(19)【発行国】日本国特許庁(JP)
(12)【公報種別】特許公報(B2)
(11)【特許番号】
(24)【登録日】2023-10-25
(45)【発行日】2023-11-02
(54)【発明の名称】個片体の製造方法
(51)【国際特許分類】
H01L 21/301 20060101AFI20231026BHJP
B23K 26/53 20140101ALN20231026BHJP
【ＦＩ】
H01L21/78 V
H01L21/78 B
H01L21/78 M
B23K26/53
【請求項の数】
8
(21)【出願番号】P 2018063681
(22)【出願日】2018-03-29
(65)【公開番号】P2019176038
(43)【公開日】2019-10-10
【審査請求日】2021-01-20
【審判番号】
【審判請求日】2022-10-28
(73)【特許権者】
【識別番号】000102980
【氏名又は名称】リンテック株式会社
(74)【代理人】
【識別番号】100120592
【弁理士】
【氏名又は名称】山崎 崇裕
(72)【発明者】
【氏名】杉下 芳昭
【合議体】
【審判長】瀧内 健夫
【審判官】松永 稔
【審判官】市川 武宜
(56)【参考文献】
【文献】特開２０１４－０８６６１１（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００８－１３２７１０（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１２－０３３６３６（ＪＰ，Ａ）
【文献】特表２０１３－５４３２６２（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２０１３－２０３７９９（ＪＰ，Ａ）
【文献】特開２００４－２６００８３（ＪＰ，Ａ）
(58)【調査した分野】(Int.Cl.，ＤＢ名)
H01L21/301, B23K26/53
(57)【特許請求の範囲】
【請求項1】
被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法において、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付工程と、
前記シート貼付工程の前段または後段にて、前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成工程と、
前記接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させる接着力低減工程とを実施し、
前記接着力低減工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分と前記被着体との接着面積を低減させて当該接着シート部分の前記被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成し、当該個片体形成時の前記エネルギー付与によって、各個片体それぞれの全領域に対する前記接着シートの接着力を低減させることを特徴とする個片体の製造方法。
【請求項2】
被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法において、前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付されており、
前記被着体に改質部を形成し、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域を前記被着体に形成する改質部形成工程と、
前記接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させる接着力低減工程とを実施し、
前記接着力低減工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分と前記被着体との接着面積を低減させて当該接着シート部分の前記被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成し、当該個片体形成時の前記エネルギー付与によって、各個片体それぞれの全領域に対する前記接着シートの接着力を低減させることを特徴とする個片体の製造方法。
【請求項3】
被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法において、前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が形成されており、
所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを前記被着体に貼付するシート貼付工程と、
前記接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させる接着力低減工程とを実施し、
前記接着力低減工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分と前記被着体との接着面積を低減させて当該接着シート部分の前記被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成し、当該個片体形成時の前記エネルギー付与によって、各個片体それぞれの全領域に対する前記接着シートの接着力を低減させることを特徴とする個片体の製造方法。
【請求項4】
被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法において、前記被着体には、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加された接着シートが予め貼付され、且つ、前記被着体には、改質部が形成され、当該改質部で囲繞または当該改質部と前記被着体の外縁とで囲繞された個片化予定領域が予め形成されており、
前記接着シートの前記被着体に対する接着力を低減させる接着力低減工程を実施し、
