特許 7372098 ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-23

(45)【発行日】2023-10-31

(54)【発明の名称】ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法

(51)【国際特許分類】

   B24B 27/06 20060101AFI20231024BHJP

   B24B 41/06 20120101ALI20231024BHJP

   B28D 7/04 20060101ALI20231024BHJP

   B28D 1/08 20060101ALI20231024BHJP

   H01L 21/304 20060101ALI20231024BHJP

   B28D 5/04 20060101ALN20231024BHJP

【ＦＩ】

B24B27/06 D

B24B41/06 A

B28D7/04

B28D1/08

H01L21/304 611W

B28D5/04 C

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019172353

(22)【出願日】2019-09-20

(65)【公開番号】P2021049590

(43)【公開日】2021-04-01

【審査請求日】2022-08-17

(73)【特許権者】

【識別番号】000152675

【氏名又は名称】コマツＮＴＣ株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001807

【氏名又は名称】弁理士法人磯野国際特許商標事務所

(72)【発明者】

【氏名】中村 哲也

(72)【発明者】

【氏名】河津 知之

(72)【発明者】

【氏名】長谷川 靖夫

(72)【発明者】

【氏名】阿部 克彦

(72)【発明者】

【氏名】高橋 正明

【審査官】山内 康明

(56)【参考文献】

【文献】特開平１０－１２８７３６（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２００３－２０１００８（ＪＰ，Ａ）

【文献】特許第３５３０４８３（ＪＰ，Ｂ２）

【文献】特開昭６３－２２２８０８（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２００８／０５９３１３（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００９－１９６８５１（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開２０００－２１８４９９（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－１８８６００（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０３－１４９１５３（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２９１１５２（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平１１－２９１１５４（ＪＰ，Ａ）

【文献】国際公開第２０１２／０３１９００（ＷＯ，Ａ１）

【文献】特開２００７－０９８５２８（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｂ２４Ｂ ２７／０６

Ｂ２４Ｂ ４１／０６

Ｂ２８Ｄ ７／０４

Ｂ２８Ｄ １／０８

Ｈ０１Ｌ ２１／３０４

Ｂ２８Ｄ ５／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワークを支持するスライダを含み、前記スライダに載置された前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、
前記加工室に配置され、前記スライダから離間された前記ワークを加工する加工装置と、
前記加工室に配置され、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプするクランプ装置と、
前記ワークを前記加工室に搬入した前記移送装置を前記加工室から退避させた後、前記加工室内に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
前記移送装置は、上端部に配置された揺動軸を中心として振子動作することによって前記ワークを支持した前記スライダを、前記加工室へ搬入または搬出させるアームを有し、前記アームによって前記ワークを前記加工室に搬入及び搬出し、
前記昇降装置は、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させることによって、前記ワークを前記加工装置で加工する
ことを特徴とするワイヤソー。

【請求項2】

前記移送装置は、前記アームと、
前記アームを振子動作させる駆動装置と、
前記アームの振子動作を直線動作に変換させる変換部材と、
前記変換部材に連結されて進退する前記スライダと、
前記スライダの移動をガイドするガイドレールと、
前記スライダに支持されて前記ワークを進退させるワーク治具と、を備えている
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。

【請求項3】

前記ワークは、前記ワーク治具に保持され、
前記ガイドレールは、互いに平行に配置された一対のレール状部材から成り、
前記スライダは、前記ワーク治具の両側にそれぞれ突設された掛止部が支持される支持部を有し、
前記ワーク治具は、前記ワークを前記移送装置で搬送する際に、前記掛止部が、一対の前記支持部に支持され、
前記ワークを前記加工装置で加工する際に、前記ワーク治具が、前記移送装置によって加工室に搬入されて、前記クランプ装置でクランプされた状態で、前記昇降装置で上昇された後、前記移送装置によって前記スライダを前記加工室から前記加工室外に搬出させてから前記加工装置がある位置に下降されることで、前記ワークが前記加工装置で加工される
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。

