(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-24
(45)【発行日】2023-11-01
(54)【発明の名称】制動ユニット及びタワーリフト
(51)【国際特許分類】
B65G 1/04 20060101AFI20231025BHJP
B65G 54/02 20060101ALI20231025BHJP
H01L 21/677 20060101ALI20231025BHJP
【ＦＩ】
B65G1/04 561
B65G54/02
H01L21/68 A
【請求項の数】
13
(21)【出願番号】P 2022035118
(22)【出願日】2022-03-08
(65)【公開番号】P2023130680
(43)【公開日】2023-09-21
【審査請求日】2022-03-08
(73)【特許権者】
【識別番号】518162784
【氏名又は名称】セメス カンパニー，リミテッド
(74)【代理人】
【識別番号】100114775
【弁理士】
【氏名又は名称】高岡 亮一
(74)【代理人】
【識別番号】100121511
【弁理士】
【氏名又は名称】小田 直
(74)【代理人】
【識別番号】100202751
【弁理士】
【氏名又は名称】岩堀 明代
(74)【代理人】
【識別番号】100208580
【弁理士】
【氏名又は名称】三好 玲奈
(74)【代理人】
【識別番号】100191086
【弁理士】
【氏名又は名称】高橋 香元
(72)【発明者】
【氏名】イ，ミョン ジン
(72)【発明者】
【氏名】キム，サン－オ
(72)【発明者】
【氏名】ビョン，ヒ ジェ
(72)【発明者】
【氏名】イ，ナ ヒョン
【審査官】今野 聖一
(56)【参考文献】
【文献】実開平０７－０１５６６８（ＪＰ，Ｕ）
【文献】特開平０５－３１９７３１（ＪＰ，Ａ）
【文献】韓国公開特許第１０－２０１８－００６９３８９（ＫＲ，Ａ）
【文献】特表２０１４－５０８６９８（ＪＰ，Ａ）
【文献】国際公開第２００５／１０５６４７（ＷＯ，Ａ１）
【文献】米国特許出願公開第２０１１／０２２６５６０（ＵＳ，Ａ１）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
Ｂ６５Ｇ １／００ － １／１３３
Ｂ６５Ｇ １／１４ － １／２０
Ｂ６５Ｇ ５４／００ － ５４／０２
Ｈ０１Ｌ ２１／６７７
Ｂ６６Ｂ ９／００ － ９／１９３
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
タワーリフトにおいて、垂直方向に延長されるレールモジュールと、
前記レールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供されるキャリッジモジュールを含み、
前記キャリッジモジュールには、
前記タワーリフトを駆動する電力が遮られれば、前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ユニットが設置され、
前記制動ユニットは、
前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ボディーと、
前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)することにより前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるホールディング部材と、
前記電力が遮られる場合に前記制動ボディーを上向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材と、
前記キャリッジモジュールに対する相対位置が固定されるベースボディーと
を含み、
前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、
前記引張部材の他端は前記制動ボディーに形成された制動ボディー係止部に固定されることを特徴とする
タワーリフト。
【請求項2】
前記制動ボディーは、
前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含むことを特徴とする請求項１に記載のタワーリフト。
【請求項3】
前記ホールディング部材は、前記電力が印加される場合に磁力を発生させて前記制動ボディーが前記レールモジュールと離隔されるように前記制動ボディーをホールディングする電磁石をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のタワーリフト。
【請求項4】
前記制動ユニットは、前記制動ボディーが上向き傾いた方向に移動されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを下向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のタワーリフト。
【請求項5】
タワーリフトにおいて、
垂直方向に延長されるレールモジュールと、
前記レールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供されるキャリッジモジュールを含み、
前記キャリッジモジュールには、
前記タワーリフトを駆動する電力が遮られれば、前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ユニットが設置され、
前記制動ユニットは、
地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ボディーと、
前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディングすることにより前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるホールディング部材と、
前記電力が遮られる場合に前記制動ボディーを第１方向に回転させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材と、
前記回転軸を中心にした弧形状のガイド溝が形成されるベースボディーと、
を含み、
前記制動ボディーは、
前記回転軸を基準に非対称なカム形状を有し、
前記制動ボディーが回転されて前記レールモジュールと接触される前記制動ボディーの外径には鋸歯が形成され、
前記制動ボディーには前記ガイド溝に挿入されるガイド突起が形成され、
前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、
前記引張部材の他端は前記ガイド突起に固定される
ことを特徴とするタワーリフト。
【請求項6】
前記ホールディング部材は、ホールディングヘッドと、及び
前記ホールディングヘッドを直線移動させるソレノイドを含み、
前記電力が印加される場合に前記ホールディングヘッドが前記ガイド突起をホールディングして前記制動ボディーが前記第１方向に回転されることを防止することを特徴とする請求項５に記載のタワーリフト。
【請求項7】
前記制動ユニットは、前記制動ボディーが前記第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを前記第１方向と逆方向である第２方向に回転させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載のタワーリフト。
【請求項8】
タワーリフトにおいて、
垂直方向に延長されるレールモジュールと、
前記レールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供されるキャリッジモジュールを含み、
前記キャリッジモジュールには、
前記タワーリフトを駆動する電力が遮られれば、前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ユニットが設置され、
前記制動ユニットは、
