特許7366936酸化物半導体膜のエッチング方法

発明の名称　酸化物半導体膜のエッチング方法

出願人　ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社　（識別番号 316005926）

　　　　特許公開件数ランキング 267 位（120件）（共同出願を含む）

　　　　特許取得件数ランキング 74 位（329件）（共同出願を含む）

公報番号　特許-7366936

公報発行日　2023年10月23

公報URL　https://ipforce.jp/patent-jp-P_B1-7366936

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