(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-19
(45)【発行日】2023-10-27
(54)【発明の名称】工作機械におけるすべり案内の診断方法
(51)【国際特許分類】
G01M 99/00 20110101AFI20231020BHJP
B23Q 17/00 20060101ALI20231020BHJP
【ＦＩ】
G01M99/00 Z
B23Q17/00 A
【請求項の数】
3
(21)【出願番号】P 2020076264
(22)【出願日】2020-04-22
(65)【公開番号】P2021173587
(43)【公開日】2021-11-01
【審査請求日】2022-11-30
(73)【特許権者】
【識別番号】000149066
【氏名又は名称】オークマ株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100078721
【弁理士】
【氏名又は名称】石田 喜樹
(74)【代理人】
【識別番号】100121142
【弁理士】
【氏名又は名称】上田 恭一
(72)【発明者】
【氏名】曽我部 英介
【審査官】中村 圭伸
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１３－６９１９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平３－２６４２４２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平５－２０２９３０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－８２２７８（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１９－７２８１４（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－４４４１４（ＪＰ，Ａ）
【文献】米国特許第６２３７４５３（ＵＳ，Ｂ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ２３Ｑ １１／１２
Ｂ２３Ｑ １５／００ － ２３／００
Ｆ１６Ｃ ２９／０２
Ｆ１６Ｃ ３３／１０
Ｇ０１Ｍ ９９／００
Ｇ０５Ｂ １９／４０４
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
案内面を備えたガイドと、前記案内面上を摺動するスライド面を備えたスライダと、前記ガイドと前記スライダとの間に介在されるジブと、前記ガイドと前記スライダとの何れか一方に設けられ、前記案内面と前記スライド面との間に潤滑油を供給可能な潤滑油流路と、前記スライダを駆動させるモータとを含む送り軸と、前記潤滑油流路に潤滑油を供給する潤滑油供給装置と、前記案内面と前記スライド面との間に供給された潤滑油の温度を検出する温度センサと、を備えた工作機械において、前記案内面と前記スライド面とで構成されるすべり案内の異常を、前記ジブの締め付け度合いに基づいて診断する方法であって、
前記送り軸の往復動作を複数の送り速度で実施し、各前記送り速度における前記モータのモータトルクと前記温度センサの温度情報とを取得する第１工程と、
各前記送り速度と各前記温度情報と前記案内面の正常時の面圧とから各前記送り速度のすべり特性数を演算する第２工程と、
各前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数を演算する第３工程と、
前記第３工程で演算した前記近似関数と、予め同定した正常時の前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数とを比較する第４工程と、
前記第４工程の比較結果に基づいて前記ジブの締め付け度合いの異常の有無を判定する第５工程と、
を実行することを特徴とする工作機械におけるすべり案内の診断方法。
【請求項2】
前記第１工程では、潤滑形態が流体潤滑となる速度領域の前記送り速度における前記モータトルクを測定することを特徴とする請求項１に記載の工作機械におけるすべり案内の診断方法。
【請求項3】
前記温度センサは、前記潤滑油流路の近傍に設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の工作機械におけるすべり案内の診断方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、マシニングセンタ等の工作機械に設けられるすべり案内の状態を診断する方法に関する。
