(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-23
(45)【発行日】2023-10-31
(54)【発明の名称】流体供給システム
(51)【国際特許分類】
H01L 21/31 20060101AFI20231024BHJP
H01L 21/205 20060101ALI20231024BHJP
H01L 21/3065 20060101ALI20231024BHJP
C23C 16/448 20060101ALI20231024BHJP
B01J 7/00 20060101ALI20231024BHJP
【ＦＩ】
H01L21/31 B
H01L21/205
H01L21/302 101G
C23C16/448
B01J7/00 Z
H01L21/302 101M
【請求項の数】
7
(21)【出願番号】P 2021542046
(86)(22)【出願日】2020-06-24
(86)【国際出願番号】 JP2020024738
(87)【国際公開番号】W WO2021039073
(87)【国際公開日】2021-03-04
【審査請求日】2023-03-09
(31)【優先権主張番号】P 2019156355
(32)【優先日】2019-08-29
(33)【優先権主張国・地域又は機関】JP
(73)【特許権者】
【識別番号】390033857
【氏名又は名称】株式会社フジキン
(74)【代理人】
【識別番号】110002468
【氏名又は名称】弁理士法人後藤特許事務所
(72)【発明者】
【氏名】高澤 竜平
(72)【発明者】
【氏名】田頭 直人
(72)【発明者】
【氏名】船引 輝幸
(72)【発明者】
【氏名】上林 正典
【審査官】長谷川 直也
(56)【参考文献】
【文献】米国特許出願公開第２０１３／０３３３６２１（ＵＳ，Ａ１）
【文献】特開２０１４－１１４４６３（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平１１－２６７４９２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開平０９－０４７６９７（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｈ０１Ｌ ２１／３１
Ｈ０１Ｌ ２１／２０５
Ｈ０１Ｌ ２１／３０６５
Ｃ２３Ｃ １６／４４８
Ｂ０１Ｊ ７／００
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
第１プレートと、前記第１プレートと直交するように前記第１プレートの長手方向の一方側に設けられる第２プレートと、前記第１プレート及び前記第２プレートと直交するように前記第１プレートの高さ方向の一端に設けられる第３プレートと、を有する支持体と、前記第３プレートに設けられ、液体を気化させ、液体の気化により生成された第１ガスを供給先に供給する第１ガス供給ユニットと、
前記第１プレート及び前記第２プレートのうちのいずれか一方に設けられ、液体を含む流体を、前記第１ガス供給ユニットに供給する液体供給ユニットと、
前記第１プレート及び前記第２プレートのうちのいずれか他方に設けられ、第２ガスを前記第１ガス供給ユニットに供給する第２ガス供給ユニットと、
前記第１ガス供給ユニットと前記液体供給ユニットとを連通する第１連通機構と、
前記第１ガス供給ユニットと前記第２ガス供給ユニットとを連通する第２連通機構と、を備える、流体供給システム。
【請求項2】
前記第１ガス供給ユニットは、前記第３プレートの外面に設けられ、前記液体供給ユニットは、前記第２プレートの内面に設けられ、
前記第３プレートには、第１開口が形成され、
前記第１連通機構は、前記第１開口に収容されるように設けられる連通流路形成ブロックを有する、請求項１に記載の流体供給システム。
【請求項3】
前記第１ガス供給ユニットは、前記長手方向に沿って延在するように設けられ、前記液体供給ユニットは、前記高さ方向に沿って延在するように設けられ、
前記連通流路形成ブロックは、前記高さ方向に沿って延在するように設けられる直方体であり、
前記液体供給ユニットの一端と前記第１ガス供給ユニットの一端とは、前記連通流路形成ブロックによって接続される、請求項２に記載の流体供給システム。
【請求項4】
前記連通流路形成ブロックには、Ｌ字型の連通流路が形成され、前記液体供給ユニット及び前記第１ガス供給ユニットには、それぞれ第１流路及び第２流路が形成され、
前記第１流路と前記第２流路とは、Ｌ字型の前記連通流路によって連通される、請求項３に記載の流体供給システム。
【請求項5】