前記接着力低減工程では、前記接着シートに対して部分的に前記エネルギーを付与し、当該エネルギーが付与された接着シート部分に添加されている前記膨張性微粒子を膨張させ、当該接着シート部分と前記被着体との接着面積を低減させて当該接着シート部分の前記被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分に貼付されている前記個片化予定領域を変位させて前記個片体を形成し、当該個片体形成時の前記エネルギー付与によって、各個片体それぞれの全領域に対する前記接着シートの接着力を低減させることを特徴とする個片体の製造方法。
【請求項5】
前記改質部は、第１方向に沿う第１改質部と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部とを含み、前記接着力低減工程では、前記エネルギーを付与した位置に、当該エネルギーの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域を形成し、当該ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させる第１接着力低減工程と、当該ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させる第２接着力低減工程とを実施することを特徴とする請求項３または請求項４に記載の個片体の製造方法。
【請求項6】
前記改質部形成工程では、第１方向に沿う第１改質部を形成する第１改質部形成工程と、当該第１方向に交差する第２方向に沿う第２改質部を形成する第２改質部形成工程とを実施し、前記接着力低減工程では、前記エネルギーを付与した位置に、当該エネルギーの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域を形成し、当該ライン状付与領域を前記第１方向と平行となるように移動させる第１接着力低減工程と、当該ライン状付与領域を前記第２方向と平行となるように移動させる第２接着力低減工程とを実施することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の個片体の製造方法。
【請求項7】
前記膨張性微粒子は、所定の第１エネルギーで膨張する第１膨張性微粒子と、当該第１エネルギーと異なる所定の第２エネルギーで膨張する第２膨張性微粒子とを有し、前記接着力低減工程では、前記接着シートに前記第１エネルギーを付与する第１エネルギー付与工程と、前記接着シートに前記第２エネルギーを付与する第２エネルギー付与工程とを実施することを特徴とする請求項１乃至請求項６の何れかに記載の個片体の製造方法。
【請求項8】
前記接着力低減工程で変位される前の被着体部分が変位することを抑制する変位抑制工程を実施することを特徴とする請求項１乃至請求項７の何れかに記載の個片体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、個片体の製造方法に関する。
【背景技術】
【0002】
従来、被着体に形成した改質部を起点とし、当該被着体を個片化して個片体を形成する個片体の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
【文献】特開２０１５－２１１０８０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
しかしながら、特許文献１に記載された従来の方法では、ダイシングテープ１（接着シート）として半導体ウエハ４（被着体）との接着力が強力なものが採用された場合、当該接着シートに張力を付与して被着体をダイボンド用チップ（個片体）に個片化するエキスパンド工程（個片化工程）と、接着シートに紫外線（エネルギー）を照射する接着力低減工程との２工程が必要となるという不都合を発生する。
【0005】
本発明の目的は、個片体の製造工程を簡略化することができる個片体の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【0007】
本発明によれば、接着力低減工程において被着体を個片化して個片体を形成するので、従来では、個片化工程と接着力低減工程との２工程必要だった作業を１工程で済ますことができ、個片体の製造工程を簡略化することができる。
【図面の簡単な説明】
【0008】
【発明を実施するための形態】
【0009】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１（Ａ）中手前方向で「後」がその逆方向とする。
【0010】
本発明の個片体の製造方法は、被着体としての半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」ともいう）ＷＦを個片化して個片体としての半導体チップ（以下、単に「チップ」ともいう）ＣＰを形成する個片体の製造方法であって、所定のエネルギーとしての赤外線ＩＲが付与されることで膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されている接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付するシート貼付工程ＰＣ１と、シート貼付工程ＰＣ１の後段にて、ウエハＷＦに改質部ＭＴを形成し、当該改質部ＭＴで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰをウエハＷＦに形成する改質部形成工程ＰＣ２と、接着シートＡＳのウエハＷＦに対する接着力を低減させる接着力低減工程ＰＣ３とを実施する。
なお、本実施形態では、接着シートＡＳは、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとを備え、当該接着剤層ＡＬのみに膨張性微粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。
なお、本実施形態では、接着シートＡＳは、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとを備え、当該接着剤層ＡＬのみに膨張性微粒子ＳＧが添加されたものが採用されている。
【0011】
