特許 7372534 容積型電磁ポンプ

(19)【発行国】日本国特許庁(JP)

(12)【公報種別】特許公報(B2)

(11)【特許番号】

(24)【登録日】2023-10-24

(45)【発行日】2023-11-01

(54)【発明の名称】容積型電磁ポンプ

(51)【国際特許分類】

   F04B 17/04 20060101AFI20231025BHJP

【ＦＩ】

F04B17/04

【請求項の数】 5

(21)【出願番号】P 2019196912

(22)【出願日】2019-10-30

(65)【公開番号】P2021071068

(43)【公開日】2021-05-06

【審査請求日】2022-08-09

(73)【特許権者】

【識別番号】000002059

【氏名又は名称】シンフォニアテクノロジー株式会社

(74)【代理人】

【識別番号】110001841

【氏名又は名称】弁理士法人ＡＴＥＮ

(72)【発明者】

【氏名】伊藤 章洋

(72)【発明者】

【氏名】渡邉 瞬也

(72)【発明者】

【氏名】有賀 信雄

(72)【発明者】

【氏名】藤井 隆良

【審査官】中村 大輔

(56)【参考文献】

【文献】特開平０４－２６２０７５（ＪＰ，Ａ）

【文献】特開平０６－２６４８６４（ＪＰ，Ａ）

(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)

Ｆ０４Ｂ １７／０４

(57)【特許請求の範囲】

【請求項1】

容積型電磁ポンプから供給される作動流体によって動作部が動作するように構成された流体駆動システムであって、
前記容積型電磁ポンプは、
作動空間に面して配置された複数の可動部と、
前記可動部に連結された可動子を有し、前記可動子が往復移動することで前記可動部を往復移動させる複数の直動アクチュエータと、
前記可動部及び前記可動子のうち少なくとも何れかの状態量を検出するセンサと、
前記センサで検出された前記状態量に基づいて、前記複数の直動アクチュエータをフィードバック制御する複数の駆動制御部と、
を備えており、
前記動作部に所望の動作を行わせるための制御指令を前記複数の駆動制御部に発する上位制御装置を有することを特徴とする流体駆動システム。

【請求項2】

前記センサは、前記状態量として前記可動部又は前記可動子の位置を検出し、
前記複数の駆動制御部は、前記センサで検出された前記可動部又は前記可動子の位置に基づいて、前記各可動部の前記作動空間の中心からの距離が同じになるように、前記複数の直動アクチュエータをフィードバック制御することを特徴とする請求項１に記載の流体駆動システム。

【請求項3】

前記動作部の状態量を前記複数の駆動制御部に直接フィードバック制御することを特徴とする請求項１又は２に記載の流体駆動システム。

【請求項4】

前記作動空間の前記作動流体が、前記動作部の供給空間に供給されるように構成されており、
前記作動空間は前記供給空間と閉空間を構成していることを特徴とする請求項１～３の何れか１項に記載の流体駆動システム。

【請求項5】

前記複数の直動アクチュエータとして、対向配置された２つの直動アクチュエータを有することを特徴とする請求項１～４の何れか１項に記載の流体駆動システム。

【発明の詳細な説明】

【技術分野】

【0001】

本発明は、作動空間に面して配置された複数の可動部が往復移動することにより、作動空間内の作動流体を供給する容積型電磁ポンプに関する。

【背景技術】

【0002】

例えば、特許文献１に開示されているリニア圧縮機は、シリンダ内に２つのピストン（可動部）が対向配置されており、各ピストンに連結されたリニアアクチュエータが逆向きに往復移動することで、振動が低減可能となっている。また、特許文献２に記載されている振動型アクチュエータでは、各リニアモータの可動子の位相を調整するための抵抗を設けることにより、対向配置されたピストンの動作を確実に同期させ、振動を効果的に低減できるものとされている。

【先行技術文献】

【特許文献】

【0003】

【文献】特開２００６－２８０１５６号公報

【文献】特開２０１０－４８１５０号公報

【発明の概要】

【発明が解決しようとする課題】

【0004】

特許文献１に記載のリニア圧縮機では、高推力や高応答性の要求に伴って２つの可動子の移動量に差が生じ、作動流体の圧力や流量を制御できないという問題がある。また、特許文献２の振動型アクチュエータでは、振動を低減するために位相調整用の抵抗を用いて可動子の位相を調整してピストンの動作を同期させるため、作動流体の圧力や流量を制御できないという問題があった。