前記レールモジュールと選択的に接触されて前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ボディーと、
前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディングすることにより前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるホールディング部材と、
を含み、
前記制動ユニットは、
第１制動ユニット、及び、第２制動ユニットを含み、
前記第１制動ユニットが有する制動ボディーである第１制動ボディーは、
前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、
前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含み、
前記第２制動ユニットが有する制動ボディーである第２制動ボディーは、
地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、
前記回転軸を基準に非対称なカム形状を有し、
前記第２制動ボディーが回転されて前記レールモジュールと接触される前記第２制動ボディーの外径は鋸歯形状を有することを特徴とする
タワーリフト。
【請求項9】
前記第１制動ユニットは前記第２制動ユニットより高い位置に設置されることを特徴とする請求項８に記載のタワーリフト。
【請求項10】
垂直方向に延長されるレールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供される移動体に設置され、前記移動体を移動させる電力が遮られる場合に前記移動体の非常落下を制動する制動ユニットにおいて、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記移動体の落下を制動し、前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含む、制動ボディーと、
前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)することにより前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させ、前記電力が印加される場合に磁力を発生させて前記制動ボディーが前記レールモジュールと離隔されるように前記制動ボディーをホールディングする電磁石を含む、ホールディング部材と、
前記電力が遮られる場合に前記制動ボディーを上向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材と、
前記移動体に固定されるベースボディーと、
を含み、
前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、
前記引張部材の他端は前記制動ボディーに形成された制動ボディー係止部に固定される
ことを特徴とする制動ユニット。
【請求項11】
前記制動ボディーが上向き傾いた方向に移動されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを下向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の制動ユニット。
【請求項12】
垂直方向に延長されるレールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供される移動体に設置され、前記移動体を移動させる電力が遮られる場合に前記移動体の非常落下を制動する制動ユニットにおいて、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記移動体の落下を制動し、地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、前記回転軸を基準に非対称なカム形状を有し、第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触される外径には鋸歯が形成される、制動ボディーと、
前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)することにより前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させ、前記電力が印加される場合に前記制動ボディーが前記第１方向に回転されることを防止するソレノイドを含む、ホールディング部材と、
前記電力が遮られる場合に前記制動ボディーを前記第１方向に回転させて前記鋸歯を前記レールモジュールと接触させる引張部材と、
前記回転軸を中心とした弧形状のガイド溝が形成されるベースボディーと、
を含み、
前記制動ボディーには、
前記ガイド溝に挿入されるガイド突起が形成され、
前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、
前記引張部材の他端は前記ガイド突起に固定される
ことを特徴とする制動ユニット。
【請求項13】
前記制動ボディーが前記第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触された以後前記制動ボディーを前記第１方向と逆方向である第２方向に回転させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の制動ユニット。【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、制動ユニット及びタワーリフトに関するものである。
【背景技術】
【0002】
一般に、半導体またはディスプレイ製造工場の製造ラインは複層で構成される。半導体製造ラインの各層らには蒸着、露光、蝕刻、イオン注入、洗浄などの工程を遂行するための設備らが配置されることができる。各層に配置される設備らは半導体基板として使用される半導体ウェハーまたはディスプレイ基板として使用される硝子基板に対して一連の単位工程らを繰り返し的に遂行されることができる。
【0003】
一方、半導体製造ラインの各層らの間での物品移送、すなわち、半導体ウェハーまたは硝子基板のような物品らの移送は各層らを通じて垂直方向に設置されるタワーリフトによってなされることができる。
【0004】
一般な、タワーリフトは物品移送のためのキャリッジモジュールとキャリッジモジュールを垂直方向に案内するためのレールモジュールを有する。レールモジュールにはキャリッジモジュールを昇降させるためのタイミングベルトのような駆動ベルトが設置される。タイミングベルトはキャリッジモジュールと結合されてキャリッジモジュールを上下方向に移動させる。しかし、このような一般なタワーリフトでタイミングベルトが駆動されれば、パーティクルが発生されることがある。例えば、タイミングベルトはプーリー(Pulley)と摩擦されて駆動されるが、タイミングベルトとプーリーがお互いに摩擦されながらパーティクルが発生されることがある。
【0005】
このような問題を解決するためにキャリッジモジュールが磁気浮上方式でレールモジュールに沿って移動する方案を考慮することができる。キャリッジモジュールはキャリッジモジュールまたはレールモジュールに設置されるリニアモータが発生させる動力によってレールモジュールと接触されない状態、そして、空中に浮揚された状態で上下方向に沿って移動されることができる。磁気浮上方式でキャリッジモジュールがレールモジュールに沿って移動するタワーリフトの場合、そのレールモジュールにタイミングベルトまたはロープなどキャリッジモジュールと物理的に連結される記載らが存在しない。これにタワーリフトを駆動する電気が遮られれば、タワーリフトのキャリッジモジュールは墜落(自由落下)するようになる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0006】