【請求項4】

前記スライダは、ロード側に配設されるロード用のスライダと、アンロード側に配設されるアンロード用のスライダを有し、
前記移送装置は、ロード側に配設されるロード用移送装置と、アンロード側に配設されるアンロード用移送装置を有し、
前記ロード用移送装置は、前記ロード用のスライダをロード位置から前記加工室へ搬入し、前記加工室からロード位置に搬出させ、
前記アンロード用移送装置は、前記アンロード用のスライダをアンロード位置から前記加工室へ搬入し、前記加工室からアンロード側へ搬出させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。

【請求項5】

請求項１から請求項４のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、
加工完了のワークをアンロード用のスライダにてアンロード位置に搬出する搬出工程と、
ロード位置の未加工のワークをロード用のスライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、
前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、
前記加工室に前記未加工のワークを搬入した前記ロード用のスライダをロード位置に退避させる退避工程と、
前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、
前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で搬出された前記加工完了のワークを前記アンロード用のスライダから取り外すと共に、未加工のワークを前記ロード用のスライダに載置する取外載置工程と、
をこの順序で実行する
ことを特徴とするワイヤソーのワークの搬入出方法。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法に関する。

【背景技術】

【0002】

一般に、半導体材料や磁性材料などのワークをワイヤによって切断するワイヤソーは、ワーク送りが、通常、垂直方向にしか駆動しない構造になっている。このため、ワイヤソーでは、ワイヤソー外にワークを出し入れする際に、例えば、特許文献１に記載されているように、ワーク受け渡し装置等の付帯装置によって行われている。

【0003】

特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワークを搬送する際に、ワイヤソーとは別体に形成されたワーク運搬用台車と、ワーク受け渡し装置と、を作業員によって手動的に移動させてワークの搬送を行っている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0004】

【文献】特開２０１０－１４９２４８号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0005】

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワーク受け渡し装置でワークの交換を行っている際、ワイヤソーを稼働させることができない。このため、ワーク受け渡し装置でワークを交換している場合は、ワイヤソーを停止して中断している時間が非加工時間となるので、生産性が低下するという問題点があった。

【0006】

本発明は、前記した問題点を解決して、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することを課題とする。

【課題を解決するための手段】

【0007】

前記課題を解決するため、本発明は、ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを支持するスライダを含み、前記スライダに載置された前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、前記加工室に配置され、前記スライダから離間された前記ワークを加工する加工装置と、前記加工室に配置され、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプするクランプ装置と、前記ワークを前記加工室に搬入した前記移送装置を前記加工室から退避させた後、前記加工室内に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、前記移送装置は、上端部に配置された揺動軸を中心として振子動作することによって前記ワークを支持した前記スライダを、前記加工室へ搬入または搬出させるアームを有し、前記アームによって前記ワークを前記加工室に搬入及び搬出し、前記昇降装置は、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させることによって、前記ワークを前記加工装置で加工することを特徴とする。

【0008】

また、本発明は、請求項１から請求項４のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークをアンロード用のスライダにてアンロード位置に搬出する搬出工程と、ロード位置の未加工のワークをロード用のスライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、前記加工室に前記未加工のワークを搬入した前記ロード用のスライダをロード位置に退避させる退避工程と、前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で搬出された前記加工完了のワークを前記アンロード用のスライダから取り外すと共に、未加工のワークを前記ロード用のスライダに載置する取外載置工程と、をこの順序で実行することを特徴とする。

【発明の効果】

【0009】

本発明は、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【0010】

【図1】本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略側面図である。

【図2】本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略正面図である。

【図3】図２の要部拡大図である。

【図4】ワークに取り付けられたワーク治具と、ワーク治具を支持するスライダとの配置状態を示す要部拡大斜視図である。

【図5】図３のＶ－Ｖ拡大断面図である。

【図6】図５のＶＩ－ＶＩ拡大断面図である。

【図7】未加工のワークをロード位置の搬入装置のスライダに支持させ、加工装置で加工したワークを昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。