前記第３プレートには、第２開口が形成され、前記第２連通機構は、前記第２開口に収容されるように設けられる連通管を有する、請求項１から４のいずれか１項に記載の流体供給システム。
【請求項6】
前記第２ガス供給ユニットは、前記高さ方向から見て少なくとも一部が前記長手方向に沿って前記第１ガス供給ユニットと重なるように設けられる、請求項１から５のいずれか１項に記載の流体供給システム。【請求項7】
前記第３プレートは、前記第１プレート及び前記第２プレートによって支持される、請求項１から６のいずれか１項に記載の流体供給システム。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、流体供給システムに関する。
【背景技術】
【0002】
ＪＰ２０１６－２１１０２１Ａには、液体を気化させることにより生成されたプロセスガスを供給先に供給するプロセスガス供給ユニットが開示されている。
【発明の概要】
【0003】
流体供給システムにおいて、ＪＰ２０１６－２１１０２１Ａのプロセスガス供給ユニットと、プロセスガス供給ユニットに液体を供給する液体供給ユニットと、プロセスガス供給ユニットにパージガスを供給するパージガス供給ユニットとを、同一平面上に設けることは、一般的に考えられる。しかしながら、この場合、プロセスガス供給ユニット、液体供給ユニット及びパージガス供給ユニットを同一平面状に設けるスペースを確保する必要があるので、流体供給システム全体のコンパクト化が図られないという問題があった。
【0004】
そこで、本発明は、上記のような事情に鑑みてなされたものであり、コンパクト化を図ることができる流体供給システムを提供することを目的とする。
【0005】
本発明のある態様によれば、第１プレートと、前記第１プレートと直交するように前記第１プレートの長手方向の一方側に設けられる第２プレートと、前記第１プレート及び前記第２プレートと直交するように前記第１プレートの高さ方向の一端に設けられる第３プレートと、を有する支持体と、前記第３プレートに設けられ、液体を気化させ、液体の気化により生成された第１ガスを供給先に供給する第１ガス供給ユニットと、前記第１プレート及び前記第２プレートのうちのいずれか一方に設けられ、液体を前記第１ガス供給ユニットに供給する液体供給ユニットと、前記第１プレート及び前記第２プレートのうちのいずれか他方に設けられ、第２ガスを前記第１ガス供給ユニットに供給する第２ガス供給ユニットと、前記第１ガス供給ユニットと前記液体供給ユニットとを連通する第１連通機構と、前記第１ガス供給ユニットと前記第２ガス供給ユニットとを連通する第２連通機構と、を備える、流体供給システムが提供される。
【0006】
本発明の態様によれば、流体供給システム全体のコンパクト化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【0007】
【発明を実施するための形態】
【0008】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態（以下、本実施形態と称する。）について説明する。本明細書においては、全体を通じて、同一の要素には同一の符号を付する。また、図中において、流体供給システム１の長手方向、幅方向及び高さ方向を、それぞれＸ軸に沿う方向、Ｙ軸に沿う方向及びＺ軸に沿う方向とする。以下、説明の便宜上、流体供給システム１の長手方向、幅方向及び高さ方向を単に長手方向、幅方向及び高さ方向と称する。なお、前記指定の方向は、実際の取り付け時の方向によらない。
【0009】
図１は、流体供給システム１を示す斜視図である。図２は、流体供給システム１を示す左側面図である。図３は、流体供給システム１を示す上面図である。図４は、液体供給ユニットと液体供給ユニットが設けられた側板とを示す説明図である。図５は、流体供給システム１を示す正面図である。図６は、流体供給システム１の回路図である。図７は、連通流路形成ブロック５１の周辺を示す概略断面図である。
【0010】
本実施形態に係る流体供給システム１は、半導体製造装置（ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、エッチング装置等）における第１ガスとしてのプロセスガス及び第２ガスとしてのパージガスの供給手段に用いられる。
【0011】
図１から図５に示すように、流体供給システム１は、支持体２と、液体供給ユニット３と、第１ガス供給ユニットとしてのプロセスガス供給ユニット４と、第１連通機構５と、第２ガス供給ユニットとしてのパージガス供給ユニット６と、第２連通機構７と、を備える。
【0012】