【背景技術】
【0002】
工作機械は、コラムやベッドに代表される構造体に形成した案内面と、その案内面上を移動可能なテーブルなどの移動体に形成したスライド面とによって構成されるすべり案内を有している。移動体の稼動時は、案内面とスライド面との間に潤滑油が介在される。
このすべり案内では、高速移動時や切削時のスライド面の浮き上がりを防止するため、図１に示すように、移動体側のスライダ１と、構造体側のガイド２との間にジブ（「ギブ」とも言う）３を介在させて、スライダ１のスライド面１ａをガイド２の案内面２ａに一定の面圧で拘束している。しかし、ジブ３の締め付けが弱いと面圧が低下し、浮き上がり増加による加工精度悪化を招く。
そこで、特許文献１では、スケールなどの位置検出手段を用い、移動体のロストモーション又は駆動モータの電流値を測定し、設定した閾値と比較することで、ジブの締め付け状態を診断する方法が開示されている。
このすべり案内では、高速移動時や切削時のスライド面の浮き上がりを防止するため、図１に示すように、移動体側のスライダ１と、構造体側のガイド２との間にジブ（「ギブ」とも言う）３を介在させて、スライダ１のスライド面１ａをガイド２の案内面２ａに一定の面圧で拘束している。しかし、ジブ３の締め付けが弱いと面圧が低下し、浮き上がり増加による加工精度悪化を招く。
そこで、特許文献１では、スケールなどの位置検出手段を用い、移動体のロストモーション又は駆動モータの電流値を測定し、設定した閾値と比較することで、ジブの締め付け状態を診断する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１３－６９１９２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献１のようなジブ締め付け状態の診断方法では、スケールのような高精度でロストモーションを検出できる手段が必要となり、装置のコストが高くなる。
また、駆動モータの電流値を用いて診断する手段は、摺動抵抗の影響を受ける。この摺動抵抗は潤滑油の粘度の影響を受け、粘度は環境温度で変化する。図２に潤滑油の温度と粘度の関係、図３に潤滑油の粘度が変化した場合のモータのトルク（モータの電流と同等）の値を示す。図２から、潤滑油の温度によって、粘度が大きく変化することがわかる。また図３から、粘度が異なると、モータのトルクが変化することがわかる。よって、特許文献１に記載のように駆動モータの電流値を用いて診断する手段では、ジブの締め付け度合いを正確に診断できない。すなわち、特許文献１のような従来の技術では、スケール等の設置に伴うコストアップに加えて、潤滑油の粘度変化がもたらす駆動モータの電流値変動によって診断が正確にできないという課題がある。
また、駆動モータの電流値を用いて診断する手段は、摺動抵抗の影響を受ける。この摺動抵抗は潤滑油の粘度の影響を受け、粘度は環境温度で変化する。図２に潤滑油の温度と粘度の関係、図３に潤滑油の粘度が変化した場合のモータのトルク（モータの電流と同等）の値を示す。図２から、潤滑油の温度によって、粘度が大きく変化することがわかる。また図３から、粘度が異なると、モータのトルクが変化することがわかる。よって、特許文献１に記載のように駆動モータの電流値を用いて診断する手段では、ジブの締め付け度合いを正確に診断できない。すなわち、特許文献１のような従来の技術では、スケール等の設置に伴うコストアップに加えて、潤滑油の粘度変化がもたらす駆動モータの電流値変動によって診断が正確にできないという課題がある。
【0005】
そこで、本発明は、スケールなどの高精度な位置検出手段を用いることなく、潤滑油の粘度変化の影響を受けずに低コストでジブの締め付け度合い、すなわちすべり案内の状態を正確に診断することができる工作機械におけるすべり案内の診断方法を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【0006】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、案内面を備えたガイドと、前記案内面上を摺動するスライド面を備えたスライダと、前記ガイドと前記スライダとの間に介在されるジブと、前記ガイドと前記スライダとの何れか一方に設けられ、前記案内面と前記スライド面との間に潤滑油を供給可能な潤滑油流路と、前記スライダを駆動させるモータとを含む送り軸と、