【図8】搬出装置を加工室に移動させたときの状態を示す説明図である。

【図9】加工後のワークを搬出装置で搬出したときの状態を示す説明図である。

【図10】未加工のワークを搬入装置によって加工室に搬入したときの状態を示す説明図である。

【図11】加工室に搬入装置で搬入されたワークをクランプ装置でクランプして昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。

【図12】ワークを昇降装置で下降させて加工しているときの状態を示す説明図である。

【図13】ワーク加工中に加工後のワークを搬出装置から取外し、未加工のワークを搬入装置に載置したときの状態を示す説明図である。

【図14】加工後のワークを搬出装置で搬出する準備と、未加工のワークを搬入装置で搬入する準備をしているときの状態を示す説明図である。

【図15】加工後のワークを搬出装置で搬出し、未加工のワークを搬入装置で搬入したときの状態を示す説明図である。

【図16】本発明の実施形態に係るワイヤソーのワークの搬入出方法を示す工程図である。

【図17】本発明の実施形態に係るワイヤソーの変形例を示す概略側面図である。

【発明を実施するための形態】

【0011】

本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法を図１～図１６を参照して説明する。
なお、図１に示す搬入装置４ａがある位置をロード位置Ｌｏ（ロード側）、搬出装置４ｂがある位置をアンロード位置Ｕｎ（アンロード側）として説明する。また、図１に示す搬入装置４ａがある方向を前（Ｆ）、搬出装置４ｂがある方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図２に示すシリンダ４３がある方向を左（Ｌ）、シリンダ４３がある左（Ｌ）側と対向する方向を右（Ｒ）として適宜説明する。

【0012】

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置５のワイヤ５３に押し当てることで切削して切断される。なお、ワイヤソー１は、図１に示すように、略前後対称に形成されているため、適宜その一方を説明して他方の説明を省略する。

【0013】

＜ワイヤソー＞
図１に示すワイヤソー１は、加工装置５のワイヤ５３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、基台１３と、コラム１４と、本体フレーム１５と、ガイドレール支持部１６と、クランプ装置２と、昇降装置３と、移送装置４と、加工装置５と、を備えて構成されている。

【0014】

＜クランプ装置＞
クランプ装置２は、加工装置５でワークＷを加工する際に、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプしてから、そのワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し当てて加工して、加工完了後のワークＷを加工室Ｒの搬入位置にアンクランプさせるまで、ワークＷを保持する。図２に示すように、クランプ装置２は、複数のクランプ部材２６と、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２６を保持したワーク保持部材２５と、備えている。

【0015】

図２または図６に示すように、ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能に装着されている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材２４が設けられている。

【0016】

ワーク治具２３は、ワークＷを上側から保持するための治具である。ワーク治具２３は、図４に示すように、ワイヤソー１の左右前後に配置されたスライダ４８の支持部４８ｃに支持される掛止部２３ａを左右両端部に有する略板状の部材から成る。このため、ワーク治具２３は、スライダ４８が前後方向に移動することによって、ロード位置Ｌｏと加工室Ｒとの間と、アンロード位置Ｕｎと加工室Ｒとの間と、をそれぞれ往復移動可能に配置されている。なお、ワーク治具２３については、後で、さらに詳述する。

【0017】

また、ワーク治具２３が取り付けられたワークＷ（図９参照）は、図９～図１２に示すように、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて（図１０参照）、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させることによって（図１１参照）、加工装置５がある加工位置に下降させて加工装置５での加工が可能となる（図１２参照）。つまり、ワークＷは、加工室Ｒにおいて、クランプ装置２で保持して昇降装置３によって上昇させた後、スライダ４８を加工室Ｒからロード位置Ｌｏ側、または、アンロード位置Ｕｎに搬出させることで、昇降装置３による加工装置５への下降が可能となる（図１参照）。