韓国特許公開第10-2007-0106754号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0007】
本発明は、磁気浮上垂直駆動モジュールを駆動する電力が遮られる場合、移動体の自由落下を制動することができる制動ユニットを提供することを一目的とする。
【0008】
また、本発明はタワーリフトを駆動する電力が遮られる場合、キャリッジモジュールの自由落下を制動することができる制動ユニット及びタワーリフトを提供することを一目的とする。
【0009】
本発明の目的は、これに制限されないし、言及されなかったまた他の目的らは、下の記載らから本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。
【課題を解決するための手段】
【0010】
本発明は、タワーリフトを提供する。タワーリフトは垂直方向に延長されるレールモジュールと、前記レールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供されるキャリッジモジュールを含み、前記キャリッジモジュールには、前記タワーリフトを駆動する電力が遮られれば、前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ユニットが設置されることができる。
【0011】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記キャリッジモジュールの落下を制動する制動ボディーと、及び前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)して前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるホールディング部材を含むことができる。
【0012】
一実施例によれば、前記制動ボディーは、前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含むことができる。
【0013】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記電力が遮られる場合前記制動ボディーを上向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材をさらに含むことができる。
【0014】
一実施例によれば、前記ホールディング部材は、前記電力が印加される場合磁力を発生させて前記制動ボディーが前記レールモジュールと離隔されるように前記制動ボディーをホールディングする電磁石をさらに含むことができる。
【0015】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記キャリッジモジュールに対する相対位置が固定されるベースボディーをさらに含み、前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、前記引張部材の他端は前記制動ボディーに形成された制動ボディー係止部に固定されることができる。
【0016】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記制動ボディーが上向き傾いた方向に移動されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを下向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことができる。
【0017】
一実施例によれば、前記制動ボディーは、地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、前記回転軸を基準で非対称なカム形状を有するが、前記制動ボディーが回転されて前記レールモジュールと接触される前記制動ボディーの外径には鋸歯が形成されることがある。
【0018】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記電力が遮られる場合前記制動ボディーを第１方向に回転させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材をさらに含むことができる。
【0019】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記回転軸を中心とした弧形状のガイド溝が形成されるベースボディーをさらに含み、前記制動ボディーには、前記ガイド溝に挿入されるガイド突起が形成され、前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、前記引張部材の他端は前記ガイド突起に固定されることができる。
【0020】
一実施例によれば、前記ホールディング部材は、ホールディングヘッドと、及び前記ホールディングヘッドを直線移動させるソレノイドを含み、前記電力が印加される場合前記ホールディングヘッドが前記ガイド突起をホールディングして前記制動ボディーが前記第１方向に回転されることを防止することができる。
【0021】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、前記制動ボディーが前記第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを前記第１方向と逆方向である第２方向に回転させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことができる。
【0022】
一実施例によれば、前記制動ユニットは、第１制動ユニット、そして、第２制動ユニットを含み、前記第１制動ユニットが有する前記制動ボディーである第１制動ボディーは、前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含み、前記第２制動ユニットが有する前記制動ボディーである第２制動ボディーは、地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、前記回転軸を基準で非対称なカム形状を有するが、前記制動ボディーが回転されて前記レールモジュールと接触される前記制動ボディーの外径は、鋸歯形状を有することができる。
【0023】
一実施例によれば、前記第１制動ユニットは、前記第２制動ユニットより高い位置に設置されることができる。
【0024】
また、本発明は、制動ユニットを提供する。垂直方向に延長されるレールモジュールに沿って磁気浮上方式に移動可能に提供される移動体に設置され、前記移動体を移動させる電力が遮られる場合、前記移動体の非常落下を制動する制動ユニットは、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記移動体の落下を制動するが、前記垂直方向に対して傾いた方向に移動可能に構成され、前記レールモジュールと向い合う面に提供される制動パッドを含む制動ボディーと、前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)して前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるが、前記電力が印加される場合磁力を発生させて前記制動ボディーが前記レールモジュールと離隔されるように前記制動ボディーをホールディングする電磁石を含むホールディング部材と、及び前記電力が遮られる場合前記制動ボディーを上向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを前記レールモジュールと接触させる引張部材を含むことができる。
【0025】
一実施例によれば、前記移動体に固定されるベースボディーをさらに含み、前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定され、前記引張部材の他端は前記制動ボディーに形成された制動ボディー係止部に固定されることができる。
【0026】