前記潤滑油流路に潤滑油を供給する潤滑油供給装置と、前記案内面と前記スライド面との間に供給された潤滑油の温度を検出する温度センサと、を備えた工作機械において、前記案内面と前記スライド面とで構成されるすべり案内の異常を、前記ジブの締め付け度合いに基づいて診断する方法であって、
前記送り軸の往復動作を複数の送り速度で実施し、各前記送り速度における前記モータのモータトルクと前記温度センサの温度情報とを取得する第１工程と、
各前記送り速度と各前記温度情報と前記案内面の正常時の面圧とから各前記送り速度のすべり特性数を演算する第２工程と、
各前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数を演算する第３工程と、
前記第３工程で演算した前記近似関数と、予め同定した正常時の前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数とを比較する第４工程と、
前記第４工程の比較結果に基づいて前記ジブの締め付け度合いの異常の有無を判定する第５工程と、を実行することを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、上記構成において、前記第１工程では、潤滑形態が流体潤滑となる速度領域の前記送り速度における前記モータトルクを測定することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、上記構成において、前記温度センサは、前記潤滑油流路の近傍に設けられていることを特徴とする。
前記潤滑油流路に潤滑油を供給する潤滑油供給装置と、前記案内面と前記スライド面との間に供給された潤滑油の温度を検出する温度センサと、を備えた工作機械において、前記案内面と前記スライド面とで構成されるすべり案内の異常を、前記ジブの締め付け度合いに基づいて診断する方法であって、
前記送り軸の往復動作を複数の送り速度で実施し、各前記送り速度における前記モータのモータトルクと前記温度センサの温度情報とを取得する第１工程と、
各前記送り速度と各前記温度情報と前記案内面の正常時の面圧とから各前記送り速度のすべり特性数を演算する第２工程と、
各前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数を演算する第３工程と、
前記第３工程で演算した前記近似関数と、予め同定した正常時の前記すべり特性数と前記モータトルクとの関係の近似関数とを比較する第４工程と、
前記第４工程の比較結果に基づいて前記ジブの締め付け度合いの異常の有無を判定する第５工程と、を実行することを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、上記構成において、前記第１工程では、潤滑形態が流体潤滑となる速度領域の前記送り速度における前記モータトルクを測定することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、上記構成において、前記温度センサは、前記潤滑油流路の近傍に設けられていることを特徴とする。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、スケールなどの高精度な位置検出手段を用いることなく、潤滑油の粘度変化の影響を受けずに低コストでジブの締め付け度合い、すなわちすべり案内の状態を正確に診断することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【図1】すべり案内を示す説明図である。
【図2】潤滑油の温度と粘度との関係を示すグラフである。
【図3】潤滑油の粘度が異なる場合の送り速度とモータトルクとの関係を示すグラフである。
【図4】工作機械のブロック構成図である。
【図5】近似関数の係数を用いた診断方法のフローチャートである。
【図6】ジブ締め付けが正常な場合と異常な場合とのすべり特性数とモータトルクとの関係を示すグラフである。
【図7】潤滑油の粘度が変化した場合のすべり特性数とモータトルクとの関係を示すグラフである。