【0018】

図１または図２に示すように、ワーク保持部材２５は、加工用ローラ５１，５２間に掛装されたワイヤ５３の上方において、昇降装置３の下端にボルト締めされて、昇降装置３によって昇降可能に配置されている。ワーク保持部材２５の下面には、被クランプ部材２４に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２６が取り付けられている。

【0019】

＜昇降装置＞
昇降装置３は、下端部にワーク治具２３等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷをスライダ４８上から上昇させたり、ワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し付けて加工したり、加工完了後のワークＷを下降させてスライダ４８上に載置させたりする。
昇降装置３は、例えば、クランプ装置２を上下させるボールねじ等の移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等の移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。

【0020】

＜移送装置＞
図１または図４に示すように、移送装置４は、ワークＷを支持したワークロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入したり、加工装置５によって加工された加工完了後のワークＷを支持したワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させたりするための搬送装置である。換言すると、移送装置４は、図１に示すように、ロード位置Ｌｏ側の未加工のワークＷに取り付けられたワーク治具２３をワークロード用のスライダ４８で支持して、図１０に示すように、加工室Ｒに搬入させる。加工室Ｒに搬入後、図１１に示すように、空状態のワークロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏに退避させる。また、移送装置４は、図８に示すように、アンロード位置Ｕｎ側の空状態のワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒに搬入させる。その後、移送装置４は、図９に示すように、加工完了後のワークＷのワーク治具２３を支持したワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させる。

【0021】

図１に示すように、移送装置４は、ロード位置Ｌｏ側に配置されたワークＷを加工室Ｒに搬入する搬入装置４ａ（ロード用移送装置）と、ワークＷを加工室Ｒから搬出させるアンロード位置Ｕｎ側に配置された搬出装置４ｂ（アンロード用移送装置）と、で構成されている。搬入装置４ａと搬出装置４ｂとは、コラム１４の上方の前後に設置された本体フレーム１５の外側上端部に、前後対称な状態に配置されている。搬入装置４ａ及び搬出装置４ｂは、駆動装置４０と、回動部材４５と、アーム４６と、変換部材４７と、スライダ４８と、ガイドレール４９と、をそれぞれ前後一対に配置して構成されている。

【0022】

図１に示すように、駆動装置４０は、回動部材４５及びアーム４６を揺動させると共に、変換部材４７及びスライダ４８を往復直線移動させるための駆動源である。駆動装置４０は、例えば、油圧または空気圧の流体圧を生成する圧力源（図示省略）と、流体圧が供給されるシリンダ４３と、シリンダ４３に供給された流体圧で作動するピストンロッド４４と、を備えて成る。駆動装置４０は、例えば、前後の本体フレーム１５の外側上端部にそれぞれに配置されている。

【0023】

シリンダ４３は、前後の本体フレーム１５の外側上端部に、上下方向に向けて固定されている。ピストンロッド４４は、そのシリンダ４３から上方向に向けて昇降するように配置されている。ピストンロッド４４の上端には、回動部材連結部４４ａが設けられている。回動部材連結部４４ａには、回動部材４５の軸支部４５ａが回動自在に連結されている。回動部材連結部４４ａは、水平方向に長い長孔から成り、軸支部４５ａを水平方向に移動可能に軸支している。

【0024】

＜回動部材＞
回動部材４５は、一端に軸支部４５ａを有し、他端にアーム４６に連結したアーム連結部４５ｂを有している。回動部材４５は、軸支部４５ａがピストンロッド４４によって上下動することで、アーム４６の揺動軸４６ａを中心として前後方向に揺動する。

【0025】

＜アーム＞
つまり、アーム４６は、揺動軸４６ａを中心として振子のように揺動する。アーム４６は、振子動作することによって、ワークＷを支持したスライダ４８を、ロード位置Ｌｏから加工室Ｒへ搬入、または、加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎへ搬出させるための部材である。アーム４６は、上端部に配置された揺動軸４６ａと、下端部に配置された連結軸４６ｂと、を有している。

