特許 7369054 金属化フィルムの検査方法及び検査装置

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-17

(45)【発行日】2023-10-25

(54)【発明の名称】金属化フィルムの検査方法及び検査装置

(51)【国際特許分類】

   G01N 21/956 20060101AFI20231018BHJP

【ＦＩ】

G01N21/956 Z

【請求項の数】 2

(21)【出願番号】P 2020018609

(22)【出願日】2020-02-06

(65)【公開番号】P2021124414

(43)【公開日】2021-08-30

【審査請求日】2022-12-02

(73)【特許権者】

【識別番号】390022460

【氏名又は名称】株式会社指月電機製作所

(74)【代理人】

【識別番号】100100044

【弁理士】

【氏名又は名称】秋山 重夫

(74)【代理人】

【識別番号】100205888

【弁理士】

【氏名又は名称】北川 孝之助

(72)【発明者】

【氏名】笹井 浩之

【審査官】小野寺 麻美子

(56)【参考文献】

【文献】特開２００７－３０５７１８（ＪＰ，Ａ）

【文献】中国特許出願公開第１０７３８９６９１（ＣＮ，Ａ）

【文献】特開昭６２－２６２１９２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１０－１４５１４５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００１－７４４１４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２１／８４ － Ｇ０１Ｎ ２１／９５８

Ｇ０１Ｂ １１／００ － Ｇ０１Ｂ １１／３０

Ｇ０６Ｔ １／００ － Ｇ０６Ｔ １／４０

Ｇ０６Ｔ ３／００ － Ｇ０６Ｔ ７／９０

Ｇ０６Ｖ １０／００ － Ｇ０６Ｖ ２０／９０

Ｇ０６Ｖ ３０／４１８

Ｇ０６Ｖ ４０／１６

Ｇ０６Ｖ ４０／２０

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

蒸着部と非蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査方法であって、
検査対象の金属化フィルムを撮像して画像を得るステップと、
撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像に対応する領域を切り出すステップと、
切り出された切り出し画像から輝度変化点を示す第１エッジ画像を生成するステップと、
前記基準画像の非蒸着部を収縮させた収縮非蒸着部を含むマスク画像を生成するステップと、
前記第１エッジ画像と前記マスク画像とを重ね合わせ、前記収縮非蒸着部と重なる部分の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像を生成するステップと、
前記第２エッジ画像からノイズを除去したノイズ除去画像を生成するステップと、
前記ノイズ除去画像の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をするステップと、
を備える金属化フィルムの検査方法。

【請求項2】

蒸着部と非蒸着部とを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルムの検査装置であって、
検査対象の金属化フィルムを撮像して画像を得る撮像部と、
前記撮像部で撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像に対応する領域を切り出す検出部と、
前記検出部で切り出された切り出し画像から輝度変化点を示す第１エッジ画像を生成する第１生成部と、
前記基準画像の非蒸着部を収縮させた収縮非蒸着部を含むマスク画像を生成するマスク画像生成部と、
前記第１エッジ画像と前記マスク画像とを重ね合わせ、前記収縮非蒸着部と重なる部分の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像を生成する第２生成部と、
前記第２エッジ画像からノイズを除去したノイズ除去画像を生成するノイズ除去部と、
前記ノイズ除去画像の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をする判定部と、
を備える金属化フィルムの検査装置。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

この発明は、金属化フィルムの検査方法及び検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

フィルムコンデンサに使用される一般的な金属化フィルムには、金属を蒸着させた蒸着部からなる電極部に、金属を蒸着していない非蒸着部で囲まれた小電極部が形成されている。そして、互いに隣接する小電極部同士は、ヒューズ部分となる狭隘部を介して適宜電気的に接続されている。

【0003】

ところで、擦れや傷等によって生じた金属粉が非蒸着部に付着すると、その部分が導通し短絡する可能性がある。そのため、従来、検査員による目視検査が行われていた。ただ、検査員の主観的な判定に頼るところが多く、良否の一貫性確保が難しく、製品の品質の安定にも関わっていた。また、微細な欠陥であるため、判定自体が難しく、見逃してしまう可能性もあった。

【0004】

特許文献１には目視によらないフィルムの検査方法が開示されている。特許文献１では、ロール状に巻回されたテープ状物を繰り出し、巻き取る間に上下のカメラで基準点を撮像し、そのデータを基に上下の導通検査器の停止位置を補正した後、電極パターンの導通検査を行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0005】