【図8】近似関数の差分を用いた診断方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図４は、本発明の診断方法が実行可能な工作機械の一例を示すブロック構成図である。 この工作機械において、スライダ１は、ボールねじナット４に固定され、ボールねじ軸５と連結したモータ６を駆動させることで、ガイド２上を直動可能であり、送り軸として使用される。図１で示したように、スライダ１のスライド面１ａとガイド２の案内面２ａとですべり案内が構成される。ここでも図１と同様にスライダ１とガイド２との間にジブ３が設けられる。ジブ３は、スライダ１とガイド２との何れか一方に固定される。スライダ１、ガイド２、モータ６はベッド７の上に設置されている。
工作機械のＮＣ装置２０は、動作指令装置２１と速度・位置指令装置２２とによって構成され、速度・位置指令装置２２がモータ６と接続されて、送り軸の動作を制御する。
スライダ１の内部には、潤滑油流路８が形成されており、潤滑油供給装置１１から潤滑油流路８を介してスライド面１ａと案内面２ａとの間に潤滑油が供給される。潤滑油流路８の近傍には温度センサ９が設置され、潤滑油の温度を温度測定装置１２で測定可能となっている。
図４は、本発明の診断方法が実行可能な工作機械の一例を示すブロック構成図である。 この工作機械において、スライダ１は、ボールねじナット４に固定され、ボールねじ軸５と連結したモータ６を駆動させることで、ガイド２上を直動可能であり、送り軸として使用される。図１で示したように、スライダ１のスライド面１ａとガイド２の案内面２ａとですべり案内が構成される。ここでも図１と同様にスライダ１とガイド２との間にジブ３が設けられる。ジブ３は、スライダ１とガイド２との何れか一方に固定される。スライダ１、ガイド２、モータ６はベッド７の上に設置されている。
工作機械のＮＣ装置２０は、動作指令装置２１と速度・位置指令装置２２とによって構成され、速度・位置指令装置２２がモータ６と接続されて、送り軸の動作を制御する。
スライダ１の内部には、潤滑油流路８が形成されており、潤滑油供給装置１１から潤滑油流路８を介してスライド面１ａと案内面２ａとの間に潤滑油が供給される。潤滑油流路８の近傍には温度センサ９が設置され、潤滑油の温度を温度測定装置１２で測定可能となっている。
【0010】
モータ６には、電流計１０が設置され、トルク計算装置１３によって電流値からトルクが計算される。このトルクの値と潤滑油の温度とを記録・演算装置１４で記録し、これらの値を用いてすべり特性数とモータトルクとの関係の近似関数を同定する。診断結果判定装置１５では、予め同定した正常時のすべり特性数とモータトルクとの関係の近似関数と、記録・演算装置１４で同定した近似関数との差分演算を行い、この差分を予め設定した閾値と比較し、ジブ３の締め付け度合い、すなわちすべり案内の異常の有無を診断する。
【0011】
以下、すべり特性数とモータトルクとの近似関数の係数を用いた診断方法を、図５のフローチャートに基づいて説明する。
工作機械が起動すると、まず、Ｓ（「ＳＴＥＰ」の略、以下同じ）１で、ＮＣ装置２０により、５０００，１００００，２００００，４００００ｍｍ／ｍｉｎの各送り速度で送り軸を往復動作させる。送り速度の選択範囲は、すべり案内の潤滑形態が流体潤滑となる速度領域とし、２種類以上の送り速度で往復動作する。
次に、Ｓ２で、各送り速度の潤滑油温度および送り速度が定常状態でのモータトルクを記録・演算装置１４に記録する（Ｓ１，Ｓ２：第１工程）。
次に、Ｓ３で、記録・演算装置１４は、潤滑油温度θＬＵＢ．から各送り速度Ｖｆにおけるすべり特性数αｆを、以下の数１で計算する（第２工程）。数１において、ηは、潤滑油の粘度で潤滑油温度θＬＵＢ．の関数であり、Ｐは、
ガイド２の案内面２ａの正常な面圧である。
工作機械が起動すると、まず、Ｓ（「ＳＴＥＰ」の略、以下同じ）１で、ＮＣ装置２０により、５０００，１００００，２００００，４００００ｍｍ／ｍｉｎの各送り速度で送り軸を往復動作させる。送り速度の選択範囲は、すべり案内の潤滑形態が流体潤滑となる速度領域とし、２種類以上の送り速度で往復動作する。
次に、Ｓ２で、各送り速度の潤滑油温度および送り速度が定常状態でのモータトルクを記録・演算装置１４に記録する（Ｓ１，Ｓ２：第１工程）。
次に、Ｓ３で、記録・演算装置１４は、潤滑油温度θＬＵＢ．から各送り速度Ｖｆにおけるすべり特性数αｆを、以下の数１で計算する（第２工程）。数１において、ηは、潤滑油の粘度で潤滑油温度θＬＵＢ．の関数であり、Ｐは、
ガイド２の案内面２ａの正常な面圧である。
【0012】
【数1】
【0013】
次に、Ｓ４で、記録・演算装置１４は、各送り速度Ｖｆのすべり特性数αｆとモータトルクＴｆとの関係を累乗近似した関数の係数Ａ，Ｂを同定する（第３工程）。累乗近似は、変数ｘ、ｙと係数Ａ，Ｂと用いて以下の数２で表現する。