【0026】

図１または図２に示すように、揺動軸４６ａは、本体フレーム１５の前側寄りの上端部に軸支されて、左右のアーム４６を揺動自在に軸支した軸棒から成る。揺動軸４６ａは、左側に配置されたピストンロッド４４の動きを、左右にそれぞれ配置されたアーム４６に伝達するための部材の役目を果たす。連結軸４６ｂは、変換部材４７の上面に切欠形成された縦溝４７ａに上下方向に移動自在に係合されている。このため、左右の変換部材４７は、左右のアーム４６が揺動すると、スライダ４８を介在して、ガイドレール４９上を前後方向に直線往復移動する。

【0027】

＜変換部材＞
変換部材４７は、アーム４６の振子動作を、スライダ４８の直線動作に変換させるための部材である。変換部材４７は、前記縦溝４７ａと、前記スライダ４８と、を有する厚板状の部材から成る。変換部材４７は、ガイドレール４９上の前後に配置されたそれぞれのスライダ４８の前端及び後端にそれぞれ載設されている。前後一対の変換部材４７は、左右にもそれぞれ配置されている（図４参照）。縦溝４７ａは、側面視してＵ字状の切欠溝から成る。

【0028】

＜スライダ＞
スライダ４８は、変換部材４７に連結されて、変換部材４７が移動することで、ガイドレール４９上を、ロード位置Ｌｏから加工位置までの間、または、アンロード位置Ｕｎから加工位置までの間を前後方向に水平に進退（往復移動）する摺動部材である。スライダ４８は、ガイドレール４９の上側に設置されて、ガイドレール４９に沿って平行に前後方向に延設されている。図４または図６に示すように、スライダ４８は、変換部材設置部４８ａと、ストッパ４８ｂと、支持部４８ｃと、摺動部設置部４８ｄと、摺動部４８ｅと、架設部４８ｆと、を有している。スライダ４８は、平面視して略Ｉ（Ｈ）形状の前後一対の部材から成る。

【0029】

変換部材設置部４８ａは、変換部材４７を載設した箇所である。このため、スライダ４８と変換部材４７とは、一体に前後方向に移動する。このようなことから、スライダ４８と変換部材４７とは、一体形成してもよい。

【0030】

ストッパ４８ｂは、ワークＷを保持したワーク治具２３をスライダ４８に支持させるときに、ワーク治具２３の左右端部の位置を規制して位置決めするための部位である。ストッパ４８ｂは、左右のスライダ４８の左右上端部に上方向に突出形成されて、ガイドレール４９に沿って前後方向に伸びている。

【0031】

支持部４８ｃは、ワーク治具２３の左右両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持（載置）される段差状の部位である。支持部４８ｃは、ガイドレール４９に沿って前後方向に延設されている。
摺動部設置部４８ｄは、前後方向に延設された摺動部４８ｅ上にスライダ４８を固定するための箇所である。摺動部設置部４８ｄは、正面視して略Ｌ字状に形成されている。

【0032】

摺動部４８ｅは、ガイドレール４９上に前後方向に摺動自在に載置される箇所である。摺動部４８ｅは、スライダ４８の下端部に固定された角棒状の部材から成る。
架設部４８ｆは、前後にそれぞれ配置された左右の一対のスライダ４８を連結する部位である。架設部４８ｆは、四角柱形状に形成されている。前側の架設部４８ｆは、前側の左右一対のストッパ４８ｂの前端部間に架設されている。また、後側の架設部４８ｆは、後側の左右一対のストッパ４８ｂの後端部間に架設されている。

【0033】

＜ガイドレール＞
図４または図６に示すように、ガイドレール４９は、前後方向に移動するスライダ４８の移動をガイドするためのガイドブロックである。ガイドレール４９は、前後一対のスライダ４８において、互いに前後方向に平行に延設された左右一対のレール状部材から成る。このガイドレール４９は、摺動部４８ｅが摺動自在に係合するように、縦断面視して凹部形状に形成されている。ガイドレール４９は、ガイドレール支持部１６上の載設されている。