支持体２は、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６が設けられる金属製（例えば、スチール製）の支持部材である。支持体２は、第１プレートとしてのベース板２１と、第２プレートとしての側板２２と、補助板２３と、第３プレートとしての天板２４と、を有する。
【0013】
ベース板２１は、例えばねじ締め等によって、取付部としての壁部（図示しない）に取り付けられる矩形状の板金である。ベース板２１は、Ｘ軸及びＺ軸の両方に沿って延在する第１平面に形成される。また、ベース板２１は、壁部が当接する取付面としての外面２１１と、外面２１１とは反対の面である内面２１２と、を有する。ベース板２１の内面２１２には、例えばねじ締め等によって、パージガス供給ユニット６が設けられる。
【0014】
このように、パージガス供給ユニット６は、壁部に取り付けられたベース板２１の内面２１２（すなわち、ユーザがアクセスしやすい位置）に設けられるので、ユーザがパージガス供給ユニット６に対する作業等を行いやすくなる。
【0015】
側板２２は、例えばねじ締めによってベース板２１の長手方向の一方側（図１の右側）に設けられる矩形状の板金である。側板２２は、ベース板２１と直交するように、Ｙ軸及びＺ軸の両方に沿って延在する第２平面に形成される。また、側板２２は、補助板２３に対向する対向面としての内面２２１と、内面２２１とは反対の面である外面２２２と、を有する。側板２２の内面２２１には、例えばねじ締め等によって、液体供給ユニット３が設けられる。
【0016】
図２に示すように、補助板２３は、例えばねじ締めによってベース板２１の長手方向の他方側（図１の左側）に設けられる直角三角形状の板金である。補助板２３は、ベース板２１と直交するように、Ｙ軸及びＺ軸の両方に沿って延在し第２平面と平行になる第４平面に形成される。また、補助板２３は、支持体２全体の強度を高めるための板金である。
【0017】
天板２４は、例えばねじ締めによってベース板２１の高さ方向の一端（図１の上端）に設けられる矩形状の板金である。天板２４は、ベース板２１及び側板２２（補助板２３）と直交するように、Ｘ軸及びＹ軸の両方に沿って延在する第３平面に形成される。また、天板２４は、液体供給ユニット３及びパージガス供給ユニット６に対向する対向面としての内面２４１と、内面２４１とは反対の面である外面２４２と、を有する。天板２４の外面２４２には、例えばねじ締め等によって、プロセスガス供給ユニット４が設けられる。
【0018】
図３に示すように、天板２４には、後述する複数の連通流路形成ブロック５１がそれぞれ貫通可能な複数（ここでは、二つ）の第１開口としての矩形状の第１貫通孔２４３が形成される。具体的には、複数の第１貫通孔２４３は、幅方向に所定の間隔を空けて配列されるように天板２４の長手方向の一端側（図１の右側）に形成される。なお、第１貫通孔２４３の数は、液体供給ユニット３を構成する液体供給部３１の数と同じである。すなわち、第１貫通孔２４３の数は、液体供給部３１の数に対応している。
【0019】
また、天板２４には、後述する複数（ここでは、四本／図６参照）の連通管７１が貫通可能な一つの第２開口としての矩形状の第２貫通孔２４４が形成される。具体的には、一つの第２貫通孔２４４は、天板２４の長手方向に沿って延在するように天板２４の長手方向の他端側（図１の左側）に形成される。
【0020】
天板２４は、その長手方向の一端（図１の右端）が側板２２の一端（図１の上端）に接続され、その長手方向の他端（図１の左端）が補助板２３に接続される。これにより、天板２４及び天板２４に設けられるプロセスガス供給ユニット４は、ベース板２１、側板２２及び補助板２３によって支持される。したがって、天板２４及びプロセスガス供給ユニット４を支持する部材を別途設ける必要がないので、流体供給システム１全体の簡素化を図ることができる。
【0021】
このように、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６を、それぞれ支持体２の側板２２、天板２４及びベース板２１に設けることにより、流体供給システム１の立体的な配置を図ることができる。このため、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６を同一平面上に設ける場合に比べ、流体供給システム１全体のコンパクト化を図ることができる。
【0022】
図１及び図４に示すように、液体供給ユニット３は、液体供給源としての液体タンクＴ１（図６参照）から供給される液体を含む流体を、第１連通機構５を通じてプロセスガス供給ユニット４に供給するユニットである。そして、複数種の液体の切り替え及びパージの観点から、液体供給ユニット３は、複数（ここでは、二つ）の液体供給部３１及び液体排出部を有する。複数の液体供給部３１は、幅方向に所定の間隔を空けて配列されるように設けられる。