一実施例によれば、前記制動ボディーが上向き傾いた方向に移動されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを下向き傾いた方向に移動させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことができる。
【0027】
一実施例によれば、垂直方向に延長されるレールモジュールに沿って磁気浮上方式で移動可能に提供される移動体に設置され、前記移動体を移動させる電力が遮られる場合前記移動体の非常落下を制動する制動ユニットは、前記レールモジュールと選択的に接触されて前記移動体の落下を制動するが、地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供され、前記回転軸を基準で非対称なカム形状を有して第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触される外径には鋸歯が形成される制動ボディーと、前記電力が印加される場合だけに前記制動ボディーをホールディング(Holding)して前記制動ボディーと前記レールモジュールを選択的に接触させるが、前記電力が印加される場合前記制動ボディーが前記第１方向に回転されることを防止するソレノイドを含むホールディング部材と、及び前記電力が遮られる場合前記制動ボディーを前記第１方向に回転させて前記鋸歯を前記レールモジュールと接触させる引張部材を含むことができる。
【0028】
一実施例によれば、前記回転軸を中心とした弧形状のガイド溝が形成されるベースボディーをさらに含み、前記制動ボディーには、前記ガイド溝に挿入されるガイド突起が形成されて前記引張部材の一端は前記ベースボディーに形成されたベースボディー係止部に固定されて前記引張部材の他端は前記ガイド突起に固定されることができる。
【0029】
一実施例によれば、前記制動ボディーが前記第１方向に回転されて前記レールモジュールと接触された以後、前記制動ボディーを前記第１方向と逆方向である第２方向に回転させて前記制動ボディーを原位置させる復元部材をさらに含むことができる。
【発明の効果】
【0030】
本発明の一実施例によれば、磁気浮上垂直駆動モジュールを駆動する電力が遮られる場合、移動体の自由落下を制動することができる。
【0031】
また、本発明の一実施例によれば、タワーリフトを駆動する電力が遮られる場合、キャリッジモジュールの自由落下を制動することができる。
【0032】
本発明の効果が上述した効果らに限定されるものではなくて、言及されない効果らは本明細書及び添付された図面らから本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者に明確に理解されることができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【0033】
【図1】本発明の一実施例によるタワーリフトが設置される半導体製造ラインの姿を概略的に見せてくれる図面である。
【図2】本発明の一実施例によるタワーリフトのレールモジュールそしてキャリッジモジュールを見せてくれる斜視図である。
【図3】本発明の一実施例によるタワーリフトのレールモジュール、そして、キャリッジモジュールを見せてくれる平断面図である。
【図4】本発明の一実施例による制動ユニットを見せてくれる図面である。
【図7】本発明の他の実施例によるタワーリフトのレールモジュール、そして、キャリッジモジュールを見せてくれる斜視図である。
【図8】本発明の他の実施例による制動ユニットを見せてくれる図面である。
【図15】本発明の他の実施例によるタワーリフトの姿を見せてくれる図面である。
【発明を実施するための形態】
【0034】
以下では添付した図面を参照にして本発明の実施例に対して本発明が属する技術分野で通常の知識を有した者が容易に実施できるように詳しく説明する。しかし、本発明はいろいろ相異な形態で具現されることができるし、ここで説明する実施例で限定されない。また、本発明の望ましい実施例を詳細に説明するにおいて、関連される公知機能または構成に対する具体的な説明が本発明の要旨を不必要に曇ることがあると判断される場合にはその詳細な説明を略する。また、類似機能及び作用をする部分に対しては図面全体にかけて等しい符号を使用する。
【0035】
ある構成要素を‘包含'するということは、特別に反対される記載がない限り他の構成要素を除くことではなく、他の構成要素をさらに含むことができるということを意味する。具体的に，“含む”または“有する”などの用語は明細書上に記載した特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとすることであって、一つまたはその以上の他の特徴らや数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加可能性をあらかじめ排除しないものとして理解されなければならない。
【0036】
単数の表現は文脈上明白に異なるように志さない限り、複数表現を含む。また、図面で要素らの形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
【0037】
本実施例によるタワーリフトは物品を返送することに使用されることができる。特に、本実施例によるタワーリフトは物品が収納された容器を返送することができる。物品はウェハー硝子基板、またはレティクル(Reticle)であることがある。また、物品が収納される容器はＦＯＵＰ(Front Opening Unified Pod)であることがある。また、物品が収納される容器はＰＯＤであることがある。また、物品が収納される容器は複数の印刷回路基板らを収納するためのマガジン、複数の半導体パッケージらを収納するためのトレーなどであることがある。
【0038】
図１は、本発明の一実施例によるタワーリフトが設置される半導体製造ラインの姿を概略的に見せてくれる図面である。図１を参照すれば、半導体製造ライン１０は複層構造を有することができる。例えば、半導体製造ライン１０は第１層１１、第２層１２、そして、第３層１３を有することができる。しかし、これに限定されるものではなくて、半導体製造ライン１０が有する複層構造は、多様に変形されることができる。
【0039】
半導体製造ライン１０にはタワーリフト１００容器貯蔵部４００、返送レール５００、そして、半導体製造工程を遂行する半導体製造装置(図示せず)らが提供されることができる。
【0040】
タワーリフト（磁気浮上垂直駆動モジュールの一例)１００は、半導体製造ライン１０の各層１１、１２、１３らの間に物品が収納された容器(F)を返送することができる。タワーリフト１００はステージモジュール１２０、レールモジュール１４０、そして、キャリッジモジュール１６０を含むことができる。
【0041】
ステージモジュール１２０は半導体製造ライン１０の各層１１、１２、１３らの底に設置されることができる。ステージモジュール１２０は容器(F)を容器貯蔵部４００に返送する返送レール５００と結合されることができる。タワーリフト１００が容器(F)を各層１１、１２、１３に返送すれば、各層１１、１２、１３に返送された容器は、返送レール５００によって容器貯蔵部４００に返送されることができる。
【0042】
レールモジュール１４０は垂直方向に延長されることができる。レールモジュール１４０は半導体製造ライン１０の少なくとも二つの層らの間で垂直方向に延長されることができる。レールモジュール１４０は後述するキャリッジモジュール１６０の移動をガイドすることができる。また、レールモジュール１４０は後述するキャリッジモジュール１６０を垂直方向に移動させることができる。
【0043】
キャリッジモジュール（移動体の一例)１６０は、レールモジュール１４０に沿って移動可能に構成されることができる。例えば、キャリッジモジュール１６０はレールモジュール１４０に沿って垂直方向に移動可能に構成されることができる。キャリッジモジュール１６０は物品を返送するキャリッジ１６２を有することができる。キャリッジモジュール１６０は複数で提供されることができる。例えば、キャリッジモジュール１６０の数字は多様に変形されることができる。
