特許 7371788 検査装置および導電率計

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-23

(45)【発行日】2023-10-31

(54)【発明の名称】検査装置および導電率計

(51)【国際特許分類】

   G01N 27/06 20060101AFI20231024BHJP

【ＦＩ】

G01N27/06 A

【請求項の数】 7

(21)【出願番号】P 2022543279

(86)(22)【出願日】2021-05-06

(86)【国際出願番号】 JP2021017326

(87)【国際公開番号】W WO2022038839

(87)【国際公開日】2022-02-24

【審査請求日】2023-02-16

(31)【優先権主張番号】P 2020139350

(32)【優先日】2020-08-20

(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP

(73)【特許権者】

【識別番号】000001993

【氏名又は名称】株式会社島津製作所

(74)【代理人】

【識別番号】110001195

【氏名又は名称】弁理士法人深見特許事務所

(72)【発明者】

【氏名】片岡 達哉

(72)【発明者】

【氏名】山内 雄貴

(72)【発明者】

【氏名】矢幡 雅人

(72)【発明者】

【氏名】増田 裕一

(72)【発明者】

【氏名】並河 信寛

【審査官】小澤 瞬

(56)【参考文献】

【文献】特開２００１－２８１１８９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００８－１３９３１２（ＪＰ，Ａ）

【文献】実開昭６３－９６４５５（ＪＰ，Ｕ）

【文献】特表２０００－５０５８８８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０１９－５５４０４（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０２０－６３９１６（ＪＰ，Ａ）

【文献】米国特許出願公開第２０１２／０３０４７４３（ＵＳ，Ａ１）

【文献】米国特許第６４４４４７４（ＵＳ，Ｂ１）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｇ０１Ｎ ２７／００ － Ｇ０１Ｎ ２７／１０

Ｇ０１Ｎ ２７／１４ － Ｇ０１Ｎ ２７／２４

Ｇ０１Ｎ ３１／００ － Ｇ０１Ｎ ３３／４６

Ｇ０１Ｒ ２７／００ － Ｇ０１Ｒ ２７／３２

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

試料水を検査するための検査装置であって、
筐体と、
前記筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、
試料水の導電性を測定する導電率計と、
前記導電率計に試料水を流入させる流入管とを備え、
前記導電率計は、
試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、
前記測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含み、
前記測定部と前記基板とは、前記壁部を挟んで接続され、
前記測定部は、前記電極部が前記開口部に位置するように、前記第１区画側の前記壁部の第１面に配置され、
前記基板は、前記電極部と前記回路とを電気的に接続する接点が前記開口部に位置するように、前記第２区画側の前記壁部の第２面に配置される、検査装置。

【請求項2】

前記第１面の前記開口部の外周であって、前記壁部と前記測定部との間に配置されたシールをさらに備える、請求項１に記載の検査装置。

【請求項3】

前記基板の接点と接触する前記電極部の接点には、金めっきが施されている、請求項１または請求項２に記載の検査装置。

【請求項4】

前記測定部は、試料水の温度を測定する温度センサをさらに備え、
前記温度センサの接点は、前記測定部を前記第１面に配置したときに前記開口部に位置するように配置され、
前記温度センサの接点と前記回路とを電気的に接続する前記基板の接点は、前記基板を前記第２面に配置したときに前記開口部に位置するように配置される、請求項１～請求項３のうちいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項5】

前記導電率計は、前記測定部と前記基板とを接続する接続部をさらに含む、請求項１～請求項４のうちいずれか１項に記載の検査装置。

【請求項6】

試料水の導電性を測定する導電率計であって、
試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、
前記測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを備え、
前記測定部と前記基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続され、
前記測定部は、前記電極部が前記壁部に設けられた開口部に位置するように、前記第１区画側の前記壁部の第１面に配置され、
前記基板は、前記電極部と前記回路とを電気的に接続する接点が前記開口部に位置するように、前記第２区画側の前記壁部の第２面に配置される、導電率計。

【請求項7】

前記測定部は、前記第１面の前記開口部の外周に配置されたシールを介して前記壁部の前記第１面に配置される、請求項６に記載の導電率計。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本開示は、試料水の導電性を測定する導電率計および、導電率計を備えた検査装置に関する。