【0014】
【数2】
【0015】
数２のｘをすべり特性数αｆに、ｙをモータトルクＴｆにそれぞれ当てはめると、係数Ａ，Ｂは、以下の数３、数４で表現される。数３のＶｆ，ｍｉｎは指令した送り速度の最小値、Ｖｆ，ｍａｘは指令した送り速度の最大値である。
また、数３，４において、αｆの￣（オーバーライン）付は、各送り速度Ｖｆのすべり特性数αｆの平均値、Ｔｆの￣（オーバーライン）付は、モータトルクＴｆの平均値である。
また、数３，４において、αｆの￣（オーバーライン）付は、各送り速度Ｖｆのすべり特性数αｆの平均値、Ｔｆの￣（オーバーライン）付は、モータトルクＴｆの平均値である。
【0016】
【数3】
【数4】
【0017】
次に、Ｓ５で、診断結果判定装置１５が、予め求めた正常時のすべり特性数αｆとモータトルクＴｆとを累乗近似した関数の係数である係数ＡＳ，ＢＳと、Ｓ４で同定した係数Ａ，Ｂとを用い、ＡとＡＳ、ＢとＢＳの各差分の絶対値を計算し、それぞれ予め設定した閾値Ｔｈ１、Ｔｈ２と比較して、ジブ３の面圧状態を診断する（第４工程）。
この判別で、少なくとも一方の差分の絶対値が閾値を超える場合は、Ｓ６でジブ３の面圧（締め付け度合い、以下同じ）が異常と診断し、どちらの差分の絶対値も閾値を超えない場合は、Ｓ７でジブ３の面圧が正常と判定する（第５工程）。そして、Ｓ８で、診断を継続するか判定し、継続する場合はＳ１へ戻り、継続しない場合は終了する。
この判別で、少なくとも一方の差分の絶対値が閾値を超える場合は、Ｓ６でジブ３の面圧（締め付け度合い、以下同じ）が異常と診断し、どちらの差分の絶対値も閾値を超えない場合は、Ｓ７でジブ３の面圧が正常と判定する（第５工程）。そして、Ｓ８で、診断を継続するか判定し、継続する場合はＳ１へ戻り、継続しない場合は終了する。
【0018】
図６に、本発明におけるジブ面圧が正常な場合とジブ面圧が低下した異常な場合とのすべり特性数とモータトルクとの関係を累乗近似した例を示す。正常な場合の係数Ａは１６４．２であるのに対し、面圧が低下した異常な場合は８２．１となっており、両者に差がある。したがって、本手法は面圧異常時の診断が正確に可能であるといえる。
図７に、本発明における潤滑油の粘度が変化した場合のすべり特性数とモータトルクとの関係を示す。このグラフから、潤滑油の粘度が変化しても、ジブの面圧が一定なため、同じ係数で累乗近似できていることが分かる。つまり、温度変化による潤滑油の粘度変化が生じた場合でもジブの面圧を安定して診断可能といえる。
図７に、本発明における潤滑油の粘度が変化した場合のすべり特性数とモータトルクとの関係を示す。このグラフから、潤滑油の粘度が変化しても、ジブの面圧が一定なため、同じ係数で累乗近似できていることが分かる。つまり、温度変化による潤滑油の粘度変化が生じた場合でもジブの面圧を安定して診断可能といえる。
【0019】
このように、上記形態のすべり案内の診断方法によれば、送り軸の往復動作を複数の送り速度で実施し、各送り速度におけるモータ６のモータトルクと温度センサ９の温度情報とを取得する第１工程（Ｓ１，Ｓ２）と、各送り速度と各温度情報と案内面２ａの正常時の面圧とから各送り速度のすべり特性数を演算する第２工程（Ｓ３）と、各すべり特性数とモータトルクとの関係の近似関数を演算する第３工程（Ｓ４）と、第３工程で演算した近似関数と、予め同定した正常時のすべり特性数とモータトルクとの関係の近似関数とを比較する第４工程（Ｓ５）と、第４工程の比較結果に基づいてジブ３の締め付け度合いの異常の有無を判定する第５工程（Ｓ６，Ｓ７）と、を実行することで、モータトルク情報や温度情報、送り速度情報など比較的低コストで検出できる情報を用い、潤滑油の粘度変化の影響を受けずに、ジブ３の締め付け度合い、すなわちすべり案内の状態を正確に診断することができる。
【0020】
なお、上記形態では、すべり特性数とモータトルクとの関係の近似関数の係数を用いてすべり案内の異常の有無を診断しているが、近似関数の差分を用いて診断することも可能である。
以下、近似関数の差分を用いた診断方法のフローチャートを、図８に基づいて説明する。
Ｓ１からＳ４までの処理は、図５に示した診断フローと同様である（第１～第３工程）。
次に、Ｓ５では、Ｓ４で同定した累乗近似関数を用い、Ｓ３で求めた各送り速度Ｖｆごとのすべり特性数からモータトルク値Ｔｆαｆ（ｆ＝最小送り速度Ｖｆ．ｍｉｎ～最大送り速度Ｖｆ．ｍａｘ）を算出する（第３工程）。