【0023】
液体供給部３１は、高さ方向に沿って延在するように支持体２の側板２２の内面２２１に設けられる。液体供給部３１は、内部に流路が形成される第１流路形成ブロックと、第１流路形成ブロック上に設けられる第１流体機器と、を有する。第１流体機器として、例えば、オートバルブ及びハンドバルブ等が挙げられる。なお、液体供給部３１には、昇温のためのヒータが取り付けられてもよい。
【0024】
また、液体供給部３１は、図６に示すように、第１流路形成ブロックの流路から構成される第１流路としての液体供給ライン３１３、パージライン３１４及び分岐ライン３１５を有する。液体供給ライン３１３には、ハンドバルブ又はオートバルブ等が設けられる。
【0025】
パージライン３１４は、流体供給ライン６４（６５）から分岐し、分岐管７２ａ（７２ｂ）を通じてパージライン３１４に接続される。パージライン３１４には、ハンドバルブ又はオートバルブ等が設けられる。
【0026】
分岐ライン３１５は、廃棄のためのラインである。また、分岐ライン３１５は、液体供給ライン３１３から分岐し、外部の連通管（図示しない）に接続される。分岐ライン３１５には、ハンドバルブ又はオートバルブ等が設けられる。
【0027】
図１及び図３に示すように、プロセスガス供給ユニット４は、液体供給ユニット３から供給される液体を気化させ、液体を気化させることにより生成されたプロセスガスの流れを制御し、流れが制御されたプロセスガスを供給先としてのチャンバ（図示しない）に供給するユニットである。そして、プロセスガス供給ユニット４は、複数（ここでは、二つ）のプロセスガス供給部４１から構成される。複数のプロセスガス供給部４１は、幅方向に所定の間隔を空けて配列されるように設けられる。なお、プロセスガス供給ユニット４を構成するプロセスガス供給部４１の数は、液体供給ユニット３を構成する液体供給部３１の数と同じである。すなわち、プロセスガス供給部４１の数は、液体供給部３１の数に対応している。
【0028】
プロセスガス供給部４１は、長手方向に沿って延在するように支持体２の天板２４の外面２４２に設けられる。プロセスガス供給部４１は、内部に流路が形成される第２流路形成ブロックと、第２流路形成ブロック上に設けられる第２流体機器と、を有する。第２流体機器として、例えば、オートバルブ及び流量制御部等が挙げられる。
【0029】
また、プロセスガス供給部４１は、図６に示すように、第２流路形成ブロックの流路から構成される第２流路としての流体供給ライン４１３、パージライン４１４及びパージライン４１５と、プロセスガス供給部４１全体を加熱するヒータ４１６と、を有する。流体供給ライン４１３には、オートバルブ又は流量制御部等が設けられる。
【0030】
パージライン４１４は、流体供給ライン６４（６５）から分岐し、連通管７１ａ（７１ｂ）を通じて流体供給ライン４１３に接続される。パージライン４１４には、オートバルブ等が設けられる。
【0031】
パージライン４１５は、流体供給ライン６６（６３）から連通し、後述する連通管７１ｃ（７１ｄ）を通じて流体供給ライン４１３に接続される。パージライン４１５には、オートバルブ等が設けられる。
【0032】
プロセスガス供給部４１は、流体供給ライン４１３の一部において、液体供給ユニット３から供給される液体を、ヒータ４１６の加熱によって気化させる。その後、プロセスガス供給部４１は、流量が制御されたプロセスガスを連通管（図示しない）を通じてチャンバに供給する。
【0033】
図１、図３及び図６に示すように、第１連通機構５は、液体供給ユニット３とプロセスガス供給ユニット４とを連通するための機構である。第１連通機構５は、複数（ここでは、二つ）の連通流路形成ブロック５１から構成される。なお、第１連通機構５を構成する連通流路形成ブロック５１の数は、天板２４における第１貫通孔２４３の数と同じである。すなわち、連通流路形成ブロック５１の数は、第１貫通孔２４３の数に対応している。複数の連通流路形成ブロック５１は、幅方向に所定の間隔を空けて配列されるように設けられる。
【0034】
連通流路形成ブロック５１は、液体供給ユニット３を構成する液体供給部３１の一端（図１の上端）と、プロセスガス供給ユニット４を構成するプロセスガス供給部４１の一端（図１の右端）とを連通する直方体のブロックである。また、連通流路形成ブロック５１は、天板２４における第１貫通孔２４３を貫通して高さ方向に沿って延在するように設けられる。換言すれば、連通流路形成ブロック５１は、第１貫通孔２４３に収容されるように設けられる。
【0035】