【0005】

本発明は、上述の課題を鑑みて、複数の可動部を有する容積型電磁ポンプにおいて、作動流体の圧力や流量を自在に制御できるようにすることを目的とする。

【課題を解決するための手段】

【0006】

本発明に係る容積型電磁ポンプは、作動空間に面して配置された複数の可動部が往復移動することにより、前記作動空間内の作動流体を供給する容積型電磁ポンプであって、前記可動部に連結された可動子を有し、前記可動子が往復移動することで前記可動部を往復移動させる複数の直動アクチュエータと、前記可動部及び前記可動子のうち少なくとも何れかの状態量を検出するセンサと、前記センサで検出された前記状態量に基づいて、前記複数の直動アクチュエータをフィードバック制御する複数の駆動制御部と、を備えることを特徴とする。

【0007】

本発明に係る容積型電磁ポンプでは、可動部、直動アクチュエータの可動子、及び、動作部の少なくとも一部の状態量（例えば位置、速度、加速度など）に基づいて、複数の直動アクチュエータをフィードバック制御する複数の駆動制御部が設けられている。このような駆動制御部を設けることで、作動流体の圧力や流量を自在に制御できるようになる。

【0008】

本発明において、前記センサは、前記状態量として前記可動部又は前記可動子の位置を検出するとよい。

【0009】

このように、可動部又は可動子の位置に基づいてフィードバック制御を行うことにより、作動流体の圧力や流量の制御が簡単となる。

【0010】

本発明において、前記複数の駆動制御部は、前記センサで検出された前記可動部又は前記可動子の位置に基づいて、前記各可動部の前記作動空間の中心からの距離が同じになるように、前記複数の直動アクチュエータをフィードバック制御するとよい。

【0011】

このようなフィードバック制御を行うことで、可動部及び可動子の往復移動に伴う反力を打ち消し合って、装置に生じる振動を抑えることができる。

【0012】

本発明において、前記作動空間の前記作動流体が、所定の動作部の供給空間に供給されるように構成されており、前記作動空間は前記供給空間と閉空間を構成しているとよい。

【0013】

かかる構成によれば、作動空間や供給空間から作動流体が排出されないため、作動空間が閉空間で構成されていない場合に比べ、局所的に作動流体の圧力や流量を制御できるので、動作部をより精密に動作させることができる。また、この構成は、作動流体が環境負荷や安全性などにより外部に流出できない場合においても有効である。

【0014】

本発明において、前記複数の直動アクチュエータとして、対向配置された２つの直動アクチュエータを有するとよい。

【0015】

このように、２つの直動アクチュエータを対向配置させる構成を採用することで、直動アクチュエータの個数を最小限にとどめ、構成の単純化やコスト低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【0016】

【図1】本実施形態の流体駆動システムの一部断面図である。

【図2】本実施形態の流体駆動システムの電気的構成を示すブロック図である。

【図3】ピストンの動作を説明するための図である。

【図4】ピストンの動作の変形例を示す図である。

【図5】駆動制御部で実行されるフィードバック制御を示すフローチャートである。

【図6】変形例における流体駆動システムの電気的構成を示すブロック図である。

【図7】容積型電磁ポンプの変形例を示す図である。

【発明を実施するための形態】

【0017】

（流体駆動システムの構成）
以下、本発明に係る容積型電磁ポンプを採用した流体駆動システムの一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。図１は、本実施形態の流体駆動システムの一部断面図である。図２は、本実施形態の流体駆動システムの電気的構成を示すブロック図である。本実施形態の流体駆動システム１００は、容積型電磁ポンプ１から供給された作動流体によって動作する部分（動作部１０１）に作動流体が移動する構成となっている。動作部１０１としては、バルーン、ピストン、流体型モータ、シリンダ、吸着パッド、ロボットハンド、エアブロワ等が考えられる。