次に、Ｓ６で、予め求めた正常時のすべり特性数αｆとモータトルクＴｆとを累乗近似した関数を用い、Ｓ３で求めたすべり特性数αｆごとに算出したモータトルク値Ｔｆｎｏ．と、Ｓ５で求めたモータトルク値Ｔｆαｆとの差分の絶対値をすべり特性数αｆごとに計算し、求めた差分の絶対値における最大値を閾値Ｔｈ３と比較する（第４工程）。
ここで閾値を超える場合は、Ｓ７でジブ３の面圧異常と診断し、閾値を超えない場合はＳ８でジブ３の面圧正常と判定する（第５工程）。Ｓ９で診断を継続するか判定し、継続する場合はＳ１へ戻り、継続しない場合は終了する。
この診断方法においても、モータトルク情報や温度情報、送り速度情報など比較的低コストで検出できる情報を用い、潤滑油の粘度変化の影響を受けずに、ジブ３の締め付け度合い、すなわちすべり案内の状態を正確に診断することができる。
以下、近似関数の差分を用いた診断方法のフローチャートを、図８に基づいて説明する。
Ｓ１からＳ４までの処理は、図５に示した診断フローと同様である（第１～第３工程）。
次に、Ｓ５では、Ｓ４で同定した累乗近似関数を用い、Ｓ３で求めた各送り速度Ｖｆごとのすべり特性数からモータトルク値Ｔｆαｆ（ｆ＝最小送り速度Ｖｆ．ｍｉｎ～最大送り速度Ｖｆ．ｍａｘ）を算出する（第３工程）。
次に、Ｓ６で、予め求めた正常時のすべり特性数αｆとモータトルクＴｆとを累乗近似した関数を用い、Ｓ３で求めたすべり特性数αｆごとに算出したモータトルク値Ｔｆｎｏ．と、Ｓ５で求めたモータトルク値Ｔｆαｆとの差分の絶対値をすべり特性数αｆごとに計算し、求めた差分の絶対値における最大値を閾値Ｔｈ３と比較する（第４工程）。
ここで閾値を超える場合は、Ｓ７でジブ３の面圧異常と診断し、閾値を超えない場合はＳ８でジブ３の面圧正常と判定する（第５工程）。Ｓ９で診断を継続するか判定し、継続する場合はＳ１へ戻り、継続しない場合は終了する。
この診断方法においても、モータトルク情報や温度情報、送り速度情報など比較的低コストで検出できる情報を用い、潤滑油の粘度変化の影響を受けずに、ジブ３の締め付け度合い、すなわちすべり案内の状態を正確に診断することができる。
【0021】
なお、本発明に係る工作機械におけるすべり案内の診断方法は、上記実施形態の態様に何ら限定されるものではなく、潤滑油の温度センサの取付位置やすべり特性数とモータトルクの近似関数、案内面を有する工作機械の種類等について、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、必要に応じて適宜変更することができる。
たとえば、スライダ内部の潤滑油流路の近傍に温度センサを取り付けているが、潤滑油の温度を検出できる場所であれば、ガイドの近傍や潤滑油の配管等で測定しても何ら問題はない。また、潤滑油流路をガイド内部に設けてもよい。
たとえば、スライダ内部の潤滑油流路の近傍に温度センサを取り付けているが、潤滑油の温度を検出できる場所であれば、ガイドの近傍や潤滑油の配管等で測定しても何ら問題はない。また、潤滑油流路をガイド内部に設けてもよい。
【0022】
加えて、上記実施形態では、すべり特性数とモータトルクとの近似関数を累乗近似としているが、多項式近似などの他の関数であっても何ら問題はない。また、図５では、近似した関数の係数の差分の絶対値を閾値と比較し、図８では、関数のモータトルク値の差分の絶対値における最大値を閾値と比較しているが、それぞれ絶対値とせず差分の最大値又は差分の平均値を閾値と比較してもよい。近似関数同士の比較が可能であれば、係数やモータトルク値以外の値で差分をとってもよい。
さらに、上記実施形態では、ボールねじとモータとによる駆動装置を例としているが、リニアモータによる駆動装置であっても本発明の適用に何ら問題はない。
さらに、上記実施形態では、ボールねじとモータとによる駆動装置を例としているが、リニアモータによる駆動装置であっても本発明の適用に何ら問題はない。
【符号の説明】
【0023】
１・・スライダ、１ａ・・スライド面、２・・ガイド、２ａ・・案内面、３・・ジブ、４・・ボールねじナット、５・・ボールねじ軸、６・・モータ、７・・ベッド、８・・潤滑油流路、９・・温度センサ、１０・・電流計、１１・・潤滑油供給装置、１２・・温度測定装置、１３・・トルク計算装置、１４・・記録・演算装置、１５・・診断結果判定装置、２０・・ＮＣ装置。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】