このように、液体供給部３１とプロセスガス供給部４１とは、第１貫通孔２４３を貫通して設けられる連通流路形成ブロック５１によって連通されるので、液体供給部３１を側板２２の内面２２１に設けるとともにプロセスガス供給部４１を天板２４の外面２４２に設けることができる。このため、液体供給部３１及びプロセスガス供給部４１をそれぞれ側板２２の外面２２２及び天板２４の外面２４２に設ける流体供給システムに比べ、流体供給システム１全体のコンパクト化をより図ることができる。
【0036】
さらに、液体供給部３１の一端とプロセスガス供給部４１の一端とは、連通流路形成ブロック５１によって接続されるので、液体供給部３１の一端とプロセスガス供給部４１の一端との接続は、連通流路形成ブロック５１の配設によって容易に実現される。また、液体供給部３１の一端とプロセスガス供給部４１の一端とを、高さ方向に沿って延在する連通流路形成ブロック５１によって接近させて設けることができる。
【0037】
なお、図５に示すように、液体供給ユニット３は、上面（高さ方向）から見て少なくとも一部が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重なるように設けられる。これにより、液体供給ユニット３が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重ならないように設けられる流体供給システムに比べ、流体供給システム１の長手方向における大きさを小さくすることができる。このため、流体供給システム１全体のコンパクト化をより図ることができる。
【0038】
なお、液体供給部３１（具体的には、第１流路形成ブロック）の一端は、天板２４の第１貫通孔２４３を貫通していない。これにより、第１貫通孔２４３を、連通流路形成ブロック５１のみが貫通可能な大きさにすればよいので、第１貫通孔２４３を大きく形成せずに、第１貫通孔２４３の過大形成による天板２４の強度低下を抑制することができる。
【0039】
図７に示すように、連通流路形成ブロック５１は、例えばねじ締めによって液体供給部３１（具体的には、第１流路形成ブロック）の一端（上端）及びプロセスガス供給部４１（具体的には、第２流路形成ブロック）の一端（右端）に接続される。連通流路形成ブロック５１は、その下端面５２が液体供給部３１の一端に当接するとともに、その左端面５３がプロセスガス供給部４１の一端に当接する。
【0040】
連通流路形成ブロック５１の内部には、断面視においてＬ字型の連通流路５４が形成される。Ｌ字型の連通流路５４の一端及び他端は、それぞれ連通流路形成ブロック５１の下端面５２及び左端面５３に開口する。
【0041】
図６及び図７に示すように、第１流路形成ブロックの内部に形成される液体供給ライン３１３の下流側の一端と、第２流路形成ブロックの内部に形成される流体供給ライン４１３の上流側の一端とは、直方体の連通流路形成ブロック５１の内部に形成されるＬ字型の連通流路５４によって連通される。これにより、Ｌ字型の連通流路形成ブロックに比べ、連通流路５４を短くすることができるので、液体供給部３１の液体供給ライン３１３から液体をＬ字型の連通流路５４を通じて、迅速にプロセスガス供給部４１の流体供給ライン４１３に供給することができる。
【0042】
なお、第１流路形成ブロック又は第２流路形成ブロックと連通流路形成ブロック５１の下端面５２又は左端面５３との繋目に形成される隙間による液体の漏れを防止するために、下端面５２及び左端面５３の両方にＬ字型の連通流路５４の両端の周囲を囲むようにシール部材（例えば、樹脂製のＯリング）を設けることが好ましい。
【0043】
図５及び図６に示すように、パージガス供給ユニット６は、パージガス供給源としてのパージガスタンクＴ２から供給されるパージガスの流れを制御し、流れが制御されたパージガスを液体供給ユニット３及びプロセスガス供給ユニット４に供給するユニットである。なお、パージガスは、不活性ガス（例えば、窒素）である。
【0044】
パージガス供給ユニット６は、高さ方向に沿って延在するように支持体２のベース板２１の内面２１２に設けられる。パージガス供給ユニット６は、内部に流路が形成される第３流路形成ブロックと、第３流路形成ブロック上に設けられる第３流体機器と、を有する。第３流体機器として、ハンドルバルブ、オートバルブ、マスフローコントローラ、チェックバルブ及び圧力計等が挙げられる。
【0045】
なお、図５に示すように、パージガス供給ユニット６は、上面（高さ方向）から見て少なくとも一部が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重なるように設けられる。これにより、パージガス供給ユニット６が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重ならないように設けられる流体供給システムに比べ、流体供給システム１の長手方向における大きさを小さくすることができる。このため、流体供給システム１全体のコンパクト化をより図ることができる。