【0018】

容積型電磁ポンプ１は、作動空間１０に面するように対向配置された２つのピストン１１（１１Ａ、１１Ｂ、本発明の可動部に相当する。以降、ピストンを例に説明する。）と、２つのピストン１１（１１Ａ、１１Ｂ）の中心軸に沿う方向（以下、軸方向と言う）に往復移動させる２つの直動アクチュエータ１２（１２Ａ、１２Ｂ）と、を主要な構成として備える。直動アクチュエータ１２Ａがピストン１１Ａを軸方向に往復移動させるとともに、直動アクチュエータ１２Ｂがピストン１１Ｂを軸方向に往復移動させることで、作動空間１０と動作部１０１の間で作動流体が移動する。これにより、動作部１０１が所望の動作を行う。

【0019】

作動空間１０は、ピストン１１Ａ、１１Ｂの端面、フレーム１３及びベローズ１４によって画定されている。フレーム１３は、軸方向において容積型電磁ポンプ１の中心に配置された円環状の固定部材である。フレーム１３の円周上の２ヵ所には、作動空間１０に連通する流出入孔１３ａが形成されている。一方の流出入孔１３ａ（図１の上側のもの）は、配管１０２を介して動作部１０１の内部の供給空間１０１ａに接続されている。他方の流出入孔１３ａ（図１の下側のもの）は、栓部材１５によって閉塞されている。つまり、容積型電磁ポンプ１の作動空間１０は、動作部１０１の供給空間１０１ａと閉空間を構成している。

【0020】

ベローズ１４は、軸方向に伸縮可能な蛇腹状の部材であり、フレーム１３の両側においてピストン１１を覆うように配置されている。図１の左側のベローズ１４は、右端部がフレーム１３に固定されるとともに、左端部がピストン１１Ａに固定されている。図１の右側のベローズ１４は、左端部がフレーム１３に固定されるとともに、右端部がピストン１１Ｂに固定されている。ピストン１１Ａ、１１Ｂが軸方向に往復移動すると、ベローズ１４が軸方向に伸縮することで、作動空間１０の気密性が維持された状態で作動空間１０の容積が変化する。

【0021】

作動空間１０の軸方向の中心には、円盤状の仕切板１８が配置されている。仕切板１８は、例えば樹脂製であり、ピストン１１Ａ、１１Ｂの端面同士が接触することを防止するための緩衝材として設けられている。仕切板１８には、フレーム１３に形成された流出入孔１３ａと連通する切欠部１８ａが外周部の２ヵ所に形成されている。作動空間１０は、切欠部１８ａ、流出入孔１３ａ及び配管１０２を介して、動作部１０１の供給空間１０１ａと連通している。

【0022】

直動アクチュエータ１２は、リニアアクチュエータを採用しており、固定子１２ａ及び可動子１２ｂを有する。固定子１２ａは、直動アクチュエータ１２のハウジングに固定されており、不図示のコイルやシャフト、ボールスプライン等の軸受を有する。可動子１２ｂは、鉄心によって構成されており、固定子１２ａのコイルに電流が供給されると、軸方向に往復移動する。可動子１２ｂにはピストン１１が連結されており、可動子１２ｂとピストン１１は一体的に往復移動する。また、本実施形態ではリニアアクチュエータを採用しているが、同等の性能を再現できるのであれば、リニアモータ、回転モータとボールねじによる直動機構等で構成してもよい。

【0023】

２つの直動アクチュエータ１２（１２Ａ、１２Ｂ）の動作は、２つの駆動制御部１６（１６Ａ、１６Ｂ）によって制御される。図２に示すように、駆動制御部１６Ａは、直動アクチュエータ１２Ａの動作を制御する。駆動制御部１６Ｂは、直動アクチュエータ１２Ｂの動作を制御する。具体的には、駆動制御部１６は、直動アクチュエータ１２の固定子１２ａのコイルに供給する電流を制御することで、可動子１２ｂの動作を制御する。

【0024】

容積型電磁ポンプ１には、２つのピストン１１（１１Ａ、１１Ｂ）に対応して、２つの位置センサ１７（１７Ａ、１７Ｂ）が設けられている。位置センサ１７Ａは、ピストン１１Ａの軸方向の位置を検出する。位置センサ１７Ｂは、ピストン１１Ｂの軸方向の位置を検出する。後で詳細に説明するが、駆動制御部１６Ａは、位置センサ１７Ａで検出されたピストン１１Ａの位置に基づいて、直動アクチュエータ１２Ａの動作をフィードバック制御する。駆動制御部１６Ｂは、位置センサ１７Ｂで検出されたピストン１１Ｂの位置に基づいて、直動アクチュエータ１２Ｂの動作をフィードバック制御する。