シート貼付工程ＰＣ１は、図１（Ａ）に示すように、押圧手段としての押圧ローラ１１で接着シートＡＳをウエハＷＦの一方の面に押圧して貼付する。このシート貼付工程ＰＣ１では、押圧ローラ１１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりしてウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付することができる。ウエハＷＦは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されており、接着シートＡＳは、そのようなウエハＷＦにおける回路が形成された面に貼付されてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されてもよい。
【0012】
改質部形成工程ＰＣ２は、図１（Ｂ）に示すように、改質部形成手段としてのレーザ照射機２１でウエハＷＦに複数の改質部ＭＴを形成する。この改質部形成工程ＰＣ２では、レーザ照射機２１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方をＹ軸方向に移動させたり、それら両方をＹ軸方向に移動させたりして、図１（Ｂ－１）に示すように、第１方向としてのＹ軸方向に沿う第１改質部ＭＴＹを形成する第１改質部形成工程ＰＣ２１と、レーザ照射機２１とウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方をＸ軸方向に移動させたり、それら両方をＸ軸方向に移動させたりして、図１（Ｂ－２）に示すように、Ｙ軸方向に交差する第２方向としてのＸ軸方向に沿う第２改質部ＭＴＸを形成する第２改質部形成工程ＰＣ２２とを実施し、第１改質部ＭＴＹと第２改質部ＭＴＸとで囲繞された個片化予定領域ＷＦＰを形成するようになっている。
【0013】
接着力低減工程ＰＣ３は、図１（Ｃ）に示すように、赤外線ＩＲを発光する発光源３１Ａと、当該発光源３１Ａで発光した赤外線ＩＲを集光させる集光板３１Ｂとで構成されたエネルギー付与手段３１を用い、接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与し、当該赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、当該接着シート部分ＡＳＰとウエハＷＦとの接着面積を低減させて当該接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分ＡＳＰに貼付されている個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成する。この接着力低減工程ＰＣ３では、赤外線ＩＲは、エネルギー付与手段３１と、ウエハＷＦとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりして接着剤層ＡＬに赤外線ＩＲを付与することができる。
【0014】
本実施形態では、接着力低減工程ＰＣ３は、赤外線ＩＲを付与した位置に、当該赤外線ＩＲの付与領域が所定の方向に延びるライン状付与領域ＬＧを形成し、図１（Ｃ－１）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＹ軸方向と平行となるように移動させる第１接着力低減工程ＰＣ３１と、図１（Ｃ－２）に示すように、当該ライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させる第２接着力低減工程ＰＣ３２とを実施し、ウエハＷＦに貼付された接着シートＡＳの接着剤層ＡＬに当該赤外線ＩＲを付与することで、接着剤層ＡＬに添加されている膨張性微粒子ＳＧを膨張させる。
【0015】
第１接着力低減工程ＰＣ３１では、図１（Ｃ－１）に示すように、Ｙ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧを右方から左方に向けて移動させ、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧを次々に膨張させ、接着剤層ＡＬに無数の凸部ＣＶを形成する。これにより、接着シート部分ＡＳＰとウエハＷＦとの接着面積が低減し、当該接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力が低減するとともに、ウエハＷＦが右方から左方に向けて次々に部分的に持ち上げられ、第１改質部ＭＴＹが起点となってＹ軸方向に延びる亀裂ＣＫＹが形成され、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳが形成される。このとき、エネルギー付与手段は、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている個々の膨張性微粒子ＳＧが完全に膨張しないように、または、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧ全てが膨張しないように赤外線ＩＲを照射する。
【0016】
次いで、エネルギー付与手段３１をＸＹ平面内で９０度回転移動させ、当該エネルギー付与手段３１が形成したライン状付与領域ＬＧをＸ軸方向と平行となるように移動させた後、第２接着力低減工程ＰＣ３２が実施される。
第２接着力低減工程ＰＣ３２では、図１（Ｃ－２）に示すように、Ｘ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの前方から後方に向けて移動させ、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている個々の膨張性微粒子ＳＧを次々にさらに大きく膨張させ、または、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧのさらに多くを膨張させ、接着剤層ＡＬに形成された無数の凸部ＣＶを拡大させる。これにより、接着シート部分ＡＳＰとウエハＷＦとの接着面積がさらに低減し、当該接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力がさらに低減するとともに、短冊状のウエハＷＦＳが前方から後方に向けて次々に部分的に持ち上げられ、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰが形成される。
なお、接着シートＡＳは、無数の凸部ＣＶによってチップＣＰとの接着領域が減少するので、当該チップＣＰとの接着力が減少し、接着シートＡＳとしてチップＣＰ（ウエハＷＦ）との接着力が強力なものが採用された場合にでも、チップＣＰを簡単に接着シートＡＳから取り外すことができるようになっている。