【0044】
キャリッジモジュール１６０は物品が収納された容器(F)が安着される安着棚を有することができる。これと異なり、キャリッジモジュール１６０は容器(F)を把持するロボットを有することもできる。キャリッジモジュール１６０は容器(F)を移動させることができる多様な構造で変形されることができる。
【0045】
以下では、本発明の一実施例によるレールモジュール１４０、そして、キャリッジモジュール１６０に対して詳しく説明する。
【0046】
図２は、本発明の一実施例によるタワーリフトのレールモジュール、そして、キャリッジモジュールを見せてくれる斜視図であり、図３は本発明の一実施例によるタワーリフトのレールモジュール、そして、キャリッジモジュールを見せてくれる平断面図である。
【0047】
【0048】
フレーム１４２は垂直方向に沿って延長されることができる。フレーム１４２はその長さ方向が垂直方向であることができる。フレーム１４２は半導体製造ライン１０の壁(W)に固定設置されることができる。フレーム１４２には後述するリニアモータコイル１４４、ガイドレール１４６、そして、電力発信部１４８が結合されることができる。フレーム１４２は上部から眺める時全体的に'Ｈ'形状を有することができるが、これに限定されるものではなくてフレーム１４２の形状は多様に変形されることができる。
【0049】
リニアモータコイル１４４は後述するリニアモータマグネット１６４との相互作用でキャリッジ１６２を垂直方向に移動させることができる。前記相互作用はリニアモータコイル１４４及び/またはリニアモータマグネット１６４が発生する磁気力によることができる。リニアモータコイル１４４はフレーム１４２に設置されることができる。リニアモータコイル１４４は上部から眺める時キャリッジモジュール１６０と対向されるフレーム１４２の面に設置されることができる。リニアモータコイル１４４は概して
形状を有することができる。
【数1】
【0050】
また、リニアモータコイル１４４には電力ラインのようなインターフェースライン(図示せず)が連結されることができる。また、一対のリニアモータコイル１４４は複数で提供されることがある。複数で提供される一対のリニアモータコイル１４４らはフレーム１４２が延長される垂直方向に沿ってお互いに離隔されてフレーム１４２に設置されることができる。
【0051】
ガイドレール１４６はキャリッジモジュール１６０の自由度のうちで一部を拘束することができる。ガイドレール１４６はキャリッジモジュール１６０の垂直方向移動の自由度を除いて残りの自由度を拘束することができる。ガイドレール１４６は後述するキャリッジモジュール１６０が有するガイド部１６６と磁気力による斥力で離隔されることができる。ガイドレール１４６には電力ラインのようなインターフェースライン(図示せず)が連結されることができる。また、ガイドレール１４６とガイド部１６６のうちで何れか一つにはギャップセンサー(図示せず)が提供され、ギャップセンサーが測定する測定値に根拠して前記磁気力を制御することができる。これに、ガイドレール１４６とガイド部１６６との間の間隔は、実質的に一定に制御されることができる。
【0052】
ガイドレール１４６は少なくとも一つ以上提供されることができる。例えば、ガイドレール１４６は複数で提供されることができる。ガイドレール１４６らのうちで何れか一つは、フレーム１４２の一面に設置され、ガイドレール１４６らのうちで他の一つは、フレーム１４２の他面に設置されることができる。例えば、ガイドレール１４６らのうちで何れか一つはフレーム１４２の一側壁に設置され、ガイドレール１４６らのうちで他の一つはフレーム１４２の他の側壁に設置されることができる。また、ガイドレール１４６はその長さ方向がフレーム１４２の長さ方向とお互いに等しいことがある。
【0053】
電力発信部１４８は後述するキャリッジモジュール１６０の電力受信部１６８に電力を発信することができる。例えば、電力発信部１４８は非接触式に電力を供給する無接触電源供給装置(HID)構成のうちで何れか一つであることができる。電力発信部１４８はフレーム１４２に設置されることができる。電力発信部１４８はガイドレール１４６が設置されるフレーム１４２面らのうちで何れか一つに設置されることができる。例えば、電力発信部１４８はガイドレール１４６が設置されるフレーム１４２の面らのうちで一側壁に設置されることができる。電力発信部１４８には電力ラインのようなインターフェースライン(図示せず)が連結されることができる。
【0054】
キャリッジモジュール１６０は物品が収納された容器(F)を返送することができる。キャリッジモジュール１６０はレールモジュール１４０に沿って垂直方向に移動可能に構成されることができる。キャリッジモジュール１６０はレールモジュール１４０に沿って垂直方向に移動されて半導体製造ライン１０の各層１１、１２、１３らに物品が収納された容器(F)を返送することができる。キャリッジモジュール１６０はキャリッジ１６２、リニアモータマグネット１６４、連結ボディー１６５a、１６５b、ガイド部１６６、そして、電力受信部１６８を含むことができる。
【0055】
キャリッジ１６２は物品が収納された容器(F)が安着されることができる安着棚形状を有することができる。キャリッジ１６２には物品が収納された容器(F)を把持するロボット(図示せず)が提供されることができる。図２ではキャリッジ１６２が３段の棚形状で示したが、これに限定されるものではなくて、キャリッジ１６２の形状は多様に変形されることができる。
【0056】
キャリッジ１６２にはリニアモータマグネット１６４が結合されることができる。リニアモータマグネット１６４は上述したリニアモータコイル１４４との相互作用でキャリッジ１６２を垂直方向に移動させることができる。前記相互作用はリニアモータコイル１４４及び/またはリニアモータマグネット１６４が発生する磁気力によることができる。
【0057】
また、リニアモータマグネット１６４は上部から眺める時全体的に
形状を有することができる。これに、リニアモータコイル１４４の一部がリニアモータマグネット１６４の開放された部分に挿入されることができる。
【数2】
【0058】
連結ボディー１６５a、１６５bは後述するガイド部１６６、そして、電力受信部１６８をキャリッジ１６２に結合させることができる。連結ボディー１６５a、１６５bは第１連結ボディー１６５a、そして、第２連結ボディー１６５bを含むことができる。第１連結ボディー１６５aと第２連結ボディー１６５bは、お互いに相異な形状を有することができる。第２連結ボディー１６５bはガイド部１６６、そして、電力受信部１６８をキャリッジ１６２に結合させることができる。第１連結ボディー１６５aはガイド部１６６をキャリッジ１６２に結合させることができる。
【0059】
ガイド部１６６は連結ボディー１６５a、１６５bによってキャリッジ１６２に結合されることができる。これに、キャリッジ１６２が移動されれば、ガイド部１６６はキャリッジ１６２と共に垂直方向に沿って移動されることができる。ガイド部１６６はフレーム１４２に設置されたガイドレール１４６のうちで少なくとも一部を囲む形状を有することができる。ガイド部１６６は上部から眺める時
形状を有することができる。ガイド部１６６にはガイドレール１４６が挿入されることができる。これに、ガイド部１６６はガイドレール１４６と共にキャリッジモジュール１６０の垂直方向移動の自由度を除いて残りの自由度を拘束することができる。また、ガイドレール１４６とガイド部１６６のうちで何れか一つには、ギャップセンサー(図示せず)が提供され、ギャップセンサーが測定する測定値に根拠して前記磁気力を制御することができる。これに、ガイドレール１４６とガイド部１６６との間の間隔は、実質的に一定に制御されることができる。
【数3】
【0060】