【0046】
また、パージガス供給ユニット６は、図６に示すように、第３流路形成ブロックの流路から構成される流体供給ライン６３，６４，６５，６６，６７，６８及び分流流路６９を有する。流体供給ライン６３には、ハンドバルブ、圧力計、オートバルブ、マスフローコントローラ（又はマスフローメータ、その他の流量計）及びチェックバルブ等が設けられる。ここでは、パージガスの流量に応じてプロセスガス供給ユニット４内の熱が奪われるため、精密な温度制御のためにマスフローコントローラが設けられている。
【0047】
分流流路６９は、流体供給ライン６３と、流体供給ライン６４，６５，６６，６７，６８の上流側の一端と、を連通する。そして、流体供給ライン６３を流れるパージガスの一部を、分流流路６９によって流体供給ライン６４，６５，６６，６７，６８に分流することができる。
【0048】
流体供給ライン６４には、マスフローコントローラ、ハンドバルブ、オートバルブ及びチェックバルブ等が設けられる。流体供給ライン６５には、マスフローコントローラ、ハンドバルブ、オートバルブ及びチェックバルブ等が設けられる。流体供給ライン６６には、マスフローコントローラ、オートバルブ及びチェックバルブ等が設けられる。
【0049】
流体供給ライン６７には、マスフローコントローラ及びオートバルブ等が設けられる。流体供給ライン６８には、マスフローコントローラ及びオートバルブ等が設けられる。流体供給ライン６７，６８は、外部の連通管（図示しない）に接続される。
【0050】
図１、図３及び図６に示すように、第２連通機構７は、プロセスガス供給ユニット４とパージガス供給ユニット６とを連通するとともに液体供給ユニット３とパージガス供給ユニット６とを連通するための機構である。第２連通機構７は、複数本（ここでは、四本）の連通管７１（７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ）と、複数本（ここでは、二本）の分岐管７２（７２ａ，７２ｂ）と、を有する。
【0051】
連通管７１（７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ）は、パージガス供給ユニット６の一端（図１の上端）と、プロセスガス供給ユニット４を構成するプロセスガス供給部４１とを連通する管である。また、連通管７１（７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ）は、天板２４における第２貫通孔２４４を貫通して設けられる。換言すれば、連通管７１（７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ）は、第２貫通孔２４４に収容されるように設けられる。これにより、パージガス供給ユニット６とプロセスガス供給部４１との連通は、第２貫通孔２４４を貫通して設けられる連通管７１によって容易に実現される。
【0052】
図６に示すように、流体供給ライン６４の下流側の一端と一方のプロセスガス供給部４１におけるパージライン４１４の一端とは、連通管７１ａによって連通される。流体供給ライン６５の下流側の一端と他方のプロセスガス供給部４１におけるパージライン４１４の一端とは、連通管７１ｂによって連通される。流体供給ライン６６の下流側の一端と一方のプロセスガス供給部４１におけるパージライン４１５の一端とは、連通管７１ｃによって連通される。流体供給ライン６３の下流側の一端と他方のプロセスガス供給部４１におけるパージライン４１５の一端とは、連通管７１ｄによって連通される。
【0053】
これにより、パージガスは、パージガス供給ユニット６から連通管７１（７１ａ，７１ｂ，７１ｃ，７１ｄ）を通じてプロセスガス供給部４１に供給され、プロセスガス供給部４１内をパージすることができる。
【0054】
分岐管７２ａ及び分岐管７２ｂは、それぞれ連通管７１ａ及び連通管７１ｂから分岐し、連通管７１ａ及び連通管７１ｂとともに、液体供給ユニット３を構成する液体供給部３１とパージガス供給ユニット６とを連通する。具体的には、分岐管７２ａは、一方の液体供給部３１におけるパージライン３１４に連通されるとともに、分岐管７２ｂは、他方の液体供給部３１におけるパージライン３１４に連通される。なお、分岐管７２ａ，７２ｂは、第２貫通孔２４４を貫通していない。
【0055】
これにより、パージガスは、パージガス供給ユニット６から連通管７１（７１ａ，７１ｂ）及び分岐管７２（７２ａ，７２ｂ）を通じて液体供給部３１に供給され、液体供給部３１内をパージすることができる。