第２接着力低減工程ＰＣ３２では、図１（Ｃ－２）に示すように、Ｘ軸方向に沿うライン状付与領域ＬＧをウエハＷＦの前方から後方に向けて移動させ、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている個々の膨張性微粒子ＳＧを次々にさらに大きく膨張させ、または、赤外線ＩＲが付与された接着シート部分ＡＳＰに添加されている膨張性微粒子ＳＧのさらに多くを膨張させ、接着剤層ＡＬに形成された無数の凸部ＣＶを拡大させる。これにより、接着シート部分ＡＳＰとウエハＷＦとの接着面積がさらに低減し、当該接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力がさらに低減するとともに、短冊状のウエハＷＦＳが前方から後方に向けて次々に部分的に持ち上げられ、第２改質部ＭＴＸが起点となってＸ軸方向に延びる亀裂ＣＫＸが形成され、当該亀裂ＣＫＸと先に形成されていた亀裂ＣＫＹとで複数のチップＣＰが形成される。
なお、接着シートＡＳは、無数の凸部ＣＶによってチップＣＰとの接着領域が減少するので、当該チップＣＰとの接着力が減少し、接着シートＡＳとしてチップＣＰ（ウエハＷＦ）との接着力が強力なものが採用された場合にでも、チップＣＰを簡単に接着シートＡＳから取り外すことができるようになっている。
【0017】
以上のような実施形態によれば、接着力低減工程ＰＣ３においてウエハＷＦを個片化してチップＣＰを形成するので、従来では、個片化工程と接着力低減工程との２工程必要だった作業を１工程で済ますことができ、チップＣＰの製造工程を簡略化することができる。
【0018】
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、シート貼付工程は、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子が添加されている接着シートを被着体に貼付する工程であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。
【0019】
シート貼付工程ＰＣ１は、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって接着シートＡＳを保持可能な保持部材で接着シートＡＳを吸着保持し、当該保持部材で保持した接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付してもよいし、接着シートＡＳをウエハＷＦの両面に貼付してもよく、ウエハＷＦの両面に接着シートＡＳを貼付する場合、それら接着シートＡＳは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよいし、一方の接着シートには、膨張性微粒子ＳＧが添加されていなくてもよい。
接着シートＡＳが予めウエハＷＦに貼付されている場合、本発明の個片体の製造方法においてシート貼付工程ＰＣ１は実施しなくてもよい。
接着シートＡＳが予めウエハＷＦに貼付されている場合、本発明の個片体の製造方法においてシート貼付工程ＰＣ１は実施しなくてもよい。
【0020】
改質部形成工程ＰＣ２は、シート貼付工程ＰＣ１の前段で実施されてもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行な１本の改質部ＭＴを形成してもよいし、Ｘ軸またはＹ軸と平行でない１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に不等間隔な複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に平行または平行でない複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に交差しない複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、相互に直交または斜交する複数の改質部ＭＴを形成してもよいし、曲線状または折線状の１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよく、そのような改質部ＭＴによって形成される個片化予定領域ＷＦＰやチップＣＰの形状は、円形、楕円形、三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよいし、第１、第２方向以外に、その他の１または２以上の方向それぞれに１本または複数の改質部ＭＴを形成してもよく、この場合、接着力低減工程は、第１、第２接着力低減工程ＰＣ３１、ＰＣ３２以外に、その他の１または２以上の接着力低減工程を実施してもよい。
改質部形成手段は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性微粒子ＳＧの膨張によって被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部ＭＴが予めウエハＷＦに形成されている場合、本発明の個片体の製造方法において改質部形成工程ＰＣ２は実施しなくてもよい。
改質部形成手段は、レーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等の付与によって、ウエハＷＦの特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、ウエハＷＦを脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して改質部ＭＴを形成してもよく、このような改質部ＭＴは、膨張性微粒子ＳＧの膨張によって被着体を個片化して個片体を形成することができればどのようなものでもよい。
改質部ＭＴが予めウエハＷＦに形成されている場合、本発明の個片体の製造方法において改質部形成工程ＰＣ２は実施しなくてもよい。
【0021】