【文献】特開２０００－２４９７３８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0006】

しかし、特許文献１の方法を金属化フィルムに適用しようとした場合、ヒューズ部分となる狭隘部を剥離して小電極部を電気的に絶縁する必要があり、自動化は困難である。また、このような方式は、最終的には導通検査器（プローブ等）を検査対象物に接触させて検査を実施するため、金属化フィルムが傷ついてしまう可能性がある。そのため、製品には適用できず、検査箇所が限られてしまうという問題がある。

【0007】

そこで本発明は、金属化フィルムの短絡箇所を非接触で検査する方法及び検査装置の提供を目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本発明の金属化フィルムの検査方法は、蒸着部１１Ａと非蒸着部１２Ａとを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルム１０Ａの検査方法であって、検査対象の金属化フィルム１０Ａを撮像して画像を得るステップ（Ｓ３１）と、撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像１３に対応する領域を切り出すステップ（Ｓ３２～Ｓ３５）と、切り出された切り出し画像１５から輝度変化点を示す第１エッジ画像１６を生成するステップ（Ｓ３６）と、前記基準画像１３の非蒸着部１２を収縮させた収縮非蒸着部１２Ｂを含むマスク画像１４を生成するステップ（Ｓ２１～Ｓ２２）と、前記第１エッジ画像１６と前記マスク画像１４とを重ね合わせ、前記収縮非蒸着部１２Ｂと重なる部分の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像１７を生成するステップ（Ｓ３７）と、前記第２エッジ画像１７からノイズを除去したノイズ除去画像１８を生成するステップ（Ｓ３８）と、前記ノイズ除去画像１８の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をするステップ（Ｓ３９）とを備えることを特徴としている。

【0009】

本発明の金属化フィルムの検査装置１は、蒸着部１１Ａと非蒸着部１２Ａとを備えるフィルムコンデンサ用金属化フィルム１０Ａの検査装置であって、検査対象の金属化フィルム１０Ａを撮像して画像を得る撮像部３と、前記撮像部３で撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、基準画像１３に対応する領域を切り出す検出部７１と、前記検出部７１で切り出された切り出し画像１５から輝度変化点を示す第１エッジ画像１６を生成する第１生成部７４と、前記基準画像１３の非蒸着部１２を収縮させた収縮非蒸着部１２Ｂを含むマスク画像１４を生成するマスク画像生成部６と、前記第１エッジ画像１６と前記マスク画像１４とを重ね合わせ、前記収縮非蒸着部１２Ｂと重なる部分の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像１７を生成する第２生成部７５と、前記第２エッジ画像１７からノイズを除去したノイズ除去画像１８を生成するノイズ除去部７６と、前記ノイズ除去画像１８の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をする判定部７７とを備えることを特徴としている。

【発明の効果】

【0010】

本発明の金属化フィルムの検査方法及び検査装置では、輝度変化点に基づいて短絡箇所を検出することができ、非接触での検査が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】この発明の一実施形態の金属化フィルムの検査装置を示す図である。

【図2】金属化フィルムを示す図である。

【図3】基準画像生成工程のフローチャートである。

【図4】マスク画像生成工程のフローチャートである。

【図5】良否判定工程のフローチャートである。

【図6】図６ａは基準画像を示す図、図６ｂはマスク画像を示す図である。

【図7】図７ａは撮像された被検査体の画像を示す図、図７ｂは輝度変化点を示す第１エッジ画像を示す図、図７ｃは第１エッジ画像とマスク画像とを重ね合わせてなる第２エッジ画像を示す図、図７ｄは第２エッジ画像からノイズを除去したノイズ除去画像を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

次に、この発明の金属化フィルムの検査装置の一実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。この発明の検査装置１は、図１に示すように、金属化フィルム１０（１０Ａ）に光を照射する照明部２と、照明部２からの光で照射された金属化フィルム１０（１０Ａ）を撮像して画像を得る撮像部３と、撮像部３で撮像された画像に基づいて金属化フィルム１０Ａの良否判定を行う良否判定部４とを備えている。