【0056】
次に、本実施形態による作用効果について説明する。
【0057】
本実施形態に係る流体供給システム１は、ベース板２１と、ベース板２１と直交するようにベース板２１の長手方向の一方側に設けられる側板２２と、ベース板２１及び側板２２と直交するようにベース板２１の高さ方向の一端に設けられる天板２４と、を有する支持体２と、天板２４に設けられ、液体を気化させ、液体の気化により生成されたプロセスガスをチャンパに供給するプロセスガス供給ユニット４と、側板２２に設けられ、液体を含む流体を、プロセスガス供給ユニット４に供給する液体供給ユニット３と、ベース板２１に設けられ、パージをプロセスガス供給ユニット４に供給するパージガス供給ユニット６と、プロセスガス供給ユニット４と液体供給ユニット３とを連通する第１連通機構５と、プロセスガス供給ユニット４とパージガス供給ユニット６とを連通する第２連通機構７と、を備える。
【0058】
この構成によれば、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６を、それぞれ支持体２の側板２２、天板２４及びベース板２１に設けることにより、流体供給システム１の立体的な配置を図ることができる。このため、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６を同一平面上に設ける場合に比べ、流体供給システム１全体のコンパクト化を図ることができる。また、各ユニット（液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６）を別々の板に設けるようにしたので、ベース板２１、側板２２及び天板２４自身のコンパクト化を図ることができる。
【0059】
さらに、液体供給ユニット３、プロセスガス供給ユニット４及びパージガス供給ユニット６は、それぞれ支持体２の側板２２、天板２４及びベース板２１に設けられるので、他の装置からの振動による流体供給システム１への影響を抑制することができる。
【0060】
また、本実施形態では、プロセスガス供給ユニット４は、天板２４の外面２４２に設けられ、液体供給ユニット３は、側板２２の内面２２１に設けられ、天板２４には、第１貫通孔２４３が形成され、第１連通機構５は、第１貫通孔２４３に収容されるように設けられる連通流路形成ブロック５１を有する。
【0061】
この構成によれば、液体供給ユニット３とプロセスガス供給ユニット４とは、第１貫通孔２４３を貫通して設けられる連通流路形成ブロック５１によって連通されるので、液体供給ユニット３を側板２２の内面２２１に設けるとともにプロセスガス供給ユニット４を天板２４の外面２４２に設けることができる。このため、液体供給部３１及びプロセスガス供給部４１をそれぞれ側板２２の外面２２２及び天板２４の外面２４２に設ける流体供給システムに比べ、流体供給システム１全体のコンパクト化をより図ることができる。
【0062】
また、本実施形態では、プロセスガス供給ユニット４は、長手方向に沿って延在するように設けられ、液体供給ユニット３は、高さ方向に沿って延在するように設けられ、連通流路形成ブロック５１は、高さ方向に沿って延在するように設けられる直方体であり、液体供給ユニット３の一端とプロセスガス供給ユニット４の一端とは、連通流路形成ブロック５１によって接続される。
【0063】
この構成によれば、液体供給ユニット３の一端とプロセスガス供給ユニット４の一端との接続は、連通流路形成ブロック５１の配設によって容易に実現される。また、液体供給ユニット３の一端とプロセスガス供給ユニット４の一端とを、高さ方向に沿って延在する連通流路形成ブロック５１によって接近させて設けることができる。
【0064】
また、本実施形態では、連通流路形成ブロック５１には、Ｌ字型の連通流路５４が形成され、液体供給ユニット３及びプロセスガス供給ユニット４には、それぞれ液体供給ライン３１３及び流体供給ライン４１３が形成され、液体供給ライン３１３と流体供給ライン４１３とは、Ｌ字型の連通流路５４によって連通される。
【0065】
この構成によれば、第１流路形成ブロックの内部に形成される液体供給ライン３１３の下流側の一端と、第２流路形成ブロックの内部に形成される流体供給ライン４１３の上流側の一端とは、直方体の連通流路形成ブロック５１の内部に形成されるＬ字型の連通流路５４によって連通される。これにより、Ｌ字型の連通流路形成ブロックに比べ、連通流路５４を短くすることができるので、液体供給部３１の液体供給ライン３１３から液体をＬ字型の連通流路５４を通じて、迅速にプロセスガス供給部４１の流体供給ライン４１３に供給することができる。
【0066】