【0025】

図２に示すように、流体駆動システム１００は、駆動制御部１６Ａ、１６Ｂを統括的に制御する上位制御装置１０３を有する。上位制御装置１０３は、流体駆動システム１００の動作部１０１が所望の動作を行うために要求される作動流体の流量や圧力等に対応する制御指令（例えば、位置や速度、推力等に関する指令）を駆動制御部１６Ａ、１６Ｂに発する。駆動制御部１６Ａ、１６Ｂは、上位制御装置１０３の制御指令に基づいて、直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂを制御する。

【0026】

（フィードバック制御）
図３は、ピストン１１Ａ、１１Ｂの動作を説明するための図である。図３のａ図は、容積型電磁ポンプ１を示す模式図であり、図３のｂ図は、ピストン１１Ａ、１１Ｂの位置を示すグラフである。図３のａ図に示すように、軸方向における作動空間１０の中心Ｃを原点とし、中心Ｃから右側を＋Ｘ方向、中心Ｃから左側を－Ｘ方向を定義する。

【0027】

上述のように構成された容積型電磁ポンプ１では、直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂをフィードバック制御してピストン１１Ａ、１１Ｂを軸方向に往復移動させることで、作動空間１０内の作動流体を供給することができる。このとき、ピストン１１Ａ、１１Ｂ及び可動子１２ｂの往復移動に伴う反力によって振動が生じる。そこで、図３のｂ図に示すように、ピストン１１Ａの移動量ＡとピストンＢの移動量Ｂが同等且つ移動方向が逆になるように、すなわちピストン１１Ａ、１１Ｂの移動速度の時間的な変化量が同等且つ変位方向が逆になるように同期させることで、ピストン１１Ａ、１１Ｂ及び可動子１２ｂの往復移動に伴う反力の合成ベクトルが相殺され、振動を低減することができる。また、図３のｂ図では、ピストン１１Ａの移動量ＡとピストンＢの移動量Ｂを同等にして周期的に変動させてフィードバック制御していたが、図４で示すように、供給する作動流体の圧力や流量に応じて、移動量を随時変動させてよい。

【0028】

また、本実施形態の容積型電磁ポンプ１では、作動空間１０の中心Ｃをピストン１１Ａ、１１Ｂの基準位置として、中心Ｃからのピストン１１Ａ、１１Ｂの位置に基づいて直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂをフィードバック制御することで、振動を低減しつつ、供給する作動流体の圧力や流量を制御できるようになる。具体的には、図３のｂ図に示すように、作動空間１０の中心Ｃからのピストン１１Ａ、１１Ｂの最小位置Ａｍｉｎ、Ｂｍｉｎ間の距離をそれぞれ位置オフセット量Ａ１、Ｂ１として、位置オフセット量Ａ１とＢ１、ピストン１１Ａの移動量Ａとピストン１１Ｂの移動量Ｂが同等且つ移動方向が逆になるように同期させることで、ピストン１１Ａ、１１Ｂ及び可動子１２ｂの往復移動に伴う反力を相殺して振動を低減しつつ、ピストン１１Ａ、１１Ｂの位置に基づいて作動流体の圧力や流量を制御できるようにした。

【0029】

なお、位置オフセット量Ａ１、Ｂ１は、２つの位置センサ１７（１７Ａ、１７Ｂ）以外に中心Ｃに位置センサを設けて検出したり、位置オフセット量をパラメータとして予め制御に組み込むことなどが考えられる。また、作動空間１０に圧力センサを設置したり、流出入孔１３ａに流量計を設置するなど、容積型電磁ポンプ１におけるピストン１１Ａ、１１Ｂの位置以外の状態量（圧力、流量など）をフィードバック制御したり、流体駆動システム１００の動作部１０１の状態量（変位、速度、推力など）を駆動制御部１６Ａ、１６Ｂに直接フィードバック制御することでも供給する作動流体の圧力や流量を制御できる。

【0030】

図５は、駆動制御部１６Ａ、１６Ｂで実行されるフィードバック制御を示すフローチャートである。駆動制御部１６Ａ、１６Ｂで実行されるフィードバック制御は同様なので、以下では、駆動制御部１６Ａによるフィードバック制御についてのみ説明する。