接着力低減工程ＰＣ３は、図２（Ａ）に示すように、第１改質部ＭＴＹまたは第２改質部ＭＴＸに斜交するライン状付与領域ＬＧ（不図示）をウエハＷＦの一端から他端に向けて移動させることで、第１、第２改質部ＭＴＹ、ＭＴＸの両方を起点として亀裂ＣＫＹ、ＣＫＸを同時に形成し、チップＣＰを形成してもよい。この場合、接着力低減工程ＰＣ３において第２接着力低減工程ＰＣ３２は実施しなくてもよい。なお、この場合の斜交角度は、例えば、Ｘ軸方向に対して１度、５度、１０度、４５度、６０度、８９度等、どのような角度でもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳ全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源３２Ａと、当該発光源３２Ａで発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板３２Ｂと、反射板３２Ｂの上部の開口部３２Ｃを開閉可能な開閉板３２Ｄとで構成されたエネルギー付与手段３２を採用し、以下の第１接着力低減工程ＰＣ３３と第２接着力低減工程ＰＣ３４とを実施してもよい。
第１接着力低減工程ＰＣ３３は、開口部３２Ｃを開閉板３２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板３２Ｄを右方から左方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－１）に示すように、右方から左方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳを形成する。次いで、エネルギー付与手段３２をＸＹ平面内で９０度回転移動させた後、第２接着力低減工程ＰＣ３４が実施される。第２接着力低減工程ＰＣ３４は、開口部３２Ｃを開閉板３２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板３２Ｄを前方から後方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－２）に示すように、前方から後方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成する。この場合、開閉板３２Ｄの代わりに、図２（Ｃ－１）、（Ｃ－２）に示すように、発光源３２Ａが発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット３２Ｅを備えた開閉板３２Ｆを採用してもよい。なお、スリット３２Ｅには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、例えば、赤外線ＩＲを付与する接着シート部分ＡＳＰを、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応するものだけとし、当該１つまたは複数の区画に対応する接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分ＡＳＰに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成してもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源３１Ａ、３２Ａとして、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射してもよいし、エネルギー付与手段としてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、被着体に所定のエネルギーを付与してもよく、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮してエネルギー付与手段を任意に決定することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、接着シートＡＳ側から付与してもよいし、被着体側と接着シートＡＳ側との両方から付与してもよい。
エネルギー付与手段３１、３２は、集光板３１Ｂや反射板３２Ｂがなくてもよいし、集光板３１Ｂの代わりにまたは集光板３１Ｂと併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、図２（Ｂ）に示すように、接着シートＡＳ全体に一括で赤外線ＩＲを付与可能な発光源３２Ａと、当該発光源３２Ａで発光した赤外線ＩＲを反射させる反射板３２Ｂと、反射板３２Ｂの上部の開口部３２Ｃを開閉可能な開閉板３２Ｄとで構成されたエネルギー付与手段３２を採用し、以下の第１接着力低減工程ＰＣ３３と第２接着力低減工程ＰＣ３４とを実施してもよい。
第１接着力低減工程ＰＣ３３は、開口部３２Ｃを開閉板３２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板３２Ｄを右方から左方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－１）に示すように、右方から左方に向けて次々に亀裂ＣＫＹを形成し、Ｙ軸方向に延びる短冊状のウエハＷＦＳを形成する。次いで、エネルギー付与手段３２をＸＹ平面内で９０度回転移動させた後、第２接着力低減工程ＰＣ３４が実施される。第２接着力低減工程ＰＣ３４は、開口部３２Ｃを開閉板３２Ｄで全閉にした状態から当該開閉板３２Ｄを前方から後方に向けて徐々に移動させ、図２（Ｂ－２）に示すように、前方から後方に向けて次々に亀裂ＣＫＸを形成し、亀裂ＣＫＸと亀裂ＣＫＹとでチップＣＰを形成する。この場合、開閉板３２Ｄの代わりに、図２（Ｃ－１）、（Ｃ－２）に示すように、発光源３２Ａが発光した赤外線ＩＲでライン状付与領域ＬＧを形成するスリット３２Ｅを備えた開閉板３２Ｆを採用してもよい。なお、スリット３２Ｅには、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、例えば、赤外線ＩＲを付与する接着シート部分ＡＳＰを、任意の位置の個片化予定領域ＷＦＰの１つまたは複数の区画に対応するものだけとし、当該１つまたは複数の区画に対応する接着シート部分ＡＳＰのウエハＷＦに対する接着力を低減させるとともに、当該接着シート部分ＡＳＰに貼付されている１つまたは複数の区画からなる個片化予定領域ＷＦＰを変位させてチップＣＰを形成してもよい。