【0013】

（金属化フィルム）
金属化フィルム１０（１０Ａ）は、誘電体フィルム上に金属を蒸着したものであって、図２に示すように、金属が蒸着された蒸着部１１（１１Ａ）と、金属が蒸着されていない非蒸着部１２（１２Ａ）とを備えている。なお、図２は良品の金属化フィルム１０と、検査対象の金属化フィルム１０Ａの両方を示している。そこで区別のために、検査対象の金属化フィルム１０Ａの蒸着部、非蒸着部にはＡの添え字を付している。非蒸着部１２（１２Ａ）の形状は略Ｔ字状や直線状とされているが、例えば十字状、クロス状、斜線等、種々の形状を採用し得る。なお、誘電体フィルムの厚みは例えば２～１５μｍ、蒸着部１１（１１Ａ）の厚みは例えば０．０２～１０μｍ、非蒸着部１２（１２Ａ）の幅は例えば０．２～１０ｍｍである。

【0014】

（照明部）
照明部２は、ＬＥＤ（発光ダイオード）や蛍光灯、ハロゲンランプやメタルハライドランプ等の光源上にガラス等の光透過性の載置面を設けた透過照明台であって、載置面上に金属化フィルム１０、１０Ａを載置できるようになっている。なお、光源としては、可視光に限らず、赤外線や紫外線などの不可視光線を照射するものであってもよい。

【0015】

（撮像部）
撮像部３は、撮影レンズと撮像素子とを備えたカメラであって、例えば撮像指示の入力や画像の出力を行うためのＵＳＢ端子を備えたＵＳＢカメラである。画素数は例えば６４０×４８０であるが、金属化フィルム１０、１０Ａに合わせて適宜変更可能である。

【0016】

（良否判定部）
良否判定部４は、撮像部３で撮像された良品の画像に基づいて基準画像１３を生成する基準画像生成部５と、基準画像１３に基づいてマスク画像１４を生成するマスク画像生成部６と、基準画像１３とマスク画像１４とを用いて金属化フィルム１０Ａの良否判定を行う第１判定部７とを備えている。

【0017】

なお、このような良否判定部４は、演算部（ＣＰＵ）、記憶部（不揮発性メモリ、揮発性メモリ、記憶デバイス）、表示部（ディスプレイ）、インターフェース（キーボード、マウス）等を備えた一般的なコンピュータによって実現できる。記憶部には良否判定プログラムが格納されており、これに従って良否判定が行われる。また、記憶部は後述の第１記憶部５５や第２記憶部６３を兼ねてもよい。

【0018】

（基準画像生成部）
基準画像生成部５は、撮像された良品の画像のノイズを除去する第１ノイズ除去部５１と、画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された良品の画像の中から理想画像に対応する領域を切り出す第１検出部５２と、第１検出部５２で切り出された切り出し画像を基準画像１３として記憶する第１記憶部５５とを備えている。なお、理想画像とは、設計データに基づいた画像である。撮像された良品の画像とは、実際の金属化フィルム１０の蒸着パターン良品（蒸着パターンに欠陥の無いもの）を撮像した画像である。

【0019】

第１検出部５２は、理想画像に基づいて画像を回転させる第１角度補正部５３と、理想画像に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す第１切り出し部５４とを備えている。

【0020】

第１角度補正部５３は、撮像された良品の画像と理想画像とを縮小してなる縮小画像を生成する画像縮小部５３ａと、両方の縮小画像を比較して回転角（両者の角度ズレ）を把握する回転角把握部５３ｂと、回転角把握部５３ｂで把握した回転角に基づいて画像を回転させる（角度ズレを補正する）回転部５３ｃとを備えている。

【0021】

（マスク画像生成部）
マスク画像生成部６は、基準画像１３を２値化する２値化部６１と、基準画像１３の非蒸着部１２を収縮させた収縮非蒸着部１２Ｂを含むマスク画像１４を生成する収縮部６２と、マスク画像１４を記憶する第２記憶部６３とを備えている。

【0022】

（第１判定部）
第１判定部７は、被検査体を撮像した画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から基準画像１３に対応する領域を切り出す第２検出部７１と、第２検出部７１で切り出された切り出し画像１５から輝度変化点を示す第１エッジ画像１６を生成する第１生成部７４と、第１エッジ画像１６とマスク画像１４とを重ね合わせ、収縮非蒸着部１２Ｂと重なる部分の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像１７を生成する第２生成部７５と、第２エッジ画像１７からノイズを除去したノイズ除去画像１８を生成する第２ノイズ除去部７６と、ノイズ除去画像１８の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をする判定部７７とを備えている。

【0023】

第２検出部７１は、基準画像１３に基づいて画像を回転させる第２角度補正部７２と、基準画像１３に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す第２切り出し部７３とを備えている。