また、本実施形態では、天板２４には、第２貫通孔２４４が形成され、第２連通機構７は、第２貫通孔２４４に収容されるように設けられる連通管７１を有する。
【0067】
この構成によれば、プロセスガス供給ユニット４とパージガス供給ユニット６との連通は、第２貫通孔２４４に収容されるように設けられる連通管７１によって容易に実現される。
【0068】
また、本実施形態では、パージガス供給ユニット６は、高さ方向から見て少なくとも一部が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重なるように設けられる。
【0069】
この構成によれば、パージガス供給ユニット６が長手方向に沿ってプロセスガス供給ユニット４と重ならないように設けられる流体供給システムに比べ、流体供給システム１の長手方向における大きさを小さくすることができる。このため、流体供給システム１全体のコンパクト化をより図ることができる。
【0070】
また、本実施形態では、天板２４は、ベース板２１及び側板２２によって支持される。
【0071】
この構成によれば、天板２４及びプロセスガス供給ユニット４を支持する部材を別途設ける必要がないので、流体供給システム１全体の簡素化を図ることができる。
【0072】
以上、本実施形態について説明したが、上述した実施形態は、本発明の適用例の一部を示したに過ぎず、本発明の技術的範囲を上述した実施形態の具体的構成に限定する趣旨ではない。
【0073】
（変形例）
上述した実施形態では、液体供給ユニット３及びパージガス供給ユニット６は、それぞれ側板２２の内面２２１及びベース板２１の内面２１２に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれベース板２１の内面２１２及び側板２２の内面２２１に設けられてもよい。すなわち、液体供給ユニット３を、ベース板２１及び側板２２のうちのいずれか一方に設けるとともに、パージガス供給ユニット６を、ベース板２１及び側板２２のうちのいずれか他方に設ければよい。
上述した実施形態では、液体供給ユニット３及びパージガス供給ユニット６は、それぞれ側板２２の内面２２１及びベース板２１の内面２１２に設けられているが、これに限定されるものではなく、例えば、それぞれベース板２１の内面２１２及び側板２２の内面２２１に設けられてもよい。すなわち、液体供給ユニット３を、ベース板２１及び側板２２のうちのいずれか一方に設けるとともに、パージガス供給ユニット６を、ベース板２１及び側板２２のうちのいずれか他方に設ければよい。
【0074】
また、上述した実施形態では、支持体２は、ベース板２１、側板２２、補助板２３及び天板２４を有しているが、これに限定されるものではなく、例えば補助板２３を有さず、ベース板２１、側板２２及び天板２４のみを有してもよい。
【0075】
また、上述した実施形態では、天板２４における第１貫通孔２４３は、複数によって構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば一つによって構成されてもよい。この場合、一つの第１貫通孔２４３には、二つの連通流路形成ブロック５１が貫通される。
【0076】
また、上述した実施形態では、第１開口は、連通流路形成ブロック５１を貫通させる第１貫通孔２４３から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば第１切欠部から構成されてもよい。この場合、天板２４における第１切欠部には、連通流路形成ブロック５１が収容される。
【0077】
また、上述した実施形態では、第２開口は、複数の連通管７１を貫通させる第２貫通孔２４４から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば第２切欠部が形成されてもよい。この場合、天板２４における第２切欠部には、複数の連通管７１が収容される。
【0078】
また、上述した実施形態では、液体供給ユニット３は、複数の液体供給部３１から構成されているが、これに限定されるものではなく、例えば一つの液体供給部３１から構成されてもよい。この場合、プロセスガス供給ユニット４及び第１連通機構５は、それぞれ一つのプロセスガス供給部４１及び一つの連通流路形成ブロック５１から構成される。すなわち、液体供給部３１の数は、プロセスガス供給部４１及び連通流路形成ブロック５１の数に対応している。
【0079】
本願は２０１９年８月２９日に日本国特許庁に出願された特願２０１９－１５６３５５に基づく優先権を主張し、この出願の全ての内容は参照により本明細書に組み込まれる。
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】