【0031】

駆動制御部１６Ａは、上位制御装置１０３の制御指令に基づいてフィードバック制御を行う。例えば、位置センサ１７Ａにより直動アクチュエータ１２Ａの位置（ピストン１１Ａの位置）を検出する。次に、直動アクチュエータ１２Ａの可動子１２ｂの移動方向が－Ｘ方向か＋Ｘ方向かを判断する（ステップＳ１２）。可動子１２ｂの移動方向が＋Ｘ方向の場合、ピストン１１Ａの検出位置が最小位置Ａｍｉｎに一致しているか否かを判断する。（ステップＳ１３）。ピストン１１Ａの検出位置が最小位置Ａｍｉｎに一致している場合、ピストン１１Ａの移動方向を＋Ｘ方向→－Ｘ方向にして、直動アクチュエータ１２Ａを制御する（ステップＳ１４）。ピストン１１Ａの検出位置が最小位置Ａｍｉｎに一致していない場合、ピストン１１Ａの移動方向を＋Ｘ方向のまま直動アクチュエータ１２Ａを制御する（ステップＳ１５）。

【0032】

ステップＳ１２で可動子１２ｂの移動方向が－Ｘ方向の場合、ピストン１１Ａの検出位置が最大位置Ａｍａｘに一致しているか否かを判断する（ステップＳ１６）。ピストン１１Ａの検出位置が最大位置Ａｍａｘに一致している場合、ピストン１１Ａの移動方向を－Ｘ方向→＋Ｘ方向にして、直動アクチュエータ１２Ａを制御する（ステップＳ１７）。ピストン１１Ａの検出位置が最大位置Ａｍａｘに一致していない場合、ピストン１１Ａの移動方向を－Ｘ方向のまま直動アクチュエータ１２Ａを制御する（ステップＳ１８）。

【0033】

駆動制御部１６Ａ、１６Ｂのそれぞれにおいて、ステップＳ１１～Ｓ１８に示すようなフィードバック制御が実行されることで、図３のｂ図や図４に示すように、ピストン１１Ａ、１１Ｂの位置は、作動空間１０の中心Ｃを基準位置とした絶対値が同等になる。つまり、これらの位置に基づいて直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂをフィードバック制御してピストン１１Ａ、１１Ｂを同期させることで、振動を低減しつつ、作動流体の圧力や流量を制御できる。

【0034】

（効果）
以上のように、本実施形態に係る容積型電磁ポンプ１では、各ピストン１１Ａ、１１Ｂの状態量（位置）に基づいて、複数の直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂをフィードバック制御する複数の駆動制御部１６Ａ、１６Ｂが設けられている。したがって、複数の駆動制御部１６Ａ、１６Ｂによって複数の直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂを各ピストン１１Ａ、１１Ｂの移動量と移動方向に基づいて動作させることにより、直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂの個体差による推力特性や磁気的なバネ特性、各ベローズ１４の個体差によるバネ性、軸受の転がり摩擦や摺動特性の違いなどに影響されずに、ピストン１１Ａ、１１Ｂ及び可動子１２ｂの往復移動に伴う反力を打ち消し合うことができるので、振動を低減することができる。

【0035】

さらに、作動空間１０の中心Ｃを基準位置としてフィードバック制御を行うことで、流体駆動システム１００で要求される作動流体の流量や圧力などに応じて作動流体の圧力や流量を自在に制御できる。つまり、本実施形態の容積型電磁ポンプ１は、通常のリニア圧縮機のように作動流体を単に圧送するだけでなく作動流体の圧力や流量を制御して供給する機能を兼ね備えているため、通常のポンプシステム（例えば、ポンプ、圧力用調整バルブや流量用調整バルブ、圧力タンク等から構成されるシステム）と同等の動作（負圧による吸込動作や正圧による吐出など）を実現できる。よって、流体駆動システム１００においてポンプシステムを採用した場合に比べ、システムの簡素化、軽量化、省エネ化に繋がる。

【0036】

本実施形態では、作動空間１０の作動流体が、動作部１０１の供給空間１０１ａに供給されるように構成されており、作動空間１０は供給空間１０１ａと閉空間を構成している。かかる構成によれば、作動空間１０や供給空間１０１ａから作動流体が排出されないため、作動空間１０が閉空間で構成されていない場合に比べ、局所的に作動流体の圧力や流量を制御できるので、流体駆動システムの動作部をより精密に動作させることができる。また、この構成は、作動流体が環境負荷や安全性などにより外部に流出できない場合においても有効である。