電力受信部１６８は電力発信部１４８で発信する電力を受信することができる。また、電力受信部１６８は電力発信部１４８と対向されるように設置されることができる。電力受信部１６８は非接触式に電力を供給する無接触電源供給装置(HID)構成のうちで何れか一つであることができる。第２連結ボディー１６５bを媒介でキャリッジ１６２と結合されることができる。これに、電力受信部１６８はキャリッジ１６２が移動されれば、キャリッジ１６２と共に垂直方向に沿って移動されることができる。
【0061】
本発明の一実施例によるキャリッジモジュール１６０は、リニアモータマグネット１６４を含んで、リニアモータマグネット１６４はリニアモータコイル１４４と相互作用でキャリッジ１６２をレールモジュール１４０に沿って移動させることができる。すなわち、本発明の一実施例によるキャリッジモジュール１６０は、磁気浮上方式でレールモジュール１４０に沿って移動することができる。一般なタワーリフトではタイミングベルトとプーリーの摩擦でキャリッジモジュールを移動させるが、この場合パーティクルが発生することがある。しかし、本発明の一実施例によるキャリッジモジュール１６０は、磁気浮上方式でレールモジュール１４００に沿って移動することができる。これに、パーティクルが発生する問題を最小化することができる。
【0062】
また、キャリッジモジュール１６０は電力受信部１６８を含んで、電力発信部１４８から電力を非接触式で伝達を受けることができる。すなわち、キャリッジモジュール１６０を駆動することに必要な電力を非接触式で伝達を受けることができる。また、本発明は、電力ラインの連結が必要なリニアモータコイル１４４がフレーム１４２に設置され、電力ラインの連結が要求されないリニアモータマグネット１６４をキャリッジモジュール１６０を含むことができる。すなわち、電力ラインのようなインターフェースラインらはすべてレールモジュール１４０が有する構成らに連結され、キャリッジモジュール１６０にはインターフェースラインらが連結されないこともある。キャリッジモジュール１６０にインターフェースラインらが連結される場合、連結されたインターフェースラインらは複数のキャリッジモジュール１６０の運用を邪魔する要素で作用するが、本発明の一実施例によるキャリッジモジュール１６０にはインターフェースラインらが連結されなくて、複数のキャリッジモジュール１６０の運用をより容易にする。
【0063】
また、レールモジュール１４０が有する一対のリニアモータコイル１４４らは複数で提供され、フレーム１４２の長さ方向に沿ってお互いに離隔されてフレーム１４２に設置されることができる。
【0064】
制御機６００はタワーリフト１００を制御することができる。制御機６００はレールモジュール１４０に沿ってキャリッジモジュール１６０が磁気浮上方式で移動できるようにタワーリフト１００を制御することができる。また、制御機６００はタワーリフト１００の制御を実行するマイクロプロセッサー(コンピューター)でなされるプロセスコントローラーとオペレーターがタワーリフト１００を管理するためにコマンド入力操作などを行うキーボードや、タワーリフト１００の稼働状況を可視化して表示するディスプレイなどでなされるユーザーインターフェースとタワーリフト１００で実行される処理をプロセスコントローラーの制御で行うための制御プログラムや各種データ及び処理条件によって各構成部に処理を実行させるためのプログラム、すなわち、処理レシピが保存された保存部を具備することができる。また、ユーザーインターフェース及び保存部はプロセスコントローラーに接続されてあり得る。処理レシピは保存部のうちで保存媒体に保存されてあり得て、保存媒体はハードディスクであっても良く、CD-ROM、DVDなどの可搬性ディスクやフラッシュメモリーなどの半導体メモリーであることもある。
【0065】
このように本発明の一実施例によるキャリッジモジュール１６０は、磁気浮上方式でレールモジュール１４０に沿って移動されることができる。これに、キャリッジモジュール１６０を駆動する電力が遮られる場合、キャリッジモジュール１６０は墜落(自由落下)されることがある。これに、本発明の一実施例によるタワーリフト１００のキャリッジモジュール１６０には第１制動ユニット２００が設置されることができる。タワーリフト１００を駆動する電力が遮られれば、キャリッジモジュール１６０が落下されることがあるが、第１制動ユニット２００は電力が遮られた状態でもキャリッジモジュール１６０の落下を制動することができる。
【0066】
図４は、本発明の一実施例による制動ユニットを見せてくれる図面である。具体的に図４では、タワーリフト１００に電力が印加された状態の第１制動ユニット２００の姿を見せてくれる。図４を参照すれば、本発明の一実施例による制動ユニットである第１制動ユニット２００は第１ベースボディー２１０、第１制動ボディー２２０、スライディングローラー２３０、第１引張部材２４０、第１ホールディング部材２５０、そして、第１復元部材２６０を含むことができる。
【0067】
第１ベースボディー２１０はキャリッジモジュール１６０に対して相対位置が固定されることができる。例えば、第１ベースボディー２１０はキャリッジモジュール１６０に固定結合されることができる。第１ベースボディー２１０には後述するガイドホール２２２に挿入される複数のガイドピン２１２が提供されることができる。ガイドピン２１２は後述する第１制動ボディー２２０のガイドホール２２２に挿入されて第１制動ボディー２２０の移動方向をガイドすることができる。また、第１ベースボディー２１０には第１ベースボディー係止部２１４が提供されることができる。第１ベースボディー係止部２１４は後述する第１引張部材２４０の一端であることがある係止掛けがねがかかって固定されることができる。
【0068】
第１制動ボディー２２０はレールモジュール１４０、より詳細には、レールモジュール１４０のフレーム１４２と選択的に接触されてキャリッジモジュール１６０の自由落下を制動することができる。第１制動ボディー２２０は正面から眺める時、鋭角を含む角部分が切断された直角三角形形状を有することができる。
【0069】
また、第１制動ボディー２２０はレールモジュール１４０のフレーム１４２と向い合う面に提供される制動パッド２２１を含むことができる。制動パッド２２１とフレーム１４２との間の間隔(G１)は略３～５mmであることがある。また、第１制動ボディー２２０には上述したガイドピン２１２らが挟まれることができるガイドホール２２２が形成されることができる。ガイドホール２２２はフレーム１４２を向ける方向に上向き傾いた方向に形成される長ホール形状を有することができる。これに、第１制動ボディー２２０は垂直方向に対して傾いた方向に移動されることができる。また、第１制動ボディー２２０には第１制動ボディー係止部２２４が提供されることができる。第１制動ボディー係止部２２４には後述する第１引張部材２４０の他端であることがある係止掛けがねが挟まれて固定されることができる。
【0070】
スライディングローラー２３０は第１ベースボディー２１０と第１制動ボディー２２０との間に提供されることができる。例えば、スライディングローラー２３０は第１制動ボディー２２０の傾いた面と第１ベースボディー２１０との間に提供されることができる。スライディングローラー２３０は第１制動ボディー２２０が傾いた方向に移動する場合第１制動ボディー２２０の移動がより滑らかになされるように助ける。
【0071】
第１引張部材２４０は電力が遮られる場合第１制動ボディー２２０を上向き傾いた方向に移動させ、第１制動ボディー２２０をレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触させることができる。第１引張部材２４０は引張スプリング、そして、引張スプリングと連結される２個の掛けがねでなされることができるし、２個の掛けがねのうちで何れか一つは上述した第１ベースボディー係止部２１４にかかって固定され、２個の掛けがねのうちで他の一つは上述した第１制動ボディー係止部２２４に挟まれて固定されることができる。
【0072】