接着力低減工程ＰＣ３は、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射する時間を任意に決定することができるし、発光源３１Ａ、３２Ａとして、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、接着シートＡＳに赤外線ＩＲを照射してもよいし、エネルギー付与手段としてレーザ光、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与するものを採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりして、被着体に所定のエネルギーを付与してもよく、膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮してエネルギー付与手段を任意に決定することができるし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものの場合、当該所定のエネルギーを被着体側から付与してもよいし、接着シートＡＳ側から付与してもよいし、被着体側と接着シートＡＳ側との両方から付与してもよい。
エネルギー付与手段３１、３２は、集光板３１Ｂや反射板３２Ｂがなくてもよいし、集光板３１Ｂの代わりにまたは集光板３１Ｂと併用し、赤外線ＩＲを集光させたり平行光としたりするレンズを設けてもよい。
【0022】
例えば、膨張性微粒子ＳＧが、所定の第１エネルギーとしての８０℃の熱で膨張する図示しない第１膨張性微粒子と、当該第１エネルギーと異なる所定の第２エネルギーとしての１００℃の熱で膨張する図示しない第２膨張性微粒子とを有し、接着力低減工程ＰＣ３では、接着シートＡＳに８０℃の熱を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成する第１エネルギー付与工程と、接着シートＡＳに１００℃の熱を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成する第２エネルギー付与工程とを実施し、チップＣＰを形成してもよい。この場合、第１エネルギーや第２エネルギーは、何度の熱でもよいし、膨張性微粒子ＳＧが、第１、第２エネルギー以外の他の温度の熱で膨張する他の膨張性微粒子を有する場合、他の温度の熱を付与する接着力低減工程をその分増やすことができる。
また、膨張性微粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性微粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性微粒子とが添加されている接着シートＡＳを採用し、接着力低減工程ＰＣ３では、第１エネルギー付与工程で赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成し、第２エネルギー付与工程で紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを形成してもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、接着シートＡＳに添加されている図示しない第１、第２膨張性微粒子の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性微粒子が添加されている接着シートＡＳが採用された場合、当該他のエネルギーを付与する接着力低減工程をその分増やすこともできる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々にライン状付与領域ＬＧを移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみにライン状付与領域ＬＧが位置するようにエネルギー付与手段３１を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、発光源３１Ａを消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置にライン状付与領域ＬＧが位置するようにエネルギー付与手段３１を移動させてから発光源３１Ａを駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、前記実施形態の接着力低減工程ＰＣ３では、ライン状付与領域ＬＧを形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したが、接着力低減工程ＰＣ３では、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したりしてもよい。
また、接着シートＡＳとして、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、接着力低減工程ＰＣ３は、それら膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該被着体を個片化して個片体を形成できればよい。
第１接着力低減工程ＰＣ３１またはＰＣ３３から第２接着力低減工程ＰＣ３２またはＰＣ３４に移る際、停止しているエネルギー付与手段３１、３２に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で９０度回転移動させてもよいし、エネルギー付与手段３１、３２とウエハＷＦとが相対的にＸＹ平面内で９０度回転移動するようにそれら両方を回転移動させてもよい。
また、膨張性微粒子ＳＧとして、第１エネルギーとしての赤外線で膨張する図示しない第１膨張性微粒子と、第２エネルギーとしての紫外線で膨張する図示しない第２膨張性微粒子とが添加されている接着シートＡＳを採用し、接着力低減工程ＰＣ３では、第１エネルギー付与工程で赤外線を付与して第１改質部ＭＴＹを起点として亀裂ＣＫＹを形成し、第２エネルギー付与工程で紫外線を付与して第２改質部ＭＴＸを起点として亀裂ＣＫＸを形成し、チップＣＰを形成してもよい。なお、第１エネルギーと第２エネルギーとの組み合わせは、赤外線、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等、接着シートＡＳに添加されている図示しない第１、第２膨張性微粒子の組み合わせによってどのような組み合わせでもよいし、第１、第２エネルギー以外の他のエネルギーで膨張する他の膨張性微粒子が添加されている接着シートＡＳが採用された場合、当該他のエネルギーを付与する接着力低減工程をその分増やすこともできる。