【0024】

第２角度補正部７２は、検査対象の金属化フィルム１０Ａを撮像した画像と基準画像１３とを縮小してなる縮小画像を生成する画像縮小部７２ａと、両方の縮小画像を比較して回転角（両者の角度ズレ）を把握する回転角把握部７２ｂと、回転角把握部７２ｂで把握した回転角に基づいて画像を回転させる（角度ズレを補正する）回転部７２ｃとを備えている。

【0025】

（検査方法）
次に、上記検査装置１を用いた検査方法について説明する。

【0026】

（撮像工程）
照明部２の載置面に金属化フィルム１０、１０Ａを載置して光源から光を照射するとともに、金属化フィルム１０、１０Ａを透過した光を撮像部３で撮像する（図３のＳ１１や図５のＳ３１）。この際、理想画像の非蒸着部と基準画像１３の非蒸着部１２の角度や、基準画像１３の非蒸着部１２と検査対象の金属化フィルム１０Ａの非蒸着部１２Ａの角度を合わせるように撮像してもよい。この場合、以下で説明する角度補正工程（図３のＳ１３～Ｓ１５、図５のＳ３２～Ｓ３４）は不要となる。また、非蒸着部１２、１２Ａのパターン（連続する模様：図２の場合は略Ｔ字状）を中心に撮像することが好ましい。ただ、画像にパターンが１つ以上含まれていればよい。なお、良否判断はパターン毎に行われるため、画像に複数のパターンが含まれている場合は、パターンの数だけ良否判断を繰り返す。

【0027】

（基準画像生成工程：図３のＳ１２～Ｓ１７）
続いて、基準画像１３を生成する。まず、第１ノイズ除去部５１で、撮像部３で撮像された良品の画像のノイズを除去する（図３のＳ１２）。具体的には、画像には照明部２や撮像部３に起因するノイズが生じるため、画像にフィルター処理を施してノイズを除去する。

【0028】

次に、第１検出部５２で、ノイズを除去した画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から理想画像に対応する領域を切り出す。具体的には、まず、画像縮小部５３ａで、予め設定されている理想画像とノイズを除去した画像とをともに縮小して２つの縮小画像を出力する（Ｓ１３）。次に、回転角把握部５３ｂで、２つの縮小画像を比較し、画像をどれだけ回転させれば理想画像の非蒸着部と撮像された画像の非蒸着部１２とが同形状になるか（角度が等しくなるか）を把握し、画像を回転させる角度を把握する（Ｓ１４）。そして、回転部５３ｃで、回転角把握部５３ｂで把握した角度に基づいて画像（縮小画像ではない）を回転させる（Ｓ１５）。次に、第１切り出し部５４で、理想画像に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す（Ｓ１６）。具体的には、理想画像と相関度が高くなる範囲を指定して切り出す。すなわち、蒸着部１１の大きさ、非蒸着部１２の大きさ、蒸着部１１と非蒸着部１２との位置関係が理想画像とほぼ等しくなるように切り出す。理想画像は非蒸着部１２のパターン（この実施例では略Ｔ字状）を含む画像である。従って、第１切り出し部５４で切り出された切り出し画像は、図６ａに示すように非蒸着部１２のパターンを含んだ画像となる。

【0029】

そして、第１記憶部５５に、切り出し画像を基準画像１３として記憶させて（Ｓ１７）、基準画像生成工程を完了する。このように、実際の金属化フィルム１０に基づいて基準画像１３を生成することにより、理想画像に比べてより実態に即した基準を設けることができ、精度の良い良否判定が可能となる。

【0030】

（マスク画像生成工程：図４のＳ２１～Ｓ２３）
次に、マスク画像１４を生成する。まず、２値化部６１で、基準画像１３を２値化する（Ｓ２１）。２値化により、蒸着部１１の情報は削除され、非蒸着部１２の情報のみが残る。具体的には、蒸着部１１が０、非蒸着部１２が１の情報を持つことになる。次に、図６ｂに示すように、収縮部６２で、２値化された画像の非蒸着部１２（パターン部分）のみを収縮させてマスク画像１４を生成する（Ｓ２２）。具体的には、非蒸着部１２の中心線（図示しない）に向かって両側から同じ画素数ずつ蒸着部１１を広げていき、非蒸着部１２の幅を両側から均等に狭くする。このようにして収縮された非蒸着部を以下、収縮非蒸着部１２Ｂと称す。なお、図６ｂの破線Ｂは元の非蒸着部１２の大きさを示したものであり、実際には存在しない。そして、第２記憶部６３にマスク画像１４を記憶させて（Ｓ２３）、マスク画像生成工程を完了する。