【0037】

（他の実施形態）
上記実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。

【0038】

上記実施形態では、図２に示すように、駆動制御部１６Ａ、１６Ｂは上位制御装置１０３に対して並列的に接続されているものとした。しかしながら、駆動制御部１６Ａ、１６Ｂが直列的に接続される電気的構成でもよい。例えば、図６に示すように、上位制御装置１０３は駆動制御部１６Ａのみと接続されており、駆動制御部１６Ａと駆動制御部１６Ｂとが互いに接続されていてもよい。この場合、駆動制御部１６Ａをマスター、駆動制御部１６Ｂをスレーブとして、制御を行ってもよい。また、上位制御装置１０３を省略してもよい。

【0039】

上記実施形態では、本発明の「状態量」として、ピストン１１Ａ、１１Ｂの「位置」を検出するものとしたが、これに限定されない。例えば、位置センサ１７Ａ、１７Ｂで検出されたピストン１１Ａ、１１Ｂの位置に基づいて、ピストン１１Ａ、１１Ｂの速度や加速度などを状態量として算出し、これに基づいてフィードバック制御を行ってもよい。また、ピストン１１Ａ、１１Ｂではなく、直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂの可動子１２ｂの位置、速度、加速度などを状態量として検出し、これに基づいてフィードバック制御を行ってもよい。

【0040】

上記実施形態では、作動空間１０と供給空間１０１ａとが閉空間を構成しているものとしたが、閉空間を構成することは必須ではない。例えば、図１の下側の流出入孔１３ａに取り付けた栓部材１５を取り外して、この流出入孔１３ａが圧力流体供給源や他の流体回路などと接続される構成を採用してもよい。

【0041】

上記実施形態では、ベローズ１４を用いた構成により、ピストン１１Ａ、１１Ｂが往復移動する際にも作動空間１０の気密性が維持されるものとした。しかしながら、ベローズ１４を用いることは必須ではない。例えば、円筒状のシリンダ内に収容された複数のピストンが、適切なシール部材などによって気密を維持しながらシリンダ内で往復移動する構成を採用することもできる。また、上記実施形態のベローズ１４とピストン１１Ａ、１１Ｂにより構成された往復移動する構成をダイヤフラム等で代用してもよい。

【0042】

上記実施形態では、２つの直動アクチュエータ１２Ａ、１２Ｂによって２つのピストン１１Ａ、１１Ｂを往復駆動する構成とした。しかしながら、３つ以上のピストンを設け、３つ以上の直動アクチュエータによって各ピストンを往復駆動するようにしてもよい。この場合、例えば図７に示すように、３つの直動アクチュエータ１２及び３つのピストン１１を、作動空間１０を囲むように１２０度ごとに等間隔で配置すればよい。そして、ピストン１１及び可動子１２ｂの往復移動に伴う反力の合成ベクトルがゼロとなるように、各直動アクチュエータ１２を適切にフィードバック制御すれば、より振動を低減でき、供給する作動流体の容量を増加して圧力や流量を制御できる。

【0043】

上記実施形態では、容積型電磁ポンプ１における状態量や流体駆動システム１００の動作部１０１の状態量等によりフィードバック制御しているが、これらの状態量の全て又は一部を予めテーブルデータ化として、状態量をフィードバックせずこのデータに基づいて制御も行うことも可能であり、所定のパターンで作動流体を供給する場合に有効である。また、状態量によるフィードバック制御とテーブルデータに基づく制御を必要に応じて組み合わせることで、供給する作動流体の圧力と流量をよい精密に制御することも可能である。

【符号の説明】

【0044】

１：容積型電磁ポンプ
１０：作動空間
１１（１１Ａ、１１Ｂ）：ピストン（可動部）
１２（１２Ａ、１２Ｂ）：直動アクチュエータ
１２ａ：固定子
１２ｂ：可動子
１６（１６Ａ、１６Ｂ）：駆動制御部
１７（１７Ａ、１７Ｂ）：位置センサ
１０１：動作部
１０１ａ：供給空間

【図1】

【図2】

【図3】

【図4】

【図5】

【図6】

【図7】