【背景技術】

【0002】

試料水の性質を示す指標として、試料水の導電性を測定することがある。試料水の導電性は、試料水中に溶解している電解質の割合を示す指標であって、たとえば、試料水中のＴＯＣ（Total Organic Carbon：全有機体炭素）量を測定するために利用される。具体的には、試料水中の有機物を酸化させて得られる分解産物によって試料水中の導電性が変わるため、試料水中の導電性を測定することで分解産物を検出でき、分解産物を検出することでＴＯＣ量を測定できる。

【0003】

特許第６５５６６９９号公報（特許文献１）には、ＵＶ光線で照射しようとするサンプル体積を収納するための測定チャンバと、測定チャンバとＵＶ光線源の間に位置して、測定チャンバの第１の側を密封して閉止するＵＶ透過性窓とを含む、液体の導電性を測定するための装置が開示されている。特許文献１には、測定チャンバ内に存在する液体と接触するように２つの測定電極がエッチングされていることが開示されている。また、特許文献１には、測定電極である電極がケーブルを介してコンピュータに接続されていることが記載されている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特許第６５５６６９９号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

電極の検出値を処理する回路は、液体に接触されないように保護されている必要がある。回路を液体から保護する方法として、たとえば、電極とコンピュータとをケーブルで繋ぐ特許文献１に記載の装置のように、電極と回路とをケーブルで接続し、試料水のような液体を扱うエリアから回路を引き離す方法がある。しかし、電極と回路とを繋ぐケーブルが長くなることで、寄生容量の影響を受けて検出値にノイズがのっかってしまう。そのため、電極と回路とをケーブルで接続すると、導電率計の精度が下がってしまう。

【0006】

一方、電極と回路との距離を近づけると、導電率計の精度を上げることができるものの、回路が液体に接触する可能性が上がってしまう。

【0007】

本開示は、試料水を検査する検査装置が備える導電率計の精度を上げるとともに、検査装置の電気系統を保護することを一の目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0008】

本開示の検査装置は、試料水を検査するための検査装置であって、筐体と、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、試料水の導電性を測定する導電率計と、導電率計に試料水を流入させる流入管とを含む。導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。

【0009】

本開示の導電率計は、試料水の導電性を測定する導電率計であって、試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が壁部に設けられた開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。

【発明の効果】

【0010】

本開示によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。

【図面の簡単な説明】

【0011】

【図1】検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。

【図2】検査装置１の筐体１０の全体構造を示す模式図である。

【図3】水区画Ａ１側の壁部１４の第１面１４２を示す模式図である。

【図4】電気区画Ａ２側の壁部１４の第２面１４４を示す模式図である。

【図5】測定部３２の正面図である。

【図6】図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う概略断面図である。

【図7】測定部３２を取り外した状態の第１面１４２を示す模式図である。

【図8】測定部３２と基板３４との接続方法を説明するための図である。

【図9】測定部３２と基板３４とを接続したときの状態を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0012】

以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。

【0013】

＜検査装置１の全体構成＞
図１は、検査装置１の全体構成を説明するための模式図である。検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量（ＴＯＣの濃度）を測定するための装置である。検査装置１は、試料水に紫外線を照射することで試料水中の有機物を酸化させる、いわゆる湿式酸化式の検査装置である。

【0014】

図１を参照して、検査装置１は、バイアルビン１２内の試料水ＳをポンプＰで流路Ｆ内に引き込む。流路Ｆ上には、ＵＶ光源２０および導電率計３０が配置されている。

【0015】

図示していないものの、ＵＶ光源２０は、試料水Ｓが内部空間を通過する内管と、内管の外周に間隔をあけて配置された外管とを備え、外管と内管との間の放電空間内に封入された放電ガスからの紫外線を内管の内部空間に照射する、二重筒型のエキシマランプである。ＵＶ光源２０の内部空間内を通る試料水Ｓに紫外線を照射することで、試料水Ｓ中の有機物が酸化される。

【0016】

バイアルビン１２とＵＶ光源２０の内管（上流側）とは、流路Ｆを構成するチューブＴ１によって接続されている。また、ＵＶ光源２０の内管の下流側には、チューブＴ２が接続されている。なお、内管は、流路Ｆの一部ともいえる。