【0034】

前記したワーク治具２３は、スライダ４８の支持部４８ｃに支持されてワークＷを進退させるための治具の役目を果たす。ワーク治具２３は、ワークＷの上部に固定されている。ワーク治具２３の上部に突設された掛止部２３ａは、ワークＷよりも左右方向に伸びて形成されている。このため、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４８の支持部４８ｃに支持され、ワークＷを加工する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４８の支持部４８ｃから前後方向に離間されて、一対のスライダ４８間を昇降装置３によって下降させる。

【0035】

ワークＷは、図７に示すように、左右のガイドレール４９間において、前側のスライダ４８と、後側のスライダ４８との間では、掛止部２３ａがスライダ４８の支持部４８ｃから前後方向に離間されているので、上下方向に昇降可能である。このため、ワークＷは、掛止部２３ａを前後のスライダ４８間に配置することで、昇降装置３によって加工装置５のワイヤ５３がある加工位置まで下降可能となる。

【0036】

＜加工装置＞
図１に示すように、加工装置５は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置５は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ５１，５２と、加工用ローラ５１と加工用ローラ５２とに巻き掛けられたワイヤ５３と、加工用ローラ５１，５２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて成る。加工装置５は、基台１３上のコラム１４に設けられている。

【0037】

加工装置５の上方において、コラム１４には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ５３が加工用ローラ５１，５２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって加工装置５に向かって下降されてワイヤ５３に押し付けられることで切断される。

【0038】

加工用ローラ５２，５２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ５３を加工用ローラ５２，５３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ５２，５３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。

【0039】

ワイヤ５３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ５３は、加工用ローラ５２，５３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。

【0040】

＜加工室カバー＞
図１及び図２に示すように、加工室カバー６は、加工装置５における加工領域を覆って加工室Ｒを形成するカバー部材である。加工室カバー６は、ワークＷの加工領域に供給されたクーラントが飛散しないように設けられる箱状部材から成る。加工室カバー６は、加工室Ｒ内のワークＷの着脱作業等の際に、開閉する扉（図示省略）を備えている。

【0041】

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法の作用を、図１６を主に図１～図１６を参照しながら作業工程順に説明する。

【0042】

図７に示すように、加工の完了したワークＷを昇降装置３で退避位置まで上昇させ、加工室カバー６（図１参照）を開き、図８に示すように、アンロード位置Ｕｎにある空の搬出装置４ｂのスライダ４８を加工室Ｒに搬入させる。続いて、クランプ装置２をワーククランプアンクランプ位置まで下降させ、ワークＷをアンクランプし、クランプ装置２を退避位置まで上昇させて、図９に示すように、そのワークＷを、搬出装置４ｂによって加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出する（搬出工程Ｓ１）。

【0043】

次に、図１０に示すように、ロード位置Ｌｏの搬入装置４ａのスライダ４８に支持された未加工のワークＷを、搬入装置４ａによって加工室Ｒに搬入する（搬入工程Ｓ２）。
続いて、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷを昇降装置３で下降させて、クランプ装置２でクランプする（クランプ工程Ｓ３）。そして、昇降装置３でクランプ装置２を退避位置まで上昇させる。

【0044】

次に、図１１に示すように、加工室Ｒに未加工のワークＷを搬入した搬入装置４ａのスライダ４８を、何も載置していない状態でロード位置Ｌｏに退避（搬出）させて、ワークＷを加工する準備をする（退避工程Ｓ４）。
続いて、加工室カバー６（図１参照）を閉めて、図１２に示すように、クランプ装置２でクランプした未加工のワークＷを昇降装置３で下降させることで、加工装置５のワイヤ５３に押し当ててワークＷを切削加工（スライス加工）する（加工工程Ｓ５）。