さらに、前記実施形態では、ウエハＷＦの一端から他端に向けて徐々にライン状付与領域ＬＧを移動させたが、改質部ＭＴが形成されている位置のみにライン状付与領域ＬＧが位置するようにエネルギー付与手段３１を移動させ、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したり、発光源３１Ａを消灯させておき、改質部ＭＴが形成されている位置にライン状付与領域ＬＧが位置するようにエネルギー付与手段３１を移動させてから発光源３１Ａを駆動し、改質部ＭＴを起点として亀裂ＣＫを形成したりしてもよい。
また、前記実施形態の接着力低減工程ＰＣ３では、ライン状付与領域ＬＧを形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したが、接着力低減工程ＰＣ３では、赤外線ＩＲの付与領域が点状となる点状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したり、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応した面状付与領域または、個片化予定領域ＷＦＰの平面形状に対応していない面状付与領域を形成して接着シートＡＳに対して部分的に赤外線ＩＲを付与したりしてもよい。
また、接着シートＡＳとして、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を所定のエネルギーとして膨張する膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよく、接着力低減工程ＰＣ３は、それら膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して当該膨張性微粒子ＳＧを膨張させ、被着体に対する接着力を低減させるとともに、当該被着体を個片化して個片体を形成できればよい。
第１接着力低減工程ＰＣ３１またはＰＣ３３から第２接着力低減工程ＰＣ３２またはＰＣ３４に移る際、停止しているエネルギー付与手段３１、３２に対してウエハＷＦをＸＹ平面内で９０度回転移動させてもよいし、エネルギー付与手段３１、３２とウエハＷＦとが相対的にＸＹ平面内で９０度回転移動するようにそれら両方を回転移動させてもよい。
【0023】
接着シートＡＳは、当該接着シートＡＳを構成する基材ＢＳのみに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材ＢＳとの両方に膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ＡＬと基材ＢＳとの中間に中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ＡＬおよび基材ＢＳのうち少なくとも１つまたは少なくとも２つに膨張性微粒子ＳＧが添加されているものが採用されてもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状のウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、接着力低減工程ＰＣ３において第２接着力低減工程ＰＣ３２およびＰＣ３４は実施しなくてもよい。
被着体が予め短冊状のウエハＷＦＳのようなものであれば、接着力低減工程ＰＣ３において第２接着力低減工程ＰＣ３２またはＰＣ３４のみを実施してチップＣＰを形成してもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性微粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性微粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、所定のエネルギーとして、赤外線以外に、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等が付与されることで膨張するものでもよく、そのような膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてエネルギー付与手段が選択されればよい。
ウエハＷＦは、一方の面および他方の面の両方に回路が形成されていなくてもよい。
個片体は、チップＣＰに限らず、例えば、短冊状のウエハＷＦＳでもよく、この場合の個片化予定領域は、第１改質部ＭＴＹとウエハＷＦの外縁とで囲繞された領域となり、接着力低減工程ＰＣ３において第２接着力低減工程ＰＣ３２およびＰＣ３４は実施しなくてもよい。
被着体が予め短冊状のウエハＷＦＳのようなものであれば、接着力低減工程ＰＣ３において第２接着力低減工程ＰＣ３２またはＰＣ３４のみを実施してチップＣＰを形成してもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、例えば、イソブタン、プロパン、ペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質が弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願２０１７－７３２３６、特開２０１３－１５９７４３、特開２０１２－１６７１５１、特開２００１－１２３００２等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開２０１３－４７３２１、特開２００７－２５４５８０、特開２０１１－２１２５２８、特開２００３－２６１８４２等で開示されている膨張性微粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス、窒素を発生させて膨張性微粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開２０１６－５３１１５、特開平７－２７８３３３で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴムや樹脂等でもよいし、その他、重曹、炭酸水素ナトリウム、ベーキングパウダ等でもよい。