第１ホールディング部材２５０は電力が印加される場合だけに第１制動ボディー２２０をホールディング(Holding)して第１制動ボディー２２０とレールモジュール１４０のフレーム１４２と選択的に接触させることができる。例えば、第１ホールディング部材２５０はタワーリフト１００に電力が印加される場合には第１制動ボディー２２０をホールディングし、タワーリフト１００に電力が印加されない場合には第１制動ボディー２２０をホールディングしないこともある。
【0073】
また、第１ホールディング部材２５０は電磁石２５２とホールディングフレーム２５４を含むことができる。ホールディングフレーム２５４はキャリッジモジュール１６０に電磁石２５２を固定することができるし、電磁石２５２にはタワーリフト１００を駆動する第１電源２５６が連結されることができる。例えば、第１電源２５６がタワーリフト１００、第１制動ユニット２００に電力を印加する場合には、電磁石２５２には電力が印加され、電磁石２５２は磁力を発生させて第１制動ボディー２２０をホールディングすることができる。この場合、第１制動ボディー２２０はレールモジュール１４０のフレーム１４２とお互いに離隔されることができる。
【0074】
第１復元部材２６０は第１制動ボディー２２０を移動させることができる。例えば、第１復元部材２６０は第１制動ボディー２２０を下向き傾いた方向に移動させることができる。第１復元部材２６０は第１駆動機２６２と第１復元ボディー２６４を含むことができる。第１駆動機２６２はモータであることができる。第１駆動機２６２は第１復元ボディー２６４を回転させることができる。第１復元ボディー２６４は第１制動ボディー２２０に形成され、前方に突き出された復元突起２２６を下に押し出して第１制動ボディー２２０を下向き傾いた方向に移動させることができる。
【0075】
図５は、図４の制動ユニットがレールモジュールに沿って落下するキャリッジモジュールを制動する姿を見せてくれる図面である。図５を参照すれば、タワーリフト１００を駆動する電力が遮られれば、電磁石２５２に印加される電力も共に遮られる。この場合、電磁石２５２は磁力を発生させることができなくて、第１制動ボディー２２０をホールディングすることができない。これに、第１引張部材２４０の引張力によって第１制動ボディー２２０は、上向き傾いた方向に移動されることができる。これに、第１制動ボディー２２０の制動パッド２２１はレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触され、これに第１制動ユニット２００が設置されたキャリッジモジュール１６０の自由落下も制動されることができる。
【0076】
図６は、図４の制動ボディーが復元部材によって原位置に移動される姿を見せてくれる図面である。図６を参照すれば、第１制動ボディー２２０が上向き傾いた方向に移動されてレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触された以後、タワーリフト１００には再び電力が印加されることができる。この場合、第１復元部材２６０の第１復元ボディー２６４は回転されて第１制動ボディー２２０を下向き傾いた方向に移動させて第１制動ボディー２２０を原位置させることができる。第１制動ボディー２２０が原位置されれば、電磁石２５２の磁力を発生させ、これに第１ホールディング部材２５０は第１制動ボディー２２０を再びホールディングするようになる。
【0077】
図７は、本発明の他の実施例によるタワーリフトのレールモジュール、そして、キャリッジモジュールを見せてくれる斜視図である。図７を参照すれば、キャリッジモジュール１６０には第２制動ユニット３００が設置されることができる。
【0078】
図８は、本発明の他の実施例による制動ユニットを見せてくれる図面であり、図９は図８の制動ユニットの内部姿を見せてくれる図面である。具体的に、図８、そして、図９ではタワーリフト１００に電力が印加された状態の第２制動ユニット３００の姿を見せてくれる。図８、そして、図９を参照すれば、第２制動ユニット３００は第１ベースボディー３１０、第２制動ボディー３２０、第２引張部材３４０、第２ホールディング部材３５０、そして、第２復元部材３６０を含むことができる。
【0079】
第２ベースボディー３１０は第２制動ボディー３２０より後の方に位置されることができる。例えば、第２ベースボディー３１０は第２制動ボディー３２０より壁(W)に接するように位置されることができる。第２ベースボディー３１０には後述する第２制動ボディー３２０の第１係止端３２１、そして、第２係止端３２２がかかる係止ピン３１２が提供されることができる。係止ピン３１２は第２ベースボディー３１０に向ける方向に突き出されることができる。
【0080】
また、第２ベースボディー３１０には後述する第２制動ボディー３２０が回転される回転軸を中心とした弧形状の第１ガイド溝３１５、そして、第２ガイド溝３１６が形成されることができる。第１ガイド溝３１５と第２ガイド溝３１５には後述する第２制動ボディー３２０に形成され、第２制動ボディー３２０から第２ベースボディー３１０に向ける方向に突き出される第１ガイド突起３２５、そして、第２ガイド突起３２６がそれぞれ挿入されることができる。これに、第２制動ボディー３２０が回転される場合第１ガイド突起３２５、そして、第２ガイド突起３２６がそれぞれ第１ガイド溝３１５と第２ガイド溝３１５に沿って移動されることができる。
【0081】
また、第２ベースボディー３１０には後述する第２引張部材３４０の一端である掛けがねがかかる第２ベースボディー係止部３１４が提供されることができる。
【0082】
第２制動ボディー３２０はレールモジュール１４０のフレーム１４２と選択的に接触されてキャリッジモジュール１６０の落下を制動することができる。第２制動ボディー３２０は地面に水平な回転軸を中心に回転可能に提供されることができる。
【0083】
また、第２制動ボディー３２０は回転軸を基準で非対称なカム形状を有することができる。第２制動ボディー３２０が回転されてレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触される第２制動ボディー３２０の外径には鋸歯３２４が形成されることができる。また、第２制動ボディー３２０が第２ホールディング部材３５０によってホールディングされた状態で、第２制動ボディー３２０とフレーム１４２との間の間隔(G２)は略５mmであることがある。
【0084】
また、第２制動ボディー３２０は第１係止端３２１と第２係止端３２２を有して、第１係止端３２１と第２係止端３２２は第２制動ボディー３２０が回転されることによって、第２ベースボディー３１０の係止ピン３１２にかかることがある。これに、第２制動ボディー３２０が回転可能な角度は、第１係止端３２１、第２係止端３２２、そして、係止ピン３１２によって設定角度で制限されることができる。また、スライディング部３２３は第２制動ボディー３２０が回転されるうちに係止ピン３１２と触れ合う部分であることができる。
【0085】
第２引張部材３４０の一端である掛けがねは第１ガイド突起３２５にかかって固定され、第２引張部材３４０の他端である掛けがねは第２ベースボディー３１０に提供される第２ベースボディー係止部３１４にかかって固定されることができる。これに、タワーリフト１００に電力が遮られる場合第２引張部材３４０は第２制動ボディー３２０を第１方向(例えば、図９に示された例では時計方向)に回転させて第２制動ボディー３２０をレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触させることができる。第２引張部材３４０の構造は上述した第１引張部材２４０と同一または類似であるので、繰り返される説明は略する。
【0086】