【0017】

導電率計３０は、チューブＴ２と接続可能な流路を備える。導電率計３０が備える流路の下流側にはチューブＴ３が接続されており、導電率計３０を通過した試料水Ｓは、チューブＴ３を通って排出される。

【0018】

試料水Ｓ中の有機物は、紫外線により酸化されると、最終的に水と二酸化炭素に分解される。分解産物である二酸化炭素が水に溶解するとイオンを生じ、試料水Ｓの導電率が変化する。導電率計３０は、分解産物である二酸化炭素により変化する導電率を測定することで、試料水Ｓの分解産物を検出できる。

【0019】

図２は、検査装置１の筐体１０の全体構造を示す模式図である。検査装置１の筐体１０からはバイアルビン１２と接続するためのチューブＴ１が伸びている。筐体１０内には、図１を参照して説明した、ＵＶ光源２０と、導電率計３０と、ポンプＰとが配置されている。配置の仕方については、後述する。

【0020】

筐体１０内は、壁部１４によって、試料水Ｓを扱う水区画Ａ１と、試料水Ｓを扱わない電気区画Ａ２とに隔てられる。水区画Ａ１には、たとえば、流路Ｆが配置される。一方、電気区画Ａ２には、水からの保護を受けるべき装置が配置される。たとえば、電気区画Ａ２には、回路が実装された基板、電力系統などが配置される。

【0021】

図２に示すように、本実施の形態にかかる検査装置１の筐体１０内は、壁部１４によって水区画Ａ１と電気区画Ａ２とに隔てられるため、回路が実装された基板を水から保護でき、データを保護できる。

【0022】

なお、壁部１４の面をＹ－Ｚ面とし、Ｙ軸およびＺ軸のそれぞれに直交する軸をＸ軸とする。

【0023】

＜水区画Ａ１＞
水区画Ａ１内に配置された装置を説明する。図３は、水区画Ａ１側の壁部１４の第１面１４２を示す模式図である。筐体１０内の第１面１４２には、ＵＶ光源２０、ポンプＰ、導電率計３０の測定部３２が取り付けられている。第１面１４２に取り付けられた各装置は、チューブを介して互いに接続されている。

【0024】

ＵＶ光源２０の上流側にはチューブＴ１が接続されている。図示していないものの、チューブＴ１は、バイアルビン１２に接続されている。

【0025】

ＵＶ光源２０の上流側にはチューブＴ２が接続されている。チューブＴ２は、冷却部の機能をはたしている。具体的には、チューブＴ２の少なくとも一部は、他のチューブよりも熱伝導率の高い素材から構成されている。

【0026】

試料水Ｓ中の有機物が酸化されると酸化熱が発生する。導電率は、温度が変化することで変化する。そのため、導電率計３０で試料水Ｓを測定するまでに発生した酸化熱を放出しておく必要がある。上述のように、チューブＴ２に冷却部の機能を持たせることで、精度の高い導電率測定ができる。

【0027】

チューブＴ２の下流側には、導電率計３０の測定部３２が接続されている。導電率計３０は、試料水Ｓと接触する一対の電極３２４（図６参照）を有する測定部３２と、測定部３２から出力された情報を処理する回路３４２が実装された基板３４（図４参照）とを備える。回路３４２は、たとえば、測定部から出力されるアナログ情報をデジタル情報に変換する処理（Ａ／Ｄ変換処理）を行う。なお、回路３４２は、デジタル情報に基づいて測定値を演算する処理を行う演算回路などを含み得る。測定部３２は、筐体１０内の水区画Ａ１側に配置されている。一方、基板３４は、筐体１０内の電気区画Ａ２側に配置されている。

【0028】

測定部３２の内部には流路が形成されており、測定部３２内部の流路がチューブＴ２とチューブＴ３とに接続されている。以上のように、水区画Ａ１には、試料水Ｓが通過する部品が配置される。

【0029】

なお、導電率計３０は、試料水の導電性を示す指標を測定するものであればよく、導電率を測定するものに限られない。たとえば、導電率計３０は、抵抗率を測定するものであってもよい。また、本実施の形態においては、導電率計３０は、一対の電極３２４を有し二端子法で試料水の導電率を測定するものとしたが、四探針法、四端子法など他の方法で試料水の導電率を測定してもよい。すなわち、導電率計３０は、試料水と接触するように配置された、試料水の導電性を示す指標を測定するための電極部を備えていればよく、電極部は、２つの電極で構成されていても、４つの電極で構成されていてもよい。