膨張性微粒子ＳＧは、所定のエネルギーとして、赤外線以外に、紫外線、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱等が付与されることで膨張するものでもよく、そのような膨張性微粒子ＳＧの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてエネルギー付与手段が選択されればよい。
ウエハＷＦは、一方の面および他方の面の両方に回路が形成されていなくてもよい。
【0024】
本発明の個片体の製造方法では、接着力低減工程ＰＣ３で変位される前のウエハＷＦ部分が変位することを抑制する変位抑制工程を実施してもよい。この変位抑制工程は、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板ＨＰを配置させることで、変位する個片化予定領域ＷＦＰに追従して隣接する個片化予定領域ＷＦＰも一緒に変位し、改質部ＭＴが亀裂ＣＫとなることが抑制されることを防止することができる。なお、このような変位抑制工程では、変位させたくない個片化予定領域ＷＦＰ上に押え板ＨＰを当接させてもよいし、当接させなくてもよいし、気体の吹き付けにより、変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したり、プーリとベルトとで、変位される前のウエハＷＦが変位することを抑制したりする他の構成を採用してもよい。
接着力低減工程ＰＣ３において膨張性微粒子ＳＧが膨張した際、接着シートＡＳが変位してしまうことで個片化予定領域ＷＦＰが変位しなくなることを防止するために、当該接着力低減工程ＰＣ３の前段で、接着シートＡＳの変位を防止するシート支持工程を実施してもよい。このようなシート支持工程は、例えば、保持面を備えた保持プレート（保持部材）で接着シートＡＳを基材ＢＳ側から吸着保持したり、基材ＢＳ側に鉄板や硝子板等の板状部材（保持部材）を貼付したりして、基材ＢＳを面で保持するようにすればよい。なお、保持プレートや板状部材は、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。また、接着シートＡＳが、膨張性微粒子ＳＧが膨張した際、変位しない程度の剛性を備えていれば、シート支持工程は実施しなくてもよいし、実施してもよい。
本発明の個片体の製造方法では、シート貼付工程ＰＣ１、改質部形成工程ＰＣ２または接着力低減工程ＰＣ３の前段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、接着力低減工程ＰＣ３の後段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、接着力低減工程ＰＣ３の後段で、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す取外し工程を実施してもよいし、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する接着工程を実施してもよい。
接着力低減工程ＰＣ３において膨張性微粒子ＳＧが膨張した際、接着シートＡＳが変位してしまうことで個片化予定領域ＷＦＰが変位しなくなることを防止するために、当該接着力低減工程ＰＣ３の前段で、接着シートＡＳの変位を防止するシート支持工程を実施してもよい。このようなシート支持工程は、例えば、保持面を備えた保持プレート（保持部材）で接着シートＡＳを基材ＢＳ側から吸着保持したり、基材ＢＳ側に鉄板や硝子板等の板状部材（保持部材）を貼付したりして、基材ＢＳを面で保持するようにすればよい。なお、保持プレートや板状部材は、被着体が所定のエネルギーを透過不可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過可能なもので構成すればよいし、被着体が所定のエネルギーを透過可能なものであれば、当該所定のエネルギーを透過不可能なもので構成してもよいし、透過可能なもので構成してもよい。また、接着シートＡＳが、膨張性微粒子ＳＧが膨張した際、変位しない程度の剛性を備えていれば、シート支持工程は実施しなくてもよいし、実施してもよい。
本発明の個片体の製造方法では、シート貼付工程ＰＣ１、改質部形成工程ＰＣ２または接着力低減工程ＰＣ３の前段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、接着力低減工程ＰＣ３の後段で、ウエハＷＦを所定の厚みにまで研削（研磨）する研削（研磨）工程を実施してもよいし、接着力低減工程ＰＣ３の後段で、チップＣＰを接着シートＡＳから取り外す取外し工程を実施してもよいし、接着シートＡＳから取り外したチップＣＰを基板や載置台等の他の部材に接着する接着工程を実施してもよい。
【0025】
本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層ＡＬだけの単層のもの、基材ＢＳと接着剤層ＡＬとの間に中間層を有するもの、基材ＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材ＢＳを接着剤層ＡＬから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
【0026】
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。
【符号の説明】
【0027】
ＡＳ…接着シート
ＡＳＰ…接着シート部分
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＰＣ１…シート貼付工程
ＰＣ２…改質部形成工程
ＰＣ２１…第１改質部形成工程
ＰＣ２２…第２改質部形成工程
ＰＣ３…接着力低減工程
ＰＣ３１、ＰＣ３３…第１接着力低減工程
ＰＣ３２、ＰＣ３４…第２接着力低減工程
ＳＧ…膨張性微粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域
ＡＳＰ…接着シート部分
ＣＰ…半導体チップ（個片体）
ＩＲ…赤外線（エネルギー）
ＬＧ…ライン状付与領域
ＭＴ…改質部
ＭＴＸ…第２改質部
ＭＴＹ…第１改質部
ＰＣ１…シート貼付工程
ＰＣ２…改質部形成工程
ＰＣ２１…第１改質部形成工程
ＰＣ２２…第２改質部形成工程
ＰＣ３…接着力低減工程
ＰＣ３１、ＰＣ３３…第１接着力低減工程
ＰＣ３２、ＰＣ３４…第２接着力低減工程
ＳＧ…膨張性微粒子
ＷＦ…半導体ウエハ（被着体）
ＷＦＰ…個片化予定領域
【図1】
【図2】