第２ホールディング部材３５０は電力が印加される場合だけに第２制動ボディー３２０の第１方向への回転をホールディングし、第２制動ボディー３２０とレールモジュール１４０のフレーム１４２を選択的に接触させることができる。第２ホールディング部材３５０はソレノイド３５２とホールディングヘッド３５４を含むことができる。ソレノイド３５２はホールディングヘッド３５４を直線移動させることができる。例えば、ソレノイド３５２にタワーリフト１００を駆動する電力を印加する電源であることができる第２電源３５６が電力を印加する場合、ソレノイド３５２はホールディングヘッド３５４を前進させることができる。これと異なり、ソレノイド３５２に電力が遮られる場合、ソレノイド３５２はホールディングヘッド３５４を後退させることができる。また、ホールディングヘッド３５４は傾斜面を有することができる。また、タワーリフト１００、ソレノイド３５２に電力が印加される場合ホールディングヘッド３５４は第２ガイド突起３２６をホールディングして第２制動ボディー３２０が第１方向に回転されることを防止することができる。
【0087】
第２復元部材３６０は第２制動ボディー３２０が第１方向に回転されてレールモジュール１４０のフレーム１４２と接触された以後第２制動ボディー３２０を第１方向と逆方向である第２方向に回転させて第２制動ボディー３２０を原位置させることができる。第２復元部材３６０はモータである第２駆動機３６２と第２復元ボディー３６４を含むことができる。第２復元ボディー３６４は第２方向に回転されることができる。第２復元ボディー３６４は第２ガイド突起３２６を第２方向に回転させて第２制動ボディー３２０を第２方向に回転させることができる。
【0088】
図１０は、図８の制動ユニットが第１方向に回転される姿を見せてくれる図面である。図１０を参照すれば、タワーリフト１００に電力が遮られれば、ホールディングヘッド３５４は後進する。これに、第２ホールディング部材３５０は第２ガイド突起３２６をホールディングしなくなる。
【0089】
図１１は、図８の制動ユニットがレールモジュールに沿って落下するキャリッジモジュールを制動する姿を見せてくれる図面である。図１１を参照すれば、第２ホールディング部材３５０は第２ガイド突起３２６をホールディングしないので、第２引張部材３４０の引張力が第１ガイド突起３２５を第１方向に回転させることができる。これに、第２制動ボディー３２０の鋸歯３２４がフレーム１４２と接触されることができる。これに、キャリッジモジュール１６０が落下を制動することができるようになる。
【0090】
図１２、図１３、そして、図１４は、図８の制動ボディーが復元部材によって第２方向に回転されて原位置される姿を見せてくれる図面らである。タワーリフト１００に電力が再び印加される場合、図１２に示されたように第２復元部材３６０は第２ガイド突起３２６を第１方向に逆方向である第２方向に回転させることができる。これに、第２制動ボディー３２０は第２方向に回転されることができる。以後、図１３に示されたところのようにホールディングヘッド３５４の末端が第２ガイド突起３２６と第２復元ボディー３６４との間に進入する。これに、第２ホールディング部材３５０は再び、第２制動ボディー３２０の回転をホールディングすることができるようになる。以後、図１４に示されたところのように第２復元ボディー３６４は原位置されることができる。
【0091】
前述したように本発明の制動ユニット２００３００は、電力が遮られた場合にレールモジュール１４０と接触されることができるように構成される。これに、タワーリフト１００に電力が遮られてキャリッジモジュール１６０が自由落下することを制動することができる。
【0092】
また、第１制動ユニット２００は広い接触面積を有して安定的にキャリッジモジュール１６０の落下を制動することができる長所がある。また、第２制動ユニット３００は鋸歯３２４によってキャリッジモジュール１６０の制動距離を短くできる長所がある。
【0093】
このような第１制動ユニット２００、第２制動ユニット３００の長所をすべて有するように図１５に示されたようにキャリッジモジュール１６０には第１制動ユニット２００、そして、第２制動ユニット３００すべてが設置されることができる。また、この場合、第１制動ユニット２００の広い接触面積を有するので、キャリッジモジュール１６０の制動時に搖れることを最小化するために第１制動ユニット２００が第２制動ユニット３００よりさらに高い位置に設置されることが望ましい。
【0094】
前述した例では、タワーリフト１００が半導体製造ラインに提供されることを例にあげて説明したが、これに限定されるものではない。例えば、タワーリフト１００は物品の返送が要求される多様な製造ラインに同一または類似に適用されることができる。
【0095】
以上の詳細な説明は本発明を例示するものである。また、前述した内容は本発明の技術的思想を具現するための望ましいか、または多様な実施形態を示して説明するものであり、本発明は多様な他の組合、変更及び環境で使用することができる。すなわち、本明細書に開示された発明の概念の範囲、著わした開示内容と均等な範囲及び/または当業界の技術または知識の範囲内で変更または修正が可能である。したがって、以上の発明の詳細な説明は開示された実施状態で本発明を制限しようとする意図ではない。また、添付された請求範囲は他の実施状態も含むものとして解釈されなければならない。このような変形実施らは本発明の技術的思想や見込みから個別的に理解されてはいけないであろう。
【符号の説明】
【0096】
１０ 半導体製造ライン
１１ 第１層
１２ 第２層
１３ 第３層
１００ タワーリフト
１２０ ステージモジュール
１４０ キャリッジモジュール
２００ 第１制動ユニット
２１０ 第１ベースボディー
２１２ ガイドピン
２１４ 第１ベースボディー係止部
２２０ 第１制動ボディー
２２１ 制動パッド
２２２ ガイドホール
２２４ 第１制動ボディー係止部
２２６ 復元突起
２３０ スライディングローラー
２４０ 第１引張部材
２５０ 第１ホールディング部材
２５２ 電磁石
２５４ ホールディングフレーム
２５６ 第１電源
２６０ 第１復元部材
２６２ 第１駆動機
２６４ 第１復元ボディー
３００ 第２制動ユニット
３１０ 第２ベースボディー
３１２ 係止ピン
３１４ 第２ベースボディー係止部
３１５ 第１ガイド溝
３１６ 第２ガイド溝
３２０ 第２制動ボディー
３２１ 第１係止端
３２２ 第２係止端
３２３ スライディング部
３２４ 鋸歯
３２５ 第１ガイド突起
３２６ 第２ガイド突起
３４０ 第２引張部材
３５０ 第２ホールディング部材
３５２ ソレノイド
３５４ ホールディングヘッド
３５６ 第２電源
３６０ 第２復元部材
３６２ 第２駆動機
３６４ 第２復元ボディー
４００ 容器貯蔵部
５００ 返送レール
６００ 制御機
１１ 第１層
１２ 第２層
１３ 第３層
１００ タワーリフト
１２０ ステージモジュール
１４０ キャリッジモジュール
２００ 第１制動ユニット
２１０ 第１ベースボディー
２１２ ガイドピン
２１４ 第１ベースボディー係止部
２２０ 第１制動ボディー
２２１ 制動パッド
２２２ ガイドホール
２２４ 第１制動ボディー係止部
２２６ 復元突起
２３０ スライディングローラー
２４０ 第１引張部材
２５０ 第１ホールディング部材
２５２ 電磁石
２５４ ホールディングフレーム
２５６ 第１電源
２６０ 第１復元部材
２６２ 第１駆動機
２６４ 第１復元ボディー
３００ 第２制動ユニット
３１０ 第２ベースボディー
３１２ 係止ピン
３１４ 第２ベースボディー係止部
３１５ 第１ガイド溝
３１６ 第２ガイド溝
３２０ 第２制動ボディー
３２１ 第１係止端
３２２ 第２係止端
３２３ スライディング部
３２４ 鋸歯
３２５ 第１ガイド突起
３２６ 第２ガイド突起
３４０ 第２引張部材
３５０ 第２ホールディング部材
３５２ ソレノイド
３５４ ホールディングヘッド
３５６ 第２電源
３６０ 第２復元部材
３６２ 第２駆動機
３６４ 第２復元ボディー
４００ 容器貯蔵部
５００ 返送レール
６００ 制御機
【図1】
【図2】
【図3】
【図4】
【図5】
【図6】
【図7】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図13】
【図14】
【図15】