【0030】

＜電気区画Ａ２＞
電気区画Ａ２内に配置された装置を説明する。図４は、電気区画Ａ２側の壁部１４の第２面１４４を示す模式図である。なお、筐体１０の背面にはカバー１０２が取り付けられており、カバー１０２と壁部１４との間にさらに壁部が配置されている。

【0031】

図４を参照して、第２面１４４には、回路３４２が実装された基板３４が取り付けられている。また、電気区画Ａ２には、電源装置５０が配置されている。

【0032】

回路３４２および電源装置５０が水に濡れると故障の原因となる。検査装置１において、試料水Ｓを扱う水区画Ａ１と試料水Ｓを扱わない電気区画Ａ２とに筐体１０内を壁部１４で隔て、回路３４２および電源装置５０といった水に濡れると故障してしまう装置を電気区画Ａ２に配置することで、故障しにくい検査装置１を提供できる。

【0033】

＜導電率計３０＞
上述したように、導電率計３０は、水区画Ａ１側に配置された測定部３２と、電気区画Ａ２側に配置された基板３４（図９参照）とを備える。以下では、測定部３２の構成および測定部３２と基板３４との電気的な接続方法について説明する。

【0034】

図５および図６を参照して、測定部３２の構成について説明する。図５は、測定部３２の正面図である。図６は、図５中のＶＩ－ＶＩ線に沿う概略断面図である。図５に示した測定部３２の正面図は、第１面１４２に測定部３２を取り付けたときに第１面１４２と対向する面を正面としたものである。なお、図６において、ネジ、連結部３２７，３２８など、一部の構成については、記載を省略している。

【0035】

図５を参照して、測定部３２は、２つの開口部３２３、２つの電極接点３２４ａ、２つのサーミスタ接点３２６ａ、および連結部３２７，３２８を備える。

【0036】

開口部３２３は、基板３４が備える円柱状の接続部３４３を挿入可能な形状をしている（図８参照）。２つの開口部３２３は、それぞれ、測定部３２の筐体に形成されており、基板３４が備える２つの接続部３４３と対応する位置に設けられている。

【0037】

電極接点３２４ａは、図６に示す電極３２４の接点である。電極３２４は、図６に示すように、測定部３２内に形成された流路Ｆを貫通するように形成されている。その結果、流路Ｆに試料水Ｓが流れたときに、電極３２４の少なくとも一部に試料水Ｓが触れる構成となっている。なお、図６においては、片側の電極３２４についてのみ示しているものの、もう一方の電極３２４も同様に測定部３２内に形成された流路Ｆを貫通するように形成されている。

【0038】

２つのサーミスタ接点３２６ａは、図示していないものの、それぞれ、測定部３２内に形成された流路Ｆ上に配置された、図６に示すサーミスタ３２６に電気的に接続されている。サーミスタ３２６は、測定部３２内に形成された流路Ｆを通過する試料水Ｓの温度を測定する。導電率は、温度の影響を受ける。導電率計３０は、サーミスタ３２６を備えることで、試料水Ｓの温度を測定することができるため、正確に導電率の測定を行うことができる。

【0039】

連結部３２７，３２８は、それぞれ、チューブＴ２、チューブＴ３と接続可能に構成されている。連結部３２７，３２８に、チューブＴ２、チューブＴ３を接続することで、測定部３２内の流路Ｆに試料水Ｓが流れることとなる。

【0040】

次に、測定部３２と基板３４との接続方法について説明する。図７は、測定部３２を取り外した状態の第１面１４２を示す模式図である。図８は、測定部３２と基板３４との接続方法を説明するための図である。図９は、測定部３２と基板３４とを接続したときの状態を示す図である。

【0041】

図７を参照して、壁部１４には、開口部１４６が形成されている。開口部１４６の外周であって、第１面１４２には、パッキン１４８が設けられている。また、開口部１４６は、測定部３２および基板３４よりも小さく、測定部３２および基板３４は、壁部１４を挟んで、開口部１４６を介して電気的に接続されている。

【0042】

基板３４は、上述したように、電気区画Ａ２側に配置されている。図７および図８を参照して、基板３４は、電極３２４と回路３４２とを電気的に接続するための１対の電極接点３４４と、サーミスタ３２６と回路３４２とを電気的に接続するための１対のサーミスタ接点３４６と、２つの接続部３４３とを備える。