【0045】

この未加工のワークＷを加工しているときに、図１３に示すように、搬出工程Ｓ１でアンロード位置Ｕｎに搬出した加工後のワークＷを搬出装置４ｂのスライダ４８から取り外し、退避工程Ｓ４でロード位置Ｌｏに退避させた搬入装置４ａのスライダ４８に、次に加工する未加工のワークＷを載置して、次の加工の準備をする（取外載置工程Ｓ６）。そして、図１４及び図１５に示すように、加工後のワークＷを搬出装置４ｂのスライダ４８でアンロード位置Ｕｎに搬出するときに、未加工のワークＷを搬入装置４ａのスライダ４８で加工室Ｒに搬入する。つまり、搬出工程Ｓ１と搬入工程Ｓ２とは、同時に行うことができる。
以上の搬出工程Ｓ１から取外載置工程Ｓ６を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。

【0046】

このように、本発明は、図１に示すように、ワイヤ５３によってワークＷを切断するワイヤソー１において、ワークＷを支持するスライダ４８を含み、ワークＷを加工室Ｒに搬入及び加工室Ｒから搬出させる移送装置４と、加工室Ｒに配置され、ワークＷを加工する加工装置５と、加工室Ｒに配置され、ワークＷをクランプするクランプ装置２と、クランプ装置２を昇降させる昇降装置３と、を備え、移送装置４は、振子動作するアーム４６を有し、アーム４６によってワークＷを搬送する。

【0047】

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出させる移送装置４を備えていることで、ワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減してワイヤソー１の稼働率を向上させることができる。このため、ワークＷを生産する生産時間を短縮させて生産性を向上させることができる。また、移送装置４は、従来使用していたワークリフタ等の付帯装置を不要とするため、ワイヤソー１の構造を簡素化して、コストダウンを図ることができる。

【0048】

また、移送装置４は、アーム４６と、アーム４６を振子動作させる駆動装置４０と、アーム４６の振子動作を直線動作に変換させる変換部材４７と、変換部材４７に連結されて進退するスライダ４８と、スライダ４８の移動をガイドするガイドレール４９と、スライダ４８に支持されてワークＷを進退させるワーク治具２３と、を備えている。

【0049】

これにより、移送装置４は、ワークＷを支持し、アーム４６に連動して移動するスライダ４８を備えていることで、ワークＷの交換を自動化して容易にすることができる。その結果、ワークＷを生産する際の作業性を向上させて省力化を図ることができる。

【0050】

また、ワークＷは、ワーク治具２３に保持され、ガイドレール４９は、互いに平行に配置された一対のレール状部材から成り、スライダ４８は、ワーク治具２３の側面両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持される支持部４８ｃを有し、ワーク治具２３は、ワークＷを移送装置４で搬送する際に、掛止部２３ａが、一対の支持部４８ｃに支持され、ワークＷを加工装置５で加工する際に、ワーク治具２３が、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させてから加工装置５がある位置に下降されることで、ワークＷが加工装置５で加工される。

【0051】

これにより、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、一対のスライダ４８の支持部４８ｃに支持されるので、スライダ４８を移動させることによって、ワークＷを搬送させることができる。また、ワーク治具２３は、ワークＷを加工する際に、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させてから昇降装置３によって下降させることで、下方に配置された加工装置５のワイヤ５３にワークＷを押し当てて切断することを可能とする。

【0052】

また、スライダ４８は、ロード側に配設されるロード用のスライダ４８と、アンロード側に配設されるアンロード用のスライダ４８を有し、移送装置４は、ロード側に配設される搬入装置４ａ（ロード用移送装置）と、アンロード側に配設される搬出装置４ｂ（アンロード用移送装置）を有し、搬入装置４ａは、ロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏから加工室Ｒへ搬入し、加工室Ｒからロード位置Ｌｏに搬出させ、搬出装置４ｂは、アンロード用のスライダ４８をアンロード位置Ｕｎから加工室Ｒへ搬入し、加工室Ｒからアンロード側へ搬出させる。

