を制御してもよい。
また、作業者Ｗなどの露点温度の上昇を引き起こす物質を検出しない場合（作業者Ｗがドライルーム内にいない場合など）には、所定の位置（例えば、支柱３ａ～３ｄの近傍）のダンパ２２を開いて、管理空間１５内の露点温度を制御すればよい。

【0051】

〔第５の実施態様〕
本発明の第５の実施態様のドライルーム１Ｅは、第３の実施態様のドライルーム１Ｃの各排気部２ａ～２ｄに変えて、内部に空間を有する床からなる排気部２ｈを備えたものである（図１０（Ａ）参照。）。また、第３の実施態様のドライルーム１Ｃの第１検出部１０ａ～１０ｄに変えて、床全域に配置された重量測定器からなる第１検出部１０ｆを備えたものである（図１０（Ａ）参照。）。その他の構成は、第３の実施態様のドライルーム１Ｃと同様であるため、説明を省略する。

【0052】

排気部２ｈは、内部に空間を有する床からなり、床は管理空間１５側の面に、複数の排気孔２３を有している。また、床の内部の空間は、支柱３ａ～３ｄの内部の通気路と連通しており、排気ダクト１３を介して管理空間１５内の空気を排気する。排気孔２３は、開閉動作が個別に制御され、所定の領域の空気の排気量を選択的に調整することができる。

【0053】

第１検出部１０ｆは、床全域に配置された重量測定器からなり、管理空間１５内の作業者Ｗ等の露点温度の上昇を引き起こす物質の位置及び重量を検出する。第５の実施態様のドライルーム１Ｅの制御では、例えば、図１０（Ｂ）に示すように、作業者Ｗの位置を重量測定器からなる第１検出部１０ｆにより検出すると、作業者Ｗの近傍の排気孔２３を開き（開いた排気孔２３を灰色で示す。）、作業者Ｗの周囲には、露点温度が上昇した空気を優先的に排出する領域Ｒｇが形成される。そして、作業者Ｗが移動すれば、作業者Ｗの位置に応じて、適切な排気孔２３が開閉し、露点温度が上昇した空気を優先的に排出する。なお、排気孔２３の開閉は、全開又は全閉のオンオフ制御でもよいし、複数の排気孔２３について、それぞれ開度を制御してもよい。また、作業者Ｗの体重に応じて、排気孔２３の開く領域を増減するように制御してもよい。
また、排気孔２３の開閉は、上記第４の実施態様のように、監視カメラからなる第１検出部が作業者Ｗの位置を検出し、その周囲について制御するものとしてもよい。
なお、作業者Ｗなどの露点温度の上昇を引き起こす物質を検出しない場合には、所定の位置（例えば、全域）の排気孔２３を開いて、管理空間１５内の露点温度を制御すればよい。

【0054】

〔第６の実施態様〕
図１２は、本発明の第６の実施態様のドライルームの第１検出部１０ｇの構造を示す概略説明図である。図１２に示すように、第１の検出部１０ｇは、床から離間して配置された複数のダンパ２５と、複数のダンパ２５を垂直上方向に付勢する付勢部材２４を備えている。複数のダンパ２５と床面の間には、空気を排気する排気部２ｇを形成しており、ダンパ２５が下降すると、ダンパ２５の隙間からドライルーム内の空気が排気される構造である。一方、ダンパ２５が付勢部材２４により上方に付勢されると、ダンパ２５は閉じるように形成されている。なお、付勢部材２４は、特に制限されないが、例えば、コイルばねやスポンジなどが挙げられる。

【0055】

図１２に示すように、本発明の第６の実施態様のドライルームの第１検出部１０ｇによれば、作業者Ｗがドライルーム内で作業すると、ダンパ２５を足で押し下げるため、機械的にダンパ２５が開口する。よって、作業者Ｗの存在するエリアのみ局所的に空気の排気量が増加し、速やかに露点温度を低下することができる。

【0056】

なお、作業者等の重量により機械的にダンパを開口する構造としては、物体の重量により押し下げる力を利用してダンパを開口する構造であればよく、上記の第１検出部１０ｇに限るものではない。重量により機械的にダンパを開口する構造を用いることにより、制御部などの電気的な制御が不要であるという利点がある。

【産業上の利用可能性】

【0057】

本発明のドライルームは、作業エリアの湿度を目的とする任意の露点温度に安定的に調節するために利用することができる。具体的には、効率的、かつ、速やかに目的とする湿度条件を維持することが可能なドライルームを提供することができる。

【0058】

また、本発明のドライルームは、内部の空間の露点温度を外部の空間より低く調節することにより、電子部品や半導体、電池、医薬品、塗料などの製品製造における製造工程や分析工程等の低湿度環境下で行う作業の作業空間を提供するものである。

【符号の説明】

【0059】

１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅ…ドライルーム、２、２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈ，２ｇ…排気部、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ…支柱、４…天井、４１…供給孔、５…ビニールカーテン、６…供給部、７…出入口、８…アジャスタ、９…キャスタ、１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ，１０ｅ，１０ｆ，１０ｇ…第１検出部、１１…制御部、１２、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ…吸い込み口、１３…排気ダクト、１４…操作パネル、１５…管理空間、１６…除湿装置、１７…吸い込みファン、１８…第２検出部、１９…排気ホース、２０…排気ファン、２１…給気ホース、２２…ダンパ、２３…排気孔、付勢部材…２４、ダンパ…２５、Ｒａ，Ｒｂ，Ｒｃ，Ｒｄ，Ｒｅ，Ｒｇ…領域、Ｗ…作業者

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】