【0043】

基板３４は、開口部１４６に電極接点３４４およびサーミスタ接点３４６が位置するように、第２面１４４に配置される。

【0044】

２つの接続部３４３は、円柱形状をした突起物である。２つの接続部３４３は、基板３４を第２面１４４に配置したときに、開口部１４６を介して水区画Ａ１側に突出されるように電極接点３４４が配置された面に形成されている。

【0045】

図８を参照して、接続部３４３は、測定部３２を第１面１４２に配置したときに、測定部３２の開口部３２３内に挿入され、測定部３２と基板３４とを接続する。すなわち、測定部３２の開口部３２３と、基板３４の接続部３４３とが、測定部３２と基板３４とを接続する接続部として機能する。

【0046】

図９を参照して、接続部３４３を開口部３２３に挿入して測定部３２と基板３４とを接続すると、測定部３２の電極接点３２４ａと、基板３４の電極接点３４４とが接触し、その結果、電極３２４と回路３４２とが電気的に接続される。図示していないものの、接続部３４３を開口部３２３に挿入して測定部３２と基板３４とを接続すると、測定部３２のサーミスタ接点３２６ａと基板３４のサーミスタ接点３４６とが接触し、その結果、サーミスタ３２６と回路３４２とが電気的に接続される。なお、図９において、接続部３４３および開口部３２３などの構成については記載を省略している。

【0047】

ここで、測定部３２の電極接点３２４ａおよび基板３４の電極接点３４４には、接触抵抗を低減させるために金めっきが施されていることが好ましい。同様に、測定部３２のサーミスタ接点３２６ａおよび基板３４のサーミスタ接点３４６には、接触抵抗を低減させるために金めっきが施されていることが好ましい。

【0048】

以上のように、導電率計３０の測定部３２と基板３４とは、壁部１４を間に挟んで接続されており、電極３２４の電極接点３２４ａと、基板３４の電極接点３４４とが壁部１４の開口部１４６に位置するように配置されている。

【0049】

そのため、電極３２４（より正確には電極接点３２４ａ）と基板３４の電極接点３４４とを直接接触させることができ、測定部３２から出力された情報（たとえば、検出値であるアナログ情報）を、ノイズがのらないように基板３４の回路３４２に送ることができる。さらに、基板３４等の電子機器類は、壁部１４で水区画Ａ１とは区切られた電気区画Ａ２に配置されるため、試料水Ｓから保護できる。

【0050】

また、測定部３２と第１面１４２との間にパッキン１４８が配置されるため、測定部３２と第１面１４２との間の隙間から電気区画Ａ２側への水の侵入を防止できるため、電気区画Ａ２側の防水性を高めることができる。なお、パッキン１４８は、測定部３２と第１面１４２との間の隙間から電気区画Ａ２側への水の侵入を防止できるシールであればよく、ガスケットなどでもよい。また、パッキン１４８の材質は、検査装置１が測定対象とする試料に対して耐性のある材質であればよく、測定対象に応じて適宜選択され得る。また、パッキン１４８は、第１面１４２に配置されているとしたが、測定部３２に配置されていてもよい。

【0051】

上記実施の形態において、検査装置１は、試料水中のＴＯＣ量を測定するための装置であるとした。なお、本実施の形態に記載の導電率計３０は、試料水（液体試料）が流れる流路上に配置する構成を有する検査装置であれば上記実施の形態に示した検査装置１とは異なる構成の検査装置にも適用可能である。たとえば、導電率計３０は、ＵＶ光源２０を備えていない検査装置にも適用可能である。

【0052】

上記実施の形態において、測定部３２と基板３４との間に壁部１４を挟んだ状態で、接続部３４３を開口部３２３に挿入することで、測定部３２と基板３４とを接続させるとともに、導電率計３０を壁部１４に固定させた。なお、導電率計３０は、測定部３２と基板３４とを個々に壁部１４に固定させてもよい。なお、測定部３２と基板３４とを接続させることで導電率計３０を壁部１４に固定する構成の場合、部品点数を減らせるという利点がある。