【0031】

（良否判定工程：図５のＳ３１～Ｓ３９）
基準画像１３が生成された後、次に良否判定を行う。なお、マスク画像１４については、後述するＳ３７までに生成していればよい。まず、上記撮像工程に基づいて検査対象となる金属化フィルム１０Ａを撮像する（図５のＳ３１）。

【0032】

次に、第２検出部７１で、撮像された画像に対してパターンマッチング処理を実行し、撮像された画像の中から基準画像１３に対応する領域を切り出す。具体的には、まず、画像縮小部７２ａで、基準画像１３と撮像された画像とをともに縮小して２つの縮小画像を出力する（Ｓ３２）。次に、回転角把握部７２ｂで、２つの縮小画像を比較し、画像をどれだけ回転させれば基準画像１３の非蒸着部１２と撮像された画像の非蒸着部１２とが同形状になるか（角度が等しくなるか）を把握し、画像を回転させる角度を把握する（Ｓ３３）。そして、回転部７２ｃで、回転角把握部７３ｂで把握した角度に基づいて画像（縮小画像ではない）を回転させる（Ｓ３４）。次に、第２切り出し部７３で、基準画像１３に基づいて画像から非蒸着部１２を含む画像を切り出す（Ｓ３５）。具体的には、基準画像１３と相関度が高くなる範囲を指定して切り出す。すなわち、蒸着部１１Ａの大きさ、非蒸着部１２Ａの大きさ、蒸着部１１Ａと非蒸着部１２Ａとの位置関係が基準画像１３の蒸着部１１、非蒸着部１２とほぼ等しくなるように切り出す。基準画像１３は、図６ａに示すように、非蒸着部１２のパターン（この実施例では略Ｔ字状）を含む画像である。従って、第２切り出し部７３で切り出された切り出し画像１５は、図７ａに示すように非蒸着部１２Ａのパターンを含んだ画像となる。

【0033】

続いて、第１生成部７４で、第２検出部７１で切り出された切り出し画像１５から輝度変化点を示す第１エッジ画像１６を生成する（Ｓ３６）。具体的には、画像中、輝度が急激に変化する点（画素）を抽出し、それ以外の部分の情報を削除する。より具体的には、隣接する画素間で輝度の差が最大となる画素を抽出する。輝度が急激に変化するのは蒸着部１１Ａと非蒸着部１２Ａの境界（非蒸着部１２Ａの輪郭）である。従って、第１エッジ画像１６には、パターン外周（蒸着部１１Ａのうち、意図的に金属を蒸着させた部分と非蒸着部１２Ａとの境界）１２Ｃと、欠陥部分（蒸着部１１Ａのうち、意図せず金属が蒸着／付着した部分と非蒸着部１２Ａとの境界）Ｓと、ノイズ部分Ｎとの３種類の輝度変化点の情報が現れることになる。

【0034】

次に、第２生成部７５で、第１エッジ画像１６とマスク画像１４とを重ね合わせ、基準画像１３の非蒸着部１２の輪郭Ｂよりも内側の輝度変化点のみを表す第２エッジ画像１７を生成する（Ｓ３７）。収縮非蒸着部１２Ｂは実際の非蒸着部１２よりも狭幅となっている。また、収縮非蒸着部１２Ｂにしか情報が無い（収縮非蒸着部１２Ｂは１、蒸着部１１は０とされている）。そのため、欠陥部分Ｓやノイズ部分Ｎの輝度変化点の情報を含む第１エッジ画像１６とマスク画像１４とを画素間で積算（要素単位の乗算）すれば、図７ｃに示すように、基準画像１３の非蒸着部１２の輪郭Ｂよりも所定量内側の情報のみが残る。具体的には、基準画像１３の非蒸着部１２の輪郭Ｂと収縮蒸着部１２Ｂとの差分だけ、基準画像１３の非蒸着部１２の輪郭Ｂよりも内側に入った部分の情報のみが残る。なおこの状態は、収縮蒸着部１２Ｂの輪郭よりも内側（第１エッジ画像１６とマスク画像１４とを重ね合わせたとき、収縮蒸着部１２Ｂと重なる部分）の情報のみが残るともいえる。そのため、パターン外周１２ｃの情報は除かれ、欠陥部分Ｓとノイズ部分Ｎの情報のみが残ることになる。