【0053】

これにより、移送装置４は、ワイヤソー１のロード側からワークＷを搬入して、加工完了後のワークＷをアンロード位置Ｕｎに搬出することで、未加工のワークＷと、加工後のワークＷと、を相違する位置の方向に搬送することができる。このため、未加工のワークＷと、加工後のワークＷとのワークＷ同士が対向する方向に移動するのを解消して、未加工のワークＷと加工後のワークＷを同時に搬送させることが可能になる。その結果、ワークＷの搬送時間を短縮させて、効率よくワークＷを搬送させることができるので、ワークＷの生産性を向上させることができる。

【0054】

また、図７～図１６に示すように、本発明は、ワイヤソー１を使用してワークＷを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークＷをアンロード用のスライダ４８にてアンロード位置Ｕｎに搬出する搬出工程Ｓ１と、ロード位置Ｌｏの未加工のワークＷをロード用のスライダ４８にて加工室Ｒ内に搬入する搬入工程Ｓ２と、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷをクランプ装置２によってクランプするクランプ工程Ｓ３と、加工室Ｒに未加工のワークＷを搬入したロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏに退避させる退避工程Ｓ４と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１で搬出された加工完了のワークＷをアンロード用のスライダ４８から取り外すと共に、未加工のワークＷをロード用のスライダ４８に載置する取外載置工程Ｓ６と、を有する。

【0055】

これにより、ワイヤソー１のワークＷの搬入出方法は、未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出を容易に行うことができるので、ワイヤソー１のダウンタイムを削減して、ワークＷの生産性を向上させることができる。

【0056】

［変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。

【0057】

次に、図１７を参照して、本発明の実施形態に係るワイヤソー１Ａの変形例を説明する。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。
図１７は、本発明の実施形態に係るワイヤソー１Ａの変形例を示す概略側面図である。

【0058】

前記実施形態では、移送装置４で未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入して、加工後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎ側に搬出する場合を説明したが、図１７に示す移送装置４Ａのように、一方向側（ロード位置Ｌｏ側）からワークＷを支持したスライダ４８を加工室Ｒに搬入して、搬入して来た方向側（ロード位置Ｌｏ側）から搬出してもよい。

【0059】

つまり、ワイヤソー１Ａは、ワークＷを移送装置４Ａのスライダ４８によってロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを同じスライダ４８を使用して、ロード位置Ｌｏと同じ位置にあるアンロード位置Ｕｎ側に戻すように、往復移動させてもよい。つまり、移送装置４Ａは、前記実施形態で説明した搬入装置４ａと、搬出装置４ｂと、の機能を有するものであってもよい。
この場合、スライダ４８は、ワークロード用のスライダ４８と、ワークアンロード用のスライダ４８と、を兼用している。

【0060】

これにより、ワイヤソー１Ａは、図１７に示すように、移送装置４Ａがワイヤソー１Ａの前側のみに配置された１台から成るので、部品点数を削減してコストダウン及び装置の小型化を図ることができる。

【0061】

［その他の変形例］
例えば、前記実施形態で説明した駆動装置４０は、アーム４６を振子動作させる駆動手段であればよく、電動モータと、ラックアンドピニオン機構あるいはウォーム・ホイール等の歯車機構を使用したものであってもよい。

【符号の説明】

【0062】

１，１Ａ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 昇降装置
４，４Ａ 移送装置
４ａ 搬入装置（ロード用移送装置）
４ｂ 搬出装置（アンロード用移送装置）
５ 加工装置
２３ ワーク治具
２３ａ 掛止部
４０ 駆動装置
４６ アーム
４７ 変換部材
４８ スライダ
４８ｃ 支持部
４９ ガイドレール
５３ ワイヤ
Ｒ 加工室
Ｓ１ 搬出工程
Ｓ２ 搬入工程
Ｓ３ クランプ工程
Ｓ４ 退避工程
Ｓ５ 加工工程
Ｓ６ 取外載置工程
Ｒ 加工室
Ｗ ワーク

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】

【図8】

【図9】

【図10】

【図11】

【図12】

【図13】

【図14】

【図15】

【図16】

【図17】