【0053】

［態様］
上述した実施の形態は、以下の態様の具体例であることが当業者により理解される。

【0054】

（第１項）一態様に係る試料水を検査するための検査装置は、筐体と、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる、開口部が設けられた壁部と、第１区画に配置された、試料水の導電性を測定する導電率計と、導電率計に試料水を流入させる流入管とを備える。導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを含む。測定部と基板とは、壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。

【0055】

第１項に記載の検査装置によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。

【0056】

（第２項）第１項に記載の検査装置は、第１面の開口部の外周であって、壁部と測定部との間に配置されたシールをさらに備える。

【0057】

第２項に記載の検査装置によれば、壁部と測定部との間から第２区画側への水の侵入を防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。

【0058】

（第３項）第１項または第２項に記載の検査装置において、基板の接点と接触する電極部の接点には、金めっきが施されている。

【0059】

第３項に記載の検査装置によれば、基板の接点と電極部の接点との接触抵抗を下げることができるため、測定部から出力される情報にノイズがのらないようにすることができる。

【0060】

（第４項）第１項～第３項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、測定部は、試料水の温度を測定する温度センサをさらに含む。温度センサの接点は、測定部を第１面に配置したときに開口部に位置するように配置される。温度センサの接点と回路とを電気的に接続する基板の接点は、基板を第２面に配置したときに開口部に位置するように配置される。

【0061】

第４項に記載の検査装置によれば、試料水の温度を測定できるため、温度の影響を受ける導電性をより正確に測定できる。また、壁部の開口部を介して温度センサの接点と、基板の接点とが接続されるため、温度センサから回路までの距離を短くすることができ、その結果、温度センサから出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。

【0062】

（第５項）第１項～第４項のうちいずれか１項に記載の検査装置において、導電率計は、測定部と基板とを接続する接続部をさらに含む。

【0063】

第５項に記載の検査装置によれば、接続部により、測定部と基板との接続をより強固なものにすることで、壁部と測定部との間から第２区画側に水が入ってしまうことを防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。また、測定部と基板とを接続することで、導電率計を壁部に固定することができ、壁部に導電率計を固定するために必要な部品点数を減らすことができる。

【0064】

（第６項）一態様に係る試料水の導電性を測定する導電率計は、試料水に接触するように配置された電極部を含む測定部と、測定部から出力された情報を処理する回路が実装された基板とを備える。測定部と基板とは、筐体内を第１区画と第２区画とに隔てる壁部を挟んで接続される。測定部は、電極部が壁部に設けられた開口部に位置するように、第１区画側の壁部の第１面に配置される。基板は、電極部と回路とを電気的に接続する接点が開口部に位置するように、第２区画側の壁部の第２面に配置される。

【0065】

第６項に記載の導電率計によれば、試料水に接触するように配置された電極部を有する測定部が配置された第１区画と壁部で隔てられた第２区画に基板が配置されるため、基板を試料水から保護できる。さらに、壁部の開口部を介して電極部と、基板の接点とが接続されるため、電極部から回路までの距離を短くすることができ、その結果、測定部から出力された情報をノイズがのらないように回路に送ることができる。

【0066】

（第７項）第６項に記載の導電率計によれば、測定部は、第１面の開口部の外周に配置されたシールを介して壁部の第１面に配置される。

【0067】

第７項に記載の導電率計によれば、壁部と測定部との間から第２区画側への水の侵入を防止できるため、基板が配置された第２区画側の防水性を高めることができる。

【0068】

今回開示された各実施の形態は、技術的に矛盾しない範囲で適宜組合わせて実施することも予定されている。そして、今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施の形態の説明ではなくて請求の範囲によって示され、請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

【符号の説明】

【0069】

１ 検査装置、１０ 筐体、１２ バイアルビン、１４ 壁部、２０ ＵＶ光源、３０ 導電率計、３２ 測定部、３４ 基板、５０ 電源装置、１０２ カバー、１４２ 第１面、１４４ 第２面、１４６，３２３ 開口部、１４８ パッキン、３２４ 電極、３２４ａ，３４４ 電極接点、３２６ サーミスタ、３２６ａ，３４６ サーミスタ接点、３２７，３２８ 連結部、３４２ 回路、３４３ 接続部、Ａ１ 水区画、Ａ２ 電気区画、Ｆ 流路、Ｐ ポンプ、Ｓ 試料水。

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】