【0035】

次に、第２ノイズ除去部７６で、第２エッジ画像１７からノイズを除去してノイズ除去画像１８を生成する（Ｓ３８）。図７ｃに示すように、第２エッジ画像１７には、照明部２や撮像部３に起因するノイズが入り込んでいるとともに、短絡を生じない微小な欠陥が見られるため、画像にフィルター処理を施してこれらを除去する。

【0036】

そして、判定部７７で、ノイズ除去画像１８の輝度変化点の大きさを算出して限度値と照合し、良否判定をする（Ｓ３９）。限度値は面積や長さ等である。例えば、輝度変化点で囲まれた部分の面積（画素数）や輝度変化点の長さ（画素数）が４０画素以上のときに不良と判断する。なお、不良と判断する画素数については、撮像部３の画素数や非蒸着部１２Ａの幅に合わせて適宜変更する。例えば、撮像部３の撮影可能画素数が大きい場合は、それに応じて大きくすることが好ましい。また、非蒸着部１２Ａの幅が大きくなれば、それに応じて大きくすることが好ましい。以上で、良否判定工程が完了する。

【0037】

このように本発明は、良品の画像に基づいて検査対象の画像から不要な情報を削除しているため、真に不要な情報のみを的確に且つ精度良く削除することができ、精度良く欠陥の有無を検知することができる。例えば、検査対象の画像を適宜、膨張収縮させることで欠陥を消し、その画像に基づいて不要な情報を削除しようとしても、膨張収縮により元の形状を維持できなくなる場合があり、その場合、精度良く不要な情報を削除することは困難となる。

【0038】

以上に、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記実施形態に限定されるものではなく、この発明の範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、図２では略Ｔ字状のパターンのみであったが、複数種類のパターンを備える金属化フィルムもある。この場合、各パターンで基準画像１３を設定し、最も相関度が高くなる基準画像１３に基づいて画像を切り出すようにすればよい。

【0039】

なお、基準画像１３として予め撮影しておいた良品の画像や設計図に基づく理想画像を用いる場合、基準画像生成工程は不要である。また、基準画像生成部５を設ける必要もない。

【0040】

画像縮小部５３ａ、７２ａについては必ずしも設ける必要はない。すなわち、理想画像や基準画像１３と未縮小の画像とを比較して画像を回転するようにしてもよい。

【0041】

第１検出部５２と第２検出部７１、第１角度補正部５３と第２角度補正部７２、第１切り出し部５４と第２切り出し部７３、第１記憶部５５と第２記憶部６３については一方を他方にまとめてもよい。すなわち、例えば第１検出部５２が第２検出部７１を兼ねていてもよい。

【0042】

また、撮像部３は金属化フィルム１０、１０Ａを透過した光を撮像していたが、金属化フィルム１０、１０Ａを反射した光を撮像してもよい。

【符号の説明】

【0043】

１ 検査装置
２ 照明部
３ 撮像部
４ 良否判定部
５ 基準画像生成部
５１ 第１ノイズ除去部
５２ 第１検出部
５３ 第１角度補正部
５３ａ 画像縮小部
５３ｂ 回転角把握部
５３ｃ 回転部
５４ 第１切り出し部
５５ 第１記憶部
６ マスク画像生成部
６１ ２値化部
６２ 収縮部
６３ 第２記憶部
７ 第１判定部
７１ 第２検出部
７２ 第２角度補正部
７２ａ 画像縮小部
７２ｂ 回転角把握部
７２ｃ 回転部
７３ 第２切り出し部
７４ 第１生成部
７５ 第２生成部
７６ 第２ノイズ除去部
７７ 判定部
１０ 良品の金属化フィルム
１０Ａ 検査対象の金属化フィルム
１１ 良品の蒸着部
１１Ａ 検査対象の蒸着部
１２ 良品の非蒸着部
１２Ａ 検査対象の非蒸着部
１２Ｂ 収縮非蒸着部
１２Ｃ パターン外周
１３ 基準画像
１４ マスク画像
１５ 切り出し画像
１６ 第１エッジ画像
１７ 第２エッジ画像
１８ ノイズ除去画像
Ｂ 基準画像の非蒸着部の輪郭
Ｓ 欠陥部分
Ｎ ノイズ

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】